JP2000035409A - Ｘ線装置及びｘ線測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アンブレラ効果による影響を抑制して、信頼
性の高いＸ線測定結果を得ることができるＸ線装置を提
供する。 【解決手段】Ｘ線焦点Ｆ、試料Ｓ及びＸ線検出器２１を
通るＸ線光軸Ｌ上に配設されたモノクロメータ１７を有
するＸ線装置である。このＸ線装置では、Ｘ線検出器２
１及びモノクロメータ１７を試料Ｓを中心として２θ回
転させながら、そのＸ線検出器２１によってＸ線を検出
する。Ｘ線を単色化するため、モノクロメータ１７及び
Ｘ線検出器２１は２θ回転方向に対して実質的に直角方
向へ希望角度だけ、それぞれ、θM回転移動及び２θM回
転移動する。モノクロメータ１７及びＸ線検出器２１の
回転移動方向が２θ方向に対して直角方向であるので、
アンブレラ効果を抑制できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、モノクロメータを
用いたＸ線装置及びＸ線測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的なＸ線装置では、図３に示すよう
に、試料Ｓの表面を通る試料軸線ω１を中心としてその
試料Ｓを一定の角速度で連続的又は間欠的に回転、いわ
ゆるθ回転させ、同時に、Ｘ線カウンタ５３を試料軸線
ω１を中心としてθ回転の２倍の角速度で同じ方向へ回
転、いわゆる２θ回転させる。これらのθ回転及び２θ
回転は、通常、測角器すなわちゴニオメータを用いて行
われる。

【０００３】上記のθ回転及び２θ回転が測角される
間、Ｘ線焦点Ｆから放射されたＸ線Ｒ１が発散制限スリ
ット５５によって横方向の発散が制限された状態で試料
Ｓに入射する。入射したＸ線が試料Ｓで回折すると、そ
の回折Ｘ線Ｒ２が受光スリット５４を通してＸ線カウン
タ５３に取り込まれてカウントされる。こうして、試料
Ｓで回折するＸ線の回折角度２θ及びその角度位置にお
けるＸ線強度が測定される。Ｘ線焦点Ｆ及び受光スリッ
ト５４は、試料Ｓを中心とするディフラクトメータ円Ｃ
d 上に位置する。

【０００４】なお、試料Ｓをθ回転させることに代え
て、Ｘ線焦点Ｆ及び発散制限スリット５５を試料軸線ω
１を中心としてθ回転させることもできる。この場合、
Ｘ線カウンタ５３は、試料軸線ω１を中心としてＸ線焦
点Ｆのθ回転と等しい角速度でそれと反対方向へ２θ回
転する。

【０００５】試料Ｓで回折するＸ線Ｒ２は円錐状の広が
りをもって進行し、ディフラクトメータ円Ｃd 上におい
てデバイ環Ｄr を形成する。つまり、Ｘ線カウンタ５３
は、そのデバイ環Ｄr のうち受光スリット５４を通過す
る部分を検出することになる。ところで、Ｘ線焦点Ｆか
ら発散するＸ線Ｒ１は発散制限スリット５５によって横
方向の発散が制限されるが、縦方向に関してはかなりの
角度で発散する。このＸ線の発散のため、受光スリット
５４の所には図４に示すように、縦方向Ａ−Ａ’に沿っ
て位置ズレする多数のデバイ環Ｄr が形成される。受光
スリット５４はこれらのデバイ環Ｄr を鎖線で示す長方
形領域で取り込んでＸ線をカウントする。

【０００６】図４に示す場合、各デバイ環Ｄr は受光ス
リット５４よりも右側に位置しているので、Ｘ線カウン
タによってカウントされるＸ線強度は曲線Ｂで示すよう
にデバイ環Ｄｒがある方向、すなわち図の右側方向、例
えば回折角度２θの低角側へ裾を引く傾向となる。Ｘ線
の縦方向の発散に起因してデバイ環が縦方向に多数重ね
て形成されることにより回折Ｘ線が低角側又は高角側へ
裾を引くという上記の現象は、従来から、アンブレラ効
果（Umbrella Effect ）と呼ばれて知られており、この
アンブレラ効果はＸ線測定の分解能を低下させる１つの
原因となっていて、望ましい現象ではない。

【０００７】なお、以上の説明から分かる通り、図３に
おいて、Ｘ線カウンタ５３が回折角度２θ＝９０°の位
置にある符号Ｃで示す状態にあるときには、Ｘ線カウン
タ５３がデバイ環Ｄr を垂直に受けるため、アンブレラ
効果による回折Ｘ線のシフトはない。他方、Ｘ線カウン
タ５３が２θ＜９０°の低角領域にあるときには回折Ｘ
線は低角側に裾を引き、２θ＞９０°の高角領域にある
ときには回折Ｘ線は高角側に裾を引く。

【０００８】従来、上記のようなアンブレラ効果による
分解能の低下を防止するため、図３において、試料Ｓの
Ｘ線入射側及び／又はＸ線出射側に、それぞれ、ソーラ
スリット５６ａ及び５６ｂを配設するという構造が知ら
れている。このソーラスリット（Soller Slit ）は、薄
い金属板を等間隔に積み重ねたもので、これを通過する
Ｘ線の垂直方向すなわち縦方向の発散を制限することを
主な作用とするものである。

【０００９】上記のソーラスリットを使用すれば、それ
がＸ線入射側に配設されれば試料に入射するＸ線の縦方
向の発散を規制でき、それがＸ線出射側に配設されれば
試料で回折したＸ線の縦方向の発散を規制できるので、
上記のアンブレラ効果をある程度抑制することができ
る。

【００１０】しかしながら、ソーラスリットを使用する
場合でも、アンブレラ効果を完全に除去することは困難
である。また、ソーラスリットを用いると、Ｘ線の強度
が低下して正確なＸ線測定を行うことができなかった
り、測定結果のＳ／Ｎ比が低下する等といった問題点が
発生する。

【００１１】ところで、従来のＸ線装置として、図５に
示すように、モノクロメータを用いるものが知られてい
る。ここに示す従来のＸ線装置は、Ｘ線焦点Ｆと、発散
制限スリット５５と、試料Ｓを支持すると共に試料軸線
ω１を中心として回転するθ回転台５８と、散乱線規制
スリット５７、第１受光スリット５４及び検出器アーム
５９を支持する２θ回転台６１とを有する。検出器アー
ム５９の上には、モノクロメータ６２を支持するモノク
ロメータ支持台６４、第２受光スリット６３及びＸ線カ
ウンタ５３が配設される。

【００１２】２θ回転台６１は、試料軸線ω１を中心と
してθ回転台５８の２倍の角速度でそれと同じ方向へ２
θ回転できる。また、モノクロメータ支持台６４は、モ
ノクロメータ６２の表面を通るモノクロメータ軸線ω２
を中心としてθM 回転できる。また、検出器アーム５９
は、モノクロメータ軸線ω２を中心としてモノクロメー
タ支持台６４のθM 回転の２倍の角速度でそれと同じ方
向へ回転できる。

【００１３】なお、θ回転台５８をθ回転させることに
代えて、Ｘ線焦点Ｆ及び発散制限スリット５５を試料軸
線ω１を中心としてθ回転させることもできる。この場
合、２θ回転台６１は、試料軸線ω１を中心としてＸ線
焦点Ｆのθ回転と等しい角速度でそれと反対方向へ２θ
回転する。

【００１４】符号Ｃd は試料Ｓ等の測角を行うゴニオメ
ータによって描かれるディフラクトメータ円を示し、符
号Ｃf1は試料Ｓに関する焦点円を示し、そして符号Ｃf2
はモノクロメータ６２に関する焦点円を示している。

【００１５】以上の構成より成る従来のＸ線装置におい
ては、モノクロメータ６２の回転角度θM が希望の波長
のＸ線を回折できる角度に設定され、さらに、Ｘ線カウ
ンタ５３の回転角度２θM がθM の２倍の角度に設定さ
れる。試料Ｓがθ回転し、２θ回転台６１が２θ回転す
る間、Ｘ線焦点Ｆから放射されて発散制限スリット５５
で発散が制限されたＸ線が試料Ｓで回折すると、その回
折Ｘ線は散乱線規制スリット５７及び第１受光スリット
５４を通過してモノクロメータ６２に入射し、そのモノ
クロメータ６２によって単色化された後、第２受光スリ
ット６３を通過してＸ線カウンタ５３に取り込まれてカ
ウントされる。

【００１６】ここに示す従来のＸ線装置に関しても、図
３及び図４を用いて説明したアンブレラ効果が発生する
ことは図３に示した従来のＸ線装置と変わりがない。ま
た、このＸ線装置では、Ｘ線測定のための測角面である
２θ面と同じ面内でＸ線カウンタ５３が２θM 回転する
ので、Ｘ線カウンタ５３を２θM 回転させるために必要
となるスペースを確保する必要上、試料Ｓのための測角
範囲が狭くならざるを得ないという問題も発生する。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、図５に示
すようなモノクロメータを用いたＸ線装置に関して分解
能を向上させることを目的として種々の検討を行った。
そしてその結果、モノクロメータ６２の取り付け方に工
夫を加えると、アンブレラ効果の影響を抑制して分解能
を向上できることを知見した。

【００１８】本発明は、上記の知見に基づいて成された
ものであって、試料に対する測角方向である２θ方向に
対するモノクロメータの取付け方向を改善することによ
りアンブレラ効果による影響を抑制して、信頼性の高い
Ｘ線測定結果を得ることができるようにすることを目的
とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】（１） 上記の目的を達
成するため、本発明に係るＸ線装置は、Ｘ線焦点、試料
及びＸ線検出器を通るＸ線光軸上に配設されたモノクロ
メータを有し、前記Ｘ線検出器及び前記モノクロメータ
を試料を中心として２θ回転させながらＸ線検出器によ
ってＸ線を検出するようにしたＸ線装置において、前記
モノクロメータ及び前記Ｘ線検出器は前記２θ回転方向
に対して実質的に直角方向へ回転移動できることを特徴
とする。

【００２０】従来のＸ線装置では、単色化のためにモノ
クロメータ及びＸ線検出器を回転移動させる方向、すな
わちモノクロメータに関するθM 方向及びＸ線検出器に
関する２θM 方向は、図５に示すように、試料に対する
測角方向である２θ方向と同じ面内に設定されていた。
これに対して本発明では、Ｘ線検出器の２θM 方向を２
θ方向に対して実質的に直角方向に設定した。この結
果、Ｘ線検出器によって測定されるＸ線強度値にアンブ
レラ効果の影響が現れることを抑制できるようになっ
た。

【００２１】また、アンブレラ効果を抑制するためにソ
ーラスリット等といった縦発散制限スリットを設ける必
要がなくなり、その結果、Ｘ線検出器に強度の強い回折
Ｘ線を取り込むことができ、また、Ｓ／Ｎ比も向上す
る。

【００２２】また、本発明では、測定のための測角方向
である２θ方向に対して直角方向にＸ線検出器を２θM
回転移動するようにしたので、単色化のためのＸ線検出
器の２θM回転移動が２θ方向の測角範囲と重なり合う
ことが無くなり、よって、試料に関する測角範囲を大き
く取ることができる。

【００２３】上記構成において、「実質的に直角方向」
というのは、装置の組み立て誤差等のために、Ｘ線検出
器等の取付け角度位置が測定精度に影響を与えない程度
に直角方向からずれる場合も含む意味である。

【００２４】（２） 上記構成のＸ線装置において、
前記モノクロメータは、Ｘ線光軸を通るモノクロメータ
軸線を中心として前記２θ回転方向（すなわち、試料に
対する測角方向）に対して実質的に直角方向へθM 回転
移動でき、そして前記Ｘ線検出器は、前記モノクロメ
ータ軸線を中心として前記θM 回転の２倍の角度で同じ
方向へ２θM 回転移動できるように構成することが望ま
しい。

【００２５】このように、モノクロメータの２倍の角度
でＸ線検出器を回転移動させるようにすれば、モノクロ
メータによって単色化されたＸ線を確実にＸ線検出器に
取り込むことができる。

【００２６】（３） 上記構成のＸ線装置において、前
記モノクロメータはグラファイトによって形成すること
ができる。モノクロメータの材料としては、シリコン、
ゲルマニウム等の単結晶や、グラファイト等を用いるこ
とができる。グラファイトは、周知のとおり、炭素が層
状に連なる構造を有する鉱物であり、これにＸ線が入射
したときには、広い面内で回折Ｘ線を取り出すことがで
きる。

【００２７】シリコン等の単結晶はグラファイトに比べ
て分解能が高いが、得られる回折Ｘ線の強度が低くなる
という欠点がある。これに対し、グラファイトは、シリ
コン単結晶等に比べれば分解能に若干の低下が見られる
ものの強度の強い回折Ｘ線を得ることができるという利
点を有する。本発明では、モノクロメータを用いてＸ線
を単色化する際のＸ線検出器の回転移動方向、すなわち
２θM 方向を、試料の測角方向である２θ方向に対して
直角方向に設定することにより、アンブレラ効果を抑制
して分解能を向上できるので、モノクロメータとしてグ
ラファイトを用いる場合でも実用上全く問題とならない
程度の高い分解能を得ることができる。グラファイトを
用いれば強い回折Ｘ線を得ることができるので、信頼性
の高い測定結果を得ることができる。

【００２８】（４） 次に、本発明に係るＸ線測定方法
は、Ｘ線焦点、試料及びＸ線検出器を通るＸ線光軸上に
モノクロメータを配設し、前記Ｘ線検出器及び前記モノ
クロメータを試料を中心として２θ回転させながらＸ線
検出器によってＸ線を検出するＸ線測定方法において、
前記モノクロメータ及び前記Ｘ線検出器のＸ線光軸に対
する角度を調節するとき、そのモノクロメータ及びその
Ｘ線検出器を前記Ｘ線測定のための２θ回転方向に対し
て実質的に直角方向へ回転移動させることを特徴とす
る。

【００２９】このＸ線測定方法においても、単色化のた
めのＸ線検出器の回転移動方向である２θM 方向を、試
料に関する測角方向である２θ方向に対して実質的に直
角方向に設定したので、Ｘ線検出器によって測定される
Ｘ線強度値にアンブレラ効果の影響が現れることを抑制
でき、その結果、分解能の高い測定結果を得られるよう
になった。

【００３０】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るＸ線装置の
一実施形態を示している。このＸ線装置は、Ｘ線を発生
するＸ線焦点Ｆを内蔵するＸ線発生装置１と、そのＸ線
発生装置１に隣接して設置されたゴニオメータ２とによ
って構成される。Ｘ線焦点Ｆは、例えば、発熱によって
熱電子を発生するフィラメントと、その熱電子が衝突す
るターゲットとを含んで構成できる。

【００３１】ゴニオメータ２は、試料Ｓを支持するθ回
転台３と、そのまわりに配設された２θ回転台４と、θ
回転台３及び２θ回転台４を試料軸線ω１を中心として
回転駆動する回転駆動装置６とを有する。θ回転台３と
Ｘ線発生装置１との間には入射側スリットユニット７が
設けられ、そのユニット７の内部に発散制限スリット８
が格納される。

【００３２】回転駆動装置６は、θ回転台３を試料軸線
ω１を中心として所定の角速度で連続的又は間欠的に回
転、すなわちθ回転させる。また、回転駆動装置６は、
試料軸線ω１を中心としてθ回転の２倍の角速度でそれ
と同じ方向へ２θ回転台４を回転、すなわち２θ回転さ
せる。

【００３３】２θ回転台４の外周部分の適所には２θア
ーム９が固定され、その２θアーム９の上に出射側スリ
ットユニット１１及びモノクロメータユニット１２が設
けられる。２θアーム９は、２θ回転台４が２θ回転す
るときにそれと一体になって２θ回転する。これらのユ
ニットは、２θアーム９上に設けたガイドレール１３に
よって位置決めされた状態で、ボルトその他の締結具に
よって２θアーム９に固定される。

【００３４】出射側スリットユニット１１の内部には、
θ回転台３に近い側から順に散乱線規制スリット１４及
び受光スリット１６が格納される。モノクロメータユニ
ット１２は、モノクロメータ１７を支持するモノクロメ
ータ支持台１８と、検出器アーム１９と、それらを駆動
する駆動装置２２とを有する。モノクロメータ１７は、
例えばグラファイトによって形成される。

【００３５】モノクロメータ支持台１８は、モノクロメ
ータ１７の表面を通ると共にＸ線光軸Ｌに直交するモノ
クロメータ軸線ω２を中心として回転移動できる。この
回転移動方向は、２θアーム９の２θ回転方向に対して
直角方向となる。検出器アーム１９は、Ｘ線カウンタ２
１を支持すると共に、モノクロメータ支持台１８から独
立してモノクロメータ軸線ω２を中心として回転移動で
きる。この検出器アーム１９の回転従ってＸ線カウンタ
２１の回転移動方向も、２θアーム９の２θ回転方向に
対して直角方向となる。

【００３６】図２は、図１の矢印Ｄに従ってモノクロメ
ータ１７の近傍を見た状態を示している。駆動装置２２
は、モノクロメータ支持台１８従ってモノクロメータ１
７を、図２に示すように、モノクロメータ軸線ω２を中
心として希望する任意の角度で回転移動、すなわちθM
回転移動させる。また、駆動装置２２は、そのθM 回転
移動に連動して検出器アーム１９従ってＸ線カウンタ２
１をモノクロメータ軸線ω２を中心としてθM 回転移動
の２倍の角度でそれと同じ方向へ回転移動、すなわち２
θM 回転移動させる。これらのθM 回転移動及び２θM
回転移動は、Ｘ線光軸Ｌに対するモノクロメータ１７の
角度を、希望する波長の回折Ｘ線を取り出すことができ
る適宜の回折角度に設定するために行われるものであ
る。

【００３７】以下、上記構成から成るＸ線装置につい
て、その動作を説明する。試料Ｓに対してＸ線測定、本
実施形態ではＸ線回折測定を行うのに先立って、図１に
おいてＸ線光軸Ｌの調節を行う。具体的には、Ｘ線焦点
Ｆ、発散制限スリット８、試料Ｓ、散乱線規制スリット
１４、受光スリット１６、モノクロメータ１７及びＸ線
カウンタ２１の各Ｘ線光学要素をＸ線光軸Ｌの上に載る
ように位置調節する。

【００３８】次いで、図２において、駆動装置２２を作
動してモノクロメータ１７のＸ線入射角度θM を希望す
る所定の特性Ｘ線、例えばＫα線を取り出せる角度に一
致するように調節する。このとき、Ｘ線カウンタ２１は
それに連動して回転移動して、θM の２倍の角度である
２θM に角度設定される。

【００３９】その後、回転駆動装置６を作動してθ回転
台３従って試料Ｓをθ回転させ、同時に、２θ回転台４
従って検出器アーム９をθ回転の２倍の角速度で２θ回
転させる。検出器アーム９の２θ回転により、Ｘ線カウ
ンタ２１及びモノクロメータ１７が試料軸線ω１を中心
として２θ回転する。

【００４０】試料Ｓがθ回転し、Ｘ線カウンタ２１が２
θ回転する間、Ｘ線焦点Ｆから放射されたＸ線が発散制
限スリット８によって横方向の発散を制限された状態で
試料Ｓに照射される。このＸ線と試料Ｓの結晶格子面と
の間でブラッグの回折条件が満足されると、その試料Ｓ
でＸ線が回折し、その回折Ｘ線は散乱線規制スリット１
４及び受光スリット１６を通過してモノクロメータ１７
へ到達する。

【００４１】モノクロメータ１７は所定波長のＸ線だけ
を回折するようにＸ線入射角度θMが決められているの
で、回折Ｘ線はモノクロメータ１７によって単色化され
た後にＸ線カウンタ２１に取り込まれてカウントされ
る。このときにカウントされるＸ線はモノクロメータ１
７によって単色化されたＸ線であるので、得られる測定
値は分解能が高くて信頼性の高いものである。以上によ
り、個々の回折角度２θにおける回折Ｘ線の強度が測定
され、周知の回折Ｘ線図形が得られる。

【００４２】本実施形態のＸ線装置では、図１において
モノクロメータ軸線ω２を水平面内でＸ線光軸Ｌに対し
て直交するように設定し、モノクロメータ１７及びＸ線
カウンタ２１をそのモノクロメータ軸線ω２を中心とし
て回転移動させるようにした。その結果、図４に関連し
て説明したアンブレラ効果の影響を抑制することがで
き、この面からも分解能の高いＸ線測定結果を得ること
できる。

【００４３】また、Ｘ線の縦方向の発散を制限するため
の縦発散制限スリット、例えばソーラスリットをＸ線光
軸Ｌ上に設ける必要がなくなるので、Ｘ線の減衰を抑え
てＸ線カウンタ２１に強度の強いＸ線を取り込むことが
でき、また、Ｓ／Ｎ比を向上することができる。

【００４４】さらに、Ｘ線カウンタ２１を測定のための
測角方向である２θ方向に対して直角方向に２θM 回転
移動するようにしたので、試料の後方位置にモノクロメ
ータを配設する構造のＸ線装置であっても２θ方向の測
角範囲を大きく取ることができる。

【００４５】以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を
説明したが、本発明はその実施形態に限定されるもので
なく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変
できる。例えば、図１の実施形態では、試料Ｓのθ回転
及びＸ線カウンタ２１の２θ回転が水平面内で行われ、
モノクロメータ１７のθM 回転及びＸ線カウンタ２１の
２θM 回転が水平面に直交する垂直面内で行われた。し
かしながらこれに代えて、試料Ｓ及びＸ線カウンタ２１
のθ−２θ回転を垂直面内で行い、モノクロメータ１７
及びＸ線カウンタ２１のθM 回転移動及び２θM 回転移
動を水平面内で行うことができる。

【００４６】また、モノクロメータ１７は、グラファイ
トに限られず、ゲルマニウム等の単結晶によって形成す
ることもできる。但し、強度の強い回折Ｘ線を得るため
にはグラファイトを用いることが望ましい。

【００４７】

【発明の効果】本発明に係るＸ線装置及びＸ線測定方法
によれば、単色化のためのＸ線検出器の２θM 方向への
回転移動を測角方向である２θ方向に対して実質的に直
角方向に設定したので、Ｘ線検出器によって測定される
Ｘ線強度値にアンブレラ効果の影響が現れることを抑制
でき、よって、分解能の高い測定結果を得られるように
なった。

【００４８】また、アンブレラ効果を抑制するためにソ
ーラスリット等といった縦発散制限スリットを設ける必
要がなくなるので、Ｘ線検出器に強度の強い回折Ｘ線を
取り込むことができ、また、Ｓ／Ｎ比も向上する。

【００４９】また、単色化のためにＸ線検出器を測角方
向である２θ方向に対して直角方向へ２θM 回転移動さ
せるようにしたので、Ｘ線検出器の２θM 回転移動が２
θ方向の測角範囲と重なり合うことが無くなり、よっ
て、試料に関する測角範囲を大きく取ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＸ線装置の一実施形態を示す斜視
図である。

【図２】図１のＸ線装置の要部を示す図である。

【図３】従来のＸ線装置の一例を模式的に示す斜視図で
ある。

【図４】アンブレラ効果を説明するための図である。

【図５】従来のＸ線装置の他の一例を模式的に示す平面
図である。

【符号の説明】

１ Ｘ線発生装置 ２ ゴニオメータ ３ θ回転台 ４ ２θ回転台 ６ 回転駆動装置 ８ 発散制限スリット ９ ２θアーム １２ モノクロメータユニット １６ 受光スリット １７ モノクロメータ １９ 検出器アーム ２１ Ｘ線カウンタ（Ｘ線検出器） ２２ 駆動装置 Ｆ Ｘ線焦点 Ｓ 試料 ω１ 試料軸線 ω２ モノクロメータ軸線 Ｌ Ｘ線光軸

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線焦点、試料及びＸ線検出器を通るＸ
   線光軸上に配設されたモノクロメータを有し、前記Ｘ線
   検出器及び前記モノクロメータを試料を中心として２θ
   回転させながらそのＸ線検出器によってＸ線を検出する
   ようにしたＸ線装置において、 前記モノクロメータ及び前記Ｘ線検出器は前記２θ回転
   方向に対して実質的に直角方向へ回転移動できることを
   特徴とするＸ線装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記モノクロメータ
   は、Ｘ線光軸を通るモノクロメータ軸線を中心として前
   記２θ回転方向に対して実質的に直角方向へθM 回転移
   動でき、 前記Ｘ線検出器は、前記モノクロメータ軸線を中心とし
   て前記θM 回転の２倍の角度でそれと同じ方向へ２θM
   回転移動できることを特徴とするＸ線装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、前記モ
   ノクロメータはグラファイトによって形成されることを
   特徴とするＸ線装置。
4. 【請求項４】 Ｘ線焦点、試料及びＸ線検出器を通るＸ
   線光軸上にモノクロメータを配設し、前記Ｘ線検出器及
   び前記モノクロメータを試料を中心として２θ回転させ
   ながらＸ線検出器によってＸ線を検出するＸ線測定方法
   において、 前記モノクロメータ及び前記Ｘ線検出器のＸ線光軸に対
   する角度を調節するとき、そのモノクロメータ及びその
   Ｘ線検出器を前記Ｘ線測定のための２θ回転方向に対し
   て実質的に直角方向へ回転移動させることを特徴とする
   Ｘ線測定方法。