JP2000016872A - 多孔質炭化珪素焼結体及びその製造方法 - Google Patents
多孔質炭化珪素焼結体及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 結晶体製造時の気孔径制御を容易かつ確実に
行い、気孔の大きさが比較的均一で、機械的強度が優れ
た多孔質炭化珪素焼結体を得る。 【解決手段】平均粒径が５〜１００μｍのα型炭化珪素
粉末１００重量部に対し、平均粒径が０．１〜１μｍの
α型またはβ型炭化珪素粉末を１０〜７０重量部均一に
混合し、１７００〜２３００℃の温度範囲で焼成する。
行い、気孔の大きさが比較的均一で、機械的強度が優れ
た多孔質炭化珪素焼結体を得る。 【解決手段】平均粒径が５〜１００μｍのα型炭化珪素
粉末１００重量部に対し、平均粒径が０．１〜１μｍの
α型またはβ型炭化珪素粉末を１０〜７０重量部均一に
混合し、１７００〜２３００℃の温度範囲で焼成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多孔質炭化珪素焼結体
および多孔質炭化珪素の製造方法に関する。
および多孔質炭化珪素の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、炭化珪素は高い硬度、優れた耐摩
耗性、優れた耐酸化性、優れた耐食性、良好な熱伝導
率、低い熱膨張率、高い耐熱耐衝撃性並びに高温での高
い強度の化学的および物理的に優れた特性を有し、メカ
ニカルシールや軸受などの耐摩耗材料、高温炉用の耐火
材、熱交換器、燃焼管等の耐熱構造材料、酸およびアル
カリなどの強い腐食性を有する溶液のポンプ部品等の耐
腐食材料として広く使用することができる材料である。
耗性、優れた耐酸化性、優れた耐食性、良好な熱伝導
率、低い熱膨張率、高い耐熱耐衝撃性並びに高温での高
い強度の化学的および物理的に優れた特性を有し、メカ
ニカルシールや軸受などの耐摩耗材料、高温炉用の耐火
材、熱交換器、燃焼管等の耐熱構造材料、酸およびアル
カリなどの強い腐食性を有する溶液のポンプ部品等の耐
腐食材料として広く使用することができる材料である。
【０００３】従って、これらの優れた性質を有する炭化
珪素焼結体であって、開放気孔すなわち外部に対して通
気性を有する気孔（以下単に気孔と称す）を有する多孔
質炭化珪素焼結体は、前記炭化珪素の特徴を生かして、
高温雰囲気、酸化性雰囲気および／または腐食性雰囲気
で使用される濾過フィルター、酸化発熱反応あるいは高
温下における化学反応用の触媒あるいは触媒担体として
利用可能な材料であり、例えばメッキ液中に混入してい
るスラッジあるいは硫酸、塩酸等の腐食性液体中に混入
している異物粒子の除去のために使用されるフィルター
として使用し得ることが考えられる。
珪素焼結体であって、開放気孔すなわち外部に対して通
気性を有する気孔（以下単に気孔と称す）を有する多孔
質炭化珪素焼結体は、前記炭化珪素の特徴を生かして、
高温雰囲気、酸化性雰囲気および／または腐食性雰囲気
で使用される濾過フィルター、酸化発熱反応あるいは高
温下における化学反応用の触媒あるいは触媒担体として
利用可能な材料であり、例えばメッキ液中に混入してい
るスラッジあるいは硫酸、塩酸等の腐食性液体中に混入
している異物粒子の除去のために使用されるフィルター
として使用し得ることが考えられる。
【０００４】上述のようなフィルターの用途に対して
は、単に耐熱性、耐食性が必要であるばかりでなく、流
体の通過時の抵抗が小さく、しかも高効率で異物粒子を
取り除くことができ耐用期間が長い等の特性が必要とさ
れる。一方、触媒、触媒担体あるいは熱交換器等の用途
に対しては化学反応、熱移動あるいは物質移動の生成を
有効に行わせるための表面積が多いこと等が必要とされ
る。
は、単に耐熱性、耐食性が必要であるばかりでなく、流
体の通過時の抵抗が小さく、しかも高効率で異物粒子を
取り除くことができ耐用期間が長い等の特性が必要とさ
れる。一方、触媒、触媒担体あるいは熱交換器等の用途
に対しては化学反応、熱移動あるいは物質移動の生成を
有効に行わせるための表面積が多いこと等が必要とされ
る。
【０００５】ところで従来、炭化珪素焼結体は、β型炭
化珪素粉末に有機樹脂バインダーおよび可塑材等を配合
してなる原料を成形し、この成形体を焼成することによ
り、炭化珪素微粒子を粒成長させて板状結晶を生成させ
ると共に、これらを互いに焼結させることにより製造さ
れていた。このような板状の結晶組織を有する焼結体
は、気孔率が大きく、しかも気孔径が比較的均一で、排
ガスフィルターとして使用した場合の圧力損失（又は排
気抵抗）が低いという特性を有していた。
化珪素粉末に有機樹脂バインダーおよび可塑材等を配合
してなる原料を成形し、この成形体を焼成することによ
り、炭化珪素微粒子を粒成長させて板状結晶を生成させ
ると共に、これらを互いに焼結させることにより製造さ
れていた。このような板状の結晶組織を有する焼結体
は、気孔率が大きく、しかも気孔径が比較的均一で、排
ガスフィルターとして使用した場合の圧力損失（又は排
気抵抗）が低いという特性を有していた。
【０００６】しかしながら、β型炭化珪素粉末は、焼結
時に異常粒成長し易く、所望の気孔径を有する焼結体を
得るためには、極めて狭い温度領域に温度制御をするこ
とが必要であり、また、同様の理由から気孔径を均一に
することも困難であった。更に、この方法では多孔質炭
化珪素焼結体は主として板状結晶から構成されるため、
結晶間の結合点が少なく、多孔質体の機械的強度が低い
という問題点があった。
時に異常粒成長し易く、所望の気孔径を有する焼結体を
得るためには、極めて狭い温度領域に温度制御をするこ
とが必要であり、また、同様の理由から気孔径を均一に
することも困難であった。更に、この方法では多孔質炭
化珪素焼結体は主として板状結晶から構成されるため、
結晶間の結合点が少なく、多孔質体の機械的強度が低い
という問題点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のごと
き問題点を解決するためになされたものであり、その目
的は、焼結体製造時の気孔径制御を容易にできて、所望
の気孔径の焼結体を確実に製造することができると共
に、気孔の大きさが比較的均一で、機械的強度に優れた
焼結体を得ることにある。
き問題点を解決するためになされたものであり、その目
的は、焼結体製造時の気孔径制御を容易にできて、所望
の気孔径の焼結体を確実に製造することができると共
に、気孔の大きさが比較的均一で、機械的強度に優れた
焼結体を得ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に発明者は鋭意研究を行った結果、以下の発明に到っ
た。すなわち、請求項１の発明は結晶粒径の平均値が５
〜１００μｍ、気孔径が１〜３０μｍ、気孔率が２０〜
６０％であることを特徴とする多孔質炭化珪素焼結体で
ある。また、請求項２の発明は、下記の第１工程〜第３
工程のシ−ケンスからなる、結晶粒径の平均値が５〜１
００μｍ、気孔径が１〜３０μｍ、気孔率が２０〜６０
％である多孔質炭化珪素焼結体の製造方法である。 第１工程 平均粒径が５〜１００μｍのα型の炭化珪
素粉末１００重量部に対し、平均粒径が０．１〜１μｍ
のα型またはβ型の炭化珪素粉末を１０〜７０重量部を
均一に混合する工程； 第２工程 前記第１工程により得られた混合物を成形
する工程；および 第３工程 前記第２工程により得られた成形体を１７
００〜２３００℃の温度範囲内で焼成する工程。
に発明者は鋭意研究を行った結果、以下の発明に到っ
た。すなわち、請求項１の発明は結晶粒径の平均値が５
〜１００μｍ、気孔径が１〜３０μｍ、気孔率が２０〜
６０％であることを特徴とする多孔質炭化珪素焼結体で
ある。また、請求項２の発明は、下記の第１工程〜第３
工程のシ−ケンスからなる、結晶粒径の平均値が５〜１
００μｍ、気孔径が１〜３０μｍ、気孔率が２０〜６０
％である多孔質炭化珪素焼結体の製造方法である。 第１工程 平均粒径が５〜１００μｍのα型の炭化珪
素粉末１００重量部に対し、平均粒径が０．１〜１μｍ
のα型またはβ型の炭化珪素粉末を１０〜７０重量部を
均一に混合する工程； 第２工程 前記第１工程により得られた混合物を成形
する工程；および 第３工程 前記第２工程により得られた成形体を１７
００〜２３００℃の温度範囲内で焼成する工程。
【０００９】こうすることにより、焼成温度と焼成によ
って得られる焼結体の気孔径との相関関係をリニアでか
つ緩やかな関係にでき、気孔径を所望の大きさにするた
めの焼成温度の制御が容易になる。また、粒状の結晶が
焼結に関与することで結晶間の接触面積が増加して、結
晶間の結合力が増強され、多孔質体全体としての機械的
強度が向上する。
って得られる焼結体の気孔径との相関関係をリニアでか
つ緩やかな関係にでき、気孔径を所望の大きさにするた
めの焼成温度の制御が容易になる。また、粒状の結晶が
焼結に関与することで結晶間の接触面積が増加して、結
晶間の結合力が増強され、多孔質体全体としての機械的
強度が向上する。
【００１０】これに対し、従来のようなβ型炭化珪素粉
末を出発原料とした場合の粒界においては、ある温度領
域において急激な異常粒成長が生じやすいため、比較的
粗大な板状結晶が生成される。それ故、この多孔質焼結
体の結晶組織は、粗大な板状結晶が焼結体の主骨格を形
成して、それらの間隙に比較的大きな気孔が形成され
る。従って、結晶間の結合力が小さくなって多孔質全体
としての機械的強度が低くなる。
末を出発原料とした場合の粒界においては、ある温度領
域において急激な異常粒成長が生じやすいため、比較的
粗大な板状結晶が生成される。それ故、この多孔質焼結
体の結晶組織は、粗大な板状結晶が焼結体の主骨格を形
成して、それらの間隙に比較的大きな気孔が形成され
る。従って、結晶間の結合力が小さくなって多孔質全体
としての機械的強度が低くなる。
【００１１】前記原料炭化珪素粉末としては、平均粒径
が５〜１００μｍのα型炭化珪素粉末１００重量部に対
し、平均粒径が０．１〜１μｍのα型またはβ型の炭化
珪素を１０〜７０重量部配合することが好ましい。α型
またはβ型の炭化珪素の平均粒径が０．１μｍ未満で
は、粒成長を制御し難いばかりでなく、得難く高価であ
るため実用的でない。また、１μｍより大きいと粉末の
活性が低いため、好適に多孔質体を得ることが困難にな
る。
が５〜１００μｍのα型炭化珪素粉末１００重量部に対
し、平均粒径が０．１〜１μｍのα型またはβ型の炭化
珪素を１０〜７０重量部配合することが好ましい。α型
またはβ型の炭化珪素の平均粒径が０．１μｍ未満で
は、粒成長を制御し難いばかりでなく、得難く高価であ
るため実用的でない。また、１μｍより大きいと粉末の
活性が低いため、好適に多孔質体を得ることが困難にな
る。
【００１２】α型炭化珪素粉末の平均粒径が５μｍ未満
の場合、α型またはβ型炭化珪素の異常粒成長を抑制す
る効果が低い。また、１００μｍより大きいと成形性が
劣悪になるばかりでなく、得られる多孔質体の強度が劣
化する。
の場合、α型またはβ型炭化珪素の異常粒成長を抑制す
る効果が低い。また、１００μｍより大きいと成形性が
劣悪になるばかりでなく、得られる多孔質体の強度が劣
化する。
【００１３】配合するα型またはβ型の炭化珪素粉末が
７０重量部を超えると、急激な異常粒成長が効果的に緩
和されず、比較的粗大な炭化珪素の結晶が生成されるた
め、強度に優れた焼結体が得られない。また、１０重量
部未満では、所望の気孔径を得るには焼結温度を極めて
高くする必要が生じ、コスト面で不利である。
７０重量部を超えると、急激な異常粒成長が効果的に緩
和されず、比較的粗大な炭化珪素の結晶が生成されるた
め、強度に優れた焼結体が得られない。また、１０重量
部未満では、所望の気孔径を得るには焼結温度を極めて
高くする必要が生じ、コスト面で不利である。
【００１４】上記の条件に従い、α型炭化珪素粉末に、
α型またはβ型炭化珪素粉末を配合する割合を適宜設定
すれば、焼結体の気孔径の大きさを１〜数１０μｍの範
囲で容易かつ確実に制御することができる。
α型またはβ型炭化珪素粉末を配合する割合を適宜設定
すれば、焼結体の気孔径の大きさを１〜数１０μｍの範
囲で容易かつ確実に制御することができる。
【００１５】本発明の原料粉末には成形用バインダー及
び必要に応じて分散溶媒が配合されてスラリー状の成形
材料が得られ、これを所望形状の成形体に成形した後、
焼成することにより多孔質炭化珪素焼結体が製造される
ものである。
び必要に応じて分散溶媒が配合されてスラリー状の成形
材料が得られ、これを所望形状の成形体に成形した後、
焼成することにより多孔質炭化珪素焼結体が製造される
ものである。
【００１６】前記成形用バインダーとしては、ポリビニ
ルアルコール、メチルセルロース、カルボキシメチルセ
ルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレン
グリコール、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル
樹脂等があげられる。この成形用バインダーの配合割合
は一般に、炭化珪素粉末の合計１００重量部に対し、１
〜１０重量部の範囲が好適である。この配合割合が１重
量部未満では、成形体の強度が不十分となり、１０重量
部を超えると、バインダーを除去する際に成形体にクラ
ックが発生しやすくなる。
ルアルコール、メチルセルロース、カルボキシメチルセ
ルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレン
グリコール、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル
樹脂等があげられる。この成形用バインダーの配合割合
は一般に、炭化珪素粉末の合計１００重量部に対し、１
〜１０重量部の範囲が好適である。この配合割合が１重
量部未満では、成形体の強度が不十分となり、１０重量
部を超えると、バインダーを除去する際に成形体にクラ
ックが発生しやすくなる。
【００１７】前記原料粉末に配合される分散溶媒として
は、ベンゼン等の有機溶剤、メタノール等のアルコー
ル、水等が使用でき、その配合量は原料スラリーの粘度
に応じて調整される。前記原料スラリーは、アトライタ
ー等で混合された後、ニーダー等で充分に混練して調製
され、所望形状の成形体に成形される。
は、ベンゼン等の有機溶剤、メタノール等のアルコー
ル、水等が使用でき、その配合量は原料スラリーの粘度
に応じて調整される。前記原料スラリーは、アトライタ
ー等で混合された後、ニーダー等で充分に混練して調製
され、所望形状の成形体に成形される。
【００１８】乾燥を完了した成形体を焼成する場合、焼
成温度は１７００〜２３００℃であることが好ましい。
また、この場合、非酸化性雰囲気下にて焼成するのが望
ましい。それは、焼成時の熱によって炭素質物質が燃焼
し消失するのを防止するためである。この燃焼温度が１
７００℃未満では、炭化珪素微粒子の成長速度が極めて
遅く、粒子間の接触部位における焼結が不十分となって
強度に優れた焼結体が得られない。一方、焼成温度が２
３００℃を超える場合、燃料消費量が増大して、コスト
面で不利になるばかりでなく、炭化珪素の昇華が著しく
なり、焼結体の機械的強度が低くなる。
成温度は１７００〜２３００℃であることが好ましい。
また、この場合、非酸化性雰囲気下にて焼成するのが望
ましい。それは、焼成時の熱によって炭素質物質が燃焼
し消失するのを防止するためである。この燃焼温度が１
７００℃未満では、炭化珪素微粒子の成長速度が極めて
遅く、粒子間の接触部位における焼結が不十分となって
強度に優れた焼結体が得られない。一方、焼成温度が２
３００℃を超える場合、燃料消費量が増大して、コスト
面で不利になるばかりでなく、炭化珪素の昇華が著しく
なり、焼結体の機械的強度が低くなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】次に本発明を実施例および比較例
について説明する。
について説明する。
【００２０】実施例１ 出発原料として平均粒径１０μｍのα型炭化珪素粉末１
００重量部に対し、平均粒径０．７μｍのα型炭化珪素
粉末４５重量部を混合した。
００重量部に対し、平均粒径０．７μｍのα型炭化珪素
粉末４５重量部を混合した。
【００２１】前記炭化珪素微粉末１００重量部に対し、
ポリビニルアルコ−ル５重量部、水３００重量部を配合
し、ボ−ルミル中で５時間混合した後乾燥した。この乾
燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金属製押し型を用
いて６００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形した。この生成形
体の密度は２．０ｇ／ｃｍ3 であった。前記生成形体を
外気を遮断することのできる黒鉛製ルツボに装入し、タ
ンマン型焼成炉を使用して１気圧のアルゴンガス雰囲気
中で焼成した。なお、焼成は１０℃／分で２２００℃ま
で昇温し、最高温度２２００℃で２時間保持した。得ら
れた焼結体の結晶構造は、結晶粒径の平均値が１０μ
ｍ、、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔径が７
μｍ、気孔率が３８％であった。
ポリビニルアルコ−ル５重量部、水３００重量部を配合
し、ボ−ルミル中で５時間混合した後乾燥した。この乾
燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金属製押し型を用
いて６００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形した。この生成形
体の密度は２．０ｇ／ｃｍ3 であった。前記生成形体を
外気を遮断することのできる黒鉛製ルツボに装入し、タ
ンマン型焼成炉を使用して１気圧のアルゴンガス雰囲気
中で焼成した。なお、焼成は１０℃／分で２２００℃ま
で昇温し、最高温度２２００℃で２時間保持した。得ら
れた焼結体の結晶構造は、結晶粒径の平均値が１０μ
ｍ、、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔径が７
μｍ、気孔率が３８％であった。
【００２２】実施例２ 出発原料として平均粒径３０μｍのα型炭化珪素粉末１
００重量部に対し、平均粒径０．３μｍのβ型炭化珪素
粉末３０重量部を混合した。
００重量部に対し、平均粒径０．３μｍのβ型炭化珪素
粉末３０重量部を混合した。
【００２３】前記炭化珪素微粉末１００重量部に対し、
ポリビニルアルコ−ル５重量部、水３００重量部を配合
し、ボ−ルミル中で５時間混合した後乾燥した。この乾
燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金属製押し型を用
いて６００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形した。この生成形
体の密度は２．０ｇ／ｃｍ3 であった。前記生成形体を
外気を遮断することのできる黒鉛製ルツボに装入し、タ
ンマン型焼成炉を使用して１気圧のアルゴンガス雰囲気
中で焼成した。なお、焼成は１０℃／分で２１５０℃ま
で昇温し、最高温度２１５０℃で２時間保持した。得ら
れた焼結体の結晶構造は、結晶粒径の平均値が３０μ
ｍ、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔径が１２
μｍ、気孔率が３８％であった。
ポリビニルアルコ−ル５重量部、水３００重量部を配合
し、ボ−ルミル中で５時間混合した後乾燥した。この乾
燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金属製押し型を用
いて６００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形した。この生成形
体の密度は２．０ｇ／ｃｍ3 であった。前記生成形体を
外気を遮断することのできる黒鉛製ルツボに装入し、タ
ンマン型焼成炉を使用して１気圧のアルゴンガス雰囲気
中で焼成した。なお、焼成は１０℃／分で２１５０℃ま
で昇温し、最高温度２１５０℃で２時間保持した。得ら
れた焼結体の結晶構造は、結晶粒径の平均値が３０μ
ｍ、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔径が１２
μｍ、気孔率が３８％であった。
【００２４】比較例１ 出発原料として平均粒径３μｍのα型炭化珪素粉末１０
０重量部に対し、平均粒径０．７μｍのα型炭化珪素粉
末４５重量部を混合した。
０重量部に対し、平均粒径０．７μｍのα型炭化珪素粉
末４５重量部を混合した。
【００２５】前記炭化珪素微粉末１００重量部に対し、
ポリビニルアルコ−ル５重量部、水３００重量部を配合
し、ボ−ルミル中で５時間混合した後乾燥した。この乾
燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金属製押し型を用
いて６００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形した。この生成形
体の密度は１．６ｇ／ｃｍ3 であった。前記生成形体を
外気を遮断することのできる黒鉛製ルツボに装入し、タ
ンマン型焼成炉を使用して１気圧のアルゴンガス雰囲気
中で焼成した。なお、焼成は１０℃／分で１６５０℃ま
で昇温し、最高温度１６５０℃で２時間保持した。得ら
れた焼結体の結晶構造は、結晶粒径の平均値が２．０μ
ｍ、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔径が２μ
ｍ、気孔率が５０％であった。
ポリビニルアルコ−ル５重量部、水３００重量部を配合
し、ボ−ルミル中で５時間混合した後乾燥した。この乾
燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金属製押し型を用
いて６００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形した。この生成形
体の密度は１．６ｇ／ｃｍ3 であった。前記生成形体を
外気を遮断することのできる黒鉛製ルツボに装入し、タ
ンマン型焼成炉を使用して１気圧のアルゴンガス雰囲気
中で焼成した。なお、焼成は１０℃／分で１６５０℃ま
で昇温し、最高温度１６５０℃で２時間保持した。得ら
れた焼結体の結晶構造は、結晶粒径の平均値が２．０μ
ｍ、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔径が２μ
ｍ、気孔率が５０％であった。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の多孔質炭化
珪素焼結体および多孔質炭化珪素焼結体の製造方法によ
れば、結晶体製造時の気孔径制御を容易かつ確実に行う
ことができると共に、気孔の大きさが比較的均一で、機
械的強度に優れた焼結体を製造することができ、結晶粒
径の平均値が５〜１００μｍ、気孔径が１〜３０μｍ、
気孔率が２０〜６０％の多孔質炭化珪素焼結体を得るこ
とができる。
珪素焼結体および多孔質炭化珪素焼結体の製造方法によ
れば、結晶体製造時の気孔径制御を容易かつ確実に行う
ことができると共に、気孔の大きさが比較的均一で、機
械的強度に優れた焼結体を製造することができ、結晶粒
径の平均値が５〜１００μｍ、気孔径が１〜３０μｍ、
気孔率が２０〜６０％の多孔質炭化珪素焼結体を得るこ
とができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 結晶粒径の平均値が５〜１００μｍ、気
孔径が１〜３０μｍ、気孔率が２０〜６０％であること
を特徴とする多孔質炭化珪素焼結体。 - 【請求項２】 下記の第１工程〜第３工程のシ−ケンス
からなる、結晶粒径の平均値が５〜１００μｍ、気孔径
が１〜３０μｍ、気孔率が２０〜６０％である多孔質炭
化珪素焼結体の製造方法。 第１工程 平均粒径が５〜１００μｍのα型の炭化珪
素粉末１００重量部に対し、平均粒径が０．１〜１μｍ
のα型またはβ型の炭化珪素粉末を１０〜７０重量部を
均一に混合する工程； 第２工程 前記第１工程により得られた混合物を成形
する工程；および 第３工程 前記第２工程により得られた成形体を１７
００〜２３００℃の温度範囲内で焼成する工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (10)
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|---|---|---|---|---|
| JP2002274947A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Ibiden Co Ltd | 多孔質炭化珪素焼結体及びその製造方法、ディーゼルパティキュレートフィルタ |
| JP2002338367A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-11-27 | Eagle Ind Co Ltd | 炭化珪素焼結部品並びにその炭化珪素焼結部品を用いたメカニカルシール及びその製造方法 |
| JP2006001799A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | National Institute For Materials Science | 炭化ケイ素多孔体の製造方法 |
| JP2006150234A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Kyocera Corp | フィルタ部材およびこれを用いた液体ボトル |
| EP1707544A1 (en) | 2005-03-30 | 2006-10-04 | Ibiden Co., Ltd. | Silicon carbide-containing particle, method of manufacturing a silicon carbide-based sintered object, silicon carbide-based sintered object, and filter |
| JPWO2005026074A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2006-11-16 | イビデン株式会社 | セラミック焼結体およびセラミックフィルタ |
| JP2009253247A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-29 | Ariake Materials Co Ltd | 真空吸着装置用吸着体及び真空吸着装置 |
| US7851396B2 (en) * | 2006-03-31 | 2010-12-14 | Ibiden Co., Ltd. | Porous sintered body, method of manufacturing porous sintered body, and method of manufacturing exhaust gas purifying apparatus |
| WO2016052469A1 (ja) * | 2014-09-29 | 2016-04-07 | イビデン株式会社 | ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
| WO2016147488A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質体、多孔質接合体、金属溶湯用濾過フィルタ、焼成用治具および多孔質体の製造方法 |
-
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Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002274947A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Ibiden Co Ltd | 多孔質炭化珪素焼結体及びその製造方法、ディーゼルパティキュレートフィルタ |
| JP2002338367A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-11-27 | Eagle Ind Co Ltd | 炭化珪素焼結部品並びにその炭化珪素焼結部品を用いたメカニカルシール及びその製造方法 |
| JPWO2005026074A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2006-11-16 | イビデン株式会社 | セラミック焼結体およびセラミックフィルタ |
| JP4932256B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2012-05-16 | イビデン株式会社 | セラミック焼結体およびセラミックフィルタ |
| JP2006001799A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | National Institute For Materials Science | 炭化ケイ素多孔体の製造方法 |
| JP2006150234A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Kyocera Corp | フィルタ部材およびこれを用いた液体ボトル |
| JP4610314B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2011-01-12 | 京セラ株式会社 | フィルタ部材およびこれを用いた液体ボトル |
| EP1707544A1 (en) | 2005-03-30 | 2006-10-04 | Ibiden Co., Ltd. | Silicon carbide-containing particle, method of manufacturing a silicon carbide-based sintered object, silicon carbide-based sintered object, and filter |
| US7851396B2 (en) * | 2006-03-31 | 2010-12-14 | Ibiden Co., Ltd. | Porous sintered body, method of manufacturing porous sintered body, and method of manufacturing exhaust gas purifying apparatus |
| JP2009253247A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-29 | Ariake Materials Co Ltd | 真空吸着装置用吸着体及び真空吸着装置 |
| WO2016052469A1 (ja) * | 2014-09-29 | 2016-04-07 | イビデン株式会社 | ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
| JP2016067995A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | イビデン株式会社 | ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
| WO2016147488A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質体、多孔質接合体、金属溶湯用濾過フィルタ、焼成用治具および多孔質体の製造方法 |
| JPWO2016147488A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2017-04-27 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質体、多孔質接合体、金属溶湯用濾過フィルタ、焼成用治具および多孔質体の製造方法 |
| JP2017105707A (ja) * | 2015-03-16 | 2017-06-15 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質体、多孔質接合体、金属溶湯用濾過フィルタ、焼成用治具および多孔質体の製造方法 |
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