JP2000010287A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- （Ａ）環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、
（Ｂ）活性光線の照射により酸を発生する化合物、
（Ｃ）含窒素塩基性化合物、並びに
（Ｄ）フッ素系及び／又はシリコン系界面活性剤
を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 - （Ａ）有橋環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、
（Ｂ）活性光線の照射により酸を発生する化合物、
（Ｃ）含窒素塩基性化合物、
（Ｄ）フッ素系及び／又はシリコン系界面活性剤、並びに
（Ｅ）溶剤
を含有し、（Ｃ）に対する（Ｂ）の重量割合（（Ｂ）／（Ｃ））が５〜３００の範囲であり、（Ｄ）に対する（Ａ）の重量割合（（Ａ）／（Ｄ））が５００〜２００００の範囲であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 - 分子量が２０００以下であって、酸の作用により分解し得る基を有し、アルカリ溶解性が酸の作用により増大する低分子酸分解性化合物をさらに含有することを特徴とする請求項１又は２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 前記低分子酸分解性化合物の含有量が、固型分100重量部に対して0.5〜20.0重量部の割合であることを特徴とする請求項３に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- （Ｂ）の化合物がオニウム塩であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- （Ｃ）の含窒素塩基性化合物が有機アミンであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- （Ｅ）の溶剤が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー ト、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル及び２−ヘプタノンの中から選択される少なくとも１種を全溶剤中70重量％以上含有することを特徴とする請求項２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 活性光線が２２０ｎｍ以下の波長の遠紫外光であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 請求項１〜８のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物により膜を形成し、当該膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
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