JP2000089240A - アクティブマトリクス型液晶表示装置 - Google Patents
アクティブマトリクス型液晶表示装置Info
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Abstract
るCF側のブラックマトリクスなどの分極によるスミア
や映像の焼き付きを防止する。 【解決手段】 共通電極5(または画素電極4)を、そ
の下方にあるゲートバスライン1とゲート電極7を完全
に覆うように形成し、選択信号の印加によってゲートバ
スライン1から放射される不要な電界をシールドする。
これにより、ゲートバスライン1からの電界がCF側に
洩れるのを防ぐ。共通電極5(または画素電極4)をT
FT6を覆うように形成すれば、TFT6の遮光膜とし
て使用できる、焼き付きなどの要因となるブラックマト
リクスを省略できる。
Description
し、さらに言えば、イン・プレイン・スイッチング(In
-Plane-Switching、IPS)モードで動作し、広視野角
が実現できるアクティブマトリクス(active matrix)
型液晶表示装置に関する。
は、配向した液晶分子の分子軸の方向をガラス基板に対
して垂直な方向に回転させて情報の表示を行うツイステ
ィド・ネマティック(Twisted Nematic、TN)モード
と、ガラス基板に対して平行な方向に回転させて情報の
表示を行うIPSモードがある。
動かしても基本的に液晶分子の短軸方向のみを見ている
ことになるため、表示品位の視野角依存性が少ないとい
う特徴がある。この特徴により、TNモードの液晶表示
装置に比べて広い視野角を達成できるという利点があ
る。
液晶表示装置としては、特公昭63−21907号公報
および特開平6−202127号公報に記載されている
もの(以下、それぞれ従来例1、2という)が挙げられ
る。しかし、これら従来例1、2の液晶表示装置では、
映像信号が印加されるデータバスライン(ドレイン電極
線)とそれに対応する画素電極との間に、映像信号に対
応する表示電位とは無関係の電位が常に印加されるた
め、その電位によってデータバスラインから放射される
不要な電界が液晶層に印加され、その結果、表示品位が
劣化するという問題がある。
の不要な電界の液晶層への印加を防止するため、図20
〜図22に示す液晶表示装置(以下、従来例3という)
が開発されている。この従来例3は、特願平08−28
6381号特許出願(特開平10−186407号公
報)に開示されているもので、映像信号が印加されるデ
ータバスラインを、基準電位が印加される共通バスライ
ン(共通電極線)に重なるように、換言すれば、共通バ
スラインの全体を覆うように形成することにより、前記
の不要な電界を遮断するものである。
バスラインとデータバスラインと共通電極と共通バスラ
インのレイアウトを示す部分平面図であり、図21と図
22はそれぞれ図20のXXI−XXI線とXXII−
XXII線に沿った部分断面図である。
の液晶表示装置は、マトリックス状に配置された複数の
薄膜トランジスタ6(Thin-Film Transistor, 以下、T
FTという)を有するガラス基板(以下、TFT基板と
いう)113と、カラーフィルタ層122を有するガラ
ス基板(以下、CF基板という)115と、それら二枚
の基板113と115の間に配置された液晶層118と
を備えて構成されている。液晶層118の周囲はシール
材(図示せず)によって封止されて空間を形成してお
り、その封止された空間に液晶(図示せず)とスペーサ
が充填されている。
6のゲート電極107がマトリックス状に配置され、さ
らに、それらゲート電極107を電気的に接続する複数
のゲートバスライン(ゲート電極線)101が形成され
ている。各ゲートバスライン101は、X方向において
隣接する(すなわち、TFT6のマトリックスの同じ行
に属する)ゲート電極107を互いに電気的に接続して
いる。複数のゲートバスライン101は、図20に示す
ように、互いに平行であっていずれもX方向に延在して
いる。それらのゲート電極107とゲートバスライン1
01は、TFT基板113の表面に形成されたゲート絶
縁膜111によって覆われている。
ト電極107のそれぞれに対応してドレイン電極108
およびソース電極109と、一つのパターン化されたア
モルファスシリコン層110とが形成されている。ドレ
イン電極108およびソース電極109を電気的に接続
する導電性チャネルは、このアモルファスシリコン層1
10の内部に形成される。一つのゲート電極107と、
それに対応するドレイン電極108およびソース電極1
09と、アモルファスシリコン層110とが、各TFT
106を構成する。
の画素電極104と、複数のデータバスライン(ドレイ
ン電極線)102とが形成されている。
平行であっていずれもY方向に延在している。各ドレイ
ン電極線102は、Y方向において隣接する(すなわ
ち、TFT6のマトリックスの同じ列に属する)ドレイ
ン電極108を互いに電気的に接続している。
トバスライン101と隣接する二つのデータバスライン
102に挟まれた画素領域Pに配置されており、対応す
るTFT106のソース電極109に電気的に接続され
ている。各画素電極104の形状はストリップ状で、対
応する画素領域P内でデータバスライン102に平行に
Y方向に延在している。
極線101とデータバスライン102とは、図25およ
び図22に示すように、ゲート絶縁膜111の上に形成
された層間絶縁膜(パッシベーション膜)112によっ
て覆われている。
すように、Y方向に延在する複数の共通電極105と、
X方向に延在する複数の共通バスライン(共通電極線)
103とが形成されている。各共通電極105はストリ
ップ状をしていて、画素電極104とデータバスライン
102に平行にY方向に延在している。共通バスライン
103は、複数の共通電極105を互いに電気的に接続
しており、ゲートバスライン101に平行にX方向に延
在している。
05は、対応するデータバスライン102と重なってい
てそのデータバスライン102の全体を覆っている。ま
た、各共通バスライン103は、対応するゲートバスラ
イン101の近傍に配置され、そのゲートバスライン1
01とは重なっていない。
フィルター層122が形成されている。このカラーフィ
ルター層122は、色材層116と、その色材層116
を保護し、且つカラーフィルター層122の表面を平坦
化するためのオーバーコート層117とを有している。
色材層116は、所定規則に従って配置された赤(Re
d)、緑(Green)、青(Blue)の色材のドッ
トまたはストライプと、それらR、G、Bのドットまた
はストライプの間を埋めるように配置されたブラックマ
トリックス121とを含んでいる。
号が印加され、それによって対応するTFT106がO
N−OFFスイッチングされる。選択信号によって選択
されたデータバスライン102には、対応する映像信号
がそれぞれ印加される。複数の共通バスライン103に
は共通の基準電位が印加される。ゲートバスライン10
1に印加された選択信号によって選択された画素では、
対応するTFT106がONとなり、その結果、データ
バスライン102に印加された映像信号に応じて対応す
る共通電極105と画素電極104の間に電圧が印加さ
れる。その電圧により、液晶層118に閉じ込められた
液晶の分子に対してTFT基板113およびCF基板1
15にほぼ平行な電界が印加される。この電界によって
各液晶の分子が映像信号に対応する回転運動を行い、そ
の結果、印加された映像信号に対応する映像が当該液晶
表示装置のスクリーンに表示される。
方にソース電極109とドレイン電極108が配置され
る、いわゆるボトムゲート構造であるため、「逆スタガ
ー構造」と一般に呼ばれている。
では、図20より明らかなように、各共通電極105が
対応するデータバスライン102の全体を完全に覆って
いるため、従来例1、2の液晶表示装置で問題となった
データバスライン102から放射される不要な電界は共
通電極5によってほぼ遮断される。このため、その不要
な電界が液晶層118中の液晶分子に及ぶことによって
生じる表示品位の劣化は抑制されるのである。
晶表示装置は次のような問題を有しており、表示品位は
未だ十分ではない。
6、ブラックマトリクス121、オーバーコート層11
7は電気的にフローティング状態にあるため、分極また
は帯電しやすい性質を持つ。ブラックマトリクス121
は特に分極・帯電しやすい。しかも、ブラックマトリク
ス121は導電性があるため、分極・帯電した電荷はブ
ラックマトリクス121内を容易に移動し、その結果、
ブラックマトリクス121の端が光ったり、当該液晶表
示装置のスクリーンに映像が焼き付いたりする表示不良
を引き起こすのである。
トリクス121として分極が少なく導電性の低い材料を
選定するなどの対策が必要である。
装置より優れた表示品位が得られるIPSモードのアク
ティブマトリクス型液晶表示装置を提供することにあ
る。
層を設けることなしに、TFT基板のような能動素子基
板から放射される不要な電界による悪影響をいっそう抑
制できるIPSモードのアクティブマトリクス型液晶表
示装置を提供することにある。
起こしやすいブラックマトリクスに起因するスミアや映
像の焼き付きを生じないIPSモードのアクティブマト
リクス型液晶表示装置を提供することにある。
引き起こしやすいブラックマトリクスをなくすことがで
きるIPSモードのアクティブマトリクス型液晶表示装
置を提供することにある。
アクティブマトリクス型液晶表示装置は、マトリクス状
に配置された複数のTFTを有する能動素子基板と、カ
ラーフィルターを有するカラーフィルター基板と、前記
能動素子基板と前記カラーフィルター基板の間に設けら
れると共に、複数の前記TFTによりIPSモードで動
作せしめられる液晶層と、前記能動素子基板上で前記T
FTのマトリックスの行方向に延在し、且つそのマトリ
ックスの同じ行に属する前記TFTのゲート電極を電気
的に接続する複数のゲートバスラインと、前記能動素子
基板の複数の画素領域のそれぞれに配置され、且つ複数
の前記TFTのソース電極のそれぞれに電気的に接続さ
れた複数の画素電極と、前記能動素子基板上で前記TF
Tのマトリックスの列方向に延在し、且つそのマトリッ
クスの同じ列に属する前記TFTのドレイン電極を電気
的に接続する複数のデータバスラインと、前記能動素子
基板上で前記TFTのマトリックスの列方向に延在し、
且つそのマトリックスの同じ列に属する前記TFTのド
レイン電極のそれぞれと重なるように配置された複数の
共通電極と、前記能動素子基板上で前記TFTのマトリ
ックスの行方向に延在すると共に、そのマトリックスの
同じ行に属する前記TFTのゲートバスラインのそれぞ
れと重なるように配置され、しかもそのマトリックスの
同じ行に属する前記共通電極を電気的に接続する複数の
共通バスラインとを備えて構成され、複数の前記共通電
極のそれぞれは、対応する前記データバスラインから前
記液晶層に向かって放出される不要な電界を遮断する作
用を持ち、しかも、複数の前記共通バスラインのそれぞ
れは、対応する前記ゲートバスラインから前記液晶層に
向かって放出される不要な電界を遮断する作用を持つこ
とを特徴とする。
クス型液晶表示装置では、前記能動素子基板上におい
て、前記マトリックスの同じ列に属する前記TFTのデ
ータバスラインのそれぞれと重なるように複数の共通電
極が配置され、且つ、そのマトリックスの同じ行に属す
る前記TFTのゲートバスラインのそれぞれと重なるよ
うに複数の共通バスラインが配置されている。
は、対応する前記データバスラインから前記液晶層に向
かって放出される不要な電界を遮断する作用を持ち、ま
た、複数の前記共通バスラインのそれぞれは、対応する
前記ゲートバスラインから前記液晶層に向かって放出さ
れる不要な電界を遮断する作用を持っている。
から放射される不要な電界による悪影響をいっそう抑制
できる。例えば、帯電・分極を起こしやすいブラックマ
トリクスに起因するスミアや映像の焼き付きを防止でき
る。その結果、上述した従来例3の液晶表示装置よりも
優れた表示品位が得られる。
を設けるなど、大幅な構造の変更や製造工程数の増加も
不要である。
クス型液晶表示装置の好ましい例では、前記能動素子基
板が、前記複数のTFTを覆うように形成された層間絶
縁膜を備えており、前記複数の共通電極と前記複数の共
通バスラインがその層間絶縁膜に対して前記液晶層の側
に配置され、前記複数の画素電極と前記複数のデータバ
スラインがその層間絶縁膜に対して前記液晶層とは反対
側に配置される。
分極の少ない有機膜により形成されるのが好ましい。そ
の理由は、前記層間絶縁膜を挟んで対向するデータバス
ラインと共通バスラインの間の容量を少なくできるから
である。
電率で分極の少ない有機膜との積層体により形成されて
いてもよい。
3.5程度を意味する。「分極の少ない」とは、カラー
フィルターやブラックマトリックスよりも分極率が小さ
いことを意味する。
ては、ベンゾシクロブテン膜が好適に用いられる。その
理由は、誘電率が2.7と低く、しかも吸水性と分極性
が低いからである。
ザンや種々のSOG(Spin-On-Glass)材料が使用可能
である。
晶表示装置の他の好ましい例では、前記層間絶縁膜が前
記能動素子基板の複数の画素領域のそれぞれにおいて選
択的に除去される。その理由は、表示用の電界がより有
効に液晶分子に作用するようにするためである。
晶表示装置のさらに他の好ましい例では、複数の前記共
通電極のそれぞれが対応する前記TFTを覆っていて、
外光が前記TFTに照射されるのを防ぐ遮光膜として作
用する。こうすれば、外光に起因する悪影響を防止でき
ると共に、前記カラーフィルター層からブラックマトリ
ックスを省略できる利点が生じるからである。
ター層がブラックマトリックスを含まないように構成し
てもよい。こうすれば、前記カラーフィルター層の構成
および製法が簡単になる利点が得られる。
クス型液晶表示装置は、マトリクス状に配置された複数
のTFTを有する能動素子基板と、カラーフィルターを
有するカラーフィルター基板と、前記能動素子基板と前
記カラーフィルター基板の間に設けられると共に、複数
の前記TFTによりIPSモードで動作せしめられる液
晶層と、前記能動素子基板上で前記TFTのマトリック
スの行方向に延在し、且つそのマトリックスの同じ行に
属する前記TFTのゲート電極を電気的に接続する複数
のゲートバスラインと、前記能動素子基板の複数の画素
領域のそれぞれに配置され、且つ複数の前記TFTのソ
ース電極のそれぞれに電気的に接続された複数の画素電
極と、前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックス
の列方向に延在し、且つそのマトリックスの同じ列に属
する前記TFTのドレイン電極を電気的に接続する複数
のデータバスラインと、前記能動素子基板上で前記TF
Tのマトリックスの列方向に延在する複数の共通電極
と、前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの
行方向に延在し、且つそのマトリックスの同じ行に属す
る前記共通電極を電気的に接続する複数の共通バスライ
ンとを備えて構成され、複数の前記画素電極は、前記T
FTのマトリックスの同じ行に属する前記TFTのゲー
トバスラインのそれぞれと重なると共に、対応する前記
データバスラインとも重なっており、しかも、複数の前
記画素電極のそれぞれは、対応する前記データバスライ
ンと対応する前記ゲートバスラインから前記液晶層に向
かってそれぞれ放出される不要な電界を遮断する作用を
持つことを特徴とする。
クス型液晶表示装置では、前記能動素子基板上におい
て、複数の前記画素電極は、前記TFTのマトリックス
の同じ行に属する前記TFTのゲートバスラインのそれ
ぞれと重なると共に、対応する前記データバスラインと
も重なるように配置されている。
は、対応する前記データバスラインと対応する前記ゲー
トバスラインから前記液晶層に向かってそれぞれ放出さ
れる不要な電界を遮断する作用を持っている。
から放射される不要な電界による悪影響をいっそう抑制
できる。例えば、帯電・分極を起こしやすいブラックマ
トリクスに起因するスミアや焼き付きを防止できる。そ
の結果、上述した従来例3の液晶表示装置よりも優れた
表示品位が得られる。
を設けるなど、大幅な構造の変更や製造工程数の増加も
不要である。
クス型液晶表示装置の好ましい例では、前記能動素子基
板が、前記複数のTFTを覆うように形成された層間絶
縁膜を備えており、前記複数の画素電極がその層間絶縁
膜に対して前記液晶層の側に配置され、前記複数の共通
電極と前記複数の共通バスラインと前記複数のデータバ
スラインとがその層間絶縁膜に対して前記液晶層とは反
対側に配置される。
分極の少ない有機膜により形成されるのが好ましい。そ
の理由は、本発明の第1のアクティブマトリクス型液晶
表示装置におけるのと同じである。
電率で分極の少ない有機膜との積層体により形成されて
いてもよい。
ては、ベンゾシクロブテン膜が好適に用いられる。その
理由は、本発明の第1のアクティブマトリクス型液晶表
示装置におけるのと同じである。ベンゾシクロブテン膜
の他には、ポリシラザンや種々のSOG(Spin-On-Glas
s)材料が使用可能である点も、本発明の第1のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置におけるのと同じであ
る。
晶表示装置の他の好ましい例では、前記層間絶縁膜が前
記能動素子基板の複数の画素領域のそれぞれにおいて選
択的に除去される。その理由は、本発明の第1のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置におけるのと同じであ
る。
晶表示装置のさらに他の好ましい例では、複数の前記共
通電極のそれぞれが対応する前記TFTを覆っていて、
外光が前記TFTに照射されるのを防ぐ遮光膜として作
用する。こうすれば、外光に起因する悪影響を防止でき
ると共に、前記カラーフィルター層からブラックマトリ
ックスを省略できる利点が生じるからである。
ター層がブラックマトリックスを含まないように構成し
てもよい。こうすれば、前記カラーフィルター層の構成
および製法が簡単になる利点が得られる。
晶表示装置のさらに他の好ましい例では、複数の前記共
通電極のそれぞれが、対応する前記画素領域を挟む二本
のデータバスラインと部分的に重なって形成される。
晶表示装置のさらに他の好ましい例では、複数の前記共
通電極のそれぞれの形状が、前記画素領域の形状に対応
した略矩形とされる。
態を添付図面を参照しながら具体的に説明する。
は本発明の第1の実施形態のアクティブマトリクス型液
晶表示装置を示す。この装置では、液晶分子はIPSモ
ードで動作せしめられる。
晶表示装置は、マトリックス状に配置された複数のTF
T6を有するガラス基板(以下、TFT基板という)1
3と、カラーフィルタ層22を有するガラス基板(以
下、CF基板という)15と、それら二枚の基板13と
15の間に配置された液晶層18とを備えて構成されて
いる。液晶層18の周囲はシール材(図示せず)によっ
て封止されて空間を形成しており、その封止された空間
に液晶(図示せず)とスペーサが充填されている。
ート電極7がマトリックス状に配置され、また、複数の
ゲートバスライン1がTFT6のマトリックスの行方向
(X方向)に延在するように配置されている。それらの
ゲートバスライン1は、図1および図2に示すように、
互いに平行であっていずれもX方向(すなわち、TFT
6のマトリックスの行方向)に延在している。各ゲート
バスライン1は、X方向において隣接する(すなわち、
TFT6のマトリックスの同じ行に属する)複数のゲー
ト電極7を互いに電気的に接続している。それらゲート
電極7とゲートバスライン1は、TFT基板13の表面
に形成されたゲート絶縁膜11によって覆われている。
電極7のそれぞれに対応して一対のドレイン電極8およ
びソース電極9と、一つのパターン化されたアモルファ
スシリコン層10とが形成されている。ドレイン電極8
およびソース電極9を電気的に接続する導電性チャネル
は、このアモルファスシリコン層10の内部に形成され
る。一つのゲート電極7と、それに対応するドレイン電
極8およびソース電極9と、アモルファスシリコン層1
0とが、各TFT6を構成する。各TFT6は、ゲート
電極7の上方にソース電極9とドレイン電極8が配置さ
れる「逆スタガー構造」である。
画素電極4と、複数のデータバスライン(ドレイン電極
線)2とが形成されている。
であっていずれもY方向(すなわち、TFT6のマトリ
ックスの列方向)に延在している。各データバスライン
2は、Y方向において隣接する(すなわち、TFT6の
マトリックスの同じ列に属する)複数のドレイン電極8
を互いに電気的に接続している。
スライン1と隣接する二つのデータバスライン2に挟ま
れた略矩形の画素領域Pに配置されており、対応するT
FT6のソース電極9に電気的に接続されている。図2
に示すように、各画素電極4の形状はストリップ状で、
対応する画素領域P内でデータバスライン2に平行にY
方向に延在している。各画素電極4のTFT6側の端部
は、X方向に屈曲してからTFT6のドレイン電極9に
接続されている。
データバスライン2とは、図3および図4に示すよう
に、ゲート絶縁膜11の上に形成された層間絶縁膜(パ
ッシベーション膜)12によって覆われている。層間絶
縁膜12は、ベンゾシクロブテン(BCB)膜により形
成する。
うに、Y方向に延在する複数の共通電極5と、X方向に
延在する複数の共通バスライン(共通電極線)3とが形
成されている。各共通電極5はストリップ状をしてい
て、画素電極4とデータバスライン2に平行である。共
通バスライン3は、複数の共通電極5を互いに電気的に
接続しており、ゲートバスライン1に平行である。
る各共通電極5は、対応するデータバスライン2と完全
に重なっていてそのデータバスライン2の全体を覆って
いる。また、X方向に延在する各共通バスライン3は、
対応するゲートバスライン1と完全に重なっていてその
ゲートバスライン1の全体を覆っている。各共通電極5
は、データバスライン2と完全に重なっていてそのデー
タバスライン2の全体を覆っている。こうして、各共通
バスライン3が、ゲートバスライン1からの電界をシー
ルドする電界シールド膜として動作すると共に、TFT
6に向かって照射される外光を遮断する遮光膜としても
動作するようにしている。また、各共通電極5が、デー
タバスライン2からの電界をシールドする電界シールド
膜として動作すると共に、TFT6に向かって照射され
る外光を遮断する遮光膜としても動作するようにしてい
る。
基板15の表面には、カラーフィルター層22が形成さ
れている。このカラーフィルター層22は、色材層16
と、その色材層16を保護し且つカラーフィルター層2
2の表面を平坦化するためのオーバーコート層17とを
有している。色材層16は、所定規則に従って配置され
たR、G、Bの三原色の色材のドットまたはストライプ
を含んでいる。通常ではそれらR、G、Bのドットまた
はストライプの間を埋めるように配置されるブラックマ
トリックスは、この第1実施形態では形成されていな
い。色材としては、通常、RGBの3原色をもつ顔料や
染料の入った樹脂が使用される。
印加され、それによって対応するTFT6がON−OF
Fスイッチングされる。選択信号によって選択されたデ
ータバスライン2には、対応する映像信号がそれぞれ印
加される。複数の共通バスライン3には共通の基準電位
が印加される。ゲートバスライン1に印加された選択信
号によって選択された画素では、対応するTFT6がO
Nとなり、その結果、データバスライン2に印加された
映像信号に応じて対応する共通電極5と画素電極4の間
に電圧が印加される。その電圧により、液晶層18に閉
じ込められた液晶の分子に対してTFT基板13および
CF基板15にほぼ平行な電界が印加される。この電界
によって各液晶の分子が映像信号に対応する回転運動を
行い、その結果、印加された映像信号に対応する映像が
当該液晶表示装置のスクリーンに表示される。
すようになる。複数の画素領域Pと複数のTFT6がマ
トリックス状に配置されている。複数のゲートバスライ
ン(ゲート電極線)1は、当該マトリックスの行方向
(X方向)に沿って延在し、且つその列方向(Y方向)
に等間隔で配置されている。複数のデータバスライン
(ドレイン電極線)2は、当該マトリックスの列方向
(Y方向)に沿って延在し、且つその行方向(X方向)
に等間隔で配置されている。複数のTFT6は、ゲート
バスライン1とデータバスライン2の各交点の近傍に配
置されている。なお、51は、各ゲートバスライン1に
所定の電圧を印加するためのゲート端子であり、52
は、各データバスライン2に所定の電圧を印加するため
のドレイン端子である。
装置は、次のようにして製造される。
o,Crなどからなる第1導電層を形成し、その第1導
電層をパターン化してX方向に延在する複数のゲートバ
スライン1を形成する。ゲートバスライン1は、TFT
6の内部ではそれらのゲート電極7となる。
どの絶縁膜をゲートバスライン1とゲート電極7を覆う
ように形成し、その上にアモルファスシリコン層を形成
する。そのアモルファスシリコン層の上にMo,Crな
どの第2導電層を形成した後、その第2導電層をパター
ン化して各TFT6のドレイン電極8とソース電極9、
さらにデータバスライン2および画素電極4を形成す
る。各ドレイン電極8は対応するデータ線2に接続さ
れ、各ソース電極9は対応する画素電極4に接続され
る。
12として、ドレイン8とソース電極9を覆うようにベ
ンゾシクロブテン(BCB)膜が設けられる。パッシベ
ーション膜12の膜厚は0.5〜1μmとする。
Mo,Crなどからなる第3導電層を形成した後、それ
をパターン化して共通バスライン3に電気的に接続され
る共通電極5と共通バスライン3を形成する。各共通バ
スライン3は、対応するゲートバスライン1とゲート電
極7とに完全に重なるように形成される。各共通電極5
は、対応するデータバスライン2と完全に重なるように
形成される。
態の液晶表示装置では、TFT基板13上において、マ
トリックスの同じ列に属するTFT6のデータバスライ
ン2のそれぞれと重なるように複数の共通電極5が配置
され、且つ、そのマトリックスの同じ行に属するTFT
6のゲート電極7とそれに対応するゲートバスライン1
のそれぞれと重なるように複数の共通バスライン3が配
置されている。そして、複数の共通電極5のそれぞれ
は、対応するデータバスライン2から液晶層18に向か
って放出される不要な電界を遮断する作用を持ち、ま
た、複数の共通バスライン3のそれぞれは、対応するゲ
ートバスライン1から液晶層18に向かって放出される
不要な電界を遮断する作用を持っている。すなわち、従
来例3で述べたのと同様のデータバスライン2から液晶
層18に向かって放出される不要な電界だけでなく、ゲ
ートバスライン1から液晶層18に向かって放出される
不要な電界も遮断される。その結果、CF基板15側の
オーバーコート層18、色材層17、ブラックマトリク
ス層16などのチャージアップ(CHARGE UP)が生じな
くなる。
要な電界による悪影響をいっそう抑制できる。例えば、
帯電・分極を起こしやすいブラックマトリクスに起因す
るスミアや映像の焼き付きを防止できる。その結果、上
述した従来例3の液晶表示装置よりも優れた表示品位が
得られる。
を設けるなど、大幅な構造の変更や製造工程数の増加も
不要である。
置では、複数の共通バスライン3のそれぞれが対応する
TFT6を覆っていて、外光がそれらTFT6に照射さ
れるのを防ぐ遮光膜として作用する。このため、外光に
起因する悪影響を防止できるだけでなく、カラーフィル
ター層22からブラックマトリックスを省略することが
可能である。この場合、カラーフィルター層22がブラ
ックマトリックスを含まないので、カラーフィルター層
22の構成および製法が簡単になる利点も得られる。
優れた表示品位が得られる理由をより詳細に説明する
と、次のようになる。
示装置では、動作中にゲートバスライン101には所定
の選択信号が印加される。例えば、図23(a)に示す
ような選択信号23が典型例であり、その場合にデータ
バスライン102には例えば図23(b)に示すような
映像信号24が印加される。
Tscanが16.6msで、その走査時間Tframe内にお
いて選択時間Ton(=26μs)の間に20V程度のオ
ン電圧Vonが印加される。それ以外の時間(非選択時
間)には、−5V程度のオフ電圧Voffが印加される。
この波形図から明らかなように、ゲート電極線101に
は、極めて短い選択時間Tonを除くすべての時間におい
て負電圧が印加されていることを意味する。
1から放射される不要な電界122は、図24に示すよ
うに、常にCF基板115の色材層116、オーバーコ
ート層117、ブラックマトリクス121にそれぞれ印
加されていることになる。この電界122は、色材層1
16、オーバーコート層117、ブラックマトリクス1
21に直接入り込み、それらの帯電や分極を引き起こ
す。
起こしやすく、しかもカーボンなどを含んでいるため、
ブラックマトリクス121内を電荷が移動しやすい。そ
の結果、当該液晶表示装置のスクリーンにスミアや焼き
付きなどの表示品位の劣化が生じるのである。
表示装置では、図13に示すように、ゲートバスライン
1とゲート電極7から放射される不要な電界22は共通
バスライン3によって遮断され、液晶層18にはほとん
ど到達しない。このため、その電界22に起因する色材
層116やオーバーコート層117の帯電や分極は抑制
され、その結果、表示品位の劣化が抑制されるのであ
る。
2の実施形態のアクティブマトリクス型液晶表示装置を
示す。この装置でも、液晶分子はIPSモードで動作せ
しめられる。
晶表示装置は、マトリックス状に配置された複数のTF
T6を有するTFT基板13と、カラーフィルタ層22
を有するCF基板15と、それら二枚の基板13と15
の間に配置された液晶層118とを備えて構成されてい
る。液晶層18の周囲はシール材(図示せず)によって
封止されて空間を形成しており、その封止された空間に
液晶(図示せず)とスペーサが充填されている。
じである。
と同様に、TFT6のゲート電極7がマトリックス状に
配置され、ゲートバスライン1がそのマトリックスの行
方向(X方向)に延在するように配置されている。複数
のゲートバスライン1のそれぞれは、同じ行に属するT
FT6のゲート電極7を電気的に接続している。この点
は第1実施形態のそれと同じであるが、第2実施形態で
は、それらに加えて、複数の共通電極5と共通バスライ
ン3もTFT基板13の表面に配置されている。
おいて第1実施形態の画素電極4と同じ位置に配置さ
れ、その画素電極4とほぼ同じストリップ状の形状とほ
ぼ同じ大きさを持つ。各共通バスライン3は、TFT6
のマトリックスの行方向(X方向)に延在しており、同
じ行に属する共通電極5を電気的に接続している。
電極5と共通バスライン3は、TFT基板13の表面に
形成されたゲート絶縁膜11によって覆われている。
電極7のそれぞれに対応して一対のドレイン電極8およ
びソース電極9と、一つのパターン化されたアモルファ
スシリコン層10とが形成されている。一つのゲート電
極7と、それに対応するドレイン電極8およびソース電
極9と、アモルファスシリコン層10とが、各TFT6
を構成する。各TFT6は、ゲート電極7の上方にソー
ス電極9とドレイン電極8が配置される「逆スタガー構
造」である。この点は、第1実施形態と同じである。
データバスライン2が形成されている。第1実施形態と
は異なり、複数の画素電極4と複数のゲートバスライン
1は、上述したように、ゲート絶縁膜11の上ではな
く、ゲート絶縁膜11の下、換言すれば、TFT基板1
3の表面に形成されている。
であっていずれもY方向(すなわち、TFT6のマトリ
ックスの列方向)に延在している。各データバスライン
2は、Y方向において隣接する(すなわち、TFT6の
マトリックスの同じ列に属する)複数のドレイン電極8
を互いに電気的に接続している。
および図8に示すように、ゲート絶縁膜11の上に形成
された層間絶縁膜(パッシベーション膜)12によって
覆われている。層間絶縁膜(パッシベーション膜)12
は、ベンゾシクロブテン(BCB)膜により形成され
る。
うに、複数の画素電極4が形成されている。各画素電極
4は、隣接する二つのゲートバスライン1と隣接する二
つのデータバスライン2に挟まれた略矩形の画素領域P
の周縁に沿って配置されている。各画素電極4は、図7
に示すように、層間絶縁膜12を貫通して形成されたコ
ンタクトホール14を介して、対応するTFT6のソー
ス電極9に電気的に接続されている。各画素電極4の形
状は、略矩形の画素領域Pの周縁に沿って延在する四辺
を持つ矩形であり、その二辺はゲートバスライン1に平
行であり、他の二辺はデータバスライン2に平行であ
る。
X方向に延在する一辺は、対応する画素領域Pの両側に
ある二本のゲートバスライン1と部分的に重なってい
て、それらの略半分を覆っている。各画素電極4のY方
向に延在する一辺は、対応する画素領域Pの両側にある
二本のデータバスライン2と部分的に重なっていて、そ
れらの略半分を覆っている。こうして、複数の画素電極
4は、ゲートバスライン1とデータバスライン2のほぼ
全体を覆っている。
向およびY方向にそれぞれ延在する隙間が形成されてい
る。
態のそれと同じであるから、その説明は省略する。
加方法と、選択信号によって選択されたデータバスライ
ン2に対する映像信号の印加方法も、第1実施形態のそ
れと同じであるから、その説明は省略する。
装置は、次のようにして製造される。
o,Crなどからなる第1導電層を形成し、その第1導
電層をパターン化して、X方向に延在する複数のゲート
バスライン1と、各画素領域P内に配置された複数の共
通電極5と、それら共通電極5を電気的に接続するX方
向に延在する複数の共通バスライン3とを形成する。ゲ
ートバスライン1は、TFT6の内部ではそれらのゲー
ト電極7として動作する。
どの絶縁膜をゲートバスライン1、ゲート電極7、共通
電極5および共通バスライン3を覆うように形成し、そ
の上にアモルファスシリコン層を形成する。そのアモル
ファスシリコン層の上にMo,Crなどの第2導電層を
形成した後、その第2導電層をパターン化して各TFT
6のドレイン電極8とソース電極9、さらにデータバス
ライン2を形成する。各ドレイン電極8は対応するデー
タ線2に電気的に接続され、各ソース電極9は対応する
画素電極4に電気的に接続される。
ータバスライン2を覆うようにパッシベーション膜(層
間絶縁膜)12が設けられる。このパッシベーション膜
12は、第1実施形態のそれと同じである。パッシベー
ション膜12は、各TFT6のドレイン電極9の真上の
位置にコンタクトホール14が形成される。
Mo,Crなどからなる第3導電層を形成した後、それ
をパターン化して複数の画素電極4を形成する。各画素
電極4は、パッシベーション膜12のコンタクトホール
14を介して、対応するドレイン電極9に電気的に接続
される。また、画素電極4は、ゲートバスライン1とデ
ータバスライン2のほぼ全体を覆っており、しかも、T
FT6のほぼ全体をも覆っているので、ゲートバスライ
ン1からの電界をシールドすると共に、TFT6に照射
される外光を遮断することができる。
態の液晶表示装置では、TFT基板13上において、マ
トリックスの同じ列に属するTFT6のデータバスライ
ン2のそれぞれと重なるように、且つそのマトリックス
の同じ行に属するTFT6のゲートバスライン1のそれ
ぞれと重なるように複数の画素電極4が配置されてい
る。
対応するデータバスライン2から液晶層18に向かって
放出される不要な電界を遮断する作用を持ち、また、対
応するゲートバスライン1から液晶層18に向かって放
出される不要な電界をも遮断する作用を持っている。
要な電界による悪影響をいっそう抑制できる。例えば、
帯電・分極を起こしやすいブラックマトリクスに起因す
るスミアや映像の焼き付きを防止できる。その結果、上
述した従来例3の液晶表示装置よりも優れた表示品位が
得られる。
を設けるなど、大幅な構造の変更や製造工程数の増加も
不要である。
置では、画素電極5がTFT6を覆っていて、外光がそ
れらTFT6に照射されるのを防ぐ遮光膜として作用す
る。このため、外光に起因する悪影響を防止できると共
に、カラーフィルター層22からブラックマトリックス
を省略できる。この場合、カラーフィルター層22がブ
ラックマトリックスを含まないので、カラーフィルター
層22の構成および製法が簡単になる利点も得られる。
第3の実施形態のアクティブマトリクス型液晶表示装置
を示す。この装置は、図11と図12に明瞭に示すよう
に、第1実施形態のアクティブマトリクス型液晶表示装
置において、層間絶縁膜12をBCB膜19とSiN膜
20の二層構造とし、そのBCB膜19TFT基板13
の複数の画素領域Pのそれぞれにおいて選択的に除去し
たものであり、その他の構成は第1実施形態のそれと同
じである。
ライン2から放射される不要な電界の遮蔽が必要な箇所
にのみ層間絶縁膜12を厚く残存させてその上に共通電
極5を形成する一方、それ以外の箇所では層間絶縁膜1
2を薄く形成して、層間絶縁膜12が表示電位に与える
悪影響を防止している。このため、層間絶縁膜12の分
極に起因する表示品位の劣化が防止でき、第1実施形態
に比べて表示品位をいっそう高めることができる利点が
ある。
は、BCB膜19とSiN膜20の二層構造とした層間
絶縁膜12を形成した後であって共通電極5を形成する
前に層間絶縁膜12を選択的に除去する工程、またはB
CB膜19とSiN膜20の二層構造とした層間絶縁膜
12上に共通電極5を形成した後に層間絶縁膜12を選
択的に除去する工程が加わる以外は、第1実施形態のそ
れと同じである。
電極5または画素電極4をゲートバスライン1やデータ
バスライン2と重ねて形成するので、ゲート線バスライ
ン1の負荷容量が増加する。しかし、低誘電率の有機膜
すなわちBCB膜を層間絶縁膜12に用いているので、
その負荷容量を問題にならない程度に低減することが可
能である。
の第4の実施形態のアクティブマトリクス型液晶表示装
置を示す。この装置は、図16に明瞭に示すように、第
1実施形態のアクティブマトリクス型液晶表示装置にお
いて、各TFT6をいわゆるトップゲート構造としたも
のである。換言すれば、ソース電極9とドレイン電極8
の上方にゲート電極7が配置される「正スタガー構造」
のアモルファスシリコンTFTを用いたものである。そ
の他の構成は第1実施形態のそれと同じである。
は酸化シリコン層31が形成され、その上にTFT6の
ドレイン電極8およびソース電極9と、データバスライ
ン2と、画素電極4が形成されている。各TFT6のア
モルファスシリコン層10は、対応するドレイン電極8
とソース電極9を跨ぐように酸化シリコン層31上に形
成されている。ドレイン電極8およびソース電極9、デ
ータバスライン2、画素電極4、そしてアモルファスシ
リコン層10は、ゲート絶縁膜11によって覆われてい
る。各TFT6のゲート電極7は、対応するアモルファ
スシリコン層10と重なるようにゲート絶縁膜11上に
形成されている。
型液晶表示装置においても、第1実施形態の場合と同じ
効果が得られることは言うまでもない。
実施形態のアクティブマトリクス型液晶表示装置を示
す。この装置は、図19に明瞭に示すように、第1実施
形態のアクティブマトリクス型液晶表示装置において、
各TFT6をいわゆるトップゲート構造としたものであ
る。換言すれば、ソース電極9とドレイン電極8の上方
にゲート電極7が配置される「正スタガー構造」のポリ
シリコンTFTを用いたものである。その他の構成は第
1実施形態のそれと同じである。
は酸化シリコン層31が形成され、その上にTFT6の
ドレイン電極8およびソース電極9が形成されている。
各TFT6のポリシリコン層10Aは、対応するドレイ
ン電極8とソース電極9を跨ぐように酸化シリコン層3
1上に形成されている。ポリシリコン層10Aの上に
は、ゲート絶縁膜11を介してゲート電極7が形成され
ている。ドレイン電極8およびソース電極9、そして各
TFT6のポリシリコン層10Aとゲート電極7は、層
間絶縁膜12によって覆われている。
タバスライン2が形成されている。ドレイン電極8は、
配線層48を介してデータバスライン2に接続されてい
る。ソース電極9は、配線層49を介して画素電極4に
接続されている。
48,49は、層間絶縁膜12上に形成された層間絶縁
膜42によって覆われている。層間絶縁膜42の上に
は、共通バスライン3と共通電極5が形成されている。
型液晶表示装置においても、第1実施形態の場合と同じ
効果が得られることは言うまでもない。
ードのアクティブマトリクス型液晶表示装置によれば、
新たな電界シールド層を設けることなしに、TFT基板
のような能動素子基板から放射される不要な電界による
悪影響をいっそう抑制できる。また、帯電・分極を起こ
しやすいブラックマトリクスに起因するスミアや映像の
焼き付きを生じない。よって、従来より優れた表示品位
が得られる。
TFTなどの能動素子に対する外光を遮光するようにす
れば、帯電・分極を引き起こしやすいブラックマトリク
スを表示領域(画素)内に形成する必要がなくなる。
ス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電極、
ゲートバスライン、データバスライン、共通電極、共通
バスラインのレイアウトを示す部分平面図である。
ス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電極、
ゲートバスライン、データバスラインのレイアウトを示
す部分平面図である。
ある。
る。
ス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電極、
ゲートバスライン、データバスライン、共通電極、共通
バスラインのレイアウトを示す部分平面図である。
ス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電極、
ゲートバスライン、データバスラインのレイアウトを示
す部分平面図である。
ある。
図である。
ス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電極、
ゲートバスライン、データバスライン、共通電極、共通
バスラインのレイアウトを示す部分平面図である。
クス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電
極、ゲートバスライン、データバスラインのレイアウト
を示す部分平面図である。
る。
である。
クス型液晶表示装置における不要な電界の生成状況を概
略的に示す部分断面図である。
クス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電
極、ゲートバスライン、データバスライン、共通電極、
共通バスラインのレイアウトを示す部分平面図である。
クス型液晶表示装置の各画素におけるTFT、画素電
極、ゲートバスライン、データバスラインのレイアウト
を示す部分平面図である。
図である。
断面図である。
クス型液晶表示装置の全体構造を示す概略図である。
クス型液晶表示装置の各画素における図16と同様の部
分断面図である。
装置の各画素におけるTFT、画素電極、ゲートバスラ
イン、データバスライン、共通電極、共通バスラインの
レイアウトを示す部分平面図である。
図である。
断面図である。
装置に供給される選択信号と映像信号の一例を示す波形
図である。
装置における不要な電界の生成状況を概略的に示す部分
断面図である。
Claims (18)
- 【請求項1】 マトリクス状に配置された複数のTFT
を有する能動素子基板と、 カラーフィルター層を有するカラーフィルター基板と、 前記能動素子基板と前記カラーフィルター基板の間に設
けられると共に、複数の前記TFTによりIPSモード
で動作せしめられる液晶層と、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの行方
向に延在し、且つそのマトリックスの同じ行に属する前
記TFTのゲート電極を電気的に接続する複数のゲート
バスラインと、 前記能動素子基板の複数の画素領域のそれぞれに配置さ
れ、且つ複数の前記TFTのソース電極のそれぞれに電
気的に接続された複数の画素電極と、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの列方
向に延在し、且つそのマトリックスの同じ列に属する前
記TFTのドレイン電極を電気的に接続する複数のデー
タバスラインと、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの列方
向に延在し、且つそのマトリックスの同じ列に属する前
記TFTのドレイン電極のそれぞれと重なるように配置
された複数の共通電極と、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの行方
向に延在すると共に、そのマトリックスの同じ行に属す
る前記TFTのゲートバスラインのそれぞれと重なるよ
うに配置され、しかもそのマトリックスの同じ行に属す
る前記共通電極を電気的に接続する複数の共通バスライ
ンとを備えて構成され、 複数の前記共通電極のそれぞれは、対応する前記データ
バスラインから前記液晶層に向かって放出される不要な
電界を遮断する作用を持ち、しかも、複数の前記共通バ
スラインのそれぞれは、対応する前記ゲートバスライン
から前記液晶層に向かって放出される不要な電界を遮断
する作用を持つことを特徴とするアクティブマトリクス
型液晶表示装置。 - 【請求項2】 前記能動素子基板が、前記複数のTFT
を覆うように形成された層間絶縁膜を備えており、前記
複数の共通電極と前記複数の共通バスラインがその層間
絶縁膜に対して前記液晶層の側に配置され、前記複数の
画素電極と前記複数のデータバスラインがその層間絶縁
膜に対して前記液晶層とは反対側に配置されている請求
項1に記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項3】 前記層間絶縁膜が、低誘電率で分極の少
ない有機膜により形成されている請求項2に記載のアク
ティブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項4】 前記層間絶縁膜が、無機膜と低誘電率で
分極の少ない有機膜との積層体により形成されている請
求項2に記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項5】 前記有機膜がベンゾシクロブテン膜であ
る請求項3または4に記載のアクティブマトリクス型液
晶表示装置。 - 【請求項6】 前記層間絶縁膜が、前記能動素子基板の
複数の画素領域のそれぞれにおいて選択的に除去されて
いる請求項2〜5のいずれかに記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置。 - 【請求項7】 複数の前記共通電極のそれぞれが、対応
する前記TFTを覆っていて、外光が前記TFTに照射
されるのを防ぐ遮光膜として作用する請求項1〜6のい
ずれかに記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項8】 前記カラーフィルター層が、ブラックマ
トリックスを含んでいない請求項7に記載のアクティブ
マトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項9】 マトリクス状に配置された複数のTFT
を有する能動素子基板と、 カラーフィルターを有するカラーフィルター基板と、 前記能動素子基板と前記カラーフィルター基板の間に設
けられると共に、複数の前記TFTによりIPSモード
で動作せしめられる液晶層と、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの行方
向に延在し、且つそのマトリックスの同じ行に属する前
記TFTのゲート電極を電気的に接続する複数のゲート
バスラインと、 前記能動素子基板の複数の画素領域のそれぞれに配置さ
れ、且つ複数の前記TFTのソース電極のそれぞれに電
気的に接続された複数の画素電極と、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの列方
向に延在し、且つそのマトリックスの同じ列に属する前
記TFTのドレイン電極を電気的に接続する複数のデー
タバスラインと、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの列方
向に延在する複数の共通電極と、 前記能動素子基板上で前記TFTのマトリックスの行方
向に延在し、且つそのマトリックスの同じ行に属する前
記共通電極を電気的に接続する複数の共通バスラインと
を備えて構成され、 複数の前記画素電極は、前記TFTのマトリックスの同
じ行に属する前記TFTのゲートバスラインのそれぞれ
と重なると共に、対応する前記データバスラインとも重
なっており、 しかも、複数の前記画素電極のそれぞれは、対応する前
記データバスラインと対応する前記ゲートバスラインか
ら前記液晶層に向かってそれぞれ放出される不要な電界
を遮断する作用を持つことを特徴とするアクティブマト
リクス型液晶表示装置。 - 【請求項10】 前記能動素子基板が、前記複数のTF
Tを覆うように形成された層間絶縁膜を備えており、前
記複数の画素電極がその層間絶縁膜に対して前記液晶層
の側に配置され、前記複数の共通電極と前記複数の共通
バスラインと前記複数のデータバスラインとがその層間
絶縁膜に対して前記液晶層とは反対側に配置されている
請求項9に記載のアクティブマトリクス型液晶表示装
置。 - 【請求項11】 前記層間絶縁膜が、低誘電率で分極の
少ない有機膜により形成されている請求項10に記載の
アクティブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項12】 前記層間絶縁膜が、無機膜と低誘電率
で分極の少ない有機膜との積層体により形成されている
請求項10に記載のアクティブマトリクス型液晶表示装
置。 - 【請求項13】 前記有機膜がベンゾシクロブテン膜で
ある請求項11または12に記載のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置。 - 【請求項14】 前記層間絶縁膜が、前記能動素子基板
の複数の画素領域のそれぞれにおいて選択的に除去され
ている請求項10〜13のいずれかに記載のアクティブ
マトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項15】 複数の前記共通電極のそれぞれが、対
応する前記TFTを覆っていて、外光が前記TFTに照
射されるのを防ぐ遮光膜として作用する請求項9〜14
のいずれかに記載のアクティブマトリクス型液晶表示装
置。 - 【請求項16】 前記カラーフィルター層が、ブラック
マトリックスを含んでいない請求項15に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項17】 複数の前記共通電極のそれぞれが、対
応する前記画素領域を挟む二本のデータバスラインと部
分的に重なっている請求項9〜15のいずれかに記載の
アクティブマトリクス型液晶表示装置。 - 【請求項18】 複数の前記共通電極のそれぞれの形状
が、前記画素領域の形状に対応した略矩形である請求項
9〜15のいずれかに記載のアクティブマトリクス型液
晶表示装置。
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