JP2000046866A - プローバ及びプローブ針接触方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブ針の針圧による撓みを吸収して端子
間の電気的短絡を防止する。 【解決手段】 液晶表示パネル１５の端子２２，２３に
対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針７を前
記端子に正確に接触させて試験を行うプローバである。
プローブ針７の針圧による、プローブ針７と端子２２，
２３との間の傾きを吸収し、互いに正確に接触させる傾
き吸収手段を備えた。傾き吸収手段として、プローブ針
７を支持して昇降させるブロック昇降機構５０、又は可
撓性を有すると共に複数のプローブ針を一体的に支持
し、プローブ針の針圧の大きさに応じて撓み量が変化す
るゲート側又はデータ側のプローブブロック取付部１０
４，１０５によって構成した。ゲート側とデータ側に分
類されたプローブ針群を、針圧の大きい順に前記端子に
接触させ、針圧の小さい順に前記端子から離すようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶板等のよう
に、表面に電気回路が設けられた薄板にプローブ針を接
触させて点灯試験等を行うプローバ及びプローブ針接触
方法に関し、特にプローブ針の接触時の針圧による不具
合を解消したプローバ及びプローブ針接触方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、プローバは、図２に示すよう
に、主に架台１と、本体３とから構成されている。

【０００３】架台１は本体３をその下側から支持する部
材である。即ち、架台１の上に本体３が設置されてい
る。この架台１の内部には装置全体を制御するコントロ
ールボックス２が設けられている。

【０００４】本体３は、図中の右側に設けられたパネル
セット部５と、図中の左側に設けられたワークテーブル
部９とを有して構成されている。

【０００５】パネルセット部５は、ワークテーブル部９
で検査する液晶表示パネル１５を取り付ける部分であ
る。パネルセット部５にはワークテーブル４が取り付け
られている。このワークテーブル４は、パネルセット部
５とワークテーブル部９との間で移動できるようになっ
ており、パネルセット部５に位置するときに液晶表示パ
ネル１５が取り付けられ、ワークテーブル部９に送られ
るようになっている。ワークテーブル４には、液晶表示
パネル１５を真空引きによって保持するための真空引き
機構（図示せず）が設けられている。パネルセット部５
の上部には、液晶表示パネル１５に刻まれたアライメン
トマークを映し出すためのＣＲＴ６が設けられている。

【０００６】ワークテーブル部９は、液晶表示パネル１
５の点灯試験を行う部分である。このワークテーブル部
９は、アライメントステージ１３と、コンタクトＺステ
ージ１４と、ワークテーブル４とを備えて構成されてい
る。アライメントステージ１３は、Ｘ，Ｙ，θステージ
によって構成され、Ｘ，Ｙ，θ方向の調整を行う。コン
タクトＺステージ１４は、ワークテーブル４を支持して
Ｚ方向の調整を行う。コンタクトＺステージ１４はアラ
イメントステージ１３に取り付けられてＸ，Ｙ，θ方向
に移動される。これにより、ワークテーブル４は、アラ
イメントステージ１３及びコンタクトＺステージ１４に
よってＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向の調整が行われるようになっ
ている。さらに、アライメントステージ１３は移動機構
（図示せず）に取り付けられている。ワークテーブル４
は、アライメントステージ１３及びコンタクトＺステー
ジ１４を介してこの移動機構に支持され、パネルセット
部５とワークテーブル部９との間を移動するようになっ
ている。この移動機構により、ワークテーブル４がパネ
ルセット部５に移動されたときに液晶表示パネル１５が
取り付けられ、この液晶表示パネル１５を支持したワー
クテーブル４がワークテーブル部９へ搬送されて、アラ
イメントステージ１３等でアライメント動作及びコンタ
クト動作が行われるようになっている。

【０００７】これら、ワークテーブル４、アライメント
ステージ１３及びコンタクトＺステージ１４は傾斜して
設けられている。これにより、液晶表示パネル１５が、
ワークテーブル４に傾斜して取り付けられ、試験中の視
認性を向上させている。

【０００８】ワークテーブル部９には、ベースプレート
１２が、ワークテーブル４に面した状態で傾斜して設け
られている。このベースプレート１２は、ワークテーブ
ル４に対して一定間隔をおいて配設されている。ベース
プレート１２の中央部には大きな四角形の開口が設けら
れ、後述のプローブベース１６を支持するようになって
いる。

【０００９】ベースプレート１２の外側面（図３中の左
側面）にはプローブユニット１０が取り付けられてい
る。このプローブユニット１０は、プローブベース１６
と、プローブブロック１１とから構成されている。プロ
ーブベース１６は、ベースプレート１２の開口に対応し
た四角形の開口が設けられ、それらの開口が整合した状
態でベースプレート１２に直接固定される。プローブブ
ロック１１は、その先端部（下端部）でプローブ針７を
支持している。具体的には、複数のプローブ針７を並列
に整合した状態で一体的に支持している。このプローブ
ブロック１１は、プローブベース１６の四角形の開口の
隣り合う辺に複数個配設されている。具体的には、図２
中の四角形開口の左側の短辺（液晶表示パネル１５のゲ
ート側端子２２側の辺）に３個、四角形開口の下側の長
辺（液晶表示パネル１５のデータ側端子２３側の辺）に
６個のプローブブロック１１がそれぞれ設けられてい
る。なお、ここではプローブブロック１１が短辺に３
個、長辺に６個設けられているが、これは一例であり、
２個以下４個以上、５個以上７個以上の場合もある。

【００１０】ベースプレート１２の上方両側には、液晶
表示パネル１５と各プローブブロック１１との位置決め
を行うアライメントカメラ８が２つ設けられている。各
アライメントカメラ８は、液晶表示パネル１５に刻まれ
たアライメントマークを撮影し、ＣＲＴ６に映し出す。

【００１１】以上のように構成されたプローブユニット
は、コントロールボックス２の制御によって次のように
動作する。

【００１２】ワークテーブル４は予めパネルセット部５
側に移動されている。このワークテーブル４に、検査を
行う液晶表示パネル１５が載置されると、真空引き機構
によってこの液晶表示パネル１５が固定される。

【００１３】ワークテーブル４は、液晶表示パネル１５
を固定した状態で、ワークテーブル部９側へ移動され
る。ワークテーブル部９では、アライメントカメラ８で
撮影されたアライメントマークを基に、アライメントス
テージ１３で位置決めが行われる。位置決めが終了する
と、コンタクトＺステージ１４でワークテーブル４が上
昇され、各プローブブロック１１のプローブ針７が、液
晶表示パネル１５のゲート側端子２２及びデータ側端子
２３に接触される。プローブ針７とゲート側端子２２等
が互いに接触した時点で、ワークテーブル４がさらに僅
かに上昇されて、いわゆるオーバードライブがかけられ
る。

【００１４】次に、液晶表示パネル１５の点灯検査が行
われる。点灯検査が完了すると、コンタクトＺステージ
１４によってワークテーブル４が下降されて、パネルセ
ット部５に移動される。次いで、液晶表示パネル１５の
真空固定が解除され、ワークテーブル４から取り外され
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】前記構成のプローバに
おいては、ワークテーブル４が上昇して、液晶表示パネ
ル１５のゲート側端子２２及びデータ側端子２３と、各
プローブブロック１１のプローブ針７とが接触した状態
で、オーバードライブがかかると、これらの間に大きな
圧力が生じる。特に、プローブブロック１１が６個設け
られたデータ側端子２３側に大きな圧力がかかる。例え
ば、データ側端子２３側に２０〜３０ｋｇｆの圧力がか
かってしまう。

【００１６】この圧力は、そのまま反力として、プロー
ブブロック１１を介して、プローブベース１６及びベー
スプレート１２に作用する。これにより、図４に示すよ
うに、プローブベース１６及びベースプレート１２が山
型に撓んでしまう。

【００１７】このように、プローブベース１６及びベー
スプレート１２が山型に撓むと、ゲート側端子２２の３
個のプローブブロック１１が液晶表示パネル１５に対し
て傾いてしまう。これにより、液晶表示パネル１５のゲ
ート側端子２２と、これに接触する各プローブブロック
１１のプローブ針７との位置がずれてしまう。

【００１８】この現象は、各プローブブロック１１のプ
ローブ針７がゲート側端子２２及びデータ側端子２３に
それぞれ接触した状態で、オーバードライブをかけたと
きに生じる。このとき、ゲート側端子２２に接触したプ
ローブブロック１１のプローブ針７は、オーバードライ
ブにより、プローブベース１６等が撓む前にゲート側端
子２２に強く押し付けられるため、図５に示すように、
ゲート側端子２２に針キズ１７を付く。

【００１９】さらに、点灯検査が完了すると、ワークテ
ーブル４が下降されて、各プローブ針７がゲート側端子
２２及びデータ側端子２３から離れていくが、その前に
プローブベース１６及びベースプレート１２に作用して
いた反力が小さくなる。即ち、プローブ針７がゲート側
端子２２等から離れる前に、プローブベース１６及びベ
ースプレート１２の山型の撓みが減少するため、プロー
ブ針７と液晶表示パネル１５との傾きがもとの状態に戻
る。このとき、ゲート側端子２２側の各プローブ針７
は、傾きがもとに戻るに従ってゲート側端子２２に斜め
方向に針キズ１８を付けてしまう。そして、この針キズ
１８は、数十ミクロンの間隔で並ぶ各ゲート側端子２２
の間の絶縁膜１９を越えて隣のゲート側端子２２にまで
及ぶことがある。この場合は、絶縁膜１９の一部が壊れ
てしまい、後で行うボンディングにおいてハンダ漏れが
発生して隣接するゲート側端子２２が電気的に短絡して
しまうという問題点がある。

【００２０】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、多数のプローブ針の接触に伴う圧力による撓
みを吸収して端子間の電気的短絡を確実に防止できるプ
ローバ及びプローブ針接触方法を提供することを目的と
する。

【００２１】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係るプロー
バは、検査対象である薄板の複数の端子にそれぞれ対応
して複数本を一体的に支持されたプローブ針を前記端子
に正確に接触させて試験を行うプローバにおいて、前記
プローブ針の針圧による、プローブ針と前記薄板の端子
との間の傾きを吸収し、互いに正確に接触させる傾き吸
収手段を備えたことを特徴とする。

【００２２】前記構成により、プローブ針の針圧によ
り、プローブ針と薄板の端子との間に傾きが生じたと
き、傾き吸収手段がその傾きを吸収する。この結果、プ
ローブ針と薄板の端子とが、針圧による影響を受けるこ
となく、互いに正確に接触する。

【００２３】第２の発明に係るプローバは、前記傾き吸
収手段が、前記プローブ針を支持して昇降させる昇降機
構によって構成されたことを特徴とする。

【００２４】前記構成により、傾き吸収手段を構成する
昇降機構がプローブ針を支持して昇降させる。これによ
り、昇降機構で支持されていないプローブ針の端子への
接触で撓みが生じる場合は、昇降機構で支持したプロー
ブ針を、他のプローブ針よりも高い位置で支持し、他の
プローブ針が端子に接触して撓みが生じた後に、昇降機
構でプローブ針を降下させて端子に接触させる。この結
果、撓みによるプローブ針のずれで、端子の周辺が傷つ
くのを防止することができる。

【００２５】第３の発明に係るプローバは、前記傾き吸
収手段が、可撓性を有すると共に複数のプローブ針を一
体的に支持し、プローブ針の針圧の大きさに応じて撓み
量が変化するプローブ針取付部によって構成されたこと
を特徴とする。

【００２６】前記構成により、プローブ針取付部で一体
的に支持されたプローブ針が端子に接触すると、プロー
ブ針の針圧の反力がプローブ針取付部に及ぶ。プローブ
針取付部はこの反力によって撓み、プローブ針の針圧を
吸収する。プローブ針の針圧が大きい場合はそれに応じ
て撓み量が大きくなる。

【００２７】第４の発明に係るプローバは、前記傾き吸
収手段が、複数群に分類されたプローブ針群によって構
成され、これらプローブ針群のうち、針圧の大きいプロ
ーブ針群の前記薄板に対する高さを低く、針圧の小さい
プローブ針群の高さを高くしたことを特徴とする。

【００２８】前記構成により、針圧の大きいプローブ針
群が端子に接触すると、その針圧に対応して反力も大き
いため、各部が撓む。このとき、針圧の小さいプローブ
針群は、高い位置に支持されているため、各部が撓むま
で端子に接触しない。このとき、針圧の小さいプローブ
針群の高さは、針圧の大きいプローブ針群による各部が
十分に撓んだ後に接触する程度に設定される。これによ
り、端子に接触したプローブ針が撓みによって端子やそ
の周辺を傷つけてしまうことがなくなる。

【００２９】第５の発明に係るプローブ針接触方法は、
検査対象である薄板の複数の端子にそれぞれ対応して複
数本を一体的に支持されたプローブ針を前記端子に正確
に接触させて試験を行うプローバにおいて、配列位置で
複数群に分類され、各群同士で互いに独立して可動し得
るプローブ針群を、針圧の大きい順に前記薄板の端子に
接触させ、針圧の小さい順に前記薄板の端子から離すこ
とを特徴とする。

【００３０】前記構成により、プローブ針群を前記薄板
の各端子に接触させるとき、針圧の大きいプローブ針群
から順に端子に接触させることで、早い段階で各部の撓
みを生じさせる。プローブ針群を薄板の端子から離すと
きは、針圧の小さいプローブ針群から順に離すことで、
各部の撓みがもとに戻る前に針圧の小さいプローブ針群
を端子から離すことができる。これにより、端子及びそ
の周辺に針キズが付くのを防止することができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るプローバ及び
プローブ針接触方法について、添付図面を参照しながら
説明する。

【００３２】［第１実施形態の構成］本実施形態では、
プローバ及びプローブ針接触方法について説明する。図
１は本実施形態に係るプローバの要部を示す要部斜視
図、図６から図８は本実施形態に係るプローバのプロー
ブ針接触方法を示す動作説明図である。

【００３３】本実施形態に係るプローバの全体構成は、
前記従来のプローバとほぼ同様であるので、同一部材に
は同一符号を付してその説明を省略する。

【００３４】本実施形態のプローバの特徴は、ゲート側
端子２２側の３個のプローブブロック５７の取り付け構
造を改良した点にある。プローブベース５６の全体構成
は前記従来のプローバと同様である。また、データ側端
子２３側のプローブブロック１１の構成も前記従来のプ
ローバと同様である。

【００３５】ゲート側端子２２側のプローブブロック５
７は傾き吸収手段としてのブロック昇降機構５０に支持
されている。このブロック昇降機構５０は、プローブブ
ロック５７の昇降を案内するリニアガイド取付板５１及
びリニアガイド５２と、プローブブロック５７を昇降さ
せるエアーシリンダ５３及びシリンダ取付ブロック５４
と、各プローブブロック５７を一体的に支持するプロー
ブブロック取付板５５とから構成されている。

【００３６】リニアガイド取付板５１は、プローブベー
ス５６の上面に対向して一対設けられている。各リニア
ガイド取付板５１の内側面には、互いに対向させて２つ
のリニアガイド５２が設けられている。各リニアガイド
５２にプローブブロック取付板５５が固定されている。
これにより、プローブブロック取付板５５は、リニアガ
イド５２に案内されて昇降するようになっている。

【００３７】シリンダ取付ブロック５４は、プローブブ
ロック取付板５５の近傍において、プローブブロック取
付板５５の上側面の中央部に臨ませて設けられている。
このシリンダ取付ブロック５４の基端部はプローブベー
ス５６に固定されている。このシリンダ取付ブロック５
４の上端部にはエアーシリンダ５３がプローブブロック
取付板５５に臨ませた状態で取り付けられている。この
エアーシリンダ５３のピストン部５３Ａの下端部がプロ
ーブブロック取付板５５の上側面中央部に固定されてい
る。エアーシリンダ５３は、コントロールボックス２に
接続され、アライメントステージ１３及びコンタクトＺ
ステージ１４と共に制御される。エアーシリンダ５３に
は、圧縮空気の供給源（図示せず）が接続され、電磁弁
（図示せず）等によって制御されている。

【００３８】プローブブロック５７は、基端側水平棒部
５７Ａと、先端側垂直棒部５７Ｂとからなり、全体をＬ
字型に形成されている。先端側垂直棒部５７Ｂの先端部
（下端部）には、多数本並列に配設されたプローブ針７
が取り付けられている。このプローブブロック５７の基
端側水平棒部５７Ａがプローブブロック取付板５５の下
側面に固定されている。このプローブブロック５７は、
エアーシリンダ５３による高さの調整で、ゲート側端子
２２側であるブロック昇降機構５０に支持されたプロー
ブ針７の高さが、データ側端子２３側のプローブ針７の
高さよりも高くなるように支持される。この高さの違い
は、データ側端子２３側の各プローブ針７がデータ側端
子２３に接触した後オーバードライブがかかってプロー
ブベース５６等がほぼ撓んでしまった状態（望ましく
は、完全に撓みきった状態）でも、ゲート側端子２２側
のプローブ針７がゲート側端子２２に接触しない程度に
設定されている。

【００３９】［動作］予めパネルセット部５側に移動さ
れているワークテーブル４に液晶表示パネル１５を載置
し、真空引き機構によって固定する。

【００４０】ワークテーブル４は、液晶表示パネル１５
を固定した状態で、ワークテーブル部９側へ移動され
る。ワークテーブル部９では、アライメントマークを基
に、アライメントステージ１３で位置決めが行われる。
位置決めが終了すると、図６の状態から、コンタクトＺ
ステージ１４でワークテーブル４が上昇されて、図７に
示すように、データ側端子２３側（図７中の左側）の各
プローブブロック５７のプローブ針７が、液晶表示パネ
ル１５のデータ側端子２３に接触される。このとき、ゲ
ート側端子２２側（ブロック昇降機構５０に支持された
側）のプローブ針７はまだ接触していない。

【００４１】この状態でワークテーブル４が僅かに上昇
されて、データ側端子２３と接触したプローブ針７にオ
ーバードライブがかけられる。これにより、プローブ針
７の針圧でプローブベース５６及びベースプレート１２
が山型に撓む。このとき、ゲート側端子２２側のプロー
ブ針７はまだ接触していない。即ち、針圧の大きい順に
プローブ針７が接触される。

【００４２】次いで、図８に示すように、エアーシリン
ダ５３が作動されてプローブブロック取付板５５に取り
付けられたプローブブロック５７が下降される。これに
より、プローブブロック５７の各プローブ針７がゲート
側端子２２に接触する。さらに、エアーシリンダ５３が
作動されてオーバードライブがかけられる。

【００４３】次に、液晶表示パネル１５の点灯検査が行
われる。点灯検査が完了すると、まずエアーシリンダ５
３が作動されてプローブブロック５７が上昇され、ゲー
ト側端子２２に接触しているプローブ針７が離される。
即ち、針圧の小さい順にプローブ針７が離される。この
ため、ゲート側端子２２に接触しているプローブ針７
は、プローブベース５６等の撓みが戻る前に、ゲート側
端子２２から離される。

【００４４】次いで、ワークテーブル４が下降されてデ
ータ側端子２３に接触しているプローブ針７がデータ側
端子２３が離される。その後、ワークテーブル４がパネ
ルセット部５に移動され、真空固定が解除される。次い
で、液晶表示パネル１５がワークテーブル４から取り外
されて、点灯検査作業が終了する。

【００４５】なお、データ側端子２３側のプローブ針７
のオーバードライブによりプローブベース５６等が撓む
と、ゲート側端子２２側のプローブ針７とゲート側端子
２２との位置が多少ずれる。このずれは各プローバによ
って微妙に異なるため、各装置毎に実際にオーバードラ
イブをかけてずれを生じさせ、それぞれのずれに合わせ
てゲート側端子２２側とプローブ針７との相対的位置調
整を行う。

【００４６】［効果］以上のように、ブロック昇降機構
５０を設けると共に、針圧の大きいデータ側端子２３側
のプローブ針７を先に接触させてプローブベース５６等
を予め撓ませてからブロック昇降機構５０でゲート側端
子２２側のプローブ針７をゲート側端子２２に接触さ
せ、さらに針圧の小さいゲート側端子２２側のプローブ
針７をプローブベース５６等の撓みがもとに戻る前にゲ
ート側端子２２から離すようにしたので、オーバードラ
イブをかけたとき又は解除したときに、ゲート側端子２
２側のプローブ針７がゲート側端子２２に接触した状態
でずれて針キズ１８を付けてしまうことがなくなる。こ
れにより、端子間の絶縁膜１９が壊されることがなくな
り、ボンディング時にハンダ漏れによる端子間の電気的
短絡を防止することができる。

【００４７】［第２実施形態］次に、本発明の第２実施
形態を図９に基づいて説明する。なお、本実施形態に係
るプローブユニットの全体構成は、前記従来のプローブ
ユニットとほぼ同様であるため、同一部材には同一符号
を付してその説明を省略する。

【００４８】本実施形態のプローバの特徴はプローブユ
ニット１００の構成を改良した点にある。即ち、可撓性
を有すると共に複数のプローブ針７を一体的に支持し、
プローブ針７の針圧の大きさに応じて撓み量が変化する
プローブ針取付部として、ゲート側プローブブロック取
付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５
を設けた点にある。

【００４９】本実施形態のプローブベース１０２は、全
体的には従来のプローブベース１６と同様である。即
ち、プローブベース１０２は、全体を四角形状に形成さ
れ、その中央部に四角形の開口が設けられている。この
プローブベース１０２のうち、液晶表示パネル１５のゲ
ート側端子２２に対応する位置に３個のプローブブロッ
ク１１が、データ側端子２３に対応する位置に６個のプ
ローブブロック１１がそれぞれ設けられている。そし
て、これら３個及び６個のプローブブロック１１を挟む
両端位置にはそれぞれスリット１０３が設けられて、ゲ
ート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プロ
ーブブロック取付部１０５が形成されている。これらゲ
ート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プロ
ーブブロック取付部１０５は、前記３個及び６個の各プ
ローブブロック１１を一体的に支持して全体が同時に撓
み得るようになっている。これらゲート側プローブブロ
ック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部
１０５は、各プローブブロック１１を一体的に支持した
状態で、プローブ針７の針圧に応じた量の上下方向への
撓みを許容すると共に、ねじれも許容できるように、そ
の強度が設定されている。

【００５０】［動作］以上のように構成されたプローブ
ユニットは、次のように動作する。

【００５１】全体的な動作は前記第１実施形態の場合と
同様であるので、ここではワークテーブル部９における
動作のみを説明する。

【００５２】ワークテーブル部９においては、ワークテ
ーブル４が上昇して、ゲート側端子２２及びデータ側端
子２３に各プローブ針７がそれぞれ接触され、オーバー
ドライブがかけられる。これにより、ゲート側端子２２
及びデータ側端子２３に、各プローブ針７による針圧が
作用し、その反作用が各プローブブロック１１を介し
て、ゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ
側プローブブロック取付部１０５に及ぶ。各取付部１０
４，１０５は、各プローブ針７の針圧の反力を受けて撓
み、その反力を吸収する。特に、データ側プローブブロ
ック取付部１０５側は６個のプローブブロック１１を有
するため、ゲート側プローブブロック取付部１０４より
も大きな反力が作用する。このため、データ側プローブ
ブロック取付部１０５が、ゲート側プローブブロック取
付部１０４よりも大きく撓んで、反力を吸収する。即
ち、データ側プローブブロック取付部１０５が大きく撓
むことで、このデータ側プローブブロック取付部１０５
のプローブ針７と液晶表示パネル１５との間の傾斜を吸
収して、プローブ針７のゲート側端子２２等への接触状
態を維持して、プローブ針７のずれを防ぐ。

【００５３】これにより、各プローブ針７がゲート側端
子２２及びデータ側端子２３に正確に接触して、点灯試
験が行われる。

【００５４】試験終了後に、ワークテーブル４が下降さ
れるが、このときは、まずゲート側プローブブロック取
付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５
の撓みがもとに戻る。その後に、各プローブ針７がゲー
ト側端子２２及びデータ側端子２３から離れる。

【００５５】［効果］以上のように、各プローブ針７の
針圧による反力（反作用）をゲート側プローブブロック
取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０
５を撓ませることで吸収するようにしたので、プローブ
ベース１０２等が撓むのを防止することができる。これ
により、オーバードライブをかけたとき又は解除したと
きに生じるプローブ針７のずれ、即ち、プローブ針７の
針圧でプローブベース１０２等が撓んだり、撓みが解消
したりしたときにゲート側端子２２及びデータ側端子２
３に接触した状態で生じるプローブ針７のずれを防止す
ることができる。この結果、プローブ針７で端子間の絶
縁膜１９が壊されることがなくなり、ボンディング時に
ハンダ漏れによる端子間の電気的短絡を防止することが
できる。

【００５６】［変形例］ （１） 前記各実施形態では、液晶表示パネル１５を例
に説明したが、本発明はこれに限らず、検査時にオーバ
ードライブによるプローブ針７のずれを防止する必要の
ある薄板であれば、本発明を適用することにより、前記
同様の作用、効果を奏することができる。

【００５７】（２） 前記第１実施形態では、ブロック
昇降機構５０をゲート側端子２２側に設けたが、データ
側端子２３側に設けてもよい。ゲート側端子２２及びデ
ータ側端子２３の両方に設けてもよい。これらによって
も、前記第１実施形態同様の作用、効果を奏することが
できる。

【００５８】（３） 前記第１実施形態では、ブロック
昇降機構５０によって３個のプローブブロック１１をリ
ニアガイド５２に案内されたプローブブロック取付板５
５に支持した状態でそのまま昇降させるようにしたが、
ブロック昇降機構５０に傾斜角度を補正する手段を設け
てもよい。即ち、液晶表示パネル１５とプローブ針７と
の傾き（具体的には、ワークテーブル４とプローブベー
ス５６との傾き）を電気的、光学的、機械的又はその他
の手段で検出して、その傾きに応じてプローブブロック
取付板５５を補正する手段を設けてもよい。具体的に
は、プローブベース５６とワークテーブル４との距離
を、２カ所以上で、近接センサやレーザ光等を用いて検
出し、その差から傾きを検出する。エアーシリンダ５３
を２個設けて、それぞれのピストン部５３Ａの延出量
を、センサ等で検出した傾きに合わせて調整すること
で、プローブブロック取付板５５の傾きを補正して、液
晶表示パネル１５のゲート側端子２２と各プローブ針７
とを整合させる。これによっても、前記第１実施形態同
様の作用、効果を奏することができる。

【００５９】（４） 前記第１実施形態では、傾き吸収
手段としてプローブ針７を昇降させるブロック昇降機構
５０を設け、プローブ針７の位置を検査時に可変できる
ようにしたが、ゲート側端子２２側とデータ側端子２３
側のプローブ針７の高さを予め調整して固定するように
してもよい。この場合、傾き吸収手段は、ブロック昇降
機構５０の構成のままでもよく、エアーシリンダ５３を
ネジ機構等に置き換えてもよい。単純に、ネジ機構だけ
の構成でもよい。

【００６０】この場合の高さの違いは、データ側端子２
３側の各プローブ針７がデータ側端子２３に接触した後
オーバードライブがかかり始めてプローブベース１６等
がほぼ撓んでしまった後（望ましくは、完全に撓みきっ
た後）に、ゲート側端子２２側のプローブ針７がゲート
側端子２２に接触して十分なオーバードライブがかかる
程度に設定される。即ち、オーバードライブによってワ
ークテーブル４が数十ミクロン程度上昇されるが、その
上昇行程の最終段階（オーバードライブでプローブベー
ス１６等が撓んだ後）でゲート側端子２２側のプローブ
針７がゲート側端子２２に接触して十分なオーバードラ
イブがかかる程度に、各プローブ針７の高さが設定され
る。この高さ設定は、プローブ針７の本数、強度、撓む
ときのストローク長、プローブベース１６及びベースプ
レート１２の剛性等によって異なるため、それぞれのプ
ローブユニットに応じて設定される。

【００６１】（５） 前記第１実施形態では、ブロック
昇降機構５０のプローブブロック取付板５５を昇降させ
る手段としてエアーシリンダ５３を用い、空気圧によっ
てプローブブロック取付板５５を昇降させるようにした
が、油圧等の他の流体圧を用いてもよい。また、モータ
を用いてプローブブロック取付板５５を昇降させるよう
にしてもよい。

【００６２】（６） 前記第２実施形態では、スリット
１０３を形成して、傾き吸収手段としてのゲート側プロ
ーブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロッ
ク取付部１０５を構成したが、ゲート側プローブブロッ
ク取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１
０５をプローブベース１０２から内側へ向けて突出させ
て形成してもよい。この場合、プローブベース１０２の
開口は、内側へ向けて突出形成されたゲート側プローブ
ブロック取付部１０４等に合わせて、大きく成形され
る。

【００６３】また、傾き吸収手段は、プローブ針７の針
圧による反力を吸収して撓む構成であればよいため、プ
ローブ針７を支持するプローブブロック１１自体が可撓
性を有する構成にしてもよい。この場合、プローブブロ
ック１１自体が傾き吸収手段となる。

【００６４】

【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
次のような効果を奏する。

【００６５】プローブ針の針圧による、プローブ針と前
記薄板の端子との間の傾きを吸収し、互いに正確に接触
させる傾き吸収手段を備えた傾き吸収手段を設けたの
で、プローブ針にオーバードライブをかけたとき又は解
除したときに、プローブ針が端子に接触した状態で大き
くずれてしまうことがなくなる。この結果、端子及びそ
の周囲の破損を防止でき、端子間の電気的短絡を防止す
ることができる。

【００６６】また、本発明の方法により、複数群に分類
されたプローブ針を、各群同士で互いに独立して可動し
うるようにして、各プローブ針群を、針圧の大きい順に
薄板の端子に接触させ、針圧の小さい順に薄板の端子か
ら離すようにしたので、前記同様に、プローブ針にオー
バードライブをかけたとき又は解除したときに、プロー
ブ針が端子に接触した状態で大きくずれてしまうことが
なくなり、端子及びその周囲の破損、端子間の電気的短
絡を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るプローバの要部を
示す要部斜視図である。

【図２】従来のプローバを示す正面図である。

【図３】従来のプローバを示す側面図である。

【図４】従来のプローバにおいて、ベースプレート及び
プローブベースが針圧で撓んだ状態を示す要部断面図で
ある。

【図５】従来のプローバにおいて、プローブ針がゲート
側端子に接触して針キズが付いた状態を示す模式図であ
る。

【図６】本発明の第１実施形態に係るプローバの各プロ
ーブ針が接触していない状態を示す要部拡大図である。

【図７】本発明の第１実施形態に係るプローバのデータ
側端子側のプローブ針が接触した状態を示す要部拡大図
である。

【図８】本発明の第１実施形態に係るプローバのゲート
側端子及びデータ側端子のプローブ針が接触した状態を
示す要部拡大図である。

【図９】本発明の第２実施形態に係るプローバのプロー
ブユニットを示す平面図である。

【符号の説明】

１：架台、２：コントロールボックス、３：本体、４：
ワークテーブル、５：パネルセット部、６：ＣＲＴ、
７：プローブ針、８：アライメントカメラ、９：ワーク
テーブル部、１０：プローブユニット、１１：プローブ
ブロック、１２：ベースプレート、１３：アライメント
ステージ、１４：コンタクトＺステージ、１５：液晶表
示パネル、１６：プローブベース、１７，１８：針キ
ズ、１９：絶縁膜、２２：ゲート側端子、２３：データ
側端子、５０：ブロック昇降機構、５１：リニアガイド
取付板、５２：リニアガイド、５３：エアーシリンダ、
５４：シリンダ取付ブロック、５５：プローブブロック
取付板、５６：プローブベース、５７：プローブブロッ
ク、１００：プローブユニット、１０２：プローブベー
ス、１０３：スリット、１０４：ゲート側プローブブロ
ック取付部、１０５：データ側プローブブロック取付
部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 吉伸 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 福士 俊雄 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G011 AA15 AC06 AC14 AE03 AE22 2G032 AA00 AF02 AF04 AL03 2H088 FA12 HA02 4M106 AA20 BA01 BA14 CA19 DD04 DD05 DD06 DD12 DD13

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象である薄板の複数の端子にそれ
   ぞれ対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針を
   前記端子に正確に接触させて試験を行うプローバにおい
   て、 前記プローブ針の針圧による、プローブ針と前記薄板の
   端子との間の傾きを吸収し、互いに正確に接触させる傾
   き吸収手段を備えたことを特徴とするプローバ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のプローバにおいて、 前記傾き吸収手段が、前記プローブ針を支持して昇降さ
   せる昇降機構によって構成されたことを特徴とするプロ
   ーバ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のプローバにおいて、 前記傾き吸収手段が、可撓性を有すると共に複数のプロ
   ーブ針を一体的に支持し、プローブ針の針圧の大きさに
   応じて撓み量が変化するプローブ針取付部によって構成
   されたことを特徴とするプローバ。
4. 【請求項４】 請求項１に記載のプローバにおいて、 前記傾き吸収手段が、複数群に分類されたプローブ針群
   によって構成され、これらプローブ針群のうち、針圧の
   大きいプローブ針群の前記薄板に対する高さを低く、針
   圧の小さいプローブ針群の高さを高くしたことを特徴と
   するプローバ。
5. 【請求項５】 検査対象である薄板の複数の端子にそれ
   ぞれ対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針を
   前記端子に正確に接触させて試験を行うプローバにおい
   て、 配列位置で複数群に分類され、各群同士で互いに独立し
   て可動し得るプローブ針群を、針圧の大きい順に前記薄
   板の端子に接触させ、針圧の小さい順に前記薄板の端子
   から離すことを特徴とするプローバのプローブ針接触方
   法。