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EP1731766A2 - Statorscheibe für Turbomolekularpumpe - Google Patents

Statorscheibe für Turbomolekularpumpe Download PDF

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Publication number
EP1731766A2
EP1731766A2 EP06009899A EP06009899A EP1731766A2 EP 1731766 A2 EP1731766 A2 EP 1731766A2 EP 06009899 A EP06009899 A EP 06009899A EP 06009899 A EP06009899 A EP 06009899A EP 1731766 A2 EP1731766 A2 EP 1731766A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
stator
disc
blade
blades
web
Prior art date
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EP06009899A
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EP1731766A3 (de
EP1731766B1 (de
Inventor
Tobias Stoll
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
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Filing date
Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2230/00—Manufacture
    • F05B2230/10—Manufacture by removing material

Definitions

  • the invention relates to a stator disk for use with a turbomolecular pump according to the preamble of the first claim.
  • rotor and stator disks are alternately arranged, with the rotor disks sitting on a high-speed shaft.
  • the stator discs are mounted stationary in a housing. Both types of discs have blades, which in combination with the fast rotation, the pumping action is generated. It is known to make the blades of both types of discs by milling from a solid disc. This is time consuming and expensive, which is why we used stamped discs for the stator disks.
  • Such discs are for example from the German patent application DE-OS 37 22 164 known. Here, first full discs are punched from a sheet.
  • the object of the invention is to avoid these disadvantages of the prior art, in particular, to allow more cost-effective production tools and to achieve a higher accuracy of the stator. High degrees of deformation should be avoided.
  • stator which is designed according to the features of the first claim. Furthermore, it is achieved by a manufacturing method having the features of claim six.
  • the stator disc according to the invention has an inner ring, an outer ring and blades arranged therebetween. Between the blades and the rings in each case webs are formed in the radial direction, whose depth in the circumferential direction is smaller than the blade depth.
  • a stator disk has less material regions which are to be reshaped and, moreover, have a lower degree of deformation. Therefore, the stresses in the component are significantly reduced and the Richtaufwand eliminated. This results in a higher achievable accuracy of the component dimensions. Since lower forces are required for forming and fewer operations, less expensive tools can be used. The proportion of tool costs to the component costs decreases, the adaptation of the stator to the vacuum technical requirements is thus more economical.
  • stator disk according to the invention in a turbomolecular pump leads to a reduction in the gap within the pump and thus to an improvement in the pumping action.
  • semicircular disks having substantially radial slots are first produced by punching or laser cutting. Subsequently, the material is bent between the radial slots so that it is rotated out of the plane of the disc, so that blades are formed.
  • the method is characterized in that in one of the steps before bending at the ends of the radial slots further slots are generated in the circumferential direction.
  • stator disk according to the characterizing features of subclaims 2 to 4 and adapting the method according to the characterizing features of subclaims 7.
  • the depth of the web in the circumferential direction is limited in the maximum in that the deformation and material tension increases with increasing depth. At a minimum, it is limited by the strength and heat transport. The strength must allow mechanical loads on the web, for example, by a strong pressure gradient across the disc. In addition, the web must have a sufficient cross section, which allows a sufficient heat transfer. It is advantageous to choose the web width in relation to the blade width in the range of one to ten to one to two.
  • Advantages in the manufacturing process can be achieved by turning the blades together out of the window plane in one step. This saves valuable processing time.
  • turbomolecular pump 10 with a housing 11. This has a flange 12 for connection to a recipient to be evacuated. In the flange is the suction region 13. Further, the turbomolecular pump 10 has a gas outlet 14 from which the compressed gas is discharged.
  • a rotor shaft 15 is rotatably supported by bearings 17 and set by a drive 18 in rapid rotation.
  • the rotor shaft carries a plurality of discs 16, which are each provided with blades. Between the rotor disks fixed stator disks 1 are arranged, which also have blades. The stator discs are held by spacers 19 at an axial distance. Due to the fast rotation and the interaction of the rotor and the stator discs results in the pumping action.
  • FIG. 2 shows a top view of a stator disk 1 according to the invention used in the turbomolecular pump 10.
  • the stator consists of two half-discs 6 and 7, which are placed in each case from one side around the shaft of the rotor during assembly in the turbomolecular pump.
  • the stator disk has an outer ring 4, on which it is held in the housing of the turbomolecular pump, and an inner ring 3.
  • Between the rings a plurality of blades 2 is arranged.
  • the blades are formed by substantially radial slots 8 and slots in the circumferential direction 9 are generated in the solid material. This can be done by punching or by cutting.
  • 9 webs 5 are formed at the connection points between the rings and the blades.
  • the depth of cut in the circumferential direction is indicated by S, the blade depth by T. In this case, the blade depth T is greater than the depth of cut S.
  • FIG. 3 shows a perspective view of a detail of the stator disk 1, which illustrates the deformation due to the exhibiting of the blades from the disk plane.
  • the web is the fifth arranged.
  • the depth in the circumferential direction S is smaller than the blade depth T, the amount of material to be deformed is reduced.
  • the web also has a radial extent R on.
  • the deformation area along the circumference is as large as the depth T. Especially with a strong inclination of the blade against the disk plane, there is a very high deformation of the material with the disadvantages described above.
  • the sizes S and R can not be chosen arbitrarily small.
  • the geometrical dimension of the web determines the mechanical load capacity and the maximum possible heat transfer.
  • heat is generated in particular on the rotor due to the compression and friction of the gas to be compressed.
  • Another source of heat is the non-loss drive. This heat is released by the rotor largely by radiation on the stator and must be able to be dissipated via the webs.
  • a ratio S to T of one to ten to one to two proves to be favorable and meaningful. Advantages can be achieved if the web 5 is arranged halfway between the blade edge 20 and 21.
  • firstly semicircular disks are produced with substantially radial slots 8 by punching or laser cutting.
  • the machining takes place in such a way that further slots are produced in the circumferential direction 9 at the ends of the radial slots, so that a web 5 is created between the blade 2 and at least inner ring 3 or outer ring 4.
  • the material between the radial slots is bent so that it is rotated out of the plane of the disc, so that blades 2 arise.
  • the disc is placed for example between an upper and a lower mold part and pressed both moldings against each other.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe, bei der die Schaufeln der Statorscheibe aus der Scheibenebene herausgestellt sind, wobei die Statorscheibe einen Innenring, einen Außenring und Verbindungsstellen zwischen Schaufel und Ringen aufweist. Um Spannungen im Material zu vermeiden, die zusätzliche Bearbeitungsschritte erfordern und die erreichbaren Maßgenauigkeiten verschlechtern, wird vorgeschlagen, zwischen den Schaufeln und den Ringen einen Steg vorzusehen.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Statorscheibe zur Verwendung mit einer Turbomolekularpumpe nach dem Obergriff des ersten Anspruchs.
  • In Turbomolekularpumpen sind Rotor- und Statorscheiben abwechselnd angeordnet, wobei die Rotorscheiben auf einer schnelldrehenden Welle sitzen. Die Statorscheiben sind ortsfest in einem Gehäuse montiert. Beide Sorten von Scheiben weisen Schaufeln auf, wodurch im Zusammenspiel mit der schnellen Drehung die Pumpwirkung erzeugt wird. Es ist bekannt, die Schaufeln von beiden Sorten von Scheiben durch Fräsen aus einer Vollscheibe herzustellen. Dies ist zeitaufwändig und teuer, weshalb man für die Statorscheiben gestanzte Scheiben verwendet. Solche Scheiben sind beispielsweise aus der deutschen Offenlegungsschrift DE-OS 37 22 164 bekannt. Hier werden zunächst Vollscheiben aus einem Blech gestanzt. Anschließend werden radiale Schlitze in diese Scheibe eingestanzt und im letzten Arbeitsgang der Bereich zwischen den Schlitzen geschränkt, so dass Scheibenmaterial aus der Scheibenebene herausgestellt wird und Schaufeln entstehen. Die nicht geschränkten Bereiche im Inneren und Äußeren verbleiben als Ringe.
    Nachteilig an diesem Stand der Technik ist, dass an den Verbindungsstellen zwischen Innenring und Schaufel, bzw. Schaufel und Außenring, ein hoher Grad von Umformung auftritt. Außerdem sind die Kräfte sehr groß, mit denen der notwendige Umformungsgrad erreicht werden kann. Diese Umformproblematik führt zu hohen Spannungen im Material, welche den Verzug der Scheiben und dadurch den notwendigen Arbeitsgang des Richtens nach sich zieht. Dies wirkt sich insgesamt ungünstig auf die erreichbaren Genauigkeiten der Statorscheibenform aus. Diese Genauigkeit ist aber wichtig, wenn kleine Spaltmaße zwischen Rotor-, Stator- und Gehäusekomponenten erreicht werden sollen. Von den Spaltmaßen hängt die Güte der Pumpleistung der Turbomolekularpumpe ab.
  • Ein weiterer Nachteil ist, dass für dieses Fertigungsverfahren aufwändige und damit auch sehr teuere Werkzeuge notwendig sind. Damit sind solche Scheiben nur bei großen Stückzahlen kostengünstig herstellbar. Eine flexible Dimensionierung der Scheiben, die optimal auf den Einsatzbereich einer Pumpe angepasst sind, d.h. auf die vakuumtechnischen Erfordernisse, ist so bei geringeren Stückzahlen nicht mit einem vertretbaren Kostenaufwand zu realisiern.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, diese Nachteile des Standes der Technik zu vermeiden, insbesondere, kostengünstigere Fertigungswerkzeuge zu erlauben und eine höhere Genauigkeit der Statorscheibe zu erzielen. Hohe Umformungsgrade sollen vermieden werden.
  • Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Statorscheibe, die gemäß den Merkmalen des ersten Anspruches gestaltet ist. Weiterhin wird sie gelöst durch ein Herstellungsverfahren mit den Merkmalen des Anspruches sechs.
  • Die erfindungsgemäße Statorscheibe weist einen Innenring, einen Außenring und dazwischen angeordnete Schaufeln auf. Zwischen den Schaufeln und den Ringen sind jeweils Stege in radialer Richtung ausgebildet, dessen Tiefe in Umfangsrichtung kleiner als die Schaufeltiefe ist. Eine solche Statorscheibe besitzt im Vergleich zum Stand der Technik weniger umzuformende Materialbereiche, die überdies einen geringeren Umformungsgrad aufweisen. Daher werden die Spannungen im Bauteil deutlich reduziert und der Richtaufwand entfällt. Hieraus resultiert eine höhere erreichbare Genauigkeit der Bauteilmaße. Da geringere Kräfte zum Umformen und weniger Arbeitsschritte nötig sind, können preiswertere Werkzeuge eingesetzt werden. Der Anteil des Werkzeugkosten an den Bauteilkosten sinkt, die Anpassung der Statorscheibe an die vakuumtechnischen Erfordernisse wird somit wirtschaftlicher.
  • Da die Bauteilmaße besser als im Stand der Technik eingehalten werden können, führt die Verwendung der erfindungsgemäßen Statorscheibe in einer Turbomolekularpumpe zu einer Verringerung der Spalte innerhalb der Pumpe und damit zu einer Verbesserung der Pumpwirkung.
  • Im Herstellungsverfahren für eine Statorscheibe werden zunächst halbkreisfömige Scheiben mit im wesentlichen radialen Schlitzen durch Stanzen oder Laserschneiden erzeugt. Anschließend wird das Material zwischen den radialen Schlitzen so gebogen, dass es aus der Ebene der Scheibe herausgedreht wird, so dass Schaufeln entstehen. Gekennzeichnet ist das Verfahren dadurch, dass in einem der Schritte vor dem Biegen an den Enden der radialen Schlitze weitere Schlitze in Umfangsrichtung erzeugt werden. Durch diese Maßnahme werden die oben beschriebenen Vorteile in Bezug auf Umformungsaufwand und Materialspannungen erreicht.
  • Weitere Vorteile können erreicht werden, indem die Statorscheibe nach den kennzeichnenden Merkmalen der Unteransprüche 2 bis 4 gestaltet werden und das Verfahren nach den kennzeichnenden Merkmalen der Unteransprüche 7 angepasst wird.
  • Die Anordnung des Steges auf halber Strecke zwischen den Schaufelkanten führt zu einer gleichmäßigen Belastung des Steges. Diese Belastung rührt von dem Druckunterschied des Gases vor und hinter der Statorscheibe her. Durch die symmetrische Anordnung treten am Steg nur Drehmomente gleicher Stärke aber mit entgegengesetztem Vorzeichen auf, so dass in der Addition kein resultierendes Drehmoment um die radiale Achse der Schaufel und des Steges auftritt. Daher wird die Materialbelastung verringert.
  • Die Tiefe des Steges in Umfangrichtung wird im Maximum dadurch begrenzt, dass die Umformung und Materialspannung mit zunehmender Tiefe steigt. Im Minimum wird sie begrenzt durch die Festigkeit und den Wärmetransport. Die Festigkeit muss mechanische Belastungen des Steges zulassen, beispielsweise durch ein starkes Druckgefälle über der Scheibe. Außerdem muss der Steg einen ausreichenden Querschnitt aufweisen, der einen hinreichenden Wärmetransport zulässt. Vorteilhaft ist es, die Stegbreite im Verhältnis zur Schaufelbreite im Bereich von eins zu zehn bis eins zu zwei zu wählen.
  • Weitere Vorteile lassen sich im Hinblick auf die Fertigung dadurch gewinnen, dass die Statorscheibe aus einer Mehrzahl identischer Scheiben zusammengesetzt werden. Damit wird nur eine einzige Bauform des Scheibenabschnittes benötigt. Dies vereinfacht die Montage, da die Scheibenabschnitte nicht verwechselt und/oder falsch kombiniert werden können.
  • Vorteile im Herstellungsverfahren lassen sich dadurch erzielen, dass die Schaufeln in einem Schritt gemeinsam aus der Scheibenebene herausgedreht werden. Hierdurch wird wertvolle Bearbeitungszeit gespart.
  • Im folgenden soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Dazu zeigen die Figuren:
    • Fig. 1:
    Schnitt durch eine Turbomolekularpumpe mit erfindungsgemäßen Statorscheiben.
    Fig, 2:
    Draufsicht auf eine erfindungsgemäß gestaltete Statorscheibe
    Fig. 3:
    Perspektivische Darstellung einer erfindungsgemäß gestalteten Statorscheibe. Als Ausschnitt ist der Steg zwischen Schaufel und Außenring gezeigt.
  • Figur 1 zeigt eine Turbomolekularpumpe 10 mit einem Gehäuse 11. Dieses besitzt einen Flansch 12 zur Verbindung mit einem auszupumpenden Rezipienten. In dem Flansch befindet sich der Ansaugbereich 13. Weiterhin besitzt die Turbomolekularpumpe 10 einen Gasauslass 14, aus dem das verdichtete Gas ausgestoßen wird. Eine Rotorwelle 15 wird drehbar von Lagern 17 gestützt und von einem Antrieb 18 in schnelle Rotation versetzt. Die Rotorwelle trägt eine Mehrzahl von Scheiben 16, welche jeweils mit Schaufeln versehen sind. Zwischen den Rotorscheiben sind feststehende Statorscheiben 1 angeordnet, welche ebenfalls Schaufeln besitzen. Die Statorscheiben werden durch Distanzringe 19 auf axialem Abstand gehalten. Durch die schnelle Rotation und der Zusammenwirkung der Rotor- mit den Statorscheiben ergibt sich die Pumpwirkung.
  • Die Figur 2 zeigt eine erfindungsgemäße, in der Turbomolekularpumpe 10 verwendeten Statorscheibe 1 in einer Draufsicht. Die Statorscheibe besteht aus zwei Halbscheiben 6 und 7, die bei der Montage in der Turbomolekularpumpe jeweils von einer Seite um die Welle des Rotors gelegt werden. Die Statorscheibe weist einen Außenring 4, an dem sie im Gehäuse der Turbomolekularpumpe gehalten wird, und einen Innenring 3 auf. Zwischen den Ringen ist eine Mehrzahl von Schaufeln 2 angeordnet. Die Schaufeln entstehen, indem im Vollmaterial im wesentlichen radiale Schlitze 8 und Schlitze in Umfangsrichtung 9 erzeugt werden. Dies kann durch Stanzen oder auch durch Schneiden geschehen. Durch Erzeugung der Schlitze 8, 9 entstehen an den Verbindungsstellen zwischen den Ringen und den Schaufeln Stege 5. Die Stegtiefe in Umfangsrichtung ist mit S gekennzeichnet, die Schaufeltiefe mit T. Dabei ist die Schaufeltiefe T größer als die Stegtiefe S.
  • In der Figur 3 ist in einer perspektivischen Ansicht ein Ausschnitt aus der Statorscheibe 1 gezeigt, der die Verformung durch das Ausstellen der Schaufeln aus der Scheibenebene verdeutlicht. An der Verbindungsstelle zwischen Außenring 4 und Schaufel 2, deren Ebene gegen die Schaufelebene geneigt ist, ist der Steg 5 angeordnet. Durch diesen Steg, dessen Tiefe in Umfangsrichtung S kleiner ist als die Schaufeltiefe T, wird die Menge des zu verformenden Materials reduziert. Der Steg weist zudem eine radiale Ausdehnung R auf. Im Stand der Technik ist das Verformungsgebiet entlang des Umfangs so groß wie die Tiefe T. Gerade bei einer starken Neigung der Schaufel gegen die Scheibenebene kommt es zu einer sehr hohen Verformung des Materials mit den oben beschriebenen Nachteilen. Durch den Steg 5 ist dies nicht mehr nötig, die Verformung wird auf den wesentlich kürzeren Bereich S reduziert, wodurch oben beschriebene Vorteile erreicht werden. Die Größen S und R können nicht beliebig klein gewählt werden. Die geometrische Abmessung des Steges bedingen die mechanische Belastbarkeit und der maximal mögliche Wärmetransport. Innerhalb der Pumpe entsteht insbesondere auf dem Rotor Wärme durch die Verdichtung und Reibung des zu verdichtenden Gases. Eine weitere Wärmequelle ist der nicht verlustfrei arbeitende Antrieb. Diese Wärme wird von dem Rotor weitgehend per Strahlung auf die Statorscheiben abgegeben und muss über die Stege abgeführt werden können. Ein Verhältnis S zu T von eins zu zehn bis eins zu zwei erweist sich als günstig und sinnvoll. Vorteile lassen sich erzielen, wenn der Steg 5 auf halber Strecke zwischen den Schaufelkante 20 und 21 angeordnet ist.
  • Im ersten Schritt des Verfahren zur Herstellung der Statorscheibe 1 werden zunächst halbkreisfömige Scheiben mit im wesentlichen radialen Schlitzen 8 durch Stanzen oder Laserschneiden erzeugt. Die Bearbeitung erfolgt so, dass an den Enden der radialen Schlitze weitere Schlitze in Umfangsrichtung 9 erzeugt werden, so dass ein Steg 5 zwischen der Schaufel 2 und mindestens Innenring 3 oder Außenring 4 entsteht. Anschließend wird das Material zwischen den radialen Schlitzen so gebogen, dass es aus der Ebene der Scheibe herausgedreht wird, so dass Schaufeln 2 entstehen. Für dieses Herausdrehen wird die Scheibe beispielsweise zwischen ein oberes und ein unteres Formteil gelegt und beide Formteile gegeneinander gepresst.

Claims (7)

  1. Statorscheibe (1) zur Verwendung in einer Turbomolekularpumpe (10), bei der eine Mehrzahl von Schaufeln (2) der Statorscheibe aus der Scheibenebene herausgestellt sind, die Statorscheibe einen Innenring (3), einen Außenring (4) und Verbindungsstellen zwischen Schaufel und Ringen aufweist,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Schaufeln (2) an den Verbindungsstellen jeweils einen radialen Steg (5) aufweisen, dessen Tiefe S entlang des Umfangs kleiner ist als die Schaufeltiefe T.
  2. Statorscheibe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der radiale Steg (5) auf halber Strecke zwischen den Schaufelkanten (20, 21) angeordnet ist.
  3. Statorscheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefe S des Steges kleiner als die Hälfte und größer als ein Zehntel der Schaufeltiefe T ist.
  4. Statorscheibe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie in mindestens zwei identische Scheibenabschnitte (6, 7) geteilt ist.
  5. Mit mindestens einer Statorscheibe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche ausgerüstete Turbomolekularpumpe (10).
  6. Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe (1) für eine Turbomolekularpumpe (10), in dem zunächst halbkreisfömige Scheiben mit im wesentlichen radialen Schlitzen (8) durch Stanzen oder Laserschneiden erzeugt werden und anschließend das Material zwischen den radialen Schlitzen so gebogen wird, dass es aus der Ebene der Scheibe herausgedreht wird, so dass Schaufeln (2) entstehen, dadurch gekennzeichnet, dass in einem der Schritte vor dem Biegen an den Enden der radialen Schlitze weitere Schlitze in Umfangsrichtung (9) erzeugt werden, so dass ein Steg zwischen der Schaufel und mindestens Innen- oder Außenring entsteht.
  7. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass alle Schaufeln (2) in einem Schritt aus der Scheibenebene herausgedreht werden.
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AT (1) ATE551533T1 (de)
DE (1) DE102005027097A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3051140A1 (de) * 2015-01-29 2016-08-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorscheibe für eine vakuumpumpe
EP2653728A4 (de) * 2010-12-14 2018-04-11 Edwards Japan Limited In einer absaugpumpe verwendbare feste lamelle und absaugpumpe damit

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4935527B2 (ja) * 2007-06-21 2012-05-23 株式会社島津製作所 固定翼の製造方法、およびその固定翼を備えたターボ分子ポンプ
US8221098B2 (en) * 2009-03-09 2012-07-17 Honeywell International Inc. Radial turbomolecular pump with electrostatically levitated rotor
GB0917317D0 (en) * 2009-10-02 2009-11-18 Bladon Jets Ltd Rotary structures
DE102012222230A1 (de) * 2012-12-04 2014-06-05 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP6241222B2 (ja) * 2013-01-22 2017-12-06 株式会社島津製作所 真空ポンプ
DE102013213256A1 (de) * 2013-07-05 2015-01-08 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Statorscheibe
JP7049052B2 (ja) * 2016-09-27 2022-04-06 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる固定円板
JP6834612B2 (ja) * 2017-03-07 2021-02-24 株式会社島津製作所 真空ポンプの製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5990796A (ja) 1982-11-12 1984-05-25 Shimadzu Corp タ−ボ分子ポンプ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2654055B2 (de) * 1976-11-29 1979-11-08 Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich Rotor- und Statorscheibe für Turbomolekularpumpe
JPS62258187A (ja) * 1986-05-02 1987-11-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd タ−ボ分子ポンプ用静翼板の成形方法
JPS6319094U (de) * 1986-07-21 1988-02-08
DE3722164C2 (de) * 1987-07-04 1995-04-20 Balzers Pfeiffer Gmbh Turbomolekularpumpe
JPH01190990A (ja) * 1988-01-26 1989-08-01 Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk 真空ポンプ
JPH01219393A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Daikin Ind Ltd 分子式真空ポンプ
IT1241177B (it) * 1990-02-16 1993-12-29 Varian Spa Statore per pompa turbomolecolare.
JP3013083B2 (ja) * 1998-06-23 2000-02-28 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ
JP2003269365A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
FR2850714B1 (fr) * 2003-02-03 2005-04-29 Cit Alcatel Pompe turbomoleculaire a entretoises multietagees de stator
JP4935527B2 (ja) * 2007-06-21 2012-05-23 株式会社島津製作所 固定翼の製造方法、およびその固定翼を備えたターボ分子ポンプ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5990796A (ja) 1982-11-12 1984-05-25 Shimadzu Corp タ−ボ分子ポンプ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2653728A4 (de) * 2010-12-14 2018-04-11 Edwards Japan Limited In einer absaugpumpe verwendbare feste lamelle und absaugpumpe damit
EP3051140A1 (de) * 2015-01-29 2016-08-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorscheibe für eine vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
EP1731766A3 (de) 2010-06-23
JP2006348935A (ja) 2006-12-28
DE102005027097A1 (de) 2006-12-14
ATE551533T1 (de) 2012-04-15
EP1731766B1 (de) 2012-03-28
US20060280595A1 (en) 2006-12-14

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