DE60318170T2

DE60318170T2 - Vakuumverdampfer

Info

Publication number: DE60318170T2
Application number: DE60318170T
Authority: DE
Inventors: Yasuhiko Sawada; Toshinao Yuki; Ryuji Murayama; Kunizo Ogoshi; Kazuo 46-80 Sakinohama Ishii
Original assignee: Tohoku Pioneer Corp; Nippon Steel Chemical Co Ltd
Current assignee: Tohoku Pioneer Corp; Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Priority date: 2002-10-21
Filing date: 2003-10-21
Publication date: 2008-12-04
Anticipated expiration: 2023-10-22
Also published as: EP1418250A2; DE60318170D1; EP1418250B1; CN100535175C; KR101025190B1; CN1500904A; JP2004137583A; KR20040034537A; TW200407053A; JP4139186B2; TWI298000B; EP1418250A3

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Vakuumverdampfer.
Die Vakuumbedampfung ist als eine der Techniken zum Bilden einer Dünnschicht auf einem Substrat bekannt. Bei der Vakuumbedampfung handelt es sich um ein Verfahren zum Bilden einer Dünnschicht aus einem Niederschlagsmaterial auf einem Substrat in einem Vakuumbehälter, wobei das Substrat einer Verdampfungsquelle gegenüberliegend angeordnet wird und eine durch Erwärmen der Verdampfungsquelle erzeugte Verdampfungsströmung auf die Oberfläche des Substrats aufgebracht wird. Ein Vakuumverdampfer für das Aufdampfen im Vakuum weist den Vakuumbehälter, die Verdampfungsquelle, eine Heiz- und Verdampfungseinrichtung sowie einen Substrathalter als grundlegende Elemente auf.
Die Heiz- und Verdampfungseinrichtungen umfassen eine Induktionsheizeinrichtung, die folgendes aufweist: ein Behältnis aus einem Material, das zum Erzeugen von Wärme bei elektromagnetischer Induktion zur Induktionserwärmung des Behältnisses ausgelegt ist; eine Widerstandsheizeinrichtung zum Verdampfen eines aufzubringenden Materials durch die Wärme, die durch das Hindurchleiten eines elektrischen Stroms durch ein Behältnis erzeugt wird, das aus einem metallischen Material mit einem vergleichsweise höheren Widerstand gebildet ist; sowie eine Verdampfungseinrichtung mit einem Elektronenstrahl oder einem Laserstrahl zum Verdampfen des aufzubringenden Materials mittels Energie, die durch Aufstrahlen eines Elektronenstrahls oder eines Laserstrahls direkt auf das aufzubringende Material in der Verdampfungsquelle erzeugt wird.
1 zeigt eine erläuternde Darstellung eines herkömmlichen Vakuumverdampfers, wie er in der japanischen Patentanmeldungs-Offenlegungsschrift Nr. Hei 11-100 663 offenbart ist. Dieser Vakuumverdampfer besitzt eine Verdampfungsquelle 2, die am Boden eines Vakuumbehälters 1 angeordnet ist, sowie ein Substrat 3, das mittels eines Substrathalters 4 in der Nähe der Decke des Vakuumbehälters 1 angebracht ist. Das Innere des Vakuumbehälters 1 wird durch eine Vakuumpumpe 6, die über ein Ventil 5 mit dem Vakuumbehälter 1 verbunden ist, in einem Vakuumzustand gehalten. Die Verdampfungsquelle 2 besteht aus einem Behältnis 8, das ein aufzubringendes Material 7 enthält, sowie aus den vorstehend genannten Heiz- und Verdampfungseinrichtungen zum Erwärmen des Behältnisses 8.
Der herkömmliche Vakuumverdampfer weist ferner einen Kollimator 9 auf, der zwischen der Verdampfungsquelle 2 und dem Substrat 3 angeordnet ist. Bei dem Kollimator 9 handelt es sich um eine Vorrichtung zum Hindurchlassen von nur einer Verdampfungsströmung in einer nahezu geraden Richtung zu dem Substrat hin oder zum Unterdrücken eines Ausbreitens der Verdampfungsströmung. Die Vorrichtung weist viele Durchgangsöffnungen 9A auf, die parallel zu einer Linie gebildet sind, die das Zentrum der Verdampfungsquelle 2 und das Zentrum des Substrathalters 3 miteinander verbindet.
Der herkömmliche Vakuumverdampfer kann die Richtung der Verdampfungsströmung mittels des Kollimators 9 steuern, der in den Verdampfungsströmungen angeordnet ist, wobei ein Vorteil dieses Vakuumverdampfers darin besteht, daß er in der Lage ist, eine Verdampfungsströmung rechtwinklig zu einem Substrat aufzubringen.
Die Verdampfungsströmung, die durch den Kollimator 9 blockiert wird, ohne durch die Durchgangsöffnungen 9A hindurchzugehen, wird jedoch zu dem Boden des Vakuumbehälters 1 zurückgeführt und auf diesem niedergeschlagen. Daher wird das von der Verdampfungsquelle verdampfte Material nur zu einer geringen Menge zum Bilden einer Dünnschicht auf dem Substrat 3 genutzt, und nahezu das gesamte Material bleibt ungenutzt zurück. Dies führt zu dem Problem einer geringen Ausnutzung des aufzubringenden Materials.
Ferner entsteht ein weiteres Problem in einer Verminderung der Qualität der gebildeten Dünnschicht, das folgendermaßen entsteht: Wenn Aufbringvorgänge in Form einer Serie von Prozessen unter Verwendung von verschiedenen Materialien in dem gleichen Vakuumbehälter ausgeführt werden, mischt sich das restliche Material in dem Vakuumbehälter in die Dünnschicht aus verschiedenen Materialien in Form von Verunreinigungen, so daß die Qualität der gebildeten Dünnschicht vermindert wird.
Diese Probleme entstehen bei der Bildung einer Dünnschicht durch den Vakuumverdampfer, insbesondere bei der Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms, bei dem teuere organische Materialien zum Herstellen einer Vielzahl von organischen lichtemittierenden Schichten in jedem Bereich mit einer anderen Farbe auf dem Substrat erforderlich sind.
Wenn sich bei dem herkömmlichen Vakuumverdampfer eine Verdampfungsströmung von der Verdampfungsquelle 2 zu einer Peripherie von diesem hin ausbreitet, wird die Verdampfungsströmung durch den Kollimator 2 blockiert. Daher besteht bei dem herkömmlichen Vakuumverdampfer auch ein Problem darin, daß ein gleichmäßiges Aufbringen auf die gesamte Oberfläche eines Substrats mit großer Fläche schwierig ist, da eine Schichtdicke an der Peripherie des Substrats im Vergleich zu der Schichtdicke in einem zentralen Teil von diesem dünner wird.
KURZBESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung dient dem Bewältigen der vorstehend geschilderten Probleme. Das heißt, die Zielsetzungen der vorliegenden Erfindung bestehen in der Verbesserung der Ausnutzungseffizienz der aufzubringenden Materialien, der Verbesserung der Qualität einer Dünnschicht sowie in der Ausführung einer gleichmäßigen Aufbringung auch für Substrate mit großer Fläche.
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Vakuumverdampfer angegeben, der eine Verdampfungsquelle aufweist, die aus aufeinander folgend gestapelten Rahmen gebildet ist. Die Verdampfungsquelle weist eine Heizeinheit, die sich in dem unteren Rahmen zum Erwärmen und Verdampfen von darin aufgenommenem organischen Material befindet, und eine Verdampfungsströmungs-Steuerung auf, die sich in dem oberen Rahmen befindet, um die Richtung einer Verdampfungsströmung von der Verdampfungsquelle zu einem zu bedampfenden Gegenstand zu steuern.
Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht in der Angabe eines Vakuumverdampfers mit einer Verdampfungsquelle, die aus aufeinander folgend gestapelten Rahmen gebildet ist. Die Verdampfungsquelle weist eine in dem unteren Rahmen befindliche Heizeinheit zum Erwärmen und Verdampfen von darin aufgenommenem organischen Material sowie eine in dem oberen Rahmen befindliche Verdampfungsströmungs-Steuerung zum Steuern der Richtung einer Verdampfungsströmung von der Verdampfungsquelle zu einem zu bedampfenden Gegenstand auf. Ferner ist die Verdampfungsströmungs-Steuerung mit einer Vereinheitlichungsschicht zum Vergleich mäßigen der Verdampfungsströmung versehen, die sich in der obersten Strömung in der Steuerung befindet.
Ein dritter Aspekt gemäß der vorliegenden Erfindung besteht in der Angabe eines Verfahrens zum Herstellen eines organischen EL-Anzeigeschirms mit organischen Dünnschichten, die zwischen einem Paar Elektroden aufgebracht sind und die jeweils auf einer Oberfläche eines Substrats gebildet sind, unter Verwendung der jeweiligen Vakuumverdampfer gemäß dem ersten und dem zweiten Aspekt, wie diese vorstehend erwähnt worden sind.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Diese und weitere Ziele und Vorteile der vorliegenden Erfindung erschließen sich aus der nachfolgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Begleitzeichnungen; darin zeigen:
1 eine Ansicht zur Erläuterung eines herkömmlichen Vakuumverdampfers;
2 eine Ansicht zur Erläuterung eines Vakuumverdampfers gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
3 eine Ansicht zur Erläuterung eines Vakuumverdampfers gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
4 eine teilweise im Schnitt dargestellte Ansicht zur Erläuterung eines Vakuumverdampfers gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
5A bis 5E Ansichten zur Erläuterung von verschiedenen Beispielen von Regulierschichten für eine Verdampfungsströmung bei den Vakuumverdampfern gemäß den Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung;
6 eine Ansicht zur Erläuterung einer weiteren exemplarischen Ausführungsform gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
7A bis 7D Ansichten zur Erläuterung einer spezielleren Vereinheitlichungsschicht gemäß einem Ausführungsbeispiel;
8 eine Schnittdarstellung zur Erläuterung einer Verteilerplatte gemäß einem Ausführungsbeispiel;
9 eine Ansicht zur Erläuterung eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
10A und 10B Ansichten zur Erläuterung eines Beispiels eines Vakuumverdampfers für ein großflächiges Substrat unter Verwendung einer Verdampfungsquelle gemäß den Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung; und
11 eine Ansicht zur Erläuterung eines weiteren Beispiels eines Vakuumverdampfers für ein großflächiges Substrat unter Verwendung einer Verdampfungsquelle gemäß den Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
Die nachfolgende Beschreibung erläutert verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen. Die 2 und 3 zeigen Darstellungen zur Erläuterung eines jeweiligen Vakuumverdampfers gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Diese Zeichnungen veranschaulichen jeweils, daß ein als zu bedampfender Gegenstand dienendes Substrat 3 und eine Verdampfungsquelle 10 in einem Vakuumbehälter (in diesen Zeichnungen nicht dargestellt) angeordnet sind.
Das erste Ausführungsbeispiel, wie es in 2 gezeigt ist, zeichnet sich dadurch aus, daß es eine aus gestapelten Rahmen 10A und 10B gebildete Verdampfungsquelle vorsieht, wobei der untere Rahmen 10A als Heizeinheit 11 zum Aufnehmen eines organischen Materials und zum Verdampfen des organischen Materials durch Erwärmen dient und der obere Rahmen 10B als Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 zum Steuern der Richtung einer Verdampfungsströmung von der Heizeinheit 11 zu dem zu bedampfenden Gegenstand (Substrat 3) dient.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel steuert die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 die Richtung der Verdampfungsströmung des von der Heizeinheit 11 verdampften organischen Materials. Das heißt, nur eine Verdampfungsströmung, die die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 durchlauft, kann das Substrat 3 erreichen. Da das organische Material, das durch die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 blockiert wird, auf die gestapelten Rahmen 10A und 10B begrenzt wird, kann das blockierte organische Material in dem unteren Rahmen 10A gesammelt werden.
Dies führt zu einer hohen Ausnutzung des organischen Materials von der Verdampfungsquelle. Wenn mehrere Rahmen zusätzlich auf die vorhandene Rahmenkonstruktion gestapelt sind, kann ferner eine Austrittsöffnung der Verdampfungsquelle in die Nähe des Substrats gebracht werden, so daß die durch die Austrittsöffnung hindurchströmende Verdampfungsströmung in wirksamer Weise auf das Substrat aufgestrahlt werden kann.
Das zweite Ausführungsbeispiel, wie es in 3 gezeigt ist, zeichnet sich aus durch eine Verdampfungsquelle, die durch eine gestapelte Rahmenkonstruktion 10A, 10B und 10C gebildet ist, wobei der unterste Rahmen 10A als Heizeinheit 11 zum Aufnehmen eines organischen Materials und zum Verdampfen des organischen Materials durch Erwärmen dient und die anderen Rahmen 10B und 10C als Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 zum Steuern der Richtung der Verdampfungsströmung von der Heizeinheit 11 zu dem zu bedampfenden Gegenstand (Substrat 3) dienen. Ferner bildet die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 eine Vereinheitlichungsschicht 12A zum Vergleichmäßigen der Verdampfungsströmung an dem Ort der obersten Strömung.
Da die Vereinheitlichungsschicht 12A die Verdampfungsströmung in dem gesamten Bereich von der Heizeinheit 11 bis zu dem Substrat gleichmäßig macht, ermöglicht dieses Ausführungsbeispiel zusätzlich zu den Eigenschaften des ersten Ausführungsbeispiels ferner eine gleichmäßige Ausbildung einer Aufdampfschicht von seinem Zentrum bis zu der Peripherie, selbst wenn die Verdampfungsquelle 10 eine Austrittsöffnung mit großer Fläche aufweist, damit sie für ein Substrat mit großer Fläche geeignet ist.
Das dritte Ausführungsbeispiel ist durch eine Vereinheitlichungsschicht 12A gekennzeichnet, die mit einer Verteilerplatte ausgestattet ist, die eine Vielzahl von Führungsvorsprüngen, welche die Richtung der Verdampfungsströmung ändern, sowie zwischen den Vorsprüngen ausgebildete Öffnungen aufweist. Eine Verdampfungsströmung in Richtung auf die Vereinheitlichungsschicht 12A wird durch die schräg verlaufenden Oberflächen der Führungsvorsprünge in ihrer Richtung geändert und tritt aus den Öffnungen in verschiedenen Richtungen aus, d. h. das Vorhandensein der Führungsvorsprünge kann die Dichte der Verdampfungsströmung vom Zentrum bis zu der Peripherie gleichmäßig machen.
Das vierte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine Vereinheitlichungsschicht 12A, deren Rahmen konisch ist und die entlang der strömungabwärtigen Richtung der Verdampfungsströmung zunimmt, wobei eine Vielzahl von Verteilerplatten in mehreren Stufen angeordnet sind. Eine mehrstufige Anordnung der Verteilerplatten, die die vorstehend beschriebene Funktion haben, kann eine bessere Vereinheitlichung der Verdampfungsströmung erreichen.
Wenn es erforderlich ist, die Verdampfungsströmung hinsichtlich ihres Austrittsbereichs zu erweitern, um ein großflächiges Substrat zu bedampfen, kann die Austrittsöffnung aufgrund des umgekehrt konischen Rahmens, der entlang der strömungsabwärtigen Richtung der Verdampfungsströmung breiter wird, erweitert werden, während die Öffnung der Heizeinheit 11 kleiner gehalten bleibt.
Das fünfte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine Vereinheitlichungsschicht 12A, die aus einem Material gebildet ist, das für ein Erwärmen durch die Heizeinheit ausgelegt ist. Das Erwärmen der Vereinheitlichungsschicht 12A kann die an der Heizeinheit stattfindende prozentuale Rückgewinnung des an der Vereinheitlichungsschicht 12A anhaftenden, aufzubringenden Materials verbessern.
Das sechste Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine Verdampfungsströmungs-Steuerung 12, die eine Verdampfungsströmungs-Regulierschicht mit einer Vielzahl von Durchlaßzonen aufweist, die durch Regulierplatten unterteilt sind. Die Verdampfungsströmungs-Regulierschicht kann die Verdampfungsströmung regulieren, um diese auf ein Substrat in einer Richtung mit einem bestimmten Winkel aufzubringen. Bei der Formgebung der Durchlaßzonen kann es sich um ein Streifenmuster, ein Gittermuster, eine zylindrische Ausbildung, eine kegelförmige Ausbildung oder eine wabenförmige Ausbildung handeln.
Das siebte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 mit einer Heizeinrichtung und den Regulierplatten, von denen mindestens einige aus einem Material gebildet sind, das für ein Erwärmen durch die Heizeinrichtung ausgelegt ist. Die Erwärmung der Regulierplatten kann die prozentuale Rückgewinnung der aufzubringenden Materialien verbessern, da das Anhaften von aufzubringendem Material an den Regulierplatten durch deren Erwärmen vermindert wird.
Das achte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine Heizeinheit, die das vorstehend genannte organische Material und Füllstoffe aufnimmt, von denen zumindest ein Teil aus einem Material gebildet ist, das sich durch elektromagnetische Induktion erwärmen läßt. Ferner weist die Heizeineinheit eine Heizeinrichtung zum Erwärmen der Füllstoffe durch elektromagnetische Induktion auf.
Da die Füllstoffe in der Heizeinrichtung in verteilter Weise angeordnet sind, wird es möglich, das organische Material in der Heizeinheit gleichmäßig zu erwärmen und die Verteilung einer aus der Heizeinheit austretenden Verdampfungsströmung gleichmäßig zu machen.
Das neunte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch einen gitterartigen Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung, der sich erwärmen läßt und zwischen einer Heizeinheit und einer Verdampfungsströmungs-Steuerung oder zwischen den jeweiligen Schichten der Verdampfungsströmungs-Steuerung angeordnet ist. Der gitterartige Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung, der mittels der Heizeinrichtung in der Heizeinheit erwärmt wird, kann Verunreinigungen auffangen, so daß sich eine hohe Qualität aufweisende Dünnschicht aus organischen Materialien auf einem Substrat bilden läßt.
Das zehnte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine plane Anordnung von einer Vielzahl der vorstehend genannten Verdampfungsquellen. Dies ermöglicht eine Reduzierung der für die Verdampfung erforderlichen Zeit, da sich eine Dünnschicht mit einer gleichmäßigen Dicke auch auf einem Substrat mit größerer Fläche durch nur einen Prozeß bilden läßt.
Das elfte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch eine lineare Anordnung einer Vielzahl von Verdampfungsquellen sowie eine Transfereinrichtung zum Transferieren von einer beliebigen der Ansammlungen der Verdampfungsquellen oder des Substrats in einer zu der linearen Anordnung der Verdampfungsquellen rechtwinkligen Richtung. Dies ermöglicht eine Reduzierung der für das Verdampfen bzw. Bedampfen erforderlichen Zeit, da es möglich wird, eine gleichmäßige Dünnschicht auf einem Substrat mit größerer Fläche durch den Vorgang des Transferierens der Transfereinrichtung zu bilden.
Das zwölfte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch einen organischen EL-Anzeigeschirm, der unter Verwendung des Vakuumverdampfers mit den vorstehend beschriebenen Merkmalen hergestellt wird. Bei der Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms wird aufgrund einer effektiven Nutzung der teuren organischen Materialien, die verschiedene, mehrlagige organische Emissionsschichten für jede Farbe bilden, eine Reduzierung der Herstellungskosten möglich.
Ferner führt die Herstellung einer gleichmäßigen Dünnschicht mit hoher Qualität zu einer Verminderung von Unregelmäßigkeiten des emittierten Lichts sowie zur Verlängerung der Lebensdauer des Anzeigeschirms. Auf diese Weise läßt sich ein organischer EL-Anzeigeschirm mit hoher Qualität auch auf einem großflächigen Substrat schaffen.
Das dreizehnte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch die Verwendung des Vakuumverdampfers gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel für die Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms, der aus organischen Dünnschichten zwischen einem Elektrodenpaar gebildet ist, von denen eine auf einer Oberfläche eines Substrats gebildet ist.
Bei diesem Vakuumverdampfer wird eine Verdampfungsströmung aus einem organischen Material hinsichtlich seiner Richtung mittels einer Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 gesteuert, und es kann nur die die Steuerung durchlaufende Verdampfungsströmung A das Substrat 3 erreichen. Das von der Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 blockierte organische Material tritt nicht aus den gestapelten Rahmen 10A, 10B aus, sondern es findet eine Rückgewinnung in den unteren Rahmen 10A statt. Dies führt zu einer hohen Ausnutzung des organischen Materials, das von der Verdampfungsquelle verdampft wird.
Wenn eine Vielzahl von Rahmen zusätzlich auf die vorhandene Rahmenkonstruktion gestapelt wird, kann ferner eine Austrittsöffnung der Verdampfungsquelle in die Nähe des Substrats gebracht werden, so daß die von der Austrittsöffnung emittierte Verdampfungsströmung in effektiver Weise auf das Substrat aufgestrahlt werden kann. Infolgedessen wird eine effektive Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms ermöglicht.
Da vierzehnte Ausführungsbeispiel ist gekennzeichnet durch die Verwendung des Vakuumverdampfers gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel für die Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms, der aus organischen Dünnschichten zwischen einem Paar von Elektroden gebildet ist, von denen die eine auf einer Oberfläche eines Substrats ausgebildet ist.
Da die Vereinheitlichungsschicht 12A eine Vergleichmäßigung der Verdampfungsströmung in dem gesamten Bereich von der Heizeinheit 11 bis zu dem Substrat vornimmt, ermöglicht dieses Ausführungsbeispiel ferner eine gleichmäßige Ausbildung einer Verdampfungsschicht von ihrem Zentrum bis zu der Peripherie, selbst wenn die Verdampfungsquelle 10 eine großflächige Öffnung aufweist, damit sie für ein Substrat mit großer Fläche geeignet ist. Dies ermöglicht die Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms auf einem großflächigen Substrat in effektiver und gleichmäßiger Weise.
Das fünfzehnte Ausführungsbeispiel befaßt sich mit einem Verfahren zum Herstellen eines organischen Anzeigeschirms, das gekennzeichnet ist durch die Verwendung eines Vakuumverdampfers mit den Eigenschaften, wie diese bei dem achten Ausführungsbeispiel beschrieben worden sind. Das achte Ausführungsbeispiel sieht die Heizeinheit vor, wobei die Heizeinheit das vorstehend genannte organische Material und die Füllstoffe aufnimmt, wobei zumindest ein Teil aus einem Material gebildet ist, das sich durch elektromagnetische Induktion erwärmen läßt, wobei die Heizeinheit ferner eine Heizeinrichtung zum Erwärmen der Füllstoffe durch elektromagnetische Induktion aufweist.
Da die Füllstoffe in der Heizeinheit in verteilter Weise aufgenommen sind, läßt sich das organische Material in der Heizeinheit gleichmäßig erwärmen, und die Verteilung einer von der Heizeinheit abgegebenen Verdampfungsströmung läßt sich gleichmäßig ausbilden. Auf diese Weise wird die Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms mit hoher Qualität ermöglicht.
Die nachfolgende Beschreibung erläutert speziellere Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen.
4 zeigt eine teilweise im Schnitt dargestellte Ansicht zur Erläuterung eines Vakuumverdampfers gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Diese Figur zeigt eine Verdampfungsquelle 10, die einem Substrat 3 in einem Vakuumbehälter (in dieser Figur nicht dargestellt) zugewandt gegenüberliegend angeordnet ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Verdampfungsquelle 10 aus drei gestapelten Rahmen 10A, 10B und 10C gebildet. Eine Heizschlange 20 ist um diese Rahmenkonstruktion herumgewickelt. Der untere Rahmen 10A dient als Heizeinheit 11, und die oberen gestapelten Rahmen 10B und 10C dienen als Verdampfungsströmungs-Steuerung 12.
Der Rahmen 10A der Heizeinheit 11 weist ein Behältnis zum Aufnehmen eines organischen Materials B auf, das als aufzubringendes Material verwendet wird, wobei das organische Material B sowie Füllstoffe 21, die in dem Behältnis angeordnet sind, aus einem Material gebildet sind, das Wärme durch elektromagnetische Induktion erzeugen kann. Eine Magnetsonde 22 ist im Inneren des Rahmens 10A vorgesehen, um die Temperatur des Rahmens 10A zu überwachen.
Die Füllstoffe 21 sind aus Materialien gebildet, die eine ferromagnetische Metallsubstanz, wie zum Beispiel Nickel, Eisen, magnetischen rostfreien Stahl oder Kobalt-Nickel-Legierung beinhalten, wobei insbesondere im Hinblick auf die Wärmebeständigkeit und die Korrosionsfestigkeit rostfreier Stahl, Graphit oder magnetische Keramikmaterialien, wie zum Beispiel Titannitrid, verwendet werden können.
Der Rahmen 10A ist aus nicht-leitfähigem und nicht-magnetischem Material, wie zum Beispiel Keramik, Glas, Porzellan-Emaille oder wärmebeständiges Harzmaterial gebildet. Bei Verwendung einer Induktionsheizung als Heizeinrichtung weist der Rahmen 10A vorzugsweise eine zylindrische Formgebung auf, um die Füllstoffe 21 einem gleichmäßigen Magnetfeld zum Erzeugen von Wärme auszusetzen.
Die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 ist aus den Rahmen 10B und 10C gebildet, die Durchlaßzonen 25A aufweisen, die durch Regulierplatten 25 in ihrem Inneren unterteilt sind, so daß sie als Verdampfungsströmungs-Regulierschicht dient. Die Regulierplatten 25 sind aus einem Material zum Erzeugen von Wärme durch elektromagnetische Induktion gebildet, wie diese vorstehend genannt worden sind, und die Rahmen 10B und 10C können aus nicht-leitfähigem und nicht-magnetischem Material gebildet sein, wie diese vorstehend genannt worden sind, oder die eigentlichen Rahmen 10B und 10C können aus einem Material zum Erzeugen von Wärme durch elektromagnetische Induktion gebildet sein.
Die Vielzahl der Durchlaßzonen 25A der Verdampfungsströmungs-Regulierschicht kann in verschiedenartigen Formgebungen ausgebildet sein, wie dies in 5 gezeigt ist. Ein Beispiel in 5A zeigt rechteckig ausgebildete Durchlaßzonen 25A, die durch Regulierplatten unterteilt sind, die in einem in Längsrichtung verlaufenden Streifenmuster angeordnet sind; ein Beispiel gemäß 5B zeigt rechteckig ausgebildete Durchlaßzonen 25A, die durch Regulierplatten unterteilt sind, die in einem in seitlicher Richtung verlaufenden Streifenmuster angeordnet sind; 5C veranschaulicht quadratische oder rechteckige Durchlaßzonen 25A, die durch in einem Gittermuster angeordnete Regulierplatten unterteilt sind; in 5D sind rechteckige oder quadratische Durchlaßzonen 25A dargestellt, die durch in einem versetzten Gittermuster angeordnete Regulierplatten unterteilt sind; und in 5E sind sechseckige Durchlaßzonen 25A dargestellt, die durch Regulierplatten 25 mit einer Wabenstruktur unterteilt sind.
Ohne Einschränkung auf die vorstehend genannten Beispiele kann die Formgebung der Durchlaßzonen auch zylindrisch oder kegelförmig ausgebildet sein. Obwohl die Rahmen 10B und 10C dieser Beispiele mit einer rechteckigen Formgebung dargestellt sind, haben die Rahmen 10B und 10C vorzugsweise eine zylindrische Formgebung, wenn eine Induktionserwärmung verwendet wird.
Das in dem Rahmen 10A enthaltene organische Material wird unter Verwendung von Wärme, die in dem Füllstoff 21 erzeugt wird, unter Zufuhr eines Wechselstroms mit einer bestimmten Frequenz (10 Hz bis ca. 100 kHz) zu der Heizspule 20 verdampft. Bei Verwendung der Heizspule 20 als Heizeinrichtung steuert die Menge des zugeführten Stroms den Erwärmungszustand, der mittels der Magnetsonden 22 überwacht wird.
Die Heizeinheit 11 der Ausführungsbeispiele beinhaltet die Behältnisse des Rahmens 10A, in dem das organische Material B und die Füllstoffe 21 aufgenommen sind. Da diese Füllstoffe 21 in dem Rahmen 10A gleichmäßig angeordnet sind, wird das organische Material B gleichmäßig erwärmt, so daß die Verdampfungsströmung mit gleichmäßiger Dichte durch die gesamte Öffnung des Rahmens 10A abgegeben werden kann.
Die Richtung der von der Heizeinheit 11 abgestrahlten Verdampfungsstürmung wird durch die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 reguliert. Während die Strömung durch die Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 nach oben geht, ist die Strömung auf den Bereich in den gestapelten Rahmen 10A, 10B und 10C begrenzt. Die nicht abgegebene Verdampfungsströmung kann somit letztendlich in dem Rahmen 10A gesammelt werden, so daß sich die mit hohen Kosten verbundenen organischen Materialien ohne Verschwendung in effektiver Weise nutzen lassen.
Die von der Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 gesteuerte Verdampfungsströmung A wird in nahezu den gleichen Richtungen zu dem Substrat 3 des zu bedampfenden Gegenstands emittiert, so daß sich eine Dünnschicht mit hoher Genauigkeit auch bei Verwendung einer winzigen Maskenstruktur bilden läßt. Wenn die Öffnung der Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 erweitert wird, läßt sich auch eine Dünnschicht auf einem Substrat mit größerer Fläche in gleichmäßiger Weise bilden.
Da ferner kein nutzbares organisches Material in dem Vakuumbehälter austritt, kommt es nicht zu dem Effekt, daß Restmaterialien in eine gebildete Schicht eingemischt werden und dadurch die Qualität von dieser vermindern, selbst wenn unterschiedliche Materialien in dem gleichen Vakuumbehälter verdampft werden.
Die Regulierplatten 25 in der Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 oder die Rahmen 10B, 10C an sich werden erwärmt, so daß das verdampfte Material, das an diesen Teilen anhaftet, auch in der Heizeinheit 11 wieder gesammelt werden kann.
6 veranschaulicht ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die nachfolgende Erläuterung bezieht sich nur auf eine Verdampfungsquelle 10, und hinsichtlich der übrigen Konstruktion eines Vakuumverdampfers wird davon ausgegangen, daß es sich um die gleiche handelt, wie diese vorstehend beschrieben worden ist. Eine Verdampfungsquelle 10 gemäß diesem Beispiel ist durch zylindrische Rahmen 10A, 10C und einen kegelförmigen Rahmen 10B gebildet. Durchlaßzonen 25A in dem Rahmen 10C sind in Form von zylindrischen Öffnungen ausgebildet.
Die Konstruktion einer Heizeinheit 11 ist die gleiche wie bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel, und das Konstruktionsmaterial einer Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 ist wiederum das gleiche, wie dies vorstehend beschrieben worden ist. Eine Heizschlange 20 ist um die Rahmen 10A, 10B, 10C herumgeschlungen, die durch elektromagnetische Induktion zu erwärmen sind. Teile, die dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel entsprechen, werden im folgenden nicht nochmals erläutert.
Das Merkmal dieses Ausführungsbeispiels besteht darin, daß der Rahmen 10B eine umgekehrt kegelstumpfförmige Formgebung aufweist und eine Vereinheitlichungsschicht 12A bildet. Die Vereinheitlichungsschicht 12A ändert die Richtung einer Verdampfungsströmung von der Heizeinheit in zufälliger Weise, so daß eine gleichmäßige Verdampfungsströmungsdichte durch den gesamten Austrittsbereich der Vereinheitlichungsschicht 12A erzielt werden kann. Die umgekehrt kegelstumpfförmige Gestalt ermöglicht eine Erweiterung des Austrittsbereichs, so daß sich ein Aufbringvorgang auf einem großflächigen Substrat in einfacher Weise ausführen läßt.
7A bis 7D veranschaulichen ein spezielleres Beispiel einer Ausführungsform dieser Vereinheitlichungsschicht 12A. Bei dieser Ausführungsform sind Verteilerplatten 12p, 12q und 12r in mehreren Stufen in einem Rahmen 10B angeordnet, der eine Vereinheitlichungsschicht 12A bildet. 7A zeigt eine Anordnung der Verteilerplatten 12p, 12q und 12r. Diese Verteilerplatten 12p, 12q und 12r sind in ihrem Durchmesser Stufe um Stufe in Richtung auf die strömungsaufwärtige Seite kleiner, wobei sie in dem Rahmen 10B parallel zueinander angeordnet sind. Jede Verteilerplatte 12p, 12q und 12r weist eine Vielzahl von Öffnungen 12s1, 12s2 bzw. 12s3 auf.
Obwohl es sich bei diesen Öffnungen nicht um Kreise oder gleichmäßige Größen handeln muß, ist es bevorzugt, daß die Positionen der jeweiligen Öffnungen in der mehrstufigen (dreistufigen) Anordnung der Verteilerplatten nicht übereinstimmen. Wenn Verteilerplatten aus einem Material gebildet sind, das Wärme durch elektromagnetische Induktion erzeugt, ist ein Blockieren dieser Öffnungen der Platten durch die Erwärmung verhindert.
8 zeigt eine Schnittdarstellung (X-X-Querschnitt) der Verteilerplatte 12q (12p, 12r). Die Verteilerplatte 12q (12p, 12r) weist Führungsvorsprünge 12t, die in Richtung auf die strömungsaufwärtige Seite ragen, sowie Öffnungen 12s2 (12s1, 12s3) auf, die zwischen den einander benachbarten Führungsvorsprüngen 12t ausgebildet sind. Jeder Führungsvorsprung 12t verjüngt sich, um eine Verdampfungsströmung zu den Öffnungen 12s2 (12s1, 12s3) zu führen, und ändert auf diese Weise die Richtung der Verdampfungsströmung in beliebiger Weise. Da die Verdampfungsströmung bei jedem Durchgang durch die Verteilerplatten 12p, 12q und 12r in beliebiger Weise in ihrer Richtung verändert wird, läßt sich eine gleichmäßige Dichte der Verdampfungsströmung über den gesamten Austrittsbereich der Vereinheitlichungsschicht 12A erzielen.
Der Vakuumverdampfer gemäß diesen Ausführungsbeispielen ermöglicht die gleichmäßige Ausbildung einer Schicht von ihrem Zentrum bis zu der Peripherie bei Verwendung einer großen Austrittsöffnung der Verdampfungsquelle 10 zum Anpassen von dieser an ein Substrat mit größerer Fläche.
9 zeigt eine exemplarische Darstellung zur Erläuterung eines weiteres Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. Dieses Beispiel verwendet einen Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung, der zwischen einem Rahmen 10A und einem Rahmen 10B einer Verdampfungsquelle 10 angeordnet ist. Der Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung kann in effektiver Weise unmittelbar auf dem Rahmen 10A plaziert werden, der als Heizeinheit 11 dient, wobei der Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung jedoch auch an einer beliebigen Stelle zwischen den Lagen einer gestapelten Rahmenkonstruktion angeordnet werden kann.
Die Verdampfungsquelle 10 gemäß der vorliegenden Erfindung ist aus der gestapelten Rahmenkonstruktion gebildet, so daß der Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung sich in einfacher Weise und mit einer einfachen Konstruktion zwischen den Lagen der gestapelten Rahmenkonstruktion anordnen läßt.
Der Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung, der aus einem gitterartigen Metallmaterial gebildet ist, das zum Erzeugen von Wärme durch elektromagnetische Induktion in der Lage ist, sammelt eine große Molekülansammlung eines aufzubringenden Materials, das von der Heizeinheit 11 abgestrahlt wird. Wenn die Aufbringgeschwindigkeit durch Hochtemperatur-Erwärmung der Heizeinheit 11 gesteigert wird, nehmen auch Spritzer zu, bei denen es sich um granulare Emissionen des aufzubringenden Materials von der Heizeinheit 11 handelt.
Das Anhaften dieses granularen, aufzubringenden Materials an einem Substrat verringert die Qualität einer Dünnschicht, da die Gleichmäßigkeit der Dünnschicht geringer wird. Um dies zu verhindern, ist der Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung vorgesehen, um die granularen Aufbringmaterialien aufzufangen, wobei die aufgefangenen granularen Materialien in der Heizeinheit 11 wieder gesammelt werden können, indem der Körper 30 zum Auffangen einer großen Molekülansammlung erwärmt wird.
Die 10A und 10B veranschaulichen ein Beispiel eines Vakuumverdampfers zum Bedampfen eines großflächigen Substrats unter Verwendung der Verdampfungsquelle 10 des vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiels. Eine Verdampfungsquellenansammlung 40 ist unter Verwendung einer Vielzahl von in einer Reihe angeordneten Verdampfungsquellen 10 gebildet, und eine Transfereinrichtung ist zum Transferieren der Verdampfungsquellenansammlung 40 rechtwinklig zu ihrer Anordnungslinie (einer in 10A dargestellten Pfeilrichtung) vorgesehen, um ein gesamtes Substrat 30 durch eine Schattenmaske zu bedampfen. Der Aufbringvorgang auf dem gesamten Substrat kann unter Bewegung der Verdampfungsquellenansammlung 40 erfolgen, so daß die Aufdampfzeit verkürzt werden kann.
11 zeigt ein weiteres Beispiel eines Vakuumverdampfers zum Bedampfen eines großflächigen Substrats unter Verwendung der Verdampfungsquelle 10 des vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiels. Eine Verdampfungsquellenansammlung 60 ist bei diesem Ausführungsbeispiel aus einer Vielzahl von Verdampfungsquellen 10 gebildet, die in einer Matrixform in einer Ebene angeordnet sind, um ein großflächiges Substrat nur einmal zu bedampfen.
Die Verdampfungsquellen 10 müssen nicht in dichter Form angeordnet werden, sondern können unter Berücksichtigung der Ausbreitung einer Verdampfungsströmung auch mit geeigneten Intervallen angeordnet werden. Ein Aufbringvorgang auf dem gesamten Substrat kann unter Verwendung von einem einzigen Prozeß erfolgen, in dem die Verdampfungsquellenansammlung 60 mit M × N Stücken von Verdampfungsquellen 10 verwendet wird, so daß sich die Aufdampfzeit somit in bemerkenswerter Weise verkürzen läßt.
Bei den in den 10A und 11 dargestellten Ausführungsbeispielen kann eine Heizschlange 20 für jede Verdampfungsquelle oder für die Gesamtheit der Verdampfungsquellenansammlung 40 oder 60 vorgesehen sein. Wenn die Heizschlange 20 für jede Verdampfungsquelle 10 vorgesehen ist, kann der Erwärmungszustand jeder Verdampfungsquelle individuell gesteuert werden, so daß es auf diese Weise möglich wird, eine Dünnschicht mit einer erforderlichen Qualität in partieller Weise auf einem großflächigen Substrat zu bilden.
Die Vakuumverdampfer gemäß diesen Ausführungsbeispielen sind bei der Herstellung eines organischen EL-Anzeigeschirms, insbesondere eines organischen EL-Anzeige schirms auf einem großflächigen Substrat von Nutzen. Der organische EL-Anzeigeschirm wird aus organischen Dünnschichten gebildet, wie zum Beispiel einer Öffnungs-Transferschicht, einer lichtemittierenden Schicht und einer Elektronentransportschicht in einer Anordnung zwischen einer Anode und einer Kathode.
Bei einem organischen Material, das bei dem Vakuumverdampfern der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung verdampft wird, handelt es sich zumindest um eine Sorte eines organischen Materials, das für die Bildung von diesen organischen Dünnschichten geeignet ist.
Die vorstehend genannten organischen Materialien, die bei den Vakuumverdampfern der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung verwendet werden, umfassen Materialien zum Bilden von Öffnungs-Transferschichten, wie zum Beispiel tris-(8-quinolinolato-)Aluminiumkomplex, bis-(benzoquinolinolato-)Berylliumkomplex, tri-(dibenzoylmethyl-)Phenanthorolin-Europiumkomplex sowie Materialien zum Bilden von Elektronentransportschichten, wie zum Beispiel 1,3,4-oxazole-Derivat, 1,2,4-triazol-Derivat.
Die Materialien sind nicht auf die vorstehend genannten Materialien beschränkt, sondern es ist jedes beliebige Material zum Ausbilden von Funktionsschichten auf einem organischen EL-Anzeigeschirm verwendbar. Die Vakuumverdampfer gemäß diesen Ausführungsbeispielen sind auch für eine exakte Steuerung einer Verdampfungsströmung in einem Multimaterial-Aufbringverfahren geeignet, das für die Herstellung eines Farb-Anzeigeschirms erforderlich ist.
Anstatt der Anordnung der Heizschlange 20 um die gesamte Verdampfungsquelle 10 herum, wie dies vorstehend beschrieben worden ist, kann die Heizschlange 20 auch nur um den Rahmen einer Heizeinheit 11 herum vorgesehen sein, und die übrigen Rahmen der Verdampfungsquelle 10 können unter Verwendung der Wärmeleitung von der Heizeinheit 11 erwärmt werden. Die Verdampfungsquelle 10 der vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele ist aus einer gestapelten Rahmenkonstruktion gebildet, so daß eine rasche Wärmeleitung von der Heizeinheit 11 zu der Verdampfungsströmungs-Steuerung 12 erzielt wird.
Anstatt der Ausbildung von einer Heizschlange 20 um die Gesamtheit der Verdampfungsquelle 10 herum, wie dies vorstehend erläutert worden ist, ist es auch möglich, eine Heizschlange für jeden Rahmen 10A, 10B bzw. 10C vorzusehen, um den Erwärmungszustand der Rahmen 10A, 10B und 10C entsprechend der jeweiligen Funktion individuell zu steuern. In diesem Fall ist die vorstehend beschriebene Magnetsonde 22 in jedem Rahmen 10A, 10B und 10C vorhanden.
Die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung, wie sie vorstehend erläutert worden sind, besitzen folgende Merkmale: (1) eine Verbesserung bei der Ausnutzungseffizienz der aufzubringenden Materialien, (2) eine Steigerung der Qualität der gebildeten Dünnschichten, und (3) eine gleichmäßige Aufbringung auf einem Substrat mit größerer Fläche.
Vorstehend sind zwar Ausführungsformen beschrieben worden, die derzeit als bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung betrachtet werden, jedoch versteht es sich, daß verschiedene Modifikationen an diesen vorgenommen werden können, wobei die beigefügten Ansprüche alle solchen Modifikationen mitumfassen sollen, die im Umfang der Erfindung liegen.

Claims

Vakuumverdampfer, der folgendes aufweist: einen Vakuumbehälter (1), einen Halter (4) für einen zu bedampfenden Gegenstand (3), mindestens eine Verdampfungsquelle (10), in der ein organisches Material (B) aufgenommen ist, eine Vakuumpumpe (6) und ein Ventil (5), wobei der Halter (4) und die Verdampfungsquelle (10) in dem Vakuumbehälter (1) angeordnet sind, wobei die Verdampfungsquelle (10) folgendes aufweist: – eine Heizeinheit (11) zum Erwärmen und Verdampfen des aufgenommenen organischen Materials (B); – eine Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) zum Steuern der Richtung einer Verdampfungsströmung (A) von der Verdampfungsquelle (10) zu dem zu bedampfenden Gegenstand (3), wobei die Verdampfungsströmung (A) durch Erwärmen des organischen Materials (B) erzeugt wird; – wobei die Verdampfungsquelle (10) mit einer aufeinander folgend gestapelten Rahmenkonstruktion (10A–10C) ausgebildet ist, von der ein unterer Rahmen (10A) als Heizeinheit (11) dient, wobei die anderen Rahmen (10B, 10C) der gestapelten Rahmenkonstruktion (10A–10C) als Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) dienen.
Vakuumverdampfer nach Anspruch 1, wobei die Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) eine in der obersten Strömung befindliche Vereinheitlichungsschicht (12A) zum Vergleichmäßigen der Verdampfungsströmung (A) in dem gesamten Bereich von der Heizeinheit (11) bis zu dem zu bedampfenden Gegenstand (3) aufweist.
Vakuumverdampfer nach Anspruch 2, wobei die Vereinheitlichungsschicht (12A) eine Verteilerplatte (12p, 12q, 12r) beinhaltet, die eine Vielzahl von Führungsvorsprüngen (12t) zum Ändern der Richtung der Verdampfungsströmung (A) und eine Vielzahl von zwischen den einander benachbarten Führungsvorsprüngen (12t) ausgebildeten Öffnungen (12s₁ , 12s₂ , 12s₃ ) zum Hindurchführen der Verdampfungsströmung (A) durch diese aufweist.
Vakuumverdampfer nach Anspruch 3, wobei die Vereinheitlichungsschicht (12A) einen konischen Rahmen (10B) mit einer Breite bildet, die entlang der strömungsabwärtigen Richtung der Verdampfungsströmung (A) zunimmt, und wobei die Verteilerplatten (12p, 12q, 12r) in mehreren Stufen in der Vereinheitlichungsschicht (12A) angeordnet sind.
Vakuumverdampfer nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Vereinheitlichungsschicht (12A) aus einem Material gebildet ist, das für ein Erwärmen durch die Heizeinheit (11) ausgelegt ist.
Vakuumverdampfer nach einen der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) eine Verdampfungsströmungs-Regulierschicht mit eine Vielzahl von Durchlaßzonen (25A) aufweist, die durch Regulierplatten (25) unterteilt sind.
Vakuumverdampfer nach Anspruch 6, wobei mindestens eine der Regulierplatten (25) aus einem Material gebildet ist, das für ein Erwärmen durch die Heizeinheit (11) ausgelegt ist.
Vakuumverdampfer nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Heizeinheit (11) das organische Material (B) und Füllstoffe (21) aufnimmt, wobei die Füllstoffe (21) aus einem Material gebildet sind, das sich durch elektromagnetische Induktion erwärmen läßt, und wobei die Heizeinheit (11) eine Heizeinrichtung (20) zum Erwärmen des organischen Materials (B) und der Füllstoffe (21) durch elektromagnetische Induktion aufweist.
Vakuumverdampfer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, weiterhin mit einem gitterartigen Körper (30) zum Auffangen einer großen Molekülansammlung, der aus einem Material gebildet ist, das sich erwärmen läßt, und der zwischen der Heizeinheit (11) und der Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) oder zwischen den jeweiligen Rahmen der Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) angeordnet ist.
Vakuumverdampfer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Vielzahl der Verdampfungsquellen (10) in einer Ebene angeordnet sind.
Vakuumverdampfer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Vielzahl der Verdampfungsquellen (10) linear parallel angeordnet sind, und wobei der Vakuumverdampfer ferner einen Transferbereich zum Transferieren von einer beliebigen der Verdampfungsquellen (10) und des zu bedampfenden Gegenstands (3) in einer zu der linearen Anordnung der Verdampfungsquellen (10) rechtwinkligen Richtung aufweist.
Verfahren zum Herstellen eines organischen EL-Anzeigeschirms mit organischen Dünnschichten, die zwischen einem Paar Elektroden aufgebracht sind und die jeweils auf einer Oberfläche eines Substrats (3) gebildet sind, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Vakuumverdampfers, der eine Verdampfungsquelle (10) aufweist, die aus aufeinander folgend gestapelten Rahmen (10A–10C) gebildet ist, von denen ein unterer Rahmen (10A) als Heizeinheit (11) zum Aufnehmen eines organischen Materials (B) und zum Verdampfen des organischen Materials (B) durch Erwärmung dient und von denen andere Rahmen (10B, 10C) als Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) zum Steuern der Richtung der Verdampfungsströmung (A) von der Heizeinheit (11) zu dem Substrat (3) dienen.
Verfahren nach Anspruch 12, wobei die Verdampfungsströmungs-Steuerung (12) eine in der obersten Strömung befindliche Vereinheitlichungsschicht (12A) zum Vergleichmäßigen der Verdampfungsströmung (A) in dem gesamten Bereich von der Heizeinheit (11) bis zu dem Substrat (3) aufweist.
Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Heizeinheit (11) das organische Material (B) und Füllstoffe (21) aufnimmt, wobei die Füllstoffe (21) aus einem Material gebildet sind, das sich durch elektromagnetische Induktion erwärmen läßt, und wobei die Heizeinheit (11) eine Heizeinrichtung (20) zum Erwärmen des organischen Materials (B) und der Füllstoffe (21) durch elektromagnetische Induktion aufweist.