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DE59609415D1 - Reibungsvakuumpumpe mit zwischeneinlass - Google Patents

Reibungsvakuumpumpe mit zwischeneinlass

Info

Publication number
DE59609415D1
DE59609415D1 DE59609415T DE59609415T DE59609415D1 DE 59609415 D1 DE59609415 D1 DE 59609415D1 DE 59609415 T DE59609415 T DE 59609415T DE 59609415 T DE59609415 T DE 59609415T DE 59609415 D1 DE59609415 D1 DE 59609415D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum pump
intermediate inlet
friction vacuum
friction
inlet
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE59609415T
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Boehm
Ralf Hirche
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vakuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
Priority to DE59609415T priority Critical patent/DE59609415D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE59609415D1 publication Critical patent/DE59609415D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
DE59609415T 1995-10-20 1996-08-09 Reibungsvakuumpumpe mit zwischeneinlass Expired - Lifetime DE59609415D1 (de)

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DE59609415T DE59609415D1 (de) 1995-10-20 1996-08-09 Reibungsvakuumpumpe mit zwischeneinlass
PCT/EP1996/003524 WO1997015760A1 (de) 1995-10-20 1996-08-09 Reibungsvakuumpumpe mit zwischeneinlass

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EP (1) EP0856108B1 (de)
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WO (1) WO1997015760A1 (de)

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