DE10111603A1 - Gasreibungspumpe mit zusätzlichem Gaseinlass - Google Patents

Abstract

Am Gehäuse (1) einer Gasreibungspumpe, welches mit einer Ansaugöffnung (2) und einer Gasaustrittsöffnung (3) versehen ist, befindet sich ein weiterer Gaseinlass (10). Dieser Gaseinlass weist die Form eines Langloches auf und ist so angebracht, dass er sich in seiner Längsrichtung über einen Teil des äußeren Randes eines rotierenden Bauteiles erstreckt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Gasreibungspumpe mit zusätzlichem Gaseinlass nach dem Oberbegriff des 1. Patentanspruches.

Im Gehäuse einer Gasreibungspumpe sind feststehende und rotierende pumpaktive Bauteile untergebracht. Diese bestehen im vorliegenden Beispiel einer Turbomolekularpumpe aus mit Schaufeln versehenen Scheiben, die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Durch das Zusammenwirken dieser Scheiben wird der Pumpeffekt erzeugt. Gase, welche durch die Ansaugöffnung auf der Hochvakuumseite in die Pumpe gelangen, werden verdichtet und zur Vorvakuumseite gefördert. Von hier aus können sie durch interne oder externe Pumpstufen weiter bis Atmosphärendruck verdichtet werden. Über einen Vorvakuumanschluss können externe Pumpsysteme angeschlossen werden.

Es gibt unterschiedliche Gründe, neben der Hauptansaugöffnung noch einen oder mehrere zusätzliche Gaseinlässe an der Pumpe anzubringen. Im Folgenden einige Beispiele:

• - Wird zum Beispiel eine Turbomolekularpumpe außer Betrieb gesetzt, so ist es sinnvoll, die Pumpe mit trockenem Gas zu fluten, um Verunreinigungen, insbesondere durch Kohlenwasserstoffe und Wasser, zu verhindern und die Pumpzeit beim Wiedereinschalten zu verkürzen. Dies geschieht vorzugsweise über ein Ventil, welches am Umfang der Pumpe angebracht ist und den Gasstrom zwischen zwei Rotorscheiben führt (DE-A 18 09 902, DE-A 44 27 153).
• - Während des Betriebes einer Turbomolekularpumpe kann es für den Pumpeffekt von Vorteil sein, ein Spülgas einzulassen (DE-A 18 09 902, DE-A 44 27 153).
• - Ausgewählte Gase können wirkungsvoll zum Kühlen der Pumpe während des Betriebes eingelassen werden (DE-A 195 08 566).
• - Durch Zuführung eines Teils des Gasstromes aus einem Gebiet höheren Druckes auf die Hochvakuumseite in der Höhe der letzten Scheiben kann das Saugvermögen einer Turbomolekularpumpe beeinflusst werden (DE-A 197 04 234)
• - Turbomolekularpumpen, welche an Lecksuchanlagen oder Analysensystemen eingesetzt werden, sind in der Regel an mehreren Stellen mit Gaseinlässen versehen, welche das zu zuführende Gas zwischen die Rotorscheiben leiten (DE-A 16 48 648, DE-A 43 31 589).

Bei allen diesen Einrichtungen erfolgt der Gaseinlass über Bohrungen im Gehäuse der Pumpe. Daraus resultiert ein Gasstrahl in radialer Richtung zwischen Rotorscheiben. Zur Weiterförderung muss der Strahl um 90° umgelenkt werden. Solche, dem Stand der Technik entsprechenden Anordnungen stellen dem Solche, dem Stand der Technik entsprechenden Anordnungen stellen dem Gaseinlass einen hohen Strömungswiderstand entgegen, wodurch die erzielte Wirkung behindert wird und nur mit Zeitverzögerung einsetzen kann.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Gaseinlass an einer Gasreibungspumpe in der Höhe der Rotorscheiben vorzustellen, welcher gegenüber dem Stand der Technik eine höhere Wirksamkeit aufweist und ein schnelleres Eintreten der angestrebten Effekte ermöglicht.

Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Teile des Schutzanspruches gelöst. Durch die erfindungsgemäße Anordnung werden die Strömungsverhältnisse der zusätzlichen Gaseinlassanordnung erheblich verbessert. Der Strömungswiderstand wird dadurch reduziert, da nicht mehr ein durch die Einlassbohrung eng gebündelter Gasstrahl die Rotorscheiben trifft und dort umgelenkt werden muss.

Anhand der Figur soll die Erfindung am Beispiel einer Turbomolekularpumpe näher erläutert werden. Sie zeigt eine Turbomolekularpumpe mit dem Gehäuse 1, welches eine Ansaugöffnung 2 und eine Gasaustrittsöffnung 3 aufweist. Die Rotor- 4 und die Statorscheiben 6 sind mit pumpaktiven Strukturen, die im vorliegenden Falle einer Turbomolekularpumpe aus Schaufelkränzen mit schräg zur Scheibenebene angestellten Schaufeln 8 bestehen, versehen. Ein zusätzlicher Gaseinlass 10 in Form eines Langloches ist am Umfang des Gehäuses angebracht. Dieser Gaseinlass erstreckt sich in seiner Längsrichtung über einen Teil des äußeren Randes einer Rotorscheibe 4.

Claims (1)

1. Gasreibungspumpe mit in einem Gehäuse (1) untergebrachten rotierenden (4) und feststehenden Bauteilen (6), die mit pumpaktiven Strukturen zur Förderung von Gasen und zur Aufrechterhaltung eines Druckverhältnis versehen sind, wobei das Gehäuse eine Ansaugöffnung (2) und eine Gasaustrittsöffnung (3) sowie einen zusätzlichen Gaseinlass (10) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der zusätzliche Gaseinlass (10) in der Form eines Langloches ausgebildet ist, welches in Umfangsrichtung am Gehäuse (1) angebracht ist und sich in seiner Längsausdehnung über einen Teil des äußeren Randes eines rotierenden Bauteiles erstreckt.