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DE3850451T2 - Strahlungsvernetzbare Klebestreifen. - Google Patents

Strahlungsvernetzbare Klebestreifen.

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Publication number
DE3850451T2
DE3850451T2 DE3850451T DE3850451T DE3850451T2 DE 3850451 T2 DE3850451 T2 DE 3850451T2 DE 3850451 T DE3850451 T DE 3850451T DE 3850451 T DE3850451 T DE 3850451T DE 3850451 T2 DE3850451 T2 DE 3850451T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
weight
parts
curable
isocyanurate
Prior art date
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DE3850451T
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English (en)
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DE3850451D1 (de
Inventor
Yoshiyuki Funayama
Shinichi Ishiwata
Kazushige Iwamoto
Hiroyuki Nakae
Isamu Noguchi
Michio - Ueyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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Priority claimed from JP63076185A external-priority patent/JPH01249877A/ja
Priority claimed from JP7618688A external-priority patent/JP2661950B2/ja
Priority claimed from JP63078202A external-priority patent/JPH01252685A/ja
Priority claimed from JP63078201A external-priority patent/JPH01252684A/ja
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Klebeband, das in einem Arbeitsschritt, in dem ein Halbleiterwafer (zum Beispiel aus Si und GaAs), Keramik, Glas, etc. geschnitten oder abgeschliffen wird, verwendet wird.
  • Bis jetzt wird bei der Chipzerschneidung, um Chip herzustellen, ein direktes Aufnahmesystem verwendet, wobei der Halbleiterwafer auf ein Klebeband gesteckt und gesichert wird. Der Wafer wird mit einer rotierenden kreisförmigen Klinge entlang der Ausgestaltung des Chips geschnitten. Das Sicherungsklebeband wird radial expandiert, um die Klebekraft, die den Chip sichert, ein wenig zu erniedrigen, dadurch werden die Chips in die Lage versetzt, daß sie nacheinander von dem Klebeband aufgenommen werden und sofort danach werden die Chips auf einer Matrize befestigt.
  • In dem obigen System wird, wenn der Halbleiterwafer mit einer rotierenden kreisförmigen Klinge geschnitten wird, zum Zwecke der Kühlung der rotierenden kreisförmigen Klinge und zur Beseitigung der Späne, Waschwasser, das auf einen Druck von ungefähr 2 kg/cm² gebracht wird, gegen die rotierende kreisförmige Klinge und den Halbleiter Wafer gespritzt. Deshalb wird verlangt, daß die Chipsicherungs-Klebekraft in dem Chipzerschneidungsverfahren der Schneideeinwirkungskraft der rotierenden kreisförmige Klinge und dem Wasserdruck widersteht und in diesem Sinne ist es um so besser je größer die Klebekraft ist. Jedoch wird, wenn die Chipsicherungs- Klebekraft übermäßig ist, die Aufnahme der Chips von dem Klebeband schwierig. Das ist der Grund warum es notwendig ist, daß die Chipsicherungs-Klebekraft in dem Chipzerschneidungsverfahren und die Chipsicherungs-Klebekraft bei der Aufnahme in Übereinstimmung mit der Größe des Chips kontrolliert werden und deshalb muß die Klebekraft des Klebebands in Übereinstimmung mit der Größe des Chips sein. Des weiteren wird für den Fall, daß die Chips eine Größe von 25 mm² oder mehr haben, wie bei Chips für die neuen LSI, deren Integrationsgrad angestiegen ist, die individuelle Chip- Sicherungsklebekraft hoch ist, so daß ein Problem dadurch entsteht, daß die Aufnahme von dem Klebeband schwierig wird, die nicht die Anwendung der direkten Aufnahme zuläßt.
  • Zur Lösung dieses Problems wurden Klebebänder zur Sicherung des Halbleiterwafers vorgeschlagen, die einen Träger aufweisen, durch den Strahlungen, wie ultraviolette Strahlen oder ionisierende Strahlen wie ein Elektronenstrahl passieren können und eine Klebeschicht auf dem Träger aufgebracht ist und gehärtet wird, wenn sie bestrahlt wird, wobei die Chipsicherungs-Klebekraft in dem Chipzerschneidungsverfahren hoch gehalten wird und nachdem der Halbleiterwafer geschnitten worden ist und in Chips zerteilt worden ist, wird das Band von der Trägerseite mit Strahlung bestrahlt, um die strahlungshärtbare Schicht zu härten, wodurch die Chipsicherungs-Klebekraft beträchtlich erniedrigt wird, so daß der Chip unabhängig von seiner Größe, wie einer Größe von 25 mm² oder mehr, leicht aufgenommen werden kann.
  • Diese Vorschläge stellen Halbleiterwafer-Sicherungsklebebänder zur Verfügung, die einen strahlungsübertragenden Träger aufweisen, der mit einem strahlungshärtbaren Klebemittel beschichtet ist, der auf dem Prinzip gründet, daß die strahlungshärtbare Verbindung in dem Klebemittel gehärtet wird, um zu bewirken, daß das Klebemittel eine dreidimensionale Struktur aufweist, so daß das Fließvermögen des Klebemittels erheblich erniedrigt wird, als Folge davon wird die Chipsicherungs-Klebekraft beachtlich erniedrigt. Beispiele für derartige Klebebänder sind in den japanischen Anmeldungen (OPI) Nr. 196956/1985, 201642/1985, 28572/1986 und 10180/1987 offenbart.
  • Jedoch in den Halbleiterwafer-Verfahrensschritten, in denen ein strahlungshärtbares Band verwendet wird (wie zum Beispiel beim Kleben, Schneiden, Schleifen, Polieren und Aufnehmen) können solche Probleme, wie unten beschrieben, vorkommen.
  • Jedoch ist der Oberflächenzustand der Halbleiterwafer, die auf den Halbleiterwafer-Sicherungsklebebändern kleben, nicht immer spiegelnd oder fast spiegelnd. Das bedeutet, daß die Waferoberfläche einer Schleifbehandlung, einer Ätzbehandlung oder einer speziellen Behandlung, wobei eine Metall wie Gold abgeschieden wird, unterworfen wird und dies führt zu einer Anzahl von feinen Rissen in der Waferoberfläche. Daher kann die Fluidisation des Klebemittels nicht vollständig verhindert werden, in dem einfach die Klebemittelschicht veranlaßt wird, nach einer Bestrahlung, ein dreidimensionales Netzwerk auszubilden und deshalb ändert sich, abhängig vom Oberflächenzustand des Wafers, die Chipsicherungs-Klebekraft auffallend. Als Folge wird in einigen Fällen die Aufnahme selbst von Chips, die eine Größe von 25 mm² oder darunter haben schwierig. Daher wird eine Änderung bei der Chipsicherungs-Klebekraft nach der Bestrahlung, wegen des Oberflächenzustands der Chips, wo sie kleben, bewirkt, die zu dem Problem führt, daß die Aufnahme-Durchführung überaus die Rentabilität der Chips erniedrigt.
  • Des weiteren wird gewöhnlich ein Film, der eine einzelne Harzschicht, zum Beispiel aus Polyvinylchlorid oder Ethylenvinylacetat-Mischpolymer als das Substrat des strahlungshärtbaren Klebebands enthält, verwendet, aber falls es jedoch erwünscht ist die Halbleiterwafer mit höherer Geschwindigkeit und effizienter auf einer industriellen Produktionsebene herzustellen, können weitere Probleme, die unten erwähnt werden, entstehen.
  • Falls ein Halbleiterwafer oder ähnliches unter Verwendung eines strahlungshärtbaren Klebebandes in Chips zerschnitten wird, wird eine beträchtliche Spannung auf das Klebeband ausgeübt, weil der Trägerfilm unter dem Einfluß der Einwirkung der Schneidearbeit einer rotierenden kreisförmigen Scheibe in dem Halbleiterwafer, der auf einem Klebeband klebt, steht, sowie wegen dem Einfluß des Gewichts des Halbleiterwafers selbst. Wegen der Spannung wird der Trägerfilm expandiert und manchmal wird der mittlere Teil des Klebebands locker und hängt herab. Falls das so gelockerte Klebeband in einem Transportbehälter verwahrt wird, um zum nächsten Schritt transportiert zu werden, entstehen derartige Problem, wie, daß das Band sich nicht verwahren läßt oder ein Wafer-zu-Wafer Kontakt in dem Transportbehälter eintritt. Ebenfalls wird wegen der Lockerung des Klebebands der Abstand zwischen den Chips eng und die benachbarten Enden des Chips berühren sich und beschädigen die Chips, was ein anderes Problem ist. Des weiteren wird das strahlungshärtbare Klebeband einer Bestrahlung unterworfen, um die Chipsicherungs-Klebekraft zu erniedrigen als Vorbehandlung zur Aufnahme der Chips. Währende des Bestrahlungsverfahrens wird das Klebeband mittels Licht, das auf das Klebeband fällt, im Infrarotbereich erwärmt. Als Folge davon wird eine weitere Expansion oder teilweise Faltenbildung des Klebebands mittels der Wärme oder ähnlichem verursacht. Da diese Expansion oder Faltenbildung bis zum letzten Schritt erhalten bleiben, wenn der strahlungshärtbare Klebstoff gehärtet wird und die Chips aufgenommen werden, ist die Expansion und die Faltenbildung nicht nur vorhanden, wenn das Klebeband in einem Transportbehälter für den Transport zwischen den Schritten verwahrt wird, sondern, sie verursachen auch ungleichmäßige Abstände zwischen den Chips, die zu einer unvollständigen Aufnahme der Chips führen.
  • Andererseits verschwinden in einem derartigen System, in dem die Klebekraft erniedrigt wird, in dem ein dreidimensionales Netzwerk dem Klebstoff mittels einer Härtungsreaktion einer strahlungshärtbaren Verbindung zur Verfügung gestellt wird, die gummiartigen Eigenschaften des Klebebands fast, die während des Chipzerschneidungsschritts erhalten geblieben sind, wenn der Aufnahme-Arbeitsgang durchgeführt wird.
  • Daher entsteht ein derartiges Problem, daß die Radialexpansion des Klebebands, die bisher durchgeführt wurde, nicht gehalten werden kann. Diese Expansion des Bandes, die durchgeführt wird oder nicht durchgeführt wird, in Abhängigkeit von der Durchführung der Waferbearbeitungsvorrichtung oder der Größe der Chips, wird durchgeführt, um zu verhindern, daß sich die benachbarten Chips berühren und die Umfangsoberfläche beschädigt wird, wenn die Chips vom Klebeband aufgenommen werden, weil der Zwischenraum zwischen dem Chipschnitt durch die rotierende kreisförmige Schneide zu gering ist. Als Mittel dieses Problem zu vermeiden, wird ein Klebeband vorgeschlagen, das strahlungsgehärtet wird, nachdem das Band expandiert worden ist, wie es in der japanischen Patentanmeldung (OPI) Nr. 59684/1987 offenbart wird. In dem Fall, daß ein Harz gummiartige Eigenschaften haben soll, wird ein Harz wie Polybuten, Polyurethan und 1,2-Polybutadien verwendet. Vor der Bestrahlung können diese Harze expandiert werden, um einen Zwischenraum zwischen den Chips auszubilden, der groß genug ist, um zu verhindern, daß die Chips sich berühren, aber wenn versucht wird die Zwischenräume zwischen den Chips groß genug zu machen, wie es für eine Aufnahmevorrichtung erforderlich ist, die ein Bild erkennt, wenn der Chip aufgenommen wird, werden die Zwischenräume zwischen den Chips uneinheitlich aufgrund der Berührung des Films selbst und auch der Film wird aufgrund der Bestrahlung oder der Expansion nach der Bestrahlung beschädigt, woraus ein Verschwinden der gummiartigen Eigenschaften resultiert, so daß eine derartige Vergrößerung des Zwischenraums unmöglich wird. Das Klebemittel dieses Klebebands ist identisch mit dem, das in der japanischen Patentanmeldung (OPI) Nr. 19 695/1985 offenbart wird und die Expansion des Klebebands wird vor der Bestrahlung durchgeführt. Im allgemeinen wird die Expansion nach der Bestrahlung durchgeführt, da das expandierte Band durch die Wärme der Bestrahlung erwärmt wird, wobei dieser Fall den Nachteil hat, daß die Chips nicht einheitlich angeordnet werden können (die Ausrichtungseigenschaft ist mangelhaft). Des weiteren können in einem derartigen Verfahren die Vorrichtungen zur Aufnahme der Chips, die gewöhnlich von Halbleiter-Herstellern verwendet worden sind, nicht mehr in geeigneter Weise verwendet werden. (Im allgemeinen ist ein Expandiermechanismus in eine Aufnahmevorrichtung eingebaut und die Bestrahlung wird vor dem Schritt der Expansion des Klebebandes durchgeführt).
    • Kurze Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist ein Hauptziel der Erfindung ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung zu stellen, daß die Vorteile der konventionellen strahlungshärtbaren Klebebänder erhält und frei von den oben geschilderten Problemen ist. Das heißt, daß es das Hauptziel der Erfindung ist, ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung zu stellen, das für die Verfahrensschritte eines Halbleiterwafers oder ähnlichem, unter Verwendung eines direkten Aufnahmesystems, geeignet ist.
  • Eines der Ziele der Erfindung ist es, ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung zu stellen, das die Vorteile des konventionellen strahlungshärtbaren Klebemittels bewahrt und die Abhängigkeit der Chipsicherungs-Klebekraft von dem Oberflächenzustand eines Halbleiterwafers für den späteren Aufnahmeschrittes beachtlich reduziert wird.
  • Ein anderes Ziel der Erfindung ist es, ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung zu stellen, daß weder ausgedehnt ist noch locker ist, wenn ein Halbleiterwafer auf dem Klebeband haftet und in Chips zerschnitten wird und zusätzlich, daß es nicht weiter gedehnt wird oder teilweise faltig wird, wenn das Klebeband bestrahlt wird, um die Chipsicherungs-Klebekraft zu erniedrigen, um das Aufnahmesystem zu ermöglichen.
  • Ein anderes Ziel der Erfindung ist es ein strahlungshärtbares Klebeband derart zur Verfügung zu stellen, daß, wenn das Klebeband durch äußere Faktoren ausgedehnt oder locker wird, der ausgedehnte Zustand oder der lockere Zustand des Klebebands schnell mittels einer Erwärmungshandlung und einer Abkühlung nach der Bestrahlung berichtigt wird.
  • Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es ein strahlungshärtbares Klebeband der Art zur Verfügung zu stellen, daß, nachdem es bestrahlt worden ist, mit gummiartigen Eigenschaften versehen wird, die Chipsicherungs-Klebekraft erniedrigt werden kann und das Klebeband expandiert werden kann, um das Aufnahmesystem zu ermöglichen.
  • Andere und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden augenscheinlicher aus der folgenden Beschreibung.
    • Ausführlich Beschreibung der Erfindung
  • Der Ausdruck "Klebeband" bedeutet ein druckempfindliches Klebeband und der Ausdruck "Klebemittel" bedeutet ein druckempfindliches Klebemittel in dieser Beschreibung und den Ansprüchen.
  • Die Erfinder haben viele Wege untersucht, um die Mängel der strahlungshärtbaren Klebebänder des Standes der Technik zu überwinden und haben gefunden, daß wenn eine gewisse strahlungspolymerisierbare Cyanuratverbindung oder eine Isocyanuratverbindung in einem vorgeschriebenen Verhältnis in einem Akrylklebemittel verwendet wird, kann das Klebemittel mittels Bestrahlung gehärtet werden, um eine dreidimensionale Struktur auszubilden und zur selben Zeit wird das gehärtete Klebemittel elastisch gemacht und die Chipsicherungs- Klebekraft wird veranlaßt dauerhaft niedrig zu sein, unabhängig von der Rauheit der Oberfläche des Chips, an der die Haftung bewirkt wird. All dies hat zur Vollendung der Erfindung geführt.
  • Was die radial expandierbaren Klebebänder betrifft, obwohl die Erfinder dem von Anfang an Beachtung schenkten, wenn als Trägerfilme für Klebebänder, ein weicher Vinylchloridfilm verwendet wird, der gummiartige Eigenschaften hat, der einheitlich expandiert werden kann, hat es sich bestätigt, daß ein derartiger Vinylchloridharzfilm schlechter wird, zum Beispiel durch das Ozon in der Atmosphäre, das durch Bestrahlung aktiviert worden ist, wodurch molekulares Chlor ohne weiteres frei gesetzt wird und daß das restliche Klebemittel, das sich auf dem Chip befindet, von dem angenommen wird, daß es ihm über das Chlorgas ermöglicht wird in die Klebemittelschicht einzudringen.
  • Eine erste erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft ein strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband, daß einen strahlungsübertragenden Mehrschichtfilm aufweist, der mindestens drei strahlungsübertragende Harzschichten aufweist, wobei ein Weichpoly(vinylchlorid) oder ein Elastomer als Zwischenschicht verwendet wird, wobei der strahlungsübertragende Film eine auf ihm ausgebildete strahlungshärtbare Klebeschicht aufweist, umfassend 100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels und 5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Isocyanuratverbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus:
  • Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
  • Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)isocyanurat,
  • Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
  • Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acyloxy)hexyloxyethyl-isocyanurat.
  • Des weiteren wurde gefunden, daß die Chipsicherungskraft dauerhafter erniedrigt wird, unabhängig vom Zustand der Chipoberfläche, an dem die Haftung stattfindet, indem ein Silikonacrylat in einem vorgeschriebenen Anteil in ein strahlungshärtbares Acrylklebemittel zugegeben wird.
  • Die Acrylklebemittel, die erfindungsgemäß verwendet werden, enthalten Homopolymere, deren Hauptkomponente ein Acrylsäurester oder Methacrylsäure und ein Mischpolymer der Acrylsäure oder Methacrylsäure oder ihrer Ester oder ihrer Säureamide mit anderen copolymerisierbaren Monomeren und Gemischen dieser Polymere ist. Als Monomere oder Comonomere können zum Beispiel Alkylester der Acrylsäure oder Methacrylsäure, wie Methylester, Ethylester, Butylester, 2- Ethylhexylester, Octylester, Glycidylester, Hydroxymethylester, 2-Hydroxyethylester und Hydroxypropylester; sowie Amide und N-substituierte Amide der Acrylsäure und Methacrylsäure oder Methacrylsäureamid, wie N-Hydroxymethylacrylsäureamid oder Methacrylsäureamid erwähnt werden. Falls erforderlich können solche verwendet werden, die einen Vernetzer enthalten, wie Polyisocyanatverbindungen oder alkylveretherte Melaminverbindungen. Die Acrylklebemittel sind an sich bekannt und beschrieben, zum Beispiel in den japanischen Patentanmeldungen auf die oben hingewiesen wurde.
  • Der Gehalt der Isocyanuratverbindung in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt 500 Gewichtsteile, vorzugsweise 60 bis 150 Gewichtsteile bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels. Falls der Gehalt zu gering ist, ist dies nicht bevorzugt, weil das dreidimensionale Netzwerk des strahlungshärtbaren Klebemittels, daß mittels Bestrahlung ausgebildet wird, ungenügend ist, kann es die Fluidisation des Acrylklebemittels nicht verhinderten und die Chipsicherungs-Klebekraft kann nicht genug erniedrigt werden, um die Chips leicht aufzunehmen. Im Gegensatz dazu wird, wenn der Gehalt zu hoch ist, der Plastifizierungseffekt des Acrylklebemittels zu hoch und die erhaltene Chipsicherungs-Klebekraft wird nicht stark genug sein, um der Schneideeinwirkungskraft durch die rotierende kreisförmige Schneide oder dem Wasserdruck des Waschwassers in dem Chipzerschneidungsprozeß zu widerstehen.
  • Erfindungsgemäß ist ein Silikon(meth)acrylat (d. h. Acrylat oder Methacrylat) ein Silikonharz, das mit einem (Meth)acrylat modifiziert ist und kann zum Beispiel über eine Methanol abspaltenden Reaktion synthetisiert werden, wobei ein organofunktionelles Methoxysilan mit einem Silanolgruppen haltigen Polysiloxan kondensiert wird.
  • Falls die Funktionalitätszahl als die Zahl der (Meth)acrylgruppen, die in der Molekülkette des Silikon(meth)acrylat anwesend sind, ausgedrückt wird, sind zwei oder mehr Funktionen bevorzugt und insbesondere ist erfindungsgemäß ein Silikon(meth)acrylat), das vier bis sechs Funktionen hat, bevorzugt.
  • Erfindungsgemäß beträgt die Menge eines derartigen Silikon(meth)acrylats, die zugegeben wird, im allgemeinen 0,01 bis 20 Gewichtsteile, bevorzugt 0,1 bis 10 Gewichtsteile und besonders bevorzugt 0,5 bis 4 Gewichtsteile bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Erfindungsgemäß bedeutet der Ausdruck "Strahlung" Lichtstrahlen, wie ultraviolette Strahlen oder ionisierende Strahlen, wie einen Elektronenstrahl, wobei ultraviolette Strahlen bevorzugt verwendet werden.
  • Falls das erfindungsgemäße Klebeband mit Ultraviolettbestrahlung gehärtet wird, kann zusätzlich ein Photopolymerisationsinitator zugegeben werden, zum Beispiel Isopropylbenzoinether, Isobutylbenzoinether, Benzophenon, Michlers Keton, Chlorthioxanthon, Dodecylthioxanthon, Dimethylthioxanthon, Diethylthioxanthon, Benzyldimethylketal, α-Hydroxycyclohexylphenylketon und 2-Hydroxymethylphenylpropan. Falls eines oder mehrere dieser Verbindungen der Klebeschicht zugegeben werden, wenn die Härtungsreaktionszeit verkürzt wird oder die Menge an Ultraviolettenstrahlen für die Bestrahlung reduziert wird, kann die Härtungsreaktion effizienter durchgeführt werden, um die Chipsicherungs-Klebekraft zu erniedrigen.
  • Falls notwendig kann das strahlungshärtbare Klebemittel, das erfindungsgemäß verwendet wird, zum Beispiel einen Klebrigmacher, einen Viskositätsmodifikator, ein oberflächenaktives Mittel oder andere Modifikatoren und übliche Verbindungen enthalten.
  • Als Trägerfilm für das erfindungsgemäße strahlungshärtbare Klebeband, das zur Radialexpansion geeignet ist, wird ein Film, der aus mindestens drei strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten gemacht ist, wobei ein Weich-PVC (Poly(vinylchlorid)) Harz oder ein Elastomer (Gummi) als Zwischenschicht verwendet wird und eine, die die gummiartigen Eigenschaften hat, die es dem Film ermöglichen gleichmäßig expandiert zu werden.
  • Als Weichpolyvinylchloride werden erfindungsgemäß typischer Weise solche wie Phthalate, wie Dibutylphthalat, Dioctylphthalat, Dinonylphthalat und Diisodecylphthalat; andere Weichmacher vom Polyestertyp; Weichmacher vom Epoxytyp oder Weichmacher vom Trimellitattyp zugegeben, aber auch Mischpolymere vom Vinylchloridtyp wie Urethan/Vinylchlorid- Mischpolymere, Ethylen/Vinylchlorid-Mischpolymere, Vinylacetat/Vinylchlorid-Mischpolymere und Ethylen/Vinylacetat/Vinylchlorid-Mischpolymere und Mischungen von diesen oder Mischungen von diesen mit anderen Harzen oder Elastomeren können auch verwendet werden. Diese Mischpolymere umfassen natürlich Propf copolymere und die obigen Mischungen schließen natürlich auch sogenannte Legierungen ein.
  • Als Elastomer (Gummi) können übliche Gummis, wie Polyisopren und thermoplastische Elastomere, wie thermoplastische Elastomere vom Olefintyp verwendet werden.
  • Es ist erforderlich als Harzschicht andere als Weichpolyvinylchloridharz oder ein thermoplastisches Elastomer der Zwischenschicht im Trägerfilm zu verwenden, eines, daß nicht die gummiartigen Eigenschaften des Trägerfilms verschlechtert, die Übertragung der Strahlung erlaubt und elastisch ist. Polymere, die als Harz benutzt werden können, schließen Homopolymere oder Mischpolymere von α-Olefinen, wie Polyethylene, Ethylen/Polypropylen-Mischpolymere, Polypropylene, Ethylen/Vinylacetat-Mischpolymer, Polybuten, Polymethylpentene, Ethylen/Ethylacrylat-Mischpolymere, Ethylen/Methylacrylat-Mischpolymere und Ethylen/Acrylsäure- Mischpolymere und Ionomere und Mischungen davon ein. Bevorzugt ist eine Schicht von Polyethylen von hoher Dichte oder Polypropylen mit einem Vicat-Erweichungspunkt von 120º oder mehr.
  • In dieser Beschreibung bedeutet der Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" des Trägerfilms Eigenschaften, wie die Zugfestigkeit und das Dehnungsmaß (JIS-Z0237), das Verhältnis von 50% Modul (20ºC) zu 25% Modul (20º) beträgt mindestens 1,2, bevorzugt 1,5 oder mehr und 25% Modul (20º) beträgt 60 kg/cm² oder darunter.
  • Die Dicke des Trägerfilms beträgt vorzugsweise 30 bis 300 um in Hinblick auf die Durchlässigkeit der Strahlung. Deshalb beträgt die Dicke der Zwischenschicht aus Weich-PVC-Harzen oder thermoplastischen Elastomeren 25 bis 290 um, die beliebig gemäß den erforderlichen Eigenschaften festgesetzt wird.
  • Obwohl erfindungsgemäß kein spezielle Beschränkung bezüglich der Dicke der strahlungshärtbaren Klebeschicht besteht, beträgt die Dicke im allgemeinen 2 bis 50 um.
  • Im allgemeinen hat das erfindungsgemäße strahlungshärtbare Klebeband einen Trennfilm auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht. Deshalb ist in vielen Fällen der Zustand des erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebebands bevor es verwendet wird, derart, daß es einen derartigen Aufbau hat, daß es aus drei Schichten besteht, das heißt, einem Substrat, eine Klebeschicht und einen Separator. Das Substrat wird zum Beispiel aus einem Polyolefinfilm, wie einem Polypropylenfilm oder ähnlichem oder einem Polyethlenterephthalatfilm gemacht. Es ist selbstverständlich, daß der Separator entfernt wird, wenn das strahlungshärtbare Klebeband verwendet wird.
  • Eine zweite erfindungsgemäße Ausführungsart betrifft ein strahlungshärtbares, druckempfindliches Klebeband, wobei dieses Band ein strahlungsübertragendes Substrat hat, das ein Verhältnis von 50% Modul (20º) zu 25% Modul (20º) von mindestens 1,2 mit dem 25% Modul von 60 kg/cm² oder weniger hat und wobei dieses Band ein strahlungsübertragendes Substrat enthält, das mindestens zwei Arten von Harzschichten umfaßt und aus einem Mehrschichtfilm zusammengesetzt ist, der mindestens drei Schichten aufweist, einschließlich einer Zwischenschicht, die gummiartige Eigenschaften hat und aus einem Weichpoly(vinylchlorid) oder einem Elastomer ausgewählt ist und eine strahlungshärtbare Klebeschicht, die ein Acrylklebemittel enthält, das auf einer Seite des Substrats gebildet wird, enthaltend 5 bis 500 Gewichtsteile einer Isocyanuratverbindung bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels; die Isocyanuratverbindung wird ausgewählt aus einer Gruppe bestehend aus:
  • Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
  • Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)isocyanurat,
  • Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
  • Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acyloxy)hexyloxyethyl-isocyanurat.
  • Was das Acrylklebemittel betrifft, das erfindungsgemäß verwendet wird, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Der Gehalt der Isocyanuratverbindung in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt 5 bis 500 Gewichtsteile, vorzugsweise 60 bis 150 Gewichtsteile, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Erfindungsgemäß ist ein Silikon(meth)acrylat (d. h. ein Acrylat oder Methacrylat) ein Silikonharz, das mit einem (Meth)acrylat modifiziert ist und zum Beispiel mittels einer Methanol abspaltenden Reaktion hergestellt werden kann, in der ein organofunktionelles Methoxysilan und ein Silanolgruppen haltiges Polysiloxan kondensiert werden.
  • Falls die Funktionalitätszahl als die Zahl der (Meth)acrylgruppen, die in der Molekülkette des Silikon(meth)acrylat vorhanden sind, ausgedrückt wird, sind zwei oder mehr Funktionen bevorzugt und insbesondere ist erfindungsgemäß ein Silikon(meth)acrylat), das vier bis sechs Funktionen hat, bevorzugt.
  • Erfindungsgemäß beträgt die Menge eines derartigen Silikon(meth)acrylats, die zugegeben wird, im allgemeinen 0,01 bis 20 Gewichtsteile, bevorzugt 0,1 bis 10 Gewichtsteile und besonders bevorzugt 0,5 bis 4 Gewichtsteile bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Erfindungsgemäß bedeutet der Ausdruck "Strahlung" Lichtstrahlen, wie ultraviolette Strahlen oder ionisierende Strahlen, wie einen Elektronenstrahl, wobei ultraviolette Strahlen bevorzugt verwendet werden.
  • Ferner kann das erfindungsgemäße Klebeband mit Ultraviolettbestrahlung gehärtet werden, zusätzlich kann ein Photopolymerisationsinitator verwendet werden.
  • Ferner kann, falls notwendig, das strahlungshärtbare Klebemittel, das erfindungsgemäß verwendet wird, zum Beispiel einen Klebrigmacher, einen Viskositätsmodifikator, ein oberflächenaktives Mittel oder andere Modifikatoren und übliche Verbindungen enthalten.
  • Ferner wird als Trägerfilm für das erfindungsgemäße strahlungshärtbare Klebeband, das zur Radialexpansion geeignet ist, bevorzugt eines verwendet, das aus mindestens drei strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten gemacht ist, wobei ein Weich-PVC (Poly(vinylchlorid)) Harz oder ein Elastomer (Gummi) als Zwischenschicht verwendet wird und eine, die die gummiartigen Eigenschaften hat, die es dem Film ermöglichen gleichmäßig expandiert zu werden.
  • Was die Weichpolyvinylchloride und Elastomere (Gummi) betrifft, die erfindungsgemäß verwendet werden, kann auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen werden.
  • Es ist notwendig als Harzschicht ein anderes als das Weichpolyvinylharz oder das thermoplastische Elastomer der Zwischenschicht in dem Trägerfilm zu verwenden, eines das nicht die gummiartigen Eigenschaften des Trägerfilms verschlechtert, die Übertragung der Strahlung erlaubt und elastisch ist. Polymere, die als ein derartiges Harz verwendet werden können, schließen Homopolymere oder Mischpolymere wie α-Olefine, wie Polyethylene, Ethylen/Propylen-Mischpolymere, Polypropylene, Ethylen/Vinylacetat-Mischpolymere, Polybuten, Polymethylpentene, Ethylen/Ethylacrylat -Mischpolymere, Ethylen/Methylacrylat-Mischpolymere und Ethylen/Acrylsäure- Mischpolymere und Ionomere und Mischungen davon ein. Bevorzugt ist ein Polyethylen von hoher Dichte oder eine Polypropylenschichten, die einen Vicat-Erweichungspunkt von 120ºC oder mehr hat.
  • In dieser Beschreibung bedeutet der Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" des Trägerfilms Eigenschaften gemäß JIS-Z0237. Bei der Zugfestigkeit und dem Dehnungsmaß beträgt das Verhältnis von 50% Modul (20ºC) zu 25% Modul (200) bevorzugt 1,5 oder mehr. Was die Dicke des Trägerfilms, die Dicke der strahlungshärtbaren Klebeschicht und die Dicke des Trennfilms auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht betrifft, kann auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen werden.
  • Eine dritte erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft ein strahlungshärtbares, druckempfindliches Klebeband, das ein strahlungsübertragendes Mehrschichtsubstrat aufweist, das mindestens drei strahlungsübertragende Harzschichten aufweist, mit mindestens einem Mitglied ausgewählt aus einem Weichpoly(vinylchlorid) oder einem Elastomer, das als Zwischenschicht verwendet wird, wobei das Substrat eine strahlungshärtbare Klebeschicht aufweist, die auf dieser ausgebildet wird, umfassend 100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels; 5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Isocyanuratverbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus:
  • Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat
  • Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat
  • Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)isocyanurat,
  • Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
  • Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acyloxy)hexyloxyethyl-isocyanurat
  • und 0,5 bis 100 Gewichtsteile einer Urethanacrylatverbindung, die Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen hat, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Was die Zugabe eines Silikonacrylats in dem strahlungshärtbaren Acrylklebemittels betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Ein weiteres vorzügliches Klebeband kann erhalten werden, wenn als Zusammensetzung des Klebemittels die Zusammensetzung, die unten erwähnt ist, verwendet wird. Das heißt, es ist gefunden worden, daß, wenn als strahlungshärtbare Klebeschicht, die auf einer Oberfläche des Trägerfilms aufgetragen wird, eine Urethanacrylatverbindung, die Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindungen in einem vorgeschriebenen Verhältnis in einem Acrylklebemittel hat, verwendet wird und ein Klebemittel bestehend aus einer Cyanurat- oder Isocyanuratverbindung, die gummiartige Eigenschaften als physikalische Eigenschaften nach der Bestrahlung hat, verwendet wird, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht mittels Strahlen gehärtet werden kann, wobei ein dreidimensionales Netzwerk gebildet wird, das gleichzeitig Flexibilität erhält und eine dauerhafte Wirkung der Chipsicherungs-Klebekraft zeigt, ohne Rücksicht, zum Beispiel auf die Oberflächenrauheit des Chips, die vorliegende Erfindung auf der Grundlage dieser Erkenntnis vollendet worden ist.
  • So wird gemäß einer der bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsformen ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung gestellt, das einen Trägerfilm enthält, der aus bis zu mindestens drei strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten hergestellt wird, mit einer Zwischenschicht, die ein Weichvinylchloridharz oder ein Elastomer (Gummi) ist und einer strahlungshärtbaren Klebeschicht, die auf einer Oberfläche dieses Trägerfilms, der eine Urethanacryaltverbindung enthält, ausgebildet wird.
  • Was die Acrylklebemittel, die erfindungsgemäß verwendet werden, betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Der Gehalt der Isocyanuratverbindung in dem strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt 5 bis 500 Gewichtsteile, vorzugsweise 60 bis 150 Gewichtsteile, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Die Urethanacrylatverbindung, die in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel verwendet wird, ist eine Verbindung, die zwei Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen enthält, die mittels Strahlen polymerisierbar sind, die als physikalische Eigenschaft, nach dem Vernetzen durch die Strahlung, gummiartige Eigenschaften aufweist und eine Verbindung vom Urethanacrylattyp ist, die eine lineare aliphatische Molekülstruktur aufweist, wie ein Polyester oder Polyol, das eine Urethanbindung im Molekül hat, die als Monomer oder Oligmor ausgebildet sein kann. Eine derartige Verbindung kann hergestellt werden, indem als Ausgangsstoff, zum Beispiel Methacrylsäure, 2-Hydroxyethylacrylat, 2- Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxypropylacrylat, 2- Hydroxypropylmethacrylat oder Polyethylenglycolacrylat und eine polyvalente Isocyanatverbindung, wie 2,4- Tolylendiisocyanat, 2,6-Tolylendiisoyanat, 1,3- Xylylendiisocyanat, 1,4-Xylylendiisocyanat und Diphenylmethan- 4,4-diisocyanat verwendet wird.
  • In dieser Beschreibung bedeutet der Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" der Verbindungen vom Urethanacrylattyp, nachdem sie mittels Strahlung gehärtet wurden, Eigenschaften wie Zugfestigkeit und Dehnungsmaß (JIS-K7113), wobei die Zugfestigkeit beim Brechen 100 kg/cm² oder darunter beträgt und die Zugdehnung beim Brechen mindestens 50% beträgt.
  • Der Gehalt der Acrylatverbindung vom Urethantyp in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt bevorzugt 10 bis 100 Gewichtsteile bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels. Der Einschluß der Acrylatverbindung vom Urethantyp bewirkt die Flexibilität des dreidimensionalen Netzwerks des strahlungshärtbaren Klebemittels, das mittels Bestrahlung gebildet wird, unter Unterdrückung des weichmachenden Effekts auf dem Acrylklebemittel.
  • Was den Ausdruck "Strahlung" betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Ferner können, wenn das erfindungsgemäße Klebeband mit ultravioletten Strahlen gehärtet wird, zusätzliche Photopolymerisationsinitiatoren verwendet werden.
  • Ferner kann, falls notwendig, das strahlungshärtbare Klebemittel, das erfindungsgemäß verwendet wird, zum Beispiel einen Klebrigmacher, einen Viskositätsmodifikator, ein oberflächenaktives Mittel oder andere Modifikatoren und übliche Verbindungen enthalten.
  • Ferner wird als Trägerfilm für das erfindungsgemäße strahlungshärtbare Klebeband, das zur Radialexpansion geeignet ist, bevorzugt eines verwendet, das aus mindestens drei strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten gemacht ist, wobei ein Weich-PVC (Poly(vinylchlorid)) Harz oder ein Elastomer (Gummi) als Zwischenschicht verwendet wird und eine, die die gummiartigen Eigenschaften hat, die den Film gleichmäßig expandieren lassen.
  • Was die Weichpolyvinylchloride und die Elastomere (Gummi) betrifft, die erfindungsgemäß verwendet werden, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Es ist notwendig als Harzschicht ein anderes als das Weichpolyvinylharz oder das thermoplastische Elastomer der Zwischenschicht in dem Trägerfilm zu verwenden, eines das nicht die gummiartigen Eigenschaften des Trägerfilms verschlechtert, die Übertragung der Strahlung erlaubt und elastisch ist. Des weiteren wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Was den Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" des Trägerfilms, die Dicke des Trägerfilms, die Dicke der strahlungshärtbare Klebeschicht und einen Trennfilm auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Eine vierte erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft ein strahlungshärtbares, druckempfindliches Klebeband, das ein strahlungsübertragendes Substrat aufweist, das eine strahlungshärtbare Klebeschicht aufweist, die darauf gebildet worden ist, welche 100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels;
  • 5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Cyanurat- und/oder Isocyanuratverbindung ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus:
  • Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
  • Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)isocyanurat,
  • Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
  • Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acyloxy)hexyloxyethyl-isocyanurat
  • enthält;
  • 0,5 bis 100 Gewichtsteile einer Urethanacrylatverbindung, die Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels, hat und 0,01 bis 20 Gewichtsteile einer Silikonacrylatverbindung, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Was die Zugabe eines Silikonacrylats in ein strahlungshärtbares Acrylklebemittel betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Des weiteren ist gefunden worden, daß ein Klebeband, das bessere Eigenschaften hat, zur Verfügung gestellt werden kann, indem als Filmsubstrat ein Mehrschichtfilm verwendet wird, der zwei oder mehr verschiedene Konstitutionsschichten aufweist und somit zur vorliegenden Erfindung führt.
  • Somit wird gemäß einer bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsform ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung gestellt, das eine strahlungshärtbare Klebeschicht aufweist, die auf einem strahlungsübertragendem Substrat gebildet wird, das aus einem Mehrschichtfilm besteht, der mindestens zwei verschiedene Konstitutionsschichten aufweist und der 100 Gewicht steile eines Acrylklebemittels und 5 bis 500 Gewicht steile einer Verbindung, die eine Kohlenstoff- Kohlenstoff-Doppelbindung hat, enthält.
  • Die Erfinder haben auch verschiedenartige Untersuchungen gemacht, um solche Klebebänder zu erhalten, daß wenn ein Wafer auf das Klebeband geklebt wird und ein Chip zerschnitten wird, das Band nicht ausgedehnt oder locker wird oder selbst wenn das Band ausgedehnt oder locker ist, daß der ausgedehnte oder lockere Zustand nach Bestrahlung rückgängig gemacht wird. Als Folge wurde gefunden, daß wenn der Trägerfilm des strahlungshärtbaren Klebebands aus mindestens zwei Arten von Harzen besteht und bei mindestens einem der Harze ein Polyethylen von hoher Dichte oder vorzugsweise ein Polypropylen verwendet wird, kann selbst ein nicht gereckter Film vorteilhaft durch Bestrahlung geschrumpft werden und der ausgedehnte oder lockere Zustand, der durch Spannung gebildet wird oder ähnlichem, was auf das Klebeband ausgeübt wird, rückgängig gemacht werden kann.
  • Somit wird gemäß einer der erfindungsgemäßen Ausführungsformen ein strahlungshärtbares Klebeband zur Verfügung gestellt, das als strahlungsübertragenden Trägerfilm mindestens zwei verschiedene Harzschichten und eine strahlungshärtbare Klebeschicht einschließt, die auf einer Oberfläche des Trägerfilms vorhanden ist und mindestens eine der Schichten, die den Trägerfilm bilden, eine Polyethylenharzschicht von hoher Dichte oder eine Polypropylenharzschicht ist.
  • Was die radial expandierbaren Klebebänder betrifft, obwohl die Erfinder dem von Anfang an Beachtung schenkten, wenn als ein Trägerfilme für Klebebänder, ein weicher Vinylchloridfilm verwendet wird, der gummiartige Eigenschaften hat, der einheitlich expandiert werden kann, hat es sich bestätigt, daß ein derartiger Vinylchloridharzfilm schlechter wird, zum Beispiel durch das Ozon in der Atmosphäre, das durch Bestrahlung aktiviert worden ist, wodurch molekulares Chlor ohne weiteres frei gesetzt wird und daß das restliche Klebemittel, das sich auf dem Chip befindet, von dem angenommen wird, daß es ihm über das Chlorgas ermöglicht wird in die Klebemittelschicht einzudringen. Verschiedene Untersuchungen sind gemacht worden, um diese Fehler zu beheben und als Folge davon wurde gefunden, daß wenn ein Film, der aus drei verschiedenen strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten besteht, mit einer Zwischenschicht, die aus einem Weichvinylchloridharz (hier im folgend als PVC- Harz bezeichnet) oder einem Elastomer (Gummi) besteht als Trägerfilm auf einem strahlungshärtbaren Klebeband verwendet wird, die Zwischenräume zwischen den Chips, die mittels einer rotierenden Schneide geschnitten und getrennt wurden, einheitlich verbreitert werden können und die Zwischenräume zwischen den Chips groß genug gemacht werden können, wie es für eine Aufnahmevorrichtung erforderlich ist, die ein Bild erkennt, wenn der Chip aufgenommen wird.
  • Ferner kann ein vorzügliches Band erhalten werden, falls die Zusammensetzung des Klebemittels eine Urethanacrylatverbindung enthält, wie es die oben erwähnte Zusammensetzung enthält.
  • Was die Acrylklebemittel betrifft, die erfindungsgemäß verwendet werden, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Cyanuratverbindungen, die in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel verwendet werden, sind Verbindungen, die einen Triazinring oder Isotriazinring im Molekül haben, der strahlungspolymerisierbare Doppelbindungen hat und sie können in Form von Monomeren, Oligomeren oder Mischungen davon vorliegen. Verbindungen, die einen Triazinring oder Isotriazinring haben, können im allgemeinen mittels üblicher Cyclisierungsreaktionen hergestellt werden, unter der Verwendung von Halogencyanen, Dianilinverbindungen, Diisocyanatverbindungen oder ähnlichen als Ausgangsstoffe. Ferner wird eine strahlungshärtbare Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindung enthaltende Gruppe, zum Beispiel eine funktionelle Gruppe, die eine Vinylgruppe, eine Allylgruppe, eine Acryloxygruppe oder eine Methacryloxygruppe hat, in die so hergestellte Verbindung eingeführt, um eine Verbindung zu erhalten, die erfindungsgemäß verwendet wird.
  • Erfindungsgemäß wird vorzugsweise eine verwendet, die eine Acryloxygruppe oder Methacryloxygruppe hat.
  • Erfindungsgemäß besteht, trotz des oben erwähnten Punktes, keine besondere Beschränkung bezüglich der Cyanuratverbindung, es ist jedoch bevorzugt, daß die Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindung, die in den Triazinring oder Isotriazinring eingeführt wird, keine sogenannte starre Molekülstruktur hat, das heißt, daß sie zum Beispiel eine aromatische Gruppe oder eine heterocyclische Gruppe hat. Dies ist erforderlich, weil das erfindungsgemäße Klebemittel übermäßig spröde wird, falls die strahlungspolymerisierbare Verbindung durch die Einführung einer Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung enthaltenden Gruppe übermäßig starr gemacht wird. Deshalb ist die Verbindungsgruppe zwischen Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindung und dem Triazinring oder dem Isotriazinring vorzugsweise eine Gruppe, in der die Atome frei rotieren können. Beispiele für eine solche Gruppe sind aliphatische Gruppen, wie Alkylen- und Alkylidengruppen, die eine -O-, -OCO-, -COO-, -NHCO- oder -NHCOO- Bindung haben können. Falls die Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung mit dem Triazinring oder dem Isotriazinring über -O- gebunden ist, ist es bevorzugt, daß die Zahl der Kohlenstoffatome zwischen dem Kohlenstoff der Doppelbindung und dem Sauerstoff zwei oder mehr beträgt.
  • Beispiel für die Cyanuratverbindungen schließen 2-Propyl-di-3- butenylcyanurat ein.
  • Im allgemeinen beträgt die Zahl der strahlungspolymerisierbaren Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindungen pro Monomer dieser erfindungsgemäßen verwendeten Cyanuratverbindung oder pro Wiederholungseinheit des Oligomers von diesem vorzugsweise mindestens 2 oder besonders bevorzugt 2 bis 6. Falls die Zahl der Doppelbindungen weniger als 2 beträgt, kann ein Grad der Vernetzung durch Bestrahlung nicht erreicht werden, der ausreichend ist die Klebekraft zu erniedrigen, während, falls die Zahl 6 überschreitet, entsteht manchmal eine übermäßige Sprödigkeit des Klebemittels nach der Bestrahlung.
  • Der Gehalt der Cyanuratverbindung oder Isocyanuratverbindung in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt 5 bis 500 Gewichtsteile, vorzugsweise 60 bis 150 Gewichtsteile, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Was die Urethanacrylatverbindung betrifft, die in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel verwendet wird, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • In dieser Beschreibung bedeutet der Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" der Verbindungen vom Urethanacrylattyp, nachdem sie mittels Strahlung gehärtet wurden, Eigenschaften wie Zugfestigkeit und Dehnungsmaß (JIS-K7113), wobei die Zugfestigkeit beim Brechen 100 kg/cm² oder darunter, bevorzugt 50 kg/cm² oder darunter beträgt und die Zugdehnung beim Brechen mindestens 50% beträgt.
  • Der Gehalt der Acrylatverbindung vom Urethantyp in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt bevorzugt 10 bis 100 Gewichtsteile bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels. Der Einschluß der Acrylatverbindung vom Urethantyp bewirkt die Flexibilität des dreidimensionalen Netzwerks des strahlungshärtbaren Klebemittels, das mittels Bestrahlung gebildet wird, unter Unterdrückung des weichmachenden Effekts auf dem Acrylklebemittel.
  • Was den Ausdruck "Strahlung" betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Ferner können, wenn das erfindungsgemäße Klebeband mit ultravioletten Strahlen gehärtet wird, zusätzliche Photopolymerisationsinitiatoren verwendet werden.
  • Ferner kann, falls notwendig, das strahlungshärtbare Klebemittel, das erfindungsgemäß verwendet wird, zum Beispiel einen Klebrigmacher, einen Viskositätsmodifikator, ein oberflächenaktives Mittel oder andere Modifikatoren und übliche Verbindungen enthalten.
  • Für das strahlungsübertragende Substrat, das erfindungsgemäß verwendet wird, wird vorzugsweise Kunststoff oder ein Elastomer ("Harz" oder "Polymer" wird in dieser Beschreibung und den Ansprüchen als allgemeiner Ausdruck für diese Bezeichnungen gebraucht) verwendet und es besteht keine besondere Beschränkung bezüglich des Materials, solange es Strahlung übertragen kann. Falls das strahlungshärtbare Klebemittel durch Bestrahlung mit ultravioletten Strahlen gehärtet wird, ist es notwendig als Substrat dafür eines zu verwenden, das gute das Licht überträgt. Beispiele für Polymere, die für ein derartiges Substrat verwendet werden, schließen Homopolymere oder Mischpolymere von α-Olefinen wie Polyethylene, Polypropylene, Ethylen/Propylen-Mischpolymere, Polybuten-1, Poly-4-methylpenten-1, Ethylen/Vinylacetat- Mischpolymere, Ethylen/Ethylacrylat-Mischpolymere, Ethylen/Methylacrylat-Mischpolymere, Ethylen/Acrylsäure- Mischpolymere und Ionomere oder Gemische davon; Homopolymere vom Vinylchloridtyp oder Mischpolymere wie Polyvinylchlorid, Vinylchlorid/Ethylen-Mischpolymere, Vinylchlorid/Vinylacetat- Mischpolymere und Vinylchlorid/Ethylen/Vinylacetat- Mischpolymere; Polymere vom Fluortyp, wie Vinylfluorid/Ethylen-Mischpolymere, Vinylidenfluorid/Ethylen- Mischpolymere und FEP (Fluorethylenpropylen); und Plastwerkstoffe, wie Polyethylenterephthalat, Polycarbonat und Polymethylmethacrylat ein. Das Substrat ist im allgemeinen in der Form eines Blattes oder Filmes (wird als Film in dieser Beschreibung und den Ansprüchen bezeichnet) und es ist wünschenswert, das die Dicke des Substrates im allgemeinen in der Größenordnung von 10 bis 1000 um ist.
  • Obwohl es keine besondere Begrenzung der Dicke der strahlungshärtbaren Klebeschicht auf dem Substrat gibt, beträgt die Dicke der strahlungshärtbaren Klebeschicht im allgemeinen 2 bis 50 um.
  • Falls in der vorliegenden Erfindung ein Mehrschichtfilm verwendet wird, haben die Konstitutionsschichten von einander verschiedene Eigenschaften. Mindestens eine von ihnen ist eine Konstitutionsschicht, die vorwiegend dazu dient die notwendigen mechanischen Eigenschaften (z. B. Starrheit, Stärke, Ausdehnungsvermögen und Weichheit) zur Verfügung zu stellen und mindestens eine andere Schicht ist eine Konstitutionsschicht, die vorwiegend dazu dient, eine feste Adhäsion mit dem Klebmittel zu ermöglichen.
  • Als strahlungsübertragendes Substrat, das erfindungsgemäß verwendet wird, können vorzugsweise, zum Beispiel Kunststoffe und Elastomere verwendet werden und es gibt keine eigentliche Beschränkung bezüglich des Substratmaterials solange wie sie Strahlung überträgt.
  • Erfindungsgemäß wird mindestens eine der Schichten, die den Mehrschichtfilm bilden, verwendet, um mechanische Eigenschaften, wie oben erwähnt, zur Verfügung zu stellen und Beispiele für Polymere, die für eine derartige Konstitutionsschicht verwendet werden können, schließen solche Polymere ein, wie sie oben für das strahlungsübertragende Substrat aufgezählt werden. Die Dicke dieser Konstitutionsschicht beträgt im allgemeinen 10 bis 500 um und vorzugsweise 30 bis 300 um.
  • Erfindungsgemäß wird eine andere Schicht, die diesen Mehrschichtfilm bildet, hauptsächlich verwendet, um eine feste Adhäsion mit dem Klebemittel, wie oben erwähnt, zu erhalten und das Polymer, das diese Schicht bildet, ist ein sogenanntes Klebepolymer, insbesondere ein Mischpolymer von einem α-Olefin. Spezielle Beispiele dafür schließen Ethylen/Vinylacetat-Mischpolymere, Ethylen/Ethylacrylat- Mischpolymere, Ethylen/Methylacrylat-Mischpolymere, Ethylen/Acrylsäure-Mischpolymere und Ionomere ein.
  • Die Dicke dieser Klebeschicht beträgt vorzugsweise 2 bis 50 um. Die Klebeschichtoberfläche ist in einigen Fällen modifiziert, zum Beispiel mittels einer Koronabehandlung (corona treatment) oder einer Haftbehandlung (anchoring treatment) um eine feste Adhäsion der Klebeschichtoberfläche zum Klebemittel zu bilden.
  • Beispiele für die Zusammensetzung des Mehrschichtfilms, der erfindungsgemäß als Substrat verwendet wird, schließen einen mit einer Schicht ein, die mechanische Eigenschaften zur Verfügung stellt (als Schicht A bezeichnet), auf welcher eine Schicht, die die Adhäsion mit dem Klebemittel herstellt (als Schicht B bezeichnet) laminiert ist; eine Zusammensetzung die Schicht A und die Schichten B hat, mit einer Schicht A eingeschlossen zwischen den Schichten B; und eine Zusammensetzung, worin zwei oder mehr Schichten A und zwei oder mehr Schichten B alternativ laminiert sind. In dieser Zusammensetzung wird, um die Adhäsion zwischen der Schicht A und der Schicht B zu erhöhen, in einigen Fällen, ein Haftmittel zwischen ihnen eingebracht.
  • Das Polyethylen hoher Dichte, das erfindungsgemäß verwendet wird, wird mittels bekannter polyethylenpolymerisationsverfahren erhalten und schließt auch die ein, die als Mitteldruck- und Niederdruckpolyethylene bezeichnet werden. Vorzugsweise werden Hochdruckpolyethylene oder Polypropylene, die einen Vicat-Erweichungspunkt von 120ºC haben, verwendet.
  • Im allgemeinen beträgt die geeignete Dicke derartiger Trägerfilm 30 bis 300 um im Hinblick auf die Stärke-, Dehnungseigenschaften und strahlungsübertragenden Eigenschaften. Die Dicke der Harzschicht aus Polyethylenen hoher Dichte oder Polypropylenen ist beliebig entsprechend den erforderlichen Eigenschaften des Trägerfilms und liegt im allgemeinen im Bereich von 3 bis 90% der Gesamtdicke des Trägerfilms.
  • Als Trägerfilm des erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebebands, das zur Radialexpansion geeignet ist, wird bevorzugt einer verwendet, der aus mindestens drei strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten gemacht ist, wobei ein Weich-PVC (Poly(vinylchlorid)) Harz oder ein Elastomer (Gummi) als Zwischenschicht verwendet wird und eine, die die gummiartigen Eigenschaften hat, die den Film gleichmäßig expandieren lassen.
  • Was die Polyvinylchloride und die Elastomere (Gummi) betrifft, die erfindungsgemäß verwendet werden, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Was den Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" des Trägerfilms, die Dicke des Trägerfilms, die Dicke der strahlungshärtbaren Klebeschicht und einen Trennfilm auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Eine fünfte erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft ein strahlungsübertragendes, druckempfindliches Klebeband, das eine strahlungshärtbare Klebeschicht aufweist, die auf einem strahlungsübertragenden Substrat ausgebildet ist und das 100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels, 5 bis 500 Gewichtsteile Cyanuratverbindungen, Isocyanuratverbindungen, Polyacrylate aliphatischer Polyole und/oder polymethacrylate aliphatischer Polyole und 0,01 bis 20 Gewichtsteile einer Silikonacrylatverbindung enthält.
  • Was die Zugabe eines Silikonacrylats in dem strahlungshärtbaren Acrylklebemittels betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Ferner wurde gefunden, daß ein Klebeband, das bessere Eigenschaften hat, zur Verfügung gestellt werden kann, wenn als Filmsubstrat ein Mehrschichtfilm verwendet wird, der zwei oder mehr verschiedene Konstitutionsschichten hat, was zur vorliegenden Erfindung führt. Es wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Ferner kann ein hervorragendes Band erhalten werden, wenn die Zusammensetzung des Klebemittels eine Urethanacrylatverbindung, wie oben beschrieben, enthält.
  • Was das Acrylklebemittel betrifft, das erfindungsgemäß verwendet wird, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Cyanuratverbindungen oder Isocyanuratverbindungen, die in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel verwendet werden, sind Verbindungen, die einen Triazinring oder Isotrianzinring im Molekül haben, strahlungspolymerisierbare Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen enthalten und sie können in Form von Monomeren, Oligomeren oder Gemischen davon auftreten.
  • Verbindungen, die einen Triazinring oder Isotriazinring haben, können im allgemeinen mittels üblicher Cyclisierungsreaktionen hergestellt werden, unter der Verwendung von Halogencyanen, Dianilinverbindungen, Diisocyanatverbindungen oder ähnlichen als Ausgangsstoffen. Ferner wird eine strahlungshärtbare Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung enthaltende Gruppe, zum Beispiel eine funktionelle Gruppe, die eine Vinylgruppe, eine Allylgruppe, eine Acryloxygruppe oder eine Methacryloxygruppe enthält, in die so hergestellte Verbindung eingeführt, um eine Verbindung zu erhalten, die erfindungsgemäß verwendet wird. Erfindungsgemäß wird vorzugsweise eine verwendet, die eine Acryloxygruppe oder Methacryloxygruppe hat.
  • Erfindungsgemäß besteht, trotz des oben erwähnten Punktes, keine besondere Beschränkung bezüglich der Cyanuratverbindung oder Isocyanuratverbindung, es ist jedoch bevorzugt, daß die Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung, die in den Triazinring oder Isotriazinring eingeführt wird, keine sogenannte starre Molekülstruktur hat, das heißt, daß sie zum Beispiel eine aromatische Gruppe oder eine heterocyclische Gruppe hat. Dies ist erforderlich, weil das erfindungsgemäße Klebemittel übermäßig spröde wird, falls die strahlungspolymerisierbare Verbindung durch die Einführung einer Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindung enthaltenden Gruppe übermäßig starr gemacht wird. Deshalb ist die Verbindungsgruppe zwischen Kohlenstoff- Kohlenstoff-Doppelbindung und dem Triazinring oder dem Isotriazinring vorzugsweise eine Gruppe in der die Atome frei rotieren können. Beispiele für eine solche Gruppe sind aliphatische Gruppen, wie Alkylen- und Alkylidengruppen, die eine -O-, -OCO-, -COO-, -NHCO- oder -NHCOO- Bindung haben können. Falls die Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung mit dem Triazinring oder dem Isotriazinring über -O- gebunden ist, ist es bevorzugt, daß die Zahl der Kohlenstoffatome zwischen dem Kohlenstoff der Doppelbindung und dem Sauerstoff zwei oder mehr beträgt.
  • Beispiel für die Cyanuratverbindungen oder Isocyanuratverbindungen schließen 2-Propyl-di-3- butenylcyanurat,
  • 2-Hydroxyethyl-bis-(2-acryloxyethyl)isocyanurat,
  • Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
  • Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Tris(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
  • Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acryloxy)-hexyloxyethylisocyanurat,
  • Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)isocyanurat
  • und Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)-isocyanurat ein.
  • Im allgemeinen beträgt die Zahl der strahlungspolymerisierbaren Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindung pro Monomer dieser erfindungsgemäß verwendeten Cyanuratverbindung oder Isocyanuratverbindung oder pro Wiederholungseinheit des Oligomers von diesem vorzugsweise mindestens 2 und mehr, und besonders bevorzugt 2 bis 6. Falls die Zahl der Doppelbindungen weniger als 2 beträgt, kann ein Grad der Vernetzung durch Bestrahlung nicht erreicht werden, der ausreichend ist die Klebekraft zu erniedrigen, während, falls die Zahl 6 überschreitet, manchmal eine übermäßige Sprödigkeit des Klebemittels nach der Bestrahlungsvernetzung entsteht.
  • Der Gehalt der Cyanuratverbindung oder Isocyanuratverbindung in dem erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel beträgt vorzugsweise 60 bis 150 Gewichtsteile, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Verbindungen, die Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen haben, wie die erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebemittel, schließen zusätzlich zu den obigen Cyanurat- oder Isocyanuratverbindungen solche anderen strahlungshärtbaren Verbindungen wie Polyacrylate oder aliphatische Polyole ein. Beispiel für diese Verbindungen sind Acrylate oder Methacrylate des Ethylenglycol, Diethylenglycol, Trimethylolpropan, 1,4-Butandiol, 1,6-Hexandiol, Pentaerythritol, Dipentaerythritol und Polyethylenglykole (die 3 bis 14 Kohlenstoffatome haben) und ihre Oligomere ein. Diese Verbindungen können zusammen mit einer Cyanuratverbindung oder Isocyanuratverbindung, die Kohlenstoff-Kohlenstoff- Doppelbindungen haben, verwendet werden, selbst wenn die letzterwähnten benötigt werden.
  • Erfindungsgemäß beträgt der Gehalt an Silikon(meth)acrylat, der zugegeben wird, vorzugsweise 0,5 bis 4 Gewichtsteile bezogen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
  • Was den Ausdruck "Strahlung" betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Ferner können, wenn das erfindungsgemäße Klebeband mit ultravioletten Strahlen gehärtet wird, zusätzliche Photopolymerisationsinitiatoren verwendet werden.
  • Ferner kann, falls notwendig, das strahlungshärtbare Klebemittel, das erfindungsgemäß verwendet wird, zum Beispiel einen Klebrigmacher, einen Viskositätsmodifikator, ein oberflächenaktives Mittel oder andere Modifikatoren und übliche Verbindungen enthalten.
  • Was das strahlungsübertragende Substrat betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Die Dicke dieser Klebeschicht beträgt vorzugsweise 2 bis 50 um. Die Klebeschichtoberfläche ist in einigen Fällen modifiziert, zum Beispiel mittels einer Koronabehandlung (corona treatment) oder einer Haftbehandlung (anchoring treatment) um eine feste Adhäsion der Klebeschichtoberfläche zum Klebemittel zu bilden.
  • Unter Bezugnahme auf die vorangegangene Beschreibung ist ferner der Trägerfilm des erfindungsgemäßen strahlungshärtbaren Klebebands, bevorzugt aus mindestens drei strahlungsübertragenden Konstitutionsharzschichten gemacht, wobei ein Weich-PVC (Poly(vinylchlorid))Harz oder ein Elastomer (Gummi) als Zwischenschicht verwendet wird und eine, die die gummiartigen Eigenschaften hat, die den Film gleichmäßig expandieren lassen.
  • Des weiteren was den Ausdruck "gummiartige Eigenschaften" des Trägerfilms, die Dicke des Trägerfilms und die Dicke der strahlungshärtbaren Klebeschicht betrifft, wird auf die vorangegangene Beschreibung verwiesen.
  • Im allgemeinen hat das erfindungsgemäß strahlungshärtbare Klebeband einen Trennfilm auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht. Es kann auf die vorangegangene Beschreibung Bezug genommen werden.
  • Falls das erfindungsgemäße strahlungshärtbare Klebeband verwendet wird, zeigt es zum Beispiel eine ausgezeichnete Wirkung, daß das Band eine Chipsicherungs-Klebekraft hat, die ausreichend ist den durchtrennten Chip zu sichern, wenn der Halbleiterwafer in Chips zerschnitten wird (das heißt, daß das Chipzerschneidungsverfahren ausgeführt wird) und da die Klebeschicht eine dreidimensionale Struktur annimmt und nach der Bestrahlung elastisch ist, kann eine dauerhaft niedrige Klebekraft, unabhängig von den Oberflächeneigenschaften des Halbleiterwafers erhalten werden und der durchtrennte Chip kann vom Sicherungsband jeder Zeit leicht aufgenommen werden.
  • Des weiteren zeigt die vorliegende Erfindung eine ausgezeichnete Wirkung, daß, nachdem der Wafer in Chips zerschnitten ist, das Klebeband radial expandiert wird und da die Zwischenräume zwischen den Chips einheitlich verbreitert werden konnten, können die Chips leicht, ohne beschädigt zu werden, aufgenommen werden.
  • Somit kann bei Verwendung des Klebebands das Verfahren, einschließlich des Aufnahmesystems, ohne Probleme werden.
  • Die obigen Vorteile können auch bei Keramikglasverfahren etc. angewandt werden.

Claims (30)

1. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband, umfassend einen strahlungsübertragenden Mehrschichtfilm, der mindestens drei strahlungsübertragende Harzschichten umfaßt, wobei ein Weichpoly-(vinylchlorid) oder ein Elastomer als Zwischenschicht verwendet wird, wobei der strahlungsübertragende Film eine auf ihm ausgebildete strahlungshärtbare Klebeschicht aufweist, umfassend 100 Gewichtsteile eines acrylischen Klebemittels und 5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Isocyanuratverbindung aus der folgenden Gruppe:
Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)-isocyanurat,
Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acryloxy)-hexyloxyethyl-isocyanurat.
2. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 1, wobei der strahlungsübertragende Mehrschichtfilm mindestens eine Polyethylenschicht umfaßt.
3. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 1, wobei der strahlungsübertragende Mehrschichtfilm mindestens eine Schicht von hochdichtem Polyethylen oder Polypropylen mit einem Vicat-Erweichungspunkt von 120ºC oder mehr umfaßt.
4. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 1, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht ferner 0,01 bis 20 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
5. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 1, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 60 bis 150 Gewichtsteile Isocyanuratverbindungen auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
6. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 1, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht ferner 0,5 bis 4 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
7. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband, wobei das Band ein strahlungshärtbares Substrat mit einem Verhältnis des Moduls von 50% (20 C) zum Modul von 25% (20 C) von mindestens 1,2 bei einem Modul von 25% (20 C) von 60 kg/cm² oder weniger umfaßt, wobei das Band ein strahlungshärtbares Substrat mit mindestens zwei Arten von Harzschichten umfaßt und aus einem Mehrschichtfilm mit mindestens drei Schichten aufgebaut ist, umfassend
eine Zwischenschicht mit kautschukartigen Eigenschaften, ausgewählt unter Weichpoly-(vinylchlorid) und einem Elastomeren und
eine strahlungshärtbare Klebeschicht, umfassend ein Acrylklebemittel, das auf einer Seite des Substrats ausgebildet ist und 5 bis 500 Gewichtsteile einer Isocyanuratverbindung je 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels umfaßt; wobei die Isocyanuratverbindung aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist:
Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)-isocyanurat,
Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acryloxy)-hexyloxyethyl-isocyanurat.
8. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei sich eine Außenschicht des Mehrschichtfilms aus einem Harz zusammensetzt, das unter Polyethylen, Ethylen/Propylen-Mischpolymeren, Polypropylen, Ethylen/Vinylacetat-Mischpolymeren, Polymethylpenten, Ethylen/Ethylacrylat-Mischpolymeren, Ethylen/Methylacrylat- Hischpolymeren und Ethylen/Acrylsäure-Mischpolymeren ausgewählt ist.
9. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei eine Außenschicht des Mehrschichtfilms aus Ethylen/Vinylacetat-Mischpolymerem zusammengesetzt ist.
10. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei das Band für Dehnungszwecke vorgesehen ist.
11. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht ferner 0,01 bis 20 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
12. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 60 bis 150 Gewichtsteile Isocyanuratverbindungen auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
13. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht ferner 0,5 bis 4 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylatverbindung auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
14. Strahlungshärtbare druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei das Band ferner einen Trennfilm auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht umfaßt.
15. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 7, wobei das Band mit UV-Strahlen strahlungshärtbar ist.
16. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband, wobei das Band ein strahlungsübertragendes Mehrschichtsubstrat umfaßt, umfassend mindestens drei strahlungsübertragende Harzschichten, wobei mindestens ein Element unter Weichpoly-(vinylchlorid) oder einem Elastomeren ausgewählt ist und als Zwischenschicht verwendet wird; wobei das Substrat eine strahlungshärtbare Klebeschicht trägt, die umfaßt:
100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels; 5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Isocyanuratverbindung aus der folgenden Gruppe:
Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)-isocyanurat und
Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acryloxy)-hexyloxyethyl-isocyanurat;
und
0,5 bis 100 Gewichtsteile einer Urethan-Acrylat-Verbindung mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
17. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 16, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 60 bis 150 Gewichtsteile Isocyanuratverbindungen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels umfaßt.
18. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 16, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 10 bis 100 Gewichtsteile der Urethan-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels umfaßt.
19. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 16, wobei die Urethan-Acrylat-Verbindung nach Strahlungshärten eine Zugfestigkeit von 100 kg/cm² oder weniger und eine Zugdehnung bei Bruch von mindestens 50% aufweist.
20. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband, umfassend ein strahlungsübertragendes Substrat, auf dem eine strahlungshärtbare Klebeschicht ausgebildet ist, umfassend:
100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels;
5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Cyanurat und/oder Isocyanurat-Verbindung aus der folgenden Gruppe:
Tris-(acryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-(methacryloxyethyl)-isocyanurat,
Tris-4-acryloxy-n-butylisocyanurat,
Tris-(1,3-diacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-n-hexyl)-isocyanurat,
Tris-(1-acryloxy-3-methacryloxy-2-propyloxycarbonylamino-nhexyl)-isocyanurat und
Bis-(2-acryloxyethyl)-2-(5-acryloxy)-hexyloxyethyl-isocyanurat;
0,5 bis 100 Gewichtsteile einer Urethan-Acrylat-Verbindung mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels und
0,01 bis 20 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels.
21. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 20, wobei das strahlungshärtbare Substrat ein Mehrschichtfilm aus mindestens zwei verschiedenen Schichten ist.
22. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 20, wobei das strahlungsübertragende Substrat ein Mehrschichtfilm aus mindestens drei strahlungsübertragenden Harz schichten mit Poly-(vinylchlorid) und/oder einem Elastomeren als Zwischenschicht ist.
23. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 20, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 60 bis 150 Gewichtsteile Cyanurat- oder Isocyanuratverbindungen auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels umfaßt.
24. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 20, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 10 bis 100 Gewichtsteile der Urethan-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels umfaßt.
25. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 20, wobei die Urethan-Acrylat-Verbindung nach Strahlungshärten eine Zugfestigkeit von 100 kg/cm² oder weniger und eine Zugdehnung beim Druck von mindestens 50% besitzt.
26. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband, umfassend eine strahlungshärtbare Klebeschicht, die auf einem strahlungsübertragenden Substrat ausgebildet ist und 100 Gewichtsteile eines Acrylklebemittels, 5 bis 500 Gewichtsteile mindestens einer Verbindung aus der Gruppe von Cyanuratverbindungen, Isocyanuratverbindungen, Polyacrylaten aliphatischer Polyole und/oder Polymethacrylaten aliphatischer Polyole und 0,01 bis 20 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylat-Verbindung enthält.
27. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 26, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht 60 bis 150 Gewichtsteile einer Cyanurat- oder Isocyanuratverbindung auf 100 Gewichtsteile Acrylklebemittel umfaßt.
28. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 26, wobei die strahlungshärtbare Klebeschicht ferner 0,5 bis 4 Gewichtsteile einer Silikon-Acrylat-Verbindung auf 100 Gewichtsteile des Acrylklebemittels umfaßt.
29. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 26, wobei das Band einen Trennfilm auf der strahlungshärtbaren Klebeschicht umfaßt.
30. Strahlungshärtbares druckempfindliches Klebeband nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der Strahlung um UV-Strahlen handelt.
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