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Lösbarer Handgriff für einen Korb zur Aufnahme
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von Siliciumscheiben Die Erfindung bezieht sich auf einen vollständig
aus Kunststoff bestehenden Handgriff, der lösbar mit einem Korb verbunden werden
kann, welcher seinerseits dazu dient, Siliciumscheiben während ihrer Fabriivation
zu inteorierten Schaltkreischips aufzunehmen, wenn diese zusammen mi Ü- den Körben
in flüssige Bäder eingetaucht werden.
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Bei der Bearbeitung von Siliciumscheiben im Zuge der Fertigung von
integrierten Schaltkreischips werden Körbe verwendet, um die Scheiben während der
Bearbeitung, Reinigung und Lagerung aufzunehmen; diese Körbe bestehen aus Kunststoff,
der hochwiderstandsfähig ist gegen hohe Temperaturen und stark korrosierend wirkende
Flüssigkeiten.
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Die Handhabung der Körbe ist kritisch, weil die Silicium scheiben
extrem teuer sind. Wenn ein Siliciumscheiben-gefüllter Korb herunterfiele, würden
die sehr spröden Scneiben wahrscheinlich brechen, wobei ein erheblicher finanzieller
Verlust einträte.
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Vollständig aus Kunststoff bestehende lösbare Handgriffe für solche
Silciumscheibenkörbe sind bekannt und sind hinsichtlich ihres Betriebsverhaltens
nicht zu beanstanden. Die bekannten Handgriffe erfordern, daß die Bedienungsperson
nur zwei obenliegende horizontale Streben zusammenpreßt, um so die Backen des Griffes
während Befestigung und Lösen des Handgriffs an dem bzw. von dem Korb auszuspreizen.
Die
Backen des Griffes greifen federnd in den Siliciumscheibenkorb ein, um die Verbindung
aufrechtzur-halten.
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Bei der Fertigung von integrierten Schaltkreischips werden immer
größere Scheiben von Silioum verarbeitet, und gegenwärtig ist es nicht ungewöhnlich,
daß die Scheiben Durchmesser von 12,5 cm aufweisen. Ein Scheibenkorb, der 25 solche
Scheiben von jeweils 12,5 cm Durchmesser enthält, repräsentiert ein erhebliches
Gewicht. Mit zunehmendem Gewicht des Korbes und seines Inhalts nimmt die Wahrscheinlichkeit
zu, daß der Korb sich von dem Handgriff lösen kann. Die durch die Federverspannung
im Griff ausgeübte Kraft ist kein hinreichender Sicherheitsfaktor, um zu gewährleisten,
daß sich nicht der Griff unabsichtlich von dem Korb während der Handhabung des Korbes
löst, während die Silicumscheiben in dem Korb irgendeinem Bearbeitungsgang unterworfen
werden.
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen vollständig aus
Kunststoff bestehenden Griff für diesen Zweck zu schaffen, der einfach im Aufbau
und kostengünstig in der Fertigung ist und lösbar mit einem Silciumscheibenkorb
verbunden werden kann, wie er für die oben beschriebenen Vorgänge verwendet wird.
Der Griff soll leicht und einfach manipulierbar sein für Befestigen bzw. Lösen des
Handgriffs, gleichwohl soll aber der Griff sicher mit dem Korb verbunden bleiben,
selbst dann, wenn dieser ein erhebliches Gewicht aufweist. Der Griff soll die Einhandbedienung
ermöglichen und eine formschlüssige Verriegelung aufweisen, die gleichwohl leicht
un' einfach mit derselben Hand manipuliert werden kann.
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Die zur Lösung dieser Aufgabe gemäß der Erfindung vorgesehenen Merkmale
sind im Patentanspruch 1 definiert. Die Unteransprüche definieren bevorzugte und
zweckmäßige Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes.
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Wie man dem Patentanspruch 1 entnimmt, ist Gegenstand der Erfindung
ein vollständig aus Kunststoff bestehender, steifer, jedoch auch etwas flexibler
Griff mit abwärtsragenden
Schenkeln oder Backen, die so ausgebildet
sind, daß sie in Eingriff oder außer Eingriff mit zugeordneten Aufn£ilimeabschnitten
an dem Korb gebracht werden können. Die schwenkbaren Backen werden manipuliert durch
Zusammenpreßen von im Abstand angeordneten horizontalen Schenkeln des Griffes, welche
die beiden Backen miteinander verbinderl,und eine lösbare Verriegelungsstange erstreckt
sich zwischen den herabragenden Backen derart, daß diese in ihrer Rolativlaqe zueinander
festgelegt werden können und gehindert werden, aus der Eingriffsposition mit dem
Siliciumscheibenlorb herauszuschwenken.
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Die besonderen Vorteile dieses Griffes bestehen darin, daß der Griff
leicht und einfach mit einer Hand bediellbar ist, also durch die Person, die sowohl
den Handgriff als auch den Scheibenkorb selbst zubedienen hat. Dieselbe Hand kann
die Verriegelung in die Verriegelungsposition brincien7 aber auch die Verriegelung
wieder lösen, wentt vorqesehe n ist, daß der Griff vom Korb gelöst werden soll.
Während der Griff nicht in Benutzung ist, bleibt der Verriegelungsmechanismus in
bequemer Weise am Griff angebracht und vorbereitet für sofortige Verwendung, ohne
jedoch die normale Funktion des Griffes zu stören, ewa beim Anbringen des Griffes
an dem Siliciumscheibenkorb. Darüberhinaus kann die Verriegelung bei normaler Benutzung
des Griffes nicht unbeabsichtig; gelöst werden, so daß der Benutzer des Griffes
während des Transport eines Siliciumscheibenträgers sicher sein kann, daß der letztere
sich nicht unbeabsichtigt von dem Griff löst und herunterfällt.
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Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung
wird nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
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Fig. 1 zeigt in teilweise weggebrochener Seitenansicht den Griff
in Eingriffposition an einem Siliciumscheibenträger, wobei die Verbindung verriegelt
ist,
Fig. 2 ist eine vergrößerte Seitenansicht, ähnlich Fig. 1,
wobei Teile im Schnitt dargestellt sind, Fiy. 3 ist eine Teilqueransicht des Griffes
und Fig. 4 ist eine vergrößerte Detailschnittdarstellung, etwa entsprechend der
Linie 4-4 in Fig. 1.
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In den Zeichnungen ist eine bevorzugte Aus führungs form des Gegenstandes
der Erfindung dargestellt. Der abnehmbare Griff als Ganzes ist mit lo bezeichnet;
er besteht aus geformtem bzw. gespritztem Kunststoff eines Typs, der hohen Temperaturen
und extrem korrosiven flüssigen Bädern widerstehen kann, in die der Griff zusammen
mit dem Siliciumscheibenkorb 11 eingetaucht werden kann. Solcher Kunststoff ist
unter dem Namen Teflon (Polytetrafluonthylen) bekannt.
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Der Kunststoff des Griffs 1o ist steif, jedoch etwas nach giebig und
elastisch, so daß er in dünnen Querschnitten etwas deformiervar ist und zu seiner
ursprünglichen Form zurückkehrt. Der Griff 1o umfaßt zwei Abschnitte, nämlich den
Korberfassungsteil 12 und die Verriegelungsstange 13.
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Jeder dieser beiden Hauptkomponenten ist einstückig in einem integraler
Teil ausgebildet, und die beiden Hauptkomponenten 12 und 13 werden vor der Benutzung
durch eine Schnappverbindung verbunden.
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Auch der Siliciumscheibenträger besteht aus Kunststoff, vorzugsweise
Teflon, und ist mit Einschnitten oder Ausnehmungen 1 4 an seinen einander abgewandten
Enden versehen, um die Erfassungsabschnitte des Griffes aufzunehmen. Man erkennt,
daß der Korb 14 eine Mehrzahl von Schlitzen 11a in jeder seiner Seitenwandungen
15 aufweist, die die Zirkulation von Bearbeitungsflüssigkeiten um die in den Korb
eingesetzten Siliciumscheiben ermöglichen.
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Der Griff umfaßt ein Paar von steifen Schenkeln oder Klammern 16
mit den Versteifungsrippen 17, die integral mit den Schenkeln ausgebildet sind.
An den unteren Enden der Schenkel oder Klammern 16 sind Eingriffsbacken 18 vorgesehen
zum
Einführen in die Ausnehmungen oder Einscllnitte 14 des Scheibenkorbes. Die Backen
18 sind langgestreckt-schienenförmig, wie man Fig. 3 entnehmen kann, und jede der
Backen ist mit einer Versteifungsrippe 19 versehen, diel.ängs der Außenseite der
Backe vorsteht.
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Die Schenkel 16 sind durch ein Paar von Kunststoffschienen 20 und
21 verbunden, die integral mit den Schenkeln 16 geformt sind und,obwohl sie steif
sind, etwas flexibel sind. Die untere Schiene 20 hat eine Krümmung um einen stumpfen
Winkel in der Mitte ihrer Längserstreckung mit der Tendenz,die untere Schiene 20
gegen Deformationen zu versteifen. Die obere Schiene 21 ist flexibel, so daß sie
in die in Fig. 2 mit gestrichelten Linien angedeutete Form P deformiert werden kann.
Diese Deformation der Schiene 21 kann durch Handbetätigung mit der Hand H (Fig.
1) erfolqen. Die Auslenkung oder Deformation der Schiene 21 in die gestrichelte
Form P bewirkt, daß die Schenkel 16 verschwenkt werden, nämlich mit ihren unteren
Enden nach außen und voneinander weg.
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Die Schenkel 16 und die Schienen 20 und 21 sind hinreichend elastisch,
so daß nach Abbau des Handdrucks auf die Schiene 21 Rückkehr in die Ausgangsform
erfolgt und die Schenkel 16 aus der gestrichelten Position gemäß Fig. 2 in die Position
zurückkehren, die mit ausgezogenen Linien dargestellt ist.
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Wegen dieser Elastizität werden die Backen 18 in den Einschnitten
14 des Korbes gehalten, wenn sie eingefügt worden sind, und sie verbleiben auch
normalerweise in dieser Position.
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Nach dem Einführen der Backen 18 in die Ausnehmungen 14 des Korbes
11 ist der Griff befestigt, und der Scheibenkorb kann angehoben und transportiert
werden.
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Die Verriegelungsstange 13 erstreckt sich zwischen den Schenkeln
16 etwa in der Mitte zwischen ihren oberen und unteren Enden. Die Verriegelungsstange
13 umfaßt ein Paar von steifen Stegen 22, die parallel zueinander verlaufen und
durch eine Reihe von dazwischenliegenden Verbindungsstücken 23 verbunden sind, die
integral mit den Stegen geformt sind.
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An den Enden der Verriegelungsstange 13 erstreckt sich
zwischen
den Stegen 22 eine Verriegelungsnase oder Falle 24 an einem Ende, während am anderen
Ende zwischen den Stegen ein zylindrischer Drehzapfen 25 zwischen beiden vorgesehen
ist. Eine Kunststoffangel 26 ist integral an einen der Schenkel 16 angeformt undmit
einer abgerundeten Lagerfläche 27 versehen, die den Drehzapfen 25 der Verriegelungsstange
13 umgreift. Man erkennt, daß die Angel 26 etwa hakenförmig ist und gegen sich selbst
zurückgebogen ist nahe dem Schenkel 16, so daß die Angel etwas deformiert werden
muß durch Biegebeanspruchung, wenn der Drehzapfen 25 in die Angel eingesetzt oder
aus dieser herausgenommen werden soll. Die Verriegelungsstange 13 kann frei auf-und
abwärtsschwenken, weil sich der Drehzapfen der Stange frei in der Angel 26 dreht.
Das Schwenken nach unten der Verriegelungsstange 13 wird begrenzt durch ein stationäres
Anschlagstück 28, das einstückig an die Angel angeformt ist und von dieser seitlich
wegsteht, wie man in Fig. 4 erkennt, so daß ein Schwenken der Verriegelungsstange
nach unten hinsichtlich des Weges begrenzt ist. An den Anschlägen 28 stoßen die
unteren Kanten der Verriegelungsstange 13 und verhindern, daß die Stange 13 weiter
abwärts als in eine EJorizontalpositLon schwingen kann.
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Ein Verriegelungshaken 29 ist an dem anderen Schenkel 16 angeordnet
und einstückig mit diesem geformt nahe der Verriegelungsnase der VerriegAungsstange
13. Der Verriegelungshaken 29 weist einen begrenzten Durchlaß an seiner öffnung
auf, um den Durchtritt der Nase zu ermöglichen, die dann von dem Haken gefangen
und gehalten wird, bis sie absichtlich aus dem Verriegelungshaken 29 herausgenommen
wird. Wenn die Schienen 20 und 21 des Griffes betätigt werden, um die unteren Abschnitte
der Schenkel und damit die Backen 18 zu verschwenken und den Griff an einem Scheibenkorb
11 zu befestigen, kann die den Griff bedienende Person nach unten langen bis zu
der Verriegelungsstange 13, um mit einem Finger derselben Hand, mit der auch die
Schienen 20 und 21 betätigt werden, die Schenkel relativ zueinander zu verriegeln
oder entriegeln. Wenn die Backen in die Einschnitt 14 des Korbes
eingeführt
worden sind, wird die Nase 24 in den Verriegelungshaken 29 eingeführt und wird dann
dort gehalten, bis absichtlich die Verriegelungsstange 13 wieder herausgehoben wird.
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Im Ergebnis wird verhindert, daß der Griff unabsichtlich außer Eingriff
mit dem Scheibenträyer gelangt oder mit anderen Worten wird verhindert, daß der
Scheibenträger unabsichtlich aus dem Griff herausfällt, unabhängig von der Art und
der Größe des Gewichts der Last, die von dem Korb 11 befördert wird.
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Man erkennt, daß der Scheibenkorbgriff gemäß der Erfindung leicht
lösbar ist, vollständiq aus Kunststoff besteht, der resistent ist gegenüber hohen
Temperaturen und stark korrodierenden Bädern, die verwendet werden, um Siliciumseheiben
für die Fabrikation von integrierten Schaltkreischips zu bearbeiten. Der Griff wird
an einem Scheibenkorb verriegeln durch Verriegeln der abwärtsragenden Schenkel relativ
zueinander, womit verhindert wird, daß sie voneinander wegschwenken unter Herausgleiten
der Backen aus den Einschnitten des Scheiben korbes.
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