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DE3150109C2 - - Google Patents

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DE3150109C2
DE3150109C2 DE3150109A DE3150109A DE3150109C2 DE 3150109 C2 DE3150109 C2 DE 3150109C2 DE 3150109 A DE3150109 A DE 3150109A DE 3150109 A DE3150109 A DE 3150109A DE 3150109 C2 DE3150109 C2 DE 3150109C2
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes.
Bei dem in der DE 30 12 946 A1 diskutierten Verfahren werden die zur Ausbildung der Tintenkanäle erforderlichen feinen Rillen in der Substratplatte dadurch hergestellt, daß eine als Substrat dienende photoempfindliche Glasplatte mittels eines Lasers in Form von parallelen Interferenzstreifen bestrahlt wird. Anschließend wird die photoempfindliche Glasplatte einem Kristallisationsschritt unterzogen, danach poliert und schließlich geätzt. Allerdings ist es schwierig, mit einem Ätzverfahren völlig glatte Innenwände der Tintenkanäle und damit konstanten Tintenströmungswiderstand zu erreichen, da aufgrund unterschiedlicher lokaler Ätzraten das Ausmaß der Wandmaterialabtragung unterschiedlich sein kann.
Weiterhin ist es aus der DE 29 43 164 A1 bekannt, zur Bildung der Tintenkanäle eine ebene Platte mit mehreren Längsnuten zu versehen. Wie diese Längsnuten ausgebildet werden, ist allerdings nicht näher erläutert.
Wird z. B. zur Herstellung eines Tintenstrahlkops ein Verfahren eingesetzt, bei dem die feinen Nuten in einer Glasplatte oder einer Metallplatte durch einen Schneidevorgang hergestellt werden, ist es gleichfalls schwierig, einen Tinten-Strömungsweg mit konstantem Strömungswiderstand für die Tinte zu bilden, da die innere Wandoberfläche des Tinten-Strömungswegs aufgrund des Schneidvorgangs deutliche Rauhigkeit besitzt. Folglich variieren die Tintenstrahleigenschaften des sich ergebenden Tintenstrahlkopfs.
Ferner kann bei einem Schneidvorgang die Platte leicht brechen, was zu niedriger Produktionsrate führt; bei einem Ätzvorgang sind nachteiligerweise viele Schritte erforderlich, so daß sich hohe Produktionskosten ergeben.
Darüber hinaus haben die herkömmlichen Verfahren den Nachteil, daß die Positionierung der mit Nuten versehenen Platte und der Platte, die mit dem oder den Elementen zur Erzeugung der den Tintenausstoß bewirkenden Energie, beispielsweise einem piezoelektrischem Element, einem wärmeerzeugenden Element oder dergleichen versehen ist, außerordentlich schwierig ist, was zu einer geringen Ausbeute bei der Serienherstellung führt; ferner schwankt die Qualität der sich ergebenden Tintenköpfe.
Aus "Xerox Disclosure Journal", Vol. 4, No. 2, March/April 1979, Seite 251, 252, ist ein Herstellverfahren zur Schaffung von Tintenstrahl-Düsenöffnungen bekannt, bei dem auf ein Substrat eine photoempfindliche Schicht aufgebracht wird, die über eine Fotomaske belichtet wird. Hierbei härtet der belichtete Teil der Schicht aus, während der nicht belichtete Teil lösbar bleibt und im Rahmen eines an sich bekannten Entwicklungsvorganges entfernt wird. Die entstandenen Ausnehmungen werden mittels eines Plattierungsverfahrens aufgefüllt, wonach das Substrat und die gehärtete Schicht entfernt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes aufzuzeigen, das die Ausbildung feiner Tintenpfade mit großer Präzision ermöglicht, so daß eine stabile Tintenausstoßung möglich ist.
Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 genannten Verfahrensschritten gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen können Tintenstrahlaufzeichnungsköpfe mit geringen Kosten exakt gefertigt werden, die bezüglich der Tintenstrahleigenschaften hervorragende Eigenschaften haben. Ferner werden die Tintenpfade fein und mit präzisen Abmessungenn und hoher Ausbeute gefertigt, so daß der Tintenstrahl in stabiler Weise erzeugt werden kann. Darüber hinaus können Tintenstrahlköpfe hergestellt werden, die eine Vielfachanordnung von Tintendüsen besitzen und dennoch bezüglich der Eigenschaften der ausgestoßenen Tintenstrahlen keine Abweichungen zeigen.
Da die Abmessungsgenauigkeit bei der Herstellung des Tinten-Strömungswegs (Tintenpfads) äußerst hoch ist, sind die Fluktuationen der Tintenstrahleigenschaften aller Düsen sehr gering und die Tintenstrahleigenschaft kann für lange Zeit stabil gehalten werden.
Bei dem Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahlkopfs muß kaum Klebstoff verwendet werden. Auch ist keine flüssige Säure, insbesondere keine starke Säure wie beispielsweise Flußsäure oder dergleichen erforderlich. Deshalb ergeben sich keine Verstopfungen der Düse bzw. der Tinten-Strömungswege und auch keine Verschlechterung der Wirkungsweise aufgrund einer Zerstörung des Elementes zur Erzeugung der Tintenstrahlausstoßenergie. Die Qualität ist folglich hoch.
Da das Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahlkopfs im wesentlichen ein Fotoherstellungsverfahren ist, ist es möglich, viele Köpfe mit stabilen und genauen Abmessungenn gleichzeitig herzustellen und wirksame Vielfach-Tintenstrahlköpfe hoher Dichte zu schaffen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 bis 9 ein Beispiel für die Verfahrensschritte, mit denen der Tintenstrahlkopf hergestellt wird, und
Fig. 10 bis 14 ein weiteres Beispiel für die Verfahrensschritte.
Mit dem Ausdruck "fotographisches Herstellungsverfahren" wird im folgenden ein Präzisionsherstellungsverfahren bezeichnet, bei dem Fototechniken, wie beispielsweise Druckmuster auf einem fotoempfindlichen Film zusammen mit Ätz- und Plattierungsvorgängen eingesetzt werden, wie dies konkret in den folgenden Beispielen erläutert wird.
In den Zeichnungen ist mit Ausnahme von Fig. 9 jeweils ein schematischer Querschnitt zur Erläuterung der Erfindung dargestellt.
Die Fig. 1 bis 9 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel der Herstellungsschritte für den Tintenstrahlkopf.
Gemäß Fig. 1 sind eine gewünschte Zahl von Elementen 2, die den Tinten-Ausstoßdruck erzeugen, beispielsweise exotherme Elemente, piezoelektrische Elemente oder dergleichen, auf einem Substrat 1 (Träger-Platte) angeordnet, das aus Glas, Keramik, Kunststoffmaterialien, Metall oder dergleichen gefertigt ist; falls notwendig, wird ein gegen Tinte widerstandsfähiger Film oder ein dünner dielektrischer Film 3 aus SiO₂, Ta₂O₅, Glas oder dergleichen aufgebracht. Das Element 2 ist ferner mit einer nicht gezeigten Elektrode für das Eingangssignal verbunden.
Gemäß Fig. 2 wird als elektrisch leitender Film 4 ein dünner Film aus Cu, Ni, Cr, Ti oder dergleichen auf dem Substrat mit dem Element 2 mittels eines Vakuumaufdampfverfahrens, eines Sputter-Verfahrens, eines chemischen Plattierungsverfahrens oder dergleichen aufgebracht. Der derart hergestellte elektrisch leitende Film dient zur Verbesserung des engen Kontaktes mit einer Plattierungsschicht 7 (vgl. Fig. 5).
Gemäß Fig. 3 wird nach der Reinigung und dem Trocknen der Oberfläche des Substrates mit den Elementen 2 ein getrockneter Film 5 aus einem Fotolackmaterial mit einer Dicke von etwa 25-50 µm, der auf etwa 80-105°C aufgeheizt ist, auf das Substrat mit einer Rate von ca. 0,15 bis 1,2 m/pro Minute bei einem Druck von 1-30 kg/cm² aufgebracht. In diesem Schritt wird der trockene Film aus Fotolack 5 geschmolzen und über der Fläche des Substrates fixiert, so daß er auch bei Einwirkung eines gewissen äußeren Drucks nicht von der Oberfläche abhebt.
Anschließend wird, wie in Fig. 3 gezeigt ist, eine Fotomaske 6 mit einem geeigneten Muster auf dem getrockneten Fotolackfilm 5, der auf dem Substrat vorgesehen ist, angeordnet und dann der Lack durch die Fotomaske 6 belichtet. Es ist notwendig, daß die Position des Musters und die Position des druckerzeugenden Elements mittels eines herkömmlichen Verfahrens ausgerichtet werden.
Fig. 4 zeigt schematisch den Zustand, nachdem der nicht belichtete Abschnitt, d. h., der unausgehärtete Teil des belichteten, getrockneten Fotolackfilms 5 durch Auflösen mit einer speziellen Auflöseflüssigkeit entfernt worden ist. Hierbei tritt kein sog. "Seitenätzen" auf, und es kann eine höhere Verarbeitungsgenauigkeit als bei einem herkömmlichen Verfahren erzielt werden.
Gemäß Fig. 5 wird das Substrat mit Ausnahme des Lackmusters 5 P elektrisch mit Ni oder Cu plattiert, bis die elektroplattierte Schicht 7 die gewünschte Dicke erreicht.
In dem obengenannten Elektroplattierungsprozeß ist das Elektroplattierungsbad, das für einen spannungslosen Niederschlag verwendet werden sollte, vorzugsweise ein Kupfer-Pyrophosphat-Bad für eine Kupferplattierung und ein sog. Watt-Bad für eine Nickelplattierung.
Stellt man die Ebenheit der plattierten Oberfläche und die Gleichförmigkeit der Plattierungsdecke in Rechnung, so ist es vorteilhaft, die Oberfläche abhebend zu schleifen, bevor das Fotolackmuster 5 P entfernt wird (siehe den Schritt in Fig. 6).
Fig. 6 zeigt schematisch den Zustand nach Entfernung des Fotolackmusters 5′ P.
In dem Schritt gemäß Fig. 7 wird, wenn die plattierte Schicht 7, die zuvor durch einen Elektroplattierungsvorgang hergestellt worden ist und die aus Nickel oder Kupfer besteht, mit der Tinte eine Reaktion eingeht, die zur Zersetzung der Tinte führt, ein Edelmetall, wie beispielsweise Au, Rh, Pt oder dergleichen mit einer Dicke von 0,5-5 µm aufgebracht, um eine gegen Tinte widerstandsfähige Schicht 8 zu bilden, die eine derartige Reaktion verhindert. Eine derartige Behandlung ist natürlich unnötig, wenn die Tinte, die in dem erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopf verwendet werden soll, nicht mit Ni oder Cu reagiert.
Im Anschluß an diese Schritte wird eine Platte 9 (Deck-Platte) als Deckel an der Oberfläche des so verarbeiteten Substrats 1 (Träger-Platte), an dessen Innenfläche ein Tinten-Strömungsweg (Tintenpfad) hergestellt worden ist, durch eine Klebung oder durch eine Preßpassung angebracht (siehe Fig. 8).
Typische Verfahren für einen Klebevorgang sind folgende
  • (1) Nach einer Wirbelbeschichtung einer Platte 9 aus Glas, Keramik, Metall, Kunststoff oder dergleichen mit einem Klebstoff aus Epoxyharz mit einer Dicke von 3-4 µm wird der Klebstoff SS (siehe Fig. 8) durch Heizen halb ausgehärtet (sog. B-Zustand) und dann durch die Klebstoffwirkung an der plattierten Schicht 7 angebracht; hieran schließt sich die vollständige Aushärtung der Klebstoffschicht SS an, oder
  • (2) Eine Platte 9 aus einem thermoplastischen Harz, wie einem Acrylharz, einem ABC-Harz, aus Polyethylen oder dergleichen, wird geheizt und dann direkt mit der genannten Plattierungsschicht 7 verschmolzen.
Zur Verbindung mit einem nicht gezeigten Tinten-Zuführrohr wird ein Perforationsloch 10 vorgesehen (siehe Fig. 9).
Nachdem das Substrat 1 (Träger-Platte) mit den Nuten für die feinen Tinten-Strömungswege 12 (Tintenpfade) und den Tintenversorgungsraum 13 mit der Deck-Platte (9) verbunden worden ist, wird der so verbundene Körper längs der strichpunktierten Linie C-C′ in Fig. 9 aufgeschnitten. Der Schneidevorgang erfolgt, um den Abstand zwischen dem Element 2 zur Erzeugung des Tintenstrahldrucks und der Tintenstrahldüse 11 zu optimieren; der Bereich, der geschnitten werden soll, kann geeignet gewählt werden. Bei dem Schneidevorgang kann irgendein Schneideverfahren verwendet werden, wie es gewöhnlicherweise in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommt. Anschließend wird der geschnittene Bereich geschliffen, um die Oberfläche glatt zu machen, und ein nicht gezeigtes Tintenversorgungsrohr an dem Loch 10 zur Vervollständigung des Tintenstrahlkopfes angebracht.
Der fotoempfindliche Stoff, d. h., der Fotolack, der bei dem vorigen Beispiel verwendet worden ist, ist ein sog. Trockenfilm, d. h., ein "Festkörper"-Film; die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf sog. Festkörper-Fotolacke beschränkt, vielmehr können auch flüssige Fotolacke verwendet werden.
Wenn ein flüssiger Fotolack zur Herstellung des fotoempfindlichen Films auf dem Substrat verwendet wird, kann ein sog. "Quetschverfahren" verwendet werden. Das "Quetschverfahren" ist ein Verfahren, das typischerweise zur Herstellung eines Relief-Bildes verwendet wird. Bei dem Quetschverfahren umgibt man ein Substrat mit einer Wand, die dieselbe Höhe hat wie die gewünschte Dicke des fotoempfindlichen Stoffs; die überschüssige Menge des fotoempfindlichen Stoffs wird durch Quetschen entfernt. In diesem Fall ist die Viskosität des Fotolacks vorzugsweise im Bereich zwischen 100 und 300 cps; die Höhe der das Substrat umgebenden Wand wird unter Berücksichtigung der gewünschten Menge des Stoffs aufgrund der Lösungsmittelverdampfung bestimmt.
Wenn andererseits der Fotolack ein Festkörperlack ist, wird ein Blatt des Lacks an dem Substrat durch einen Heißpreßvorgang angebracht. Bei der vorliegenden Erfindung ist ein sog. Festkörperfilm-Fotolack vorteilhafter aufgrund der Handhabbarkeit und der leichten und präzisen Steuerung seiner Dicke.
Darüber hinaus können als fotoempfindliche Massen beispielsweise eine Mischung aus O-Naphtoquinon-Diazid und Novolac-Phenolharz, Polyvinyl-Cinnamate-Harz, zyklisches Gummi-Azid-Harz usw. sowie die meisten anderen Harze verwendet werden, die üblicherweise für Fotolithografien verwendet werden.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Fig. 10 bis 14 gezeigt.
Fig. 10 zeigt einen Querschnitt, und zwar insbesondere ein Element 102 zur Erzeugung eines Tintenstrahldrucks, das auf einem Substrat 101 (Träger-Platte) vorgesehen ist.
Gemäß Fig. 11 wird das Substrat (Träger-Platte) nach Fig. 10 weiter dadurch behandelt, daß ein elektrisch leitender Film 103 auf dem Substrat 101, das dem Verfahren gemäß Fig. 10 unterzogen worden ist, durch eine Filmherstellung, wie beispielsweise einen chemischen Plattierungsvorgang, einen Vakuum-Aufdampfvorgang, einem Sputter-Vorgang oder dergleichen gebildet wird. Der elektrisch leitende Film 103 aus Cu, Ni, Cr oder Ti kann dazu benutzt werden, einen engen Kontakt mit einem Plattierungsfilm 105 (siehe Fig. 12) herzustellen und ist hierzu wirkungsvoll. Anschließend wird ein fotolithografisches Verfahren, wie es bei dem vorigen Ausführungsbeispiel erläutert worden ist, zur Herstellung eines Fotolackmusters 104 an den gewünschten Stellen ausgeführt; diesem Schritt folgt ein Elektroplattierungsvorgang zur Herstellung eines Plattierungsfilms 105 aus Cu, Ni oder dergleichen (siehe Fig. 12). Das Fotolackmuster 104 wird dann entfernt; der belichtete Teil des elektrisch leitenden Films 103, der im Schritt gemäß Fig. 11 zur Erzielung einer elektrischen Leitfähigkeit hergestellt worden ist, wird ebenfalls geätzt und entfernt (siehe Fig. 13). Nach der Durchführung der obigen Schritte wird der Tintenstrahlkopf durch Anbringen oder durch einen Preß-Anpaßvorgang einer Deck-Platte 106 an der oberen Oberfläche des Substrats 101, das mit Nuten für die Tintenströmungswege versehen ist, vervollständigt (siehe Fig. 14).
Für den Fall, daß die aus dem Tintenstrahlkopf ausgestoßene Tinte elektrische Leitfähigkeit besitzt oder chemisch mit dem Material der Plattierungsschicht 105 reagiert, wird ein dielektrischer und korrosionsbeständiger Film, beispielsweise SiO₂, Si₃N₄, Ta₂O₅ oder dergleichen (nicht gezeigt) als tintenbeständige Schicht mit einer Dicke von 2 bis 5 µm durch ein Vakuum-Aufdampfverfahren, ein Sputter-Verfahren, ein CVD-Verfahren oder dergleichen gebildet. Es ist zu beachten, daß der Gesamtaufbau des vollständigen Tintenstrahlkopfs ähnlich dem in Fig. 9 gezeigten ist, der in einer auseinandergezogenen Darstellung zum besseren Verständnis dargestellt ist.
Tinten-Strömungswege sowie Tintenstrahldüsen können auf beiden Seiten des Substrats 1 bzw. 101 (Träger-Platte) mit einem ähnlichen Foto-Herstellvorgang, wie er bereits zuvor erläutert worden ist, hergestellt werden, obwohl ein derartiges Ausführungsbeispiel nicht in den vorigen Beispielen gezeigt ist.

Claims (11)

1. Verwendung eines Verfahrens, bei dem auf einer Träger-Platte (1, 101) unter Zuhilfenahme eines darauf vorhandenen photoempfindlichen Materials (5) in diesem Material nach einem vorbestimmten Muster Erhebungen (5 P, 104) und Ausnehmungen gebildet, die Ausnehmungen zur Bildung einer inneren Oberfläche mittels eines Plattierungsmaterials (7, 105) ausgefüllt und die Erhebungen (5 P, 104) anschließend entfernt werden, zur Herstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes, der die Träger-Platte (1, 101) mit nutförmigen Rillen sowie eine Deck-Platte (9, 106 umfaßt, die mit der Träger-Platte (1, 101) so verbunden ist, daß die nutförmigen Rillen mindestens einen mit einer Tintenausstoßöffnung (11) kommunizierenden Tintenpfad (12) bilden, in dessen Verlauf ein Element (2, 102) zur Erzeugung der den Ausstoß von Tinte aus der Tintenausstoßöffnung (11) bewirkenden Energie angeordnet und mit Elektroden verbunden ist, wobei auf der Träger-Platte (1, 101) vor dem Aufbringen des photoempfindlichen Materials (5) Elemente (2, 102) zur Erzeugung der Tintenstrahlausstoßenergie angeordnet werden, und bei der Entfernung der Erhebungen (5 P, 104) die Träger-Platte (1, 101) beibehalten wird, wodurch auf dieser nutförmige, über den Elementen (2, 102) zur Erzeugung der Tintenstrahlausstoßenergie angeordnete Rillen ausgebildet sind, die schließlich in Verbindung mit der Deck-Platte (9, 206) die mit Tintenausstoßöffnungen (11) kommunizierenden Tintenpfade (12) des in Rede stehenden Tintenstrahlaufzeichnungskopfes ergeben.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Träger-Platte aus Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall besteht.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmungen mittels eines Plattierungsverfahrens mit einem Metall ausgefüllt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall Nickel oder Kupfer ist.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Träger-Platte ein elektrisch leitender Film vorgesehen wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente zum Erzeugen der Tintenstrahlausstoßenergie exotherme Elemente sind.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente zum Erzeugen der Tintenstrahlausstoßenergie piezoelektrische Elemente sind.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Deck-Platte mit der Träger-Platte verklebt wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Träger-Platte und die Deck-Platte nach ihrer Verbindung einem Schneidvorgang unterzogen werden.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die beim Schneidvorgang entstehende Schnittfläche, in der die mindestens eine Tintenausstoßöffnung mündet, geschliffen wird.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Entfernen der Erhebungen die Innenoberfläche der Rillen mittels eines Elektroplattierungs-Verfahrens mit einem Metall beschichtet wird.
DE19813150109 1980-12-18 1981-12-17 Tintenstrahlkopf Granted DE3150109A1 (de)

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DE3150109A1 DE3150109A1 (de) 1982-07-15
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DE (1) DE3150109A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4225799A1 (de) * 1992-07-31 1994-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
DE4403042A1 (de) * 1992-07-31 1995-08-03 Francotyp Postalia Gmbh Edge-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung

Families Citing this family (133)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2104452B (en) * 1981-06-29 1985-07-31 Canon Kk Liquid jet recording head
US4611219A (en) * 1981-12-29 1986-09-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid-jetting head
US4609427A (en) * 1982-06-25 1986-09-02 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing ink jet recording head
JPS5919168A (ja) * 1982-07-26 1984-01-31 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
US4438191A (en) * 1982-11-23 1984-03-20 Hewlett-Packard Company Monolithic ink jet print head
JPS5995157A (ja) * 1982-11-23 1984-06-01 Yokogawa Hewlett Packard Ltd バブル駆動インク・ジエツト・プリント用ヘツド
US4528577A (en) * 1982-11-23 1985-07-09 Hewlett-Packard Co. Ink jet orifice plate having integral separators
JPS59111857A (ja) * 1982-12-16 1984-06-28 Seiko Epson Corp ノズルの製造方法
JPH0643129B2 (ja) * 1984-03-01 1994-06-08 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US4532530A (en) * 1984-03-09 1985-07-30 Xerox Corporation Bubble jet printing device
JPS60259457A (ja) * 1984-06-06 1985-12-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd インクジエツト記録ヘツド
US4727012A (en) * 1984-10-25 1988-02-23 Siemens Aktiengesellschaft Method of manufacture for print heads of ink jet printers
JPH0645242B2 (ja) * 1984-12-28 1994-06-15 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツドの製造方法
DE3546794C2 (de) * 1984-12-28 1996-10-31 Canon Kk Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
US4626323A (en) * 1985-04-10 1986-12-02 Siemens Aktiengesellschaft Method for the manufacture of a printing element for an ink droplet printing unit
EP0206086B1 (de) * 1985-06-10 1992-09-09 Canon Kabushiki Kaisha Strahlenhärtbare Harzzusammensetzung
JPS61285201A (ja) * 1985-06-13 1986-12-16 Canon Inc 活性エネルギ−線硬化型樹脂組成物
DE3620254C2 (de) * 1985-06-18 1994-05-05 Canon Kk Durch Strahlen mit wirksamer Energie härtbare Harzmischung
EP0209753B1 (de) * 1985-06-26 1993-09-01 Canon Kabushiki Kaisha Strahlenhärtbare Zusammensetzung
DE3621477A1 (de) * 1985-06-26 1987-01-08 Canon Kk Durch strahlen mit wirksamer energie haertbare harzmischung
US4688054A (en) * 1985-07-09 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
US4688052A (en) * 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
US4688056A (en) * 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
US4688053A (en) * 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
JPS6216147A (ja) * 1985-07-13 1987-01-24 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
EP0231790A3 (de) * 1986-01-30 1989-06-14 Hewlett-Packard Company Herstellungsverfahren zum Schichtaufbau von verbesserter struktureller Integrität
JPH0698755B2 (ja) * 1986-04-28 1994-12-07 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツドの製造方法
JPH0698760B2 (ja) * 1986-10-13 1994-12-07 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツド
JPH0698759B2 (ja) * 1986-10-13 1994-12-07 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツド
US4786357A (en) * 1987-11-27 1988-11-22 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead and fabrication method therefor
US4947192A (en) * 1988-03-07 1990-08-07 Xerox Corporation Monolithic silicon integrated circuit chip for a thermal ink jet printer
US4956653A (en) * 1989-05-12 1990-09-11 Eastman Kodak Company Bubble jet print head having improved multi-layer protective structure for heater elements
EP0419180B1 (de) * 1989-09-18 1994-08-03 Canon Kabushiki Kaisha Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Tintenstrahlgerät, welches diesen aufweist
DE69029774T2 (de) * 1989-09-18 1997-05-28 Canon Kk Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsgerät, welches diesen aufweist
DE69109884T2 (de) * 1990-02-09 1995-10-26 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungssystem.
EP0481788B1 (de) * 1990-10-18 1997-01-02 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren eines Tintenstrahldruckkopfes
EP0488675A1 (de) * 1990-11-28 1992-06-03 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren eines Farbstrahlaufzeichnungskopfes und Farbstrahlaufzeichnungskopf
US5198834A (en) * 1991-04-02 1993-03-30 Hewlett-Packard Company Ink jet print head having two cured photoimaged barrier layers
JPH0592570A (ja) 1991-10-03 1993-04-16 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘツドを備えた記録装置
US5825382A (en) * 1992-07-31 1998-10-20 Francotyp-Postalia Ag & Co. Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture
JPH06126964A (ja) * 1992-10-16 1994-05-10 Canon Inc インクジェットヘッドおよび該インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置
JP3513199B2 (ja) * 1993-01-01 2004-03-31 キヤノン株式会社 液体噴射ヘッド、これを用いた液体噴射ヘッドカートリッジおよび記録装置、ならびに液体噴射ヘッドの製造方法
JP3177100B2 (ja) * 1993-07-29 2001-06-18 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェット装置ならびに前記ヘッドの製造方法および前記ヘッドの製造装置
ES2144473T3 (es) 1993-07-29 2000-06-16 Canon Kk Cabezal para chorros de tinta, cartucho para chorros de tinta y aparato para la impresion por chorros de tinta.
US6877225B1 (en) 1993-07-29 2005-04-12 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing an ink jet head
CA2136514C (en) * 1993-11-26 2000-01-11 Masashi Kitani An ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
SG44309A1 (en) * 1994-03-04 1997-12-19 Canon Kk An ink jet recording apparatus
JP3126276B2 (ja) * 1994-08-05 2001-01-22 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US5531818A (en) 1994-12-01 1996-07-02 Xerox Corporation Ink jet ink compositions and printing processes
AU4092396A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
AU4092296A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
TW332799B (en) 1995-01-13 1998-06-01 Canon Kk The liquid ejecting head, device and method of liquid ejecting
JPH08333531A (ja) 1995-06-07 1996-12-17 Xerox Corp 水性インクジェットインク組成物
DE69626588T2 (de) 1995-09-14 2003-11-20 Canon K.K., Tokio/Tokyo Flüssigkeitsausstosskopf, Kassette für einen Flüssigkeitsausstosskopf und Flüssigkeitsausstossapparat
US5626654A (en) 1995-12-05 1997-05-06 Xerox Corporation Ink compositions containing liposomes
US5764263A (en) * 1996-02-05 1998-06-09 Xerox Corporation Printing process, apparatus, and materials for the reduction of paper curl
US5729261A (en) * 1996-03-28 1998-03-17 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead with improved ink resistance
DE69728082T2 (de) 1996-06-07 2005-01-20 Canon K.K. Flüssigkeitsausstosskopf, Vorrichtung zum Austossen von Flüssigkeit und Drucksystem
US6213592B1 (en) 1996-06-07 2001-04-10 Canon Kabushiki Kaisha Method for discharging ink from a liquid jet recording head having a fluid resistance element with a movable member, and head, head cartridge and recording apparatus using that method
US5781211A (en) * 1996-07-23 1998-07-14 Bobry; Howard H. Ink jet recording head apparatus
US5901425A (en) * 1996-08-27 1999-05-11 Topaz Technologies Inc. Inkjet print head apparatus
US5738799A (en) * 1996-09-12 1998-04-14 Xerox Corporation Method and materials for fabricating an ink-jet printhead
US5693129A (en) * 1997-01-13 1997-12-02 Xerox Corporation Ink jet ink compositions comprising anti-curl hydroxyamide derivatives and printing processes
US5788749A (en) * 1997-02-14 1998-08-04 Xerox Corporation Pigmented ink compositions containing liposomes
US6022104A (en) * 1997-05-02 2000-02-08 Xerox Corporation Method and apparatus for reducing intercolor bleeding in ink jet printing
US5997623A (en) * 1997-06-16 1999-12-07 Xerox Corporation Ink jet inks comprising anti-curl agents and printing processes
JP3416467B2 (ja) * 1997-06-20 2003-06-16 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェットプリント装置
EP0920998B1 (de) 1997-12-05 2003-04-09 Canon Kabushiki Kaisha Flüssigkeitsausstosskopf, Flüssigkeitsausstossverfahren, Kopfkassette und Flüssigkeitsausstossvorrichtung
US6210783B1 (en) 1998-07-17 2001-04-03 Xerox Corporation Ink jet transparencies
US6447984B1 (en) 1999-02-10 2002-09-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head, method of manufacture therefor and liquid discharge recording apparatus
US6254214B1 (en) 1999-06-11 2001-07-03 Lexmark International, Inc. System for cooling and maintaining an inkjet print head at a constant temperature
US6533400B1 (en) 1999-09-03 2003-03-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharging method
US6497475B1 (en) 1999-09-03 2002-12-24 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge method, head, and apparatus which suppress bubble growth at the upstream side
US6343850B1 (en) 1999-09-28 2002-02-05 Xerox Corporation Ink jet polyether urethane wiper blade
JP3584193B2 (ja) 2000-02-15 2004-11-04 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び前記液体吐出ヘッドの製造方法
US6475271B2 (en) 2000-12-28 2002-11-05 Xerox Corporation Ink jet ink compositions and printing processes
US6679587B2 (en) * 2001-10-31 2004-01-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device with a composite substrate
US6672718B1 (en) 2002-07-23 2004-01-06 Laser Lock Technologies, Inc. Aqueous latent image printing method and aqueous latent image printing ink for use therewith
US6770126B1 (en) * 2003-01-15 2004-08-03 Xerox Corporation Fast dry ink containing alkyl saccharide and methods of making and using said ink
US20050206679A1 (en) * 2003-07-03 2005-09-22 Rio Rivas Fluid ejection assembly
US6890067B2 (en) * 2003-07-03 2005-05-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
JP4865309B2 (ja) * 2005-11-29 2012-02-01 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法
US7504446B2 (en) * 2003-10-09 2009-03-17 Xerox Corporation Aqueous inks containing colored polymers
US7387370B2 (en) * 2004-04-29 2008-06-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microfluidic architecture
US7293359B2 (en) * 2004-04-29 2007-11-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method for manufacturing a fluid ejection device
US7705069B2 (en) * 2004-11-22 2010-04-27 Xerox Corporation Ink jet composition
US7169218B2 (en) * 2004-11-23 2007-01-30 Xerox Corporation Ink jet set for reducing intercolor bleed
US7540593B2 (en) * 2005-04-26 2009-06-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US7380914B2 (en) * 2005-04-26 2008-06-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US8758886B2 (en) 2005-10-14 2014-06-24 International Paper Company Recording sheet with improved image dry time
US7682438B2 (en) 2005-11-01 2010-03-23 International Paper Company Paper substrate having enhanced print density
EP2290162B1 (de) 2006-01-17 2017-05-03 International Paper Company Papiersubstrate mit hoher Oberflächenleimung und niedriger innerer Leimung sowie hoher Dimensionsstabilität
US7708396B2 (en) * 2006-03-09 2010-05-04 Xerox Corporation Photochromic phase change inks
US20070252879A1 (en) * 2006-04-28 2007-11-01 Xerox Corporation Phase change ink additives
US7576149B2 (en) * 2006-05-31 2009-08-18 Xerox Corporation Varnish
US7674326B2 (en) * 2006-10-12 2010-03-09 Xerox Corporation Fluorescent phase change inks
US20080098929A1 (en) * 2006-10-26 2008-05-01 Xerox Corporation Phase change inks
US20080098927A1 (en) * 2006-10-26 2008-05-01 Xerox Corporation Pigmented phase change inks
US20080098930A1 (en) * 2006-11-01 2008-05-01 Xerox Corporation Colorant dispersant
CN102887005A (zh) * 2007-05-21 2013-01-23 国际纸业公司 具有改善的图像耐水性、表面强度和运行性的记录片材
JP5328334B2 (ja) * 2007-12-21 2013-10-30 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
US8057637B2 (en) 2007-12-26 2011-11-15 International Paper Company Paper substrate containing a wetting agent and having improved print mottle
CA2719185C (en) 2008-03-31 2016-01-19 International Paper Company Recording sheet with enhanced print quality at low additive levels
CA2728278C (en) 2008-06-20 2016-06-28 Zheng Tan Composition and recording sheet with improved optical properties
WO2009158611A1 (en) * 2008-06-26 2009-12-30 International Paper Company Recording sheet with improved print density
US8123344B2 (en) * 2008-08-04 2012-02-28 Xerox Corporation Ink carriers containing surface modified nanoparticles, phase change inks including same, and methods for making same
US8029861B2 (en) * 2008-09-23 2011-10-04 Xerox Corporation Ink carriers containing low viscosity functionalized waxes, phase change inks including same, and methods for making same
CA2738923C (en) * 2008-10-01 2016-06-21 International Paper Company A paper substrate containing a wetting agent and having improved printability
JP5202284B2 (ja) * 2008-12-22 2013-06-05 株式会社日立産機システム 熱硬化性樹脂組成物
US7780774B2 (en) 2009-01-27 2010-08-24 Xerox Corporation Method of making a pigmented phase change ink with dispersant and synergist
US7776147B1 (en) 2009-01-27 2010-08-17 Xerox Corporation Pigmented phase change inks with dispersant and synergist
US8118922B2 (en) * 2009-05-18 2012-02-21 Xerox Corporation Pigmented phase change inks containing low molecular weight quaternary ammonium salt dispersants
US8101801B2 (en) * 2009-05-18 2012-01-24 Xerox Corporation Low molecular weight quaternary ammonium salt dispersants
US8342669B2 (en) * 2009-09-18 2013-01-01 Xerox Corporation Reactive ink components and methods for forming images using reactive inks
US8574690B2 (en) * 2009-12-17 2013-11-05 International Paper Company Printable substrates with improved dry time and acceptable print density by using monovalent salts
US8652593B2 (en) * 2009-12-17 2014-02-18 International Paper Company Printable substrates with improved brightness from OBAs in presence of multivalent metal salts
US20110177245A1 (en) 2010-01-19 2011-07-21 Xerox Corporation Ink compositions
US8652575B2 (en) * 2010-01-19 2014-02-18 Xerox Corporation Ink compositions
US8123848B2 (en) 2010-05-03 2012-02-28 Xerox Corporation Fluorescent ink compositions and fluorescent particles
WO2012067976A1 (en) 2010-11-16 2012-05-24 International Paper Company Paper sizing composition with salt of calcium (ii) and organic acid products made thereby,method of using, and method of making
US8807697B2 (en) 2010-11-16 2014-08-19 Xerox Corporation Encapsulated reactive ink and method for forming images using same
US8544998B2 (en) 2010-12-16 2013-10-01 Xerox Corporation Solid inks containing ketone waxes and branched amides
US8840232B2 (en) 2011-04-27 2014-09-23 Xerox Corporation Phase change ink
US8690309B2 (en) 2011-04-27 2014-04-08 Xerox Corporation Print process for phase separation ink
US8506694B2 (en) 2011-04-27 2013-08-13 Xerox Corporation Phase separation ink
US9228105B2 (en) 2012-06-12 2016-01-05 Xerox Corporation Aqueous overcoat on solid ink jet prints and methods of producing the same
US8696100B1 (en) 2012-10-02 2014-04-15 Xerox Corporation Phase change ink containing synergist for pigment dispersion
US8714724B2 (en) 2012-10-02 2014-05-06 Xerox Corporation Phase change inks containing novel synergist
US9149068B2 (en) 2012-10-11 2015-10-06 Schweitzer-Mauduit International, Inc. Wrapper having reduced ignition proclivity characteristics
US8974047B2 (en) 2012-11-27 2015-03-10 Xerox Corporation Phase change ink containing ethylene vinyl acetate
US9090758B2 (en) 2012-11-30 2015-07-28 Xerox Corporation Phase change ink comprising modified naturally-derived colorants
US8616693B1 (en) 2012-11-30 2013-12-31 Xerox Corporation Phase change ink comprising colorants derived from plants and insects
US8647422B1 (en) 2012-11-30 2014-02-11 Xerox Corporation Phase change ink comprising a modified polysaccharide composition

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1917294A1 (de) * 1969-04-03 1970-10-15 Hugo Brendel Verfahren zur Herstellung dickschichtiger Abbildungen
US3946398A (en) * 1970-06-29 1976-03-23 Silonics, Inc. Method and apparatus for recording with writing fluids and drop projection means therefor
US4296421A (en) * 1978-10-26 1981-10-20 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording device using thermal propulsion and mechanical pressure changes
DE2945658A1 (de) * 1978-11-14 1980-05-29 Canon Kk Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungsverfahren
JPS5943314B2 (ja) * 1979-04-02 1984-10-20 キヤノン株式会社 液滴噴射記録装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4225799A1 (de) * 1992-07-31 1994-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
DE4403042A1 (de) * 1992-07-31 1995-08-03 Francotyp Postalia Gmbh Edge-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
DE3150109A1 (de) 1982-07-15
JPH0310509B2 (de) 1991-02-13
US4412224A (en) 1983-10-25
JPS57102366A (en) 1982-06-25

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DE3222680C2 (de) Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
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