DE3141560A1 - Verfahren und vorrichtung zur prozesssteuerung und -regelung - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur prozesssteuerung und -regelungInfo
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- G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
- G05B13/04—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
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Description
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1A-55 260 D-8000 MÜNCHEN 90
SCHWEIGERSTRASSE 2 te le PON: (089) 66 20 ji
telex: j 24070
Beschreibung
Verfahren und Vorrichtung zur Prozeßsteuerung
und -regelung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prozeßsteuerung oder -regelung gemäß dem Oberbegriff des
Anspruchs 1 und 7.
Bei automatischen Prozeß- oder Verfahrensregelungssystemen, bei welchen (beispielsweise) PID-Regler verwendet werden, und
Prozeßmodellen muß der Operator drei Arten des Reglerverhaltens einstellen, um die gewünschte Durchführung der Regelung
zu erzielen.
Die Arten des Reglerverhaltens, welche der Operator überwachen muß, sind der Proportionalitäts- bzw. Regelbereich, die Regelung
der Veränderungsrate und die Rückstellregelung.
Dies wird ausgeführt, indem eine Schritt- oder Stufenänderung im Sollwert des Prozesses ausgeführt wird und das Ansprechen
der Prozeßvariablen beobachtet wird, welche geregelt wird. Der Operator stellt dann, basierend auf dem beobachteten Ansprechen,
den Regler wieder ein.
4»
Eine manuelle Einstellung des Sollwerts zur Erzielung der Prozeßregelung ist aufgrund der Unzuverlässigkeit des Operators
und der Schwierigkeit, eine präzise Regelung zu erzielen,
nicht gewünscht.
Der in den Patentansprüchen gekennzeichneten Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und
eine Vorrichtung zur automatischen Bestimmung der Modellparameter zu schaffen, so daß diese Parameter dem Regler zur Regelung dos Prozesses zugeführt werden könnton-.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist eine Prozeßregelungsvorrichtung
geschaffen, mit einem Regler, einem zu regelnden
Modell des Prozesses, wobei der Regler auf ein Sollwertsignal anspricht, um dem zu regelnden Prozeß und dem Modell des Prozesses
ein Regelsignal zuzuführen, einer Sequenz- oder Zuordnungseinrichtung, die so angeordnet ist, daß sie einen
Zyklus ausführt, während dem Stufenveränderungen im Sollwert des Reglers ausgeführt werden, und eine Einrichtung, welche
auf die Differenz zwischen einem dem Zustand des Prozesses entsprechenden Signal und einem Ausgangssignal des Modells
anspricht, um zumindest einen der Parameter des Modells zu modifizieren, und um auf die; Reglcrsignalc einzuwirken,
die dem Parameter (den Parametern) entsprechen, wobei die Sequenzeinrichtung so angeordnet ist, daß sie den Zyklus
wiederholt, bis die Veränderung in den Parametern zwischen aufeinanderfolgenden Zyklen geringer als ein festgelegter
Wert ist.
Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Einstellung eines
Reglers vom PID-Typ, bei welchem ein Zyklus erzeugt wird, welcher die Schritte umfaßt, daß ein dem Zustand der überwachten
Prozeßvariablen entsprechendes Sigrcal und ein Signal verglichen werden, welches der Summe einer proportionalen Veränderung
im Sollwert mit dem dem Zustand der überwachten Prozeßvariablen für ein vorhergehendes Intervall entsprechenden Signal entspricht. Es wird ein Zeitintervall bestimmt,
in dem die Zeit überwacht wird,die für den Prozeß erforderlich ist, um eine der proportionalen Veränderung im Sollwert
entsprechende Veränderung zu bewirken. Die Sollwertveränderung
wird alternierend zu dem Wert des der Prozeßvariablen für das Zeitintervall entsprechenden Signal addiert, von diesem
weggelassen und von diesem abgezogen. Das resultierende Signal wird dem Regler zugeführt.
Der Regler regelt den Prozeß und das Prozeßmodell auf bekannte Weise, was wiederum bewirkt, daß die Modellparameter sich
kontinuierlich verändern. Wenn die Veränderung der Parameter zwischen aufeinanderfolgenden Zyklen unter einen bestimmten
Wert fallen, wird der Zuordner oder Sequencer unwirksam gemacht .
Allgemein enthält die Vorrichtung eine Einrichtung zur Übertragung
eines Signals, welches einem Zustand der Prozeßvariablen und einer Veränderung im Sollwert entspricht, an die Vorrichtung,
welche die beiden Signale kombiniert, um ein Referenzeingangssignal zu erzeugen, das durch einen.Komparator
mit dem Prozeßvariablensignal verglichen wird. Das Ausgangssignal des Komparators wird einer Einrichtung zur Regelung
eines Zyklus übertragen. Zusätzlich umfaßt die Vorrichtung einen Decodierer, der bewirkt, daß ein der Sollwertveränderung
entsprechendes Signal bezüglich dem der Signalprozeßvariablen am Anfang des Zyklus entsprechenden Signal addiert,
j gnoriert oder subtrahiert wird. Es sind Einrichtungen zur
Detektierung von Veränderungen in den Parametern des Prozeßmodells
von Zyklus zu Zyklus des Zuordners vorgesehen. Es sind auch Einrichtungen zur Außerkraftsetzung des Zuordners
vorgesehen, wenn die Veränderung in den Parametern von Zyklus zu Zyklus kleiner als ein festgelegter Wert ist.
Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen in Verbindung mit der Beschreibung und der
Zeichnung hervor. In letzterer zeigen:
Figur 1 eine schematische Darstellung eines automatischen
Prozeß- oder Verfahrensregelsystems, bei dem es sich ; entweder um ein PID- oder um ein Diskretzeit-System
handelt,
Figur 2 ein Diagramm, in dem die Beziehung zwischen den Sollwertstufenveränderungen
und dem Ansprechen der Prozeßvariablen während der Einstellung dargestellt ist,
Figur 3 eine schematische Darstellung des automatischen Zuordners
oder Sequencers, und
Figur 4 eine schematische Darstellung des Fehler- und Enddetektors
in dem automatischen Zuordner von Fig. 3=
In Fig. 1 ist ein typisches automatisches Regelsystem für eine Prozeßvariable dargestellt. Bei der Variablen kann es sich um
Temperatur, Druck, Viskosität oder dergleichen des Prozesses
handeln. Das System enthält einen Regler oder Controller 12, der für den Prozeß 14 und für das Prozeßmodell 16 Eingangssignale liefert.Ein dem gegenwärtigen Zustand des Prozesses
entsprechendes Ausgangssignal 20 wird einem Summierer 22 zugeführt.
Wenn kein Diskretzeitregler verwendet wird, müssen die Dis-'
kretzeitparameter a.., a2, b. , b2 in die PID-Regler-Form geändert werden, um den Prozeß zu regeln.
Vor Beginn der Regelung des Prozesses, müssen Veränderungen
im Prozeß und im Prozeßmodell initiiert werden, da die Parameter des Prozeßmodells nur identifiziert werden, indem verglichen
wird, wie sich das Prozeßmodell hinsichtlich einer Veränderung im Prozeß verändert. Hierauf wurde von A„T„
Touchstone und A.B. Corripio in "Adaptive Control Through Instrumental - Variable Estimation of Discrete Model Parameters
",proceeding of ISA/77, Anaheim, CA May 2-5, 1977, pp 57-64, und von EoB. Dahlin in "Designing and Tuning
Digital Controllers in Instruments and Control Systems", Vol. 42, No. 6, June 1968, pp. 78-83, hingewiesen. Touchstone,
Corripio und Dahlin zeigen, daß durch die Erzeugung von Stufenveränderungen im Sollwert des Prozesses das Eingangssignal für das Prozeßmodell verändert wird und daß fjoine
Parameter bestimmt werden können.
Das Ausgangssignal 30 des Prozeßmodells besitzt die Form η ~~ a1 n-1 a2 n-2 1 n-1 ~ 2 n-2
Y das Ausgangssignal aus dem Prozeßmodell zur Zeit n, Y-1 Y für die Zeit vor der Zeit n,
Y0 Y für die Zeit vor der Zeit n-1,
n—2 η
X _.. das Ausgangssignal aus dem Regler für die Zeit vor der
Zeit η und
X „ das Ausgangssignal aus dem Regler für die Zeit vor der Zeit n-1 und
X „ das Ausgangssignal aus dem Regler für die Zeit vor der Zeit n-1 und
a , a , b , b2 Parameter sind, welche es nach der Identifizierung
ermöglichen, daß das Prozeßmodell 16 dieselbe Charakteristik wie der Prozeß 14 besitzt.
In dem Grad, in dem das Prozeßmodell 16 den Prozeß nicht genau wiedergibt, wird ein an einem Summierer 26 entwickeltes Fehlersignal
einem Modellparameteridentifizierer 28 zugeführt. Der
Modellparameteridentifizierer 28 löst die ProzeßmodellausgangsSignalgleichung
gemäß einem System, welches eine rekursive Regression der kleinsten Quadrate umfaßt, um die Werte
a1, ao, b und b„ zu bestimmen, die in die PID-Form konvertiert
werden können, falls dies gewünscht ist. Für diese Konversion ist eine Anzahl von Techniken bekannt, von denen
eine in der US-Patentanmeldung mit der Serial No. 06/19 8,804
(Self Tuning of P-I-D Controller by Conversion of Discrete Time Model Identification Parameters) vom 20. Oktober 1980
offenbart ist.
Die Art und Weise, auf welche dies bewerkstelligt wird, kann am besten unter Bezugnahme auf Fig. 2 erläutert werden. In
dieser Figur stellt die horizontale Linie den gewünschten Sollwert des Prozesses dar, und die Stufenkurve stellt Veränderungen
um den gewünschten Sollwert herum dar.
Der-gewünschte Sollwert 38 (bei dem es sich z.B. um die Temperatur
handeln kann) erhält einen Referenzpegel. Der Sollwert wird von dem Operator auf einen neuen Pegel verändert. Die
Größe des Sollwerts kann beliebig von dem Operator ausgewählt werden, vorausgesetzt, daß dies für die überwachte Variable
vernünftig ist.
Wenn das dem Zustand der überwachten Prozeßvariablen entsprechende
Signal 20 anzeigt, daß die Prozeßvariable einen vorbestimmten Wert (gewöhnlich 6 3 % der Sollwertveränderung),
d.h. die Closed-Loop-Ansprechzeit,/wird' der Sollwert auf den
Referenzpegel zurückgestellt. Der Sollwert wird auf dem
Referenzpegel für eine Zeitdauer gehalten , die der Closed-Loop-Ansprechzeit entspricht. Am Ende des Zeitintervalls
48 wird die Sollwertveränderung vom Referenzpegel abgezogen, um einen neuen Einstellpunkt 52 festzulegen bzw. zu definieren. Diese Veränderung wird während der Closed-Loop-Ansprechzeit
gehalten. Dann wird der Sollwert auf den Referenzpegel 38 zurückgestellt.
Wenn der Einstellpunkt verändert wird, verändern sich entsprechend
der Prozeß 14 und das Prozeßmodell 16. Die Veränderungen und Abweichungen im Zustand der Prozeßvariablen resultieren
in einem Ausgangssignal von dem Prozeß, welches einem Summierer 26 zugeführt wird. Ein dem Eingangssignal für das
Prozeßmodell entsprechendes Signal wird von dem Regler 12 angelegt. Das Ausgangssignal des Prozeßmodells wird mit dem
Ausgangssignal aus dem Prozeß beim Summierer 26 kombiniert, um ein Signal zu erzeugen, welches der Einrichtung zur Identifizierung
der Modellidentifikationsparameter a1, a2, b. und b„
zugeführt wird. Diese Parameter werden verändert, bis das Prozeßmodell 16 den Prozeß 14 genau beschreibt-
Der soeben beschriebene manuelle Prozeß wird durch den automatischen
Zuordner ausgeführt, der in Figo 3 dargestellt ist»
Der Zuordner bewirkt automatisch die in Fig« 2 dargestellten Sollwertveränderungen und überwacht die in Fig. 2 dargestellten
Veränderungen in der Prozeßvariablen, bis die Parameter für-den Regler identifiziert sind.
In Fig. 3 ist der automatische Zuordner im Detail beschrieben»
Der Zuordner spricht auf das Signal 20, das dem Zustand der Prozeßvariablen entspricht, und auf die Sollwertveränderung
56 an, die durch den Operator ausgewählt wird.
Der Zuordner addiert, ignoriert, subtrahiert und ignoriert
die Sollwertveränderung 56 bezüglich des Signals, welches dem Zustand der Prozeßvariablen am Anfang des Zyklus, entspricht,
d.h. des Signals 52, was beim Summierer 60 geschieht, und führt dieses Signal dem "Summierer 22 zu.
Der Zyklus wird wiederholt, bis der Fehler- und Enddetektor 64 festlegt, daß die Werte des Reglerparameters in angrenzenden
Zyklen unter einen festgelegten Wert fallen. Gewöhnlich wird der Zuordner weiterarbeiten, bis die Werte jener Parameter
innerhalb von 1 % von Zyklus zu Zyklus gebracht worden sind. Jedoch könnte der gewünschte Wert auf jede geeignete
Zahl abgeändert werden.
Der automatische Zuordner enthält ein Zykluselement bzw. einen Cycler 68, einen Komparator 70, Schalter 72 und 74, Addierer
und Multiplizierer 78, Decodierer 80 und Multiplizierer
Der Zuordner enthält auch einen Prozeßvariablenspeicher 86, einen Zeitgeberspeicher 88 und zwei Zeitgeber 90 und 92.
Ein interner Taktgeber 96 wirkt mit UND-Gattern 98 und 100 zusammen, um Impulse an die Zeitgeber 90 und 92 und das
Zykluselement 68 anzulegen«
Am Anfang wird der automatische Identifizierungszuordner
manuell über eine Rückstelleitung 102 zurückgestellt, die das Zykluselement 68 über ein ODER-Gatter 104 erregt. Das
Signal stellt auch den Zeitgeber 92 zurück. In diesem Zustand gibt der Zuordner über eine Leitung 106 Schalterbetätigungen
der mechanisch gekuppelten Schalter 72 und 74 frei, so daß diese sich zu den Schaltkontakten "A" bewegen. Dies
gibt das Prozeßvariablensignal 20 frei, so daß es in den Komparator als Eingangssignal eintritt.
• β «ta an
Es wird auch freigegeben,, damit die ausgewählte Sollwertveränderung
56 mit einer festgelegten Konstanten, normalerweise 63 %, multipliziert und zu dem Wert des Signals 20 vom Anfang
des Zyklus, d.h. dem Signal 52, addiert wird. Dies erfolgt
in dem Summierer-Multiplizierer 78, dessen Ausgangssignal
ebenfalls dem Komparator 70 zugeführt wird.
in dem Summierer-Multiplizierer 78, dessen Ausgangssignal
ebenfalls dem Komparator 70 zugeführt wird.
Gleichzeitig wird die Sollwertveränderung dem Multiplizierer
82 zugeführt.
Das Komparatoreingangssignal, welches der gespeicherten Prozeßvariablen
52 entspricht, zuzüglich dem festgelegten Prozentsatz der Sollwertveränderung, wird der Referenzwert für
den Rest des Zyklus des Zuordners.
den Rest des Zyklus des Zuordners.
Zu einem festgelegten Zeitpunkt wird der Zuordner in einen
zweiten Zustand versetzt, in welchem er den Decodierer frei= gibt, so daß dieser ein "Plus"-Ausgangssignal erzeugt, welches bewirkt, daß das Ausgangssignal des Multiplizierers 82 einen positiven Wert besitzt, der gleich dem Pegel der Sollwertveränderung 56 ist. Das kombinierte Ausgangssignal 85 aus
dem Summierer 6O wird dem Summierer 22 zur Anwendung auf den Regler 12 mit dem Signal 20 zugeführt.
zweiten Zustand versetzt, in welchem er den Decodierer frei= gibt, so daß dieser ein "Plus"-Ausgangssignal erzeugt, welches bewirkt, daß das Ausgangssignal des Multiplizierers 82 einen positiven Wert besitzt, der gleich dem Pegel der Sollwertveränderung 56 ist. Das kombinierte Ausgangssignal 85 aus
dem Summierer 6O wird dem Summierer 22 zur Anwendung auf den Regler 12 mit dem Signal 20 zugeführt.
Der positive Wert des Sollwerts gelangt in den Summierer 60
und wird zum Wert der im Speicher 86 gehaltenen Prozeßvariablen addiert. Zur selben Zeit wird der Zeitgeber 92 erregt, um das Intervall zu takten, so daß es das dem Zustand des Prozesses entsprechende Signal 20 nimmt, so daß es den Referenzwert
erreicht. Dieses Zeitintervall wird im Speicher 88 gespeichert.
und wird zum Wert der im Speicher 86 gehaltenen Prozeßvariablen addiert. Zur selben Zeit wird der Zeitgeber 92 erregt, um das Intervall zu takten, so daß es das dem Zustand des Prozesses entsprechende Signal 20 nimmt, so daß es den Referenzwert
erreicht. Dieses Zeitintervall wird im Speicher 88 gespeichert.
Zu dieser Zeit erzeugt der Komparator 70 ein Ausgangssignal
für das Gatter 100, welches nach Pulsung durch den Taktgeber 96 das Zykluselement 68 freigibt, so daß dieses zum nächsten Zustand fortschreitet. In dem nächsten Zustand gibt das
Zykluselement den Decodierer frei, so daß dieser von dem
"Plüs"-Ausgangssignal zu einem "Null"-Ausgangssignal wechselt, welches nach Multiplikation mit der Veränderung des Sollwerts diesen eliminierte, wodurch die durch den Zuordner einge-
für das Gatter 100, welches nach Pulsung durch den Taktgeber 96 das Zykluselement 68 freigibt, so daß dieses zum nächsten Zustand fortschreitet. In dem nächsten Zustand gibt das
Zykluselement den Decodierer frei, so daß dieser von dem
"Plüs"-Ausgangssignal zu einem "Null"-Ausgangssignal wechselt, welches nach Multiplikation mit der Veränderung des Sollwerts diesen eliminierte, wodurch die durch den Zuordner einge-
führte Veränderung auf den ReferenzSollwert 38 (Fig. 2) heruntergebracht
wird, der der Wert des Signals auf der Leitung 52 in Fig. 3 ist. Dieser Zustand wird während eines Intervalls
fortgesetzt, das gleich dem Intervall ist, während welchem die Prozeßvariable auf 6 3 % der Sollwertveranderung
56 heraufgesetzt wurde. Die Dauer dieses Intervalls wird
durch den Speicher 8 8 gesteuert.
Zusätzlich verändert das Zykluselement 68 die Schalterbetätigungen
bzw. Stellungen der Schalter 72 und 74 zu den "B"-Kontakten, wodurch die von dem vorhergehenden Zustand
akkumulierte Zeit der Referenzwert des !Comparators wird. Die Zeit im gegenwärtigen Zustand ist das andere Eingangssignal
zum Komparator. Wenn die Zeit im gegenwärtigen Zustand gleich der Zeit im vorhergehenden Zustand ist, vereinigt
sich das Ausgangssignal aus dem Komparator mit dem Taktimpuls am UND-Gatter 100, um das Zykluselement freizugeben,
so daß dieses in den nächsten Zustand fortschreitet. In diesem Zustand gibt der Decodierer den Multiplizierer
frei, so daß dieser das Sollwertsignal 83 zu einem negativen Wert verändert und diesen zum Wert des gespeicherten
Prozeßvariablensignals 42 am Summierer 60 addiert, dessen Ausgangssignal dem Summierer 22 zugeführt wird. Dieser Zustand
wird, wie oben beschrieben, durch einen Vergleich der Zeit in diesem Zustand mit dem im Speicher 88 gespeicherten
Zeitintervall beendet.
Dann wird das Zykluselement in den nächsten Zustand weiterversetzt,
wodurch bewirkt wird, daß das Sollwertveränderungssignal für den Summierer 60 mittels des Multiplizierers
82 auf Null gesetzt wird, wodurch herbeigeführt wird, daß das Sollwertsignal einen Wert besitzt, welcher dem Signal 52,
der gespeicherten Prozeßvariablen vom Beginn des Zyklus, entspricht.
Am Ende eines anderen zeitlich gesteuerten Intervalls pulst der--Komparator wieder das Zykluselement 68, um den Zyklus zu
beenden.
X;-: I5 Γι ;. .». ;
Am Ende des Zyklus vergleicht der Fehler- und Enddetektor
die Reglerparameter von angrenzenden Zyklen in Abhängigkeit von den Sollwertveränderungen. Solange die Veränderungen von
Zyklus zu Zyklus unterhalb eines bestimmten Pegels liegen, pulst er das Zykluselement 68 über das ODER-Gatter 104, um
das Zykluselement 68 wieder zurückzustellen, damit der gerade beschriebene Prozeß wieder beginnt. Zusätzlich kann er
ein geeignetes Signal abgeben, welches anzeigt, daß der
Zyklus wieder durchlaufen wird.
Wenn der Fehler- und Enddetektor 64 ermittelt, daß die Veränderungen
in den Reglerparametern von Zyklus zu Zyklus in-
z.B.
nerhalb eines akzeptablen Wertes,/1 %, liegen, macht er das Zykluselement unwirksam und legt den automatischen Zuordner still.
nerhalb eines akzeptablen Wertes,/1 %, liegen, macht er das Zykluselement unwirksam und legt den automatischen Zuordner still.
Der Fehler- und Enddetektor 64 läßt sich am besten anhand
von .Fig. 4 erläutern. Der Fehler- und 'Enddetektor umfaßt
einen Speicher 110, eine Anzahl von Summierern 112 und MuIti-*
plizierern 114, welche der Anzahl der Parameter auf der Leitung 30 entspricht, und einen Summierer 116 zur Kombination
der Ausgangssignale der Multiplizierer 114.
Er enthält außerdem einen anderen Satz von Multiplizierern
118. Die Anzahl der Multiplizierer 118 ist dieselbe wie die
der Multiplizierer 114. Die Ausgangssignale der Multiplizierer
118 werden in einem Summierer 120 kombiniert.
Beim Betrieb werden die Parameter dem Speicher 110 zugeführt»
Dieser speichert die Parameterwerte für einen Zyklus, so daß
das Ausgangssignal des Speichers den Wert der Parameter des vorhergehenden Zyklus wiedergibt.
Die gegenwärtigen Werte der Parameter werden bei den Summierern
112 mit den verzögerten Werten aus dem Speicher 110 summiert^ um Signale 122 zu erzeugen, welche ihren Veränderungen aus dem vorhergehenden Zyklus entsprechen»
Jodes der Signale 122 wird durch die Multiplizierer 114 mit
sich selbst multipliziert, so daß die Ausgangssignale 124 aus den Multiplizierern die Quadrate der Differenzen der
Parametersignale von angrenzenden Zyklen darstellen. Die Signale werden im Summierer 116 summiert, und das Ausgangssignal
des Summierers wird einem Dividierer 128 als Zähler zugeführt.
Zur selben Zeit wird jedes der verzögerten Parametersignale
aus dem Speicher 110 durch die Multiplizierer 118 quadriert,
und deren Ausgangssignale 130 werden dem Summierer 120 zugeführt. Das Ausgangssignal des Summierers wird dem Dividierer
128 als Nenner zugeführt.
Das Ausgangssignal des Dividierers ist der Veränderung der Werte der Parameter von Zyklus zu Zyklus proportional. Sie
werden quadriert, um negative Werte zu entfernen und um positive Werte abzugeben, die summiert werden können, um einen
einzigen Wert zu erzeugen, der für alle Eingangssignale repräsentativ
ist.
Der als Ausgangssignal des Dividierers 128 erzeugte Quotient 134 wird einem Komparator 132 zugeführt. Der andere Eingang
des !Comparators empfängt ein Referenzsignal 136, welches die
festgelegte obere Grenze des Wertes des Quotientensignals
134 ist.
Solange das Quotientensignal 134 größer als das Referenzsignal 136 ist, gibt der Komparator ein Ausgangssignal 140 an das
ODER-Gatter 104 ab, um das Zykluselement 6 8 zurückzustellen und um die Identifikationssequenz bzw. den Zuordner wieder zu
starten.
Es können viele Zyklen ausgeführt werden, bis die Werte der Reglerparameter in den Bereich der festgelegten Werte fallen.
Andererseits ist die Minimalanzahl der Zyklen, die durchlaufen werden können, zwei, da der Fehler nur durch einen
Vergleich zwischen einem speziellen Satz von Parametern und dem Parameter für den vorhergehenden Zyklus festgestellt
* -f
werden kann.
Anstelle der oben beschriebenen Hardware-Ausführung können die Funktionen des Zuordners und des Fehler- und Enddetektors
auch durch ein geeignet programmiertes Mikroprozessorsystem
ausgeführt werden.
Während der automatische Identifizierungszuordner im Zusammenhang
mit einem PID-Regler beschrieben wurde, kann er auch in einem Diskretzeit-Regler verwendet werden. Bei dieser Reglerart
wäre es nicht erforderlich, die Modellparameter-identifizierenden I .dentifizierer a1 , a«, b.. und b? zu PID-Parametern
zu übersetzen.
-Λ-
Leerseite
Claims (13)
1. / Verfahren zur Einstellung eines kontinuierlich einstell-
ren Reglers,, in welchem die Reglerparameter auf zumindest
eines von einer Reihe von Eingangssignalen ansprechen, so
daß der Regler Signale zur Regelung eines Prozesses sendet und einem Modell des Prozesses ein Eingangssignal zuführt,
wobei das Modell Parameter aufweist, die gemäß der Differenz zwischen dem dem Zustand des Prozesses entsprechenden
Signal und dem Ausgangssignal aus dem Prozeßmodell variabel sind und den Parametern entsprechende Signale dem Regler
zugeführt werden,, und bei welchem die Parameter identifiziert werden, indem Stufenänderungen im Sollwert des Reglers
ausgeführt werden und es zugelassen wird, daß der Prozeß
einen festgelegten Anteil des Wertes der Veränderungen erreicht , dadurch gekennzeichnet , daß
ein Zyklus geschaffen wird, welcher die Schritte enthält, daß zuerst ein dem Zustand des Prozesses entsprechendes Signal
mit einem zweiten Signal verglichen wird, welches der Summe
des ersten Signals und eines festgelegten Anteils eines der Sollwertveränderung entsprechenden dritten Signals entspricht„
daß das dritte Signal addiert und von dem ersten Signal während mit Abstand angeordneter Zeitintervalle subtrahiert wircl und
daß das resultierende Signal dem Regler zugeführt wird, daß die Werte der Signale bestimmt werden, welche zumindest einem
der Reglerparameter entsprechen, die von der Addition und Subtraktion
des dritten Signals zum ersten Signal resultieren, und daß ^der Zyklus wiederholt wird, bis die Veränderung im ausgewählten
Parameter aus dem vorhergehenden Zyklus zum gegenwär-
tigen Zyklus geringer als ein festgelegter Wert ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß
die Länge des Intervalls detektiert wird, welches das erste
Signal braucht, um im wesentlichen gleich dem zweiten Signal zu werden, daß das dritte Signal zu dem ersten Signal für
das Intervall addiert wird, wobei das dritte Signal für das Intervall nicht dem ersten Signal zugeführt wird, daß das
dritte Signal von dem ersten Signal für das Intervall abgezogen wird und daß das dritte Signal nicht dem ersten Signal
für das Intervall zugeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
das Signal, welches dem festgelegten Anteil des dritten Signals zu einem gegebenen Zeitpunkt entspricht, zum Wert des
ersten Signals zu einem früheren Zeitpunkt addiert wird, und daß das letztgenannte Signal zu dem Signal addiert wird,
welches dem Regler zugeführt wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß
der festgelegte Wert etwa ein Prozent beträgt.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß
die Veränderung im gewählten Parameter dadurch bestimmt wird, daß das Signal verglichen wird, welches dem Quadrat der Veränderung
des Parameterwertes entspricht, dividiert durch ein Signal, welches dem Quadrat des Parameters am Beginn des
Zyklus entspricht.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß
eine Reihe von gewählten Parametern vorhanden ist und daß die Veränderung in den Parametern dadurch bestimmt wird, daß ein
Signal verglichen wird, welches der Summe der Quadrate der Veränderung in den.Werten der Parametersignale entspricht,
dividiert durch die Summe der Quadrate der Werte der Parameter
am Beginn des Zyklus.
7. Vorrichtung zur Einstellung eines kontinuierlich einstellbaren Reglers, welcher auf zumindest eine Reihe von
Eingangssignalen anspricht, so daß der Regler ein Verfahren regelt, mit einem Modell des Prozesses, welches Parameter
aufweist, die gemäß der Differenz zwischen dem dem Zustand des Prozesses entsprechenden Signal und dem Aüsgangssignal
aus dem Prozeßmodell variabel sind, in welcher den Parametern entsprechende Signale dem Regler zugeführt werden und
die Parameter dadurch·identifiziert werden, daß Stufenveränderungen
im Sollwert des Reglers ausgeführt werden und es gestattet wird, daß der Prozeß einen festgelegten Anteil des
Wertes der Veränderungen erreicht, gekennzeichn et durch
eine Einrichtung zur Erzeugung der Sollwertveränderungen und zur Detektierung der Veränderungen in dem Parameter, mit
einem ersten Element (68) zur Erzeugung eines Zyklus mit einer Reihe von Schritten,
einer Einrichtung (70) zum Vergleichen eines proportionalen Anteils einer Sollwertveränderung mit einem entsprechenden
Wert des Prozesses während eines der Zyklusschritte, wodurch Werte der Parameter für den Zyklus bestimmt werden,
eine Einrichtung zur Wiederholung des Zyklus, wenn die Werte der Parameter sich vom vorhergehenden Zyklus um mehr als
den vorbestimmten Wert verändern, wenn sie mit dem nächstangrenzenden Zyklus verglichen werden, und
eine Einrichtung zur Beendigung des Zyklus, wenn die Veränderung in den Parametern geringer als ein festgelegter Wert
während der letztgenannten Zyklusstufe ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch g e k e η η zeichnet,
daß
die Vergleichseinrichtung (70) ein erstes Tastsignal abgibt, welches mit einem zweiten Tastsignal zusammenwirkt, um den
Zyklus zum nächsten Schritt weiterzubringen.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, gekennzeichnet
durch
eine Einrichtung zur Steuerung der Bewegung des Zyklus durch die Schritte, wobei die Einrichtung zumindest auf ein Signal
anspricht, welches anzeigt, daß sich der Prozeß bei einem bestimmten Proportionalwert befindet.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
ein Decodierer (80) und ein Multiplizierer (82) vorgesehen
sind und daß die Einrichtung zur Steuerung der Bewegung des Zyklus bewirkt, daß der Decodierer alternativ die Sollwertveränderung
addiert, eliminiert oder von dem zweiten Signal subtrahiert.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet , daß
die Einrichtung, die bewirkt, daß der Zyklus wiederholt wird, eine Einrichtung (132) für den Vergleich eines Signals, welches
dem Proportionalanteil einer Veränderung des Wertes des Parameters entspricht, mit einem Referenzsignal und eine Einrichtung
(104) zur Freigabe des Zuordners enthält, wenn die proportionale Veränderung in Parameter größer als der Referenzwert
ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet , daß
in der Einrichtung, welche bewirkt, daß der Zyklus wiederholt wird, enthalten sind eine Einrichtung (114) zur Quadrierung
der Differenzen der den Werten der Parameter des vorhergehenden Zyklus beim gegenwärtigen Zyklus entsprechenden
Signale, um eine erste Gruppe von quadrierten Signalen zu erhalten, eine Einrichtung (118) zur Quadrierung der Werte
der Parameter für den vorhergehenden Zyklus, um eine zweite Gruppe von quadrierten Signalen zu erhalten, eine Einrichtung
(116, 120), die dazu dient, jedes der Signale in jeder der Gruppen von quadrierten Signalen zu summieren, eine Einrichtung
(128) zur Dividierung der Summe der ersten Gruppe von Signalen
durch die Summe der zweiten Gruppe von Signalen, um ein proportionales
Signal zu liefern, eine Einrichtung zur Lieferung des Meßsignals und eine Einrichtung (132) für den Vergleich
des Referenzsignals mit dem Proportionalmeßsignal, so daß,
wenn das Proportionalmeßsignal größer als das Referenzsignal ist, der Zyklus freigegeben ist, den Zyklus zu wiederholen»
wenn das Proportionalmeßsignal größer als das Referenzsignal ist, der Zyklus freigegeben ist, den Zyklus zu wiederholen»
13. Prozeßregelvorrichtung, gekennzeichnet
durch
durch
einen Regler, ein Modell des zu regelnden Prozesses, wobei
der Regler auf ein Sollwertsignal anspricht, um dem zu regelnden Prozeß und dem Prozeßmodell ein Regelsignal zuzuführen, eine Sequenz- oder Zuordnungseinrichtung, welche
angeordnet ist, um einen Zyklus auszuführen, während welchem Stufenveränderungen JLm Sollwert des Reglers ausgeführt werden, und eine Einrichtung, welche auf die Differenz zwischen einem dem Zustand des Prozesses entsprechendem Signal und
einem Ausgangssignal des Modells anspricht, um zumindest
einen der Parameter des Modells zu modifizieren und dem
Regler Signale zuzuführen, welche dem (den) Parameter(n) entsprechen, wobei die Sequenzeinrichtung so angeordnet ist, daß der Zyklus wiederholt wird, bis die Veränderung in den Parametern zwischen aufeinanderfolgenden Zyklen geringer als ein festgelegter Wert ist.
der Regler auf ein Sollwertsignal anspricht, um dem zu regelnden Prozeß und dem Prozeßmodell ein Regelsignal zuzuführen, eine Sequenz- oder Zuordnungseinrichtung, welche
angeordnet ist, um einen Zyklus auszuführen, während welchem Stufenveränderungen JLm Sollwert des Reglers ausgeführt werden, und eine Einrichtung, welche auf die Differenz zwischen einem dem Zustand des Prozesses entsprechendem Signal und
einem Ausgangssignal des Modells anspricht, um zumindest
einen der Parameter des Modells zu modifizieren und dem
Regler Signale zuzuführen, welche dem (den) Parameter(n) entsprechen, wobei die Sequenzeinrichtung so angeordnet ist, daß der Zyklus wiederholt wird, bis die Veränderung in den Parametern zwischen aufeinanderfolgenden Zyklen geringer als ein festgelegter Wert ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/198,801 US4368510A (en) | 1980-10-20 | 1980-10-20 | Automatic identification system for self tuning process controller |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3141560A1 true DE3141560A1 (de) | 1982-08-05 |
Family
ID=22734907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813141560 Withdrawn DE3141560A1 (de) | 1980-10-20 | 1981-10-20 | Verfahren und vorrichtung zur prozesssteuerung und -regelung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4368510A (de) |
JP (1) | JPS57121707A (de) |
AU (1) | AU541391B2 (de) |
DE (1) | DE3141560A1 (de) |
GB (1) | GB2086082B (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3833881A1 (de) * | 1988-10-05 | 1990-04-12 | Bosch Gmbh Robert | Regeleinrichtung |
EP0520233A2 (de) * | 1991-06-24 | 1992-12-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Einrichtung zur Identifikation einer Übertragungsstrecke |
DE4202578A1 (de) * | 1992-01-30 | 1993-08-05 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Verfahren und vorrichtung zur identifikation von dynamischen kenngroessen |
DE4344283A1 (de) * | 1992-12-25 | 1994-06-30 | Fuji Electric Co Ltd | Einrichtung zum Ermitteln von Regelstrecken-Parametern |
DE19508476A1 (de) * | 1995-03-09 | 1996-09-12 | Siemens Ag | Leitsystem für eine Anlage der Grundstoff- oder der verarbeitenden Industrie o. ä. |
EP3462262A1 (de) * | 2017-09-29 | 2019-04-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Automatisiertes zuordnen von messdaten zur cloudbasierten überwachung mechanischer assets |
Families Citing this family (75)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57199004A (en) * | 1981-06-01 | 1982-12-06 | Toshiba Corp | Sample value adaptive process controller |
FR2512985A1 (fr) * | 1981-09-11 | 1983-03-18 | Telemecanique Electrique | Procede d'identification du modele d'une enceinte thermique et application a la regulation d'une enceinte thermique |
US4481567A (en) * | 1982-03-01 | 1984-11-06 | The Babcock & Wilcox Company | Adaptive process control using function blocks |
US4446409A (en) * | 1982-03-22 | 1984-05-01 | Lockheed Electronics Co., Inc. | Electronic controller apparatus |
US4539633A (en) * | 1982-06-16 | 1985-09-03 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Digital PID process control apparatus |
US4646226A (en) * | 1983-01-28 | 1987-02-24 | Measurex Corporation | System and process for identifying and updating tuning constants |
JPS59142608A (ja) * | 1983-02-04 | 1984-08-15 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 空調制御装置 |
WO1985001807A1 (en) * | 1983-10-14 | 1985-04-25 | Ford Motor Company | Selective parametric self-calibrating control system |
US4642636A (en) * | 1983-11-16 | 1987-02-10 | Westinghouse Electric Corp. | Method and apparatus for auto-calibration of signal conditioning electronics |
US4602326A (en) * | 1983-12-12 | 1986-07-22 | The Foxboro Company | Pattern-recognizing self-tuning controller |
USRE33267E (en) * | 1983-12-12 | 1990-07-17 | The Foxboro Company | Pattern-recognizing self-tuning controller |
JPH07104715B2 (ja) * | 1984-01-18 | 1995-11-13 | 株式会社日立製作所 | パラメ−タの同定方法 |
US4679174A (en) * | 1984-04-26 | 1987-07-07 | Western Geophysical Company Of America | Method for seismic lithologic modeling |
DE3427127A1 (de) * | 1984-07-23 | 1986-01-23 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur regleroptimierung fuer antriebe |
NO166821C (no) * | 1985-02-21 | 1991-09-04 | Aardal & Sunndal Verk As | Fremgangsmaate for styring av aluminiumoksyd-tilfoerselen til elektrolyseovner for fremstilling av aluminium. |
JPS61243505A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-29 | Omron Tateisi Electronics Co | 離散時間制御装置 |
US4882526A (en) * | 1986-08-12 | 1989-11-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Adaptive process control system |
US4768143A (en) * | 1986-10-09 | 1988-08-30 | The Babcock & Wilcox Company | Apparatus and method using adaptive gain scheduling algorithm |
US4922412A (en) * | 1986-10-09 | 1990-05-01 | The Babcock & Wilcox Company | Apparatus and method using adaptive gain scheduling |
JPH0731522B2 (ja) * | 1988-11-30 | 1995-04-10 | 株式会社東芝 | 適応制御装置 |
US4993480A (en) * | 1989-02-01 | 1991-02-19 | Chichibu Cement Kabushiki Kaisha | Temperature controlling means for a thermostat for use in measuring viscosity |
JP2835061B2 (ja) * | 1989-02-23 | 1998-12-14 | 株式会社東芝 | 適応制御装置 |
US5121332A (en) * | 1989-03-31 | 1992-06-09 | Measurex Corporation | Control system for sheetmaking |
US5166873A (en) * | 1989-09-13 | 1992-11-24 | Yokogawa Electric Corporation | Process control device |
JPH03245202A (ja) * | 1990-02-23 | 1991-10-31 | Toshiba Corp | 適応制御装置 |
US5233512A (en) * | 1990-06-21 | 1993-08-03 | General Electric Company | Method and apparatus for actuator fault detection |
GB2252424B (en) * | 1990-11-24 | 1994-10-05 | Dowty Aerospace Gloucester | Adaptive control servosystems |
US5402333A (en) * | 1992-06-15 | 1995-03-28 | E. I. Du Pont De Nemours & Co., Inc. | System and method for improving model product property estimates |
US5740033A (en) * | 1992-10-13 | 1998-04-14 | The Dow Chemical Company | Model predictive controller |
JP2929259B2 (ja) * | 1993-12-27 | 1999-08-03 | 株式会社山武 | コントローラ |
GB2289957A (en) * | 1994-05-28 | 1995-12-06 | British Aerospace | Adaptive control systems |
US6094600A (en) * | 1996-02-06 | 2000-07-25 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | System and method for managing a transaction database of records of changes to field device configurations |
US5838599A (en) * | 1996-09-13 | 1998-11-17 | Measurex Corporation | Method and apparatus for nonlinear exponential filtering of signals |
US5777872A (en) * | 1996-09-13 | 1998-07-07 | Honeywell-Measurex Corporation | Method and system for controlling a multiple input/output process with minimum latency |
US5796609A (en) * | 1996-09-13 | 1998-08-18 | Honeywell-Measurex Corporation | Method and apparatus for internal model control using a state variable feedback signal |
US5892679A (en) * | 1996-09-13 | 1999-04-06 | Honeywell-Measurex Corporation | Method and system for controlling a multiple input/output process with minimum latency using a pseudo inverse constant |
US5901059A (en) * | 1996-09-13 | 1999-05-04 | Honeywell Measurex Corp | Method and apparatus for controlling a process using adaptive prediction feedback |
US5920478A (en) * | 1997-06-27 | 1999-07-06 | Oakleaf Engineering, Inc. | Multi-input multi-output generic non-interacting controller |
US5991525A (en) * | 1997-08-22 | 1999-11-23 | Voyan Technology | Method for real-time nonlinear system state estimation and control |
US6618630B1 (en) | 1999-07-08 | 2003-09-09 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | User interface that integrates a process control configuration system and a field device management system |
US7069101B1 (en) * | 1999-07-29 | 2006-06-27 | Applied Materials, Inc. | Computer integrated manufacturing techniques |
US6640151B1 (en) * | 1999-12-22 | 2003-10-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-tool control system, method and medium |
US6957172B2 (en) * | 2000-03-09 | 2005-10-18 | Smartsignal Corporation | Complex signal decomposition and modeling |
US6708074B1 (en) | 2000-08-11 | 2004-03-16 | Applied Materials, Inc. | Generic interface builder |
US7188142B2 (en) * | 2000-11-30 | 2007-03-06 | Applied Materials, Inc. | Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility |
US7233886B2 (en) * | 2001-01-19 | 2007-06-19 | Smartsignal Corporation | Adaptive modeling of changed states in predictive condition monitoring |
US20020128735A1 (en) * | 2001-03-08 | 2002-09-12 | Hawkins Parris C.M. | Dynamic and extensible task guide |
US20020138321A1 (en) * | 2001-03-20 | 2002-09-26 | Applied Materials, Inc. | Fault tolerant and automated computer software workflow |
US7160739B2 (en) * | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
US7101799B2 (en) * | 2001-06-19 | 2006-09-05 | Applied Materials, Inc. | Feedforward and feedback control for conditioning of chemical mechanical polishing pad |
US7047099B2 (en) * | 2001-06-19 | 2006-05-16 | Applied Materials Inc. | Integrating tool, module, and fab level control |
US7082345B2 (en) * | 2001-06-19 | 2006-07-25 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for process control for the matching of tools, chambers and/or other semiconductor-related entities |
US7698012B2 (en) * | 2001-06-19 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Dynamic metrology schemes and sampling schemes for advanced process control in semiconductor processing |
US6913938B2 (en) * | 2001-06-19 | 2005-07-05 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of plasma-enhanced chemical vapor deposition processes |
US7201936B2 (en) * | 2001-06-19 | 2007-04-10 | Applied Materials, Inc. | Method of feedback control of sub-atmospheric chemical vapor deposition processes |
US6910947B2 (en) * | 2001-06-19 | 2005-06-28 | Applied Materials, Inc. | Control of chemical mechanical polishing pad conditioner directional velocity to improve pad life |
US7337019B2 (en) * | 2001-07-16 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Integration of fault detection with run-to-run control |
US6984198B2 (en) | 2001-08-14 | 2006-01-10 | Applied Materials, Inc. | Experiment management system, method and medium |
US7225047B2 (en) * | 2002-03-19 | 2007-05-29 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for controlling semiconductor wafer processes using critical dimension measurements |
US20030199112A1 (en) * | 2002-03-22 | 2003-10-23 | Applied Materials, Inc. | Copper wiring module control |
EP1546828A1 (de) * | 2002-08-01 | 2005-06-29 | Applied Materials, Inc. | Verfahren, system und medium zur handhabung nicht repräsentativer metrologiedaten mit einem erweiterten prozesssteuersystem |
CN1720490B (zh) * | 2002-11-15 | 2010-12-08 | 应用材料有限公司 | 用于控制具有多变量输入参数的制造工艺的方法和系统 |
US7333871B2 (en) * | 2003-01-21 | 2008-02-19 | Applied Materials, Inc. | Automated design and execution of experiments with integrated model creation for semiconductor manufacturing tools |
US7205228B2 (en) * | 2003-06-03 | 2007-04-17 | Applied Materials, Inc. | Selective metal encapsulation schemes |
US20050014299A1 (en) * | 2003-07-15 | 2005-01-20 | Applied Materials, Inc. | Control of metal resistance in semiconductor products via integrated metrology |
US7354332B2 (en) * | 2003-08-04 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | Technique for process-qualifying a semiconductor manufacturing tool using metrology data |
US7356377B2 (en) * | 2004-01-29 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | System, method, and medium for monitoring performance of an advanced process control system |
US6961626B1 (en) * | 2004-05-28 | 2005-11-01 | Applied Materials, Inc | Dynamic offset and feedback threshold |
US7096085B2 (en) * | 2004-05-28 | 2006-08-22 | Applied Materials | Process control by distinguishing a white noise component of a process variance |
US20060100844A1 (en) * | 2004-11-08 | 2006-05-11 | Keng-Chia Yang | Test time forecast system and method thereof |
US8275577B2 (en) | 2006-09-19 | 2012-09-25 | Smartsignal Corporation | Kernel-based method for detecting boiler tube leaks |
US8311774B2 (en) * | 2006-12-15 | 2012-11-13 | Smartsignal Corporation | Robust distance measures for on-line monitoring |
US8391999B2 (en) * | 2010-06-09 | 2013-03-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Auto device skew manufacturing |
RU2488455C2 (ru) * | 2010-12-07 | 2013-07-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" | Способ прокатки металлической заготовки |
CA2923243A1 (en) | 2013-09-06 | 2015-03-12 | Ge Intelligent Platforms, Inc. | Apparatus and method for model adaptation |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1300319B (de) * | 1966-01-03 | 1969-07-31 | Siemens Ag | Rechenverfahren zur Vorausbestimmung der zur optimalen Fuehrung eines technischen Prozesses notwendigen Stellgroessen |
DE2413168A1 (de) * | 1974-03-19 | 1975-10-09 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Verfahren und vorrichtung zur adaptiven steuerung der einstellung eines reglers |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3221230A (en) * | 1962-01-22 | 1965-11-30 | Massachusetts Inst Technology | Adaptive control method and apparatus for applying same |
US3534400A (en) * | 1966-12-07 | 1970-10-13 | Ibm | Parameter identification method for process control systems |
US3767900A (en) * | 1971-06-23 | 1973-10-23 | Cons Paper Inc | Adaptive controller having optimal filtering |
US3758762A (en) * | 1972-07-10 | 1973-09-11 | Leeds & Northrup Co | Decoupled feedforward-feedback control system |
FR2201499B1 (de) * | 1972-09-29 | 1975-03-14 | Alsthom Cgee | |
US4054780A (en) * | 1976-11-01 | 1977-10-18 | Phillips Petroleum Company | Gain-adaptive process control |
GB1603825A (en) * | 1977-05-17 | 1981-12-02 | Jones K R | Three term (pid) controllers |
-
1980
- 1980-10-20 US US06/198,801 patent/US4368510A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-09-30 GB GB8129505A patent/GB2086082B/en not_active Expired
- 1981-10-16 AU AU76515/81A patent/AU541391B2/en not_active Ceased
- 1981-10-19 JP JP56165884A patent/JPS57121707A/ja active Pending
- 1981-10-20 DE DE19813141560 patent/DE3141560A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1300319B (de) * | 1966-01-03 | 1969-07-31 | Siemens Ag | Rechenverfahren zur Vorausbestimmung der zur optimalen Fuehrung eines technischen Prozesses notwendigen Stellgroessen |
DE2413168A1 (de) * | 1974-03-19 | 1975-10-09 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Verfahren und vorrichtung zur adaptiven steuerung der einstellung eines reglers |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3833881A1 (de) * | 1988-10-05 | 1990-04-12 | Bosch Gmbh Robert | Regeleinrichtung |
EP0520233A2 (de) * | 1991-06-24 | 1992-12-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Einrichtung zur Identifikation einer Übertragungsstrecke |
EP0520233A3 (en) * | 1991-06-24 | 1993-02-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Arrangement for identification of the parameters of a controlled system |
DE4202578A1 (de) * | 1992-01-30 | 1993-08-05 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Verfahren und vorrichtung zur identifikation von dynamischen kenngroessen |
DE4344283A1 (de) * | 1992-12-25 | 1994-06-30 | Fuji Electric Co Ltd | Einrichtung zum Ermitteln von Regelstrecken-Parametern |
DE4344283C2 (de) * | 1992-12-25 | 2001-05-31 | Fuji Electric Co Ltd | Einrichtung zum Ermitteln von Regelstrecken-Parametern |
DE19508476A1 (de) * | 1995-03-09 | 1996-09-12 | Siemens Ag | Leitsystem für eine Anlage der Grundstoff- oder der verarbeitenden Industrie o. ä. |
US5727127A (en) * | 1995-03-09 | 1998-03-10 | Siemans Atkiengesellschaft | Method for controlling a primary industry plant of the processing industry |
EP3462262A1 (de) * | 2017-09-29 | 2019-04-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Automatisiertes zuordnen von messdaten zur cloudbasierten überwachung mechanischer assets |
WO2019063213A1 (de) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Automatisiertes zuordnen von messdaten zur cloudbasierten überwachung mechanischer assets |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57121707A (en) | 1982-07-29 |
GB2086082B (en) | 1984-08-30 |
US4368510A (en) | 1983-01-11 |
AU541391B2 (en) | 1985-01-03 |
GB2086082A (en) | 1982-05-06 |
AU7651581A (en) | 1982-04-29 |
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Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3141560A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur prozesssteuerung und -regelung | |
DE2735012C2 (de) | ||
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8130 | Withdrawal |