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DE2853724C3 - Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Schichtwerkstoff oder Schichtwerkstück sowie Verfahren zu dessen Herstellung

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DE2853724C3
DE2853724C3 DE2853724A DE2853724A DE2853724C3 DE 2853724 C3 DE2853724 C3 DE 2853724C3 DE 2853724 A DE2853724 A DE 2853724A DE 2853724 A DE2853724 A DE 2853724A DE 2853724 C3 DE2853724 C3 DE 2853724C3
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sliding
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harder
alloy
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DE2853724A
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DE2853724A1 (de
Inventor
Michael Dipl.-Ing. 6501 Oberolm Steeg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Glyco Metall Werke Glyco BV and Co KG
Original Assignee
Glyco Metall Werke Daelen und Loos GmbH
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Publication date
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Description

Die Erfindung bezieht sich zunächst auf einen Schichtwerkstoff oder ein Schichiwerkstück mit auf einer Trägerschicht im Drahtcxplosionsverfahren oder Kathodcnz.crstäubiingsvcrfahrcn (sputtering) aufgebrachter, im wesentlichen metallischer Gleit- oder Reibschicht.
Aus der DE-AS 25 21286 ist in Anwendung des Drahtcxplosionszcrstäubungsverfahrcns. bei dem durch Stromstoßentladung ein Draht versprüht wird, in einem Verfahren zur Beschichtung der inneren Gleitflächcn eines ar. einer Aluminiumlegierung bestehenden Zylinders eines Verbrennungsmotors bekannt. Es ist auch bekannt, Glcitschichlcn aus PTf-E durch Kathodenzerstäubung (sputtering) zu erzeugen (Thin solid Films, 3 [1969] 109 - 117. Elsevier. Lausanne).
Weiterhin ist es bekannt, die wesentlichen Eigenschaften wie Härte. Zug- und Druckfestigkeit, vor allem aber Abriebfestigkeit von metallischen Materialien, insbesondere Legierungen, durch sogenannte Dispersionshärtung zu variieren (R. Irmann: Aluminium, 33 [1957], S. 250: M. Gensamcr: Proc. AM. Sex.·. Met. 36 [I946J, S. 44; E. Orowan: Symp. Internal Stresse. Inst. Met. Lond.[l954lS.45l:II.Unckc!:METAi,L22[19b8).
s. m% bog).
In der heutigen Technik heiuitzt in,in in zunehmendem Malte die Dispersifins\crfesiigimg metallischer Werkstoffe zur Erhöhung der mechanischen Lustigkeit. Warmfestigkeit und Warm verschleißfestigkeit.
Das Prinzip der DispersKnisverfesiigung besteht tiarin, daß harte nichtmetallische Teilchen möglichst gleichmäßig in einer weichen Metallmatrix verteilt
werden. Die Festigkeitssteigerung ist darauf zurückzuführen, daß die Partikel als mechanische Hindernnisse, teilweise durch den Aufbau weitreichender Spannungsfelder und als Quellen neuer, nicht immer gleitfähiger Versetzungen, die Gleitprozesse in den Matrixmetallen und die Wanderung von Korngrenzen bei Raumtemperatur und erhöhter Temperatur behindern sowie weitgehend das Korn wachs turn und die Rekristallisation einschränken und somit eine hohe Warrn- und Kriechfestigkeit bewirken. Die Wannbeständigkeit bei hohen Temperaturen wird dadurch fast bis zum Schmelzpunkt des Matrixmetalls ei höht, da die eingebaute Feststoffphase auch bei hohen Temperaturen unlöslich ist. Der Einbau von extrem harten Partikeln wie Karbiden, Oxyden, Nitriden und Suiziden u. a. erhöht den Verschleißwiderstand solcher Dispersionslegierungen beträchtlich. Je nach der gewählten Matrix und der dispergierten Feststoffphase werden Werkstoffe mit völlig neuen Eigenschaften gewonnen. Es gibt eine Reihe von Methoden und Produktionsverfahren zur Herstellung dispersionsverfestigter Metalle und metallischer Oberzüge. Wenngleich dl; Dispersionshärtung schon längere Zeit bekannt ist, befindet sich die Verfahrenstechnik teilweise noch in der F.ntwicklung. Ein Hauptproblem ist die Schwierigkeit, das Dispersat als zweite Phase gleichmäßig in der Matrix zu verteilen und gleichzeitig das Dispersal mit sehr kleinem Partikeldurchmesser herzustellen.
Im Rahmen geforderter Leistungssteigerung an Gleitscliichten und Reibschichten, insbesondere der Forderung nach Gleitschichten mit höherer Dauerfestigkeit und Warmverschleißfestigkeit wäre es für die Technik von besonderem Interesse, auch an Gleitschichten und Reibschichten solche Dispersionsverfestigung vorzusehen. Jedoch eröffnet keines der bisherigen Verfahren zum Herstellen dispersionsverfestigter metallischer Körper eine brauchbare Möglichkeit zur Bildung dispersionsverfesiigter Gleitschichten und Reibschichten:
I. Pulvermelallurgische Verfahren
Die Arbeitsweise besteht im Herstellen des Pulvergemisches aus Matrixwerkstoff und Dispersat — Kaltpressen-· Sintern-» Heißpressen, wobei auch Kombinationen von Sintern mit Heißpressen bzw. Heißpressen mit Strangpressen oder anderen War;numformverfahren wie Schmieden oder Walzen möglich sind. Das Verfahren isl vom Ablauf und daher für die Herstellung von Gleit- und Reibwerkstoffen zu sehr aufwendig.
Das Mischen von M<»!rixwerkstoffen und Dispersat ist zwar das einfachste, aber sicher das am wenigsten wirkungsvollste Verfahren. Die Nachteile liegen hauptsächlich in der Verteilung des Dispcrsates im Matrixwerkstoff infolge von Agglomcralionsvorgängen, elektrischen Aufladungen und Adsorptionsvorgängen begründet. Für die Herstellung von Gleit- und Reibschichten ist das Verfahren nicht befriedigend.
2. Kombination metallurgischer und chemischer
Prozesse
Hier win'l ein anorganisches SaI'/ des Oiindmetnlles aus der Suspension des Dispersates ausgefüllt, wobei sich das Crutidmctall z.U. als Hydroxid auf dem Dispersat abscheidet. Anschließend wird das mit dein Dispergens bedeckte Dispersat getrocknet, die nachfolgende Reduktion reduziert das abgeschiedene Hydroxid zum Metall. Auf diese Weise wird zum Beispiel das bekannte TD-Nickcl hergestellt. Eine weitere Möglichkeil besteht darin, zwei Salze beider Phasen aus einer Lösung auszufällen und anschließend unier reduzierender Atmosphäre zu glühen. Hierbei wird das weniger stabile Oxid des Matrixmetalles reduziert, wahrend die , oxidische Phase des Dispersats erhalten bleibt. Zur Herstellung von dispersionsverfestigten Gleit- oder Reibwerkstoffen ist das Verfahren ebeso umständlich.
3. Verdüsungsverfahren
in Man hat versucht, Metalle in einer bestimmten Atmosphäre zu verdüsen (z. B. Bleilegierungen unter oxydierenden Bedingungen, wodurch oxidhaltige Bleipulver entstehen) oder zwei Metalle gleichzeitig zu versprühen. So erhaltene Pulver können dann aber nur
π nach pulvermetallurgischen Methoden (siehe oben) weiterverarbeitet werden.
4. Innere Oxidation
Hierunter wird die selektive Oxidation eines in einer
al edlen Metallmatrix vorhandenen sauerstoffaffinen, reaktiven Metalles verstanden. Da <iie Oxidation des sauerstoffaffinen Dispersats von der Diffusionsgeschwindigkeit des Sauerstoffs abhängt, ist das Verfahren für technische Zwecke der Herstellung von Gleit- und
2"> Reibschichten unwirtschaftlich.
Aucl. eine Herstellung von dispersionsverfestigten Überzugsschcichten, die eine oder mehrere nichtmetallische, möglichst gleichmäßig verteilte Phasen enthalten, auf elektromagnetischem oder chemischem Wege hat
ι» sich für die Bildung von Gleit- und Reibschichien als ungeeignet erwiesen. Bei solcher elektrochemischer oder chemischer Erzeugung dispersionsverfestigter Überzugsschichien wird dem Elektrolyten das möglichst feinpulvrige und notwendigerweise gegenüber
r> diesem inerte Material zugegeben und durch geeignete Methoden (Verrühren oder Umpumpen) in Schwebe gehalten und im Zuge der Metallabscheidurig an der Kathode in den Überzug eingebaut. Bei durchgeführten Versuchen, die Dauerfestigkeit und Verschleißfestigkeit
in der galvanischen hergestellten Gleitschichten von Dreistofflagern zu erhöhen, zeigte sich jedoch, daß offensichtlich das Gegenteil erreicht wird. Die verhältnismäßig kleinen inkorporierten Feststoffpartikel zwischen 0,1 und 5 um Korngröße sind offenbar bei einer
4Ί Wechsclbeanspruchung noch zu grob und wirken als innere Kerben und mindern damit die Dauerfestigkeit.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Schichtwerkstoff oder ein Schichtwerkstiick der im Gattungsbegriff des Anspruchs I beschriebenen Art
"•ii dahingehend zu verbessern, daß seine Dauerfesiigkeit. Warmhärte und Warmvcrschlcißfestigkeit erhöht ist, wobei eine Versprödung vermieden werden soll.
Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die fjlgtndi'n Merkmale gelöst:
Vi a) die Gleit-bzw. Reibschicht besteht aus dispersionsverfesiigtem Verbundstoff, dessen wesentlich hiirtere Teilchen in wesentlich unter I Gcw.-% liegender Menge in feinster Verteilung vorliegen.
b) die härteren Teilchen sind in der elektrischen wi Gasentladung gebildete und in statu nascendi in das Metall der Gleit- b/w. Reibschicht eingelagerte Kleinstteikhen aus Oxiden von in dem Metall enthaltenen Bestandteilen und
c) die härteren Teilchen sind aus Oxiden solcher "· Metalle gebildet, für die gilt, daß das Metalloxid
größeres Volumen als das Metall selbst hat.
Die Aufgabe ist somit nicht einfach durch eine im Drahtcxplosions- oder KMlhodenzerstäubiingsv ei fan-
ren gebildete dispersionsverfesiigtc Gleit· oder Reibschicht mil einer bestimmten Menge fcinsvertcilter härterer Teilchen gelöst, sondern dadurch, daß bei er Bildung der Schicht auch die Bedingungen b) und c) eingehalten sind.
Was dieses erbringt, wird an folgendem Beispiel deutlich.
Um auf eine Glcillagerschale mil dem Aufbau Stahl/CuPb 22 Sn eine durch A I)O ι dispersions verfest igte Gleitschicht aus AISn 20 Cu aufzubringen, könnte man sich z. B. folgende Verfahrensführung vorstellen. Man stellt auf pulvcrmetallurgischem Wege ein Target aus AISn 20 C'u/AbOi her — wobei man liier die Möglichkeit hat. den Grad der Dispersionsverfestigung über den Gehalt an AI>O| zu steuern — und zerstäubt in einer inerten Atmosphäre. Neben dem Nachteil dieser Verfahrensweise, daß die Herstellung des Targets auf pulvermetallurgischcm Wege (Pressen. Sintern) relativ aufwendig ist. hat es sich aber überraschend gezeigt, dall bereits dem Al-Pulver zugemischte Al>Oi-Gchalie unter I Gew.-% die aufgesplitterte AISn 20 Cii-Gleiischicht so stark verfestigt, daß sie spröde und als Geleitschicht ungeeignet wird. Entsprechendes gilt auch für Reibschichten. Demgegenüber hat die Erfindung ergeben, daß überraschenderweise bereits in normalem Strangguß aus AISn 20 Cu vorhandene Gehalte an Sauerstoff und Oxiden genügen, um in einer aus dieser Legierung aufgesplitterten Gleitschicht eine erstaunliche Dispersionsverfestigung zu erreichen, wobei sich überraschenderweise die beste Dauerfestigkeit. Wannhärte und Warmverschleißfestigkeit dann ergeben haben, wenn fiir das Matrix-Metall, aus dem die harten Oxidteilchen gebildet werden.gilt:
Volumen des Oxids
Volumen des Metalls
(Merkmal el
Ist dieses Verhältnis < 1. so sind nur schwache oder gar keine Steigerungen der Dauerfestigkeit und Wiirnucrschleißfestigkcit zu verzeichnen.
In Ausgestaltung der Erfindung weist die Gleit- oder
» r\r\z
Nutzung mehrerer Targets in mindestens eines dieser Targets eingelagert wird,
oder
während der Drahtexplosions- bzw. der Kalodenzer > stäubung dem dabei benutzten Plasmagas zugegeben wird.
In Ausgestaltung des ersten Verfahrens ist vorgesehen.
daß das bzw. die Targei(s) durch Strangguß oder ι Kokillenguß aus Gleitlagerlegierung gebildet wird bzw. werden,
oder
daß das bzw. die Target(s) einer kombinierten Vakuum-Wärmebehandlung zur Einstellung eines für die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderlichen Gehaltes an gasförmigem Sauerstoff unterworfen wird bzw. werden.
In Ausgestaltung des zweiten Verfahrens ist vorgesehen, daß man das bzw. die Target(s) aus Gleitlagcrlcgierung in Strangguß oder Kokillenguß in Vakuum oder unter Inertgasatmosphäre praktisch frei von Sauerstoff bildet. In allen Fällen kann Argon als Plasmagas benutzt werden.
Bei .Schichtwerkstoffen oder Schichtwcrkstücken mit einer das Substrat bildenden Metallschicht beispielsweise Stahlschicht, einer aus Notlaufeigenschaften aufweisenden Material, beispielsweise Bleibronze oder Zinnbronze bestehenden Zwischenschicht, und der Gleitoder Reibschicht empfiehlt es sich, /wischen der Zwischenschicht und der Gleit bzw. Reibschichi eine dünne oxidfreic Diffusionssperrschicht anzuordnen, und es ist in Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, sie entweder aus einer NickelChroml.egierung. insbesondere einer solchen Legierung mit etwa 20 Gew.-1Vo Chromgehalt, oder aus reinem Chrom zu bilden und im Drahtexplosions- oder Kathodenzcrstäubungsvcrfahren aufzubringen. Das Aufbringen der Sperrschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht kann vorteilhaft in demselben Plasmagas unmittelbar aufeinanderfolgend nur unter Benutzung verschiedener Targets erfolgen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigt
0.050 mm. vorzugsweise 0.010 mm bis 0.030 mm auf.
Die Erfindung hat besondere Vorteile fur Schichtwerkstoffe oder Schichtwcrkstüekc. bei denen das metallische Material der Matrix eine herkömmliche Gleitlagcrlegierung z. B. eines oder mehrerer der Metalle aus der Gruppe Muminium. Blei. Kadmium. Zinn. Zink. Nickel. Kupfer ist und die härteren Teilchen aus Oxiden eines oder mehrerer dieser Metalle bestehen. In Versuchen hat sich als besonders vorteilhaft herausgestellt, wenn die Matrix ,ms einer Legierung der Art AISn 20 oder AISn 40. beispielsweise AISn 20 Cu bzw. AlSn 40 Cu besieht und in diese Matrix die härteren Teilchen aus AI.O. eingelagert sind.
D:c- Erfindung betrifft sodann ei- Verfahrer zum Herstellen der zunächst vorgeschlagenen Schichtwerks'offe oder Schichtwerkstücke, bei dem die Gleit oder Reibschicht im Drahtexplosions- oder Kathodenzerstaubungsverfahren aufgebracht wird.
Gemäß diesem Teil der Erfindung ist ein derartiges Verfahren in der Weise ausgestattet, daß der fur die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderliche Sauer stoff in Gasform
entweder
durch Nbsorption in das bei ,!er Drahtexplosions- oder der Kathodenzerstäubung benut/te T,--get h/v. bei Reibschicht im Schnitt, stark vergrößert und
Fig. 2 Schichtwerkstoff bzw. ein Mehrschichtglcitlager mit dispcrsionsverfestigter Gleitschicht im Schnitt, vergrößert.
Für die Herstellung der in F i g. I gezeigten dispersionsverfestigten Gleitschicht wurde ein Target aus einer im Strangguß hergestellten Platte von 18 mm Dicke herausgearbeitet und unter nachfolgenden Bedingungen auf Gleitlagerschalen mit dem Aufbau Stahl/CuPb 22 Sn aufgesputiert.
Bei zehnminütigem Ätzen des Substrates und einer Zerstäubungsdauer von 10 Minuten in einer Argon-Atmosphäre wurden etwa 10 um dicke Schichten aus AlSn 20 Cu erhalten, die eine Vickershärte von 130 aufw lesen, wogegen normales, stranggegossenes AISn 20 Cu nur eine Solche von 35 Vickers aufweist. Eine bemerkenswerte Beständigkeit der aufgestäubten Schicht in der Wärme kommt dadurch zum Ausdruck, daß die Härte auch nach einer lOOstündigcn Wärmebehandlung bei 170'C — die bei althergebrachten Gleitschichten zu einem erheblichen Härteabfall führt — noch in der ursprünglichen Höhe von 130 Vickers vorhanden war. Die so hergestellten !.agerschaien zeigten bei Tests auf Lagcrprulmaschinen nach 250 Stunden bei emer Belastung von 70 N/mm-' und einer
gemessenen l.agerrückentemperatiir von 160 C keinen meßbaren Verschleiß. Es hat sich durch anschließende Versuche gezeigt, daß sich auf diese Weise sämtliche herkömmlichen Gleitlagerlegierungen auf für Gleitlager geeignete Substrate als Gleitschichten von 5 bis 50 μιτι Dicke aufsputtern lassen, die die extrem getigerten Eigenschaften in bezug auf Festigkeit. Wain.'härte und Warmverschleißfestigkeil aufweisen.
Die nachstehende Tabelle gibt einige solcher metallischer Legierungskomponenten zusammen mit den für die Dispersionsverfestigung in Betracht kommenden Oxiden und den entsprechenden Volumenverhältniszahlen an.
Metall Oviil Volumen-
\erhallni·.
Natrium Na,O OJl
Kalium K,O 0.5 1
Strontium SrO 0.69
Magnesium MgO (1.84
Aluminium A1,O, 1.46
Blei PM) 1.31
Kadmium CdO 1.32
Zinn SnO- 1.33
Zink ZnO 1.59
Nickel NiO 1.68
Nickel Ni,O. 2.58
Kupfer Cu-O 1.67
Kupfer CuO 1.75
Wie F i g. 1 zeigt, wird beim Drahtexplosions- bzw. beim Kathodenzerstäuben in dem Target in geringer Menge enthaltenes Oxid und am Target oder im Plasmagas enthaltene gasförmige Sauerstoff zur Bildung feinster Teilchen 3 herangezogen. Diese feinsten Teilchen 3 werden dann bei dem Drahtexplosions- bzw. dem Kathodenzerstäuben in das dabei gebildete Metall 2 der Gleit-bzw. Reibschicht I eingebaut.
Bekanntlich können bei Mehrschichtwerkstoffen
werden, wie dies beispielsweise vom System Stahl/ CuPb 22 Sn/PbCu 2 Sn 10 bekannt ist. Zur Vermeidung der Bildung der Sprödphase Cu>,Sni an der Bindungszone CuPb 22 Sn/PbCu 2 Sn IO ist es bekannt, einen Nickeidamm oder eine Nickelsperrschicht aufzubringen.
Auch bei den erfindungsgemäß hergestellten Mehrschichtwerkstoffen mit dispersionsverfestigter Gleit- bzw. Reibschicht kann man eine Diffusionssperrschicht vorsehen. Beispielsweise empfiehlt sich eine solche Diffusionssperrschicht, wenn eine aus AlSn 20 CuI bestehende Schicht auf eine Bronze (z. B. CuPb 22 Sn) aufgesputtert wird. Da sich jedoch Nickel wegen seiner ferromagnetischen Eigenschaften schlecht für Kathodenzerstäubung eignet, kann man statt dessen auch eine Nickel-Chrom-Legierung, insbesondere eine solche mit etwa 20 Gew.% Chrom, als Diffusionssperrschicht aufbringen. Eine solche Nickel-Chrom-Legierung läßt sich sehr gut sputtern und zeichnet sich durch hervorragende Haftfestigkeit auf dem Träger und hohe Wirksamkeit als Diffusionssperrschicht aus. Auch die Bildung einer Diffusionssperrschicht aus Chrom hat sich in dieser Hinsicht bewährt.
Anstelle der genanten Legierung AlSu 20 CuI können auch andere Gleitlagerlegierungen, beispielsweise AlSu 40 Cu eingesetzt werden.
F i g. 2 zeigt ein Mehr-.chichtgleitlager bzw. einen Schichtwerkstoff mit einem Stahlriicken II, einer Zwischenschicht 12 aus einer Notlaufeigenschaften aufweisenden Legierung, beispielsweise CuPb 22 Sn, einer Diffusionssperrschicht 13 aus Nickel-Chrom-l.egierung mit 20 Gew.-°/o Chromeehalt und einer durch Kathodenzerstäubung aufgebrachten dispersionsverfestigten Gleitschicht 14 aus AISn 20 CuI.
Während im zuvor geschilderten Ausführungsbeispiel die Dispersionsverfestigung der aufgestäubten Schicht dadurch bewerkstelligt wurde, daß ein aus Strangguß oder Kokillenguß gefertigtes, geringe Ovidmengen und gasförmigen Sauerstoff enthaltendes Target verwendet wurde, so kann auch eine zweite Möglichkeit herangezogen werden, durch geeignete Wahl der Zusammensetzung der Plasmagase in definierter Weise eine Dispersionsverfestigung zu erzielen. Zum besseren Verständnis sei als Modell die Zerstäubung eines reinen Metalls, nämlich Kupfer, gewählt.
Als Plasmagas soll ein Oj/Ar-Gemisch verwendet werden. Allgemein ist die Bruttozusammensetzung der gesputterten Schichten durch die Raten auf d·" Substratoberfläche auftreffenden Teilchen gegeben. [lariiit rpciiltiprt daß hei hohen Sauerstoffdrücken und kleinen Metallzerstäubungsraten oxidische Phasen entstehen. Im Fall großer Metallzerstäubungsraten und kleiner O2-Drücke sind die Niederschläge metallisch. Dazwischen lassen sich — durch die Wahl der Plasmagaszusamrrensetzung und der eingestellten Metallzerstäubungsraten — reproduzierbar Übergangsphasen oder Gemische aus Metall und Metalloxiden in den aufgesputterten Schichten bilden.
Hierzu 1 Blatt Zcichnunccn

Claims (1)

  1. Patentansprüche:
    1. Schichtwerkstoff oder -werkstück mit auf einer Trägerschicht im Drahtexplosions- oder Kathodenzerstäubungsverfahren (sputtering) aufgebrachter im wesentlichen metallischer Gleit- oder Reibschicht, gekennzeichnet durch die Merkmale:
    a) die Gleit- bzw. Reibschicht (I1 14) besteht aus dispersionsverfestigtem Verbundstoff, dessen wesentlich härtere Teilchen (3) in wesentlich unter 1 Gew.-% liegender Menge in kleinster Verteilung vorliegen,
    b) die härteren Teilchen (3) sind in der elektrischen Gasentladung gebildete und in statu nascendi in das Metall (2) der Gleit- bzw. Reibschicht eingelagerte Kleinstteilchen aus Oxiden von in dem Metall enthaltenen Bestandteilen und
    c) die härteren Teilchen (3) sind aus Oxiden solcher Metalle gebildet, für die gilt, daß das Metalloxid größeres Volumen als das Metall selbst hat.
    2. Schichtwerkstoff oder Schichtwerkslück nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleitbzw. Reibschicht (1, 14) eine Dicke zwischen 0,005 mm und 0,050 mm, vorzugsweise 0,010 mm bis 0,030 mm aufweist.
    3. Schichtwerkstoff oder Schichtwcrkstöck nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei Benutzung rir.er Legierung als metallisches Material die härteren Teilchen aus Oxiden mehrerer der Legierungsmetalle bestehen.
    4. Schichtwerkstoff oder Schiehlwerkslück nach einem der Ansprüche I bis 3, Cidurch gekennzeichnet, daß das metallische Material eine Gleitlagcrlcgientng mit einem oder mehreren der Metalle ;uis der Gruppe von Aluminium. Blei, Kadmium, /inn. Zink, Nickel, Kupfer ist.
    5. Schichtwerkstoff oder Schichtwcrkstück nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das metallische Material im wesentlichen aus einer Legierung der Art AISn 20 oder AISn 40. beispielsweise AISn 20 Cu bzw. AISn 40 Cu besteht und die härteren Teilchen aus AIjO ι bestehen.
    6. Verfahren zum Herstellen eines Schichtwcrksioffs oder eines Schichtwerkstückcs nach einem der Ansprüche I bis 5. dadurch gekennzeichnet, daß der für die Bildung der härteren Oxidicilchcn erforderliche Sauerstoff in Gasform durch Absorption in den bei der Drahtexplosions- oder der Kathodenzerstäubung benutzten Target bzw. bei Benutzung mehrerer Targets in mindestens einem dieser Targels eingelagert wird.
    7. Verfahren zum Herstellen eines .Schichtwerkstoffs oder Schichtwerkstücks nach einem der Ansprüche I bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der für die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderliche Sauerstoff in Gasform während der Drahtexplosions- bzw. der Kathodenzerstäubung dem dabei benutzten Plasmagas zugegeben wird.
    8. Verfahren nach Anspruch b. dadurch gekennzeichnet, daU das bzw. die Ta rget(s) durch Strangguß oder Kokillenguß aus (ileitlagerlegicrung gebildet wird bzw. werden.
    9. Verfahren nach Anspruch h. dadurch gekennzeichnet, daß man das bzw. die Target(s) einer kombinierten Vakuum-Wärmebehandlung zur I in
    stellung eines für die Bildung der härteren Oxidteilchen erforderlichen Gehaltes an gasförmigem Sauerstoff unterwirft.
    '.Ο, Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das bzw. die Target(s) aus Gleitlagerlegierung in Strangguß oder Kokillenguß in Vakuum oder unter Inertgasatmosphäre praktisch frei von Sauerstoff bildet.
    11. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das Target bzw. die Targets vor Beginn der Drahtexplosionszerstäubung bzw. der Kathodenzerstäubung durch Entgasen, ggf. unier Wärmeeinwirkung praktisch frei von Sauerstoff macht.
    12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis II. dadurch gekennzeichnet, daß Argon als Plasmagas benutzt wird.
    13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer oxidfreien Sperrschicht zwischen der Trägerschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht, diese Sperrschicht im Drahtexplosions- oder Kathodenzerstäubungsverfahren aufgebracht wird.
    14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Material der Sperrschicht eine Nickel-Chromlegierung, insbesondere mit einem Chromg-^-halt von etwa 20% (Gew.), oder reines Chrom verwendet wird.
    15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Sperrschicht und der Gleit- bzw. Reibschichi in demselben Plasmagas unmittelbar aufeinander folgend nur unter Benutzung verschiedener Targets erfolgt.
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