DE2635660A1 - Isolierventil fuer maschinen zum schweissen mittels elektronenbeschuss - Google Patents
Isolierventil fuer maschinen zum schweissen mittels elektronenbeschussInfo
- Publication number
- DE2635660A1 DE2635660A1 DE19762635660 DE2635660A DE2635660A1 DE 2635660 A1 DE2635660 A1 DE 2635660A1 DE 19762635660 DE19762635660 DE 19762635660 DE 2635660 A DE2635660 A DE 2635660A DE 2635660 A1 DE2635660 A1 DE 2635660A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- bore
- valve according
- cannon
- welding
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Vakuum-Iso lierventil für eine
Maschine zum Schweißen mittels Elektronenbeschuß und bezieht sich auch auf Maschinen, die mit einem solchen Ventil versehen sind, wobei diese Maschine einen die zu schweißenden
Werkstücke aufnehmenden Schweißbehälter, eine ein Elektronenbündel emittierende und auf die Werkstücke fokussierende Kanone und Vakuummittel für die Anordnung von Behälter und Kanone aufweist und das Ventil zur Einnahme einer offenen
Schweißstellung vorgesehen ist, in der es die Verbindung
zwischen dem Behälter und der Kanone gewährleistetund den
Durchgang der Elektronen gestattet, und eine geschlossene
Ruhestellung aufweist, in welcher es die genannte Verbindung
Maschine zum Schweißen mittels Elektronenbeschuß und bezieht sich auch auf Maschinen, die mit einem solchen Ventil versehen sind, wobei diese Maschine einen die zu schweißenden
Werkstücke aufnehmenden Schweißbehälter, eine ein Elektronenbündel emittierende und auf die Werkstücke fokussierende Kanone und Vakuummittel für die Anordnung von Behälter und Kanone aufweist und das Ventil zur Einnahme einer offenen
Schweißstellung vorgesehen ist, in der es die Verbindung
zwischen dem Behälter und der Kanone gewährleistetund den
Durchgang der Elektronen gestattet, und eine geschlossene
Ruhestellung aufweist, in welcher es die genannte Verbindung
709810/0739
und möglicherweise Einführung, die Herausnahme oder die Regelung der zu schweißenden Werkstücke gestattet.
Bei diesen bekannten Maschinen bilden der Schweißbehälter und das innere Volumen der Kanone, welche die Kathode, den
Vehnelt-Zylinder und die Ano^de enthält, im allgemeinen
zwei unterschiedliche Räume, zwischen denen eine Quertrennwand vorgesehen ist, die im mittleren Teil mit einer Öffnung
ausgestattet ist für den Durchgang der von der Kathode emittierten Elektronen. Diese zwei Räume müssen während des
Elektronendurchgangs, d.h. während des Schweißens, unter einem Vakuum von der Größenordnung von 10 mm Quecksilber-
_2
säule für die Kanone und 10 mm Quecksilbersäule für den Behälter stehen, wobei ein höherer Druck eine schnelle Verteilung der Elektronen bedingt. Das Vakuum wird durch geeignete Pumpen erzeugt und aufrechterhalten, z.B. durch zwei unterschiedliche Pumpen, von denen die eine für den Schweißbehälter und die andere für die Kanone verwendet werden. Um eine Öffnung des Behälters zu ermöglichen und ihn somit jedesmal auf Atmosphärendruck zu bringen, wenn es notwendig ist, sich zum Behälter Zugang zu schaffen, um die Werkstücke einzuführen oder herauszunehmen, ohne die Vakuumbedingungen auch dem Inneren der Kanone zuzuordnen, ist die vorgenannte Öffnung mit einem vakuumdichten Ventil versehen, welches das Verschließen und damit das Isolieren der Kanone vom Behälter gestattet.
säule für die Kanone und 10 mm Quecksilbersäule für den Behälter stehen, wobei ein höherer Druck eine schnelle Verteilung der Elektronen bedingt. Das Vakuum wird durch geeignete Pumpen erzeugt und aufrechterhalten, z.B. durch zwei unterschiedliche Pumpen, von denen die eine für den Schweißbehälter und die andere für die Kanone verwendet werden. Um eine Öffnung des Behälters zu ermöglichen und ihn somit jedesmal auf Atmosphärendruck zu bringen, wenn es notwendig ist, sich zum Behälter Zugang zu schaffen, um die Werkstücke einzuführen oder herauszunehmen, ohne die Vakuumbedingungen auch dem Inneren der Kanone zuzuordnen, ist die vorgenannte Öffnung mit einem vakuumdichten Ventil versehen, welches das Verschließen und damit das Isolieren der Kanone vom Behälter gestattet.
70981Q/073i
Diese Schweißmaschinen können ebenso mit einer optischen
Kontrollvorrichtung für die zu schweißenden Werkstücke versehen sein, die aus einer Lichtquelle einer Visiervorrichtung,
z.B. einem Zielfernrohr, und einem Spiegelsystem oder dergleichen gebildet ist, welche das Licht
der Quelle auf die zu schweißenden Werkstücke gemäß der Achse des Elektronenbündels und das durch diese Werkstücke
reflektierte Licht auf die Visiervorrichtung zurückwirft, welche die Einstellung dieses Elektronenbündels auf die
Verbindungslinie der Werkstücke vor der Schweißtätigkeit und die visuelle Steuerung des Schweißzustandes gestattet.
Einige verwendete Ventile weisen eine Drehbüchse auf, die mit einer Bohrung versehen ist und auf welcher im Falle
der mit einer optischen Steuervorrichtung versehenen Maschinen die vorgenannten Spiegel montiert sind. Gemäß der Winkelstellung
der Büchse befindet sich das Ventil entweder in der offenen oder Schweißstellung, der genannte Kanal befindet
sich also in Flucht mit der Öffnung und läßt die Elektronen durch, wobei die zwei Räume in Verbindung gebracht
werden, oder es befindet sich in der geschlossenen' Stellung, wobei die Öffnung also verschlossen ist (das
Elektronenbündel ist zuvor unterbrochen gewesen,) während sich
das Spiegelsystem auf dem optischen Weg des optischen Steuersystems befindet, wobei das Anvisieren der Werkstücke somit
ermöglicht ist. Die Büchse muß eine bestimmte Winkelstel-
703810/0739
lung einnehmen, um eine genaue Dichtigkeit und ein präzises
Zielen sicherzustellen. Jede Verschiebung im Verhältnis zu dieser Position, z.B. infolge Reibung, bringt das Risiko
eines Dichtigkeitsfehlers und einer ungenau!gkeit beim Zielen
mit sich.
Man kennt auch Ventile, die "Zugventile (ä tirette)" genannt
werden und im wesentlichen aus einem Kern, Schubkasten oder Schieber bestehen, dessen translatdrische Mitnahme dreh ein
Gestangesystem sichergestellt wird. Diese Ventile bieten erhebliche
Nachteile: Der Gestängemechanismus hat einen komplizierten und kostspieligen Aufbau, seine Funktion ist anfällig
und seine Handhabung ist wenig bequem. Dieser Aufbau unterliegt andererseits dem Festfressen und dem Spiel.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Ventiles, welches
zugleich eine einfache Konstruktion hat, wirtschaftlich
ist und sicher funktioniert. Das Ventil gemäß der Erfindung weist folgende Teile auf: Eiasi Ventilkörper, der mit einer
Kammer, die über gegenüberliegende, zum Elektronenbündel koaxiale Öffnungen in Verbindung steht, ausgestattet ist, wobei
das Gehäuse eine Kanone und den genannten Behälter aufweist, ein Führungsorgan in dieser Kammer senkrecht zu dem
Elektronenbündel enthält, welches mit einer Berührungsoberfläche unter dichtender Abstützung gegen eine der vorgenannten
Öffnungen und mit einem geraden, senkrecht zu seiner
709810/0739
Durchlaßrichtung vorgesehenen Kanal ausgestattet ist, der auf dieser Berührungsoberfläche mündet und für die offene
Stellung in Ficht mit den Öffnungen und den Fließmitteln für die Verschiebemitnahme des Führungsorgans in Flucht
kommt.
Die Erfindung ersetzt ein Ventil, welches mit einer Drehbüchse oder einem Schub versehen ist, der einem Gestängeantrieb
zugeordnet ist, und welches einen komplizierten und anfälligen mechanischen Aufbau hat, wobei ein Ventil
ein pneumatisch oder hydraulich betätigtes Führungselement
aufweist, d.h. die Erfindung schafft einen einfachen Mechanismus, der nur ein bewegliches Organ aufweist, also mit
einer leichten und praktischen Handhabung und die frei von dem Risiko des Festfressens ist. Außerdem sind durch die
Verwendung eines Fließmittelantriebes die Risiken des Spiels ausgeschaltet.
Gemäß einem anderen Merkmal der Erfindung ist der Körper des vorgenannten Ventils aus einem Metallblock gebildet, der mindestens
mit zwei senkrechten Bohrungen mit einander schneidenden Achsen versehen ist, wobei die erste Bohrung senkrecht
zum Elektronenbündel verläuft und die vorgemnnte Kammer bildet und die zweite koaxial zu dem Bündel verläuft und die vorgenannten
Öffnungen bildet.
703810/0739
Ein solcher Ventilkörper bietet den Vorteil, daß er robust
ist und eine einfache und wirtschaftliche Konstruktion hat.
Gemäß einem anderen Merkmal der Erfindung weist das vorgenannte Führungsorgan die Form eines Doppelkolbens auf, der
zwei Köpfe aufweist, die beiderseits von der zweiten Bohrung angeordnet sind und zwischen sich durch einen Zwischenschaft
verbunden sind, der mindestens mit einer glatten bzw. ebenen Abflachung versehen ist, die senkrecht zu der Achse der
zweiten Bohrung liegt und die vorgenannte Berührungsoberfläche bildet.
Diese Abflachung stellt außer der Dichtigkeit die Führung des Doppelkolbens sicher und verhindert die Drehung auf sich
selbst.
Gemäß der Erfindung hat jeder genannte Kopf des Kolbens ein Längsteil, welches in der Nahbarschaft seines freien Endes
in direkter Berührung mit der Kammerwand angeordnet ist, wobei sein anderes Teil in der Nachbarschaft des Schaftes angeordnet
ist, einen geringeren Durchmesser hat und mit Dichtringen versehen ist, die nur mit demand der genannten Kammer
in Berührung sind.
Diese Trennung mit Oberflächen mit mechanischer Berührung und Dichtoberflächen bewirkt, daß der Verschleiß bei mechanischer
Reibung keine Verringerung der Dichtigkeit bedingt und folg-
709810/0739
haltung des Vakuums lieh nicht die Aufrechter- /des Ventils beeinträchtigt,
selbst nicht nach längerer Betriebszeit.
Im Falle von Schweißmaschinen, die mit einer visuellen
Steuervorrichtung für zu schweißende Werkstücke ausgerüstet sind, weist der genannte Körper eine dritte Bohrung
mit senkrechter Achse auf, die mit jenen ersten Bohrungen zusammenwirkt, und das genannte Führungsorgan ist mit
Spiegeln versehen, deren reflektierende Oberflächen parallel in ihrer Durchlaßrichtung angeordnet sind und vorgesehen
sind, um die durch die metallischen Werkstücke reflektierten Lichtstrahlen auf diese dritte Bohrung und
auf die Steuervorrichtung zu reflektieren.
Man erkennt also, daß das Ventil gemäß der Erfindung die Nachteile der bekannten Ventile ausschaltet.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung
im Zusammenhang mit den Zeichnungen. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch ein Ventil gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung, wobei dieser Schnitt durch die Achse des beweglichen Organes, d.h. des
Kolbens, geht;
703810/0739
Fig. 2 einen Schnitt gemäß der Linie H-II der Fig. 1 und Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie IH-III der Fig. 1 ,
und zwar durch dieses bewegliche Organ.
Gemäß der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsform der Erfindung ist das allgemein mit 1 bezeichnete Ventil
zwischen das Gehäuse 2, welches das Herz der Kanone, d.h. die Kathode, den ¥ehnelt-Zylinder und die Anode enthält, und
den Schweißbehälter 3 einer Vorrichtung zum Schweißen mittels Elektronenbeschluß zwischengeschaltet. Der Behälter nimmt
die zu schweißenden Werkstücke auf, die durch eine dichte (nicht dargestellte) Öffnung eingeführt oder herausgenommen
werden können. In dem Behälter 3 ist ebenfalls der untere
Teil der Kanone angeordnet, der mit der (nicht dargestellten) Fokussierlinse versehen ist. Das Ventil 1 weist einen Ventilkörper
10 auf, der durch einen Metallblock geformt ist, welcher mittels Dichtringen 2a und 10a auf das Gehäuse 2 und den Behälter
3 aufgebracht ist. Der Körper 10 ist mit drei Bohrungen 11, 12 und 13 versehen, deren Achsen X X1, Y Y1 bzw. Z Z1
senkrecht verlaufen und in ein- und demselben Punkt 0 zusammenlaufen. Diese drei Bohrungen sind derart vorgesehen, daß die
Achse X X' der Bohrung 11 senkrecht zur Achse des Elektronenbündels
liegt, welches durch den Pfeil E verkörpert ist, und daß die Achse Y Y' der Bohrung 12 mit dem Pfeil E zusammenfällt;
die Bohrung 11, die innen mit einer teilweise gezogenen Hülse oder Verkleidung 14 versehen ist, bildet eine zylind-
709810/0739
rische Kammer 15» wie die Bohrung 12 beiderseits der Kammer
zwei Öffnungen 12a und 12b bildet, welche in dsm Innenraum
der Kanone bzw. im Schweißbehälter münden·
Im Inneren der Kammer 15 ist ein Führungsorgan oder Schieber
17 angebracht, welcher die Form eines Doppelkolbens bietet, der mit zwei gleichen Köpfen 18a und 18b gebildet ist, die
beiderseits der Bohrung angeordnet und durch einen Mittelschaft 19 verbunden sind. Die Köpfe 18 a und 18b weisen in
der Nachbarschaft ihres freien Endes ein Teil 20a, 20b in direkter Berührung mit der Innenwand der Hülse 14 auf, wobei
das Teil 20a, 20b die Führung und die Zentrierung des beweglichen Organs sicherstellt, und weist in der Nachbarschaft
des Schaftes 19 ein Teil 21a, 21b geringeren Durchmessers auf, also ohne mechanische Berührung mit der Hülse 14, aber in
direkter Berührung mit dieser mit einer Dichtgarnitur 22a, 22brVersehen ist. Der Schaft 19 weist zwei Abflachungen 24a,
24b auf, die zueinander und zu der Achse X, X1 parallel sind,
d.h. zur Führungsrichtung des Organs 17» und wird durch einen
geradlinigen Kanal 25 durchdrungen, der rechtwinklig zur Achse X, X1 ist und auf den Abflachungen 24a und 24b mündet.
Der Schaft 19 trägt auch einen ersten ebenen Spiegel 26, der zum Kanal 25 längs der Achse X, X1 versetzt ist, und einen
zweiten ebenen Spiegel 27, der im wesentlichen längs der Achse X, X1 mit dem Kanal 25 zusammenfällt» Die Spiegel 0.6
und 27 sind so ausgerichtet, daß sie entsprechend dsrAchse Z, Z1 die durch de zu schweißenden Werkstücke P, die am Boden
- 10 -
709810/0739
des Behälters 3 angeordnet sind, reflektierten Lichtstrahlen
reflektieren, und zwar genau mittels des Teils S der Werkstücke, welches sich im Auftreffbereich des Elektronenbündels
befindet, d.h. in dem Bereich, wo das Schweißen stattfindet. Die Spiegel sind aus blank poliertem Metall.
Die Kammer 15 ist an ihren beiden Außenseiten mit Verschlußstopfen
oder -deckein 30a und 30b versehen, in denen Justiermittel
31a und 31b angeordnet sind, die mit einem (nicht dargestellten)
Druckfließmittelverteilungssystem, z.B. Druckluft, für den Schiebeantrieb des Führungsorgans 17 verbunden sind.
Die Stopfen 30a und 30b sind ebenfalls mit mechanischen Anschlägen
bzw. Widerlagern 32a und 32b versehen, die zur Begrenztang
der Bewegung des Führungsorgans 17 vorgesehen sind, und in denen elektrische Detektoren der Endstellung 33aι 33b
angeordnet sind, die mit einem (nicht dargestellten) Sicherheitssystem verbunden ist, welches den Schweißbehälter 3 mit
Atmosphärendruck belegen kann, während das Ventil geschlossen ist, und Elektronen emittieren kann, während das Ventil offen
ist, sowie jede andere Zusatzfunktion, wie z.B. das Bewegen von Arbeitsgeräten.
Ein Sitz 35 allgemein zylindrischer Form, der mit einer Axialbohrung
36 versehen ist, ist dichtend mittels einer Dichtgarnitur
37 im Teil 12a der Bohrung 12 angeordnet. Das äußere Ende
35a des Sitzes 35 befindet sich unter dichtender Abstützung mittels eines konzentrisch zur Bohrung 36 vorgesehenen Dicht-
- 11 -
709810/0739
ringes 38 gegen die Abflachung 24a des Schaftes 19 des
Führungsventils und wird durch eine Feder 4O unter Abstützung
auf eine Unterlagscheibe 41 gegen diese Abflachung aufgebracht, wobei die Unterlagscheibe mit einer
Öffnung 42 koaxial zur Bohrung 3°" versehen ist und an der
Außenseite der Öffnung 12a befestigt ist, z.B. festgeschraubt.
Die Bohrung 13 ist durch ein transparentes Fenster 13 geschlossen,
welches dichtend mittels einer Garnitur 44 gegen den Ventilkörper 10 aufgebracht ist. Eins (nicht dargestellte)
Beobachtungsvorrichtung, z.B. eine Beobachtungslinse, kann außerhalb des Ventilkörpers und koaxial zur Achse Z, Z' angebracht
sein.
Der Verlauf des Führungsorganes 17 wird durch die mechanischen
Anschläge 32a und 32b derart bestimmt, daß letzterer zwei Stellungen einnehmen kann: Eine Schließstellung (in den Fig.
1 und 2 dargestellt), in der das Führungsorgan gegen den Anschlag 32 abgestützt ist, wobei die Dichtigkeit zwischen dem
Schweißbehälter und der Kanone durch die Dichtungen 37 und. 38 sichergestellt ist, und eine Öffnungsstellung, in welcher
das Führungsorgan auf dem Anschlag 32a abgestützt ist, wobei
der gerade Kanal 25 koaxial zu der Achse Y, Y1 ist, d.h. in
Flucht mit der Bohrung 36 und der Öffnung 12. Die Schließstellung
isoliert bzw. trennt oder schließt die Kanone vom .Schweißbehälter und gestattet folglich, letzteren unter Atmos-
- 12 -
709810/0739
phärendruck zu bringen, obgleich die Kanone unter Vakuum gehalten wird. In dieser Schließstellung reflektiert der
Spiegel 26, der auf die Achse Y, Y1 zentriert ist und dessen
reflektierende Oberfläche einen ¥inkel von 25 zur Vertikalen
einschließt, folglich die Lichtstrahlen zur Beobachtungslinse,
die sich auf der Achse Z, Z1 in der Verlängerung der Bohrung 13 befindet, wobei die Lichtstrahlen von einer
(nicht dargestellten) in dem Behälter angeordneten Lichtquelle ausgesendet und in Richtung dieser Achse Y, Y1 durch
den Bereich S der zu schweißenden Werkstücke P reflektiert werden, wo der Aufprall der Elektronen stattfindet. Der Bedienungsmann
kann somit visuell während der außerbetrieblichen Zeiten des Schweißzustand steuern oder die Bündelachse der
Elektronen auf die Stoßebene der zu verschweißenden Werkstücke einstellen. In der offenen Stellung reflektiert der
Spiegel 27» der bezüglich der Achse Y Y1 im Verhältnis zu
der Stellung hinsichtlich des Kanals 25 leicht versetzt ist
und dessen reflektierende Oberfläche eine zweckmäßige Neigung zur Vertikalen (in der Größenordnung von k'J ) bildet, die
durch die Schweißzone reflektierten Lichtstrahlen zu der Beobachtungslinse und gestattet eine Beobachtung der Werkstücke
im Verlaufe des Schweißens durch den Bedienungsmann.
Es wird bemerkt, daß der Sitz 35 außer der Dichtigkeit die gerade Führung des Führungsorgans sicherstellt und somit seine
Drehung auf sich selbst und folglich jede Veränderung der Neigung der Spiegel zur Vertikalen verhindert, also die ganze
- 13 -
709810/0739
Reglerverstellung der Beobachtungsvorrichtung vermeidet.
Ebenso wird bemerkt, daß die Bewegung des Führungsorgans 17 dank der Anschläge 32a, 32b derart reguliert wird, daß
sich der Teil der Innenwand der Hülse 14, der sich in
direkter mechanischer Berührung mit den Außenenden 20a der Kolbenköpfe befindet, und der Teil der Innenwand
dieser Hülse, der sich in Berührung mit den Dichtgarnituren, wie z.B. 22a, befindet, sich nicht überschneiden
bzw. übergreifen. Diese Trennung zwischen den Führungsund Dichtfunktionen hat den Vorteil, daß die Abnutzung infolge
mechanischer Reibung keinen Einfluß auf den Vakuumbehalt des Ventils hat, welches also sehr lange Betriebsdauern aushalten kann.
Ohne den Erfindungsgedanken zu verlassen, können zahlreiche andere Ausführungsformen vorgesehen seil, z.B. ist vorgesehen,
daß der Antrieb des Führungsorgans oder des Schiebers
17 durch eine Flüssigkeit statt Druckluft sichergestellt
sein kann.
709810/0739
Claims (12)
1.1 Vakuumisolier- bzw. -Trennventil für eine Vorrichtung
zum Schweißen mittels Elektronenbeschuß, mit einem Schweißbehälter, der zu schweißende ¥erkstücke aufnimmt,
einer Kanone, die ein Elektronenbündel emittiert und auf diese ¥erkstücke fokussiert, und einer
Vakuumeinrichtung für die Anordnung Behälter-Kanone, wobei das Ventil derart vorgesehen ist, daß es eine
offene Schweißstellung einnimmt, in welcher es die Verbindung zwischen dem Behälter und der Kanone gewährleistet
und den Durchgang von Elektronen ermöglicht, und eine geschlossene Stellung einnimmt, in welcher es
die Verbindung unterbricht und die Steuerung und möglicherweise das Einführen, die Herausnahme oder die
Regulierung der Werkstücke ermöglicht, dadurch gekennzeichnet, daß ein VeitLlkörper (1O) mit einer Kammer
(15) ausgestattet ist, welche über zu dem Elektronenbündel koaxiale, gegenuberlxegende Öffnungen (36, 12b)
das Gehäuse (2) mit der Kanone und den Behälter (3) verbindet, daß ein Pührungsorgan (17) in dieser Kammer quer
zum Elektronenbündel angeordnet und mit einer Berührungsoberfläche (24a) unter dichtender Abstützung gegen eine
(36) der genannten Öffnungen und mit einem geraden.Kanal
(25) quer zu seiner Durchlaßrichtung ausgestattet ist,
- 15 -
709810/0739
IS
welcher auf die Berührungsoberfläche (24a) mündet und mit
den Öffnungen (36, 12b) in der offenen Stellung und für den Schiebeantrieb des Führungsorgans (17) mit Fließmittel
einrichtungen (31a, 3^b) in Ficht bringbar ist.
2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Ventilkörper (ίο) einen Metallblock aufweist, der mit mindestens
zwei Querbohrungen (11, 12) mit sich schneidenden Achsen versehen ist, wobei die erste Bohrung (11) senkrecht
zum Elektronenbündel verläuft und die vorgenannte Kammer bildet
und die zweite (12) koaxial zu dem Elektronenbündel ist
und die zwei vorgenannten Öffnungen bildet.
3· Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Führungsorgan (17) die Form eines Doppelkolbens hat mit zwei Köpfen (i8a, 18b), die beiderseits der zweiten Bohrung (12)
angeordnet sind und miteinander über einen Zwischenschaft (19) verbunden sind, der mit mindestens einer Abflachung
(24a) versehen ist, die quer zur Achse der zweiten Bohrung (12) angeordnet ist und die genannte Berührungsoberfläche
bildet.
4. Ventil nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Länge (20a, 20b) jedes Kopfes (i8a, 18b) in der Nachbarschaft
seines freien äußeren Endes in direkter Berührung mit der Wand (i4) der Kammer (15) angeordnet ist, sein anderer
- 16 -
709810/0739
Teil (21a, 21b) in der Nachbarschaft des Schaftes (19) angeordnet
ist und einen kleineren Durchmesser hat und daß er mit Dichtringen (22a, 22b) versehen ist, die nur in Berührung
mit der Wand (i4) der Kammer (15) sind.
5· Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Bewegung des Führungsorgans (17) derart vorgesehen ist, daß
dasjenige Teil der ¥and (i4) der Kammer (15)» welches in
direkter mechanischer Berührung mit einem der Köpfe (i8a, 18b) ist, von demjenigen, der in Berührung mit den alleinigen
Dichtringen (22a, 22b) steht, getrennt ist .
6. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sitz (35) dicht in dem Teil (i2a) der zweiten Bohrung (12)
angeordnet ist, die mit der Kanone in Verbindung steht, und daß der Sitz (35) mit einer Bohrung (36) versehen ist, die
koaxial zu der zweiten Bohrung (i2a) ists und dessen äußeres
Ende mit einem Dichtring (38) aisgestattet ist, der konzentrisch zu der Bohrung (36) ist und sich in dichtender Berührung
mit der Abflachung (24a) befindet.
7. Ventil nach Anspruch 65 dadurch gekennzeichnet, daß der
gerade Kanal (25) quer über den Zwischenschaft (19) in der
Nachbarschaft seines einen äußeren Endes quer zu der Abflachung (24a) derart verläuft, daß er sich in Schweißstellung
in Fluch^mit der Bohrung (36) des Sitzes (35) befindet.
709810/0739
8. Ventil nach Anspruch 3» insbesondere für die Verwendung einer Vorrichtung zum Schweißjen mittels Elektronenbeschuß,
die mit einer visuellen Steuervorrichtung für die zu schweißenden Werkstücke ausgestattet ist, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ventilkörper (1O) eine
dritte Bohrung (13) mit einer Querachse und mit den
zwei ersten Bohrungen (11, 12) zusammenwirkend aufweist und daß das Führungsorgan (17) mit Spiegeln (26,
27) ausgestattet ist, die parallel zur Verschieberichtung angeordnet und so vorgesehen sind, daß sie die
durch die metallischen Werkstücke reflektierten Lichtstrahlen durch die dritte Bohrung (i3) und durch die
visuelle Steuervorrichtung reflektieren, die koaxial zu der Bohrung (13) angebracht ist.
9. Ventil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsorgan (17) einen ersten Spiegel (26) aufweist,
der auf dem Zwischenschaft (19) in der Nachbarschaft
des äußeren, dem Kanal (25) gegenüberliegenden Endes derart angebracht ist, daß die Beobachtung der Werkstücke
in der Achse des Elektronenbündels ermöglicht ist, während sich das Ventil in der geschlossenen Stellung
befindet.
10. Ventil nach Anspruch 9t dadurch gekennzeichnet, daß das
Führungsorgan (17) einen zweiten Spiegel (27) aufweist,
'/09310/0739
263566Ü
der auf dein Zwischenschaft (i9) in unmittelbarer Nachbarschaft
des Kanals (25) derart angebracht ist, daß eiraBeobachtung
der Werkstücke im Verlaufe der Schweißung ermöglicht ist.
11. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Fließmitteleinrichfcungen für den Schiebeantrieb des
Führungsorgans (17) einen Druckluftschaltkreis aufweisen,
der mit den zwei äußeren Enden der Kammer (15) verbunden ist.
12. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilkörper (1O) mit der Kanone formschlüssig verbunden
und dichtend zwischen dem Kern der Kanone und der Fokuslinse eingesetzt - ist.
709810/0739
Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7526205A FR2321976A1 (fr) | 1975-08-26 | 1975-08-26 | Vanne d'isolement pour machine de soudage par bombardement electronique et machines munies d'une telle vanne |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2635660A1 true DE2635660A1 (de) | 1977-03-10 |
DE2635660C2 DE2635660C2 (de) | 1983-09-01 |
Family
ID=9159335
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2635660A Expired DE2635660C2 (de) | 1975-08-26 | 1976-08-07 | Absperrvorrichtung für Maschinen zum Schweißen mittels Elektronenbeschuß |
DE7624897U Expired DE7624897U1 (de) | 1975-08-26 | 1976-08-07 | Isolierventil für Maschinen zum Schweiften mittels Elektronenbeschuß |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE7624897U Expired DE7624897U1 (de) | 1975-08-26 | 1976-08-07 | Isolierventil für Maschinen zum Schweiften mittels Elektronenbeschuß |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4068112A (de) |
JP (1) | JPS5227037A (de) |
DE (2) | DE2635660C2 (de) |
FR (1) | FR2321976A1 (de) |
GB (1) | GB1505604A (de) |
IT (1) | IT1066993B (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH077793B2 (ja) * | 1984-04-20 | 1995-01-30 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH0621164Y2 (ja) * | 1988-11-29 | 1994-06-01 | 神鋼電機株式会社 | 電子ビーム銃の制御装置 |
JP2002257998A (ja) | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Sony Corp | 電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射装置における真空シール方法 |
DK1996841T3 (da) * | 2006-03-07 | 2013-09-30 | Symutech Pty Ltd | Ventil |
US11261982B2 (en) * | 2019-06-27 | 2022-03-01 | Proserv Gilmore Valve Llc | Pressure relief valve with bi-directional seat |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE874819C (de) * | 1934-12-14 | 1953-04-27 | Ernst Ruska Dr Ing | Vorrichtung zum Einbringen von einzuschleusenden Gegenstaenden in das Vakuum von Korpuskularstrahlapparaten |
US3887784A (en) * | 1971-12-27 | 1975-06-03 | Commissariat Energie Atomique | Welding guns |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE516357A (de) * | 1951-12-20 | |||
BE634510A (de) * | 1962-07-05 | |||
US3169183A (en) * | 1962-10-17 | 1965-02-09 | United Aircraft Corp | Optical viewing system for electron beam machine |
US3426799A (en) * | 1964-10-07 | 1969-02-11 | Kinwell Dev Co | Automatic valve |
FR1506308A (fr) * | 1966-04-15 | 1967-12-22 | Commissariat Energie Atomique | Procédé et dispositif de soudage par bombardement électronique |
US3529123A (en) * | 1968-07-24 | 1970-09-15 | Smith Corp A O | Electron beam heating with controlled beam |
US3635436A (en) * | 1970-04-27 | 1972-01-18 | Marotta Scientific Controls | Straight-through flow valve with restricting seals |
US3773082A (en) * | 1971-01-05 | 1973-11-20 | Bio Logics Products | Fluid valve |
US3890991A (en) * | 1972-04-17 | 1975-06-24 | M & J Valve Co | Valve apparatus and method |
US3985154A (en) * | 1975-10-24 | 1976-10-12 | Emerson Electric Co. | Four-way valve |
SE419378B (sv) * | 1977-09-02 | 1981-07-27 | Inst Fiziki Vysokikh Davleny | Forfarande for kontroll av de mekaniska egenskaperna hos alster av ytterst harda material |
-
1975
- 1975-08-26 FR FR7526205A patent/FR2321976A1/fr active Granted
-
1976
- 1976-08-07 DE DE2635660A patent/DE2635660C2/de not_active Expired
- 1976-08-07 DE DE7624897U patent/DE7624897U1/de not_active Expired
- 1976-08-09 US US05/712,895 patent/US4068112A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-08-11 GB GB33431/76A patent/GB1505604A/en not_active Expired
- 1976-08-25 IT IT26540/76A patent/IT1066993B/it active
- 1976-08-26 JP JP51101190A patent/JPS5227037A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE874819C (de) * | 1934-12-14 | 1953-04-27 | Ernst Ruska Dr Ing | Vorrichtung zum Einbringen von einzuschleusenden Gegenstaenden in das Vakuum von Korpuskularstrahlapparaten |
US3887784A (en) * | 1971-12-27 | 1975-06-03 | Commissariat Energie Atomique | Welding guns |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5227037A (en) | 1977-03-01 |
FR2321976B1 (de) | 1978-12-01 |
GB1505604A (en) | 1978-03-30 |
DE7624897U1 (de) | 1976-12-30 |
FR2321976A1 (fr) | 1977-03-25 |
DE2635660C2 (de) | 1983-09-01 |
US4068112A (en) | 1978-01-10 |
IT1066993B (it) | 1985-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3701027C2 (de) | ||
DE69106676T2 (de) | Dichtes Handventil. | |
DE4108158C2 (de) | Linear-Antriebsvorrichtung | |
DE3637823C2 (de) | Hilfskraftbetätigtes Spannfutter | |
DE2654904A1 (de) | Ladearm | |
DE659092C (de) | Einschleusvorrichtung fuer an der Pumpe betriebene Korpuskularstrahlapparate | |
DE4242601A1 (de) | Kolben-Zylinder-Anordnung | |
DE2135081B2 (de) | Bedienungseinrichtung | |
DE2635660A1 (de) | Isolierventil fuer maschinen zum schweissen mittels elektronenbeschuss | |
DE1924719U (de) | Hydraulische stelleinrichtung. | |
DE29611935U1 (de) | Taumelscheiben-Pumpenkonstruktion, insbesondere für Wasserstrahlreinigungsgeräte | |
DE19616973A1 (de) | Mehrwege-Schieberventil | |
EP0669469A1 (de) | Fluidisch betätigbarer Drehantrieb | |
DE3016701A1 (de) | Vorrichtung zur ofenklappensteuerung | |
DE2825790C2 (de) | Stellmotor mit Nachlaufsteuerung | |
DE2725538B2 (de) | Zahnstangenlenkung für Kraftfahrzeuge | |
DE3506596A1 (de) | Steuerventil zum steuern der druckbeaufschlagung eines hydraulikstellgliedes | |
EP0044031A1 (de) | Vorrichtung zum Öffnen oder Schliessen einer Tür, insbesondere einer Feuertür | |
DE929744C (de) | Einschleusvorrichtung fuer Korpuskularstrahlapparate | |
DE19912488B4 (de) | Regelmagnet | |
DE955537C (de) | Halter fuer Objekttraeger, der in das Innere eines Vakuumraumes eines Korpuskularstrahlapparates, insbesondere eines Elektronenmikroskops, eingebaut ist | |
DE761374C (de) | Einrichtung zur Gaszufuhr an Objekte im Elektronenmikroskop mit einer Objektreaktionskammer | |
DE3132430C2 (de) | Arbeitszylinder für pneumatische oder hydraulische Arbeitsmedien | |
DE284195C (de) | ||
DE898213C (de) | Vakuumhahn fuer an der Pumpe arbeitende Geraete |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |