DE2651675A1

DE2651675A1 - Anordnung zur kontinuierlichen wiedergewinnung von aetzmaterial und geaetztem material

Info

Publication number: DE2651675A1
Application number: DE19762651675
Authority: DE
Inventors: C Paul Pesek
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1976-01-09
Filing date: 1976-11-12
Publication date: 1977-07-14
Also published as: US3999564A; JPS554836B2; NL7700113A; JPS5288239A; FR2337770A1; SE7611989L; GB1542704A

Description

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C. Paul Pesek

Anordnung zur koninuierlichen Wiedergewinnung von Ätzmaterial und geätztem Material

Die Erfindung geht aus von "bekannten chemischen Ätzverfahren. Es sind bereits verschiedene Anordnungen bekannt, um Material kontinuierlich zu ätzen, indem kontinuierlich frisches Ätzmittel in die Ätzeinrichtung eingespeist wird, wobei eine Abgabe hiervon erfolgt, nachdem eine Sättigung mit dem durch das Ätzverfahren zu entfernenden- Material aufgetreten-ißt. Die Kontinuität dieser Verfahren wird durch konstante Zugabe frischen Ätzmittels zu der Anordnung und nicht durch Regenerierung oder erneute Verwendung des Ätzmittels herbeigeführt.

Demgegenüber besteht die Aufgabe der Erfindung in der Schaffung einer Anordnung zum kontinuierlichen Ätzen und Wiedergewinnen des geätzten Materials aus dem Prozeß durch Rückführung und Regenerierung des Ätzmaterials, woraus das abgeätzte Material wiedergewonnen wird. Die Rückführung des Ätzmittels in Fachfolge zu der Materialentfernung hieraus schafft wesentliche Einsparungen für den Betreiber einer Anordnung und ergibt einen geschlossenen Kreislauf bei der Anwendung.

Bei verschiedenen auftretenden Betriebssituationen innerhalb der erfindungsgemaßen Anordnung muß eine Anpassung für die Unterschiede herbeigeführt werden, die beim Ätzen, beim

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Regenerieren und bei der Materialentfernung erforderlich sind, um eine richtige Funktionsweise herbeizuführen.

Die Erfindung schafft eine Anordnung zum kontinuierlichen Ätzen von Stoffen, insbesondere Kupfer, welche die kontinuierliche Regenerierung und erneute Verwendung des Ätzmittels ermöglicht=

Die Erfindung schafft ferner eine entsprechende Anordnung, welche eine Entfernung des abgeätzten Kupfers aus der Ätzmittellösung und danach die Rückleitung des vom Kupfer befreiten Ätzmittels zurück in den Ätzvorgang ermöglicht.

Die Erfindung schafft ferner eine Anordnung, welche die kontinuierliche Regenerierung des Ätzmaterials während des Betriebes und ferner die kontinuierliche auswahlmäßige Entfernung des abgeätzten Materials aus dem Ätzmittel ermöglicht, ohne den Betrieb der Anordnung zu unterbrechen.

Die Erfindung schafft ferner eine Anordnung in Form eines geschlossenen Kreislaufes, welche nicht die vollständige Ersetzung und den Austausch des Ätzmittels in dem Kreislauf erfordert _v

Die Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Anordnung, wobei unter Anwendung gestrichelter Teile verschiedene wahlweise Stellen zur Zugabe gewisser Chemikalien angedeutet sind,

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie 2-2 von Fig. 1 umfassend eine erste Ausführungsform einer Einrichtung zur Einführung von Chemikalien in die Anordnung von Fig. 1,.

Figo 3 einen Schnitt ähnlich Fig. 2 entsprechend einer abgewandelten Ausführungsform der Einrichtung zur Einführung

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von Chemikalien in die Anordnung -von Figo 1.

Die Anordnung von Fig. 1 bezieht sich (als Ausführungsbeispiel) auf das kontinuierliche Abätzen von Kupfer und umfaßt eine Itζeinrichtung 10, einen Ammoniakisierungskreis 11 und einen Ausfäll- oder Material-Wiedergexdnnungskreis 12. Es ist bei der Anordnung Torsorge getroffen, um Ammoniumchlorid zu dem Ätzmaterial zuzugeben, wobei drei Stellen 13, 14-, 15 hierfür veranschaulicht sind. Das Gebilde, welches an den Stellen 13 und 14 anwendbar ist, ergibt sich aus Fig. 2 und 3, welche nachfolgend näher erläutert werden.

Der Aufbau der Ätzeinrichtung ermöglicht eine kontinuierliche Hindurchbewegung des Materials, wobei solche Ätzeinrichtungen bekannt sind. Eine derartige Ätzeinrichtung enthält normalerweise Mittel zum Durchführen des zu ätzenden Materials, während das Ätzmaterial zu bestimmten Flächen des zu ätzenden Materials geführt wird. Das normalerweise in der Ätzeinrichtung verfügbare Ätzmittel verläuft nach dem Auftreffen auf das Material in einen Sumpf und wird innerhalb der Ätzeinrichtung rückzirkuliert, Bei bekannten Anordnungen wird das Ätzmittel, nachdem es verwendet wurde und dessen Dichte einen vorgegebenen Wert erreich . hat, abgelassen, wonach frisches Ätzmittel eingeführt wird* Bei einer relativ kurzen Austauschzeit kann der Ätzprozeß als "kontinuierlich" bezeichnet werden.

Der Ammoniakisierungskreis umfaßt eine Abzugleitung 20, welche Ätzmittel von der Ätzeinrichtung zu einer Ammoniakisierungseinrichtung leitet, beispielsweise einen Ammonialri.si.ftTTuiigsturm 22., Dieses Abziehen kann durch eine Pumpe 21 bewerkstelligt werden.

Da Kupfer mit einem alkalischen Ätzmittel geätzt wird, werden die verfügbaren Ammonium-Ionen zu einem Kupferkomplex verbunden. Dies bewirkt einen Abfall des pH-Wertes des Ätzmittels« Wenn der pH-Wert des Ätzmittels unter einen bestimmten Wert sinkt, wird die Wirksamkeit des Ätzmittels zur Durchführung der Ätzfunktion vermindert. Es wurde gefunden, daß das Ätzmittel einen

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hohen Wirkungsgrad aufweist, wenn es innerhalb der Ätzeinrichtung in einem Wertebereich von 8-10 gehalten wird« Um diesen pH-Wert aufrechtzuerhalten, ist es notwendig, dem Ätzmittel Ammoniak zuzufügen.

In der Leitung 24- ist ein Nebenschluß vorgesehen, um den pH-Wert des Ätzmittels von der Ätzeinrichtung durch eine pH-Überwachungseinrichtung 25 zu überwachen., Die Überwachungseinrichtung 25 steuert ein Magnetventil 26, das wiederum die Strömung von Ammoniak von einer Quelle 23 zu dem Ammoniakturm 22 steuert, wo es gasblasenförmig nach oben geführt wird, um eine Gegenströmung gegen das Ätzmittel herbeizuführen, das durch den Turm 22 nach unten strömte

Der Durchsatz durch diesen Kreis 11 ist konstant; wenn somit der pH-Wert des Ätzmittels unter den vorangehend erwähnten Bereich absinkt, wird Ammoniak in das Ätzmittel eingeführt. Da dieser Durchsatz konstant ist, spiegelt er den pH-Wert des Ätzmittels wider, das in der Ätzeinrichtung verwendet wird, Nach Erreichen der oberen Grenzen des Bereiches des pH-Wertes, wird das Magnetventil geschlossen, um die Strömung von Ammoniak durch den Turm 22 zu beenden.

Der durch den Kreis erfolgende Durchsatz wird zu der Ätzeinrichtung 10 durch die Leitung 27 zurückgeführt.

In dem Kreis 11 ist ein besonderer Dichtefühler"28 vorgesehen, um von der Leitung 24 zu überwachendes Ätzmittel auf aunehmen. Dieser Fühler 28 steuert die Au sf".l lungs- odör Matoric.lwiedcrwinnungseinrichtung 12. Wenn die Strömung durch den Kreis 11 kontinuierlich ist, so ist die besondere Diohteüberwachung ebenfalls kontinuierlich.

Die Dichteablesung des Ätzmittels steht in direkter Zuordnung zu der Materialmenge, die durch das Ätzverfahren entfernt wurde und in der Lösung in dem Ätzmittel verbleibt. Wenn diese Dichte einen bestimmten Wert erreicht, wird zur Aufrechterhaltung einer

richtigen Ätzgeschwindigkeit sowie zur Verhinderung eines Ausfallens des entfernten Materials in der Ätzeinrichtung 10 das Ätzmittel aus der Ätzeinrichtung entfernt und der Ausfall- oder Materialwiedergewinnungseinrichtung 12 zugeführt. Eine solche Entfernung wird durch die besondere Diohteablesung eingeleitet, wie sie in der Ammoniakisierungseinrichtung 11 erhalten wird.

Die Ausfälleinrichtung 12 umfaßt in der gezeigten Form und unte:. Yerwendung einer Einheit für einen chemischen Zusatz eine Fluidabzugleitung 20 und eine Pluidaustauschleitung 31? welche mit jeder Seite einer Doppelkopfpumpe 32 verbunden ist, wobei die Einrichtung 13 für den chemischen Zusatzstoff von der Abzugleitung 30, einem Reaktortank 33, einem Salzsammelbehälter 38 und einem Zufuhr- oder Speichertank 42 Chemikalien aufnimmt, welcher mit der Doppelkopfpumpe 32 verbunden ist, um gefiltertes Ätzmittel zu der Ätzeinrichtung durch die Austauschleitung 31 zurückzuführen.

Das Prinzip der Doppelkopfpumpe liegt in der Sicherstellung des Austausches des Ätzmittels sowie in der Zurückführung zu der Ätz einrichtung, wenn immer Ätzmittel hiervon abgezogen v'""³ Dies stellt eine konstante und ausreichende Zufuhr von Ätzmittel zu der Ätzeinrichtung sicher. In dieser Form, d.h_e derjenigen der für den chemischen Zusatz vorgesehenen Einheit innerhalb der Ausfälleinrichtung, wird das fluide Ätzmittel seitens der Pumpe 32 durch die Einheit 13 für den Zusatz geliefert. Die zu dem Ätzmittel durch dieses Zusatzelement 13 geliefert Chemikalie ist ist Ammoniumchlorid. Die wesentlichen Elemente in der alkalischen Ätzlösung sind Ammoniumhydroxid (MLOH), Ammoniumchlorid (MiLCl) und Wasser. Das Ammoniumchlorid wird normalerweise durch die Reaktion von Hydrochlorsäure und Ammoniak (HCl + ML,) erzeugt, jedoch mit dem dargestellten Gebilde, wobei erfindungsgemäß ein Mittel zur direkten Einführung von Ammoniumchlorid in das Ätzmittel geschaffen wird. Die Zugabe von Ammoniumchlorid an dieser Stelle ergibt eine endotherm Reaktion, welche die Temperatur des Ätzmittels erniedrigt, um

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eine Ausfällung des Materials, im vorliegenden Fall Kupfer, aus dem Ätzmittel zu unterstützen.

Durch Anordnung des Gebildes für den Ammoniumchlorid-Zusatz in der Strömungsleitung vor dem Reaktor 33 wird das Ätzmittel vor seiner Einführung in den Reaktor gekühlt; diese vorangehende Einführung von Ammoniumchlorid ist auch hilfreich im Sinne einer Aufrechterhaltung eines stabilen pH-Wertes in dem Reaktortanke Das Ammoniumchlorid verläuft in die Lösung mit einem Durchsatz, welcher durch dessen Lösungskonstante bestimmt ist, wobei das System nicht mit Ammoniumchlorid beladen wird.

Nach dem Durchlauf durch die Zugabeeinheit 13 verläuft das Ätzmittel in den Reaktortank 33. Eine Mischeinrichtung 34- ist in diesem Tank vorgesehen, um eine konstante Bewegung der darin vorhandenen Lösung aufrechtzuerhalten und die darin gebildeten Kupfersalze in Lösung zu halten, so daß kein Ausfall und nachfolgendes Verdichten der Salze in diesem Tank auftritt.

Innerhalb des Reaktortanks wird das mit Kupfer beladene Ätzmittel mit Hydrochlorsäure reagieren gelassen, um die komplexen Kupfer-Ammoniumchloridsalze zu bilden. Aus der Quelle 35 wird Hydrochlorsäure durch eine Pumpe 36 geliefert, welche durch eine pH-Überwachungseinrichtung 37 gesteuert ist; diese überwacht ständig den pH-Wert des Tanks 33· Zur richtigen Bildung der Kupfersalze wird pH-Wert innerhalb des Reaktortanks in dem Bereich von 6,8 bis 7,5 gehalten= Die Reduktion im pH-Wert wird offensichtlich durch die Einführung von Hydrochlorsäure in den Reaktortank 33 erzielt.

Wenn der Flüssigkeitsspiegel in dem Reaktortank 33 steigt, erreicht er einen Ausgangswert, bei welchem das Ätzmittel durch Schwerkraft zu dem Behälter zu strömen beginnt. Innerhalb dieses Behälters 38 befindet sich ein Filter 33. Zwischen dem Reaktortank 33 und dem Behälter 38 ist ein Strömungsfühlschalter 39, der zur Steuerung einer Pumpe 40 ausgebildet ist, welche vermögentsprechender örtlicher Anordnung zum Abziehen von Fluid durch

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das Filter 43 mittels einer Venturidüse 41 eingerichtet ist. Das Filter 43 ist so ausgelegt, daß die Übertragung der Kupfersalze von dem Behälter 38 vermieden wird, so daß diese in dem Behälter 38 eingeschlossen werden. Der Behälter 38 ist zur Entfernung aus dem Kreis ausgebildet, so daß er nach einer Füllung entfernt und ersetzt werden kann.

Die Anordnung aus dem Strömungsschalter 39 und der Pumpe 40 arbeitet mit einer Zeitverzögerung, so daß die Pumpe 40 ihren Betrieb über eine Zeitperiode fortsetzt, nachdem die Strömung von dem Reaktortank 33 aufgehört hat. Das Aufhören der Strömung wird durch die Dichteüberwachungseinrichtung 28 in dem Ammoniakisierungskreis 11 hervorgerufen. Wenn die Dichte des Ätzmittels auf einen richtigen niedrigeren Wert abgefallen ist, wird die Doppelkopfpumpe 32 abgeschaltet, und es erfolgt keine Strömung durch die Ausfall- oder Materialentfernungseinrichtung.

Das von dem Behälter 38 kommende Ätzmittel wird durch das Filter 43 an einen Zufuhrtank 42 geliefert. Dieser dient lediglich als ein Sammelbehälter für Ätzmittel, das an die Ätzeinrichtung 10 durch die Doppelpumpe 32 zu liefern ist. Gemäß den vorangehenden Erläuterungen liegt der Zweck dieser Doppelkopfpumpe 32 im gleichzeitigen Abziehen von Ätzmittel sowie Zuführen von Ätzmittel zu der Ätzeinrichtung. Dies könnte auch mit zwei einzelnen miteinander verbundenen Pumpen erreicht werden«,

Bei dem vorangehend betrachteten ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist die Ammoniumchlorid-Zugabeeinrichtung in der Strömungsleitung vor dem Reaktortank 33 veranschaulicht. Die endotherme Reaktion, xielche durch die Einführung von Ammoniumchlorid zu dem Ätzmittel erhalten wird, wirkt der exothermen Reaktion entgegen, welche sich aus der Einführung von Hydrochlorsäure zu dem Ätzmittel in dem Reaktortank 33 ergibt.

Das verfügbare Prinzip in jeder der verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung, unbeschadet der Anordnung der Ammoniumchlorid-Zugabeeinrichtung, liegt in der Schaffung eines Mittels

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zur Entfernung der Kupfersalze aus dem Ätzmittel sowie zum nachfolgenden Rückführen dieses gefilterten Ätzmittels zu der Ätzeinrichtung., Nach der Einführung von Hydrochlorsäure liegt der pH-Wert wesentlich niedriger als dies zum richtigen Ätzen erforderlich ist«, Nach der Einführung des Ätzmittels von dem Zufuhrtank 42 in die Ätz einrichtung ergibt die konstante Rückführung des Ätzmittels von der Ätzeinrichtung zu der Ammoniakisierungseinrichtung einen Anstieg des pH-Wertes zu dem erforderlichen und gewünschten Wert,

Bei der Ausführungsform der Erfindung, bei welcher die Zugabeeinheit 14 vorgesehen ist, wird das Ammoniumchlorid an den Zuführtank abgegeben. Dies kann erreicht werden, indem ein Teil des Fluids von der Venturidüse 41 zu dieser Einheit abgezweigt wird, oder durch Schaffung einer Nebenschlußeinheit, welche aus einer gesonderten Pumpe bestehen kann, um Ätzmittel zu dieser Einheit zu liefern.

Eine Form einer Ammoniumchlorid-Zugabeeinheit ergibt sich aus Figo 2o Ein Gehäuse 50 ist mit einer entfernbaren Abdeckung 51 und einem Einlaß 52 für aufgenommenes Ätzmittel in der Abdeckung-Versehen« Unterhalb der Abdeckung 51 ist ein Filtersack vorgesehen, welcher einen Ammoniumchloridvorrat aufzunehmen vermag» Ein Auslaß 54 ist an der Seite des Gehäuses 50 vorgesehen, wöbe"⁵ der Einlaßpegel so festgelegt ist, daß das Ätzmittel gegenüber dem Ammoniumchlorid zwecks richtiger Absorption desselben ausgesetzt ist«, Der Auslaß dieser Einheit ist entweder zu dem Reaktortank 33 oder dem Zufuhrtank 42 gerichtet«

Bei der zweiten Ausführungsform einer Ammoniumchlorid-Zugabeeinheit nach Pig» 3 ist ein Gehäuse 55 mit einem Trennschirm 56 versehen, der an seinem unteren Ende einen oder mehrere Fluiddurchtrittsöffnungen 57 aufweist. Dieser Schirm 56 teilt das Gehäuse in zwei Abteile 58, 59, wobei das Abteil 59 mit dem Ammoniumchlorid gefüllt ist, um dem Ätzmittel zugegeben zu werden. Eine Deck· lednbeit 61 ist mit einem Einlaß 60 versehen, der durch die Dbckeleinheit verläuft, um Ätzmittel in das Abteil

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58 einzuspeisen. Das Gehäuse 55 ist mit einem Auslaß 62 versehen, welcher mit dem Ammoniumchlorid-Abteil 59 in Verbindung steht, wobei die Strömung des Ätzmittels durch die Einheit durch das Ammoniumchlorid erfolgt.

Jede der Zugabeeinheiten ist im Sinne einer leichten Füllung mit zusätzlichem Ammoniumchlorid ausgebildet.

Bei einer weiter abgewandelten Ausführungsform nach der Erfindung, bei welcher die Zugabeeinheit 15 vorgesehen ist, wird das Ammoniumchlorid direkt zu der Ätzeinrichtung zugegeben.

Die Einführung des Ammoniumchlorids in die Ätzeinrichtung kann auf einer Zeit- oder Ätzgeschwindigkeitsbasis erfolgen. Das Ammoniumchlorid kann wie die Ätzeinrichtung entweder trocken oder in Lösungsform eingeführt werden. Im trockenen Zustand kann eine Schneckenzuführung (auger feed) vorgesehen sein; in einem fluiden Lösungszustand kann eine Zumessungspumpe verwendet werden.

Das zum Zwecke der Entfernung von Kupferionen aus der Ätzeinrichtung entfernte Ätzmittel wird wieder verwendet und nicht vernichtete Das zu der Ätzeinrichtung zurückgeführte Ätzmittel weist einen geringeren pH-Wert auf, als ar normalerweise in der Ätzeinrichtung zum Zwecke der Erzielung richtiger Ätzgeschwindigkeiten zur Verfügung steht, jedoch ist in der Praxis die Menge an Ätzmittel, welche zu irgendeinem Zeitpunkt entfernt und der Ätzeinrichtung nach der Materialausfällung wieder zugeführt wird, nicht ausreichend, um den Ätzvorgang zum Erliegen zu bringen. Stattdessen wird die Kontinuität des Betriebes erhalten, indem der pH-Wert während der Ausfällung nicht in einem solchen Maß erniedrigt wird, daß eine totale Ammoniak!sierung des Ätzmittels innerhalb der Ätzeinrichtung erforderlich wäre. Das zu der Ätzeinrichtung zurückgeführte Ätzmittel weist eine geringere Dichte auf als dasjenige, das von der Ätzeinrichtung geliefert wurde; dies ist

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erorderlich_t: um fortgesetzt und kontinuierlicii das Material in der Ätz einrichtung zu ätzen*

Bie Wiedergewinnung der Kupfersalze aus dem Ätzmittel, während das Ätzen kontinuierlich: durchgeführt wird, stellt einen sprunghaften Fortschritt dar,, insbesondere dann-, wenn das gesamte Ätzmittel in dies σι System verbleibt und nicht zur folgenden Entfernung des durch den Ätzvorgang entfernten Materials vernichtet wird«, " .-■■-■

Biese kontinuierliche Verfahrensflihrung ist in Verbindung mit äen vorliegend beschriebenen Elementen erzielbar, wodurch eine konstante Zufuhr von Ätzmittel innerhalb richtiger Betriebsgrenzen sichergestellt wirdj. uur einen richtigen Ätzvorgang durchzuführen,, so daß! die Ätz einrichtung in ihrem Betrieb nicht verzögert werden muß^ has die erforderlichen Betriebsparameter erreicht sind«, Biese Betriebsparameter umfassen einen richtigen pH—Wert, eine richtige Sichte und eine richtige Betriebstemperatur¹« . ■■ . . ,

Burch die Erfindung; wird ein kontinuderlicner Betrieb einer Ätzeinrichtung ermöglicht_r welche .nicht die Vernichtung des _: Ätzmittels für die Einheit erfordert, sondern vielmehr die erneute Verwendung ermöglicht und beim Betrieb einen Prozeß zur Wiedergewinnung des Materials beinhaltet_s welches während des Ätzvörganges entfernt wurde- " ,

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Claims

Patentansgrüche

1. Anordnung zum kontinuierlichen Regenerieren und Wiederverwenden von alkalischem Ätzmittel zum Ätzen von Kupfer mit einer Ätzeinrichtung, in welcher das zu ätzende Material vermöge entsprechender Anordnung dem Ätzmittel ausgesetzt ist, gekennzeichnet durch einen Kupferausfäll- und -entfernungskreis zur Aufnahme von Ätzmittel hiervon sowie zur Rücklieferung desselben nach Entfernung des Kupfers zu der Ätzeinrichtung, wobei der Kreis ein erstes Pumpenelement (32) zum Abziehen von Kupfer enthaltendem Ätzmittel aus der Ätzeinrichtung (10) und Rückführung des Ätzmittels zu der Ätzeinrichtung nach Entfernung des Kupfers hieraus umfaßt, wobei ferner eine Quelle (35) für Hydrochlorsäure vorgesehen ist, ferner Elemente (Pumpe 36) zur Einführung der Hydrochlorsäure in das Ätzmittel, das von der Ätzeinrichtung abgezogen wurde, um deren pH-Wert zu erniedrigen und darin Kupfersalze zu bilden, wobei darüber hinaus Filterelemente (43) vorgesehen sind, um die gebildeten Kupfersalze aus dem Ätzmittel zu entfernen, wobei Mittel zur Zulieferung des freigelegten Ätzmittels zu dem Filter vorgesehen sind und wobei Elemente zur Zulieferung des Ätzmittels nach dem Filtern zu dem Fluidpumpenelement (32) vorgesehen sind,

2„ Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Reaktorbehälter (33) zur Aufnahme des Kupfer enthaltenden Ätzmittels von dem Pumpenelement (32) und Elemente zur Einführung der Hydro chlorsäure zur Weiterleitung der Säure an den Reaktor.

3. Anordnung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch Elemente (pH-Überwachungseinrichtung 37) zur Steuerung der Einführung der Hydrochlorsäure in das Kupfer enthaltende Ätzmittel einschließlich Elementen zur Abfühlung des pH-Wertes des Ätzmittels innerhalb des Reaktors (33)»

4-. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß äks Steuerelement (37) für die Hydrochlorsäure-Einleitung auf einen pH-Wert innerhalb des Reaktors (33) von 6,8 - 7»5 eingestellt i^c

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5o Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (43) einen Salz enthaltenden Behälter (50) umfaßt, um Ätzmittel nachfolgend zur Zugabe von Hydrochlorsäure aufzunehmen, wobei der Behälter und das Filter zum Filtern der Salze aus dem Ätzmittel eingerichtet sind, um eine Speicherung in dem Behälter herbeizuführen.

6. Anordnung nach Anspruch 5_? dadurch gekennzeichnet, daß der das Salz enthaltende Behälter (50) aus dem Kreis entfernbar und in den Kreis wieder einsetzbar ist.

7» Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Speicherelement zur Aufnahme gefilterten Ätzmittels von dem Filter.

8o Anordnung nach Anspruch 7? gekennzeichnet durch ein zweites Pumpenelement (40) zum Abziehen von Ätzmittel durch das Filter zwecks Abgabe desselben an das Speicherelement=

9= Anordnung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch Elemente zur Steuerung des zweiten Pumpenelementes (40), welche auf das Element zur Lieferung des freigelegten Ätzmittels an das Filter ansprechend ausgebildet sind,

10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Pumpensteuerelement zur Betätigung des zweiten Pumpenelementes nach der Zulieferung von Ätzmittel an das Filter sowie zur Abschaltung des zweiten Pumpenelementes um eine bestimmte Zeitperiode in Nachfolge zum Aufhören der Ätzmittel-Zulieferung an das Filter eingerichtet ist.

11. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Dichtefühler (28) zur Abführung der Dichte des Ätzmittels innerhalb der Ätzeinrichtung sowie zur Inbetriebsetzung des ersten Pumpenelementes (32) in Abhängigkeit von einer bestimmten Ablesung.

12. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Elemente

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(Magnetventil 26) zur Einführung von Ammoniumchlorid in den Ereisο

13 = Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Element (Magnetventil 26) für die Einführung von Ammoniumchlorid vermöge entsprechender Anordnung zur Einführung dieser Substanz vor der Einführung von Hydrochlorsäure in das Ätzmittel eingerichtet ist.

Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Element (Magnetventil 26) zur Einführung von Ammoniumchlorid vermöge entsprechender Anordnung zur Einführung in das Ätzmittel nach dessen Filterung eingerichtet ist.

15= Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Ammoniak-Einführungskreis zur Aufnahme von Ätzmittel von der Ätzeinrichtung sowie zur Rücklieferung an dieselbe mit einem Ammoniakisierungsturm (22), einem dritten Pumpenelement (21) zur Aufnahme von Ätzmittel aus der Ätzeinrichtung und Abgabe an den Turm, einer Ammoniakquelle (23) in Verbindung mit dem Turm zur Abgabe von Ammoniak und mit Elementen (Überwachungseinrichtung 25) zur Steuerung der Abgabe des Ammoniaks an den Turm von der Quelle«,

16. Anordnung nach Anspruch I5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ammoniakkreis ein pH-Fühlelement (pH-Überwachungseinrichtung 25) in Zuordnung zu der Zulieferungs-Steuereinrichtung zur Steuerung der Zugabe des Ammoniaks zu dem Ätzmittel aufweist.

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