[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

NL7700113A - Werkwijze en inrichting voor het terugwinnen van bij alkalisch etsen gebruikte vloeistof. - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het terugwinnen van bij alkalisch etsen gebruikte vloeistof.

Info

Publication number
NL7700113A
NL7700113A NL7700113A NL7700113A NL7700113A NL 7700113 A NL7700113 A NL 7700113A NL 7700113 A NL7700113 A NL 7700113A NL 7700113 A NL7700113 A NL 7700113A NL 7700113 A NL7700113 A NL 7700113A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
recovery
liquid used
alkaline etching
etching
alkaline
Prior art date
Application number
NL7700113A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Pesek Engineering And Manufact
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pesek Engineering And Manufact filed Critical Pesek Engineering And Manufact
Publication of NL7700113A publication Critical patent/NL7700113A/xx

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46—Regeneration of etching compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
NL7700113A 1976-01-09 1977-01-07 Werkwijze en inrichting voor het terugwinnen van bij alkalisch etsen gebruikte vloeistof. NL7700113A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/647,796 US3999564A (en) 1976-01-09 1976-01-09 Continuous etching and etched material recovery system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7700113A true NL7700113A (nl) 1977-07-12

Family

ID=24598302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7700113A NL7700113A (nl) 1976-01-09 1977-01-07 Werkwijze en inrichting voor het terugwinnen van bij alkalisch etsen gebruikte vloeistof.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3999564A (xx)
JP (1) JPS5288239A (xx)
DE (1) DE2651675A1 (xx)
FR (1) FR2337770A1 (xx)
GB (1) GB1542704A (xx)
NL (1) NL7700113A (xx)
SE (1) SE7611989L (xx)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2917597A1 (de) * 1979-04-30 1980-11-13 Siemens Ag Verfahren zur regenerierung ammoniakalischer aetzloesungen zum aetzen von metallischem kupfer
DE3324450A1 (de) * 1983-07-07 1985-01-17 ELO-CHEM Ätztechnik GmbH, 7758 Meersburg Ammoniumsulfathaltige aetzloesung sowie verfahren zur regeneration der aetzloesung
DE3422276A1 (de) * 1984-06-15 1985-12-19 Walter Holzer Vorrichtung und arbeitsverfahren zum aetzen von leiterplatten
AU608969B2 (en) * 1989-04-21 1991-04-18 Ming-Hsing Lee Process for etching copper with ammoniacal etchant solution and reconditioning the used etchant solution
DE3936363A1 (de) * 1989-11-02 1991-05-08 Hoellmueller Maschbau H Verfahren zum aetzen von gegenstaenden sowie aetzanlage
US5015322A (en) * 1990-02-23 1991-05-14 Mcdonnell Douglas Corporation Tank arrangement particularly designed for chemical milling operations
US5143102A (en) * 1990-03-12 1992-09-01 Graymills Corporation High pressure parts cleaner and method
JP3142195B2 (ja) * 1993-07-20 2001-03-07 大日本スクリーン製造株式会社 薬液供給装置
US5733441A (en) * 1996-06-27 1998-03-31 United Microelectronics Corporation Pre-wet system for a filter
US6362103B1 (en) 2000-01-18 2002-03-26 David K. Watts Method and apparatus for rejuvenating a CMP chemical solution
US6372111B1 (en) 2000-01-18 2002-04-16 David K. Watts Method and apparatus for reclaiming a metal from a CMP process for use in an electroplating process
US6475403B2 (en) * 2000-01-31 2002-11-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Etching method and apparatus
US6503363B2 (en) * 2000-03-03 2003-01-07 Seh America, Inc. System for reducing wafer contamination using freshly, conditioned alkaline etching solution
US20080217296A1 (en) * 2007-03-07 2008-09-11 United Microelectronics Corp. Etching apparatus for semiconductor processing apparatus and method thereof for recycling etchant solutions
CN103721476B (zh) * 2013-12-20 2017-09-29 鞍钢股份有限公司 一种盐酸再生机组含酸废水回收装置及方法
CN114276813B (zh) * 2022-01-30 2023-08-25 广东东方锆业科技股份有限公司 一种碱性蚀刻液的制备方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3266502A (en) * 1964-09-14 1966-08-16 Western Technology Inc Chemical milling machine
US3327721A (en) * 1965-05-28 1967-06-27 Keith L Carlson Etching apparatus
US3427198A (en) * 1965-10-22 1969-02-11 Inland Steel Co Method and apparatus for automatic control of pickling system
US3526560A (en) * 1967-02-13 1970-09-01 Chemcut Corp Etchant regeneration apparatus
NL7202652A (xx) * 1971-03-08 1972-09-12
US3933544A (en) * 1971-03-08 1976-01-20 Firma Hans Hollmuller, Maschinenbau Method of etching copper and copper alloys
US3705061A (en) * 1971-03-19 1972-12-05 Southern California Chem Co In Continuous redox process for dissolving copper
CA989283A (en) * 1972-02-09 1976-05-18 Gerald J. Roelants Continuous etching process
DE2237804A1 (de) * 1972-03-07 1973-09-13 Southern California Chem Co Kontinuierliches redox-verfahren und vorrichtung zum loesen von kupfer
FR2175746B1 (xx) * 1972-03-16 1976-04-30 Shipley Co

Also Published As

Publication number Publication date
SE7611989L (sv) 1977-07-10
JPS5288239A (en) 1977-07-23
GB1542704A (en) 1979-03-21
FR2337770A1 (fr) 1977-08-05
US3999564A (en) 1976-12-28
DE2651675A1 (de) 1977-07-14
JPS554836B2 (xx) 1980-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7701367A (nl) Werkwijze en inrichting voor het etsen.
NL7613165A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwijderen van in water opgeloste verontreinigingen.
NL7714125A (nl) Werkwijze en inrichting voor het overbrengen van vloeistof.
NL7707125A (nl) Werkwijze en inrichting voor het met elkaar koppelen van stukken buis.
NL7705711A (nl) Inrichting voor het met elkaar in contact bren- gen van damp en vloeistof.
NL7702910A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwarmen van voorwerpen.
NL7700113A (nl) Werkwijze en inrichting voor het terugwinnen van bij alkalisch etsen gebruikte vloeistof.
NL7601757A (nl) Werkwijze en inrichting voor het met gas in contact brengen van vloeistoffen.
NL7701581A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bereiden van roet.
NL7707113A (nl) Inrichting voor het selectief in- en uitschakel- en van procesbewerkingen.
NL7706621A (nl) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van vezelachtige materialen.
NL7711244A (nl) Inrichting en werkwijze voor het verbranden van afvalstoffen.
NL7902804A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van kleine vloeistofhoeveelheden.
NL7708508A (nl) Inrichting voor het onderscheiden van deeltjes en werkwijze voor het onderscheiden van deeltjes.
NL7712373A (nl) Werkwijze voor het in contact brengen van fasen en daarvoor geschikte inrichtingen.
NL7700576A (nl) Werkwijze en inrichting voor het reinigen van kathoderoosters en/of kathodeplaten.
NL7705577A (nl) Werkwijze en inrichting voor het afscheiden van deeltjes.
NL7704706A (nl) Inrichting en werkwijze voor het verwijderen van beton.
NL7801832A (nl) Werkwijze en inrichting voor het scheiden van stoffen.
NL7809357A (nl) Werkwijze en inrichting voor het identificeren van infecties in bloed.
NL7609135A (nl) Werkwijze en inrichting voor het mechanisch afscheiden van vloeistof.
NL7706782A (nl) Werkwijze en inrichting voor het reinigen van gassen.
NL7710668A (nl) Werkwijze voor het extraheren van microoerganis- men en deze bevattende diagnostische middelen.
NL7704205A (nl) Werkwijze en inrichting voor het aantonen van insluitingen in kristallen.
NL7713071A (nl) Werkwijze en inrichting voor het ontstapelen.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed