DE2250721A1 - Verfahren zur regelung des horizontalablenkstromes einer fernsehkamera die als messeinrichtung verwendet wird, auf konstante amplitude - Google Patents
Verfahren zur regelung des horizontalablenkstromes einer fernsehkamera die als messeinrichtung verwendet wird, auf konstante amplitudeInfo
- Publication number
- DE2250721A1 DE2250721A1 DE2250721A DE2250721A DE2250721A1 DE 2250721 A1 DE2250721 A1 DE 2250721A1 DE 2250721 A DE2250721 A DE 2250721A DE 2250721 A DE2250721 A DE 2250721A DE 2250721 A1 DE2250721 A1 DE 2250721A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- horizontal deflection
- deflection current
- television camera
- voltage
- amplitude
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title claims description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 101100188555 Arabidopsis thaliana OCT6 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N3/00—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
- H04N3/10—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
- H04N3/16—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by deflecting electron beam in cathode-ray tube, e.g. scanning corrections
- H04N3/22—Circuits for controlling dimensions, shape or centering of picture on screen
- H04N3/223—Controlling dimensions
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/40—Circuit details for pick-up tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/40—Circuit details for pick-up tubes
- H04N23/41—Beam current control
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Details Of Television Scanning (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
SIEIviEtfS AKTIENGESELLSCHAFT 8 München 2 ϊ 6. OKT. 1972
lsbacherpla
72/1183
Berlin und München ■ r _ Y/ittelsbacherplatz
2250/2T /
Verfahren zur Regelung des Horizontalablenkstromes einer Fernsehkamera,
die als Meßeinrichtung verwendet wird, auf konstante
Amplitude . ' ■ -
Die Erfindung "betrifft ein Verfahren zur Stabilisierung des
Umsetzmaßstabes der opto-elektrischen Bildwandlung bei Verwendung einer Fernsehkamera zu Meßzwecken.
Fernsehanlagen besitzen normalerweise eine relativ schlechte Linearität und Stabilität der Geometrie der opto-elektrischen
Bildwandlung, durch welche Ergebnisse verfälscht werden können,
wenn eine solche Fernsehanlage zu Meßzwecken eingesetzt werden soll.
Insbesondere das Horizontal-Ablenksystem des Elektronenstrahles,
der das Abbild des Objektes z.B. auf dem Vidikon der Fernsehkamera abtastet, unterliegt iJicht-Linearitäteh, Or if ten und
Schwankungen, die z.B. wesentlich von der Betriebstemperatur der Fernsehkamera abhängig sind.
Ursache hierfür ist unter anderem eine Änderung der Amplitude des Horizontalablenkstromes in Folge der temperaturabhängigen
Änderungen der im Stromkreis des Ablenksystems liegenden Bauelemente und Leitungen der Fernsehkamera.
Da die Amplitude des Horizontal-Ablenkstromes aber den Winkel
des Elektronenstrahles in horizontaler Lage bestimmt, ändert sich die Abtastgeschwindigkeit, und damit die Abtastzeit,in
welcher das Objektbild abgetastet wird, welche ihrerseits ein Maß für die geometrische Breite des in einem festen Abbildungs-.verhältnis
Wiedergegebenen Objektes auf der fotoempfindlichen
VPA 9/110/2005 409816/0662
Stg/Ske ■■ . _ 2 -
Schicht ist. Die Änderungen des Horizontal-Ablenkstromes gehen
somit direkt in das i.Ießergebnis ein.
Aufgabe des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es nun, durch Stabilisierung
des Honrizontalablenkstromes des das Objekt auf der fotoempfindlichen Schicht der Aufnahmeröhre der Fernsehkamera
zeilenweise abtastenden Elektronenstrahles auf eine konstante Amplitude, das Horizontalabienksystem von den Änderungen der Betriebsbedingungen unabhängig zu machen, und dadurch
die Schwankungen der Abtastgeschwindigkeit zu eliminieren und Pernsehanlagen zu Meßzwecken mit hohen Genauigkeitsanforderungen
verwenden zu können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Horizontalablenkstrom
für den das Abbild des Objektes auf der fotoempfindlichen Schicht der Aufnahmeröhre der Fernsehkamera
abtastenden Elektronenstrahl auf konstante Amplitude geregelt wird. ·
Hierdurch wird der Vorteil erzielt, daß der Elektronenstrahl unabhängig von den Betriebsbedingungen konstant abgelenkt wird,
wodurch die Abtastzeit, in welche das Objekt abgetastet wird,
und die ein Maß für die geometrische Breite des Objektes ist, konstant gehalten wird. Pernsehanlagen, bei welchen nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren der Horizontalablenketrom auf konstante
Amplitude gehalten wird, können somit zu Meßzwecken mit Fehlergrenzen verwendet werden, welche den Anforderungen bei
der industriellen Fertigung von z.3. monokrlstallineü Silicium
durch tiegelfreies Zonenziehen genügen.
*■·
Anhand der zu dem Verfahren gehörenden Schaltungsanordnung, wie ein Beispiel in der Figur 1 zeigt, soll das Verfahren näher
beschrieben werden.
VPA 9/110/2005 - 3 -
409816/0662
Das aufzunehmende Objekt 2, z.B. die·Schmelzzone beim tiegellosen
Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes, wird von der Optik 12 einer Fernsehaufnahmekamera 1 auf das Vidikon 13
der Fernsehröhre 14 in der Aufnahmekamera 1 projiziert. Das
Vidikon 13 wird von dem von einer Kathode 15 ausgehenden
Elektronenstrahl 16 zeilenweise abgetastet. Um den Elektronenstrahl 16 längs der jeweils hierbei eingestellten Zeile auf
dem Vidikon 13 zu führen, ist eine Horizontal-Ablenkspule 11 vorgesehen.
Der Elektronenstrahl 16 ist Bestandteil eines (im einzelnen nicht weiter dargestellten) elektrischen Stromkreises, ,der
auf eine Bildsignal-Verarbeitungsschaltung 3 arbeitet, anhand
deren die weitere Auswertung des Bildes des Objektes 2 vorgenommen
wird. Für die Erzeugung des Horizontalablenkstromes in der Horizontal-Ablenkspule 11 ist ein Sägezahngenerator 4
vorgesehen, welcher über die Horizontal-Ablenkspule 11 der
Bildaufnahmeröhre 13 die Horizontal-Ablenkung des Elektronenstrahles
16 innerhalb der einzelnen Abtastzeilen bewirkt.
Um nun einen dem Strpm in der Ablenkspule 11 proportionalen
Meßwert zu gewinnen, ist ein Widerstand 5 in den Kreis des Horizontal-Ablenkstromes geschaltet. Der Spannungsabfall an
diesem Widerstand 5 ist proportional dem Ablenkstrom in der Horizontal-Ablenkspule 11. Diese sägezahnförmig verlaufende
Spannung längs des Widerstandes 5 wird einem Verstärker 6 zugeführt
und gelangt anschließend in einen Meßgleichrichter Durch Spitzenwert-Gleichrichtung im Itfeßgleichrichter 7,gewinnt
man dann eine dem Spitzenwert des Ablenkstromes proportionale Gleichspannung, die dann als Meßgröße für den Regelvorgäng
dient. Diese Meßgleichspannung wird mit der von einem Sollwertgeber
8 erzeugten Sollspannung verglichen. Die Sollspannung
VPA 9/110/2005 -A-
409816/0662
kann zur Änderung des Umsetz-Maßstabes der opto-elektronischen
Bildwandlung auf verschiedene Werte eingestellt werden. Die aus dem Vergleich zwischen Sollwert und Meßspannung resultierende
Differenzspannung wird in einem Regelveratärker 9
verstärkt, an dessen Ausgang eine Regelspannung entsteht, die zur Regelung der Amplitude der Sägezahnspannung im Sägezahngenerator
4 unter Verwendung "bekannter, in der Zeichnung nicht
dargestellter Schaltungsmittel verwendet wird. Es wird also durch die vom Regler 9 abgegebene Regelspannung die Amplitude
des von dem Generator 4 abgegebenen sägezahnförmig verlaufenden Stromes auf einen den jeweils gestellten Anforderungen entsprechenden
konstanten Wert eingeregelt.
Die Amplitude des Sägezahnstromes kann bei Ausfall der Regeleinrichtung
auch von Hand eingestellt werden. Hierzu dient der Umschalter 10.
2 Patentansprüche
1 Figur
1 Figur
VPA 9/110/2005 - 5 -
409816/0662
Claims (2)
1. Verfahren zur Stabilisierung des ümsetzmaßstabes der optoelektrischen
Bildwandlüng bei Verwendung einer Fernsehkamera zu Meßzwecken, dadurch gekennzeichnet
, daß der Horizontalablenkstrom für den
. das Abbild des Objektes auf der fotoempfindlichen Schicht
der Aufnahmeröhre der fernsehkamera abtastenden Elektronenstrahl
auf konstante Amplitude geregelt wird.
» ■
2. Schaltungsanordnung zum Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Stromkreis
des Horizontalablenkstromes einer Fernsehbildröhre eine Meßvorrichtung, die eine der Amplitude des Horizontalablenkstromes
proportionale Gleichspannung liefert, geschaltet ist, daß die Differenz der Gleichspannung mit dem
zur Änderung des Umsetzmaßstabes einstellbaren Sollwerx
' verglichen und verstärkt wird, und daß der Ausgang des Verstärkers
derart mit dem Sägezahngenerator verbunden ist, daß. die Amplitude der Sageζannspannung auf einen konstanten
Wert geregelt wird.
VPA 9/110/2005 '■ "
.409816/06 6 2-
Leerseite
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2250721A DE2250721C3 (de) | 1972-10-16 | 1972-10-16 | Vorrichtung zum tiegellosen Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes mit einer die Schmelzzone überwachenden Fernsehkamera |
BE128973A BE796997A (fr) | 1972-10-16 | 1973-03-19 | Procede de reglage a une amplitude constante, du courant de deviation horizontale d'une camera de television |
GB2766773A GB1440123A (en) | 1972-10-16 | 1973-06-11 | Television camera measuring devices |
NL7311952A NL7311952A (de) | 1972-10-16 | 1973-08-30 | |
US05/403,555 US3944737A (en) | 1972-10-16 | 1973-10-04 | Television camera measuring devices |
JP11433573A JPS5528459B2 (de) | 1972-10-16 | 1973-10-11 | |
SU1978151A SU518169A3 (ru) | 1972-10-16 | 1973-10-12 | Телевизионное устройство дл контрол зоны плавки полупроводниковых материалов |
FR7336706A FR2203241B1 (de) | 1972-10-16 | 1973-10-15 | |
DD174060A DD108019A5 (de) | 1972-10-16 | 1973-10-15 | |
PL1973165867A PL89437B1 (de) | 1972-10-16 | 1973-10-15 | |
IT30112/73A IT1006101B (it) | 1972-10-16 | 1973-10-15 | Disposizione circuitale per regolare ad ampiezza costante la corrente di deflessione orizzon tale di una telecamera che viene impiegata come dispositivo di misurazione |
HK263/77A HK26377A (en) | 1972-10-16 | 1977-06-02 | Improvements in or relating to television camera measuring devices |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2250721A DE2250721C3 (de) | 1972-10-16 | 1972-10-16 | Vorrichtung zum tiegellosen Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes mit einer die Schmelzzone überwachenden Fernsehkamera |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2250721A1 true DE2250721A1 (de) | 1974-04-18 |
DE2250721B2 DE2250721B2 (de) | 1977-09-29 |
DE2250721C3 DE2250721C3 (de) | 1978-05-18 |
Family
ID=5859195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2250721A Expired DE2250721C3 (de) | 1972-10-16 | 1972-10-16 | Vorrichtung zum tiegellosen Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes mit einer die Schmelzzone überwachenden Fernsehkamera |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3944737A (de) |
JP (1) | JPS5528459B2 (de) |
BE (1) | BE796997A (de) |
DD (1) | DD108019A5 (de) |
DE (1) | DE2250721C3 (de) |
FR (1) | FR2203241B1 (de) |
GB (1) | GB1440123A (de) |
HK (1) | HK26377A (de) |
IT (1) | IT1006101B (de) |
NL (1) | NL7311952A (de) |
PL (1) | PL89437B1 (de) |
SU (1) | SU518169A3 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4287506A (en) * | 1978-12-22 | 1981-09-01 | Raytheon Company | Voltage generator with self-contained performance monitor |
US4673986A (en) * | 1982-11-23 | 1987-06-16 | Tektronix, Inc. | Image distortion correction method and apparatus |
JPS59213373A (ja) * | 1983-05-19 | 1984-12-03 | Tookiyoo Menki:Kk | 麺生地等の混練方法及び混練装置 |
JPS60251777A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-12 | Sony Corp | 垂直偏向信号の振幅検出回路 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE631568A (de) * | 1962-04-27 | |||
US3598963A (en) * | 1966-06-10 | 1971-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Curve reader |
-
1972
- 1972-10-16 DE DE2250721A patent/DE2250721C3/de not_active Expired
-
1973
- 1973-03-19 BE BE128973A patent/BE796997A/xx unknown
- 1973-06-11 GB GB2766773A patent/GB1440123A/en not_active Expired
- 1973-08-30 NL NL7311952A patent/NL7311952A/xx not_active Application Discontinuation
- 1973-10-04 US US05/403,555 patent/US3944737A/en not_active Expired - Lifetime
- 1973-10-11 JP JP11433573A patent/JPS5528459B2/ja not_active Expired
- 1973-10-12 SU SU1978151A patent/SU518169A3/ru active
- 1973-10-15 FR FR7336706A patent/FR2203241B1/fr not_active Expired
- 1973-10-15 DD DD174060A patent/DD108019A5/xx unknown
- 1973-10-15 PL PL1973165867A patent/PL89437B1/pl unknown
- 1973-10-15 IT IT30112/73A patent/IT1006101B/it active
-
1977
- 1977-06-02 HK HK263/77A patent/HK26377A/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS4974820A (de) | 1974-07-19 |
FR2203241B1 (de) | 1982-03-19 |
NL7311952A (de) | 1974-04-18 |
PL89437B1 (de) | 1976-11-30 |
DD108019A5 (de) | 1974-08-20 |
IT1006101B (it) | 1976-09-30 |
BE796997A (fr) | 1973-07-16 |
HK26377A (en) | 1977-06-10 |
DE2250721C3 (de) | 1978-05-18 |
JPS5528459B2 (de) | 1980-07-28 |
GB1440123A (en) | 1976-06-23 |
DE2250721B2 (de) | 1977-09-29 |
US3944737A (en) | 1976-03-16 |
FR2203241A1 (de) | 1974-05-10 |
SU518169A3 (ru) | 1976-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3016361C2 (de) | Einrichtung zur optischen Abstandsmessung von Oberflächen | |
DE69021275T2 (de) | SEM Vergrösserungskompensation. | |
DE3833330C2 (de) | Vorrichtung zum Erfassen eines Lichstrahls von einem optischen Speicher | |
DE1613990C3 (de) | ||
DE2029627C3 (de) | Kompensationsschaltung für eine optische Abtasteinrichtung | |
DE962940C (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung paralleler Kanten an feststehendem oder durchlaufendem Gut, vorzugsweise bandfoermigem Gut | |
DE2318023A1 (de) | Abtast-elektronenmikroskop | |
DE3032818A1 (de) | Durchstrahlungsrasterelektronenmikroskop mit automatischer strahlkorrektur | |
DE2250721A1 (de) | Verfahren zur regelung des horizontalablenkstromes einer fernsehkamera die als messeinrichtung verwendet wird, auf konstante amplitude | |
DE3534193A1 (de) | Kantenermittlungseinrichtung in einem optischen messinstrument | |
EP0014861A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Abstands- oder Dickenmessung mit einer Regelung der Richtung des Lichtstrahlbündels | |
DE2811707A1 (de) | Elektro-optische vorrichtung und verfahren zur messung eines oder mehrerer abmessungen und eines profils | |
DE1005741B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Abstandes zweier Punkte, die auf Begrenzungen eines linearen, flaechenhaften oder raeumlichen Koerpers liegen, insbesondere zur Breitenmessung von kontinuierlich durchlaufendem, bandfoermigem Gut | |
EP0014398B1 (de) | Vorrichtung zur berührungslosen Dicken- oder Abstandsmessung | |
DE2265525C2 (de) | Einrichtung zur Verfolgung eines leuchtenden Zieles | |
DE69113935T2 (de) | Detektor zur Feststellung der Position eines Lichtpunkts und optischer Kopf. | |
DE2619795C3 (de) | Verfahren und Anordnungen zur automatischen Parallaxebestimmung | |
DE3883968T2 (de) | Optischer Verschiebungsmessapparat. | |
DE3889556T2 (de) | Hochauflösendes automatisches elektronisches Brennpunktkorrekturuntersystem für Elektronenstrahllithographie. | |
DE2446318A1 (de) | Abtasteinrichtung mit einer kathodenstrahlroehre | |
WO2015131968A1 (de) | Vorrichtung zur messung der schwingungsamplitude einer kapillare eines draht-bonders | |
DE112020001272T5 (de) | Lichtprojektionsvorrichtung, damit ausgestatteter TOF-Sensor und Distanzbildgenerator | |
DE1462016C3 (de) | Schaltungsanordnung zur Kompensation des Randhelligkeitsabfalls in einer Röntgenfernseheinrichtung | |
DE3135466C1 (de) | Verfahren zur Strahlstromregelung für eine Fernsehaufnahmeröhre | |
DE2105185A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur berührungslosen Messung der Breite oder Lage eines Gegenstandes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |