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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüfsystem zum Prüfen von
integrierten Halbleiterschaltungen, und insbesondere ein wartungsfreies Halbleiterprüfsystem,
bei dem ein Benutzer des Prüfsystems
weder Maßnahmen
bzw. Wartungsarbeiten zur Verhinderung eines Versagens oder von
Fehlern im Halbleiterprüfsystem
ergreifen noch über
die Ergebnisse derartiger Wartungsarbeiten unterrichtet sein muß.
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Da
sich Komplexität
und Entwicklungsstand heutiger integrierter Halbleiterschaltungen
ständig erhöhen, werden
auch moderne Halbleiterprüfsysteme
zum Prüfen
derartiger integrierter Schaltungen immer komplexer und umfangreicher.
So weist ein zu prüfendes
Halbleiterbauteil (im folgenden mitunter als "DUT" bezeichnet)
heutzutage beispielsweise bis zu 1.000 Pins auf, was wiederum bedeutet,
daß auch ein
zum Prüfen
eines solchen DUTs verwendetes Halbleiterprüfsystem (Prüfsystem) mit 1.000 oder mehr
Prüfgerätkanälen (die
im folgenden auch als "Prüfgerätpins" bezeichnet werden)
ausgestattet sein muß.
Jeder Prüfgerätkanal umfaßt einen
Mustergenerator, einen Taktgenerator, einen Prüfwellenformatierer sowie einen
Treiber und einen Komparator, die ein gewünschtes Prüfmuster einem entsprechenden Pin
des DUT zur Leistungsbewertung am DUT-Pin jeweils gesondert zuführen.
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1 zeigt
ein Blockschaltbild eines Beispiels für ein solches Prüfsystem.
Bei diesem Beispiel ist das Prüfsystem
als eine Kombination von Basisfunktionsblöcken dargestellt, so daß nicht
jeder einzelne der genannten Prüfkanäle (Prüfgerätpins) gezeigt
ist. Das Prüfsystem gemäß 1 umfaßt einen
Arbeitsplatz 12, eine Prüfgerät-Kontrolleinheit 14,
eine Prüfeinheit 15 und
einen Prüfkopf 16 zum Prüfen eines
Bauteilprüflings 18.
Der Arbeitsplatz 12 dient als Benutzerschnittstelle und
arbeitet mit einem Betriebssystem, wie beispielsweise UNIX. Der
Arbeitsplatz 12 kann zur Bildung eines Prüfsystem-Netzwerks
mit einer Vielzahl von Prüfsystemen mit
einem Netzwerk 11 verbunden sein.
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Bei
der Prüfgerät-Kontrolleinheit 14 handelt es
sich um einen Exklusiv-Prozessor, der im Prüfsystem zur Kontrolle verschiedener
Arbeitsschritte des Prüfsystems
vorgesehen ist. Die Prüfeinheit 15 dient dazu,
dem Bauteilprüfling
ein Prüfmuster
zuzuführen und
enthält
einen Mustergenerator, einen Taktgenerator, einen Wellenformatierer
usw. Der Prüfkopf 16 umfaßt einen
Treiber zum Zuführen
eines Prüfmusters
zum Bauteilprüfling 18 mit
einer vorgegebenen Amplitude und Datenrate sowie einen Komparator zur
Ermittlung eines Ausgangssignalpegels des Bauteilprüflings 18 und
zum Vergleich des ermittelten Signals mit den SOLL-Wertdaten. Bei
einem Prüfsystem
mit dem genannten Aufbau sind für
jeden Prüfgerätpin (Prüfkanal)
eine Prüfeinheit 15 und
ein Prüfkopf 16 vorgesehen,
wobei die Anzahl der Prüfgerätpins der
Maximalzahl der Pins des Bauteilprüflings entspricht oder noch
größer ist.
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Wie
bereits erwähnt,
sind heutzutage verwendete Gesamtprüfsysteme aufgrund der komplexen
und umfangreichen Schaltungsanordnung der Prüfsysteme sehr umfangreich und
weisen eine große
Anzahl von Bestandteilen auf. Dies führt dazu, daß ein Versagen
in einem Prüfsystem
nicht vollständig
ausgeschlossen werden kann und Vorkehrungen für alle möglichen Arten von Fehlern getroffen
werden müssen.
Wenn beispielsweise in einem bestimmten Prüfgerätpin des Prüfsystems ein Defekt entdeckt
wird, während
das Prüfsystem
im Einsatz ist oder einen Selbsttest durchführt, so wird ein Wartungsprozess
durchgeführt,
bei dem gegebenenfalls der defekte Prüfgerätpin durch einen auswechselbaren
Prüfgerätpin (Zusatzprüfgerätpin) ersetzt
wird.
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Wenn
im Prüfsystem
auf diese Weise Bestandteile ersetzt werden, so ist es allerdings
nicht wünschenswert,
daß der
Benutzer des Prüfsystems hierbei
das Prüfprogramm
für das
Prüfsystem
modifizieren, ein neues, die Änderungen
im Prüfsystem
berücksichtigendes
Prüfprogramm
erstellen oder Daten über
die Änderungen
im Aufbau der Prüfsystem-Hardware
erfassen muß,
da dies für
ihn zu mühsam
wäre. Vielmehr
ist es wünschenswert,
daß der Benutzer
das Prüfsystem
in derselben Weise wie zuvor einsetzen kann, ohne sich Gedanken über mögliche durch
die Wartungsarbeiten hervorgerufene Änderungen machen zu müssen.
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Die 5 und 6 zeigen Beispiele für Schaltungen im letzten Abschinitt
des Prüfkopfs 16 und
einer mit dem Prüfkopf
verbundenen Reserveschaltung 24.
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Der
Wartungsprozeß wird
durchgeführt,
indem die defekten Pins durch Zusatzpins ersetzt werden. Die Reserveschaltung 24 umfaßt eine
Gruppe von Umschaltern zum Umschalten von den defekten Pins zu den
Zusatzpins, wobei der entsprechende Vorgang später kurz erläutert wird.
Eine genauere Beschreibung hierzu läßt sich der JP-09-178810 A desselben
Anmelders entnehmen.
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US 5 461 310 beschreibt
ein automatisches, ereignisgestütztes
Prüfsystem
mit einer „Pin Slice"-Architektur. Das
Prüfsystem
enthält
eine globale Folgesteuerung und eine Vielzahl von lokalen Abfolgesteuerungen,
wobei jedem Anschluss des Prüflings
jeweils eine lokale Abfolgesteuerung zugeordnet ist. Die lokalen
Abfolgesteuerungen erhalten von der globalen Folgesteuerung Taktsignale
und Adress-Signale, um damit aus den im „Sequencer Speicher" gespeicherten Daten
Prüfmuster
und Erwartungswerte zu erzeugen. Ferner sind für jeden Anschluss des Prüflings zwischen
den lokalen Abfolgesteuerungen und dem Prüfling Treiber-Komparator-Paare
angeordnet. Schließlich
ist das Prüfsystem mit
einer Workstation verbunden.
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Aus
der
US 5 548 525 ist
eine Pin-Zuordnung für
einen automatischen Schaltkreistester bekannt. Dabei werden mittels
einer Schaltmatrix die Tester-Ressourcen, d.h. Treiber-Komparator-Paare
für jeden
Testerkanal mit Systemanschlüssen
verbunden, die über
eine Prüflingshalterung
mit Prüfsonden den
Kontakt zum Prüfling
herstellen.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein wartungsfreies
Prüfsystem
zu beschreiben, bei dem ein Benutzer nicht über Änderungen des inneren Hardwareaufbaus
aufgrund von Wartungsarbeiten am Prüfsystem unterrichtet sein muß.
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Diese
Aufgabe wird durch ein Prüfsystem
gemäß Anspruch
1 gelöst.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung umfaßt das Prüfsystem außerdem einen als Benutzerschnittstelle
dienenden Arbeitsplatz, wobei der Benutzer zur Durchführung der
Halbleiterbauteilprüfung
durch den Arbeitsplatz im Prüfprogramm
verschiedene Prüfbedingungen
vorgibt.
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Wenn
der Benutzer die Prüfbedingungen
im Prüfprogramm
durch den Arbeitsplatz festlegt, erzeugt der Pinbelegungsumwandler
Umwandlungsdaten, durch die die vom Benutzer im Prüfprogramm spezifizierte
logische Prüfgerätpinzahl
in die entsprechende physikalische Prüfgerätpinzahl umgewandelt wird.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung muß der Benutzer
des Prüfsystems über durch
eine Wartung des Prüfsystems
hervorgerufene Änderungen
im inneren Aufbau der Hardware nicht unterrichtet sein. Für den Benutzer
ist es selbst dann nicht notwendig, das Prüfprogramm zu modifizieren oder
ein anderes Prüfprogramm
zu verwenden, wenn es durch die Wartung des Prüfsystems zu Änderungen
in dessen innerem Aufbau kommt. Außerdem werden beim erfindungsgemäßen Prüfsystem
Daten über Änderungen
der inneren Hardware oder die Wartungsgeschichte des Prüfsystems
etc. durch ein zentrales ZVE-System verwaltet, das vom Prüfsystem
gesondert vorgesehen und mit dem Prüfsystem durch die Systemüberwachungsvorrichtung
verbunden ist. Das erfindungsgemäße Prüfsystem
benötigt keine Änderungen
des Prüfprogramms
und ist außerdem
selbst bei einem Versagen im Prüfgerätpin des
Prüfsystems in
der Lage, die Bauteilprüfung
fortzusetzen, indem es den defekten Prüfgerätpin durch den Zusatzprüfgerätpin ersetzt
und die Informationen über
den Pinwechsel in der Datentafel des Pinbelegungsumwandlers speichert.
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Im
folgenden wird die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf die
beigefügte
Zeichnung näher
erläutert.
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In
der Zeichnung zeigen
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1 ein
Blockschaltbild eines Beispiels für einen grundlegenden Aufbau
eines Halbleiterprüfsystems
("Prüfsystem") gemäß dem Stand
der Technik;
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2 ein
Blockschaltbild eines Beispiels für einen grundlegenden Aufbau
des wartungsfreien Prüfsystems
gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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3 ein
Blockschaltbild eines Beispiels für die Schaltungsanordnung in
dem im erfindungsgemäßen Prüfsystem
zu verwendenden Pinbelegungsumwandler;
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4A bis 4C Schemadiagramme
von im Pinbelegungsumwandler gemäß 3 zu
speichernden Pinbelegungsdaten;
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5 ein
Blockschaltbild eines Beispiels für eine Reserveschaltung, die
im Prüfkopf
des erfindungsgemäßen Prüfsy stems
zum Ersatz eines defekten Pins durch einen Zusatzpin dient;
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6 ein
Blockschaltbild eines anderen Beispiels einer Reserveschaltung,
die im Prüfkopf
des erfindungsgemäßen Prüfsystems
zum Ersatz eines defekten Pins durch einen Zusatzpin dient.
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Im
folgenden werden Ausführungsbeispiele der
vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung
näher erläutert. Im
Blockschaltbild gemäß 2 ist
ein Beispiel eines grundlegenden Aufbaus des erfindungsgemäßen wartungsfreien
Prüfsystems
dargestellt. Heim erfindungsgemäßen Prüfsystem
ist es nicht notwendig, daß der
Benutzer in die Wartungsvorgänge
eingreift oder über
durch eine Wartung des Prüfsystems
hervorgerufene Änderungen,
beispielsweise hinsichtlich der Pinbelegung, informiert ist. Das
erfindungsgemäße wartungsfreie
Prüfsystem
gemäß 2 umfaßt einen
Arbeitsplatz 12, eine Systemüberwachungsvorrichtung (Wartungsprozessor) 26,
eine Prüfgerät-Kontrolleinheit 14,
einen Pinbelegungsumwandler 22, eine Prüfeinheit 15, einen
Prüfkopf 16 zum
Prüfen eines
Bauteilprüflings 18 und
eine am Prüfkopf
vorgesehene Reserveschaltung 24. Bei der beschriebenen
Anordnung des Prüfsystems
sind für
jeden Prüfgerätpin (Prüfkanal)
eine Prüfeinheit 15 und
ein Prüfkopf 16 vorgesehen,
wobei die Anzahl der Prüfgerätpins der
Maximalzahl der Anschlußpins
des Bauteilprüflings
entspricht oder diese noch übersteigt.
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Ähnlich wie
beim Stand der Technik gemäß 1 dient
der Arbeitsplatz 12 als Benutzerschnittstelle und ar beitet
mit einem Betriebssystem, wie beispielsweise UNIX. Der Arbeitsplatz 12 kann
zur Bildung eines eine Vielzahl von Prüfsystemen umfassenden Prüfsystem-Netzwerks
mit einem Netzwerk 11 verbunden sein. Die Systemüberwachungsvorrichtung 26 fungiert über den
Arbeitsplatz 12 durch ein spezielles Netzwerk 31 als
ein Wartungsprozessor. Der Wartungsprozessor 26 kann auch
als Schnittstelle mit einem anderen ZVE-System, etwa einem Dienstleistungsrechenzentrum,
dienen, welches die Wartungsarbeit durch den Arbeitsplatz 12 allgemein
unterstützt.
Die Systemüberwachungsvorrichtung 26 überwacht
die Daten über
die Wartungsgeschichte des Prüfsystems
und die durch Wartungsarbeiten hervorgerufenen Änderungen der Hardware (Änderungen
der Prüfgerätpinbelegung)
oder Software und liefert entsprechende Daten an das Dienstleistungsrechenzentrum.
Die Verbindung von der Systemüberwachungsvorrichtung 26 zum
Netzwerk kann durch ein Mehrzwecknetzwerk erfolgen, allerdings ist
ein spezielles Netzwerk vorzuziehen, wenn der Benutzer Wert auf
Vertraulichkeit legt.
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Bei
der Prüfgerät-Kontrolleinheit 14 handelt es
sich um einen im Prüfsystem
angeordneten Exklusiv-Prozessor zur Kontrolle verschiedener Arbeitsschritte
des Prüfsystems.
Der Pinbelegungsumwandler 22 wandelt die Pinzahlen der
Software in tatsächliche
Pinzahlen der Prüfsystemhardware
um. Wie später
noch genauer erläutert
wird, dient der Pinbelegungsumwandler 22 zur Umwandlung
der Pinzahl (logische Pinzahl) im am Arbeitsplatz vom Benutzer ausgeführten Prüfprogramm
in die tatsächliche
Pinzahl (physikalische Pinzahl) des Bauteilprüflings und der physikalischen
Pinzahl in die Pinzahl des Ersatzpins (Zusatzpinzahl), die die Pins repräsentiert,
die aufgrund des Wartungsprozesses tatsächlich zum Einsatz kommen.
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Die
Prüfeinheit 15 liefert
an den Bauteilprüfling
ein Prüfmuster.
Sie enthält
einen Mustergenerator, einen Taktgenerator, einen Wellenformatierer usw.
Der Prüfkopf 16 umfaßt Treiber
zur Zuführung eines
Prüfmusters
zum Bauteilprüfling 18 mit
einer bestimmten Amplitude und Datenrate sowie Komparatoren zur
Ermittlung eines Ausgangssignalpegels des Bauteilprüflings 18 und
zum Vergleich des ermittelten Signals mit den SOLL-Wertdaten. Die
Reserveschaltung 24 ist integral mit dem Prüfkopf 16 ausgebildet.
Wird ermittelt, daß ein
bestimmter Prüfgerätpin defekt
ist, so wird der defekte Prüfgerätpin aufgrund
der Arbeit dieser Schaltung durch den Zusatzpin ersetzt.
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Im
folgenden wird der Pinbelegungsvorgang im erfindungsgemäßen Prüfsystem
unter Bezugnahme auf die Schaltung gemäß dem in 3 dargestellten
Beispiel sowie dem Pinbelegungs-Schemadiagramm gemäß 4 näher
erläutert.
Wie bereits erwähnt,
läßt sich
die Wartung des Prüfsystems
in einfacher Weise durchführen,
indem der mit einem Problem, etwa einem Versagen, behaftete Prüfgerätpin durch
einen Reserveprüfgerätpin ersetzt
wird. Wenn eine solche Änderung
in der Prüfgerät-Hardware
auftritt, wäre
es für
den Benutzer des Prüfsystems
zu mühsam,
das Prüfprogramm
für das
Prüfsystem
zu modifizieren oder ein neues Prüfprogramm zu erstellen, das
die Änderung
im Prüfsystem
berücksichtigt.
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Beim
erfindungsgemäßen Prüfsystem
unter Verwendung eines Pinbelegungsumwandlers 22 zur Umwandlung
der Pinzahl des durch den Zusatzpin ersetzten physikalischen Pins
ist eine solche Änderung
des Prüfprogramms
nicht nötig.
Wie außerdem bereits
erwähnt
wurde, dient der erfindungsgemäße Pinbelegungsumwandler 22 auch
dazu, die logische Pinzahl des vom Benutzer am Arbeitsplatz initiierten Prüfprogramms
in die physikalische Pinzahl des Bauteilprüflings umzuwandeln.
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Die
Notwendigkeit, die physikalische Pinzahl in die Wartungs-Zusatzpinzahl
umzuwandeln, geht aus der obigen Beschreibung hervor. Im folgenden wird
noch kurz erläutert,
warum die logische Pinzahl in die physikalische Pinzahl umgewandelt
werden muß.
Eine genauere Beschreibung hierzu findet sich in der
US 6 366 109 desselben Anmelders.
Im allgemeinen werden Halbleiterchips in verschiedene Arten von
Gehäu-
sen montiert. Da die Innenverdrahtung der verschiedenen Gehäuse variiert,
weisen die Pins der Halbleiterbauteile verschiedene Pinbelegungen
auf, wenn dieselben Halbleiterchips in verschiedenen Halbleitergehäusen installiert
sind.
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Wenn
nun der Benutzer über
den Arbeitsplatz verschiedene Prüfbedingungen
im Prüfprogramm
festlegt, so spezifiziert er die logischen Pinzahlen bezüglich der
Prüfeinheiten 15 und
der Prüfköpfe 16,
wobei es sich um imaginäre
Pinzahlen der Software handelt. Wie bereits erwähnt unterscheidet sich die
Innenverdrahtung bzw. die Pinanordnung von Halbleiterprüflingen
aber sogar bei gleichartigen Halbleiterchips, sofern diese Chips
in verschiedenen Gehäusen
montiert wurden. Beim Prüfen
des Halbleiterbauteils muß daher
die im Prüfprogramm
spezifizierte logische Pinzahl in die physikalische Pinzahl umgewandelt
werden, bei der es sich um die Hardwarepinzahl handelt, welche der
tatsächlich
vorhan denen Prüfeinheit 15 und
dem Prüfkopf 16 entspricht. Der
erfindungsgemäße Pinbelegungsumwandler 22 dient
daher nicht nur zum Umwandlen der physikalischen Pinzahl in die
Pinzahl des einen defekten Pin ersetzenden Zusatzpins, sondern auch
zur Umwandlung der logischen Pinzahl in die physikalische Pinzahl.
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Beim
Beispiel gemäß 3 enthält der erfindungsgemäße Pinbelegungsumwandler 22 Pinbelegungsspeicher 40 und 42,
einen Decodierer 44 und Multiplexer 52, 54 und 56.
Zum einfacheren Verständnis
ist nur ein Satz von Multiplexern 52, 54 und 56 dargestellt,
obwohl in einem tatsächlichen
System eine der Anzahl der Prüfgerätpins entsprechende große Anzahl
von Multiplexersätzen
verwendet wird. Bei diesem Beispiel speichert der Speicher 40 die
Tafeldaten zum Umwandlen der logischen Pinzahl in die physikalischen
Pinzahl, während
der Speicher 42 die Tafeldaten für die Umwandlung der physikalischen Pinzahl
in die Zahl des tatsächlich
verwendeten Pins (Zusatzpins) speichert.
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Die
Tafeldaten können
in den Speichern 40 und 42 beispielsweise durch
den Hersteller des Prüfsystems
vor der Auslieferung des Prüfsystems
an den Benutzer abgespeichert werden. Wenn es zu einem Versagen
im Prüfsystem
kommt, nachdem dieses vom Benutzer angenommen wurde, kann ein für die Wartung
des Prüfsystems
zuständiger
Techniker die Daten zur Umwandlung der physikalischen Pinzahl in
die Zahl des tatsächlich
verwendeten Pins im Speicher 42 durch die Prüfgerät-Kontrolleinheit 14 installieren.
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Der
Benutzer des Prüfsystems
muß dementsprechend
nicht mehr die physikalische Pinzahl des zum Ersatz des de fekten
Pins im Prüfsystem
verwendeten Zusatzpins kennen und kann die verschiedenen Prüfbedingungen
im Prüfprogramm
allein auf der Grundlage der logischen Pinzahl festlegen. Beim Festlegen
der Prüfbedingungen
werden aufgrund einer Definition des Gehäusetyps des Bauteilprüflings die
entsprechenden Adreßdaten
dem Pinbelegungsumwandler 22 zugeführt, wodurch die Umwandlungstafeldaten
im Pinbelegungsspeicher 40 spezifiziert werden. Der Benutzer
muß also
die Umwandlungstafeldaten im Speicher 42 nicht selbst definieren.
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Beim
Prüfen
des Bauteilprüflings 18 durch das
Prüfsystem
werden dem Pinbelegungsumwandler 22 gemäß 3 von der
Prüfgerät-Kontrolleinheit 14 Daten 34 und
Adressen 36 zugeführt.
So dienen beispielsweise vierzehn (14) Bits des Adreßsignals 36 zur
Spezifikation der Adresse des Pinbelegungsspeichers 40.
Im Pinbelegungsspeicher 40 wird die Datentafel, beispielsweise
in der in 4A dargestellten Form, erstellt.
Beim Beispiel gemäß 4A zeigt
die linke Datenspalte die vom Benutzer beim Festlegen der Prüfbedingungen
im Prüfprogramm spezifizierte
logische Pinzahl. Die logische Pinzahl kann beispielsweise der Adreßzahl des
Speichers 40 entsprechen. Die rechte Datenspalte in 4A zeigt die
physikalische Pinzahl der Hardware im Prüfsystem, die der logischen
Pinzahl entspricht. Die physikalischen Pinzahlen sind im Speicher
entsprechend den Gehäusetypen
etc. des zu prüfenden
Bauteils bereits vorab gespeichert. Somit werden die durch das Vierzehn-Bit-Adreßsignal
spezifizierten Daten in die physikalische Pinzahl umgewandelt und
vom Speicher 40 ausgegeben.
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Beim
Beispiel gemäß 3 werden
die Ausgangsdaten vom Speicher 40 dem Speicher 42 als Adreßdaten zugeführt.
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Wie
sich 4B entnehmen läßt, zeigen
die im Speicher 42 gespeicherten Tafeldaten normalerweise
eine physikalische Pinzahl die der Pinzahl des tatsächlich verwendeten
Pins entspricht. Wenn allerdings im Prüfsystem ein Fehler auftritt
und eine Wartung durchgeführt
wird, bei der der defekte Pin durch einen Zusatzpin ersetzt wird,
so ändert
ein Dienstleistungstechniker die Daten im Speicher 42 in
der in 4C dargestellten Weise. Beim
Beispiel gemäß 4C werden
die Pinzahl 40 und alle anderen, darauffolgenden Pinzahlen
um eins verschoben, weil der physikalische Pin mit der Pinzahl 40 defekt
ist.
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Beim
Schaltungsbeispiel des Pinbelegungsumwandlers gemäß 3 wird
ein Teil des Adreßsignals 36 dem
Decodierer 44 als Auswahlbits zugeführt, um zu bestimmen, ob eine
Pinzahlumwandlung notwendig ist oder nicht. Zeigen die Auswahlbits
an, daß die
Pinzahlumwandlung notwendig ist, so aktiviert der Decodierer 44 sein
Ausgangssignal (Auswahlsignal). Das Auswahlsignal 46 wird
den Kontrolleingängen
der Multiplexer 52, 54 und 56 zugeführt, wodurch
die durch die Adreßdaten
spezifizierten Daten von den Pinbelegungsspeichern 40 und 42 der Prüfeinheit 15 und
dem Prüfkopf 16 durch
die Multiplexer zugeführt
werden. Die durch die Daten vom Pinbelegungsumwandler 22 spezifizierten
Prüfgerätpins werden
nun beim tatsächlichen
Prüfen
des Halbleiterbauteils eingesetzt.
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Die
im Pinbelegungsumwandler 22 gespeicherten Daten werden
von der Systemüberwachungsvorrichtung 26 überwacht
und beispielsweise einem ggf. vom Hersteller des Prüfsystems
zu Dienstleistungszwecken bereitgestellten ZVE-System (Dienstleistungsrechenzentrum) über das
spe zielle Netzwerk 31 zugeführt. Hierdurch erhält das Dienstleistungsrechenzentrum
zu jeder Zeit die Daten, die durch Wartungsarbeiten hervorgerufene Änderungen
in der Prüfsystemhardware
sowie die Wartungsgeschichte betreffen.
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Der
Prüfkopf 16 gemäß 5 umfaßt den jeweiligen
Prüfgerätpins zugeordnete
Treiber-Komparator-Paare 62A bis 62Z, während die
Reserveschaltung 24 Umschalter 65A bis 65N und
Umschalter 67A bis 67N umfaßt, durch die der jeweilige
Anschluß der Treiber-Komparator-Paare
geändert
werden kann. Der Bauteilprüfling 64 ist
beispielsweise auf einem Performance-Board 63 angeordnet
und seine Eingabe- und Ausgabepins sind über die Reserveschaltung 24 mit
dem Prüfkopf 16 verbunden.
Bei diesem Beispiel handelt es sich beim Treiber-Komparator 62Z um
eine Zusatzschaltung, die zu Reservezwecken vorgesehen ist. Zur
Vereinfachung der Beschreibung ist hier nur eine
einzige Zusatzschaltung dargestellt, obwohl beim Aufbau des eigentlichen Prüfsystems
eine Vielzahl solcher Schaltungen Verwendung findet.
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Bei
der Anordnung gemäß 5 kann,
sobald ein defekter Pin gefunden ist, die Pinzahl des defekten Pins
und gegebenenfalls anderer Pins, die auf diesen Pin folgen, zum
jeweils nächsten
Pin verschoben werden, wie dies dem Beispiel gemäß 4C zu
entnehmen ist. Wenn also beispielsweise der Prüfgerätpin, der dem Treiber-Komparator-Paar 62B entspricht,
defekt ist, so wird das Treiber-Komparator-Paar 62B durch
das nächste
Treiber-Komparator-Paar 62C ersetzt.
Zu diesem Zweck wird der Umschalter 65B in die "AUS"-Stellung, der Umschalter 67B in
die "EIN"-Stellung, der Umschalter 65C in die "AUS"-Stellung, der Umschalter 67C in
die "EIN"-Stellung... gebracht,
wodurch sich der Anschluß jeweils
zum nächsten
Paar verschiebt. Dies führt
dazu, daß der
defekte Prüfgerätpin durch
den Zusatzpin ersetzt wird, ohne daß es dabei zu irgendwelchen
Beeinträchtigungen
des Bauteilprüflings 64 kommt.
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Bei
der Anordnung gemäß 6 ist
jedes der Treiber-Komparator-Paare 72A bis 72Z mit
einem Treibereingabe-Umschalter
bzw. einem Komparatorausgabe-Umschalter versehen. Bei diesem Beispiel
handelt es sich beim Treiber-Komparator-Paar 72Z um eine
Zusatzschaltung zu Reservezwecken. Alle Treibereingabe-Umschalter
und Komparatorausgabe-Umschalter sind gemeinsam mit dem Zusatzpaar 72Z verbunden.
Bei diesem Beispiel wird nur das Treiber-Komparator-Paar im defekten
Prüfgerätpin durch
die Zusatzschaltung ersetzt. Wenn beispielsweise der das Treiber-Komparator-Paar 72B enthaltende
Prüfgerätpin defekt
ist, so wird der Umschalter 75B auf "AUS" gestellt,
während
der Umschalter 77B auf "EIN" gestellt wird, wodurch
das Treiber-Komparator-Paar 72B durch das Zusatzpaar 72Z ersetzt
wird.
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Wie
bereits erwähnt,
muß der
Benutzer des erfindungsgemäßen Prüfsystems über Änderungen des
inneren Aufbaus der Hardware aufgrund von am Prüfsystem durchgeführten Wartungsarbeiten
nicht informiert sein. Der Benutzer muß auch dann das Prüfprogramm
nicht modifizieren oder ein anderes Prüfprogramm benutzen, wenn es
aufgrund einer Prüfsystemwartung
zu Änderungen
der inneren Struktur des Prüfsystems
kommt. Außerdem
werden beim erfindungsgemäßen Prüfsystem
die Daten über Änderungen
der internen Hardware bzw. die Wartungsgeschichte des Prüfsystems
etc. durch das zentrale ZVE-System verwaltet, das vom Prüfsystem getrennt
vorgesehen und mit dem Prüfsystem
durch die Systemüberwachungsvorrichtung
verbunden ist. Das erfindungsgemäße Prüfsystem
benötigt
keine Änderungen
des Prüfprogramms
und ist in der Lage, die Bauteilprüfung auch dann fortzusetzen,
wenn es zu einem Versagen in einem Prüfgerätpin im Prüfsystem kommt, indem es den
defekten Prüfgerätpin durch
den Zusatzpin ersetzt und die Informationen über die Pinänderung in der Datentafel des
Pinbelegungsumwandlers speichert.