DE19616402A1 - Vorrichtung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter.

Vorrichtungen dieser Art sind beispielsweise aus der US-PS 5 275 184 oder der auf dieselbe Anmelderin zurück­ gehenden DE-A-44 13 077 bekannt, bei der ein Fluid über eine Einlaßöffnung bzw. einen Diffusor in das Fluid-Bec­ ken eingeleitet und über einen Überlauf am oberen Ende aus ihm ausströmt. Bei Verwendung einer einzigen Zuström­ öffnung am Boden des Fluidbehälters ist die pro Zeitein­ heit einströmende Menge sowie die Geschwindigkeit des einströmenden Fluids begrenzt. Insbesondere ist es damit nicht möglich, im Behälter gleichmäßige Strömunasverhält­ nisse zu erreichen, um die im Fluid-Becken zu behandeln­ den Substrate oder Wafer über die gesamte Substratbreite oder -fläche hinweg gleichmäßig mit dem Fluid zu beauf­ schlagen bzw. zu umspülen. Bei Verwendung eines Diffusors ist es zwar möglich, das einströmende Fluid im Fluid-Be­ hälter besser über die Fluidfläche hinweg zu verteilen, die pro Zeiteinheit einströmende Fluid-Menge und insbe­ sondere auch die Einströmgeschwindigkeit des Fluids ist bei der Verwendung von Diffusoren aber stark beschränkt.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vor­ richtung zur Behandlung von Substraten in einem Fluid-Be­ hälter zu schaffen, die optimale Strömungsverhältnisse im Fluid-Behälter ermöglicht und große Umwälz- bzw. Fließge­ schwindigkeiten zuläßt.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Dü­ sensystem mit mehreren Düsen zum Einlassen eines Fluids gelöst. Aufgrund mehrerer Düsen ist es möglich, das Fluid mit den gewünschten Strömungsverhältnissen bzw. zum Er­ reichen gewünschter Strömungsverhältnisse im Fluid-Behäl­ ter einströmen zu lassen, so daß der gesamte zu behan­ delnde Substratbereich gleichmäßig von dem Fluid umspült und beaufschlagt wird. Durch die Verwendung von Düsen zur Einleitung des Fluids ist es auch möglich, das Fluid mit hohen Einströmgeschwindigkeiten und hohen Durchflußmengen pro Zeiteinheit in den Fluid-Behälter einzubringen und in ihm strömen zu lassen, so daß bei Aufrechterhaltung eines laminaren Stromes extrem hohe Fließgeschwindigkeiten er­ reicht werden. Dadurch wird nicht nur die Behandlung der Substrate verbessert, sondern auch der Behandlungsvorgang verkürzt, so daß die Produktivität der Vorrichtung erhöht wird.

Gemäß besonders vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfin­ dung weisen wenigstens einige Düsen unterschiedliche Ab­ strahlwinkel auf. Die Abstrahlformen der Düsen können vorzugsweise kegelförmig, aber auch fächerförmig sein, so daß die Einleitung des Fluids je nach den Gegebenheiten des Einzelfalles und der Lage der Düsen im Hinblick auf eine gleichmäßige, laminare Strömung im Fluid-Behälter und eine gleichmäßige Beaufschlagung der Substrate mit dem Fluid optimierbar ist.

Die Düsen sind vorzugsweise auf dem Boden des Fluid-Be­ hälters und gemäß einer besonders vorteilhaften Ausfüh­ rungsform matrixartig verteilt auf dem Boden des Behäl­ ters angeordnet. Auf diese Weise ergibt sich eine gleich­ mäßige Verteilung der Fluid-Zufuhr über die gesamte Flä­ che des Fluid-Behälters hinweg und insbesondere ist es auch möglich, in den Randbereichen optimale Strömungsver­ hältnisse zu schaffen.

Die Düsen sind vorteilhafterweise zu Düsengruppen zusam­ mengefaßt, die vorzugsweise an unterschiedlichen Bodenbe­ reichen des Behälters angeordnet sind. Vorteilhaft ist es, wenn eine Düsengruppe im mittleren Bereich und je­ weils eine Düsengruppe in den beiden Außenbereichen vor­ gesehen ist, wobei die Dichte und Anzahl der Düsen in den einzelnen Bereichen unterschiedlich gewählt sein kann. Vorteilhaft ist es auch, wenn die einzelnen Düsen und/oder Düsengruppen voneinander getrennte Fluid-Versor­ gungseinrichtungen aufweisen, so daß die Düsen mit unter­ schiedlichem Fluid-Druck beaufschlagbar sind.

Gemäß einer sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfin­ dung ist unter dem Boden des Fluid-Behälters ein Fluid-Zuführraum vorgesehen, mit dem die Düsen in Verbindung stehen. Dabei ist der Fluid-Zuführraum gemäß einer weite­ ren Ausführungsform der Erfindung in Teilräume für ein­ zelne Düsen und/oder Düsengruppen unterteilt.

Der Fluid-Zuführraum unterhalb des Behälter-Bodens ist vorzugsweise in Form eines Zwischenraums zwischen einem doppelten Boden ausgebildet.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Er­ findung sind zusätzlich zu den Düsen Freispül-Öffnungen zum Freispülen der Düsen vorgesehen, die vorteilhafter­ weise ebenfalls matrixförmig angeordnet sind und sich zwischen den Düsen befinden. Auf diese Weise ist es mög­ lich, auch die Zwischenräume zwischen den Düsen und die toten Winkel freizuspülen. Die Freispül-Öffnungen stehen dabei vorteilhafterweise ebenfalls wie die Düsen mit dem darunterliegenden Fluid-Zuführraum in Verbindung.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist der Boden des Fluid-Behälters geneigt, vorzugsweise fällt der Boden jeweils zur Mitte, etwa zu einer Mittellinie oder zu einem Mittelpunkt des Fluid-Be­ hälters hin ab. Auf diese Weise kann der Fluid-Behälter bei Ablassen des Fluids nach unten schnell und vollstän­ dig entleert werden.

Zum schnellen Ablassen des Fluids ist im Fluid-Behälter, und dort insbesondere in der Mitte bzw. in der Mittelli­ nie, eine verschließbare Öffnung vorgesehen, die einen großen Durchmesser aufweist. Im Falle eines Stromausfalls oder einer sonstigen Unregelmäßigkeit, aber auch im Zu­ sammenhang mit gängigen Verfahrensschritten ist es auf diese Weise möglich, die im Fluid-Behälter befindlichen Substrate schnell von dem Behandlungs-Medium, beispiels­ weise ätzenden Substanzen, zu befreien. Zur Aufnahme des schnell abgelassenen Fluids ist vorzugsweise unterhalb des Fluidbeckens ein Auffangbehälter vorgesehen.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin, zusätzlich zu oder statt den Düsen auf dem Behälter-Boden Düsen an den Seitenwänden des Fluid-Behälters vorzusehen, um auf diese Weise auch seitlich oder im Bereich des Übergangs des Fluid-Bodens zu den Seitenwänden Fluid in den Fluid-Behälter einzuleiten, damit die Strömungsver­ hältnisse weiter verbessert oder dadurch das Umwälzvolu­ men erhöht werden bzw. wird.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind Düsen und/oder Düsengruppen für unter­ schiedliche Fluids vorgesehen. Die einzelnen Düsen und/oder Düsengruppen für unterschiedliche Gruppen sind dabei auch hinsichtlich der Zuleitungen und Pumpen von­ einander getrennt, so daß die unterschiedlichen Fluids, etwa unterschiedliche Chemikalien, durch Düsen- und/oder Düsengruppen eingeleitet werden, die den Chemikalien zu­ geordnet sind. Auf diese Weise ist ein Fluid-Wechsel schnell und ohne die Gefahr einer Vermischung möglich, da an die jeweiligen Düsen immer nur die diesen Düsen zuge­ ordneten Fluids gelangen.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung werden zusätzlich zu den über die Düsen eingeleiteten Fluids weitere Fluids, beispielsweise zu­ sätzliche Chemikalien, Gase, Ozon, Wasser usw. in den Fluid-Behälter eingeleitet. Insbesondere zur zusätzlichen Einleitung von Chemikalien, Gasen, Ozon oder Wasser ist im Fluid-Behälter wenigstens ein Diffusor vorgesehen.

Sehr vorteilhaft ist auch eine Ausführungsform der Erfin­ dung, bei der Sprühdüsen im oberen Bereich des Fluid-Be­ hälters, etwa an den Seitenwänden angeordnet sind, die zur Reinigung des Fluid-Behälters und/oder dazu dienen, die Substrate zwischen unterschiedlichen im selben Fluid-Behälter ablaufenden Verfahren, etwa zwischen dem Ätzpro­ zeß, dem Reinigungsprozeß und dem Trocknungsvorgang zu befeuchten bzw. naß zu halten. Vorzugsweise werden hier­ für Aerosole, Wasser, sonstige Chemikaliendämpfe einge­ sprüht, oder auch Fluids die auch von unten in die Fluid-Behälter eingeleitet werden.

Die gestellte Aufgabe wird sowohl im Zusammenhang mit den zuvor beschriebenen Merkmalen als auch unabhängig davon weiterhin dadurch gelöst, daß der Fluid-Behälter eine Substrat-Aufnahmevorrichtung aufweist, die drei Halte­ rungsbereiche für die Halterung der Substrate umfaßt. Durch die Halterung der Substrate an drei Stellen ist ei­ ne definierte Lage der Substrate sichergestellt, ohne daß Führungen im Fluid-Becken erforderlich sind. Die Substrat-Aufnahmevorrichtung ist vorzugsweise anheb- und absenkbar. Vorteilhaft ist es dabei, wenn wenigstens ein Halterungsbereich ein messerartiger Steg ist, der quer zur Steglängsrichtung Schlitze zur Aufnahme der Substrat-Randbereiche aufweist. Vorzugsweise ist wenigstens ein Halterungsbereich relativ gegenüber wenigstens einem an­ deren Halterungsbereich in senkrechter Richtung bewegbar. Um Wiederholungen zu vermeiden, wird bezüglich dieses Merkmals auf die nicht vorveröffentlichte DE-A-196 15 108 und DE-A-195 46 990 derselben Anmelderin verwiesen, die zur Vermeidung von Wiederholungen insofern zum Gegenstand der vorliegenden Anmeldung gemacht werden.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Substrat-Aufnahmevorrichtung nur einen Halterungsbereich, etwa einen messerartigen Steg auf, wobei in bzw. auf der Innenfläche wenigstens einer Seitenwand des Fluid-Behälters Führungen für die Substrate vorgesehen sind. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß im Fluid-Becken für die Substrat-Aufnahme­ vorrichtung kein oder nur ein geringer Raumbedarf be­ steht, so daß das Behälter-Volumen und damit das Chemika­ lien-Volumen klein bleibt und die Prozeßkosten, die in erheblichem Maße vom Verbrauch der Chemikalien abhängen, kleingehalten werden können. Die Führungen werden durch Schlitze, vorzugsweise jedoch durch Stege, Stifte und/oder Noppen gebildet, die gegenüber Schlitzen den Vorteil haben, daß sie einfacher und schneller gesäubert und - falls erforderlich - getrocknet werden können. Beim Verdrängen eines Fluids durch ein anderes oder beim Um­ füllen des Fluid-Behälters bleibt in den Schlitzen rela­ tiv viel Fluid haften und verunreinigt das nachfolgend eingeleitete Fluid.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weisen die Innenflächen der Seitenwände des Fluid-Behälters Bereiche ohne Führungen auf. Ohne die si­ chere Führung und Halterung der Substrate im Fluid-Behäl­ ter zum Beeinträchtigen sind die Bereiche der Innenflä­ chen ohne Führungen zu den Bereichen der Innenflächen mit Führungen versetzt angeordnet. Wenn beispielsweise in ei­ nem Bereich der Innenfläche Führungen vorgesehen sind, sind Führungen auf der gegenüberliegenden Innenfläche nicht erforderlich, da Führungen auf einer Seite ausrei­ chen. An den führungsfreien Bereichen der Innenflächen sind vorzugsweise Einlaßöffnungen, Sprühdüsen, Diffuso­ ren, Ultraviolett-Lichtquellen und/oder Megasonic-Ab­ strahlvorrichtungen vorgesehen.

Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, eine über das Fluid-Becken bringbare Haube zu verwenden, die vorzugsweise wenigstens eine Fluid-Ein­ laßöffnung, insbesondere zum Einlassen eines Fluids für den Trocknungsvorgang nach dem MARANGONI-Prinzip, auf­ weist. Um Wiederholungen zu dieser Ausführungsform zu vermeiden, wird insbesondere auf die DE-A-44 13 077 sowie die nicht vorveröffentlichten, auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden DE-A-195 00 239, DE-A-196 15 108 und DE-A- . . . . . . . . . . . . . . . . . . , angemeldet am 22. April 1996, verwiesen, die insofern zum Gegenstand der vorliegenden Anmeldung gemacht werden.

Vorteilhaft ist weiterhin die Verwendung einer Heiz- und/oder Kühleinrichtung zum Erwärmen und/oder Kühlen des Fluids im Fluid-Behälter, mit der die Fluid-Temperatur auf einen wählbaren, optimalen Wert einstellbar ist. Auch ist die Verwendung einer Ultraviolett-Lichtquelle vor­ teilhaft, die am Boden und/oder an den Seitenwänden des Fluid-Behälters angeordnet ist.

Eine weitere vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung be­ steht darin, einen Substrat-Niederhalter etwa in Form ei­ ner Halteleiste vorzusehen, die auf den oberen Randbe­ reich der Substrate auflegbar ist. Um Wiederholungen hierzu zu vermeiden, wird auf die auf dieselbe Anmelderin zurückgehende DE-A- . . . . . . . . . . . , angemeldet am 22. April 1996, verwiesen, die insofern zum Inhalt der vorliegenden Anmeldung gemacht wird.

Vorteilhaft ist weiterhin eine Magasonic-Abstrahlvorrich­ tung, die vorzugsweise in Form eines Megasonic-Trans­ ducers im Fluid-Behälter integriert ist bzw. sind. Ein vorteilhafter Anbringungsort ist dafür die vom Boden und den Seitenwänden gebildeten Ecken des Fluid-Behälters, wobei die Abstrahlrichtung bezüglich der Horizontalen vorzugsweise 45° beträgt.

Da mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung der Behälter sehr schnell gefüllt werden kann, und eine starke Düsen­ wirkung beim Einbringen des Fluids in den Behälter auf­ tritt, ist insbesondere eine Vorrichtung zum Abdecken des Fluid-Behälters vorteilhaft, die verhindert, daß Fluid in Form von Spritzern in eine vorhandene Haube gelangt, die vorzugsweise für den Trocknungsvorgang eingesetzt wird.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist vorzugsweise mit ei­ ner Fluid-Aufbereitungseinrichtung verbunden, in der Fluids oder Fluidmischungen aufgefangen und aufbereitet werden, so daß sie wiederverwendet werden können und vor­ zugsweise in den Fluid-Behälter rückgeführt werden.

Vorteilhaft ist weiterhin eine Trenn-Anlage, in der die in der Abluft enthaltenen alkalischen und Säuredämpfe ge­ trennt werden.

Insbesondere für die Behandlungs- und Spülvorgänge ist es vorteilhaft, wenn die Substrate im Fluid-Behälter gedreht werden können. Dafür ist vorzugsweise eine Vorrichtung vorgesehen, die die Substrate im Fluid-Behälter dreht.

Es ist vorteilhaft, die Fluids bei der Verwendung von Fluid-Mischungen vor dem Einbringen in den Fluid-Behälter vorzumischen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Querschnitt,

Fig. 2 die in der Fig. 1 gezeigte Vorrichtung in Aufsicht bzw. mit Blickrichtung von oben in den Fluid-Behälter, und

Fig. 3 einen Querschnitt entlang einer Querschnitts­ fläche, die gegenüber der Querschnittsfläche der in Fig. 1 gezeigten Darstellung um 90° gedreht ist.

Wie aus den Figuren ersichtlich ist, weist der Fluid-Be­ hälter 1 der erfindungsgemäßen Vorrichtung einen Boden 2 und Seitenwände 3 auf. Auf den in Fig. 1 gegenüberlie­ genden Seitenwänden 3 sind Schlitze 4 vorgesehen, in de­ nen Substrat-Scheiben 5 geführt sind, und die auf einer Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 stehen, die mittels einer nicht dargestellten Antriebsvorrichtung in vertikaler Richtung beweglich ist und die Wafer 5 in den Fluid-Be­ hälter 1 absenkt und aus ihm herausfährt. Die Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 besteht bei dem dargestellten Aus­ führungsbeispiel aus einem messerartigen Steg mit Schlit­ zen oder Kerben, die entsprechend dem Abstand zwischen den Führungsschlitzen 4 in den einander gegenüberliegen­ den Seitenwänden 3 beabstandet sind.

Wie am besten aus Fig. 1 ersichtlich ist, ist der Boden 2 auf beiden Seiten einer Mittellinie nach innen geneigt, so daß ein Fluid bei Entleerung des Behälters 1 in der Mitte nach unten ausströmt.

Der Boden 2 weist eine Vielzahl von Düsen 7 auf, die ma­ trixförmig angeordnet sind, wie dies am besten aus Fig. 3 zu ersehen ist. Die Düsen weisen unterschiedliche Dü­ senaustritts- bzw. Abstrahlwinkel 8, 9 auf, wie dies in Fig. 1 eingezeichnet ist. Aufgrund der unterschiedlichen Abstrahlwinkel bzw. aufgrund der unterschiedlichen Ab­ strahlformen ergibt sich eine gute, gleichmäßige laminare Strömung über das gesamte Fluid-Behälterprofil hinweg und die Substrate 5 werden über die gesamte Breite hinweg gleichmäßig mit dem aus den Düsen 7 austretenden Fluid beaufschlagt.

Aus Fig. 1 ist ersichtlich, daß unterhalb des Bodens 2 Hohlräume 12, 13, 14, 15 ausgebildet sind, die nach unten durch eine Abschlußplatte 16 abgeschlossen sind. Über die Hohlräume 12 bis 15 wird das Fluid den mit den jeweiligen Hohlräumen in Verbindung stehenden Düsen 7 zugeleitet.

Zwischen den Düsen 7 sind im Boden 2 Freispül-Öffnungen 18 vorgesehen, die entsprechend Fig. 2 ebenfalls matrix­ förmig auf dem Boden 2 des Fluid-Behälters 1 verteilt sind. Die Freispül-Öffnungen 18 spülen die Bereiche des Bodens 2 zwischen den Düsen 7 frei und stehen ebenfalls für die Fluid-Zufuhr mit entsprechenden Fluid-Zuführräu­ men 12 bis 15 unterhalb des Bodens 2 in Verbindung.

Wie Fig. 1 zeigt, ist in der Mitte des Bodens 2 eine Öffnung 19 für das schnelle Ablassen des im Fluid-Behäl­ ter 1 befindlichen Fluids vorgesehen, etwa dann, wenn Stromausfall eintritt und/oder die sich im Fluid-Behälter 1 befindenden Substrate 5 schnell aus der Fluid-Umgebung, beispielsweise einem Ätz-Medium, befreit werden müssen. Bei Öffnen eines Verschlusses 20 wird das Fluid innerhalb eines kleinen Zeitraums in einen nicht dargestellten, un­ ter dem Fluid-Behälter 1 angeordneten Auffangbehälter entleert.

Die Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 befindet sich im Be­ reich oberhalb des Verschlusses 20 teilweise innerhalb des Bodens 2 und ragt nur zu einem geringen Teil über die Düsenöffnungen nach oben hinaus. Dadurch ist innerhalb des Fluid-Behälters 1 nur wenig zusätzlicher Raum für die Substrat-Aufnahmevorrichtung erforderlich, so daß das Fluid-Volumen im Fluid-Behälter 1 klein gehalten werden kann.

Auf der Oberseite der Seitenwände 3 befinden sich Über­ lauf-Öffnungen 21, über die das von unten einströmende Fluid abfließt.

Die Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Aus­ führungsbeispiels erläutert. Dem Fachmann sind jedoch zahlreiche Abwandlungen und Ausgestaltungen möglich, ohne daß dadurch der Erfindungsgedanke verlassen wird. Bei­ spielsweise ist über dem Fluid-Behälter 1 eine Haube an­ bringbar, oder es sind an den Seitenwänden 3 des Fluid-Behälters 1, beispielsweise im oberen Bereich, Sprühdüsen zum Reinigen des Beckens oder zum Besprühen der Substrate 5 zwischen den einzelnen Verfahrensschritten und Behand­ lungsprozessen vorgesehen. Auch ist der Einsatz von Me­ gasonic-Transducern, von Ultraviolett-Lichtquellen oder von Vorrichtungen zum Drehen der Wafer 5 im Fluid-Behäl­ ter 1 möglich, wie dies zuvor bereits beschrieben wurde.

Claims (50)

1. Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (5) in ei­ nem Fluid-Behälter (1), gekennzeichnet durch ein Dü­ sensystem mit mehreren Düsen (7) zum Einleiten eines Fluids.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einige Düsen (7) unterschiedliche Ab­ strahlwinkel (8, 9) aufweisen (Fig. 1).

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß wenigstens eine Düse (7) eine fächer­ förmige Abstrahlform aufweist.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Düse (7) eine kegelförmige Abstrahlform aufweist.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (7) auf dem Boden (2) des Fluid-Behälters (1) angeordnet sind (Fig. 1).

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (7) matrixför­ mig verteilt auf dem Behälter-Boden (2) angeordnet sind (Fig. 1).

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (7) zu Düsen­ gruppen zusammengefaßt sind.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsengruppen an un­ terschiedlichen Boden-Bereichen des Fluid-Behälters (1) angeordnet sind.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Düsengruppe im mittleren Bereich und jeweils eine Düsengruppe in den bei den Außenbereichen des Bodens (2) vorgesehen ist (Fig. 2).

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Düsen (7) und/oder einzelne Düsengruppen voneinander getrennte Fluid-Versorgungseinrichtungen aufweisen.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß unter dem Boden (2) des Fluid-Behälters (1) ein Fluid-Zuführraum (12, 13, 14, 15) vorgesehen ist, mit dem die Düsen (7) in Verbindung stehen (Fig. 1).

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich­ net, daß der Fluid-Zuführraum in Fluid-Teilräume (12, 13, 14, 15) für einzelne Düsen (7) und/oder Dü­ sengruppen unterteilt ist (Fig. 1).

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Fluid-Zuführraum (12, 13, 14, 15) durch einen Zwischenraum zwischen einem doppel­ ten Boden (2, 16) gebildet ist (Fig. 1).

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Freispül-Öffnungen (18) zum Freispülen der Düsen (7) vorgesehen sind (Fig. 1).

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß die Freispül-Öffnungen (8) matrixförmig verteilt auf dem Boden (2) des Fluid-Behälters (1) angeordnet sind (Fig. 1).

16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Freispül-Öffnungen (18) zwi­ schen den Düsen (7) angeordnet sind (Fig. 1).

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, da­ durch gekennzeichnet, daß die Freispül-Öffnungen (18) mit dem darunterliegenden Fluid-Zuführraum (12, 13, 14, 15) in Verbindung stehen (Fig. 1).

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden des Fluid-Be­ hälters (1) geneigt ist (Fig. 1).

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich­ net, daß der Boden (2) jeweils zur Mitte des Fluid-Behälters (1) hin abfällt (Fig. 1).

20. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch-eine Öffnung (19) zum schnellen Ablassen des Fluids aus dem Fluid-Behälter (1) (Fig. 1).

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch einen Auffangbehälter unterhalb des Fluid-Behälters (1) für das schnelle Ablassen des Fluids.

22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Düsen (7) an den Seiten­ wänden (3) des Fluid-Behälters (1) vorgesehen sind.

23. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (7) und/oder Düsengruppen für unterschiedliche Fluids vorgesehen sind.

24. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich­ net, daß Zuleitungen zu den für unterschiedliche Fluids vorgesehene Düsen (7) und/oder Düsengruppen jeweils getrennt voneinander vorgesehen sind.

25. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzliche Fluids in den Fluid-Behälter (1) eingeleitet werden.

26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeich­ net, daß die zusätzlichen Fluids Chemikalien, Gase, Ozon und/oder Wasser sind.

27. Vorrichtung nach Anspruch 25 oder 26, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die zusätzlichen Fluids über we­ nigstens einen Diffusor eingeleitet werden.

28. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Sprühdüsen, die an den Seiten­ wänden vorzugsweise im oberen Bereich des Fluid-Be­ hälters (1) angeordnet sind.

29. Vorrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeich­ net, daß die Sprühdüsen zum Einsprühen von Chemika­ lien zwischen den einzelnen Behandlungsschritten vorgesehen sind.

30. Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (3) in ei­ nem Fluid-Behälter (1), der eine Substrat-Aufnahme­ vorrichtung (6) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Substrat-Aufnahmevorrichtung (6) drei Halte­ rungsbereiche für die Halterung der Substrate (5) aufweist.

31. Vorrichtung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeich­ net, daß die Substrat-Aufnahmevorrichtung (6) anheb- und absenkbar ist.

32. Vorrichtung nach Anspruch 30 oder 31, dadurch ge­ kennzeichnet, daß wenigstens ein Halterungsbereich ein messerartiger Steg ist, der quer zur Steglängs­ richtung Schlitze zur Aufnahme der Substrat-Randbe­ reiche aufweist.

33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 30 bis 32, da­ durch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Halterungs­ bereich relativ gegenüber wenigstens einem anderen Halterungsbereich in senkrechter Richtung bewegbar ist.

34. Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (5) in ei­ nem Fluid-Behälter (1), der eine Substrat-Aufnahme­ vorrichtung (6) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Substrat-Aufnahmevorrichtung (6) einen Hal­ terungsbereich aufweist, und daß im bzw. auf der In­ nenfläche wenigstens einer Seitenwand (3) des Fluid-Behälters (1) Führungen (4) für die Substrate (5) vorgesehen sind (Fig. 1).

35. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeich­ net, daß die Führungen durch Schlitze, Stege, Stifte und/oder Noppen gebildet sind.

36. Vorrichtung nach Anspruch 34 oder 35, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Innenflächen der Seitenwände (3) des Fluid-Beckens (1) Bereiche ohne Führungen aufweisen.

37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 34 bis 36, da­ durch gekennzeichnet, daß die Bereiche der Innenflä­ chen ohne Führungen zu den Bereichen der Innenflä­ chen mit Führungen versetzt angeordnet sind.

38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 34 bis 37, da­ durch gekennzeichnet, daß die Bereiche der Innenflä­ chen ohne Führungen Einlaß-Öffnungen, Sprühdüsen, Diffusoren, Ultraviolett-Lichtquellen und/oder Me­ gasonic-Abstrahlvorrichtungen aufweisen.

39. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung zum Abdecken des Fluid-Behälters (1).

40. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens eine Substrat-Halte­ leiste, die im oberen Randbereich auf den Substraten (5) aufliegt.

41. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine über das Fluid-Becken (1) bringbare Haube.

42. Vorrichtung nach Anspruch 41, dadurch gekennzeich­ net, daß die Haube wenigstens eine Fluid-Einlaßöff­ nung aufweist.

43. Vorrichtung nach Anspruch 41 oder 42, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das über die Haube eingelassene Fluid für den Trocknungsvorgang entsprechend dem Ma­ rangoni-Prinzip vorgesehen ist.

44. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Heiz- und/oder Kühlein­ richtung zum Erwärmen und/oder Abkühlen des Fluids im Fluid-Behälter (1).

45. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Fluid-Aufbereitungsein­ richtung.

46. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Trenn-Anlage zum Trennen von in der Abluft enthaltenen alkalischen und Säure­ dämpfen.

47. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Ultraviolett-Lichtquellen, die am Boden (2) und/oder an den Seitenwänden (3) des Fluid-Behälters (1) angeordnet sind.

48. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens eine Megasonic-Ab­ strahl-Vorrichtung.

49. Vorrichtung nach Anspruch 48, dadurch gekennzeich­ net, daß die Megasonic-Abstrahl-Vorrichtung in den vom Boden (2) und den Seitenwänden (3) gebildeten Ecken des Fluid-Behälters (1) angeordnet ist.

50. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine die Substrate (5) im Fluid-Behälter (1) drehenden Vorrichtung.