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DE112021007922T5 - METHOD FOR MANUFACTURING A VACUUM VALVE - Google Patents

METHOD FOR MANUFACTURING A VACUUM VALVE Download PDF

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DE112021007922T5
DE112021007922T5 DE112021007922.0T DE112021007922T DE112021007922T5 DE 112021007922 T5 DE112021007922 T5 DE 112021007922T5 DE 112021007922 T DE112021007922 T DE 112021007922T DE 112021007922 T5 DE112021007922 T5 DE 112021007922T5
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DE
Germany
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vacuum valve
insulating resin
end plate
side end
fixed
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Application number
DE112021007922.0T
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Inventor
Tomohiro Nakata
Hiroshi Tottori
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

Bei einer Aufgabe zum Erzielen eines kostengünstigen Vakuumventils ist ein Verfahren zum Herstellen eines Vakuumventils, wodurch eine Zwischenanordnung eines Vakuumventils, die gebildet wird, indem eine fixiertseitige Endplatte (2) und eine bewegungsseitige Endplatte (3) verbunden werden, indem jede an ein jeweiliges Ende einer zylindrischen Isolierkammer (1) hartgelötet wird, in einem Formwerkzeug (12, 14) angeordnet wird und wodurch eine isolierende Harzschicht (9) ausgebildet wird, indem ein isolierendes Harzmaterial in einer äußeren Peripherie der Zwischenanordnung geformt wird, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bereich eines äußeren Randabschnitts der fixiertseitigen Endplatte (2) derart gebildet wird, dass eine Belastung, die in einem hartgelöteten Abschnitt (10) zwischen der Isolierkammer (1) und der fixiertseitigen Endplatte (2) erzeugt wird, wenn das isolierende Harzmaterial (13) in der äußeren Peripherie der Zwischenanordnung geformt wird, kleiner als eine zulässige Belastung des hartgelöteten Abschnitts (10) ist.In an object of achieving a low-cost vacuum valve, there is provided a method of manufacturing a vacuum valve, whereby an intermediate assembly of a vacuum valve, which is formed by connecting a fixed-side end plate (2) and a moving-side end plate (3) by brazing each to a respective end of a cylindrical insulating chamber (1), is arranged in a mold (12, 14), and whereby an insulating resin layer (9) is formed by molding an insulating resin material in an outer periphery of the intermediate assembly, characterized in that a region of an outer edge portion of the fixed-side end plate (2) is formed such that a stress generated in a brazed portion (10) between the insulating chamber (1) and the fixed-side end plate (2) when the insulating resin material (13) is molded in the outer periphery of the intermediate assembly is smaller than an allowable stress of the brazed portion (10).

Description

Technisches GebietTechnical area

Die vorliegende Anmeldung betrifft das Gebiet eines Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils.The present application relates to the field of a method for producing a vacuum valve.

Technologischer HintergrundTechnological background

Ein Verfahren, wodurch ein äußerer Randabschnitt eines Vakuumventils unter Verwendung eines isolierenden Harzes gegossen bzw. geformt und das Vakuumventil verschlossen wird und wodurch eine Isolierung entlang einer äußeren Randabschnittsfläche des Vakuumventils verstärkt wird, indem eine Kriechstrecke erhöht wird, wird bereits verwendet, um eine Isolierleistung eines Vakuumventils zu verbessern. Wenn ein äußerer Randabschnitt eines Vakuumventils aus einem isolierenden Harz auf diese Weise geformt wird, ist es notwendig, eine erzeugte Belastung, die auf das Vakuumventil ausgeübt wird, in Betracht zu ziehen und bis heute wurde eine Gussform verwendet (vgl. zum Beispiel Patentliteratur 1), wobei ein isolierendes Harzmaterial, das sich bei einer hohen Temperatur verflüssigt, in eine Gussform gegossen wird und das Harz gehärtet wird, indem es gekühlt wird.A method whereby an outer peripheral portion of a vacuum valve is molded using an insulating resin and the vacuum valve is closed, and whereby insulation is strengthened along an outer peripheral portion surface of the vacuum valve by increasing a creepage distance, has been used to improve an insulating performance of a vacuum valve. When an outer peripheral portion of a vacuum valve is molded from an insulating resin in this manner, it is necessary to consider a generated stress applied to the vacuum valve, and to date, a mold has been used (see, for example, Patent Literature 1) in which an insulating resin material that liquefies at a high temperature is poured into a mold and the resin is hardened by cooling it.

ZitatlisteQuotation list

PatentliteraturPatent literature

PTL 1: JP2013-93276A PTL1: JP2013-93276A

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Technisches ProblemTechnical problem

Obwohl jedoch die Gussform, die verwendet wird, um ein Vakuumventil aus einem isolierenden Harz zu gießen, derart ist, dass eine erzeugte Belastung klein ist, die auf das Vakuumventil wirkt, wenn es hergestellt wird, ist es notwendig zu warten, bis das Hochtemperaturharz abkühlt, das in die Gussform gegossen wird, um den äußeren Randabschnitt zu bilden. Deshalb gibt es ein Problem dahingehend, dass die Zeit, die durch die Gussform und andere Fertigungseinrichtungen zur Herstellung eines Vakuumventils beansprucht wird, lang ist, dass eine Herstellungsvorlaufzeit einige Stunden bis zu einem Tag beträgt, dass ein Herstellungszyklus lang ist und dass die Herstellungskosten hoch sind.However, although the mold used to mold a vacuum valve from an insulating resin is such that a generated stress acting on the vacuum valve when it is manufactured is small, it is necessary to wait until the high-temperature resin poured into the mold cools to form the outer peripheral portion. Therefore, there is a problem that the time taken by the mold and other manufacturing equipment for manufacturing a vacuum valve is long, that a manufacturing lead time is several hours to one day, that a manufacturing cycle is long, and that the manufacturing cost is high.

Die vorliegende Anmeldung wurde getätigt, um das oben genannte Problem zu lösen, und eine Aufgabe der vorliegenden Anmeldung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils vorzusehen, so dass die Herstellungskosten gering sind.The present application has been made to solve the above problem, and an object of the present application is to provide a method for manufacturing a vacuum valve so that the manufacturing cost is low.

Lösung des Problemsthe solution of the problem

Ein Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils, das in der vorliegenden Anmeldung offenbart ist, ist ein Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils, wodurch eine Vakuumkammer gebildet wird, indem eine fixiertseitige Endplatte und eine bewegungsseitige Endplatte verbunden werden, indem jede an jeweiliges Ende einer zylindrischen Isolierkammer hartgelötet wird, zusammen mit der eine Zwischenanordnung eines Vakuumventils, die gebildet wird, indem eine fixiertseitige Elektrode und eine bewegungsseitige Elektrode innerhalb der Vakuumkammer aufgenommen werden, in einem Formwerkzeug angeordnet wird, und wodurch eine isolierende Harzschicht gebildet wird, indem ein isolierendes Harzmaterial in einer äußeren Peripherie der Zwischenanordnung geformt wird, wobei ein Bereich eines äußeren Randabschnitts der fixiertseitigen Endplatte auf eine derartige Weise ausgebildet wird, dass eine Belastung, die in einem hartgelöteten Abschnitt zwischen der Isolierkammer und der fixiertseitigen Endplatte erzeugt wird, wenn das isolierende Harzmaterial in der äußeren Peripherie der Zwischenanordnung geformt wird, kleiner als eine zulässige Belastung des hartgelöteten Abschnitts ist.A method of manufacturing a vacuum valve disclosed in the present application is a method of manufacturing a vacuum valve, whereby a vacuum chamber is formed by connecting a fixed-side end plate and a moving-side end plate by brazing each to respective ends of a cylindrical insulating chamber, together with which an intermediate assembly of a vacuum valve formed by accommodating a fixed-side electrode and a moving-side electrode within the vacuum chamber is arranged in a mold, and whereby an insulating resin layer is formed by molding an insulating resin material in an outer periphery of the intermediate assembly, wherein a region of an outer edge portion of the fixed-side end plate is formed in such a manner that a stress generated in a brazed portion between the insulating chamber and the fixed-side end plate when the insulating resin material is molded in the outer periphery of the intermediate assembly is smaller than an allowable stress of the brazed portion.

Vorteilhafte Wirkungen der ErfindungAdvantageous effects of the invention

Gemäß dem Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils, das in der vorliegenden Anmeldung offenbart ist, kann eine Belastung, die auf einen gelöteten Abschnitt eines Vakuumventils aufgrund eines Formdrucks ausgeübt wird, wenn ein isolierendes Harz geformt wird, verringert werden, und ein kostengünstiges Vakuumventil kann hergestellt werden, dessen Herstellungszyklus kurz ist.According to the method for manufacturing a vacuum valve disclosed in the present application, a stress applied to a brazed portion of a vacuum valve due to a molding pressure when an insulating resin is molded can be reduced, and an inexpensive vacuum valve whose manufacturing cycle is short can be manufactured.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenShort description of the drawings

  • [1] 1 stellt eine Schnittansicht dar, die eine Konfiguration eines gesamten Vakuumventils zeigt, das unter Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer ersten Ausführungsform hergestellt ist.[ 1 ] 1 is a sectional view showing a configuration of an entire vacuum valve manufactured using a method of manufacturing a vacuum valve according to a first embodiment.
  • [2] 2 stellt eine Schnittansicht dar, die einen A-Abschnitt der 1 vergrößert zeigt.[ 2 ] 2 represents a sectional view showing an A-section of the 1 enlarged.
  • [3A] 3A stellt eine schematische Ansicht zum Beschreiben des Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der ersten Ausführungsform dar.[ 3A ] 3A is a schematic view for describing the method of manufacturing a vacuum valve according to the first embodiment.
  • [3B] 3B stellt eine schematische Ansicht zum Beschreiben des Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der ersten Ausführungsform dar.[ 3B ] 3B is a schematic view for describing the method of manufacturing a vacuum valve according to the first embodiment.
  • [3C] 3C stellt eine schematische Ansicht zum Beschreiben des Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der ersten Ausführungsform dar.[ 3C ] 3C represents a schematic view for describing the process for Manufacture of a vacuum valve according to the first embodiment.
  • [4] 4 stellt eine schematische Ansicht und ein charakteristisches Diagramm zum Beschreiben eines Verhältnisses zwischen einer Belastung, wenn ein Vakuumventil gemäß der ersten Ausführungsform geformt wird, und einem Bereich eines äußeren Randabschnitts dar.[ 4 ] 4 is a schematic view and a characteristic diagram for describing a relationship between a stress when a vacuum valve is molded according to the first embodiment and an area of an outer peripheral portion.
  • [5] 5 stellt eine Schnittansicht dar, die eine Konfiguration eines gesamten Vakuumventils darstellt, das unter Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer zweiten Ausführungsform hergestellt ist.[ 5 ] 5 is a sectional view showing a configuration of an entire vacuum valve manufactured using a method of manufacturing a vacuum valve according to a second embodiment.
  • [6] 6 stellt eine Schnittansicht dar, die einen B-Abschnitt der 5 vergrößert zeigt.[ 6 ] 6 represents a sectional view showing a B-section of the 5 enlarged.
  • [7] 7 stellt eine perspektivische Ansicht eines Hauptabschnitts der 6 dar.[ 7 ] 7 represents a perspective view of a major section of the 6 represents.
  • [8A] 8A stellt eine Schnittansicht dar, die einen Herstellungsvorgang betreffend ein Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer dritten Ausführungsform zeigt.[ 8A ] 8A is a sectional view showing a manufacturing process relating to a method of manufacturing a vacuum valve according to a third embodiment.
  • [8B] 8B stellt eine perspektivische Ansicht dar, die einen Abschnitt des Herstellungsvorgangs der 8A im Querschnitt zeigt.[ 8B ] 8B represents a perspective view showing a portion of the manufacturing process of the 8A in cross section.
  • [9] 9 stellt eine Schnittansicht dar, die ein Beispiel eines anderen Herstellungsvorgangs betreffend das Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der dritten Ausführungsform zeigt.[ 9 ] 9 is a sectional view showing an example of another manufacturing process concerning the method of manufacturing a vacuum valve according to the third embodiment.
  • [10] 10 stellt eine Schnittansicht dar, die ein Beispiel eines weiteren Herstellungsvorgangs betreffend das Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der dritten Ausführungsform zeigt.[ 10 ] 10 is a sectional view showing an example of another manufacturing process concerning the method of manufacturing a vacuum valve according to the third embodiment.
  • [11] 11 stellt eine Schnittansicht dar, die ein Beispiel eines weiteren Herstellungsvorgangs betreffend das Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der dritten Ausführungsform zeigt.[ 11 ] 11 is a sectional view showing an example of another manufacturing process concerning the method of manufacturing a vacuum valve according to the third embodiment.
  • [12A] 12A stellt eine schematische Ansicht zum Beschreiben eines Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer vierten Ausführungsform dar.[ 12A ] 12A is a schematic view for describing a method of manufacturing a vacuum valve according to a fourth embodiment.
  • [12B] 12B stellt eine schematische Ansicht zum Beschreiben des Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der vierten Ausführungsform dar.[ 12B ] 12B is a schematic view for describing the method of manufacturing a vacuum valve according to the fourth embodiment.
  • [12C] 12C stellt eine schematische Ansicht zum Beschreiben des Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der vierten Ausführungsform dar.[ 12C ] 12C is a schematic view for describing the method of manufacturing a vacuum valve according to the fourth embodiment.
  • [13] 13 stellt einen Zeitablauf dar, der eine Änderung einer Belastung zeigt, die in einem Hauptabschnitt in einem Fall der Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der dritten Ausführungsform und der vierten Ausführungsform erzeugt wird.[ 13 ] 13 is a timing chart showing a change in a stress generated in a main portion in a case of the methods of manufacturing a vacuum valve according to the third embodiment and the fourth embodiment.

Beschreibung der AusführungsformenDescription of the embodiments

Erste AusführungsformFirst embodiment

Nachfolgend wird ein Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der vorliegenden Anmeldung unter Verwendung der Zeichnungen beschrieben werden. In den Zeichnungen sind identische Bezugszeichen identischen oder entsprechenden Teilen zugewiesen.Hereinafter, a method of manufacturing a vacuum valve according to the present application will be described using the drawings. In the drawings, identical reference numerals are assigned to identical or corresponding parts.

1 stellt eine Schnittansicht dar, die eine Konfiguration eines gesamten Vakuumventils zeigt, das unter Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer ersten Ausführungsform hergestellt ist, und 2 stellt eine Schnittansicht dar, die einen A-Abschnitt der 1 vergrößert zeigt. 1 is a sectional view showing a configuration of an entire vacuum valve manufactured using a method of manufacturing a vacuum valve according to a first embodiment, and 2 represents a sectional view showing an A-section of the 1 enlarged.

In 1 ist ein Vakuumventil 100 eingerichtet, eine zylindrische Isolierkammer 1, die aus Keramik oder dergleichen gebildet ist, eine fixiertseitige Endplatte 2 und eine bewegungsseitige Endplatte 3, die durch Hartlöten mit jeweils einem Ende der Isolierkammer 1 verbunden sind, eine fixiertseitige Elektrodenstange 4, die an der fixiertseitigen Endplatte 2 fixiert bzw. befestigt ist, eine fixiertseitige Elektrode 5, die an einem Endabschnitt der fixiertseitigen Elektrodenstange 4 fixiert ist und die innerhalb der Isolierkammer 1 angeordnet ist, eine bewegungsseitige Elektrodenstange 7, die über einen Faltenbalg 6 durch die bewegungsseitige Endplatte 3 derart abgestützt ist, dass sie gleiten kann, eine bewegungsseitige Elektrode 8, die mit einem Endabschnitt der bewegungsseitigen Elektrodenstange 7 verbunden ist und die innerhalb der Isolierkammer 1 angeordnet ist, und in einer äußeren Peripherie eine isolierende Harzschicht 9 zu umfassen, die durch Formen eines isolierenden Harzmaterials gebildet ist, das ein BMC-Material (Massengusszusammensetzung: ungesättigter Polyester) als Hauptelement aufweist.In 1 a vacuum valve 100 is arranged to include a cylindrical insulating chamber 1 formed of ceramics or the like, a fixed-side end plate 2 and a moving-side end plate 3 connected by brazing to each end of the insulating chamber 1, a fixed-side electrode rod 4 fixed to the fixed-side end plate 2, a fixed-side electrode 5 fixed to an end portion of the fixed-side electrode rod 4 and arranged inside the insulating chamber 1, a moving-side electrode rod 7 supported by the moving-side end plate 3 via a bellows 6 so as to be able to slide, a moving-side electrode 8 connected to an end portion of the moving-side electrode rod 7 and arranged inside the insulating chamber 1, and in an outer periphery an insulating resin layer 9 formed by molding an insulating resin material using a BMC (bulk cast composition: unsaturated polyester) material as main element.

Die Isolierkammer 1 bildet eine Vakuumkammer aus, die hermetisch abgedichtet ist, indem sie durch Hartlöten an die fixiertseitige Endplatte 2 und an die bewegungsseitige Endplatte 3 verbunden ist, und ein hartgelöteter Abschnitt 10, der normalerweise eine dünne Metallfolie in einer Größenordnung von µm darstellt, ist in einem Verbindungsabschnitt ausgebildet, wie in 2 gezeigt. Auch sind die fixiertseitige Elektrode 5 und die bewegungsseitige Elektrode 8 gegenüberliegend zueinander in einer axialen Richtung in einem Inneren der Isolierkammer 1 angeordnet und sie sind derart eingerichtet, dass ein Kontakt mit der fixiertseitigen Elektrode 5 hergestellt oder unterbrochen werden kann in Begleitung zu einer Bewegung der bewegungsseitigen Elektrode 8.The insulating chamber 1 forms a vacuum chamber which is hermetically sealed by being connected to the fixed-side end plate 2 and the moving-side end plate 3 by brazing, and a brazed portion 10 which is normally a thin metal foil in a µm order is formed in a connecting portion as shown in 2 Also, the fixed-side electrode 5 and the moving-side electrode 8 are arranged opposite each other in a axial direction in an interior of the insulating chamber 1 and are arranged such that contact with the fixed-side electrode 5 can be made or broken in accompaniment to a movement of the moving-side electrode 8.

Ein Vorgang zum Herstellen der isolierenden Harzschicht 9 bei dieser Art eines Vakuumventils 100, der ein direktes Formpressens verwendet, wird unter Verwendung der 3A, der 3B und der 3C beschrieben werden.A process for forming the insulating resin layer 9 in this type of vacuum valve 100 using direct molding is described using the 3A , the 3B and the 3C to be discribed.

Zuerst wird eine Vakuumkammer gebildet, indem die fixiertseitige Endplatte 2 und die bewegungsseitige Endplatte 3, durch Hartlöten, mit jeweils einem Ende der zylindrischen Isolierkammer 1 verbunden werden, wie in 3A gezeigt, zusammen mit der eine Zwischenanordnung eines Vakuumventils, welches durch Aufnehmen der fixiertseitigen Elektrode 5 und der bewegungsseitigen Elektrode 8 innerhalb der Vakuumkammer gebildet wird, zusammengebaut wird, wobei ein Kern 11 an der Zwischenanordnung angebracht wird und in einem fixiertseitigen Formwerkzeug („molding die“) 12 angeordnet wird, und wobei ein isolierendes Harzmaterial 13, das ein BMC-Material als Hauptelement aufweist, in einem halbgehärteten Zustand an einem oberen Abschnitt der Isolierkammer 1 in der Zwischenanordnung angeordnet wird.First, a vacuum chamber is formed by brazing the fixed-side end plate 2 and the moving-side end plate 3 to each end of the cylindrical insulating chamber 1, as shown in 3A , together with which an intermediate assembly of a vacuum valve formed by accommodating the fixed-side electrode 5 and the moving-side electrode 8 within the vacuum chamber is assembled, a core 11 is attached to the intermediate assembly and arranged in a fixed-side molding die 12, and an insulating resin material 13 having a BMC material as a main element is arranged in a semi-cured state at an upper portion of the insulating chamber 1 in the intermediate assembly.

Wie in 3B gezeigt, lässt man als Nächstes sich ein bewegungsseitiges Formwerkzeug 14 bewegen, und das isolierende Harzmaterial 13 wird gepresst und dadurch veranlasst zu fließen.As in 3B Next, as shown, a moving-side mold 14 is moved, and the insulating resin material 13 is pressed and thereby caused to flow.

Zuletzt wird bei dem bewegungsseitigen Formwerkzeug 14, das in eine finale Position bewegt wurde, eine äußere Peripherie der Zwischenanordnung mit dem isolierenden Harzmaterial 13 gefüllt, wie in 3C gezeigt, wonach das Vakuumventil 100, wobei die isolierende Harzschicht 9 in der äußeren Peripherie gebildet ist, durch ein Aushärten des isolierenden Harzmaterials 13 hergestellt werden kann.Finally, with the moving-side mold 14 moved to a final position, an outer periphery of the intermediate assembly is filled with the insulating resin material 13 as shown in 3C that the vacuum valve 100 with the insulating resin layer 9 formed in the outer periphery can be manufactured by curing the insulating resin material 13.

Wenn die äußere Peripherie der Anordnung mit dem isolierenden Harzmaterial 13 gefüllt wird, erfordert das BMC-Material dabei einen hohen Formdruck (ungefähr 10 Megapascal), aber wenn der Formdruck P zu groß ist, gibt es Bedenken dahingehend, dass der hartgelötete Abschnitt 10 des Vakuumventils 100 beschädigt wird, weswegen ein Verhältnis zwischen einer Belastung F1, die im gelöteten Abschnitt 10 erzeugt wird, und einer zulässigen Belastung F2 des gelöteten Abschnitts 10 auf F1 < F2 eingestellt werden muss.When the outer periphery of the assembly is filled with the insulating resin material 13, the BMC material requires a high molding pressure (about 10 megapascals), but if the molding pressure P is too large, there is a concern that the brazed portion 10 of the vacuum valve 100 will be damaged, so a relationship between a stress F1 generated in the brazed portion 10 and an allowable stress F2 of the brazed portion 10 must be set to F1 < F2.

Weil die Belastung F1, die durch den Formdruck P verursacht wird, proportional zu einer Fläche S eines äußeren Randabschnitts der fixiertseitigen Endplatte 2 und der bewegungsseitigen Endplatte 3 ist, sind die fixiertseitige Endplatte 2 und die bewegungsseitige Endplatte 3 dabei derart eingerichtet, dass die Fläche S derart ist, dass ein Verhältnis zwischen einer Belastung F, die durch den Formdruck P erzeugt wird, und der Fläche S F1 < F2 beträgt, wie in 4 gezeigt, wodurch eine Beschädigung am hartgelöteten Abschnitt 10 verhindert werden kann, und das Vakuumventil 100 kann hergestellt werden, wobei der äußere Randabschnitt unter Verwendung eines direkten Formpressens geformt wird.Here, because the load F1 caused by the molding pressure P is proportional to an area S of an outer peripheral portion of the fixed-side end plate 2 and the moving-side end plate 3, the fixed-side end plate 2 and the moving-side end plate 3 are arranged such that the area S is such that a ratio between a load F caused by the molding pressure P and the area S is F1 < F2, as shown in 4 whereby damage to the brazed portion 10 can be prevented, and the vacuum valve 100 can be manufactured with the outer peripheral portion formed using direct molding.

Zweite AusführungsformSecond embodiment

5 stellt eine Schnittansicht dar, die eine Konfiguration eines gesamten Vakuumventils zeigt, das unter Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer zweiten Ausführungsform hergestellt ist, wobei 6 eine Schnittansicht darstellt, die einen B-Abschnitt der 5 vergrößert zeigt, und wobei 7 eine perspektivische Ansicht eines Hauptabschnitts der 6 darstellt. 5 is a sectional view showing a configuration of an entire vacuum valve manufactured using a method for manufacturing a vacuum valve according to a second embodiment, wherein 6 is a sectional view showing a B-section of the 5 enlarged, and where 7 a perspective view of a main section of the 6 represents.

Bei der zweiten Ausführungsform ist eine Abdeckung 15, die aus einem tassenförmigen leitenden Glied gebildet ist, das in 7 gezeigt ist, derart angeordnet, dass die fixiertseitige Endplatte 2 bedeckt ist, und die isolierende Harzschicht 9 wird gebildet, indem die gesamte Zwischenanordnung unter Verwendung des isolierenden Harzmaterials 13 geformt wird. Da die anderen Konfigurationen die gleichen wie bei der ersten Ausführungsform sind, werden identischen bzw. entsprechenden Teilen identische Bezugszeichen zugewiesen und eine Beschreibung wird weggelassen.In the second embodiment, a cover 15 formed of a cup-shaped conductive member inserted into 7 is arranged so that the fixed-side end plate 2 is covered, and the insulating resin layer 9 is formed by molding the entire intermediate assembly using the insulating resin material 13. Since the other configurations are the same as in the first embodiment, identical reference numerals are assigned to corresponding parts and description is omitted.

Durch ein Anordnen der Abdeckung 15, die aus einem tassenförmigen leitenden Glied gebildet ist, und durch Formen des isolierenden Harzmaterials 13 auf diese Weise kann eine Belastung, die auf den hartgelöteten Abschnitt 10 ausgeübt wird und die beim Formen erzeugt wird, verringert werden, und ein Freiheitsgrad bei der Konfiguration des Vakuumventils 100 kann erhöht werden.By disposing the cover 15 formed of a cup-shaped conductive member and molding the insulating resin material 13 in this manner, a stress applied to the brazed portion 10 and generated in molding can be reduced, and a degree of freedom in the configuration of the vacuum valve 100 can be increased.

Weil die Abdeckung 15, die aus einem tassenförmigen leitenden Glied gebildet ist, eine Konzentration eines elektrischen Felds im hartgelöteten Abschnitt 10 verringert, kann auch eine dielektrische Stärke bzw. Durchschlagsfestigkeit des Vakuumventils 100 weiter erhöht werden.Also, because the cover 15 formed of a cup-shaped conductive member reduces a concentration of an electric field in the brazed portion 10, a dielectric strength of the vacuum valve 100 can be further increased.

Dritte AusführungsformThird embodiment

8A stellt eine Schnittansicht dar, die einen Herstellungsvorgang betreffend ein Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß einer dritten Ausführungsform zeigt, und 8B stellt eine perspektivische Ansicht dar, die einen Abschnitt des Herstellungsvorgangs der 8A in einem Querschnitt zeigt. 8A is a sectional view showing a manufacturing process relating to a method of manufacturing a vacuum valve according to a third embodiment, and 8B presents is a perspective view showing a portion of the manufacturing process of the 8A in a cross section.

Das Vakuumventil 100 ist derart, dass es notwendig ist, einen Raum auf der beweglichen Seite sicherzustellen, in welchem sich die bewegungsseitige Elektrodenstange 7 bewegen kann, weswegen ein Formen einer gesamten äußeren Peripherie der bewegungsseitigen Endplatte 3 nicht machbar ist. Deswegen ist eine projizierte Fläche, über der die Zwischenanordnung geformt wird, in der axialen Richtung des Vakuumventils derart, dass jene der beweglichen Seite kleiner als jene der fixierten Seite ist, und eine Belastung, die in der Zwischenanordnung erzeugt wird, wenn sie geformt wird, ist derart, dass jene auf der fixierten Seite größer als jene auf der beweglichen Seite ist.The vacuum valve 100 is such that it is necessary to secure a space on the movable side in which the moving-side electrode rod 7 can move, and therefore molding an entire outer periphery of the moving-side end plate 3 is not feasible. Therefore, a projected area over which the intermediate assembly is molded in the axial direction of the vacuum valve is such that that on the movable side is smaller than that on the fixed side, and a stress generated in the intermediate assembly when it is molded is such that that on the fixed side is larger than that on the movable side.

Dies bedeutet, dass, wenn ein axial gerichteter Druck während eines Formens durch einen externen Abführanschluss 4a aufgenommen wird, der an die fixiertseitige Endplatte 2 und an die fixiertseitige Elektrodenstange 4 gekoppelt ist, eine Gesamtbelastung durch die fixiertseitige Endplatte 2 aufgenommen wird und dass eine Sorge entsteht, dass eine Verzerrung auftreten wird. Deshalb wird die Isolierkammer 1 von einer Umfangsrichtung durch den Kern 11 der Formwerkzeuge 12 und 14 gestützt und ein Füllen mit dem isolierenden Harzmaterial 13 wird in diesem Zustand ausgeführt, wie in 8A und 8B gezeigt, wobei die axial gerichtete Belastung, die in der fixiertseitigen Endplatte 2 erzeugt wird, verringert werden kann, und eine Beschädigung des hartgelöteten Abschnitts 10, die durch ein Formen verursacht wird, kann verhindert werden.This means that when an axially directed pressure is received during molding through an external discharge port 4a coupled to the fixed-side end plate 2 and the fixed-side electrode rod 4, a total load is received by the fixed-side end plate 2 and there arises a concern that distortion will occur. Therefore, the insulating chamber 1 is supported from a circumferential direction by the core 11 of the molds 12 and 14, and filling with the insulating resin material 13 is carried out in this state, as shown in FIG. 8A and 8B wherein the axially directed stress generated in the fixed-side end plate 2 can be reduced, and damage to the brazed portion 10 caused by molding can be prevented.

9, 10 und 11 stellen Schnittansichten dar, die ein Beispiel eines weiteren Herstellungsvorgangs betreffend das Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der dritten Ausführungsform zeigen, wobei 9 ein Beispiel zeigt, wobei die Isolierkammer 1 aus der axialen Richtung durch ein vorderes Ende des Kerns 11 gestützt wird. Auch 10 zeigt ein Beispiel, wobei die bewegungsseitige Endplatte 3 von der Umfangsrichtung gestützt wird, und des Weiteren zeigt 11 ein Beispiel, wobei die bewegungsseitige Endplatte 3 von der axialen Richtung gestützt wird, und in beiden Fällen kann die axial gerichtete Belastung verringert werden, die in der fixiertseitigen Endplatte 2 erzeugt wird. 9 , 10 and 11 are sectional views showing an example of another manufacturing process relating to the method for manufacturing a vacuum valve according to the third embodiment, wherein 9 shows an example in which the insulating chamber 1 is supported from the axial direction by a front end of the core 11. Also 10 shows an example where the movement-side end plate 3 is supported from the circumferential direction, and further shows 11 an example wherein the moving-side end plate 3 is supported from the axial direction, and in both cases, the axially directed load generated in the fixed-side end plate 2 can be reduced.

Vierte AusführungsformFourth embodiment

12A, 12B und 12C stellen schematische Ansichten zum Beschreiben eines Verfahrens zum Herstellen eines Vakuumventils gemäß einer vierten Ausführungsform dar und zeigen einen Herstellungsvorgang in einem Fall eines Verwendens eines Spritzpressens („transfer molding“). 13 stellt auch einen Zeitablauf dar, der eine Änderung einer Belastung zeigt, die in einem Hauptabschnitt in einem Fall des Verfahrens zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß der vierten Ausführungsform erzeugt wird. 12A , 12B and 12C are schematic views for describing a method of manufacturing a vacuum valve according to a fourth embodiment, and show a manufacturing process in a case of using transfer molding. 13 also illustrates a timing chart showing a change in a stress generated in a main portion in a case of the method of manufacturing a vacuum valve according to the fourth embodiment.

Zuerst ist in einem Zustand, wobei ein Kern 20 angebracht auf eine Weise wird, dass eine Umfangsrichtung der bewegungsseitigen Endplatte 3 in der Zwischenanordnung eines Vakuumventils gestützt wird, wie in 12A gezeigt, der Kern 20 zwischen einer vorgewärmten fixiertseitigen Gussform 21 und einer bewegungsseitigen Gussform 22 angeordnet und ein isolierendes Harzmaterial 30, das ein vorgewärmtes BMC-Material als Hauptelement aufweist, wird in einem Materialfülltopf 23 der bewegungsseitigen Gussform 22 platziert.First, in a state where a core 20 is attached in a manner that a circumferential direction of the moving side end plate 3 is supported in the intermediate arrangement of a vacuum valve, as shown in 12A As shown, the core 20 is arranged between a preheated fixed-side mold 21 and a moving-side mold 22, and an insulating resin material 30 having a preheated BMC material as a main element is placed in a material filling pot 23 of the moving-side mold 22.

Als Nächstes wird, wie in 12B gezeigt, das isolierende Harzmaterial 30 in die Gussformen 21 und 22 eingespritzt, indem man eine Druckbeaufschlagungsvorrichtung 24 sich bewegen lässt, und zuletzt werden, wie in 12C gezeigt, äußere Peripherien der Zwischenanordnung und des Kerns 20 mit dem isolierenden Harzmaterial 30 gefüllt, indem die Druckbeaufschlagungsvorrichtung 24 veranlasst wird, sich in eine finale Position zu bewegen.Next, as in 12B shown, the insulating resin material 30 is injected into the molds 21 and 22 by moving a pressurizing device 24, and finally, as shown in 12C As shown, outer peripheries of the intermediate assembly and the core 20 are filled with the insulating resin material 30 by causing the pressurizing device 24 to move to a final position.

Danach kann das Vakuumventil 100 hergestellt werden, wobei die isolierende Harzschicht 9 in der äußeren Peripherie der Zwischenanordnung des Vakuumventils ausgebildet wird, indem das isolierende Harzmaterial 30 gehärtet wird.Thereafter, the vacuum valve 100 can be manufactured, wherein the insulating resin layer 9 is formed in the outer periphery of the intermediate assembly of the vacuum valve by curing the insulating resin material 30.

Diese Art eines Spritzpressens ist derart, dass, wenn das vorgewärmte isolierende Harzmaterial 30 innerhalb der Gussformen 21 und 22 strömt, weil die Gussformen 21 und 22 vorgewärmt sind, das isolierende Harzmaterial 30 weiter erwärmt wird und sich in eine Gelform ändert und eine Viskosität des isolierenden Harzmaterials 30 abnimmt. Dies bedeutet, dass, wie in 13 gezeigt, ein Druck, der auf die Zwischenanordnung des Vakuumventils ausgeübt wird, während sie mit dem isolierenden Harzmaterial 30 gefüllt wird, abnimmt, und es kann veranlasst werden, dass eine Belastung F4 abnimmt, die in dem hartgelöteten Abschnitt 10 erzeugt wird.This type of transfer molding is such that when the preheated insulating resin material 30 flows inside the molds 21 and 22, because the molds 21 and 22 are preheated, the insulating resin material 30 is further heated and changes into a gel form and a viscosity of the insulating resin material 30 decreases. This means that, as shown in 13 As shown, a pressure applied to the vacuum valve intermediate assembly while it is filled with the insulating resin material 30 decreases, and a stress F4 generated in the brazed portion 10 can be caused to decrease.

Da Formbedingungen, wie zum Beispiel eine Position oder eine Einspritzgeschwindigkeit des isolierenden Harzmaterials 30, das die Gussform füllt, bestimmt werden, indem eine Gussformstruktur und eine Formeinrichtung gesteuert werden, ist die Formbedingungssteuerung auch einfach, und eine Veränderung der Belastung F4, die in dem hartgelöteten Abschnitt erzeugt wird, kann beschränkt werden.Since molding conditions such as a position or an injection speed of the insulating resin material 30 filling the mold are determined by controlling a mold structure and a molding device, the molding condition control is also easy, and a change in the stress F4 generated in the brazed portion can be restricted.

Folglich kann das Vakuumventil 100 mit einer stabileren Qualität hergestellt werden.Consequently, the vacuum valve 100 can be manufactured with a more stable quality.

Ein direktes Formpressen („direct compression molding“) ist derart, dass eine Bedienperson eine Platzierung eines isolierenden Harzmaterials ausführt, wobei es beim Betrieb zu einer Abweichung kommen kann und insbesondere könnten eine Abweichung hinsichtlich eines Orts und eines Zeitablaufs eines Drucks, der auf die Zwischenanordnung ausgeübt wird, signifikant sein abhängig von einer Verlagerung des isolierenden Harzmaterials 30 in einem halbgehärteten Zustand, wie durch eine Belastung F3 angegeben, die im hartgelöteten Abschnitt 10 bei der ersten Ausführungsform in 13 erzeugt wird, und es gibt Bedenken, dass eine Veränderung in Begleitung damit zunehmen wird, dass die Belastung F3, die im hartgelöteten Abschnitt 10 erzeugt wird, ebenfalls zunimmt, es aber gemäß dem Spritzpressen einen Vorteil dahingehend gibt, dass eine Formbedingungssteuerung einfach ist.Direct compression molding is such that an operator performs placement of an insulating resin material, and a deviation may occur in operation, and in particular, a deviation in a location and a timing of a pressure applied to the intermediate assembly may be significant depending on a displacement of the insulating resin material 30 in a semi-cured state as indicated by a stress F3 generated in the brazed portion 10 in the first embodiment in 13 is generated, and there is a concern that a change will increase accompanied by the fact that the stress F3 generated in the brazed portion 10 also increases, but according to the transfer molding, there is an advantage that molding condition control is easy.

Obwohl eine Konfiguration bei der vierten Ausführungsform derart ist, dass die isolierende Harzschicht 9 unter Verwendung eines Spritzpressverfahrens gebildet wird, könnte eine Konfiguration auch angepasst werden, wobei die isolierende Harzschicht 9 unter Verwendung eines Spritzgießverfahrens gebildet wird.Although a configuration in the fourth embodiment is such that the insulating resin layer 9 is formed using a transfer molding method, a configuration may also be adopted wherein the insulating resin layer 9 is formed using an injection molding method.

Des Weiteren ist bei den hier zuvor beschriebenen Ausführungsformen eine Konfiguration derart, dass eine isolierende Harzschicht unter Verwendung eines isolierenden Harzmaterials gebildet wird, das ein ungesättigtes Polyesterharz als Hauptelement eines isolierenden Harzmaterials aufweist, es könnten aber auch ein Phenolharz, ein Vinylesterharz oder ein Acrylharz als Hauptelement verwendet werden.Furthermore, in the embodiments described hereinbefore, a configuration is such that an insulating resin layer is formed using an insulating resin material having an unsaturated polyester resin as a main element of an insulating resin material, but a phenol resin, a vinyl ester resin, or an acrylic resin may also be used as a main element.

Auch könnte eine isolierende Harzschicht aus einem isolierendes Harzmaterial einschließlich eines Hauptelements mit 20 bis 30% einer Glasfaser, einer Kohlenstofffaser, einer Aramidfaser, einer Polyethylenfaser, einer Zylonfaser oder einer Borfaser als Verstärkungsfaser mit 15 bis 20% und aus Kalziumcarbonat, Aluminiumhydroxid oder ein Silicat als Füllstoff mit 50 bis 60% gebildet sein.Also, an insulating resin layer may be formed of an insulating resin material including a main element of 20 to 30% of a glass fiber, a carbon fiber, an aramid fiber, a polyethylene fiber, a zylon fiber or a boron fiber as a reinforcing fiber of 15 to 20% and a calcium carbonate, aluminum hydroxide or a silicate as a filler of 50 to 60%.

Obwohl die vorliegende Anmeldung oben in Form verschiedener exemplarischer Ausführungsformen und Implementierungen beschrieben ist, versteht es sich, dass verschiedene Merkmale, Aspekte und eine Funktionalität, die bei einer oder mehreren der individuellen Ausführungsformen beschrieben ist, hinsichtlich ihrer Anwendbarkeit nicht auf die besondere Ausführungsform begrenzt sind, bei der sie beschrieben sind, sondern anstatt dessen allein oder in verschiedenen Kombinationen auf ein oder mehrere der Ausführungsformen angewendet werden können.Although the present application is described above in terms of various exemplary embodiments and implementations, it should be understood that various features, aspects, and functionality described in one or more of the individual embodiments are not limited in applicability to the particular embodiment in which they are described, but instead may be applied alone or in various combinations to one or more of the embodiments.

Es versteht sich deshalb, dass zahlreiche Modifikationen, die nicht exemplarisch behandelt wurden, ersonnen werden können, ohne vom Umfang der vorliegenden Anmeldung abzuweichen. Zum Beispiel könnte zumindest eine der Bestandskomponenten modifiziert, hinzugefügt oder weggelassen werden. Zumindest eine der Bestandskomponenten, die bei zumindest einer der bevorzugten Ausführungsformen erwähnt ist, könnte ausgewählt und kombiniert werden mit den Bestandskomponenten, die bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform erwähnt sind.It is therefore to be understood that numerous modifications not exemplified may be devised without departing from the scope of the present application. For example, at least one of the constituent components could be modified, added, or omitted. At least one of the constituent components mentioned in at least one of the preferred embodiments could be selected and combined with the constituent components mentioned in another preferred embodiment.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

11
IsolierkammerIsolation chamber
22
fixiertseitige Endplattefixed end plate
33
bewegungsseitige Endplattemovement-side end plate
44
fixiertseitige Elektrodenstangefixed-side electrode rod
55
fixiertseitige Elektrodefixed-side electrode
66
FaltenbalgBellows
77
bewegungsseitige Elektrodenstangemovement-side electrode rod
88th
bewegungsseitige Elektrodemovement-side electrode
99
isolierende Harzschichtinsulating resin layer
1010
hartgelöteter Abschnittbrazed section
1111
Kerncore
1212
fixiertseitiges Formwerkzeugfixed-side forming tool
1313
isolierendes Harzmaterialinsulating resin material
1414
bewegungsseitige Formwerkzeugmovement-side forming tool
1515
Abdeckungcover
2020
Kerncore
2121
fixiertseitige Gussformfixed-side mold
2222
bewegungsseitige Gussformmovement-side mold
2323
MaterialfülltopfMaterial filling pot
2424
DruckbeaufschlagungsvorrichtungPressurization device
3030
isolierendes Harzmaterialinsulating resin material
100100
VakuumventilVacuum valve

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • JP 2013093276 A [0003]JP 2013093276 A [0003]

Claims (6)

Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils, wodurch eine Vakuumkammer gebildet wird, indem eine fixiertseitige Endplatte und eine bewegungsseitige Endplatte verbunden werden, indem jede an ein jeweiliges Ende einer zylindrischen Isolierkammer hartgelötet wird, zusammen mit der eine Zwischenanordnung eines Vakuumventils, die gebildet wird, indem eine fixiertseitige Elektrode und eine bewegungsseitige Elektrode innerhalb der Vakuumkammer aufgenommen werden, in einem Formwerkzeug angeordnet wird, und wodurch eine isolierende Harzschicht ausgebildet wird, indem ein isolierendes Harzmaterial in einer äußeren Peripherie der Zwischenanordnung geformt wird, wobei ein Bereich eines äußeren Randabschnitts der fixiertseitigen Endplatte derart gebildet wird, dass eine Belastung, die in einem hartgelöteten Abschnitt zwischen der Isolierkammer und der fixiertseitigen Endplatte erzeugt wird, wenn das isolierende Harzmaterial in der äußeren Peripherie der Zwischenanordnung geformt wird, kleiner als eine zulässige Belastung des hartgelöteten Abschnitts ist.A method of manufacturing a vacuum valve, whereby a vacuum chamber is formed by connecting a fixed-side end plate and a moving-side end plate by brazing each to a respective end of a cylindrical insulating chamber, together with which an intermediate assembly of a vacuum valve formed by accommodating a fixed-side electrode and a moving-side electrode within the vacuum chamber is arranged in a mold, and whereby an insulating resin layer is formed by molding an insulating resin material in an outer periphery of the intermediate assembly, wherein a region of an outer edge portion of the fixed-side end plate is formed such that a stress generated in a brazed portion between the insulating chamber and the fixed-side end plate when the insulating resin material is molded in the outer periphery of the intermediate assembly is smaller than an allowable stress of the brazed portion. Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß Anspruch 1, wobei direktes Formpressen, Spritzpressen oder Spritzgießen als Formverfahren zum Ausbilden der isolierenden Harzschicht verwendet wird.Method for producing a vacuum valve according to Claim 1 , wherein direct compression molding, transfer molding or injection molding is used as the molding method for forming the insulating resin layer. Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die isolierende Harzschicht ausgebildet wird, indem die äußere Peripherie der Zwischenanordnung mit dem isolierenden Harzmaterial in einem Zustand gefüllt wird, wobei ein Abschnitt der bewegungsseitigen Endplattenseite der Isolierkammer oder der bewegungsseitigen Endplatte durch einen Kern gestützt ist.Method for producing a vacuum valve according to Claim 1 or 2 wherein the insulating resin layer is formed by filling the outer periphery of the intermediate assembly with the insulating resin material in a state where a portion of the moving-side end plate side of the insulating chamber or the moving-side end plate is supported by a core. Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei ein isolierendes Harz, das eines von einem ungesättigten Polyesterharz, einem Vinylesterharz, einem Phenolharz oder einem Acrylharz als Hauptelement aufweist, als das isolierende Harzmaterial verwendet wird.Method for producing a vacuum valve according to one of the Claims 1 until 3 wherein an insulating resin having one of an unsaturated polyester resin, a vinyl ester resin, a phenol resin or an acrylic resin as a main element is used as the insulating resin material. Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Zwischenanordnung gebildet wird, indem ferner eine Abdeckung vorgesehen wird, die den äußeren Randabschnitt der fixiertseitigen Endplatte abdeckt.Method for producing a vacuum valve according to one of the Claims 1 until 4 wherein the intermediate assembly is formed by further providing a cover covering the outer edge portion of the fixed-side end plate. Verfahren zur Herstellung eines Vakuumventils nach Anspruch 5, wobei die Abdeckung durch ein leitendes Glied gebildet wird.Method for producing a vacuum valve according to Claim 5 , wherein the cover is formed by a conductive member.
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