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TECHNISCHES GEBIET
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Drucksensorgehäuse, in das ein Drucksensor vom Membrantyp montiert ist, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung, und betrifft genauer ein Verfahren zur Einrichtung der Druckeinleitabschnitte.
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ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
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Drucksensoren sind Instrumente, die den Druck von Gasen oder Flüssigkeiten über eine Membran durch ein druckempfindliches Element messen, in ein elektrisches Signal umwandeln und ausgeben. Prinzipiell ist an der Oberfläche einer Membran ein Halbleiter-Dehnungsmesser gebildet und wird die infolge einer Verformung der Membran aufgrund einer Kraft von außen (eines Drucks) auftretende Veränderung des elektrischen Widerstands durch die Wirkung eines Piezowiderstands, der ein druckempfindliches Widerstandselement darstellt, in ein elektrisches Signal umgewandelt.
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Diese oben angeführten Drucksensoren werden je nachdem, welchen Druck sie als Kraft von außen (Druck) verwenden, grob in zwei Arten eingeteilt, Absolutdrucksensoren, die einen mit einem Vakuum als Standard ausgedrückten Druck messen, und Differenz(Relativ)drucksensoren, die einen in Bezug auf einen beliebigen Vergleichsdruck (Standarddruck) wie etwa den Atmosphärendruck ausgedrückten Druck messen.
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Als Stand der Technik für eine Drucksensoreinheit, in die ein oben beschriebener Drucksensor vom Membrantyp montiert ist, ist beispielsweise die in dem Patentliteraturbeispiel 1 offenbarte Drucksensoreinheit bekannt.
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Die in dem Patentliteraturbeispiel 1 offenbarte Drucksensoreinheit 100 umfasst wie in 7 gezeigt ein rechteckiges kastenförmiges Gehäuse 101, in dem ein Absolutdrucksensor 110 fixiert ist, und einen Deckel 120 als Abdeckelement zur Abdeckung einer oberen Öffnung des Gehäuses 101. Der Absolutdrucksensor 110 weist in seinem Inneren einen Vakuumhohlraum 111 auf; und mehrere nicht dargestellte Piezowiderstände, die an dem Umfang einer Membran 112 angeordnet sind, stellen das Ausmaß der Verformung der Membran 112 aufgrund eines Differenzdrucks zwischen diesem Vakuumhohlraum 111 und der Außenseite fest. Der Feststellwert des Absolutdrucksensors 110 wird über eine externe Anschlussklemme 102, die an der Unterseite des rechteckigen kastenförmigen Gehäuses 101 gebildet ist, an eine nicht dargestellte externe Vorrichtung ausgegeben.
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In dem Deckel 120 ist direkt über dem Absolutdrucksensor 110, das heißt, in einer Mittenposition des Deckels 120, eine Öffnung 121 gebildet, die einen Druckeinleitabschnitt darstellt, und durch diese wird das Innere des Drucksensorgehäuses 100 dem zu messenden Druck ausgesetzt.
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Als weiteres herkömmliches Drucksensorgehäuse gibt es die in dem Patentliteraturbeispiel 2 offenbarte Ausführung. Bei dem in dem Patentliteraturbeispiel 2 offenbarten Drucksensorgehäuse 200 sind wie in 8(a) und 8(b) gezeigt auf Seiten beider Enden einer Diagonale eines Deckelkörpers 220 mit einem quadratischen Grundriss Druckeinleitöffnungen 221, 221 gebildet.
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Aus der
JP 2008 - 26 080 A ist ein Drucksensor mit einem Gehäuse, in welchem ein Sensorchip angeordnet ist, und einem Deckelkörper bekannt, der an dem Gehäuse mittels eines hitzebeständigen Harzmaterials angeklebt ist. Das Gehäuse ist aus einer mehrlagigen keramischen Leiterplatte gebildet, und der Deckelkörper ist aus einem Metall gebildet und weist eine näherungsweise rechteckige Form auf. Die Ecken des Deckelkörpers weisen viertelkreisförmige Aussparungen auf. Aufgrund der Aussparungen sind zwischen dem Deckelkörper und dem Gehäuse Zwischenräume gebildet, welche dazu dienen, dass Luft von außerhalb in den Innenraum des Gehäuses gelangt, wenn der Deckelkörper an dem Gehäuse angebracht ist.
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LITERATUR DER VORLÄUFERTECHNIK
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PATENTLITERATURBEISPIELE
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- Patentliteraturbeispiel 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift JP 2010 - 96 505 A (Veröffentlichungstag: 30. April 2010)
- Patentliteraturbeispiel 2: Japanische Patentoffenlegungsschrift JP 2010 - 281 569 A (Veröffentlichungstag: 16. Dezember 2010)
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KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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AUFGABE, DIE DIE ERFINDUNG LÖSEN SOLL
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Doch bei den Drucksensoren, die in den obigen Patentliteraturbeispielen des Stands der Technik 1 und 2 offenbart sind, sind die Druckeinleitöffnungen, die Druckeinleitabschnitte darstellen, an der oberen Fläche des Deckelkörpers gebildet.
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Da die Druckeinleitöffnungen auf dem Deckelkörper vorhanden sind, besteht das Problem, dass sie bei einer Bestrahlung des Drucksensors mit Licht zu einem Hauptfaktor für ein Rauschen bei den Sensoreigenschaften werden und die Eigenschaften des Drucksensors abnehmen.
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Da in dem Deckelkörper gesondert Druckeinleitöffnungen gebildet werden müssen, entstehen zusätzliche Kosten für den Deckelkörper, was letztendlich mit einem Kostenanstieg verbunden ist.
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Die vorliegende Erfindung erfolgte angesichts der Probleme des Stands der Technik und hat die Aufgabe, ein Drucksensorgehäuse sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung bereitzustellen, wodurch im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte Streulicht zu dem Drucksensor verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Sensoreigenschaften verhindert wird und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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MITTEL ZUR LÖSUNG DER AUFGABE
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Diese Aufgaben werden durch ein Drucksensorgehäuse gemäß Patentanspruch 1 bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensorgehäuses gemäß Patentanspruch 8 gelöst.
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Weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
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Ein Drucksensorgehäuse gemäß eines Aspekts umfasst einen vertieft geformten Gehäusehauptkörper, in dessen Inneres ein Drucksensor montiert ist, und einen Deckelkörper aus einem lichtabschirmenden Element, der den Gehäusehauptkörper in einem Zustand abdeckt, in dem über der Membran des Drucksensors ein Innenraum sichergestellt wird, wobei der Gehäusehauptkörper und der Deckelkörper an mehreren Stellen abschnittsweise verklebt sind und in den anderen Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper und dem Deckelkörper außer den abschnittsweisen Verklebungen Zwischenräume gebildet sind, die die Außenseite und den Innenraum des Gehäusehauptkörpers verbinden.
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Nach dem obigen Aspekt umfasst das Drucksensorgehäuse einen vertieft geformten Gehäusehauptkörper, in dessen Inneres ein Drucksensor montiert ist, und einen Deckelkörper aus einem lichtabschirmenden Element, das den Gehäusehauptkörper in einem Zustand abdeckt, in dem über der Membran des Drucksensors ein Innenraum sichergestellt wird.
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Bei einem solchen Drucksensorgehäuse sind Druckeinleitabschnitte erforderlich, die die Außenluft und den Drucksensor verbinden. Doch wenn die Druckeinleitabschnitte durch das Bilden von Durchgangsöffnungen in der oberen Fläche des Deckelkörpers ausgeführt werden, kommt es durch den Einfluss von Streulicht bei den Sensoreigenschaften zu einem Rauschen und kann die angenommene Genauigkeit nicht erreicht werden. In einem solchen Fall ist es denkbar, die Druckeinleitabschnitte in dem Gehäusehauptkörper auszubilden, doch wenn der Gehäusehauptkörper aus einem Keramikmaterial besteht, ist ein Durchbohren des Keramikmaterials schwierig. Das heißt, da das Keramikmaterial auch im Fall einer Ausbildung von Durchgangsöffnungen in einem letzten Prozess gebrannt wird, ist es schwierig, die Form der Durchgangsöffnungen verlässlich zu gewährleisten.
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Bei dem vorliegenden Aspekt sind die Druckeinleitabschnitte durch sorgfältiges Überlegen der Gestaltung des Deckelkörpers gebildet. Konkret sind bei dem Drucksensorgehäuse des vorliegenden Aspekts der Hauptkörperabschnitt und der Deckelkörper an mehreren Stellen abschnittsweise verklebt und sind in den anderen Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper und dem Deckelkörper außer den abschnittsweisen Verklebungen Zwischenräume gebildet, die das Äußere und das Innere des Gehäusehauptkörpers verbinden.
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Daher kommt es dazu, dass die Zwischenräume in den seitlichen Richtungen des Drucksensorgehäuses ausgebildet werden. Als Folge wird der Drucksensor nicht über die Zwischenräume mit Streulicht bestrahlt, kommt es bei den Sensoreigenschaften nicht zu einem Rauschen, und kommt es nicht dazu, dass die angenommene Genauigkeit nicht erreicht werden kann.
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Außerdem wird auch keine gesonderte Ausbildung der Druckeinleitabschnitte in dem Deckelkörper vorgenommen. Daher kommt es auch nicht zur Entstehung von zusätzlichen Kosten für den Deckelkörper, die letztendlich mit einem Kostenanstieg verbunden sind.
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Folglich kann ein Drucksensorgehäuse bereitgestellt werden, bei dem im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte Streulicht zu dem Drucksensor verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Eigenschaften des Drucksensors verhindert wird, und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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Bei einem Verfahren zur Herstellung eines Drucksensorgehäuses gemäß einem Aspekt, um das oben beschriebene Drucksensorgehäuse herzustellen erfolgt nach einer derartigen Bildung von mehreren Deckelkörpern durch eine Galvanoformung, dass die Querschnittform der einzelnen Deckelkörper hutförmig wird und in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker vorhanden sind, auf einer Metallplatte eine Vereinzelung.
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Nach dem obigen Aspekt werden bei der Herstellung des Drucksensorgehäuses mehrere Deckelkörper durch eine derartige Galvanoformung, dass die Querschnittform der einzelnen Deckelkörper hutförmig wird und in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker vorhanden sind, plattenartig auf einer Metallplatte hergestellt. Danach wird eine Vereinzelung vorgenommen.
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Als Folge können mehrere mit Höckern versehene Deckelkörper durch eine Galvanoformung gebildet werden. Diese Galvanoformung ist ein Verfahren, bei dem die Produkte nach der Vornahme einer Galvanisierung mit einer derartigen hohen Dicke, dass auf der Metallform eine Filmdicke in Millimetereinheiten entsteht, abgelöst werden, und wird als Technik, durch die ein Modell sorgfältig und genau nachgebildet werden kann, auf dem Gebiet der Dekoration hauptsächlich für Kunsthandwerk und (buddhistische) Altargerätschaften verwendet.
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Da bei dem vorliegenden Aspekt eine Galvanoformung eingesetzt wird, können mehrere Deckelkörper mit guter Genauigkeit und leicht so gebildet werden, dass die Querschnittform der einzelnen Deckelkörper hutförmig wird, und dass in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker vorhanden sind. Als Folge wird im Herstellungsprozess eine Prozessvereinfachung möglich und kann darüber hinaus eine Verringerung der Kosten verwirklicht werden.
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Folglich kann ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensorgehäuses bereitgestellt werden, bei dem im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte Streulicht zu dem Drucksensor verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Sensoreigenschaften verhindert wird, und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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RESULTAT DER ERFINDUNG
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Das Drucksensorgehäuse des vorliegenden Aspekts ist wie oben beschrieben so ausgeführt, dass ein Gehäusehauptkörper und ein Deckelkörper an mehreren Stellen abschnittsweise verklebt sind und in den anderen Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper und dem Deckelkörper außer den abschnittsweisen
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Verklebungen Zwischenräume gebildet sind, die das Äußere und das Innere des Gehäusehauptkörpers verbinden.
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Das Verfahren zur Herstellung eines Drucksensorgehäuses des vorliegenden Aspekts ist wie oben beschrieben ein Verfahren, bei dem nach einer derartigen Bildung von mehreren Deckelkörpern durch eine Galvanoformung, dass die Querschnittform der einzelnen Deckelkörper hutförmig wird und in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker vorhanden sind, an einer Metallplatte eine Vereinzelung erfolgt.
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Daher besteht die Wirkung, dass ein Drucksensorgehäuse und ein Verfahren zu seiner Herstellung bereitgestellt werden können, wobei im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte Streulicht zu dem Drucksensor verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Sensoreigenschaften verhindert wird und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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Figurenliste
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- 1(a) zeigt eine Ausführungsform eines Drucksensorgehäuses nach der vorliegenden Erfindung und ist eine Draufsicht, die den Aufbau des Drucksensorgehäuses zeigt, und 1(b) zeigt eine Schnittansicht entlang der Linie A-A in 1(a);
- 2 ist eine Schrägansicht, die den Aufbau des obigen Drucksensorgehäuses zeigt;
- 3(a), (b) und (c) sind Draufsichten, die verschiedene Verklebestellen des Gehäusehauptkörpers und des Deckelkörpers zeigen;
- 4(a), (b) und (c) sind Vorderansichten, die verschiedene Formen von Höckern zeigen;
- 5 ist eine Schnittansicht, die den Aufbau eines aus Kügelchen bestehenden Höhenregulierungselements an den Verklebestellen zeigt;
- 6(a) zeigt das Verfahren zur Herstellung des Drucksensorgehäuses und ist eine Draufsicht, die mehrere Deckel zeigt, die durch Galvanoformung plattenartig auf einer Metallform gebildet sind, 6(b) zeigt eine Seitenansicht des wichtigsten Bereichs davon, und 6(c) zeigt eine vergrößerte Schnittabsicht des wichtigsten Bereichs von (b);
- 7 ist eine Schnittansicht, die den Aufbau eines herkömmlichen Drucksensorgehäuses zeigt; und
- 8(a) ist eine Schnittansicht, die den Aufbau eines anderen herkömmlichen Drucksensorgehäuses zeigt, und 8(b) ist eine Schrägansicht, die den Aufbau dieses Drucksensorgehäuses zeigt.
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AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
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Nachstehend wird anhand von 1 bis 6 eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erklärt.
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Das Drucksensorgehäuse der vorliegenden Ausführungsform ist zum Beispiel ein Gehäuse, in das der Drucksensor eines Absolutdrucksensors montiert ist. und in der Folge erfolgt die Erklärung mit einem Absolutdrucksensor als Drucksensor. Es besteht jedoch keineswegs eine Beschränkung darauf, der Drucksensor kann auch ein Differenzdruck(Relativdruck)sensor sein, der einen in Bezug auf einen beliebigen Vergleichsdruck (Standarddruck) wie etwa den Atmosphärendruck ausgedrückten Druck misst.
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Der Aufbau des Drucksensorgehäuses 1 der vorliegenden Ausführungsform wird anhand von 1(a), 1(b) und 2 erklärt. 1(a) ist eine Draufsicht, die den Aufbau des Drucksensorgehäuses 1 der vorliegenden Ausführungsform zeigt, 1(b) ist eine Schnittansicht entlang der Linie A-A in 1(a), und 2 ist eine Schrägansicht, die den Aufbau des Drucksensorgehäuses 1 zeigt.
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Wie in 1(a), 1(b) und 2 gezeigt umfasst das Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform einen zum Beispiel rechteckigen vertieft geformten Gehäusehauptkörper 20, in den ein Drucksensor 10 montiert ist, und einen Deckel 30 als Deckelkörper, der einen Öffnungsbereich des Gehäusehauptkörpers 20 in einem Zustand abdeckt, in dem über einer später besprochenen Membran 11 ein Innenraum 21 sichergestellt wird.
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Der Drucksensor 10 ist ein Absolutdrucksensor, der wie in 1(b) gezeigt die Membran 11, an deren Umfangsrand mehrere nicht dargestellte Piezowiderstände als druckempfindliche Widerstandselemente gebildet sind, und eine Halbleitersensorgrundplatte 13, in der an einer Seite, die zu der Bildungsfläche der Piezowiderstände an der Membran 11 entgegengesetzt ist, ein Hohlraum 12 aus einem zum Beispiel zylinderförmigen Raumbereich in einem Vakuumzustand gebildet ist, aufweist.
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Bei dem Drucksensor 10 aus dem Absolutdrucksensor mit dem oben beschriebenen Aufbau ändert sich der Widerstandswert der mehreren Piezowiderstände durch eine Verzerrung der Membran 11, die einem an die Außenfläche angelegten Druck des Innenraums 21 entspricht, gemäß dem Verzerrungsgrad und wird ein Mittelpunktpotential eines durch die mehreren Piezowiderstände gebildeten Brückenkreises als Sensorausgang an eine nicht dargestellte externe Vorrichtung ausgegeben. Dadurch kann durch den Differenzdruck zwischen der Außenluft und dem Vakuum der Absolutdruck gemessen werden.
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Der vertieft geformte Gehäusehauptkörper 20 ist aus einem Keramikmaterial gebildet und weist eine zweistufige Vertiefung auf. Bei der vorliegenden Erfindung ist der Gehäusehauptkörper 20 nicht unbedingt auf ein Keramikmaterial beschränkt, sondern ist es auch möglich, dass er aus einem Harzmaterial besteht.
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Die zweistufige Vertiefung besteht konkret aus einem seichten breiten Vertiefungsabschnitt 22 und einem an der Innenseite des seichten breiten Vertiefungsabschnitts 22 gebildeten engen tiefen Vertiefungsabschnitt 23, wobei die horizontale Schnittfläche sowohl des seichten breiten Vertiefungsabschnitts 22 als auch des engen tiefen Vertiefungsabschnitts 23 ein Quadrat bildet.
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Der Drucksensor 10 ist durch Kleben an einen Boden 23a des engen tiefen Vertiefungsabschnitts als Drucksensoranbringungsboden in dem engen tiefen Vertiefungsabschnitt 23 des Gehäusehauptkörpers 20 montiert. An dem Umfang der Membran 11 des Drucksensors 10 sind mehrere Kontaktstellen 14 gebildet, und an die Kontaktstellen 14 sind Drähte 15, die zum Beispiel aus Gold (Au) bestehen, angeschlossen.
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Die anderen Enden der Drähte 15 sind an Drahtanschluss-Kontaktstellen 25, die an dem Boden 22a des seichten breiten Vertiefungsabschnitts 22 des Gehäusehauptkörpers 20 gebildet sind, angeschlossen. Die Drahtanschluss-Kontaktstellen 25 sind an Durchkontaktierungsleitungen 26 als Durchgangselektrodenleitungen, die in dem Boden 22a des seichten breiten Vertiefungsabschnitts 22 des Gehäusehauptkörpers 20 gebildet sind, und an externe Anschlussklemmen 27, die an der Rückfläche des Gehäusehauptkörpers 20 gebildet sind, angeschlossen.
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Als Folge werden die elektrischen Signale von den Piezowiderständen des Drucksensors 10 über die Drähte 15, die Drahtanschluss-Kontaktstellen 25, die Durchkontaktierungsleitungen 26 und die externen Anschlussklemmen 27 elektrisch an eine nicht dargestellte externe Vorrichtung angeschlossen.
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Der Deckel 30 besteht zum Beispiel aus einer Metallplatte, die ein lichtabschirmendes Element ist, und deckt den Öffnungsbereich des Gehäusehauptkörpers 20 ab. Der Deckel 30 ist bei der vorliegenden Erfindung nicht unbedingt auf eine Metallplatte beschränkt, sondern kann auch aus einem lichtabschirmenden Element aus einem Nichtleiter bestehen.
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Der Deckel 30 ist bei der vorliegenden Ausführungsform mit einer hutförmigen Querschnittform ausgeführt und weist in der Mitte einen nach oben vorspringenden quadratischen Kappenteil 31 und an dessen Umfang einen Flanschteil 32 auf. Was die Abmessungen des Deckels 30 betrifft, ist dieser zum Beispiel 3,6 mm lang × 3,6 mm breit und beträgt die Dicke des Kappenteils 31 zum Beispiel 0,2 mm.
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Dadurch kann die Stärke im Vergleich zu einem Deckel 30 aus einer flachen Platte erhöht werden und kann ein Durchbiegen verhindert werden. Außerdem kann verhindert werden, dass die Drähte 15 mit dem Deckel 30 in Kontakt gelangen, wenn der Drucksensor 10 im Inneren des vertieft geformten Gehäusehauptkörpers 20 montiert wird und die Drähte 15 von dem Drucksensor 10 ausgehend angeschlossen werden.
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Übrigens sind bei dem Drucksensorgehäuse 1 mit dem oben beschriebenen Aufbau Druckeinleitabschnitte, die die Außenluft und den Drucksensor 10 verbinden, erforderlich. Doch wenn in der oberen Fläche des Deckels 30 Druckeinleitabschnitte ausgeführt werden, indem Durchgangsöffnungen gebildet werden, kommt es durch den Einfluss von Streulicht bei den Sensoreigenschaften zu einem Rauschen und kann die angenommene Genauigkeit nicht erreicht werden. In einem solchen Fall ist es denkbar, die Druckeinleitabschnitte in dem Gehäusehauptkörper 20 auszubilden, doch da der Gehäusehauptkörper 20 bei der vorliegenden Ausführungsform aus einem Keramikmaterial besteht, ist ein Durchbohren des Keramikmaterials schwierig. Das heißt, da das Keramikmaterial auch im Fall einer Ausbildung von Durchgangsöffnungen in einem letzten Prozess gebrannt wird, ist es schwierig, die Form der Durchgangsöffnungen verlässlich zu gewährleisten.
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Daher sind die Druckeinleitabschnitte bei der vorliegenden Ausführungsform durch sorgfältiges Überlegen der Gestaltung des Deckels 30 ausgeführt. Konkret sind bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform die obere Fläche 20a des Gehäusehauptkörpers 20 und der Flanschteil 32 des Deckels 30 wie in 1(a) gezeigt an mehreren Stellen durch einen Klebstoff 33 abschnittsweise verklebt und sind in den anderen Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper 20 und dem Deckel 30 außer den abschnittsweisen Verklebungen wie in 1(b) gezeigt Zwischenräume 34, die Druckeinleitabschnitte darstellen, gebildet. Als Folge werden die Außenseite des Gehäusehauptkörpers 20, das heißt, die Außenluft, und der Innenraum 21 durch die Zwischenräume 34 verbunden.
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Bei den mehreren Stellen, an denen der Gehäusehauptkörper 20 und der Deckel 30 abschnittsweise verklebt sind, kann es sich wie in 3(a) gezeigt um drei Stellen - zwei Stellen in Eckenbereichen des Flanschteils 32 des quadratischen Deckels 30 und eine Stelle in der Mitte des Flanschteils 32 an der gegenüberliegenden Seite - handeln. Oder es kann sich wie in 3(b) gezeigt um vier Stellen - eine Stelle in der Mitte jeder Seite des Flanschteils 32 des quadratischen Deckels 30 - handeln. Durch die Ausbildung von vier Stellen wird ein stabilerer Halt als bei drei Stellen möglich. Schließlich kann es sich wie in 3(c) gezeigt um acht Stellen handeln, wobei den vier Stellen von 3(b) noch vier Stellen in den einzelnen Eckenbereichen hinzugefügt wurden. Dadurch kann der Deckel 30 noch stabiler gehalten werden. Die Stellen der abschnittsweisen Verklebungen sind jedoch nicht darauf beschränkt, sondern können auch andere Stellen sein.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform wird für das abschnittsweise Verkleben ein Klebstoff 33 verwendet, der zum Beispiel ein Harz auf Silikonbasis wie etwa zum Beispiel eine leitfähige Paste enthält. Auf diese Weise entsteht durch Verwenden eines weichen Harzes auf Silikonbasis als Klebstoff ein schwingungsdämpfender Aufbau und Beständigkeit gegenüber Stößen. Außerdem wird es auch möglich, Verzerrungen, die sich aus den unterschiedlichen Wärmedehnungskoeffizienten des Gehäusehauptkörpers 20, der aus einem Keramikmaterial besteht, und des Deckels 30, der aus einem Metallmaterial besteht, abzuschwächen.
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Übrigens besteht dann, wenn der Gehäusehauptkörper 20 und der Deckel 30 nur durch einen Klebstoff 33 an mehreren Stellen abschnittsweise verklebt werden, die Gefahr, dass zwischen dem Gehäusehauptkörper 20 und dem Deckel 30 keine ausreichenden Zwischenräume 30 sichergestellt werden können, da der Klebstoff 33 flach wird.
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Daher sind bei der vorliegenden Ausführungsform an den Stellen, an denen der Gehäusehauptkörper 20 und der Deckel 30 abschnittsweise verklebt sind, Höhenregulierungselemente 35 ausgebildet. Dadurch kann den Zwischenräumen 30 in den Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper 20 und dem Deckel 30 außer den abschnittsweisen Verklebungen eine ausreichende Höhe für die Verbindung zwischen der Außenseite des Gehäusehauptkörpers 20 und dem Innenraum 21 verliehen werden.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform sind die Höhenregulierungselemente 35 wie in 1(b) gezeigt zum Beispiel durch Höcker 35a gebildet. Das heißt, die Höcker 35a sind Vorsprünge, die durch einen Metallüberzug an dem Elektrodenteil eines Halbleiters gebildet sind. Daher können die Vorsprünge als Höhenregulierungselemente durch die Halbleitertechnik zur Herstellung des Drucksensors 10 und des Drucksensorgehäuses 1 leicht durch Anwenden einer Höckerbildungstechnik gebildet werden. Bei der Ausbildung der Höcker 35a als Höhenregulierungselemente 35 wird der Klebstoff 33 wie in 1(b) gezeigt um die Höcker 35a herum verteilt. Folglich stehen die Spitzenenden der Höcker 35a in einem Kontakt mit der oberen Fläche 20a des Gehäusehauptkörpers 20 oder einem nachstehend besprochenem metallischen Leitungsmuster 28.
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Was die Form der Höcker 35a betrifft, sind wie in 4(a), 4(b) und 4(c) gezeigt verschiedenste Formen denkbar. Zum Beispiel kann wie in 4(a) gezeigt ein Kegelstumpf oder ein Pyramidenstumpf ausgeführt werden, oder wie in 4(b) gezeigt ein Kegel oder eine Pyramide wie etwa eine Dreieckspyramide ausgeführt werden. Oder es ist wie in 4(c) gezeigt möglich, eine runde Säule oder eine eckige Säule wie etwa eine dreieckige oder viereckige Säule auszuführen. Bei einer Bildung durch eine Metallform weisen wie in 4(a) und 4(b) gezeigte Kegelstümpfe oder Pyramidenstümpfe oder Kegel oder Pyramiden wie etwa Dreieckspyramiden den Vorteil einer leichten Trennung von der Form auf.
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Bei der obigen Erklärung wurde ausgeführt, dass das Höhenregulierungsmittel 35 durch Höcker 35a gebildet ist, doch besteht keineswegs eine Beschränkung darauf und ist es wie in 5 gezeigt auch möglich, Kügelchen 35b als Höhenregulierungsmittel 35 zu verwenden. Als Kügelchen 35b können zum Beispiel Glasperlen oder Metallkugeln verwendet werden. Im Fall von Kügelchen 35b können diese in den Klebstoff 33 eingemischt verwendet werden.
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In dem Deckel 30 kann sich eine elektrische Ladung ansammeln. Wenn der Deckel 30 eine elektrische Ladung aufweist, kann diese elektrische Ladung einen nachteiligen Einfluss auf den Drucksensor 10 ausüben; zum Beispiel kann der Fehler auftreten, dass die Spannungsschwankungen des Drucksensors 10 groß werden.
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Was dies betrifft, ist bei der vorliegenden Ausführungsform wie in 1(a) gezeigt an der oberen Fläche 20a des Gehäusehauptkörpers 20 ein metallisches Leitungsmuster 28 gebildet, um zu verhindern, dass der Deckel 30 eine elektrische Ladung aufweist. Die Höcker 35a oder die aus Metallkugeln bestehenden Kügelchen 35b stehen sowohl mit dem Deckel 30 als auch mit dem metallischen Leitungsmuster 28 in Kontakt. Das metallische Leitungsmuster 28 ist an die oben beschriebenen Drahtanschluss-Kontaktstellen 25, die an dem Boden 22a des seichten breiten Vertiefungsabschnitts 22 des Gehäusehauptkörpers 20 gebildet sind, angeschlossen. Daher besteht im Fall der Ansammlung einer elektrischen Ladung in dem Deckel 30 ein elektrischer Erdanschluss über die Höcker 35a oder die Kügelchen 35b aus Metallkugeln sowie das metallische Leitungsmuster 28, die Drahtanschluss-Kontaktstellen 25, die Durchkontaktierungsleitungen 26 und die externen Anschlussklemmen an die Erdung der nicht dargestellten externen Vorrichtung. Da es als Folge nicht dazu kommt, dass der Deckel 30 eine elektrische Ladung aufweist, besteht kein nachteiliger Einfluss auf den Drucksensor 10. Folglich kann ein elektromagnetisches Rauschen des Drucksensors 10 beseitigt werden. Wenn Kügelchen 35b, die aus Glasperlen bestehen, als Höhenregulierungselemente 35 verwendet werden, kann durch Verwenden eines leitfähigen Klebstoffs 33 ein elektrischer Durchgang zwischen dem Deckel 30 und dem metallischen Leitungsmuster 28 sichergestellt werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform sind die Höcker 35a durch Galvanoformung oder eine Pressbearbeitung einstückig mit dem Deckel 30 ausgeführt. Da die Höcker 35a dadurch einstückig mit dem Deckel 30 gebildet werden, kann verglichen mit einer Ausbildung der Höcker 35a nach der Bildung des Deckels 30 auf eine Verringerung des Arbeitsaufwands im Herstellungsprozess abgezielt werden und darüber hinaus auf eine Verringerung der Kosten abgezielt werden. Bei der Vornahme einer Galvanoformung können durch die Formgebung der Metallform Höcker 35a mit einer gewünschten Form ausgeführt werden.
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Da außerdem im Fall einer Galvanoformung kein Verfahren wie etwa ein Stanzen oder Tiefziehen aus einer Metallplatte verwendet wird, können die Deckel 30 durch gleichzeitiges Bilden von mehreren Deckeln 30, die Höcker 35a umfassen, und anschließendes Vereinzeln hergestellt werden. Folglich kann eine Prozessvereinfachung des Herstellungsprozesses und darüber hinaus eine Verringerung der Kosten verwirklicht werden. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist es jedoch nicht unbedingt nötig, die Höcker 35a durch Galvanoformung oder eine Pressbearbeitung einstückig mit dem Deckel 30 auszuführen, sie können auch gesondert ausgebildet werden.
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Auf Basis von 6(a), 6(b) und 6(c) werden nun Einzelheiten des Verfahrens zur Herstellung des Deckels 30 bei dem Drucksensorgehäuse 1 mit dem oben beschriebenen Aufbau erklärt. 6(a) zeigt das Verfahren zur Herstellung des Drucksensorgehäuses und ist eine Draufsicht, die zahlreiche Deckel zeigt, welche durch Galvanoformung plattenartig gebildet wurden, 6(b) zeigt eine Seitenansicht des wichtigsten Bereichs davon, und 6(c) ist eine vergrö-ßerte Schnittansicht des wichtigsten Bereichs von 6(b).
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Wie in 6(a), 6(b) und 6(c) gezeigt werden bei der Herstellung des Deckels 30 des Drucksensorgehäuses 1 mehrere Deckel 30 ... durch Galvanoformung so auf einer Metallplatte gebildet, dass die Querschnittform der einzelnen Deckel 30 hutförmig wird und in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker 35a vorhanden sind. Bei der vorliegenden Ausführungsform werden auf einer Plattenform zum Beispiel 18 × 18 Deckel 30 matrixförmig durch Galvanoformung gebildet. Danach werden sie durch Dicing vereinzelt.
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Diese Galvanoformung ist ein Verfahren, bei dem die Produkte nach der Vornahme einer Galvanisierung mit einer derartigen hohen Dicke, dass auf der Metallform eine Filmdicke in Millimetereinheiten entsteht, abgelöst werden, und wird als Technik, durch die ein Modell sorgfältig und genau nachgebildet werden kann, auf dem Gebiet der Dekoration hauptsächlich für Kunsthandwerk und (buddhistische) Altargerätschaften verwendet.
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Da bei der vorliegenden Ausführungsform die Galvanoformung verwendet wird, können folglich mehrere Deckel mit guter Genauigkeit und leicht so gebildet werden, dass die Querschnittform der einzelnen Deckel hutförmig wird, und dass in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker 35a vorhanden sind. Als Folge wird im Herstellungsprozess eine Prozessvereinfachung möglich und kann darüber hinaus eine Verringerung der Kosten verwirklicht werden.
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Daher kann ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensorgehäuses bereitgestellt werden, bei dem im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte eine Einstrahlung von Licht zu dem Drucksensor verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Sensoreigenschaften verhindert wird, und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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Somit umfasst das Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform einen vertieft geformten Gehäusehauptkörper 20, in dessen Inneres der Drucksensor 10 montiert ist, und einen Deckel 30 aus einem lichtabschirmenden Element, der den Gehäusehauptkörper 20 in einem Zustand abdeckt, in dem über der Membran 11 des Drucksensors 11 ein Innenraum 21 sichergestellt wird. Der Gehäusehauptkörper 20 und der Deckel 30 sind an mehreren Stellen abschnittsweise verklebt, und in den anderen Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper 20 und dem Deckel außer den abschnittsweisen Verklebungen sind Zwischenräume 34 gebildet, die die Außenseite und den Innenraum 21 des Gehäusehauptkörpers 20 verbinden.
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Daher kommt es dazu, dass die Zwischenräume 34 in den seitlichen Richtungen des Drucksensorgehäuses 1 ausgebildet werden. Als Folge wird der Drucksensor nicht über die Zwischenräume 34 mit Streulicht bestrahlt, kommt es bei den Sensoreigenschaften nicht zu einem Rauschen, und kommt es nicht dazu, dass die angenommene Genauigkeit nicht erreicht werden kann.
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Außerdem wird auch keine gesonderte Ausbildung der Druckeinleitabschnitte in dem Deckel 30 vorgenommen. Daher kommt es auch nicht zur Entstehung von zusätzlichen Kosten für den Deckel 30, die letztendlich mit einem Kostenanstieg verbunden sind.
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Folglich kann ein Drucksensorgehäuse 1 bereitgestellt werden, bei dem im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte Streulicht zu dem Drucksensor 10 verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Eigenschaften des Drucksensors 10 verhindert wird, und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform besteht der Gehäusehauptkörper 20 aus einem Keramikmaterial und besteht der Deckel 30 aus einem Metallmaterial. Da das Keramikmaterial eine hohe Starrheit, einen geringen linearen Dehnungskoeffizienten und Wärmebeständigkeit aufweist und überdies über chemische Beständigkeit verfügt, eignet es sich hervorragend für die Montage des Drucksensors 10. Folglich kann verglichen mit einem Gehäusehauptkörper aus einem Harz ein Drucksensor 10 mit einer hohen Leistungsfähigkeit bereitgestellt werden.
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Wenn der Gehäusehauptkörper 20 aus einem Keramikmaterial besteht, ist ein Durchbohren des Keramikmaterials schwierig. Im Gegensatz dazu wird das Keramikmaterial bei der vorliegenden Ausführungsform nicht durchbohrt, sondern können die Druckeinleitabschnitte durch Überlegen des Aufbaus des Deckels 30 leicht ausgebildet werden.
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Da der Deckel 30 aus einem Metallmaterial besteht, ist er undurchsichtig und verfügt er über die Fähigkeit, Licht abzuschirmen. Daher kommt es bei den Sensoreigenschaften nicht zu einem Rauschen durch den Einfluss von Streulicht und kommt es nicht dazu, dass die angenommene Genauigkeit nicht erreicht werden kann.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform sind an den Stellen, an denen der Gehäusehauptkörper 20 und der Deckel 30 abschnittsweise verklebt sind, Höhenregulierungselemente 35 ausgebildet. Dadurch kann den Zwischenräumen 30 in den Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper 20 und dem Deckel 30 außer den abschnittsweisen Verklebungen eine ausreichende Höhe für die Verbindung zwischen der Außenseite des Gehäusehauptkörpers 20 und dem Innenraum 21 verliehen werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform bestehen die Höhenregulierungselemente 35 aus Höckern 35a. Daher können die Vorsprünge als Höhenregulierungselemente 35 durch die Halbleitertechnik zur Herstellung des Drucksensors 10 und des Drucksensorgehäuses 1 leicht durch Anwenden einer Höckerbildungstechnik gebildet werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform sind die Höcker 35a durch Galvanoformung, eine Pressbearbeitung oder eine Stanzformung einstückig mit dem Deckel 30 gebildet.
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Dadurch wird im Herstellungsprozess eine Prozessvereinfachung möglich und kann darüber hinaus eine Verringerung der Kosten verwirklicht werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform ist an der Fläche des Gehäusehauptkörpers 20, die mit dem Deckel 30 verklebt wird, ein metallisches Leitungsmuster 28 zur Erdung angeordnet. Dadurch kann der Deckel 30 geerdet werden und wird es möglich, die Entstehung von elektromagnetischem Rauschen des Drucksensors 10 zu verhindern.
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Außerdem ist der Deckel 30 bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform mit einer hutförmigen Querschnittform ausgeführt. Da dadurch verglichen mit einem aus einer flachen Platte bestehenden Deckel 30 die Stärke erhöht werden kann, kann der Deckel 30 dünn ausgeführt werden und kann außerdem die Höhe des Drucksensorgehäuses 1 niedrig ausgeführt werden. Außerdem kann bei der Montage des Drucksensors 10 im Inneren des vertieft geformten Gehäusehauptkörpers 20 und der Herstellung der Anschlüsse von dem Drucksensor 10 durch Drähte 15 verhindert werden, dass diese Drähte 15 den Deckel 30 berühren.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 wird für das abschnittsweise Verkleben ein Klebstoff verwendet, der ein weiches Harz auf Silikonbasis enthält. Dadurch entsteht ein schwingungsdämpfender Aufbau und Beständigkeit gegenüber Stößen. Außerdem wird es zum Beispiel auch möglich, Verzerrungen, die sich aus den unterschiedlichen Wärmedehnungskoeffizienten des Gehäusehauptkörpers 20, der aus einem Keramikmaterial besteht, und des Deckels 30, der aus einem Metallmaterial besteht, abzuschwächen.
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Bei dem Drucksensorgehäuse 1 der vorliegenden Ausführungsform werden mehrere Deckel 30 durch Galvanoformung so auf einer Metallplatte gebildet, dass die Querschnittform jedes Deckels 30 hutförmig wird und in den Bereichen, in denen das abschnittsweise Verkleben erfolgt, Höcker vorhanden sind, und danach vereinzelt. Dadurch können mehrere Deckel 30 mit guter Genauigkeit und leicht gebildet werden. Als Folge wird im Herstellungsprozess eine Prozessvereinfachung möglich und kann darüber hinaus eine Verringerung der Kosten verwirklicht werden.
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Folglich kann ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensorgehäuses 1 bereitgestellt werden, bei dem im Fall der Ausbildung der Druckeinleitabschnitte Streulicht zu dem Drucksensor 10 verhindert wird und dadurch eine Abnahme der Eigenschaften des Drucksensors 10 verhindert wird, und ein Anstieg der Kosten unterdrückt wird.
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Vorzugsweise besteht bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Ausführungsform der Gehäusehauptkörper aus einem Keramikmaterial und der Deckelkörper aus einem Metallmaterial.
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Bei der vorliegenden Erfindung besteht der Gehäusehauptkörper aus einem Keramikmaterial. Da dieses Keramikmaterial eine hohe Starrheit, einen geringen linearen Dehnungskoeffizienten und Wärmebeständigkeit aufweist und überdies über chemische Beständigkeit verfügt, eignet es sich hervorragend für die Montage des Drucksensors. Folglich kann verglichen mit einem Gehäusehauptkörper aus einem Harz ein Drucksensor mit einer hohen Leistungsfähigkeit bereitgestellt werden.
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Wenn der Gehäusehauptkörper aus einem Keramikmaterial besteht, ist ein Durchbohren des Keramikmaterials schwierig. Im Gegensatz dazu wird das Keramikmaterial bei der vorliegenden Erfindung nicht durchbohrt, sondern können die Druckeinleitabschnitte durch Überlegen des Aufbaus des Deckelkörpers leicht ausgebildet werden.
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Da der Deckelkörper aus einem Metallmaterial besteht, ist er undurchsichtig und verfügt er über die Fähigkeit, Licht abzuschirmen. Daher kommt es bei den Sensoreigenschaften nicht zu einem Rauschen durch den Einfluss von Streulicht und kommt es nicht dazu, dass die angenommene Genauigkeit nicht erreicht werden kann.
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Bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Erfindung sind an den Stellen, an denen der Gehäusehauptkörper und der Deckelkörper abschnittweise verklebt sind, vorzugsweise Höhenregulierungselemente ausgebildet.
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Das heißt, wenn der Gehäusehauptkörper und der Deckelkörper zum Beispiel durch einen Klebstoff an mehreren Stellen abschnittsweise verklebt sind, besteht die Gefahr, dass zwischen dem Gehäusehauptkörper und dem Deckelkörper keine ausreichenden Zwischenräume sichergestellt werden können.
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Daher sind bei der vorliegenden Erfindung an den Stellen, an denen der Gehäusehauptkörper und der Deckelkörper abschnittsweise verklebt sind, Höhenregulierungselemente ausgebildet. Dadurch kann den Zwischenräumen in den Bereichen zwischen dem Gehäusehauptkörper und dem Deckelkörper außer den abschnittsweisen Verklebungen eine ausreichende Höhe für die Verbindung zwischen der Außenseite des Gehäusehauptkörpers und dem Innenraum verliehen werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Erfindung können die Höhenregulierungselemente so ausgeführt werden, dass sie aus Höckern bestehen.
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Das heißt, im Allgemeinen sind die Höcker Vorsprünge, die durch einen Metallüberzug an dem Elektrodenteil eines Halbleiters gebildet sind. Daher können die Vorsprünge als Höhenregulierungselemente durch die Halbleitertechnik zur Herstellung des Drucksensors und des Drucksensorgehäuses leicht durch Anwenden einer Höckerbildungstechnik gebildet werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Erfindung sind die Höcker vorzugsweise durch Galvanoformung, eine Pressbearbeitung oder eine Stanzformung einstückig mit dem Deckelkörper gebildet.
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Da die Höcker dadurch einstückig mit dem Deckelkörper gebildet werden, kann verglichen mit einer Ausbildung der Höcker nach der Bildung des Deckelkörpers auf eine Verringerung des Arbeitsaufwands im Herstellungsprozess abgezielt werden und darüber hinaus auf eine Verringerung der Kosten abgezielt werden. Bei der Vornahme einer Galvanoformung können durch die Formgebung der Metallform Höcker mit einer gewünschten Form ausgeführt werden. Da außerdem im Fall einer Galvanoformung kein Verfahren wie etwa ein Stanzen oder Tiefziehen aus einer Metallplatte verwendet wird, können die Deckelkörper durch gleichzeitiges Bilden von mehreren Deckelkörpern, die Höcker umfassen, und anschließendes Vereinzeln hergestellt werden. Folglich kann eine Prozessvereinfachung des Herstellungsprozesses und darüber hinaus eine Verringerung der Kosten verwirklicht werden.
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Bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Erfindung ist an der Fläche des Gehäusehauptkörpers, die mit dem Deckelkörper verklebt wird, vorzugsweise ein metallisches Leitungsmuster zur Erdung ausgebildet.
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Dadurch kann der Deckelkörper durch Herstellen eines elektrischen Durchgangs zwischen den Höckern und dem metallischen Leitungsmuster zur Erdung geerdet werden und wird es möglich, die Entstehung von elektromagnetischem Rauschen des Drucksensors zu verhindern.
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Bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Erfindung ist der Deckelkörper vorzugsweise mit einer hutförmigen Querschnittform ausgeführt.
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Da dadurch verglichen mit einem aus einer flachen Platte bestehenden Deckelkörper die Stärke erhöht werden kann, kann der Deckelkörper dünn ausgeführt werden und kann außerdem die Höhe des Drucksensorgehäuses niedrig ausgeführt werden. Außerdem kann bei der Montage des Drucksensors im Inneren des vertieft geformten Gehäusehauptkörpers und der Herstellung der Anschlüsse von dem Drucksensor durch Drähte verhindert werden, dass diese Drähte den Deckelkörper berühren.
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Bei dem Drucksensorgehäuse der vorliegenden Erfindung wird für die abschnittsweise Verklebung vorzugsweise ein Klebstoff verwendet, der ein Harz auf Silikonbasis enthält
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Da dadurch ein weiches Harz auf Silikonbasis als Klebstoff verwendet wird, entsteht ein schwingungsdämpfender Aufbau und Beständigkeit gegenüber Stößen. Außerdem wird es zum Beispiel auch möglich, Verzerrungen, die sich aus den unterschiedlichen Wärmedehnungskoeffizienten des Gehäusehauptkörpers, der aus einem Keramikmaterial besteht, und des Deckelkörpers, der aus einem Metallmaterial besteht, abzuschwächen.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt; innerhalb des in den Ansprüchen dargestellten Bereichs sind verschiedenste Veränderungen möglich. Der technische Umfang der vorliegenden Erfindung beinhaltet auch Ausführungsformen, die durch passendes Kombinieren der technischen Mittel, die jeweils bei der vorliegenden Ausführungsform offenbart wurden, erhalten werden.
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GEWERBLICHES ANWENDUNGSGEBIET
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Die vorliegende Erfindung kann für Drucksensorgehäuse wie Gehäuse für Absolutdrucksensoren, in denen ein Drucksensor vom Membrantyp montiert ist, sowie für das Verfahren zu ihrer Herstellung angewendet werden und ist insbesondere im Fall des Einsatzes eines Keramikgehäuses nützlich. Das Drucksensorgehäuse kann auf Gebieten wie zum Beispiel Mobilfunkgeräten, Tablet-Computern, Schrittzählern, Fitnessgeräten, landwirtschaftlichen Geräten und dergleichen, die GPS, einen Höhenmesser oder einen Luftdruckmesser benötigen, eingesetzt werden.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Drucksensorgehäuse
- 10
- Drucksensor
- 11
- Membran
- 12
- Hohlraum
- 13
- Halbleitersensorgrundplatte
- 15
- Draht
- 20
- Gehäusehauptkörper
- 20a
- obere Fläche
- 21
- Innenraum
- 28
- metallisches Leitungsmuster
- 30
- Deckel (Deckelkörper)
- 31
- Kappenteil
- 32
- Flanschteil
- 33
- Klebstoff
- 34
- Zwischenraum
- 35
- Höhenregulierungselement
- 35a
- Höcker