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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum elektrischen und mechanischen Verbinden eines Heizelementes einer Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors mit einem Stromversorgungselement, aufweisend einen Kopf, zum Verbinden mit dem Heizelement, einem Fuß zum Verbinden mit dem Kontaktelement und einem zwischen Kopf und Fuß angeordneten Schaft.
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Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors, dessen Heizelement mit mindestens einem Konnektor mit einem Stromversorgungselement verbunden ist.
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Konnektoren zum Verbinden der Heizelemente einer Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors sind beispielsweise aus den
US 4,292,504 ,
US 5,759,281 oder
US 7,645,342 bekannt.
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Ein CVD-Reaktor besitzt ein Reaktorgehäuse, ein darin angeordnetes Gaseinlassorgan, mit dem Prozessgase in eine Prozesskammer eingeleitet werden. Die Prozesskammer besitzt einen Suszeptor, auf dem zu beschichtende Substrate aufliegen. Um die Substrate auf Beschichtungstemperatur zu bringen, wird der Suszeptor von unten mittels Wärmestrahlung beheizt. Zur Erzeugung der Wärmestrahlung dient eine erfindungsgemäße Heizvorrichtung. Die erfindungsgemäße Heizvorrichtung besitzt ein Stromversorgungselement, beispielsweise in Form einer Kontaktplatte, von der Konnektoren abragen. Jeder Konnektor ist mit mindestens einem Heizelement verbunden. Die beiden Enden eines jeden Heizelementes sind mit einem Konnektor mit zwei verschiedenen Stromversorgungselementen verbunden, so dass über die Stromversorgungselemente ein Strom durch die Heizelemente geleitet werden kann. Diese erwärmen sich dabei und geben ihre Wärme in Form von Wärmestrahlung an den Suszeptor ab. Die Heizelemente heizen sich dabei bis zur Weißglut auf. Extrem temperaturwiderstandsfähige Heizelemente werden von Wolfram-Drähten ausgebildet. Die Konnektoren können ebenfalls aus Wolfram, aber auch aus Edelstahl oder Molybdän bestehen. Da sie einen wesentlich größeren Durchmesser aufweisen, als die Heizelemente, besitzen sie einen erheblich geringeren Ohmschen Widerstand pro Längeneinheit als die Heizelemente. Dies hat zur Folge, dass sich an den Verbindungsstellen der Heizelemente mit dem Kopf des Konnektors sehr hohe Temperaturunterschiede (Temperaturgradienten) einstellen.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen zur Verringerung dieses Temperaturgradienten anzugeben.
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Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung, wobei die Erfindung sowohl eine besondere Weiterbildung des Konnektors als auch eine Heizvorrichtung mit einem derartig weitergebildeten Konnektor betrifft.
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Zunächst und im Wesentlichen ist vorgesehen, dass der Schaft des Konnektors zumindest bereichsweise eine geringere Querschnittsfläche aufweist, als der Kopf. Bevorzugt besitzt der Kopf des Konnektors eine Querschnittsflähe, die größer ist, als die Querschnittsfläche eines Wendelgangs eines gewendelten Drahtes, welcher das Heizelement ausbildet. Der Draht, der das Heizelement ausbildet, ist vorzugsweise ein Wolfram-Filament. Es können zwei Filamente nebeneinander verlaufen und eine zweigängige Wendel ausbilden. Die Querschnittsfläche des Kopfes ist vorzugsweise mehr als doppelt so groß wie die Querschnittsfläche des Schaftes. Der Konnektor hat vorzugsweise eine geradlinige Erstreckung. Ein Ende des Konnektors bildet den Kopf aus. Das andere Ende des Konnektors bildet einen Fuß aus. Zwischen Kopf und Fuß verläuft der Schaft. Die Länge des Schaftes ist vorzugsweise größer als der Durchmesser des Schaftes. Der Schaft, der Kopf und der Fuß können jeweils eine kreisrunde Querschnittsfläche aufweisen, wobei die Querschnittsfläche des Fußes größer ist als die Querschnittsfläche des Schaftes. Die Querschnittsfläche des Fußes kann der Querschnittsfläche des Kopfes entsprechen. Der im Wesentlichen zylinderförmige Kopf kann unter Ausbildung eines konischen Abschnittes in den durchmesserverminderten Schaft übergehen. Der Schaft kann wiederum unter Ausbildung eines konischen Abschnittes des Fußes übergehen. Der Kopf und der Fuß können einstückig mit dem Schaft ausgebildet sein. Der Konnektor kann somit von einem Frästeil ausgebildet sein. In einer Variante der Erfindung ist vorgesehen, dass der Kopf einen Kanal mit einem im Wesentlichen kreisrunden Querschnitt aufweist. Die Öffnung kann zur Stirnseite des Kopfes offen sein. Die Achse der Öffnung verläuft bevorzugt quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes. In diesen Kanal kann ein Heizelement, insbesondere ein gewendeltes Filament gelegt werden. Es ist ein Befestigungsmittel vorgesehen, mit dem das Heizelement in dem Kanal befestigt werden kann. Bei dem Befestigungselement kann es sich um eine Madenschraube handeln, die durch eine Gewindebohrung der Wandung der Kanalöffnung geschraubt ist. In einer weiteren Variante kann der Kopf einen Kontaktarm ausbilden. Dieser Kontaktarm kann in Richtung quer zur Erstreckungsrichtung der Achse des Schaftes vom Kopf abragen. Er kann als Einsteckteil ausgebildet sein und mit einem Einsteckabschnitt in eine Einstecköffnung des Kopfes stecken. Der Kontaktarm ist mit dem Heizelement verbunden. Ist das Heizelement ein gewendeltes Filament, kann das Filament gewissermaßen auf den Kontaktarm aufgeschraubt werden. Dabei liegen die einzelnen Wendelgänge des Filamentes in Gewindegräben des Kontaktarms. Auf das Filament kann eine Hülse aufgesteckt sein. Der Kontaktarm steckt dann vorzugsweise in der Hülse. Die Innenwandung der Hülse liegt in berührender Anlage an den Wendeln des Heizelementes an. In einer weiteren Variante, die die Ausgestaltung des Fußes des Konnektors betrifft, ist vorgesehen, dass der Fuß einen konischen Abschnitt besitzt. Es handelt sich dabei um einen Kegelstumpfabschnitt, der sich vorzugsweise einem Zylinderabschnitt anschließt. Mit diesem kegelstumpfförmigen Abschnitt steckt der Fuß des Konnektors in einer konischen Bohrung einer Kontaktplatte. Hierdurch ist eine optimale Kontaktfläche zwischen dem Konnektor und der Kontaktplatte gegeben. An das durchmessergeringere Ende des kegelstumpfförmigen Abschnittes schließt sich ein Außengewindeabschnitt an, auf den eine Befestigungsmutter aufschraubbar ist. Unter Zwischenlage einer Unterlegscheibe stützt sich die Mutter an der Unterseite der Kontaktplatte ab. Es ist ein Sicherungselement vorgesehen, um zu vermeiden, dass sich beim Aufheizen und Abkühlen der Heizvorrichtung die Mutter vom Außengewinde löst. Das Sicherungselement kann ein Formschlusselement sein, welches durch eine Öffnung des Außengewindeabschnittes hindurchgesteckt ist. Es kann eine Zunge aufweisen, die abgebogen werden kann, um sich an eine Mehrkantfläche der Mutter anzulegen oder um sich in eine Axialnut der Außenwandung der Mutter einzulegen, um so deren Drehung zu vermeiden.
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Die besondere Ausgestaltung des Kopfes, nämlich der Kanal beziehungsweise der Kontaktarm, und die besondere Ausgestaltung des Fußes, nämlich die konische Kontaktfläche, die an einer konischen Wandung einer Kontaktbohrung anliegt, sind eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
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1 lediglich der Anschauung halber die wesentlichen Elemente eines CVD-Reaktors in einer Querschnittsdarstellung,
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2 eine Seitenansicht auf eine Heizvorrichtung mit insgesamt drei Heizzonen,
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3 eine Draufsicht auf die Heizvorrichtung,
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4 einen Schnitt gemäß der Linie IV-IV in 3,
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5 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Konnektors in der Ansicht,
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6 den in 5 dargestellten Konnektor in einer perspektivischen Darstellung,
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7 den in der 5 dargestellten Konnektor in einer zweiten Seitenansicht,
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8 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Konnektors,
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9 den Schnitt gemäß der Linie IX-IX in 8,
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10 den Schnitt gemäß der Linie X-X in 8,
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11 einen vergrößerten Ausschnitt aus 10,
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12 die Unteransicht gemäß Pfeil XII in 10,
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13 eine Explosionsdarstellung des in der 8 perspektivisch dargestellten Ausführungsbeispiels,
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14 die perspektivische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels und
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15 den Schnitt gemäß der Linie XV-XV in 14.
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Die 1 zeigt den grundsätzlichen Aufbau eines CVD-Reaktors, wobei eine Vielzahl zum Betrieb eines CVD-Reaktors erforderlichen Aggregate der Übersicht halber nicht dargestellt sind. In einem gasdichten Gehäuse 1 befindet sich ein Gaseinlassorgan 2, welches mit nicht dargestellten Gasversorgungsleitungen mit Prozessgasen, Trägergasen und Spülgasen versorgt werden. Diese Gase treten durch Gasaustrittsöffnungen in eine Prozesskammer 3 ein, deren Boden von einem Suszeptor 5 gebildet wird, auf den Substrate 4 aufliegen, die beschichtet werden. Es kann sich dabei um Siliziumsubstrate oder aber auch um III-V-Substrate handeln, auf denen Halbleiterschichten, isolierende Schichten oder leitende Schichten abgeschieden werden. Der aus beschichtetem Graphit bestehende Suszeptor 5 wird von unten mittels einer Heizvorrichtung 6 beheizt.
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Das oberhalb der Prozesskammer 3 angeordnete Gaseinlassorgan 2 kann aktiv gekühlt sein. Es bildet sich somit ein steiler Temperaturgradient zwischen Heizvorrichtung 6 und Gaseinlassorgan 2 aus. Die Heizeinrichtung 6 muss eine ausreichende Wärmeleistung liefern, um die zur Prozesskammer 3 gewandte Oberfläche des Suszeptors 5 auf Temperaturen über 1.000°C aufzuheizen.
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Bei diesen Temperaturen reagieren die in die Prozesskammer eingebrachten gasförmigen Prozessgase, bei denen es sich um metallorganische Verbindungen von Elementen der III.- oder II.-Hauptgruppe und um Hydride der IV.-, V.- oder VI.-Hauptgruppe handeln kann.
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Die 2 bis 4 zeigen eine typische Heizvorrichtung, wie sie in der 6 schematisch dargestellt ist. Die Heizvorrichtung 6 besteht aus drei Heizungen 7, 8, 9. Eine zentrale Heizung wird von einer kreisscheibenförmigen Heizzung 7 ausgebildet, die von zwei ringförmigen Heizungen 8, 9 umgeben ist. Jede der drei koaxial ineinandergeschachtelten Heizungen 7, 8, 9 kann unabhängig von der jeweils anderen Heizung bestromt werden.
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Jeder der Heizungen 7, 8, 9 besitzt ein oder mehrere Heizelemente 10, die auf einer Spirallinie um das Zentrum der gesamten Heizvorrichtung gewunden ist. Es sind mehrere auf der Spirallinie hintereinanderliegende Heizelemente 10 vorgesehen, die jeweils mit Konnektoren 11 mit Kontaktplatten 36 verbunden sind. Die Kontaktplatten 36 dienen der Stromversorgung, so dass durch die Heizelemente 10 ein Strom hindurchfließen kann. Die Heizelemente 10 sind der Übersicht halber nicht im Detail dargestellt.
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Die 5 bis 7 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung, um ein Heizelement 10 mit einer Kontaktplatte 36 zu verbinden.
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Bei dem Heizelement 10 handelt es sich um ein Zwillingsfilament, welches aus zwei wendelgangförmig gewundenen Wolframdrähten besteht. Das Heizelement 10 erstreckt sich in einer Parallelebene zur Ebene der Kontaktplatte 36. Mit dem Konnektor 11 ist das Ende des Heizelementes 10, also die letzten Gänge des Filamentes, mit der Kontaktplatte 36 verbunden.
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Der Konnektor 11 besitzt einen Kopf 12, der einen Kanal 14 aufweist, der einen kreisrunden Querschnitt aufweist. Die Kanalachse verläuft quer zur Längsachse des Konnektors 11. In dem Kanal liegen Windungen des Filamentes 10. Der Kanal 14 ist zur Stirnfläche des Kopfes 12 hin offen. Mittels einer Madenschraube 15, die in einer Gewindebohrung der Wandung des Kanales 14 eingedreht ist, kann das Heizelement 10 im Kanal 14 fixiert werden.
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Der Kopf 12 besitzt einen im Wesentlichen kreisrunden Querschnitt. Der Kanal 14 befindet sich in einem dem Ende des Konnektors 11 zugeordneten zylinderförmigen Abschnitt. Dieser, den Kopf bildende zylinderförmige Abschnitt geht unter Ausbildung eines Kegelstumpfabschnittes 22 in einen kreiszylinderförmigen Schaft 21 über. Die Achse des Schaftes 21 definiert die Längsachse des Konnektors 21. Der Durchmesser des Schaftes 21 ist geringer als der Durchmesser des Kopfes 12. Die Querschnittsfläche des Schaftes 21 ist kleiner als 50 Prozent der Querschnittsfläche des Kopfes 12.
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An den Schaft 21 schließt sich ein weiterer Kegelstumpfabschnitt 23 an, der in einen durchmesservergrößerten Abschnitt 25 übergeht. Es handelt sich dabei um einen Zylinderabschnitt 25, dessen Durchmesser der Durchmesser des Kopfes 12 entspricht. Auch der Zylinderabschnitt 25 hat einen kreisförmigen Grundriss.
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Der Zylinderabschnitt 25 gehört zu einem Fuß 24 des Konnektors 11, mit der der Konnektor 11 mit der Kontaktplatte 36 verbunden ist. Um einen möglichst großflächigen Kontakt zwischen Konnektor 11 und Kontaktplatte 36 zu gewährleisten, besitzt der Fuß 24 einen kegelstumpfförmigen Kontaktabschnitt 26, der in einer konischen Bohrung 37 der Kontaktplatte 36 steckt.
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Das dem Kopf 12 gegenüberliegende Ende des Konnektors 11 wird von einem Außengewindeabschnitt 27 ausgebildet, auf den eine Mutter 25 aufgeschraubt ist. Unter Zwischenlage einer Unterlegscheibe 34, in die sich der konische Abschnitt 26 hinein erstrecken kann, stützt sich die Mutter 25 an der Unterseite der Kontaktplatte 36 an, um auf den Kegelstumpfabschnitt 26 eine Zugspannung aufzubringen.
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Der Konnektor 11 ist im Wesentlichen ein rotationssymmetrischer Körper, dessen Kopf 12, Schaft 11 und Fuß 24 eine gemeinsame Erstreckungsachse ausbilden. Der Konnektor 11 kann als Frästeil ausgebildet werden. Es kann ein zylindrischer Rohling verwendet werden, bei dem der Schaft 11 und die Kegelstumpfabschnitte 22, 23, 26 sowie der Außengewindeabschnitt 27 durch eine spanabhebende Bearbeitung erzeugt werden.
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Während des Aufheizens und des Abkühlens kommt es zu einer thermischen Bewegung. Um zu verhindern, dass sich dabei die Mutter 35 vom Außengewinde 27 löst, ist ein Sicherungselement 31 vorgesehen. Das Sicherungselement 31 ist ein Plättchen mit einer Zunge 32. Die Zunge bildet den T-Steg eines T-förmigen Körpers. Die beiden T-Schenkel 33 bilden Haltestege. Die Zunge 32 wird in eine schmale Queröffnung 29 durch den Außengewindeabschnitt 27 hindurchgesteckt. Das Ende der Zunge 32 wird dann in Richtung auf die Mutter hochgebogen, um sich an einer der Mehrkantflächen der Mutter 35 anzulegen.
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Der Schlitz 29 ist mittels eines Schlitzabschnittes 30 zur Stirnseite 28 des Außengewindeabschnittes 27 offen. Der Schlitz zum Einstecken der Zunge 32 des Sicherungselementes 31 hat somit einen T-förmigen Querschnitt.
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Das in den 8 bis 13 dargestellte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen lediglich durch die Gestalt der Mutter 35 und der elektrischen Kontaktierung des Filamentes 10 am Kopf 12. Die Mutter 35 ist hier als Rändelmutter ausgebildet. Sie besitzt in Achsrichtung verlaufende Nuten, die sich mit in Achsrichtung verlaufenden Stegen abwechseln. In die Nuten kann die hoch gebogene Zunge 32 des Sicherungselementes 31 eingelegt werden. Der Kopf 12 des Konnektors 11 besitzt eine Bohrung 17, in der ein Einsteckende eines Kontaktarmes 16 eingesteckt ist. Der Kontaktarm 16 erstreckt sich somit quer zur Erstreckungsrichtung des Konnektors 11 beziehungsweise des Schaftes 21 des Konnektors 11. Auf dem freien Ende des quer vom Kopf 12 abragenden Kontaktarmes 16 befindet sich ein Innengewinde 18. Der das Innengewinde 18 tragende Abschnitt des Kontaktarmes 16 ist leicht konisch ausgebildet. Der Kopf 12 bildet eine Stufe 19 aus, die von einer Ausnehmung ausgebildet ist. Die quer zur Stufe 19 verlaufende Wandung trägt die Öffnung der Bohrung 17, aus der der Gewindeabschnitt 18 des Kontaktarmes 16 herausragt.
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Der Kontaktarm 16 ist mit seinem Gewinde 18 in das wendelgangförmige Filament 10 eingeschraubt, so dass sich die Drähte in die Gräben der Gewindegänge hineinlegen
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Beide Ausführungsbeispiele dienen nicht nur dazu, das Filament mechanisch zu halten, sondern auch das Filament 10 mit Strom zu versorgen.
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Da der Durchmesser des Filamentes 10 erheblich geringer ist, als der Durchmesser des Konnektors 11, besitzt das Filament 10 einen wesentlich größeren Widerstand pro Längeneinheit, als das Filament 10, was zur Folge hat, dass über die Länge des Konnektors 11 erheblich weniger Spannung abfällt, als über die gleiche Länge des Filamentes 10. Aufgrund dessen heizt sich das Filament 10 auch erheblich stärker auf, als der Konnektor 11. Das Filament wird auf Temperaturen weit über 1.000°C aufgeheizt. Mit dem durchmesserverminderten Abschnitt, der von dem Schaft 21 ausgebildet ist, wird der Widerstand pro Längeneinheit im Bereich des Konnektors 11 reduziert. Dies hat zur Folge, dass sich der Konnektor 11 auch im Bereich des Schaftes nennenswert aufheizt. Dies hat zur Folge, dass der Temperaturgradient im Kopf 12 geringer ist, als er bei einem durchmessergrößeren Schaft 21 wäre.
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Bei dem in den 14 und 15 dargestellten Ausführungsbeispiel ist auf den Kontaktarm 16 eine Hülse 20 aufgesteckt. Die Hülse erstreckt sich über den gesamten Kontaktarm 16 und liegt in berührender Anlage an der die Öffnung 17 ausbildenden Flanke der Stufe 19. Die Hülse 20 erstreckt sich in einer Querrichtung zur Erstreckungsrichtung des Konnektors 11. Die Filamente 10 liegen an der Innenwandung der Hülse 20 an und werden dadurch mechanisch in den Gewindegängen 18 gehalten.
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Der Kontaktarm 16 besteht bevorzugt ebenfalls aus Wolfram. Das Einsteckende des Kontaktarms 16 kann mit einer nicht dargestellten Schraube oder einem Splint in der Öffnung 17 fixiert sein. Das Einsteckende kann auch leicht konisch ausgebildet sein, so dass eine Konusfläche an der Innenwandung mit einer dann auch konisch ausgebildeten Öffnung 17 anliegt.
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Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils eigenständig weiterbilden, nämlich:
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Schaft 21 zumindest bereichsweise eine geringere Querschnittsfläche aufweist als der Kopf 12;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Querschnittsfläche des Schaftes 21 weniger als 50 Prozent der Querschnittsfläche des Kopfes 12 beträgt;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der insbesondere einen kreisrunden Querschnitt aufweisende Kopf 12 unter Ausbildung eines konischen Abschnittes 22 in dem insbesondere einen kreisrunden Querschnitt aufweisenden Schaft 21 übergeht, wobei die Länge des Schaftes 21 größer ist, als dessen Durchmesser;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Querschnittsfläche des Fußes 24 größer ist, als die Querschnittsfläche des Schaftes und insbesondere etwa der Querschnittsfläche des Kopfes 12 entspricht;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die axiale Länge des Kopfes 12 etwa dem Durchmesser des Kopfes 12 entspricht;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Heizelement 10 von zumindest einem gewendelten Draht ausgebildet ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 12 einen insbesondere quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 21 sich erstreckenden Kanal 14 aufweist zur Aufnahme des Heizelementes 10, welches im Kanal 14 insbesondere mittels einer Schraube 15 gesichert ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 12 einen Kontaktarm 16 aufweist, der das Heizelement 10 trägt, wobei das Heizelement 10 insbesondere von zwei nebeneinander verlaufenden gewendelten Drähten ausgebildet ist, die in Gewindegräben 18 des Kontaktarmes 15 einliegen und insbesondere vorgesehen ist, dass die in den Gewindegräben 18 einliegenden Wendelgangabschnitte in einer Hülse 20 stecken;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Fuß 24 einen Kegelstumpfabschnitt 26 aufweist, der in einer konischen Bohrung 37 einer das Stromversorgungselement 36 ausbildenden Kontaktplatte steckt, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass sich an den durchmessergeringeren Endabschnitt des Kegelstumpfabschnittes 26 ein Außengewinde 27 anschließt, auf das eine Mutter 35 aufschraubbar ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Mutter 35 mittels eines Sicherungselementes 31 drehgesichert ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 12 Kontaktmittel 14, 16 ausbildet, mit denen ein von einer Drahtwendel gebildetes Heizelement 10 mit dem Kopf 12 mechanisch und elektrisch verbindbar ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Fuß 24 einen Kegelstumpfabschnitt 26 aufweist, der mit seinem Stumpfende in einen Außengewindeabschnitt 27 übergeht.
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Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsgehalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf der Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- CVD-Reaktor
- 2
- Gaseinlass
- 3
- Prozesskammer
- 4
- Substrat
- 5
- Suszeptor
- 6
- Heizvorrichtung
- 7
- Heizung
- 8
- Heizung
- 9
- Heizung
- 10
- Filament
- 11
- Konnektor
- 12
- Kopf
- 13
- Stirnfläche
- 14
- Kanal
- 15
- Schraube
- 16
- Kontaktarm
- 17
- Bohrung
- 18
- Gewinde
- 19
- Ausnehmung
- 20
- Hülse
- 21
- Schaft
- 22
- Kegelstumpfabschnitt
- 23
- Kegelstumpfabschnitt
- 24
- Fuß
- 25
- Zylinderabschnitt
- 26
- Kegelstumpfabschnitt
- 27
- Außengewindeabschnitt
- 28
- Stirnfläche
- 29
- Schlitz
- 30
- Schlitzabschnitt
- 31
- Sicherungselement
- 32
- Zunge
- 33
- Haltesteg
- 34
- Unterlegscheibe
- 35
- Mutter
- 36
- Kontaktplatte
- 37
- Kontaktbohrung
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- US 4292504 [0003]
- US 5759281 [0003]
- US 7645342 [0003]