DE102015122750A1 - Method for producing a hydraulic diaphragm seal and hydraulic diaphragm seal - Google Patents
Method for producing a hydraulic diaphragm seal and hydraulic diaphragm seal Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015122750A1 DE102015122750A1 DE102015122750.9A DE102015122750A DE102015122750A1 DE 102015122750 A1 DE102015122750 A1 DE 102015122750A1 DE 102015122750 A DE102015122750 A DE 102015122750A DE 102015122750 A1 DE102015122750 A1 DE 102015122750A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- membrane
- diaphragm seal
- separation membrane
- embossing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Ein Verfahren zum Herstellen eines Druckmittlers (100b) umfasst die folgenden Schritte: Bereitstellen einer Trennmembranronde (120); Bereitstellen eines Druckmittlerkörpers (110), wobei der Druckmittlerkörper (110) einen Druckkanal (114) und eine Oberfläche mit einem korrugierten Membranbett (112) aufweist, wobei der Druckkanal (114) in einer Druckkanalöffnung im Bereich des Membranbetts (112) mündet; Positionieren der Trennmembranronde (120) über dem Membranbett (112); Fügen der Trennmembranronde (120) mit dem Druckmittlerkörper (110) entlang einer umlaufenden Fügestelle (122) unter Bildung einer Druckmittlerkammer zwischen der Trennmembranronde und dem Druckmittlerkörper; Schirmen (126) eines Bereichs der dem Membranbett (112) abgewandten Oberflächen der Trennmembranronde (120), welcher Bereich eine orthogonale Projektion der bei Druckkanalöffnung auf die Trennmembranronde (120) überdeckt; und Abprägen der Kontur des Membranbetts mit Ausnahme des abgeschirmten Bereichs auf die Trennmembranronde (120) zum Präparieren der Trennmembran (128), wobei das Abprägen die pneumatische oder hydraulische Druckbaufschlagung der Trennmembranronde mit einem Prägedruck von der dem Membranbett abgewandten Seite der Trennmembranronde umfasst.A method for manufacturing a pressure transmitter (100b) comprises the following steps: providing a separation membrane blank (120); Providing a pressure center body (110), the pressure center body (110) having a pressure channel (114) and a surface with a corrugated membrane bed (112), the pressure channel (114) opening in a pressure channel opening in the region of the membrane bed (112); Positioning the separation membrane blank (120) over the membrane bed (112); Joining the separation membrane blank (120) to the diaphragm seal body (110) along a circumferential joint (122) to form a diaphragm seal between the separation membrane blank and the diaphragm housing body; Shielding (126) a portion of the surfaces of the separation membrane blank (120) facing away from the membrane bed (112), which region overlies an orthogonal projection of the pressure membrane aperture on the separation membrane blank (120); and impressing the contour of the membrane bed except the shielded area on the Trennmembranronde (120) for preparing the separation membrane (128), wherein the embossing comprises the pneumatic or hydraulic pressure impaction of Trennmembranronde with an embossing pressure from the membrane bed side facing away from the Trennmembranronde.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines hydraulischen Druckmittlers und einen hydraulischen Druckmittler.The present invention relates to a method for producing a hydraulic diaphragm seal and a hydraulic diaphragm seal.
Hydraulische Druckmittler umfassen einen Druckmittlerkörper und eine Trennmembran, die mit dem Druckmittlerkörper entlang einer umlaufenden Fügestelle unter Bildung einer Druckmittlerkammer zwischen der Trennmembran und dem Druckmittlerkörper druckdicht verbunden ist.Hydraulic diaphragm seals comprise a diaphragm seal body and a diaphragm which is pressure-tightly connected to the diaphragm seal body along a peripheral joint to form a diaphragm seal between the diaphragm and the diaphragm seal body.
Eine der Trennmembran zugewandte Oberfläche des Druckmittlerkörpers in der Druckmittlerkammer weist ein korrugiertes Membranbett auf, an dem die Trennmembran abgeprägt ist.A surface of the diaphragm seal body facing the diaphragm in the pressure transmitter chamber has a corrugated membrane bed on which the diaphragm is stamped.
Die Trennmembran soll eine hysteresefreie Übertragung eines auf sie wirkenden Mediendrucks in die Druckmittlerkammer über einen spezifizierten Temperatureinsatzbereich des Druckmittlers gewährleisten. Diesem Zweck dienen eine geringe Materialstärke der Trennmemnbran und deren spezifische Formgebung die durch Abprägen der Form des Membranbetts erzielt wird.The separation membrane is intended to ensure a hysteresis-free transfer of a medium pressure acting on it in the pressure mediator chamber over a specified temperature range of the pressure transmitter. This purpose is served by a low material thickness of the Trennmemnbran and their specific shape which is achieved by stamping off the shape of the membrane bed.
Der Druckmittler weist weiterhin einen Druckkanal auf, der in die Druckmittlerkammer mündet, um einen auf die Trennmembran einwirkenden Druck mittels einer Übertragungsflüssigkeit zu übertragen.The pressure transmitter further has a pressure channel which opens into the pressure mediator chamber to transmit a pressure acting on the separation membrane pressure by means of a transmission fluid.
Gattungsgemäße Druckmittler und Herstellverfahren sind beispielsweise beschrieben in den Offenlegungsschriften
Druckmittler in hygienischen Applikationen unterliegen spezifischen Anforderungen hinsichtlich der mit einem Medium in Kontakt stehenden Oberflächen. Die zu erfüllenden Anforderungen sind in der ASME-BPE spezifiziert. Hier werden sowohl eine Edelstahloberfläche als auch eine Ausformung dieser Oberfläche ohne Hinterschnitte oder Bereiche, in denen sich Medien ablagern könnte, gefordert. Eine entsprechend hygienetaugliche Oberfläche kann grundsätzlich durch Trennmembranen realisiert werden, die Edelstahl aufweisen, und idealer Weise frontbündig montiert sind.Diaphragm seals in hygienic applications are subject to specific requirements with regard to the surfaces in contact with a medium. The requirements to be met are specified in the ASME BPE. Here, both a stainless steel surface and a shaping of this surface without undercuts or areas in which media could be deposited, required. A suitably hygienic surface can in principle be realized by separating membranes, which have stainless steel, and are ideally mounted flush-mounted.
Bezüglich der Hygieneanforderungen kann jedoch der Druckkanal, der gewöhnlich im Zentrum des Membranbetts in die Druckkammer mündet ein Problem bereiten. Die Mündung des Druckkanals in die Druckmittlerkammer weist fertigungstechnisch bedingt einen typischen Durchmesser von ca. 1 mm auf. In der Kombination von geringer Membrandicke und Edelstahl als Membranmaterial mit der Formgebung der Trennmembran durch Abprägen eines Membranbetts mittels eines hydraulisch oder pneumatisch erzeugten Drucks von beispielsweise nicht weniger als 200 bar ergibt sich somit eine Membranform, bei der nicht nur das Membranbett, sondern auch die Kanalmündung als relativ scharfkantig abgegrenzte Vertiefung in die Trennmembran übertragen wird. Diese Vertiefung in der Trennmembran ermöglicht Ablagerung von einem Medium, wodurch der Sensor ggf. seine Eignung für hygienische Applikationen verliert. Dieses Problem wird heute durch Prägen mit einem Prägekissen gelöst, das im Bereich der Durchgangsbohrung des Membranbetts eine Freistellung aufweist. Dieser Prozess ist allerdings aufgrund des direkten Festkörper-Festkörper-Kontakts zwischen Prägekissen und Trennmembran und der Änderung der Materialeigenschaften des Prägekissens über die Zeit deutlich schwieriger zu beherrschen ist als das hydraulische oder pneumatische Prägen.With regard to hygiene requirements, however, the pressure channel, which usually discharges into the pressure chamber in the center of the membrane bed, can pose a problem. The mouth of the pressure channel in the diaphragm seal has manufacturing technology due to a typical diameter of about 1 mm. In the combination of low membrane thickness and stainless steel membrane material with the shape of the separation membrane by embossing a membrane bed by means of a hydraulically or pneumatically generated pressure of, for example, not less than 200 bar thus results in a membrane shape, in which not only the membrane bed, but also the channel mouth is transferred as a relatively sharp-edged indentation in the separation membrane. This depression in the separation membrane allows deposition of a medium, whereby the sensor may lose its suitability for hygienic applications. This problem is today solved by embossing with a stamping pad, which has an exemption in the region of the through hole of the membrane bed. However, this process is much more difficult to control over time due to the direct solid-solid contact between embossing pad and separating membrane and the change in the material properties of the embossing pad than the hydraulic or pneumatic embossing.
Es ist daher der Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zum Herstellung von Druckmittlern bereitzustellen und einen Druckmittler, der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigt ist.It is therefore the object of the present invention to provide an improved method for the production of pressure transmitters and a pressure transmitter, which is manufactured by the method according to the invention.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß dem Unabhängigen Patentanspruch 1 und den Druckmittler gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 11.The object is achieved by the method according to the independent claim 1 and the pressure transmitter according to independent claim 11.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen eines Druckmittlers umfasst die folgenden Schritte:
Bereitstellen einer Trennmembranronde;
Bereitstellen eines Druckmittlerkörpers, wobei der Druckmittlerkörper einen Druckkanal und eine Oberfläche mit einem korrugierten Membranbett aufweist, wobei der Druckkanal in einer Druckkanalöffnung im Bereich des Membranbetts mündet;
Positionieren der Trennmembranronde über dem Membranbett;The method according to the invention for producing a pressure transmitter comprises the following steps:
Providing a separation membrane blank;
Providing a pressure-medium body, wherein the pressure-medium body has a pressure channel and a surface with a corrugated membrane bed, wherein the pressure channel opens in a pressure channel opening in the region of the membrane bed;
Positioning the separation membrane blank over the membrane bed;
Fügen der Trennmembranronde mit dem Druckmittlerkörper entlang einer umlaufenden Fügestelle unter Bildung einer Druckmittlerkammer zwischen der Trennmembranronde und dem Druckmittlerkörper;
Schirmen eines Bereichs der dem Membranbett abgewandten Oberflächen der Trennmembranronde, welcher Bereich eine orthogonale Projektion der bei Druckkanalöffnung auf die Trennmembranronde überdeckt; und
Abprägen der Kontur des Membranbetts mit Ausnahme des abgeschirmten Bereichs auf die Trennmembranronde zum Präparieren der Trennmembran, wobei das Abprägen die pneumatische oder hydraulische Druckbaufschlagung der Trennmembranronde mit einem Prägedruck von der dem Membranbett abgewandten Seite der Trennmembranronde umfasst.
Joining the Trennmembranronde with the diaphragm seal body along a peripheral joint to form a diaphragm seal between the Trennmembranronde and the diaphragm seal body;
Shielding a portion of the surfaces of the separation membrane blank facing away from the membrane bed, which region overlies an orthogonal projection of the pressure membrane opening onto the separation membrane blank; and
Stamping the contour of the membrane bed, with the exception of the shielded area, onto the separating membrane blank for preparing the separating membrane, the stamping effecting the pneumatic or hydraulic pressure impact of the separating membrane blank with an embossing pressure of the side facing away from the diaphragm bed of Trennmembranronde comprises.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Abschirmen das Anbringen eines Abdeckelements an der Trennmembranronde umfasst, welches den Bereich insbesondere vollständig überdeckt.In one development of the invention, the shielding comprises attaching a cover element to the separating membrane blank, which completely covers the region in particular.
In einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt das Anbringen des Abdeckelements mittels Kleben oder Löten, insbesondere mittels eines Weichlots.In a further development of the invention, the attachment of the cover by gluing or soldering, in particular by means of a soft solder.
In einer Weiterbildung der Erfindung, weist das Abdeckelement eine größere Steifigkeit als der abgeschirmte Bereich der Trennmembranronde auf und wird durch eine Beafschlagung mit dem Prägedruck nicht plastisch verformt.In a further development of the invention, the cover member has a greater rigidity than the shielded region of the Trennmembranronde and is not plastically deformed by a Beafschlagung with the embossing pressure.
In einer Weiterbildung der Erfindung bewirkt das Anbringen des Abdeckelements mittels Kleben oder Löten eine Abdichtung des abzuschirmenden Bereichs gegen den Prägedruck.In a development of the invention, the attachment of the cover element by means of gluing or soldering effects a sealing of the area to be shielded against the embossing pressure.
In einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt das Anbringen des Abdeckelements durch Vorspannen des Abdeckelements gegen den abzuschirmenden Bereich Trennmembranronde, wodurch der abzuschirmende Bereich gegen den Prägedruck geschützt ist.In a further development of the invention, the attachment of the cover is carried out by biasing the cover against the shielded area Trennmembranronde, whereby the shielded area is protected against the embossing pressure.
In einer Weiterbildung der Erfindung bringt das Vorspannen des Abdeckelements den abgeschirmten Bereich der Trennmembranronde am Membranbett zur Anlage.In one embodiment of the invention, the biasing of the cover brings the shielded portion of Trennmembranronde on the membrane bed to the plant.
In einer Weiterbildung deer Erfindung wird nach dem Abrägen die Beaufschlagung der Trennmembran mit dem Prägedruck beendet, wobei anschließend das Abdeckelement entfernt wird.In a further development of the invention, the impacting of the separating membrane with the stamping pressure is ended after the stamping, wherein the cover element is then removed.
In einer Weiterbildung der Erfindung kann das Abdeckelement sowohl vor dem Fügen der Trennmembranronde mit dem Druckmittlerkörper als auch vor dem Fügen der Trennmembranronde mit dem Druckmittlerkörper an der Trennmembranronde angebracht werden, wenn dieses Anbringen durch Löten oder Kleben erfolgt.In a development of the invention, the cover element can be attached to the separating diaphragm blank both before joining the separating membrane blank to the diaphragm seal body and before joining the separating membrane blank to the diaphragm seal body, if this attachment takes place by soldering or gluing.
In eine rWeiterbildung der Erfindung erfolgt das Vorspannen des Abdeckelements gegen den abzuschirmenden Bereich Trennmembranronde nach dem Fügen der Trennmembranronde mit dem Druckmittlerkörper.In a further development of the invention, the pretensioning of the cover element against the region to be shielded is carried out by separating membrane blank after the separation membrane blank has been joined to the diaphragm seal body.
Der erfindungsgemäße Druckmittler ist insbesondere durch das erfindungsgemäße Verfahren erhältlich, er umfasst: eine Trennmembran; und einen Druckmittlerkörper, wobei die Trennmembran entlang einer umlaufenden Fügestelle druckdicht mit dem Druckmittlerkörper verbunden ist, so dass zwischen dem Druckmittlerkörper und der Trennmembran eine Druckmittlerkammer (
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Prägedruck nicht weniger als 200 bar.In one embodiment of the invention, the embossing pressure is not less than 200 bar.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Prägedruck nicht mehr als 500 bar.In one embodiment of the invention, the embossing pressure is not more than 500 bar.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Kanalöffnung einen Durchmesser von nicht weniger als 0,5 mm insbesondere nicht weniger als 0,8 mm auf.In a development of the invention, the channel opening has a diameter of not less than 0.5 mm, in particular not less than 0.8 mm.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Kanalöffnung einen Durchmesser von nicht mehr als 3 mm insbesondere nicht mehr als 2 mm und bevorzugt nicht mehr als 1,5 mm auf.In a development of the invention, the channel opening has a diameter of not more than 3 mm, in particular not more than 2 mm and preferably not more than 1.5 mm.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Trennmembran einen metallischen Werkstoff, insbesondere Edelstahl auf, wobei die Trennmembran aus einer Trennmembranronde gefertigt ist, die eine Materialstärke von nicht mehr als 150 µm, insbesondere nicht mehr als 75 µm, und bevorzugt nicht mehr als 50 µm aufweist.In one development of the invention, the separating membrane to a metallic material, in particular stainless steel, wherein the separation membrane is made of a Trennmembranronde having a material thickness of not more than 150 .mu.m, in particular not more than 75 .mu.m, and preferably not more than 50 microns ,
Weitere Vorteile und Gesichtspunkte der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung der Ausführungsbeispiele und den Zeichnungen. Es zeigt:Further advantages and aspects of the invention will become apparent from the dependent claims, the description of the embodiments and the drawings. It shows:
Der in
Wie in
Das in
Im Zentrum der Trennmembranronde
Wie in
Nachdem das Prägen abgeschlossen ist, wird das Abdeckelement wieder entfernt, indem die Fügestelle
Das in
Der Druckmittler
Wie in
Nachdem das Prägen abgeschlossen ist, wird der Druckmittler aus der Halterung
Das in
Der Druckmittler
Wie in
Nachdem das Prägen abgeschlossen ist, wird der Druckmittler aus der Prägeanlage
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 10152681 A1 [0006] DE 10152681 A1 [0006]
- DE 10162044 A1 [0006] DE 10162044 A1 [0006]
- DE 10257124 A1 [0006] DE 10257124 A1 [0006]
- DE 102005027035 A1 [0006] DE 102005027035 A1 [0006]
- DE 102008033337 A1 [0006] DE 102008033337 A1 [0006]
- DE 102010002854 A1 [0006] DE 102010002854 A1 [0006]
Claims (15)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015122750.9A DE102015122750A1 (en) | 2015-12-23 | 2015-12-23 | Method for producing a hydraulic diaphragm seal and hydraulic diaphragm seal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015122750.9A DE102015122750A1 (en) | 2015-12-23 | 2015-12-23 | Method for producing a hydraulic diaphragm seal and hydraulic diaphragm seal |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102015122750A1 true DE102015122750A1 (en) | 2017-06-29 |
Family
ID=59010854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102015122750.9A Withdrawn DE102015122750A1 (en) | 2015-12-23 | 2015-12-23 | Method for producing a hydraulic diaphragm seal and hydraulic diaphragm seal |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102015122750A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017107536A1 (en) * | 2017-04-07 | 2018-10-11 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Process for embossing a separating membrane for a diaphragm seal |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10152681A1 (en) | 2001-10-19 | 2003-04-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Diaphragm seal with separating membrane and process for its manufacture |
DE10162044A1 (en) | 2001-12-17 | 2003-06-26 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Pressure gauge for industrial use has a separating membrane and seal arrangement that enable use of the gauge in hostile environments without a requirement for expensive materials |
DE10257124A1 (en) | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure and differential pressure measuring device with overload protection |
DE102005027035A1 (en) | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Hydraulic diaphragm seal |
DE102006056592A1 (en) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Process for embossing a separating membrane of a diaphragm seal |
DE102008033337A1 (en) | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Diaphragm seal and pressure gauge with such a diaphragm seal |
DE102010002854A1 (en) | 2010-03-15 | 2011-09-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Hydraulic diaphragm seal, pressure measuring transducer with such a diaphragm seal and manufacturing method thereof |
-
2015
- 2015-12-23 DE DE102015122750.9A patent/DE102015122750A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10152681A1 (en) | 2001-10-19 | 2003-04-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Diaphragm seal with separating membrane and process for its manufacture |
DE10162044A1 (en) | 2001-12-17 | 2003-06-26 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Pressure gauge for industrial use has a separating membrane and seal arrangement that enable use of the gauge in hostile environments without a requirement for expensive materials |
DE10257124A1 (en) | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure and differential pressure measuring device with overload protection |
DE102005027035A1 (en) | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Hydraulic diaphragm seal |
DE102006056592A1 (en) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Process for embossing a separating membrane of a diaphragm seal |
DE102008033337A1 (en) | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Diaphragm seal and pressure gauge with such a diaphragm seal |
DE102010002854A1 (en) | 2010-03-15 | 2011-09-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Hydraulic diaphragm seal, pressure measuring transducer with such a diaphragm seal and manufacturing method thereof |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017107536A1 (en) * | 2017-04-07 | 2018-10-11 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Process for embossing a separating membrane for a diaphragm seal |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0394632B1 (en) | Pressure sensor and method of fabricating the same | |
DE69021325T2 (en) | Semiconductor pressure sensor connected to a carrier element. | |
EP0853498A1 (en) | Device for mounting a component exposed to a pressurized fluid | |
DE102008033337A1 (en) | Diaphragm seal and pressure gauge with such a diaphragm seal | |
EP3274681B1 (en) | Pressure sensor | |
DE102008054743A1 (en) | Apparatus and method for manufacturing a device | |
EP2938988A1 (en) | Detection device and method for producing a detection device | |
WO2012095304A1 (en) | Device for converting a force or a pressure into an electrical signal and method for producing such a device | |
DE102010063065A1 (en) | Pressure sensor and method for its manufacture + | |
DE102015110351A1 (en) | Pressure transfer module and pressure transducer with a pressure transfer module | |
DE102010040373B4 (en) | Micromechanical pressure sensor element | |
WO2010108949A1 (en) | Pressure sensor | |
WO2011113643A1 (en) | Hydraulic pressure transmitter, pressure transducer having such a pressure transmitter and method for producing same | |
DE102007043552A1 (en) | Solenoid valve | |
DE102015206470A1 (en) | Apparatus for determining a pressure and method of making the same | |
DE102015122750A1 (en) | Method for producing a hydraulic diaphragm seal and hydraulic diaphragm seal | |
DE102019120225A1 (en) | Valve and device for regulating pressures of a fluid with the valve and device for securing the valve in the transmission component | |
DE102011004729A1 (en) | Pressure measuring cell of pressure sensor, has lower measuring chamber that communicates with metallic hydraulic line, where upper end portion of hydraulic line is pressure-tightly fastened and welded at casing | |
DE102008033592B4 (en) | Micromechanical pressure sensor | |
WO2012048937A1 (en) | Manometer and pressure transducer having such a manometer | |
CH684808A5 (en) | Pressure sensor and method for its production. | |
EP1328747B1 (en) | Closure device | |
EP1334343A1 (en) | Pressure sensor and method for mounting the same | |
DE102007056844A1 (en) | Membrane bed for pressure transmission device of e.g. differential pressure transducer, has surface with spiral outline that serves as embossing pattern for flexible metallic and embossed membranes, where outline is obtained by die sinking | |
WO2019115111A1 (en) | Modular kit for producing pressure sensors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R163 | Identified publications notified | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: ENDRESS+HAUSER SE+CO. KG, DE Free format text: FORMER OWNER: ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG, 79689 MAULBURG, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: HAHN, CHRISTIAN, DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT., DE Representative=s name: ANDRES, ANGELIKA, DIPL.-PHYS., DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: ANDRES, ANGELIKA, DIPL.-PHYS., DE |
|
R005 | Application deemed withdrawn due to failure to request examination |