[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

DE102015107240B8 - Thermoelektrischer Energiesammler im Wafermaßstab und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Sammlers - Google Patents

Thermoelektrischer Energiesammler im Wafermaßstab und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Sammlers Download PDF

Info

Publication number
DE102015107240B8
DE102015107240B8 DE102015107240.8A DE102015107240A DE102015107240B8 DE 102015107240 B8 DE102015107240 B8 DE 102015107240B8 DE 102015107240 A DE102015107240 A DE 102015107240A DE 102015107240 B8 DE102015107240 B8 DE 102015107240B8
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
thermoelectric
making
collector
energy harvester
wafer scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102015107240.8A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102015107240A1 (de
DE102015107240B4 (de
Inventor
Boaxing Chen
Patrick McGuinness
William Allan Lane
Jane CORNETT
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Analog Devices Inc
Original Assignee
Analog Devices Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US14/274,590 external-priority patent/US9748466B2/en
Application filed by Analog Devices Inc filed Critical Analog Devices Inc
Publication of DE102015107240A1 publication Critical patent/DE102015107240A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102015107240B4 publication Critical patent/DE102015107240B4/de
Publication of DE102015107240B8 publication Critical patent/DE102015107240B8/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N19/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one thermoelectric or thermomagnetic element covered by groups H10N10/00 - H10N15/00
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/10Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
    • H10N10/17Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
DE102015107240.8A 2014-05-09 2015-05-08 Thermoelektrischer Energiesammler im Wafermaßstab und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Sammlers Active DE102015107240B8 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/274,590 2014-05-09
US14/274,590 US9748466B2 (en) 2013-01-08 2014-05-09 Wafer scale thermoelectric energy harvester

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE102015107240A1 DE102015107240A1 (de) 2015-11-12
DE102015107240B4 DE102015107240B4 (de) 2022-03-03
DE102015107240B8 true DE102015107240B8 (de) 2022-05-19

Family

ID=54336742

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102015107240.8A Active DE102015107240B8 (de) 2014-05-09 2015-05-08 Thermoelektrischer Energiesammler im Wafermaßstab und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Sammlers

Country Status (2)

Country Link
CN (2) CN108807451A (de)
DE (1) DE102015107240B8 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2544787A (en) * 2015-11-27 2017-05-31 European Thermodynamics Ltd Thermoelectric module
CN108886084A (zh) * 2016-03-31 2018-11-23 株式会社村田制作所 热电转换模块以及热电转换模块的制造方法
DE102018130761A1 (de) * 2018-12-04 2020-06-04 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Thermoelektrische Umwandlungsvorrichtung und Fahrzeug
CN109524534B (zh) * 2018-12-06 2022-07-29 南京邮电大学 一种双层mems热电堆结构
CN110739227B (zh) * 2019-09-27 2021-07-23 浙江大学 一种基于三维散热结构的三维异构射频模组的制作方法
CN115359736B (zh) * 2022-09-23 2023-11-21 武汉天马微电子有限公司 显示组件和显示装置
US12041852B2 (en) 2022-12-16 2024-07-16 Juanita Castorena Silicon thermoelectric generator
CN118380397B (zh) * 2024-06-21 2024-12-13 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 半导体器件的散热结构及其制备方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11204843A (ja) 1998-01-20 1999-07-30 Citizen Watch Co Ltd 熱電素子の製造方法
DE10022726A1 (de) 1999-08-10 2001-06-07 Matsushita Electric Works Ltd Thermoelektrisches Modul mit verbessertem Wärmeübertragungsvermögen und Verfahren zum Herstellen desselben
US20050139249A1 (en) 2002-06-06 2005-06-30 Tatsuhiko Ueki Thermoelectric module and a method of manufacturing the same
DE102008009428A1 (de) 2008-02-15 2009-08-27 Isabellenhütte Heusler Gmbh & Co. Kg Thermo-elektrischer Wandler und zugehöriges Herstellungsverfahren
DE102009013692A1 (de) 2009-03-20 2010-09-23 Emitec Gesellschaft Für Emissionstechnologie Mbh Thermoelektrische Vorrichtung
AT508277A1 (de) 2009-06-09 2010-12-15 Avl List Gmbh Thermoelektrisches modul mit paarweise angeordneten p- und n- dotierten schenkeln

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5022928A (en) * 1985-10-04 1991-06-11 Buist Richard J Thermoelectric heat pump/power source device
JPH10303469A (ja) * 1997-04-23 1998-11-13 Sharp Corp 薄膜熱電変換素子及びそれを用いた半導体デバイス及びそれを用いたプリント基板
JP2000068565A (ja) * 1998-08-20 2000-03-03 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ペルチェ素子
US6489704B1 (en) * 1999-03-11 2002-12-03 Eneco, Inc. Hybrid thermionic energy converter and method
US20110209740A1 (en) * 2002-08-23 2011-09-01 Bsst, Llc High capacity thermoelectric temperature control systems
JP2004165367A (ja) * 2002-11-12 2004-06-10 Seiko Instruments Inc 熱電変換素子とその製造方法
JP2006196577A (ja) * 2005-01-12 2006-07-27 Hitachi Ltd 配向性熱電薄膜の製造方法及び配向性熱電薄膜を有する半導体デバイス
JP4953841B2 (ja) * 2006-03-31 2012-06-13 京セラ株式会社 熱電モジュール
JP5134395B2 (ja) * 2008-02-26 2013-01-30 アイシン精機株式会社 熱電モジュール、熱電モジュールを用いた熱電装置及び熱電モジュールの製造方法
DE102009009586A1 (de) * 2009-02-19 2010-08-26 Emitec Gesellschaft Für Emissionstechnologie Mbh Thermoelektrische Vorrichtung
US20100288324A1 (en) * 2009-05-16 2010-11-18 Marc Henness Energy conversion by exothermic to endothermic feedback
DE102009025032A1 (de) * 2009-06-10 2010-12-16 Behr Gmbh & Co. Kg Thermoelektrische Vorrichtung
US20110030754A1 (en) * 2009-08-06 2011-02-10 Laird Technologies, Inc. Thermoelectric modules and related methods
CA2810857A1 (en) * 2010-09-13 2012-03-22 Tempronics, Inc. Distributed thermoelectric string and insulating panel and applications for local heating, local cooling, and power generation from heat
CN103140949B (zh) * 2010-11-18 2016-05-11 松下知识产权经营株式会社 热电转换元件模块
KR20130052361A (ko) * 2011-11-11 2013-05-22 삼성전기주식회사 열전 모듈 및 이의 제조 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11204843A (ja) 1998-01-20 1999-07-30 Citizen Watch Co Ltd 熱電素子の製造方法
DE10022726A1 (de) 1999-08-10 2001-06-07 Matsushita Electric Works Ltd Thermoelektrisches Modul mit verbessertem Wärmeübertragungsvermögen und Verfahren zum Herstellen desselben
US20050139249A1 (en) 2002-06-06 2005-06-30 Tatsuhiko Ueki Thermoelectric module and a method of manufacturing the same
DE102008009428A1 (de) 2008-02-15 2009-08-27 Isabellenhütte Heusler Gmbh & Co. Kg Thermo-elektrischer Wandler und zugehöriges Herstellungsverfahren
DE102009013692A1 (de) 2009-03-20 2010-09-23 Emitec Gesellschaft Für Emissionstechnologie Mbh Thermoelektrische Vorrichtung
AT508277A1 (de) 2009-06-09 2010-12-15 Avl List Gmbh Thermoelektrisches modul mit paarweise angeordneten p- und n- dotierten schenkeln

Also Published As

Publication number Publication date
DE102015107240A1 (de) 2015-11-12
CN108807451A (zh) 2018-11-13
CN105098053B (zh) 2018-10-26
CN105098053A (zh) 2015-11-25
DE102015107240B4 (de) 2022-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3522696A4 (de) Pflanzenzuchtvorrichtung und -verfahren
DE102015107240B8 (de) Thermoelektrischer Energiesammler im Wafermaßstab und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Sammlers
DE112015003999A5 (de) Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips
PL3195372T3 (pl) Sposób formułowania perowskitowych materiałów ogniw słonecznych
PL3239103T3 (pl) Złożony wodorotlenek niklowo-kobaltowo-manganowy i sposób jego wytwarzania
DE112016000691A5 (de) Optoelektronisches Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauelements
DE112015001039A5 (de) Verfahren zur Herstellung einer Vogelschutzvorrichtung und Vogelschutzvorrichtung
EP3605632A4 (de) Solarzelle und verfahren zur herstellung davon
IL243115A0 (en) A system and method for growing crops and components therefor
DE112015000814A5 (de) Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils sowie optoelektronisches Halbleiterbauteil
DE112015004073A5 (de) Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils und optoelektronisches Halbleiterbauteil
EP3327793C0 (de) Solarzelle und verfahren zur herstellung davon
DK3143207T3 (da) Kunstgræs og metode til at fremstille samme
DE112015005232A5 (de) Bauelement und verfahren zur herstellung eines bauelements
DE112015005495A5 (de) Optoelektronisches Halbleiterbauteil und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils
PL3394430T3 (pl) Łopaty turbiny wiatrowej i powiązane sposoby wytwarzania
EP3129094C0 (de) Bougie und verfahren zur herstellung davon
DE112015000888A5 (de) Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Halbleiterbauteile und optoelektronisches Halbleiterbauteil
DK3191498T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af 2'-o-fucosyllactose
DE112015000824A5 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Halbleiterchips und elektronischer Halbleiterchip
EP3618124A4 (de) Solarbatterieelement und verfahren zur herstellung eines solarbatterieelements
DE112015001999A5 (de) Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements
DE112016004575A5 (de) Halbleiterlaser und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterlasers
DE112015002379A5 (de) Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips sowie optoelektronischer Halbleiterchip
DE112015004068A5 (de) Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauelements

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: ANALOG DEVICES, INC., WILMINGTON, US

Free format text: FORMER OWNER: ANALOG DEVICES, INC., NORWOOD, MA, US

R082 Change of representative

Representative=s name: WITTE, WELLER & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R083 Amendment of/additions to inventor(s)
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0035320000

Ipc: H10N0010170000

R020 Patent grant now final