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DE10191578D2 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Flusses einer Flüssigkeit - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Flusses einer Flüssigkeit

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DE10191578D2
DE10191578D2 DE10191578T DE10191578T DE10191578D2 DE 10191578 D2 DE10191578 D2 DE 10191578D2 DE 10191578 T DE10191578 T DE 10191578T DE 10191578 T DE10191578 T DE 10191578T DE 10191578 D2 DE10191578 D2 DE 10191578D2
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Germany
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liquid
flow
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DE10191578T
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Felix Mayer
Andreas Martin Haeberli
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Sensirion Holding AG
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Sensirion AG
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
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Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4355792B2 (ja) * 2002-08-29 2009-11-04 東京瓦斯株式会社 熱式流量計
EP1426740B1 (de) 2002-11-27 2014-11-19 Sensirion Holding AG Vorrichtung zur Messung des Flusses und mindestens eines Materialparameters eines Fluids
CH696006A5 (de) 2002-12-23 2006-11-15 Sensirion Ag Vorrichtung zur Messung des Flusses eines Gases oder einer Flüssigkeit in einem Nebenkanal.
DE10314503B4 (de) * 2003-03-31 2008-07-31 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Verbesserte integrierte Halbleiterstruktur für Zuverlässigkeitsprüfungen von Dielektrika
NL1025617C2 (nl) * 2003-05-13 2004-11-18 Berkin Bv Massadebietmeter.
JP2004361271A (ja) * 2003-06-05 2004-12-24 Hitachi Ltd 熱式空気流量計
DE10329535B4 (de) * 2003-06-30 2007-02-22 Sls Micro Technology Gmbh Miniaturisierte Anreicherungsvorrichtung
IL157354A0 (en) * 2003-08-12 2004-02-19 Apparatus for determining the amount of milk breast-fed to a baby
DE202006010293U1 (de) 2005-07-22 2006-08-31 Tecan Trading Ag Pipettiergerät mit Computerprogrammprodukt zum Akzeptieren oder Verwerfen von pipettierten Flüssigkeitsproben
EP1840535B1 (de) * 2006-03-31 2011-01-12 Sensirion Holding AG Durchflusssensor mit Thermoelementen
EP1840536B1 (de) * 2006-03-31 2011-01-19 Sensirion Holding AG Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler
EP1965179B1 (de) * 2007-02-28 2017-04-12 Sensirion Holding AG Strömungsdetektorvorrichtung mit Eigenüberprüfung
DE202007003027U1 (de) * 2007-03-01 2007-06-21 Sensirion Ag Vorrichtung zur Handhabung von Fluiden mit einem Flußsensor
JP5209232B2 (ja) * 2007-05-24 2013-06-12 アズビル株式会社 熱式流量計
US7874208B2 (en) * 2007-10-10 2011-01-25 Brooks Instrument, Llc System for and method of providing a wide-range flow controller
US7500392B1 (en) 2007-10-11 2009-03-10 Memsys, Inc. Solid state microanemometer device and method of fabrication
EP2088402B1 (de) * 2008-02-11 2014-04-02 Zentrum Mikroelektronik Dresden GmbH Schaltungsanordung zum Einstellen und Kalibrieren eines MEMS-Sensors zur Durchflussmessung von Gasen oder Flüssigkeiten
US20090270844A1 (en) * 2008-04-24 2009-10-29 Medtronic, Inc. Flow sensor controlled infusion device
CN102089632A (zh) * 2008-07-08 2011-06-08 皇家飞利浦电子股份有限公司 传感器和用于流控制的控制单元以及用于受控流体递送的方法
EP2154713B1 (de) * 2008-08-11 2013-01-02 Sensirion AG Verfahren zur Herstellung einer Messvorrichtung mit einer Spannungsverminderungsschicht
EP2187182B1 (de) * 2008-11-12 2015-08-05 Sensirion AG Verfahren zum Betrieb eines Durchflusssensors, der wiederholt einem thermischen und/oder chemischen Reinigungsprozess ausgesetzt ist, und Durchflussmessgerät
US8703358B2 (en) * 2008-11-20 2014-04-22 Mti Microfuel Cells, Inc. Fuel cell feed systems
US20110312732A1 (en) * 2010-06-17 2011-12-22 Geneasys Pty Ltd Test module using lanthanide metal-ligand complex, electrochemiluminescent luminophores
EP2627998A4 (de) * 2010-10-15 2017-08-23 Nanyang Technological University Kavitationssensor
US20120291540A1 (en) * 2011-05-20 2012-11-22 Cooke Dominic J Infusion Apparatus With Flow Detector
CN202329848U (zh) 2011-11-23 2012-07-11 艾默生电气公司 测温装置
EP2762864B1 (de) 2013-01-31 2018-08-08 Sensirion AG Membranbasierte Sensorvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
EP2833128A1 (de) * 2013-07-30 2015-02-04 Sensirion AG Integrierter chemischer Metalloxidsensor
EP3029429B1 (de) * 2014-12-04 2020-10-07 Sensirion AG Bestimmung einer Flüssigkeitszusammensetzung in einer Massenströmungssteuerung
EP2930475B1 (de) 2014-12-22 2017-11-15 Sensirion AG Durchflusssensoranordnung
GB2553681B (en) 2015-01-07 2019-06-26 Homeserve Plc Flow detection device
GB201501935D0 (en) 2015-02-05 2015-03-25 Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd Water flow analysis
EP3118711B1 (de) 2015-07-17 2021-01-13 Sensirion AG Gegen eingangsdruckstörung unempfindlicher massendurchflussregler
EP3076137B1 (de) * 2015-11-13 2019-01-30 Sensirion AG Durchflusssensor zur bestimmung einer luftblase, insbesondere in einem katheter und entsprechendes verfahren
DE102015121866A1 (de) * 2015-12-15 2017-06-22 Jobst Technologies Gmbh Verfahren zur Bestimmung einer Flussrate bzw. Strömungsgeschwindigkeit eines Mediums
EP3239674A1 (de) 2016-04-25 2017-11-01 Universitat Autònoma De Barcelona Fluidstromsensor und verfahren zu dessen herstellung
US10890472B2 (en) 2016-08-25 2021-01-12 Honeywell International Inc. Low power operational methodology for a flow sensor
EP3348969B1 (de) 2017-01-12 2020-11-18 Sensirion AG Messung eines fluidparameters und sensorvorrichtung dafür
EP3404373B1 (de) 2017-05-17 2020-03-04 Sensirion AG Durchflusssensor mit thermoelementen
EP3421947B1 (de) 2017-06-30 2019-08-07 Sensirion AG Betriebsverfahren für eine durchflusssensorvorrichtung
US10775217B1 (en) 2019-04-19 2020-09-15 Honeywell International Inc. Thermophile-based flow sensing device
DE102019110876A1 (de) * 2019-04-26 2020-10-29 Endress+Hauser Flowtec Ag Verfahren zum Betreiben einer Sonde eines thermischen Durchflussmessgeräts und ein thermisches Durchflussmessgerät mit einer solchen Sonde
GB2588398B (en) * 2019-10-21 2024-05-15 Flusso Ltd Flow sensor
US11860042B2 (en) 2020-10-23 2024-01-02 Honeywell International Inc. Sensors, methods, and computer program products for air bubble detection
DE102021122790A1 (de) 2021-09-02 2023-03-02 Innovative Sensor Technology Ist Ag Verfahren zum Detektieren von Blasen oder Tröpfchen eines ersten Mediums in einem ein Messrohr durchströmenden fluiden zweiten Medium
EP4372325A1 (de) 2022-11-15 2024-05-22 Flusso Limited Verfahren und steuergerät zur steuerung eines fluidstromsensors

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL177629C (nl) * 1979-07-09 1985-10-16 Brooks Instr Bv Richtingsgevoelige stroomsnelheidsmeter.
JPS61170618A (ja) * 1985-01-24 1986-08-01 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 流速検出用半導体センサ
JPS61178614A (ja) * 1985-02-02 1986-08-11 Nippon Soken Inc 直熱型流量センサ
GB8629016D0 (en) * 1986-12-04 1987-01-14 Univ Aberdeen Multi point temperature sensor
US5406841A (en) * 1992-03-17 1995-04-18 Ricoh Seiki Company, Ltd. Flow sensor
JP3175887B2 (ja) * 1992-10-27 2001-06-11 株式会社半導体エネルギー研究所 測定装置
WO1995002164A1 (en) * 1993-07-07 1995-01-19 Ic Sensors, Inc. Pulsed thermal flow sensor system
DE4418207C1 (de) 1994-05-25 1995-06-22 Siemens Ag Thermischer Sensor/Aktuator in Halbleitermaterial
JPH0972763A (ja) 1995-09-07 1997-03-18 Ricoh Co Ltd マイクロセンサ
WO1997021986A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-19 Micronas Semiconductor S.A. Mikrosensoren mit siliziummembranen und verfahren zur herstellung derselben
US6460411B1 (en) 1997-02-14 2002-10-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Flow sensor component
JP2002533663A (ja) * 1998-12-22 2002-10-08 ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト 質量流量を測定する方法およびセンサ
US6526823B2 (en) * 1999-11-30 2003-03-04 California Institute Of Technology Microelectromechanical system sensor assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US6763710B2 (en) 2004-07-20
CH695166A5 (de) 2005-12-30
WO2001081872A1 (de) 2001-11-01
US20030115952A1 (en) 2003-06-26
DE10191578B4 (de) 2016-02-04
AU4870401A (en) 2001-11-07

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