CN220825765U - 物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及加工设备技术领域，具体涉及一种物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机。本申请旨在解决现有的物料转移装置的工作效率低的问题。为此，本申请的物料转移装置包括第一平移驱动机构、第二平移驱动机构、第一水平滑座、第二水平滑座、固定安装在第一水平滑座上的第一机械手及固定安装在第二水平滑座上的第二机械手，第一平移驱动机构能够驱动第一水平滑座移动，第二平移驱动机构能够驱动第二水平滑座移动。通过两个机械手能够极大的提高工作料率，通过安装在第一水平滑座和第二水平滑座上，稳定性更好，通过使第一水平滑座和第二水平滑座沿其移动方向分布，布局更加合理。

Description

物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机

技术领域

本实用新型涉及加工设备技术领域，具体涉及一种物料转移装置及包括该物料转移装置的倒角机。

背景技术

航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机对晶圆进行倒角加工的过程中，需要通过物料转移装置将晶圆在各个装置之间进行转移，然而，现有的物料转移装置的工作效率低，影响用户的使用体验。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的物料转移装置的工作效率低的技术问题。

在第一方面，本申请提供了一种物料转移装置，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一平移驱动机构、第二平移驱动机构、第一水平滑座、第二水平滑座、固定安装在所述第一水平滑座上的第一机械手以及固定安装在所述第二水平滑座上的第二机械手，

所述第一平移驱动机构与所述第一水平滑座连接且能够驱动所述第一水平滑座沿第一水平方向移动，所述第二平移驱动机构与所述第二水平滑座连接且能够驱动所述第二水平滑座沿所述第一水平方向移动，所述第一水平滑座和所述第二水平滑座沿所述第一水平方向分布，

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述物料转移装置还包括导向机构，所述导向机构安装在所述固定构件与所述第一水平滑座和所述第二水平滑座之间，用于在所述第一水平滑座和所述第二水平滑座相对于所述固定构件移动时对所述第一水平滑座和所述第二水平滑座进行导向。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述导向机构包括设于所述第一水平滑座的第一导向构件、设于所述第二水平滑座的第二导向构件以及设于所述固定构件的第三导向构件，所述第一导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第一水平滑座进行导向，所述第二导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第二水平滑座进行导向。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第三导向构件的数量为两个且沿所述第二水平方向间隔分布，所述第一平移驱动机构和所述第二平移驱动机构位于两个所述第三导向构件之间，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第一导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合，所述第二导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一导向构件为第一导向块，所述第二导向构件为第二导向块，所述第三导向构件为沿所述第一水平方向延伸的水平导轨，所述第一导向块和所述第二导向块均与所述水平导轨相适配。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一机械手包括与所述第一水平滑座固定连接的第一升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的第一连接臂以及用于取料的第一吸盘，

所述第一升降驱动机构与所述旋转驱动机构连接且能够驱动所述旋转驱动机构竖直移动，所述旋转驱动机构与所述第一连接臂的一端连接且能够驱动所述第一连接臂绕竖直轴线旋转，所述第一吸盘安装在所述第一连接臂的另一端。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一机械手还包括与所述旋转驱动机构连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在取料位。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第二机械手包括与所述第二水平滑座固定连接的第二升降驱动机构、水平设置的第二连接臂、第二吸盘和第三吸盘，

所述第二升降驱动机构与所述第二连接臂的一端连接且能够驱动所述第二连接臂竖直移动，所述第二吸盘和所述第三吸盘均安装在所述第二连接臂的另一端。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，第二吸盘位于所述第三吸盘的下方，所述第二吸盘的吸附面朝下设置且所述第三吸盘的吸附面朝上设置。

在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一平移驱动机构包括第一平移电机、第一水平丝杠以及安装在所述第一水平丝杠上的第一滑块，所述第一滑块与所述第一水平滑座固定连接或一体设置，所述第一平移电机用于驱动所述第一水平丝杠转动，所述第一滑块随着所述第一水平丝杠的转动沿着所述第一水平丝杠的长度方向水平移动；并且/或者

所述第二平移驱动机构包括第二平移电机、第二水平丝杠以及安装在所述第二水平丝杠上的第二滑块，所述第二滑块与所述第二水平滑座固定连接或一体设置，所述第二平移电机用于驱动所述第二水平丝杠转动，所述第二滑块随着所述第二水平丝杠的转动沿着所述第二水平丝杠的长度方向水平移动。

在第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的物料转移装置。

在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的物料转移装置通过设置两个能够独立移动的机械手来进行晶圆的转移工作，能够极大的提高工作料率，通过将第一机械手和第二机械手分别安装在第一水平滑座和第二水平滑座上，稳定性更好，并通过导向机构对第一水平滑座和第二水平滑座进行导向，可靠性更好，此外，使第一水平滑座和第二水平滑座沿其移动方向分布，布局更加合理。

进一步地，本实用新型的物料转移装置通过导向机构对第一水平滑座和第二水平滑座进行导向，可靠性更好。

更进一步地，本实用新型的物料转移装置通过使第一水平滑座和第二水平滑座共用第三导向构件，使得结构更加简化，有利于优化整体布局。

又进一步地，本实用新型的物料转移装置通过设置两个第三导向构件共同对第一水平滑座和第二水平滑座进行导向，导向准确性更好，此外，通过将第一平移驱动机构和第二平移驱动机构设于两个第三导向构件之间，使得布局更加合理，占用空间更小。

又进一步地，本实用新型的第一机械手在第一平移驱动机构和第一升降驱动机构的基础上增设了旋转驱动机构，通过旋转驱动机构能够带着第一吸盘绕竖直轴线旋转，使得第一机械手更加灵活，便于布置。

又进一步地，本实用新型的第一机械手通过设置第一限位止挡构件和第二限位止挡构件对第一连接臂进行限位止挡，能够使第一连接臂上的第一吸盘准确地停止在放料位和取料位，使得物料的取放操作能够顺利地完成，有利于提高工作效率。

附图说明

下面参照附图来描述本申请的技术方案。附图中：

图1为本实用新型的物料转移装置的结构示意图；

图2为本实用新型的物料转移装置的部分结构示意图一；

图3为本实用新型的物料转移装置的部分结构示意图二；

图4为本实用新型的第一机械手的结构示意图一；

图5为本实用新型的第一机械手的结构示意图二；

图6为本实用新型的第一机械手的结构示意图三；

图7为本实用新型的第一机械手的结构示意图四；

图8为本实用新型的第二机械手的结构示意图一；

图9为本实用新型的第二机械手的结构示意图二。

附图标记列表

1、固定构件；11、固定柱；12、条形固定块；121、容纳槽；

21、第一平移驱动机构；211、第一平移电机；212、第一水平丝杠；213、第一滑块；

22、第二平移驱动机构；221、第二平移电机；222、第二水平丝杠；

31、第一水平滑座；311、第一通孔；312、第三通孔；

32、第二水平滑座；321、第二通孔；322、第四通孔；

41、第一导向构件；42、第二导向构件；43、第三导向构件；

5、第一机械手；51、第一升降驱动机构；52、旋转驱动机构；53、第一连接臂；54、第一吸盘；55、第一限位螺栓；56、第一锁紧螺母；57、第二限位螺栓；58、竖直导轨；59、升降导向块；511、第一升降座；512、第一升降气缸；521、安装座；522、旋转气缸；5111、上缓冲器；5112、下缓冲器；

6、第二机械手；61、第二升降驱动机构；62、第二连接臂；63、第二吸盘；64、第三吸盘；611、支架；612、第二升降气缸；

71、第一防尘构件；72、第二防尘构件；

81、第一限位构件；82、第二限位构件；

9、晶圆。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然下面描述的实施方式是结合倒角机进行介绍的，但是，本实用新型的技术方案同样适用于其它类型的加工设备，例如减薄机等，这种对应用对象的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和保护范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

具体地，本实用新型提供了一种倒角机，该倒角机用于对晶圆9进行倒角磨削，本实用新型的倒角机包括物料转移装置，物料转移装置用于将晶圆9在倒角机的各个装置之间进行转移。例如，可以通过物料转移装置将晶圆9由检测装置转移至承载装置，再由承载装置带着晶圆9靠近磨削装置进行倒角磨削，磨削完成后的晶圆9再由物料转移装置转移至清洗装置进行清洗。

如图1和图2所示，本实用新型的物料转移装置包括固定构件1以及安装在固定构件1上的第一平移驱动机构21、第二平移驱动机构22、第一水平滑座31、第二水平滑座32、导向机构、固定安装在第一水平滑座31上的第一机械手5以及固定安装在第二水平滑座32上的第二机械手6。

其中，第一平移驱动机构21与第一水平滑座31连接且能够驱动第一水平滑座31沿第一水平方向移动(图1中所示的X方向)，第二平移驱动机构22与第二水平滑座32连接且能够驱动第二水平滑座32沿第一水平方向移动，第一水平滑座31和第二水平滑座32沿第一水平方向分布，导向机构安装在固定构件1与第一水平滑座31和第二水平滑座32之间，用于在第一水平滑座31和第二水平滑座32相对于固定构件1移动时对第一水平滑座31和第二水平滑座32进行导向。

通过设置两个能够独立移动的机械手来进行晶圆9的转移工作，能够极大的提高工作料率，例如，可以通过第一机械手5来进行上料，通过第二机械手6来进行下料，通过将第一机械手5和第二机械手6分别安装在第一水平滑座31和第二水平滑座32上，稳定性更好，并通过导向机构对第一水平滑座31和第二水平滑座32进行导向，可靠性更好，此外，使第一水平滑座31和第二水平滑座32沿其移动方向分布，布局更加合理。

优选地，如图2和图3所示，本实用新型的导向机构包括设于第一水平滑座31的第一导向构件41、设于第二水平滑座32的第二导向构件42以及设于固定构件1的第三导向构件43，第一导向构件41与第三导向构件43相配合用于对第一水平滑座31进行导向，第二导向构件42与第三导向构件43相配合用于对第二水平滑座32进行导向。

也就是说，第一水平滑座31和第二水平滑座32共用第三导向构件43，使得结构更加简化，有利于优化整体布局。

优选地，如图2和图3所示，第三导向构件43的数量为两个且沿第二水平方向(图2中所示的Y方向)间隔分布，第一平移驱动机构21和第二平移驱动机构22位于两个第三导向构件43之间，第二水平方向与第一水平方向垂直，第一导向构件41的数量至少为两个且分别与对应的第三导向构件43相配合，第二导向构件42的数量至少为两个且分别与对应的第三导向构件43相配合。

通过设置两个第三导向构件43共同对第一水平滑座31和第二水平滑座32进行导向，导向准确性更好，此外，通过将第一平移驱动机构21和第二平移驱动机构22设于两个第三导向构件43之间，使得布局更加合理，占用空间更小。

需要说明的是，本实用新型不对第一导向构件41、第二导向构件42和第三导向构件43的具体结构形式进行限定，例如，可以设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以设置导向槽与导向板相配合的结构，再或者，还可以设置为导向柱与导向孔相配合的结构等等，这种灵活地调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2和图3所示，第一导向构件41为第一导向块，第二导向构件42为第二导向块，第三导向构件43为沿第一水平方向延伸的水平导轨，第一导向块和第二导向块均与水平导轨相适配。

示例性地，如图2和图3所示，固定构件1包括两个沿第一水平方向间隔分布的固定柱11以及沿第一水平方向延伸的条形固定块12，两个固定柱11支撑在条形固定块12的下面，条形固定块12上设有容纳槽121，第一平移驱动机构21和第二平移驱动机构22均安装在该容纳槽121内，条形固定块12的顶面安装有两个水平导轨，两个水平导轨分别位于容纳槽121的两侧，第一水平滑座31的底面安装有四个第一导向块，四个第一导向块分成两组，分别与两个水平导轨滑动配合，每组包括两个沿第一水平方向间隔分布的第一导向块，第二水平滑座32的底面也安装有四个第二导向块，四个第二导向块分成两组，分别与两个水平导轨滑动配合，每组包括两个沿第一水平方向间隔分布的第二导向块。

需要说明的是，第一导向块的数量并不限于上述的四个，例如，还可以将第一导向块的数量设置为两个或者六个等等，同样地，第二导向块的数量也并不限于上述的四个，例如，还可以将第二导向块的数量设置为两个或者六个等等。

优选地，如图2和图3所示，本实用新型的物料转移装置还包括第一防尘构件71和第二防尘构件72，其中，第一防尘构件71沿第一水平方向延伸且位于第一平移驱动机构21的上方，第二防尘构件72沿第一水平方向延伸且位于第二平移驱动机构22的上方。

通过在第一平移驱动机构21和第二平移驱动机构22的上方分别设置第一防尘构件71和第二防尘构件72，第一防尘构件71和第二防尘构件72能够对磨削晶圆9过程中产生的粉末进行阻挡，减少落到第一平移驱动机构21和第二平移驱动机构22上的粉末量，有利于保证第一平移驱动机构21和第二平移驱动机构22正常运行。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中，可以将第一防尘构件71和第二防尘构件72设置为防尘板、防尘罩或者防尘布，等等，这种对第一防尘构件71和第二防尘构件72的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2和图3所示，第一防尘构件71为第一防尘布，第二防尘构件72为第二防尘布。

防尘布对粉末具有很好的吸附作用，防尘效果更好。

优选地，如图2和图3所示，第一水平滑座31和第二水平滑座32在与第一防尘构件71对应的位置分别设有供第一防尘构件71穿过的第一通孔311和第二通孔321，第一水平滑座31和第二水平滑座32在与第二防尘构件72对应的位置分别设有供第二防尘构件72穿过的第三通孔312和第四通孔322。其中，第一通孔311和第二通孔321的尺寸均大于第一防尘构件71，以避免影响第一水平滑座31移动，第三通孔312和第四通孔322的尺寸均大于第二防尘构件72的尺寸，以避免影响第二水平滑座32移动。

示例性地，第一防尘构件71的一端与条形固定块12的一端固定连接，第一防尘构件71的另一端依次穿过第一通孔311和第二通孔321与条形固定块12的另一端固定连接，第二防尘构件72的一端与条形固定块12的一端固定连接，第二防尘构件72的另一端依次穿过第三通孔312和第四通孔322与条形固定块12的另一端固定连接。

优选地，如图2和图3所示，固定构件1的一端设有第一限位构件81，第一限位构件81用于对第一水平滑座31进行止挡限位，固定构件1的另一端设有第二限位构件82，第二限位构件82用于对第二水平滑座32进行止挡限位。

示例性地，第一限位构件81包括第一限位块以及安装在第一限位块上的第一限位螺钉，第一限位块与条形固定块12固定连接或一体设置，第一限位螺钉沿第一水平方向设置，第一限位螺钉朝向第一水平滑座31的一端用于对第一水平滑座31进行止挡限位；第二限位构件82包括第二限位块以及安装在第二限位块上的第二限位螺钉，第二限位块与条形固定块12固定连接或一体设置，第二限位螺钉沿第一水平方向设置，第二限位螺钉朝向第二水平滑座32的一端用于对第二水平滑座32进行止挡限位。

需要说明的是，本实用新型的第一限位构件81和第二限位构件82并不限于上述介绍的限位块和限位螺钉的结构形式，例如，还可以设置为限位板或者限位柱等等，这种对第一限位构件81和第二限位构件82的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中，可以将第一平移驱动机构21设置为电机驱动机构、液压驱动机构或者气压驱动机构等等，这种对第一平移驱动机构21的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图2所示，本实用新型的第一平移驱动机构21包括第一平移电机211、第一水平丝杠212以及安装在第一水平丝杠212上的第一滑块213，第一滑块213与第一水平滑座31固定连接或一体设置，第一平移电机211用于驱动第一水平丝杠212转动，第一滑块213随着第一水平丝杠212的转动沿着第一水平丝杠212的长度方向水平移动。

其中，第一滑块213上设有与第一水平丝杠212螺纹连接的螺纹孔，第一平移电机211驱动第一水平丝杠212顺时针转动时，第一滑块213沿着第一水平丝杠212向左水平移动，第一平移电机211驱动第一水平丝杠212逆时针转动时，第一滑块213沿着第一水平丝杠212向右水平移动。

优选地，如图2所示，本实用新型的第二平移驱动机构22包括第二平移电机221、第二水平丝杠222以及安装在第二水平丝杠222上的第二滑块(图中未示出)，第二滑块与第二水平滑座32固定连接或一体设置，第二平移电机221用于驱动第二水平丝杠222转动，第二滑块随着第二水平丝杠222的转动沿着第二水平丝杠222的长度方向水平移动。

其中，第二滑块上设有与第二水平丝杠222螺纹连接的螺纹孔，第二平移电机221驱动第二水平丝杠222顺时针转动时，第二滑块沿着第二水平丝杠222向左水平移动，第二平移电机221驱动第二水平丝杠222逆时针转动时，第二滑块沿着第二水平丝杠222向右水平移动。

优选地，如图1、图4至图7所示，本申请的第一机械手5包括与第一水平滑座31固定连接的第一升降驱动机构51、旋转驱动机构52、水平设置的第一连接臂53以及用于取料的第一吸盘54。

其中，第一升降驱动机构51与旋转驱动机构52连接，且能够驱动旋转驱动机构52竖直移动，旋转驱动机构52与第一连接臂53的一端连接，且能够驱动第一连接臂53绕竖直轴线旋转，第一吸盘54安装在第一连接臂53的另一端。

本实用新型的第一机械手5通过增设旋转驱动机构52带着第一吸盘54绕竖直轴线旋转，使得第一机械手更加灵活，便于布置。

示例性地，第一吸盘54与倒角机的真空发生器连通，在具体工作过程中，可以先由第一平移驱动机构21驱动第一水平滑座31带着第一升降驱动机构51、旋转驱动机构52、第一连接臂53以及第一吸盘54移动至第一设定位置，然后使旋转驱动机构52驱动第一连接臂53带着第一吸盘54顺时针旋转90度，使第一吸盘54旋转至取料位，如图4所示，此时的第一吸盘54处于取料位，第一吸盘54正好位于晶圆9的上方，然后使第一升降驱动机构51驱动旋转驱动机构52、第一连接臂53和第一吸盘54竖直向下移动，当第一吸盘54靠近晶圆9时，启动与第一吸盘54连通的真空发生器，第一吸盘54内产生负压环境，将晶圆9吸附在第一吸盘54的底面，然后使第一升降驱动机构51驱动旋转驱动机构52、第一连接臂53、第一吸盘54和晶圆9竖直向上移动，然后使第一平移驱动机构21驱动第一水平滑座31带着第一升降驱动机构51、旋转驱动机构52、第一连接臂53、第一吸盘54和晶圆9移动至第二设定位置，然后使旋转驱动机构52驱动第一连接臂53带着第一吸盘54逆时针旋转90，使第一吸盘54旋转至放料位，如图5所示，此时的第一吸盘54处于放料位。

需要说明的是，第一吸盘54由取料位到放料位之间的旋转角度并不限于上述的90度，例如，还可以将第一吸盘54由取料位到放料位之间的旋转角度设为120度或者60度等等，本领域技术人员在实际应用中可以根据实际需求进行灵活地设定。

此外，还需要说明的是，本实用新型不对第一吸盘54的数量进行限制，例如，当晶圆的尺寸较小时，可以仅设置一个第一吸盘54，当晶圆的尺寸较大时，可以设置多个第一吸盘54，多个第一吸盘54沿水平方向分布，共同吸附晶圆。

优选地，如图4至图6所示，本实用新型的第一机械手5还包括与旋转驱动机构52连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，第一限位止挡构件能够对第一连接臂53进行阻挡以使第一连接臂53上的第一吸盘54停止在放料位，第二限位止挡构件能够对第一连接臂53进行阻挡以使第一连接臂53上的第一吸盘54停止在取料位。

通过设置第一限位止挡构件和第二限位止挡构件对第一连接臂53进行限位止挡，能够使第一连接臂53上的第一吸盘54准确地停止在放料位和取料位，使得晶圆9的取放操作能够顺利地完成，有利于提高工作效率。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一限位止挡构件和第二限位止挡构件设置为止挡块、止挡板或者止挡柱等等，这种对第一限位止挡构件和第二限位止挡构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图6所示，第一限位止挡构件包括水平设置的第一限位螺栓55以及安装在第一限位螺栓55上的第一锁紧螺母56，旋转驱动机构52上设有第一螺纹孔，第一限位螺栓55与第一螺纹孔螺纹连接，第一限位螺栓55的一端用于对第一连接臂53进行止挡限位，第一限位螺栓55的另一端穿过第一螺纹孔与第一锁紧螺母56螺接，第一锁紧螺母56抵接于旋转驱动机构52。

通过将第一限位止挡构件设置为第一限位螺栓55，并在旋转驱动机构52上设置与其相适配的第一螺纹孔，使得第一限位螺栓55能够沿水平方向相对于旋转驱动机构52移动，这样一来便于对第一连接臂53的停止位置进行校准，以确保通过第一限位螺栓55的止挡使第一连接臂53上的第一吸盘54准确地停止在放料位，校准后，通过第一锁紧螺母56对第一限位螺栓55进行锁紧，避免第一限位螺栓55发生移动。

优选地，如图5和图6所示，第二限位止挡构件包括水平设置的第二限位螺栓57以及安装在第二限位螺栓57上的第二锁紧螺母(图中未示出)，旋转驱动机构52上设有第二螺纹孔，第二限位螺栓57与第二螺纹孔螺纹连接，第二限位螺栓57的一端用于对第一连接臂53进行止挡限位，第二限位螺栓57的另一端穿过第二螺纹孔与第二锁紧螺母螺接，第二锁紧螺母抵接于旋转驱动机构52。

通过将第二限位止挡构件设置为第二限位螺栓57，并在旋转驱动机构52上设置与其相适配的第二螺纹孔，使得第二限位螺栓57能够沿水平方向相对于旋转驱动机构52移动，这样一来便于对第一连接臂53的停止位置进行校准，以确保通过第二限位螺栓57的止挡使第一连接臂53上的第一吸盘54准确地停止在取料位，校准后，通过第二锁紧螺母对第二限位螺栓57进行锁紧，避免第二限位螺栓57发生移动。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中，可以将旋转驱动机构52设置为电机驱动机构或者气压驱动机构等等，这种对旋转驱动机构52的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图4至图6所示，本实用新型的旋转驱动机构52包括与第一升降驱动机构51连接的安装座521以及固定在安装座521上的旋转气缸522，旋转气缸522与第一连接臂53的一端连接。

示例性地，旋转气缸522固定在安装座521的顶面，第一连接臂53的一端位于旋转气缸522的下方并需旋转气缸522连接，由旋转气缸522驱动第一连接臂53带着第一吸盘54在取料位与放料位之间旋转。

上述介绍的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件均设于旋转驱动机构52的安装座521上。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中，可以将第一升降驱动机构51设置为电机驱动机构、液压驱动机构或者气压驱动机构等等，这种对第一升降驱动机构51的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

优选地，如图1、图4至图7所示，本实用新型的第一升降驱动机构51包括与第一水平滑座31连接的第一升降座511以及安装在第一升降座511上的第一升降气缸512，第一升降气缸512与安装座521连接。

示例性地，第一升降座511的底面与第一水平滑座31的顶面固定连接，第一升降气缸512与旋转驱动机构52的安装座521固定连接，第一升降气缸512驱动安装座521带着旋转气缸522、第一连接臂53和第一吸盘54竖直移动。

其中，第一升降气缸512优选设置为无杆气缸，此外，在第一升降座511的顶端和底端还分别设置有上缓冲器5111和下缓冲器5112，上缓冲器5111和下缓冲器5112均优选设为液压式的缓冲器。

优选地，如图4至图7所示，本实用新型的第一机械手5还包括设于安装座521上的升降导向块59以及设于第一升降座511上的竖直导轨58，升降导向块59与竖直导轨58相配合以在安装座521相对于第一升降座511上下移动的过程中对安装座521进行导向。

示例性地，第一升降座511上安装有两个沿水平方向间隔分布的竖直导轨58，安装座521在与每个竖直导轨58对应的位置安装有两个沿竖直方向间隔分布的升降导向块59。

优选地，如图1、图8和图9所示，第二机械手6包括与第二水平滑座32固定连接的第二升降驱动机构61、水平设置的第二连接臂62、第二吸盘63和第三吸盘64，第二升降驱动机构61与第二连接臂62的一端连接且能够驱动第二连接臂62竖直移动，第二吸盘63和第三吸盘64均安装在第二连接臂62的另一端。

通过设置第二吸盘63和第三吸盘64来分别转移清洗前的晶圆9和清洗后的晶圆9，能够避免清洗后的晶圆9受到污染。

具体地，通过磨削装置将晶圆9磨削完成后，第二平移驱动机构22驱动第二水平滑座32带着第二吸盘63水平移动至靠近晶圆9的位置，将晶圆9取下，然后由第二平移驱动机构22驱动第二水平滑座32带着第二吸盘63和晶圆9移动至清洗装置，将晶圆9放到清洗装置上进行清洗，清洗完成的晶圆9由第三吸盘64移动至下一个工序位置。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中，可以将第二升降驱动机构61设置为电机驱动机构、液压驱动机构或者气压驱动机构等等，这种对第二升降驱动机构61的具体结构形式的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围，均应限定在本实用新型的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本实用新型不对第二吸盘63的数量进行限制，例如，当晶圆的尺寸较小时，可以仅设置一个第二吸盘63，当晶圆的尺寸较大时，可以设置多个第二吸盘63，多个第二吸盘63沿水平方向分布，共同吸附晶圆，同样地，本实用新型不对第三吸盘64的数量进行限制，可以根据晶圆的尺寸设置一个或多个第三吸盘64。

优选地，如图1、图8和图9所示，第二升降驱动机构61包括支架611以及安装在支架611上的第二升降气缸612，支架611固定安装在第二水平滑座32上，第二升降气缸612与第二连接臂62的一端连接。

优选地，如图8和图9所示，第二吸盘63位于第三吸盘64的下方，第二吸盘63的吸附面朝下设置且第三吸盘64的吸附面朝上设置。

示例性地，如图8和图9所示，第二吸盘63的底面设有吸气孔(图中未示出)，第二吸盘63通过气管与真空发生器连通，启动真空发生器后，第二吸盘63内产生负压环境，将晶圆9牢牢地吸附在第二吸盘63的底面，第三吸盘64的顶面也设有吸气孔，第三吸盘64也通过气管与真空发生器连通，启动真空发生器后，第三吸盘64内产生负压环境，将晶圆9牢牢地吸附在第三吸盘64的顶面，其中，与第二吸盘63连通的真空发生器和与第三吸盘64连通的真空发生器优选为两个独立的真空发生器，各自独立控制运行。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一平移驱动机构、第二平移驱动机构、第一水平滑座、第二水平滑座、固定安装在所述第一水平滑座上的第一机械手以及固定安装在所述第二水平滑座上的第二机械手，

所述第一平移驱动机构与所述第一水平滑座连接且能够驱动所述第一水平滑座沿第一水平方向移动，所述第二平移驱动机构与所述第二水平滑座连接且能够驱动所述第二水平滑座沿所述第一水平方向移动，所述第一水平滑座和所述第二水平滑座沿所述第一水平方向分布。

2.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置还包括导向机构，

所述导向机构安装在所述固定构件与所述第一水平滑座和所述第二水平滑座之间，用于在所述第一水平滑座和所述第二水平滑座相对于所述固定构件移动时对所述第一水平滑座和所述第二水平滑座进行导向。

3.根据权利要求2所述的物料转移装置，其特征在于，所述导向机构包括设于所述第一水平滑座的第一导向构件、设于所述第二水平滑座的第二导向构件以及设于所述固定构件的第三导向构件，所述第一导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第一水平滑座进行导向，所述第二导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第二水平滑座进行导向。

4.根据权利要求3所述的物料转移装置，其特征在于，所述第三导向构件的数量为两个且沿第二水平方向间隔分布，所述第一平移驱动机构和所述第二平移驱动机构位于两个所述第三导向构件之间，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第一导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合，所述第二导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合。

5.根据权利要求4所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一导向构件为第一导向块，所述第二导向构件为第二导向块，所述第三导向构件为沿所述第一水平方向延伸的水平导轨，所述第一导向块和所述第二导向块均与所述水平导轨相适配。

6.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一机械手包括与所述第一水平滑座固定连接的第一升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的第一连接臂以及用于取料的第一吸盘，

所述第一升降驱动机构与所述旋转驱动机构连接且能够驱动所述旋转驱动机构竖直移动，所述旋转驱动机构与所述第一连接臂的一端连接且能够驱动所述第一连接臂绕竖直轴线旋转，所述第一吸盘安装在所述第一连接臂的另一端。

7.根据权利要求6所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一机械手还包括与所述旋转驱动机构连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在取料位。

8.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述第二机械手包括与所述第二水平滑座固定连接的第二升降驱动机构、水平设置的第二连接臂、第二吸盘和第三吸盘，

所述第二升降驱动机构与所述第二连接臂的一端连接且能够驱动所述第二连接臂竖直移动，所述第二吸盘和所述第三吸盘均安装在所述第二连接臂的另一端。

9.根据权利要求8所述的物料转移装置，其特征在于，第二吸盘位于所述第三吸盘的下方，所述第二吸盘的吸附面朝下设置且所述第三吸盘的吸附面朝上设置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一平移驱动机构包括第一平移电机、第一水平丝杠以及安装在所述第一水平丝杠上的第一滑块，所述第一滑块与所述第一水平滑座固定连接或一体设置，所述第一平移电机用于驱动所述第一水平丝杠转动，所述第一滑块随着所述第一水平丝杠的转动沿着所述第一水平丝杠的长度方向水平移动；并且/或者

所述第二平移驱动机构包括第二平移电机、第二水平丝杠以及安装在所述第二水平丝杠上的第二滑块，所述第二滑块与所述第二水平滑座固定连接或一体设置，所述第二平移电机用于驱动所述第二水平丝杠转动，所述第二滑块随着所述第二水平丝杠的转动沿着所述第二水平丝杠的长度方向水平移动。

11.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至10中任一项所述的物料转移装置。