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CN203037746U - 用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置 - Google Patents

用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置 Download PDF

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Publication number
CN203037746U
CN203037746U CN 201320024327 CN201320024327U CN203037746U CN 203037746 U CN203037746 U CN 203037746U CN 201320024327 CN201320024327 CN 201320024327 CN 201320024327 U CN201320024327 U CN 201320024327U CN 203037746 U CN203037746 U CN 203037746U
Authority
CN
China
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pin
base
module
proving installation
power device
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
CN 201320024327
Other languages
English (en)
Inventor
成星
朱阳军
陆江
佘超群
高振鹏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Microelectronics of CAS
Jiangsu IoT Research and Development Center
Jiangsu CAS IGBT Technology Co Ltd
Original Assignee
Institute of Microelectronics of CAS
Jiangsu IoT Research and Development Center
Jiangsu CAS IGBT Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Microelectronics of CAS, Jiangsu IoT Research and Development Center, Jiangsu CAS IGBT Technology Co Ltd filed Critical Institute of Microelectronics of CAS
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,包含测试电路,所述测试装置还包含:底座,其由绝缘材料制成;在所述底座上设有三个底座引脚,即栅极底座引脚、漏极底座引脚以及源极底座引脚,在测试时,所述三个底座引脚分别与功率器件模块上相应的模块引脚接触,所述模块引脚包含了栅极模块引脚、漏极模块引脚以及源极模块引脚。本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,功率器件模块依靠自身的重力、下面弹簧的弹力以及上面盖板的压力使模块上的模块引脚与底版上的引脚接触良好,保证了连接的可靠性,较少使用引线连接,大幅度减小了寄生效应。

Description

用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置
技术领域
本实用新型涉及功率器件模块动态特性的测试领域,特别涉及用于IGBT两单元功率器件模块动态特性的测试装置。
背景技术
功率半导体器件器件结电容参数一般包括输入电容、输出电容、反馈电容三项内容,是反应器件结构特性、动态时间参数的重要指标。按照测试条件要求,测试时需要根据参数在器件中的结构特性的不同,连接不同的测试线路,同时,外接旁路电容、旁路电阻等无源器件元件,对器件管脚施加直流电压及高频信号来测试相应的电容参数。现有技术中,测试功率半导体器件结电容的方法一般为:用测试探头或者鳄鱼夹在被测器件和电感电容电阻(LCR)测试仪之间连接电路,采用该方法进行测试时,针对不同的被测结电容参数,需要使用不同的测试电路,不仅测试工作繁琐,而且测试效率低。
另外,测试线路中的寄生电感或电容会耦合到测试结果中,导致测试结果的误差。由于73mm IGBT模块体积大,引脚间距大,测试时很容易因为测试导线过长而被周边杂散电磁波干扰,导致测试结果不准确。
现有的测试方法是在功率器件模块中间三个极处安装相应大小的螺丝,然后使用鳄鱼夹夹住螺丝,用焊线或者绕线的方法向模块不同极引线,然后与开关特性测量仪连接。
现有的测试方法存在的缺点:该方法测试器件开关特性时,每测一个模块都需要换线,不仅操作麻烦,容易出错,测试速度慢、效率低,而且鳄鱼夹在金属接触部分是外露的,外部信号容易对高频测试信号产生干扰,特别是外接长线测试会引入较多的寄生效应,严重影响测试结果;同时操作者如不小心,容易引起短路、触电等事故,导致设备、器件损坏,对人员的安全性也较差。此外,焊接的引脚一般与器件栅极相连,焊接时的高温也容易对栅极造成损坏。
实用新型内容
本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,解决了现有的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置存在的操麻烦,容易出错,测试速度慢、效率低的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,包含测试电路,测试装置还包含:
底座,其由绝缘材料制成;
在所述底座上设有三个底座引脚,即栅极底座引脚、漏极底座引脚以及源极底座引脚,在测试时,所述三个底座引脚分别与功率器件模块上相应的模块引脚接触,所述模块引脚包含了栅极模块引脚、漏极模块引脚以及源极模块引脚。
进一步地,本测试装置还包含:
金属盒体,其内放置有所述底座。
进一步地,在所述底座或金属盒体上还设有电源连接端口和低电压电流连接端口,所述电源连接端口与电源连接点连接,所述低电压电流连接端口与低电压电流连接点连接。
进一步地,所述底座中间设有用来放置所述功率器件模块的凹槽,所述底座引脚设于所述凹槽中。
进一步地,所述底座引脚是弹簧引脚。
进一步地,本测试装置还包含:
用来将功率器件模块压紧和固定在所述底座上的固定装置,其一端包含卡子,以及设置在所述底座上的卡槽;
所述固定装置的另一端与所述底座活动连接。
进一步地,本测试装置还包含:用于选择要进行测试的模块半桥的工位选择开关,其设置在所述底座上或金属盒体上。
进一步地,本测试装置还包含:能够在源极测试、漏极测试和栅极测试三种测试之间进行切换的开关组件,其设置在所述底座上或金属盒体上。
本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,功率器件模块依靠自身的重力、下面弹簧的弹力以及上面盖板的压力使模块上的模块引脚与底版上的引脚接触良好,保证了连接的可靠性,较少使用引线连接,大幅度减小了寄生效应。由于不需要在模块栅极焊线,消除了因为焊接时产生高温而破坏模块栅极的风险。
附图说明
图1是本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置中测试电路的连接示意图;
图2是本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置俯视图;
图3是本实用新型提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置的立体结构示意图;
附图标记:
底座-18,盖板-19,盖板扣-20,盖板槽-21,凹槽-22,镀金弹簧引脚-23,转换接口-24,开关组件-25,工位选择开关-26,合页-27。
具体实施方式
本发明实施例提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,包含的测试电路包含:
如图1所示,第二Ⅱ反馈电容14,两个晶体管单元16具有源极测试点5、漏极测试点3和栅极测试点4。漏极测试点3连接于电源连接点1,栅极测试点4连接于低电压电流连接点2,源极测试点5连接于电阻6的一端,电阻6的另一端连接于低电压电流连接点2,第Ⅰ输入电容9通过短路电容8连接于电源连接点1,第Ⅰ输出电容10和第Ⅰ反馈电容11悬空设置,第Ⅱ输入电容12通过电感15连接于地电压连接点7,第Ⅱ输出电容13连接于低电压电流连接点2,第Ⅱ反馈电容14连接于地电压连接点7。
其中,源极测试点5可以由两个晶体管单元各自的源极相连形成。
其中,漏极测试点3可以由两个晶体管单元各自的漏极相连形成。
其中,栅极测试点4可以由两个晶体管单元各自的栅极相连形成。
本发明实施例提供的用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,包含的金属盒体内,设有底座,如图2和图3示,功率器件放置于底座上;底座上设有电源连接端口、低电压电流连接端口,电源连接点1连接于电源连接端口,低电压电流连接点2连接于低电压电流连接端口;底座上设有开关组件25,开关组件25包含有三个开关触点,源极测试点5、漏极测试3点和栅极测试点4分别与一个开关触点连接;底座上还设有L、L、H和H四个转换接口24,使用BNC同轴电缆连接金属盒体上的转换接口24与测试仪器。
其中,底座18由绝缘材料制成。在底座18上设有三个底座引脚,即栅极底座引脚、漏极底座引脚以及源极底座引脚,底座引脚可以是弹簧引脚,而且是镀金弹簧引脚23。在测试时,三个底座引脚分别与功率器件模块上相应的模块引脚接触,模块引脚包含了栅极模块引脚、漏极模块引脚以及源极模块引脚,从而使模块中的两个晶体管单元的各引脚的固定更牢固。
其中,所述底座18中间设有用来放置所述功率器件模块的凹槽,三个底座引脚设于所述凹槽中。
其中,本测试装置还包含:用来将功率器件模块压紧和固定在所述底座上的固定装置,其包含盖板19和卡接装置,该盖板19的一端与底座18通过活页27连接,另一端包含卡子,即盖板扣20,底座18上对应地设有盖板槽21。功率器件放置于盖板19和盖板扣20之间,从而使功率器件与底座之间的接触更牢固。
其中,本测试装置还包含:用于选择要进行测试的模块半桥的工位选择开关26,其设置在所述底座18上。
其中,开关组件25可以为切换开关,切换开关能够在源极测试点5、漏极测试点3和栅极测试点4的开关触点之间切换,从而,使测试点的切换能够通过开关组件实现,这就节省了更换时间,能够提高测试效率。
本实用新型提供的功率半导体器件结电容测试电路及装置能够适用于包括两个晶体管单元的62mm功率器件。
最后所应说明的是,以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参照实例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (8)

1.用于两单元73毫米功率器件模块电容的测试装置,包含测试电路,其特征在于,所述测试装置还包含:
底座,其由绝缘材料制成;
在所述底座上设有三个底座引脚,即栅极底座引脚、漏极底座引脚以及源极底座引脚,在测试时,所述三个底座引脚分别与功率器件模块上相应的模块引脚接触,所述模块引脚包含了栅极模块引脚、漏极模块引脚以及源极模块引脚。
2.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,本测试装置还包含:
金属盒体,其内放置有所述底座。
3.如权利要求2所述的测试装置,其特征在于,在所述底座或金属盒体上还设有电源连接端口和低电压电流连接端口,所述电源连接端口与电源连接点连接,所述低电压电流连接端口与低电压电流连接点连接。
4.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述底座中间设有用来放置所述功率器件模块的凹槽,所述底座引脚设于所述凹槽中。
5.如权利要求4所述的测试装置,其特征在于,所述底座引脚是弹簧引脚。
6.如权利要求5所述的测试装置,其特征在于,本测试装置还包含:
用来将功率器件模块压紧和固定在所述底座上的固定装置,其一端包含卡子,以及设置在所述底座上的卡槽;
所述固定装置的另一端与所述底座活动连接。
7.如权利要求6所述的测试装置,其特征在于,本测试装置还包含:用于选择要进行测试的模块半桥的工位选择开关,其设置在所述底座上或金属盒体上。
8.如权利要求7所述的测试装置,其特征在于,本测试装置还包含:能够在源极测试、漏极测试和栅极测试三种测试之间进行切换的开关组件,其设置在所述底座上或金属盒体上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108333433A (zh) * 2018-01-08 2018-07-27 杭州长川科技股份有限公司 结电容参数测试电路及其测试方法
CN110456246A (zh) * 2019-06-18 2019-11-15 天津工业大学 一种高频功率半导体器件的测试电路及压接装置

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