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CN204011459U - 一种硅片的轻便洁净周转箱 - Google Patents

一种硅片的轻便洁净周转箱 Download PDF

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Publication number
CN204011459U
CN204011459U CN201420376253.4U CN201420376253U CN204011459U CN 204011459 U CN204011459 U CN 204011459U CN 201420376253 U CN201420376253 U CN 201420376253U CN 204011459 U CN204011459 U CN 204011459U
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CN
China
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silicon chip
casing
shockproof
turnover box
pressure
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Application number
CN201420376253.4U
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English (en)
Inventor
林清华
黄金顺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WUXI YIBIDA SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
WUXI YIBIDA SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY Co Ltd
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

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  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种硅片的轻便洁净周转箱，其特征在于包括箱体、箱门和防震装置；所述箱体安装有单向阀门、过滤器、自动泄气阀、压力表以及压力保护装置和报警器，通过单向阀门和过滤器向箱体内通入洁净的压缩干燥气体，使箱体内部气压大于外部大气压，以防止外部空气进入箱体内，从而避免了外部空气中杂质、颗粒对硅片的污染；所述防震装置包括防震弹性体和防震底座，防震底座上设有固定扣，用于固定硅片，防震底座通过防震弹性体与箱体内底部相连；该实用新型用于硅片的周转，无需预包装，成本低，且使得操作轻便自如。

Description

一种硅片的轻便洁净周转箱
技术领域
本实用新型涉及一种硅片周转箱，特别是涉及一种硅片的轻便洁净周转箱。
背景技术
硅片作为半导体材料，在光伏行业发展中占据至关重要的地位。硅片的生产过程需要经过多道工序，而硅片在工序之间的周转过程中长时间暴露在空气中，将极大地增加其受污染的可能，粘附在硅片表面的小灰尘、毛状物、颗粒等会对后续的工序带来困难。目前，通常先将待周转的硅片拿到指定区域用特定机器进行双层塑料密封包装，然后再用防震推车进行周转；在周转过程中对硅片的双层包装增加了生产工序，浪费时间且增大了生产成本。
如何保证硅片在工序之间进行成本低且轻便洁净的周转，成为了每个硅片生产企业需要解决的问题。现有技术CN201010177255.7公开了减震型硅片工序周转手推车，仍需将待周转的硅片进行双层包装后再周转，未涉及上述问题的解决。CN201220489128.5公开了一种硅片中转储存车，采用水清洗的方法保持硅片在周转过程中的洁净，因需在中转储存车中存储足量的水，增加了储存车的重量，操作不轻便，给周转工作增加了困难。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决硅片在工序之间进行成本低且轻便洁净的周转，提供了一种硅片的轻便洁净周转箱。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片的轻便洁净周转箱，包括箱体和箱门，其特征在于：所述箱门设有密封条以密封箱体，并通过扣门把手固定在箱体上；所述箱体还安装有单向阀门、过滤器、自动泄气阀、压力表以及压力保护装置和报警器，通过单向阀门和过滤器向箱体内通入洁净的压缩干燥气体，使箱体内部气压大于外部大气压。
对本实用新型所做的进一步改进是：所述洁净的压缩干燥气体为压缩干燥空气或N2；所述周转箱还包括防震装置，所述防震装置包括防震弹性体和防震底座，所述防震底座上设有固定扣，用于固定硅片，所述防震底座通过所述防震弹性体与箱体内底部相连；所述箱体的顶部安装有把手，底部安装有定向轮和万向轮。
本实用新型的有益效果：向周转箱体内充入洁净的压缩干燥气体，维持箱体内气压大于外部大气压，使得外部的空气无法进入箱体内，从而保证了放置在箱体内的硅片的洁净周转；因向箱体内通入的是气体，重量轻，使得操作轻便；该实用新型用于硅片在工序之间的周转，无需进行预包装，降低了生产成本；安装在周转箱内的防震装置，避免了在周转过程中因震动而引起硅片的破碎。
附图说明
图1是硅片的轻便洁净周转箱的结构图。
具体实施方式
对照图1对本实用新型作进一步说明：一种硅片的轻便洁净周转箱，包括箱体14、箱门1和防震装置，所述箱门1设有密封条2以密封箱体14，并通过扣门把手13固定在箱体14上；箱体14的顶部安装有把手4，底部安装有定向轮10和万向轮9；所述防震装置包括防震弹性体11和防震底座12，防震底座12上设有固定扣15，用于固定硅片16，防震底座12通过防震弹性体11与箱体内底部相连，安装在周转箱内的防震装置，避免了在周转过程中因震动而引起硅片的破碎；箱体14还安装有单向阀门6、过滤器5、自动泄气阀8、压力表3以及压力保护装置和报警器7。
将待周转的硅片盒直接放进箱体内，无需对其进行双层包装，然后密封箱体，通过单向阀门6和过滤器5向箱体内通入洁净的压缩干燥气体N2，使箱体内部气压大于外部大气压，为了避免因箱体内的气压过大对硅片造成损伤，安装压力表3以及压力保护装置和报警器7，压力过高时自动泄气阀门8打开，使箱体内气压降低至设定值；当箱体内气压大于30psi时，会发出报警，停止通气加压；当箱体内的气压过低不能起到阻止箱体外空气进入箱体内作用时，也会发出报警，报警的下限为17.7psi。箱体内部气压大于外部大气压，阻止了外部的空气进入箱体内，从而保证了放置在箱体内的硅片的轻便洁净周转，当需要取出硅片时，打开扣门把手13取出硅片盒，对硅片进行下一个工艺操作即可。

Claims (4)

1.一种硅片的轻便洁净周转箱，包括箱体和箱门，其特征在于：所述箱门设有密封条以密封箱体，并通过扣门把手固定在箱体上；所述箱体还安装有单向阀门、过滤器、自动泄气阀、压力表以及压力保护装置和报警器，通过单向阀门和过滤器向箱体内通入洁净的压缩干燥气体，使箱体内部气压大于外部大气压。
2.根据权利要求1所述的硅片的轻便洁净周转箱，其特征在于：所述洁净的压缩干燥气体为压缩干燥空气或N2。
3.根据权利要求1或2所述的硅片的轻便洁净周转箱，其特征在于：还包括防震装置，所述防震装置包括防震弹性体和防震底座，所述防震底座上设有固定扣，用于固定硅片，所述防震底座通过所述防震弹性体与箱体内底部相连。
4.根据权利要求1或2所述的硅片的轻便洁净周转箱，其特征在于：所述箱体的顶部安装有把手，底部安装有定向轮和万向轮。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110277331A (zh) * 2018-03-15 2019-09-24 昕芙旎雅有限公司 Efem系统以及efem系统中的气体供给方法

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