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CN1405608A - 制作液晶面板的方法 - Google Patents

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Abstract

一种制作液晶面板的方法，广泛运用于反射式液晶投影(LCOS)面板或液晶显示面板(LCD Panel)的制程中，首先提供一背板，其上包含有复数个呈阵列排列的电极；于该背板上涂布一配向膜；进行一擦印制程，于该配向膜表面形成复数条配向沟漕；于该配向膜表面形成一光阻层；进行一曝光暨显影制程，于该配向膜表面形成复数个光阻间隙填充物以及一边框，且该边框包含有至少一灌液晶口；涂布框胶于该边框以及各该光阻间隙填充物上；进行一压合制程；进行一灌晶制程，使该背板与该透明导电层间之间隙充满液晶；以及进行一封液晶口制程；本发明利用曝光暨显影制程可同时形成复数个光阻间隙填充物以及一光阻边框，可避免光阻间隙填充物发生倾倒或间隙塌陷的问题，进而提升产品的稳定性并降低了生产成本。

Description

制作液晶面板的方法
技术领域
本发明涉及液晶显示器，尤其是一种制作液晶面板(LC Panel)的方法，该方法可同时形成复数个光阻间隙填充物(photoresist spacer，PRspacer)以及一光阻边框(PR side frame)，并可避免光阻间隙填充物发生倾倒。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示(thin film transistor liquid crystaldisplay，TFTLCD)系统大部份都是利用成矩阵状排列的薄膜晶体管，配合适当的电容、转接垫等电子元件来驱动液晶像素，以产生丰富亮丽的图形。传统的液晶显示元件基本上包含有一透明基板(transparent substrate)，其上具有一阵列的薄膜晶体管、像素电极(pixel electrode)、互相垂直交错(orthogonal)的扫瞄线(scan or gate line)以及信号线(data orsigna line)、一滤光板(color filter substrate)、以及介于透明基板以及滤光板之间的液晶材料。由于TFTLCD具有外型轻薄、耗电量少以及无辐射污染等优点，因此被广泛地应用在笔记型电脑(notebook)、个人数字助理(PDA)等携带式资讯产品上，并且已经有取代传统桌上型电脑的CRT监视器的趋势。
请参考图1至图5，图1至图5为习知制作液晶面板(liquid crystalpanel，LC Panel)的方法示意图。如图1所示，背板(backplane)10上包含有复数个呈阵列(array)排列的电极(未显示)。首先于背板10上涂布(coat)一配向膜(alignment layer)12。接着如图2所示，于配向膜12上进行一擦印(rubbing)制程，以于配向膜12表面形成复数条配向沟漕(alignment trench)44。通常背板10为一硅背板(silicon backplane)，而该擦印制程利用一配向棉刷(rubbing cloth)进行于配向膜12表面。
如图3所示，接着将复数个以玻璃制成的球形填充物(spacer ball)16洒于配向膜12表面，使每两球形填充物16相距约200至400微米(micron)。之后以一包含有球形填充物16与框胶的混合物涂布于配向膜12表面的边缘，以形成一环绕于该复数个电极以及复数个球形填充物16的外缘，且包含有至少一灌液晶口(silt)20的边框(side frame)18。
如图4所示，之后对边框18一固化(curing)制程，以增加边框18的硬度。随即涂布框胶(gasket seal)于边框18以及各球形填充物16上，并进行一压合(lamination)制程，以将一由俱备有透光率高与导电性佳的特性的氧化铟锡(indium tin oxide，ITO)所构成的透明导电层22，压合于背板10上。其中，透明导电层22上方另覆盖有一透明玻璃。
如图5所示，接着于进行一灌晶(liquid crystal filling，LCfilling)制程，以使背板10与透明导电层22间之间隙(cell gap)充满液晶后，再进行一封液晶口(end sealing)制程，以封闭灌液晶口20。最后进行一液晶再配向制程，以完成习知的液晶面板制作方法。
然而习知的液晶面板制作方法是利用复数个以玻璃制成的球形填充物16来作为背板10与透明导电层22间之间隙的支撑，但是不同批购入的球形填充物16常在体积与直径上会有些微差距，甚至同批购入的球形填充物16亦会发生此一问题。因此后续将透明导电层22压合于背板10上以及进行该灌晶制程时，若球形填充物16的直径小于边框18的高度，则会发生球形填充物16滑动的情形，或造成背板10与透明导电层22间之间隙发生塌陷的现象。球形填充物16的滑动将造成配向膜12表面的刮伤，而间隙塌陷则会造成灌入的液晶的厚度不均，此二者皆会导致液晶面板的光电均匀性，严重影响产品功能。
发明内容
因此本发明的主要目的在于提供一种制作液晶面板(liquid crystalpanel，LC Panel)的方法，以解决上述习知制作方法所造成配向膜表面刮伤与间隙塌陷的问题。
在本发明的最佳实施例中，背板(backplane)上包含有复数个呈阵列(array)排列的电极(electrode)。首先，于该背板上涂布(coat)一配向膜(alignment layer)，随后进行一擦印(rubbing)制程，以于该配向膜表面形成复数条配向沟漕(alignment trench)。接着于该配向膜表面形成一光阻(photoresist)层，并进行一曝光暨显影制程，以于该配向膜表面形成复数个光阻间隙填充物(photoresists pacer，PR spacer)，以及一包含有至少一灌液晶口(silt)的边框(side frame)。之后进行一固化(curing)制程，以增加该光阻间隙填充物与该边框的硬度，并随即涂布框胶(gasketseal)于该边框以及各该光阻间隙填充物上。接着进行一压合(lamination)制程，以将一透明导电层压合于该背板上。之后进行一灌晶(liquid crystalfilling，LC filling)制程，以使该背板与该透明导电层间之间隙(cell gap)充满液晶。最后进行一封液晶口(end sealling)制程，以封闭该灌液晶口，并随后进行一液晶再配向制程，以完成本发明的制作方法。
由于本发明的制作方法可广泛运用于反射式液晶投影(liquidcrystal on silicon，LCOS)面板或液晶显示面板(liquid crystal displaypanel，LCD Panel)的制程中，可达到制程整合以降低成本的效果。此外，本发明的制作方法利用进行该曝光暨显影制程，以同时于该配向膜表面形成高度相同，且与该配向膜附着良好的该边框与该复数个光阻间隙填充物，因此后续将该透明导电层压合于该背板上以及进行该灌晶制程时，可避免发生光阻间隙填充物滑动而造成该配向膜表面刮伤，抑或间隙塌陷的问题。因此灌入的液晶的厚度得以一致，而确保液晶面板的光电均匀性符合标准，进而提升产品的稳定性。
附图说明
图1至图5为习知制作液晶面板的方法示意图；
图6至图10为本发明制作液晶面板的方法示意图。
图示的符号说明
10  背板             12配向膜
14  配向沟漕         16间隙填充球
18  边框             20灌液晶口
22  透明导电层       40背板
42  配向膜           44配向沟漕
46  光阻间隙填充物   48边框
50  灌液晶口         52透明导电层
具体实施方式
请参考图6至图10，图6至图10为本发明制作液晶面板(liquidcrystal panel，LC Panel)的方法示意图。如图6所示，背板(backplane)40上包含有复数个呈阵列(array)排列的电极(未显示)。首先于背板40上涂布(coat)一配向膜(alignment layer)42。接着如图7所示，于配向膜42上进行一擦印(rubbing)制程，以于配向膜42表面形成复数条配向沟漕(alignment trench)44。通常背板40为一硅背板(silicon backplane)，而该擦印制程利用一配向棉刷(rubbing cloth)进行于配向膜42表面。
如图8所示，接着于配向膜42表面形成一由一高透光率的光阻所构成，并与配向膜42附着良好的的光阻(photoresist)层。随后对该光阻层进行一曝光暨显影(lithography)制程，以于配向膜42表面同时形成复数个光阻间隙填充物(photoresist spacer，PR spacer)46以及一包含有至少一灌液晶口(silt)50的边框(side frame)48。其中，光阻间隙填充物46与边框48具有相同的高度，而每两光阻间隙填充物46相距约200至400微米(micron)(视产品的不同需求而有所调整)，且边框48可为一不连续的框架(discontinuous frame)，环绕于该复数个电极以及复数个光阻间隙填充物46的外缘。
如图9所示，之后对边框48以及各光阻间隙填充物46进行一固化(Curing)制程，以增加光阻间隙填充物46与边框48的硬度，避免光阻间隙填充物46或边框48发生倾倒。随即涂布框胶(gasket seal)于边框48以及各光阻间隙填充物46上，并进行一压合(lamination)制程，以将一由俱备有透光率高与导电性佳的特性的氧化铟锡(indium tin oxide，ITO)所构成的透明导电层52以及一透明玻璃(未显示)，压合于背板40上。其中，未贴附于该透明玻璃的透明导电层52表面亦可形成有一具有复数条配向沟漕的配向膜。
如图10所示，接着于进行一灌晶(liquid crystal filling，LCfilling)制程，以使背板40与透明导电层52间之间隙(cell gap)充满液晶后，再进行一封液晶口(end sealing)制程，以封闭各灌液晶口50。最后进行一液晶再配向制程，以完成本发明的制作方法。
相较于习知技术，本发明利用进行该曝光暨显影制程，以同时于配向膜42表面形成高度相同，且与配向膜42附着良好的边框48与复数个光阻间隙填充物46，因此后续将透明导电层52压合于背板40上以及进行该灌晶制程时，可避免发生光阻间隙填充物滑动而造成配向膜42表面刮伤，抑或背板40与透明导电层52间之间隙塌陷的问题。因此灌入的液晶的厚度得以一致，而确保液晶面板的光电均匀性符合标准，进而提升产品的稳定性。此外，本发明的制作方法可广泛运用于反射式液晶投影(liquidcrystal on silicon，LCOS)面板或液晶显示面板(liquid crystal displaypanel，LCD Panel)的制程中，以达到制程整合以及降低成本的目的。
以上所述仅本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。

Claims (20)

1.一种制作液晶面板的方法，其特征是：该方法包含有下列步骤：
提供一背板，且该背板上包含有复数个呈阵列排列的电极；
于该背板上涂布一配向膜；
进行一擦印制程，以于该配向膜表面形成复数条配向沟漕；
于该配向膜表面形成一光阻层；
进行一曝光暨显影制程，以于该配向膜表面形成复数个光阻间隙填充物以及一边框，且该边框包含有至少一灌液晶口；
涂布框胶于该边框以及各该光阻间隙填充物上；
进行一压合制程，以将一透明导电层压合于该背板上；
进行一灌晶制程，以使该背板与该透明导电层间之间隙充满液晶；以及
进行一封液晶口制程，以封闭该灌液晶口。
2.如权利要求1所述的方法，其特征是：该擦印制程利用一配向棉刷进行于该配向膜表面。
3.如权利要求1所述的方法，其特征是：该背板为一硅背板。
4.如权利要求1所述的方法，其特征是：该光阻层由一高透光率的光阻所构成。
5.如权利要求1所述的方法，其特征是：该光阻间隙填充物与该边框具有相同的高度。
6.如权利要求1所述的方法，其特征是：该边框环绕于该等电极以及该等光阻间隙填充物的外缘，且该边框为一不连续的框架。
7.如权利要求1所述的方法，其特征是：另包含有一固化制程，进行于该压合制程之前，以增加该光阻间隙填充物与该边框的硬度。
8.如权利要求1所述的方法，其特征是：该透明导电层包含有氧化铟锡。
9.如权利要求1所述的方法，其特征是：另包含有一液晶再配向制程，进行于该封液晶口制程之后。
10.如权利要求1所述的方法，其特征是：该液晶面板为一反射式液晶投影面板。
11.如权利要求1所述的方法，其特征是：该液晶面板为一液晶显示面板。
12.一种避免光阻间隙填充物发生倾倒的液晶面板的制作方法，其特征是：该制作方法包含有下列步骤：
提供一背板，且该背板上包含有复数个呈阵列排列的电极；
于该背板上涂布一配向膜；
进行一擦印制程，以于该配向膜表面形成复数条配向沟漕；
于该配向膜表面形成一高透光率的光阻层；
进行一曝光暨显影制程，以于该配向膜表面形成复数个光阻间隙填充物以及一边框，且该边框包含有至少一灌液晶口；
涂布框胶于该边框以及各该光阻间隙填充物上；
进行一压合制程，以将一透明导电层压合于该硅背板上；
进行该灌晶制程，以使该背板与该透明导电层间之间隙充满液晶；以及
进行一封液晶口制程，以封闭该灌液晶口；
其中各该光阻间隙填充物形成于该擦印制程之后，以避免各该光阻间隙填充物于该擦印制程中发生倾倒的现象。
13.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：该擦印制程利用一配向棉刷进行于该配向膜表面。
14.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：该背板为一硅背板。
15.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：该光阻间隙填充物与该边框具有相同的高度。
16.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：该边框环绕于该等电极以及该等光阻间隙填充物的外缘，且该边框为一不连续的框架。
17.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：另包含有一固化制程，进行于该压合制程之前，以增加该光阻间隙填充物与该边框的硬度。
18.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：该透明导电层包含有氧化铟锡。
19.如权利要求12所述的制作方法，其特征是：另包含有一液晶再配向制程，进行于该封液晶口制程之后。
20.如权利要求12所述的方法，其特征是：该液晶面板包含有一反射式液晶投影面板或一液晶显示面板。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101060016B (zh) * 2007-05-17 2010-06-02 友达光电股份有限公司 显示装置、其使用的显示面板框体及其制造方法
CN101470304B (zh) * 2007-12-28 2011-03-02 财团法人工业技术研究院 可挠性基材的贴合工艺及其使用的框胶图形
CN1560686B (zh) * 2004-02-24 2011-10-26 友达光电股份有限公司 液晶显示面板
CN103994740A (zh) * 2014-04-22 2014-08-20 京东方科技集团股份有限公司 膜厚测量装置和膜厚测量方法
CN104238198A (zh) * 2014-08-21 2014-12-24 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及其制作方法
WO2015021622A1 (zh) * 2013-08-12 2015-02-19 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板支撑装置以及液晶面板加工工艺
CN108681157A (zh) * 2018-05-17 2018-10-19 东南大学 一种针对LCoS液晶屏的屏外光取向方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI286231B (en) * 2002-01-24 2007-09-01 Chi Mei Optoelectronics Corp Method of fabricating liquid crystal on silicon display panel
US20050275788A1 (en) * 2004-06-14 2005-12-15 Arima Computer Corporation Method for fabricating an LC panel
CN100367098C (zh) * 2006-04-04 2008-02-06 友达光电股份有限公司 液晶显示面板及其制作方法
TW200837463A (en) * 2007-03-05 2008-09-16 Innolux Display Corp LCD with hybrid photoresist spacer and method of fabricating the same
CN102402038A (zh) * 2011-11-29 2012-04-04 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示模组的制造方法及液晶显示模组
US8724050B2 (en) 2011-11-29 2014-05-13 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. LCD module manufacturing method and LCD module
CN102861370B (zh) * 2012-09-12 2013-10-30 明基三丰医疗器材（上海）有限公司 挠性加热装置
CA2907154A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Sanofi Pasteur, Inc. Toxoids, compositions and related methods
BR112017024443A2 (pt) 2015-05-15 2018-10-23 Sanofi Pasteur Inc métodos para imunização contra clostridium difficile

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5396351A (en) * 1991-12-20 1995-03-07 Apple Computer, Inc. Polarizing fiber-optic faceplate of stacked adhered glass elements in a liquid crystal display
US5519520A (en) * 1992-02-24 1996-05-21 Photonics Systems, Inc. AC plasma address liquid crystal display
KR100268567B1 (ko) * 1994-10-11 2000-10-16 포만 제프리 엘 다중 파장으로 광을 발생시키기 위한 발광 다이오드의 모놀리식 어레이 및 이를 사용한 멀티 컬러 디스플레이
US5723945A (en) * 1996-04-09 1998-03-03 Electro Plasma, Inc. Flat-panel display
GB9721716D0 (en) * 1997-10-15 1997-12-10 Philips Electronics Nv Channel plates and flat display devices incorporating such
JP3031317B2 (ja) * 1997-11-20 2000-04-10 日本電気株式会社 アクティブマトリクス液晶表示装置
DE69935882T2 (de) * 1998-05-12 2007-09-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma Herstellungsverfahren einer Plasmaentladungs-Anzeigeplatte
US6160348A (en) * 1998-05-18 2000-12-12 Hyundai Electronics America, Inc. DC plasma display panel and methods for making same

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1560686B (zh) * 2004-02-24 2011-10-26 友达光电股份有限公司 液晶显示面板
CN101060016B (zh) * 2007-05-17 2010-06-02 友达光电股份有限公司 显示装置、其使用的显示面板框体及其制造方法
CN101470304B (zh) * 2007-12-28 2011-03-02 财团法人工业技术研究院 可挠性基材的贴合工艺及其使用的框胶图形
WO2015021622A1 (zh) * 2013-08-12 2015-02-19 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板支撑装置以及液晶面板加工工艺
CN103994740A (zh) * 2014-04-22 2014-08-20 京东方科技集团股份有限公司 膜厚测量装置和膜厚测量方法
CN103994740B (zh) * 2014-04-22 2016-08-24 京东方科技集团股份有限公司 膜厚测量装置和膜厚测量方法
CN104238198A (zh) * 2014-08-21 2014-12-24 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及其制作方法
CN108681157A (zh) * 2018-05-17 2018-10-19 东南大学 一种针对LCoS液晶屏的屏外光取向方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20030054722A1 (en) 2003-03-20
CN1203354C (zh) 2005-05-25
US6669520B2 (en) 2003-12-30

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