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CN1313865C - 液晶驱动基板的检查方法和装置 - Google Patents

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CN1313865C CNB028015282A CN02801528A CN1313865C CN 1313865 C CN1313865 C CN 1313865C CN B028015282 A CNB028015282 A CN B028015282A CN 02801528 A CN02801528 A CN 02801528A CN 1313865 C CN1313865 C CN 1313865C
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Abstract

本发明的目的在于，提供一种可以提高液晶驱动基板的检查精度从而能更精确地判定缺陷类别且不降低生产率的液晶驱动基板的检查方法和装置，为达到上述目的，本发明提供一种液晶驱动基板的检查装置，将电光元件板与按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板相对配置，根据将规定电压写入象素电极而得到电光元件板的电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，该液晶驱动基板的检查装置，备有图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素。

Description

液晶驱动基板的检查方法和装置
技术领域
本发明涉及对液晶显示板内在平面上密封的液晶进行电场驱动的液晶驱动基板的检查方法和装置。
背景技术
如所周知，液晶显示板，将密封了液晶的玻璃板(液晶板)与对液晶施加电场的液晶驱动基板相对配置。该液晶显示板，通过控制施加于液晶驱动基板的象素电极的数据电压而调节施加于液晶的电场，并通过该电场调节控制液晶的透光率从而显示图象。
这种液晶显示板用的液晶驱动基板的结构为，在玻璃基板上设有按矩阵状配置的多个象素电极，并通过数据线对该多个象素电极供给数据电压，同时在该数据线与象素电极之间设置TFT等开关元件并由通过栅极线供给的栅极电压控制该TFT元件。即，构成为由通过数据线供给TFT的数据电压及通过栅极线供给TFT的栅极电压控制数据电压对象素电极的写入。通过将按这种方式构成的液晶驱动基板与液晶板靠近地相对配置，实际上可以使施加于象素电极并由其保持的电压(象素电压)产生的电场作用于液晶，从而在液晶板的表面上显示图象。
例如，作为对这种液晶驱动基板的动作进行检查的检查装置，有特开平5-256794号公报中记述的一种采用电光元件板(称作调制器)的装置。该检查装置，与作为检查对象的液晶驱动基板相对配置，当对液晶驱动基板的各象素电极施加了规定的数据电压时，用CCD摄像机等摄像装置对随着对象素电极的电压施加状态而不同的调制器的图象(电压影像)进行摄像，并根据该电压影像和预先确认的调制器的电光特性计算各象素电极的电压(象素电压)，从而根据是否对各象素电极正常地施加着数据电压、即根据未能正常施加数据电压的缺陷象素电极的分布情况判定液晶驱动基板是否合格。
在这种采用了调制器的现有的检查装置中，当从电压影像计算象素电压时，通过将该象素电压与规定的阈值进行比较而得到二值数据，并判别正常象素和缺陷象素。在这种情况下，现有检查装置的阈值，只设定唯一1个阈值而进行缺陷象素的判定，所以存在着如下的问题。
图14是用于说明该存在问题的表示象素电压和阈值的关系的特性图。在该图中，横轴表示象素的位置、即象素的排列方向的位置，纵轴表示该排列方向的各象素的象素电压。这里，当对象素写入数据电压的机构中有任何故障时，各象素的象素电压，为与该故障的类别对应的象素电压，或具有图中所示的象素电压变化图形。
例如，作为缺陷象素的类别(缺陷类别)，有①断路线缺陷、②点缺陷、③短路线缺陷等。断路线缺陷，是因上述数据线或栅极线在任何部位断线而发生的，是不能将数据电压正常地写入连续的多个象素电极的缺陷。这种断路线缺陷的象素电极的象素电压(断路线缺陷部)，如图所示，在多个象素范围上连续地为比正常象素的象素电压低很多的值。
点缺陷，是不能将数据电压正常地写入单独的象素电极的一种状态，是因某个象素电极的绝缘不良或该象素电极所设有的TFT的动作不良等而发生的。这种点缺陷的象素电极的象素电压(点缺陷部)，如图所示，只在1个象素范围内为比正常象素的象素电压低的值。一般为比上述断路线缺陷部高一些的值。
另外，短路线缺陷，是因上述数据线或栅极线在任何部位短路而发生的，是不能将数据电压正常地写入连续的多个象素电极的缺陷。这种短路线缺陷的象素电极的象素电压(短路线缺陷部)，如图所示，在多个象素范围上连续地为与正常象素的象素电压没有极大差别的值。
如上所述，从调制器的电压影像得到的象素电压，根据缺陷类别的不同而具有各种各样的值，每种缺陷类别具有多大的值，通过对液晶驱动基板的检查而统计求得。此外，对于正常象素，由于各种原因使象素电压有一定范围的变化，该象素电压，如图所示，有时为与短路线缺陷部近似的电压值(正常点)。
在现有的检查装置中，对上述象素电压只设定了1个阈值而进行缺陷象素和正常象素的判别。该阈值，在液晶驱动基板的每个实际制造工序中根据将检查基准设定为何种程度决定。如图所示，例如当设定了阈值1时，就会将正常点判定为缺陷象素。当为避免这种情况而设定了阈值2时，结果是不能检查出短路线缺陷部。因此，当像现有技术那样设定1个阈值而判别缺陷象素和正常象素时，既不能对各缺陷类别进行精确的分类，又会使缺陷象素判定本身的精度恶化。
另一方面，在这种检查装置中，生产率的提高是极其重要的性能要素。迄今为止通过检查算法的设计开发等已缩短了检查1个液晶驱动基板所需的时间、即提高了生产率。因此，当解决上述问题时，必需注意这一点。通过解决上述问题可以提高检查装置的检查精度，但同时必需注意不能使生产率降低。
发明内容
本发明，是为解决上述问题而开发的，其目的在于，
(1)提高液晶驱动基板的检查精度。
(2)更精确地判定缺陷类别。
(3)提高液晶驱动基板的检查精度而不降低生产率。
为达到上述目的，在本发明中，提供一种液晶驱动基板的检查方法，将电光元件板与按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板相对配置，根据将规定电压写入象素电极而得到电光元件板的电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，该液晶驱动基板的检查方法，由图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素。
另外，作为第2方法，提供一种液晶驱动基板的检查方法，将尺寸比按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板小的电光元件板与该液晶驱动基板相对配置，并在将规定电压写入象素电极的状态下按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像，根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，该液晶驱动基板的检查方法，由图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述各小区域之间的移动过程中进行上述分类处理。
作为第3方法，提供一种液晶驱动基板的检查方法，将电光元件板与形成有多个按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板的玻璃基板相对配置，并在将规定电压写入各象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板，从而取得与所有液晶驱动基板有关的电光元件板的电压影像，根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，该液晶驱动基板的检查方法，由图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行该判定处理。
作为第4方法，提供一种液晶驱动基板的检查方法，将尺寸比按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板小的电光元件板与形成有多个该液晶驱动基板的玻璃基板相对配置，并在将规定电压写入象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板、且按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得所有液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像，根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，该液晶驱动基板的检查方法，由图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别缺陷候选的象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述每个小区域之间的移动过程中进行上述分类处理，并在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行上述判定处理。
作为第5方法，在上述第1～第4液晶驱动基板的检查方法中。上述图象处理装置，在按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值中，从远离正常象素的象素电压的阈值起依次与象素电压进行比较，并在与某个阈值的比较中判定为缺陷候选对象的时刻将与随后的阈值的比较省略。
另外，本发明提供一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板；与该液晶基板相对配置的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；根据将规定电压写入象素电极而得到电光元件板的电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：所述图象处理装置，通过将上述象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素。
另一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板；与该液晶基板相对配置的、比该液晶驱动基板尺寸小的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；在将规定电压写入象素电极的状态下按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像的驱动装置；根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：所述图象处理装置，通过将上述象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述各小区域之间的移动过程中进行上述分类处理。
另一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板形成多个的玻璃基板；与该玻璃基板相对配置的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；在将规定电压写入各象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板，从而取得与所有液晶驱动基板有关的电光元件板的电压影像，的驱动装置；根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：所述图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行该判定处理。
另一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板形成多个的玻璃基板；与该玻璃基板相对配置的、比该液晶驱动基板尺寸小的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；在将规定电压写入象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板、且按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得所有液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像的驱动装置；根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：所述图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述每个小区域之间的移动过程中进行上述分类处理，并在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行上述判定处理。
附图说明
图1是表示本发明一实施形态的作为检查对象的液晶驱动基板的外观形态的平面图。
图2是表示本发明一实施形态的作为检查对象的液晶驱动基板的结构的平面图。
图3是表示本发明一实施形态的液晶驱动基板的检查装置的功能结构的框图。
图4是表示本发明一实施形态的液晶驱动基板的整体检查步骤的流程图。
图5是表示本发明一实施形态的液晶驱动基板的整体检查步骤中的区位处理的详细流程图。
图6是用于说明本发明一实施形态中区位处理的象素电极的象素电压计算方法的示意图。
图7是表示本发明一实施形态的每种缺陷类别的象素电压及每种缺陷类别的缺陷候选用阈值的说明图。
图8是表示本发明一实施形态中区位处理的缺陷类别分类处理结果的一例的表。
图9是表示本发明一实施形态中区位处理的缺陷类别分类结果对检查信息用数据库的登录状态的表。
图10是详细地表示本发明一实施形态的整板处理的流程图。
图11是以二维阵列状表示本发明一实施形态中整板处理的缺陷象素抽出结果的一例的示意图。
图12是用于说明本发明一实施形态中整板处理的缺陷象素的电压梯度计算方法的说明图。
图13是表示本发明一实施形态中判定为线缺陷及群缺陷的缺陷象素的一例的示意图。
图14是用于说明现有技术的缺陷象素判定方法的说明图。
发明的具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的液晶驱动基板的检查装置的一实施形态。
首先，如图1所示，在本实施形态中作为检查对象的液晶驱动基板A，是在1块玻璃基板B上形成多个(例如，A1～A4的4个)的状态，在后面的工序中分割为单个的基板。当对这种分割前的液晶驱动基板A进行检查时，如下所述，将玻璃基板B放置在X-Y工作台等移动装置上，并通过操作该移动装置而将每个液晶驱动基板A与调制器相对配置。
图2是表示上述液晶驱动基板A的结构例的平面图。该液晶驱动基板A，是使用TFT(薄膜晶体管)的有源阵列方式的。在该图中，在玻璃基板a1的表面上，相隔一定的间隔按矩阵状形成着许多象素电极a2和TFTa3。即，在由该液晶驱动基板A显示的图象的水平方向和垂直方向上相隔一定的间隔按矩阵状配置象素电极a2和TFTa3。
在这些象素电极a2及TFTa3之间，布设多条彼此平行的栅极配线a4，并以与这些栅极配线a4正交的方式布设着数据配线a5。各TFTa3，源极端子与数据配线a5连接，漏极端子与象素电极a2连接，而栅极端子连接着栅极配线a4。各TFTa3，通过从栅极配线a4对各栅极端子施加规定电压而变为导通状态，这时将通过各数据配线a5施加于源极端子的数据电压供给各象素电极a2。
另外，在液晶驱动基板A中，为保护各TFTa3免受静电等的影响，将栅极配线a4分别与短路棒a6连接，并将数据配线a5分别与短路棒a7连接。在后面的工序中，再将各栅极配线a4及数据配线a5与短路棒a6、a7分离，并与液晶显示板的驱动电路连接。
图3是表示本实施形态的检查装置的结构图。在该图中，符号1是电光元件板(调制器)，由内部封入了液晶的液晶板1a、薄膜透明电极1b及电介质反射膜1c构成。该调制器1，例如，构成为在正方形(40mm×40mm)的液晶板1a的一个面上粘贴薄膜透明电极1b、且在另一个面上蒸镀或粘贴电介质反射膜1c。
该调制器1，固定在图中未示出的检查装置本体上，使其表面呈水平状态并使电介质反射膜1c朝向下方，在其下方，隔着微小的间隙Δd(10μm～数10μm)相对地配置着上述的液晶驱动基板A。在本实施形态的情况下，上述液晶驱动基板A的尺寸，大于上述调制器1的尺寸。
符号2是X-Y工作台，由驱动装置11使其在X-Y平面即水平面内进行二维移动。在该X-Y工作台2上，隔着图中未示出的Z工作台放置玻璃基板B，并可以使玻璃基板B在水平面内移动。Z工作台，是为调节玻璃基板B即液晶驱动基板A与调制器1的距离而设的。
在本实施形态的情况下，如上所述，液晶驱动基板A的尺寸大于调制器1的尺寸，所以不能使液晶驱动基板A上的所有象素电极a2与调制器1相对。因此，将液晶驱动基板A划分为与调制器1的尺寸相当的小区域部分(区位)，并依次移动X-Y工作台2以使该区位依次与调制器1相对。符号3是光束分离器，4是光源。光束分离器3，以相对状态配置在调制器1的上方，对从配置在其侧面的光源4照射的光进行反射而使其照射在调制器1的整个表面上。此外，该光束分离器3，还具有使来自调制器1的反射光向上方透射的作用。这里，光源4，例如采用LED(Light-Emitting Diode：发光二极管)等发射高亮度光的器件，并由图中未示出的控制装置将其发射的光控制成频闪状。
符号5是滤光器(光学滤波器)，设置在上述光束分离器3的上方，仅使透过该光束分离器3的调制器1的反射光中的特定波长范围的光透射到透镜6。透镜6是凸透镜，将透过滤光器5的光聚光后导向CCD摄像机7。
CCD摄像机7，根据从透镜6入射的光对上述调制器1的表面的图象进行摄像。该CCD摄像机7，例如具有摄像时的帧频为30Hz(周期：33.3ms)、空间分辨率为2.8CCD/100μm、象素数为1024k的性能，将调制器1的电压影像作为数字视频信号输出到图象处理装置8。此外，上述液晶驱动基板A的象素电极a2的间距，例如为100μm左右，因而上述CCD摄像机7的分辨率对象素电极a2的间距具有足够的性能。
图象处理装置8，通过对从CCD摄像机7输入的数字视频信号进行规定的图象处理，从上述电压影像图象检测液晶驱动基板A的缺陷部分(不能正常写入数据电压的或不能正常保持所写入的数据电压的象素电极a2)，并输出其检测结果。例如，图象处理装置8，将缺陷象素和正常象素以不同颜色显示在监视器9上，或将用于以数值表示缺陷部分的个数的视频信号输出到监视器9。关于该图象处理装置8的处理，将在后文中详细说明。
符号10是电源装置，用于对调制器1的薄膜透明电极1b施加偏置电压EB，并对液晶驱动基板A施加数据电压ED。偏置电压EB，是频率为上述CCD摄像机7的帧频30Hz(周期：33.3ms)的1/2即15Hz(周期：66.6ms)的±230VP-P的双极性方波。
另一方面，数据电压ED，当施加于上述TFT的源极端子而使该TFT变为导通状态时施加于象素电极a2，并以与上述偏置电压EB同步的方式按方形波状仅从规定电压Ea改变±Δe。此外，图中虽未示出，但控制TFT的导通/截止状态的栅极电压也从电源装置10供给液晶驱动基板A。
该电源装置10、上述光源4、驱动装置11、图象处理装置8，分别由控制装置12进行控制。控制装置12，根据控制程序及从图中未示出的操作装置(键盘等)输入的操作信息控制上述各装置。
以下，详细说明按如上方式构成的液晶驱动基板的检查装置的动作。此外，在以下的说明中，说明上述区位的个数(区位数)为9个的情况。
开始时，按图4的流程图对由控制装置12执行的整体检查处理进行说明。通过该检查处理完成在1块玻璃基板B上形成的4个液晶驱动基板A(即A1～A4)的检查。
首先，控制装置12，当将玻璃基板B放置在X-Y工作台2上并从操作装置指示开始检查时，对控制变量i、j及控制常数m、n进行初始设定(步骤S1)。在本实施形态的情况下，在玻璃基板B上形成着4个液晶驱动基板A1～A4，所以板数为「4」，由于将1个液晶驱动基板划分为9个区位，所以区位数为「9」。
因此，在该初始设定处理中，将表示检查中的区位号的控制变量i设定为1，将表示检查中的板号的控制变量j设定为1，将表示区位数的控制常数m设定为9，将表示板数的控制常数n设定为4。其结果是，将板号为「1」的液晶驱动基板A(例如液晶驱动基板A1)设定为检查对象，并将液晶驱动基板A1中的区位号为「1」的区位设定为电压影像的取得对象。
这里，板号与玻璃基板B上的液晶驱动基板A的位置关系及各区位的区位号与该液晶驱动基板A上的位置关系，作为检查用基础数据存储并保存在控制装置12内。即，控制装置12，当指定上述板号和区位号时，根据该检查用基础数据控制驱动装置11，并驱动X-Y工作台2，以便将液晶驱动基板A1的和区位号「1」相当的部分移动到与调制器1相对的位置(步骤S2)。
另外，该状态是检查开始的初始阶段，由于尚未取得任何区位的电压影像，所以控制装置12不执行步骤S3的区位处理，而是接着执行电压影像的取得处理(步骤S4)。
即，控制装置12，判断控制变量i是否等于(m+1)即10。由于现在是检查开始的初始阶段，在步骤S1中设定为「i＝1」，所以这里判断为「否」，因而在步骤S5中执行电压影像的取得处理。
在该电压影像的取得处理中，控制装置12，通过驱动电源装置10，对调制器1施加偏置电压EB，并在将规定的数据电压ED写入液晶驱动基板A1的各象素电极a2的状态下使光源4发出频闪状的光，从而由CCD摄像机7在多帧范围上对液晶驱动基板A1的与区位号「1」相当的部分所对应的调制器1的电压影像进行摄影。
该多帧的电压影像，作为数字视频信号传送到图象处理装置8。图象处理装置8，将该多帧的电压影像相加后生成供计算象素电压之用的被检图象，并将该被检图象存储在CCD摄像机7的每个象素内。
当按如上方式由图象处理装置8取得电压影像时，将控制变量i增1(步骤S6)，然后反复进行上述步骤S2的处理。即，控制装置12，通过将控制变量i增1而设定为「2」，控制驱动装置11，并驱动X-Y工作台2，以便将液晶驱动基板A1的与区位号「2」相当的部分移动到与调制器1相对的位置。
然后，在使该液晶驱动基板A1从与区位号「1」相当的部分移动到与区位号「2」相当的部分的过程中，由图象处理装置8对在上述步骤S5中取得了电压影像的与区位号「1」相当的部分执行区位处理(步骤S3)。该区位处理，就是从上述被检图象中抽出各类别的缺陷象素的处理，其详细内容将在后文中说明。
接着，当完成了与区位号「1」相当的部分的区位处理并结束了使液晶驱动基板A1向与区位号「2」相当的部分的移动时，判断控制变量i是否等于「10」(步骤S4)，并取得与区位号「2」相当的部分的电压影像(步骤S5)，然后在步骤S6中将控制变量i增1，并反复进行步骤S2的处理。
即，通过反复进行步骤S2～S6的循环处理，使液晶驱动基板A1取得与区位号「1」到区位号「9」相当的部分的电压影像(步骤S5)，并对这些与区位号「1」到区位号「9」相当的部分执行区位处理。然后，当在步骤S6中将控制变量i设定为「10」并结束与区位号「9」相当的部分的区位处理时(步骤S3)，步骤S4的判断为「是」，从而完成液晶驱动基板A1的所有区位的电压影像的取得处理和区位处理。
当按如上方式完成液晶驱动基板A1的所有区位的区位处理时，将控制变量i设定为「1」，同时将控制变量j增1而设定为「2」(步骤S7)。因此，控制装置12，通过驱动Z工作台而使玻璃基板B为与调制器1离开一定距离的状态，并根据上述检查用基础数据驱动X-Y工作台2，以便将液晶驱动基板A2移动到与调制器1相对的位置(步骤S8)。
然后，在从该液晶驱动基板A1向液晶驱动基板A2移动的过程中，执行整板处理(步骤S9)。当该整板处理结束时，在步骤S10中判断控制变量j是否等于(n+1)即「5」。这里，由于在上述步骤S7中设定为「j＝2」，该判断为「否」，对液晶驱动基板A2也反复进行步骤S2～S6的循环处理。此外，该整板处理，是根据区位处理中的结果按每种缺陷类型判定液晶驱动基板A1的缺陷象素的处理，其详细内容将在后文中说明。
即，控制装置12，当步骤S10的判断为「是」之前、即按A1→A2→A3→A4的顺序结束玻璃基板B上的所有液晶驱动基板A1～A4的整板处理(步骤S9)之前通过反复进行步骤S2～S10的循环处理而完成了所有液晶驱动基板A1～A4的缺陷判定时，将其结果作为该玻璃基板B的检查结果输出到监视器9(步骤S11)。
例如，在监视器9上，作为检查结果按每种缺陷类别显示缺陷象素的个数或分布。监督该检查的作业员，根据该监视器9上显示出的检查结果将该玻璃基板B认定为不合格品或合格品。
以下，按图5所示的流程图对上述区位处理(步骤S3)进行详细说明。该区位处理，是由图象处理装置8执行的处理。
在该区位处理中，首先，将由CCD摄像机7摄影的各区位的电压影像变换为液晶驱动基板A的各象素电极a2的象素电压(步骤S31)。具体地说，按照上述电压影像的取得处理(步骤S5)，通过将对每1个区位摄影后的多帧电压影像相加而得到被检图象，并将表示该被检图象的亮度的图象数据按CCD摄像机7的每个CCD象素存储在图象处理装置8内。通过对该被检图象的图象数据进行规定的运算处理，可以按如下方式计算各象素电极a2的象素电压。
即，由于象素电极a2的尺寸大于CCD摄像机7的CCD象素的尺寸，所以1个象素电极a2将与多个CCD象素相对。例如，在图6的情况下，CCD象素C5、C8，全部与象素电极a 2相对，而CCD象素C1～C4、C6、C7、C9～C12为一部分与象素电极a2相对的状态。在这种状态下，根据象素电极a2的中心坐标(xa、ya)、各CCD象素C1～C12的中心坐标(x1、y1)、(x2、y2)......(x12、y12)及各CCD象素C1～C12的图象数据v1～v12按下式(1)计算二维的加权平均值，并将该加权平均值V(xa、ya)作为中心坐标(xa、ya)的象素电极a2的象素电压。
V(xa、ya)＝(k1·v1+k2·v2+k3·v3
           +k4·v4+k5·v5+k6·v6
           +k7·v7+k8·v8+k9·v9
           +k10·v10+k11·v11
           +k12·v12)/12                                 (1)
式中，上述k1～k12，是取与相对面积成比例的值(全部相对时为1.0)的系数，在这种情况下，k1＝0.25、k2＝0.5、k3＝0.25、k4＝0.5、k5＝1.0、k6＝0.5、k7＝0.5、k8＝1.0、k 9＝0.5、k10＝0.25、k11＝0.5、k12＝0.25。
这种计算象素电极a2的象素电压的处理，由设在图象处理装置8内的图象处理电路以硬件的形式高速执行，并对各区位所包含的所有象素电极a2进行计算。CCD象素的尺寸、象素电极a2的尺寸、象素电极a2的中心坐标、各CCD象素的中心坐标等，作为基础数据预先存储在图象处理装置8内，通过将这种基础数据和各CCD象素的图象数据输入到图象处理电路，依次计算各象素电极a2的象素电压。
当按如上方式计算出1个区位部分的各象素电极a 2的象素电压时，将该各象素电压作为检查信息登录在每个液晶驱动基板A所设有的检查信息用数据库的相应区域内(步骤S32)。在该象素电压的登录处理中，各象素电极a2的象素电压，作为2字节精度的电压数据登录在检查信息用数据库内。然后，图象处理装置8，根据登录到检查信息用数据库内的检查信息按每个区位进行以下的处理。
这里，在以下的处理中，按每种缺陷类别判定作为缺陷候选对象的象素电极a2。在本实施形态中，该缺陷类别有以下几种。
①点缺陷(群缺陷)
是单独的象素电极a2的象素电压为异常值的缺陷。另外，将少数点缺陷连续集合后称作群缺陷。
②栅极断路线缺陷
是栅极线a4因任何原因而断线所造成的缺陷，使连续的多个象素电极a2的象素电压连续地为异常值。在上述图2所示的液晶驱动基板A的情况下，由于栅极线a4在水平方向即象素电极a2的排列方向上沿行方向布设，所以，使在行方向上连续的象素电极a2的象素电压发生异常。
③栅极短路线缺陷
是栅极线a4因任何原因而短路所造成的缺陷，使连续的多个象素电极a2的象素电压连续地为异常值。在上述图2所示的液晶驱动基板A的情况下，与上述栅极断路线缺陷的情况一样，使在行方向上连续的象素电极a2的象素电压发生异常。
④数据断路线缺陷
是数据线a5因任何原因而断线所造成的缺陷，使连续的多个象素电极a2的象素电压连续地为异常值。在上述图2所示的液晶驱动基板A的情况下，由于数据线a5在垂直方向即象素电极a2的排列方向上沿列方向布设，所以，使在列方向上连续的象素电极a2的象素电压发生异常。
⑤数据短路线缺陷
是数据线a5因任何原因而短路所造成的缺陷，使连续的多个象素电极a2的象素电压连续地为异常值。在上述图2所示的液晶驱动基板A的情况下，与上述数据短路线缺陷的情况一样，使在列方向上连续的象素电极a2的象素电压发生异常。
⑥斑点缺陷
多个象素电极a2的象素电压在比较狭小的区域内为散布状的异常值，在多数情况下与正常象素的象素电压没有多大的差别。
图7中按上述每种缺陷类别示出缺陷象素的象素电压。如该图所示，栅极断路线缺陷②及数据断路线缺陷④的象素电压，具有与正常象素的象素电压En相差较大的值。栅极短路线缺陷③及数据短路线缺陷⑤的象素电压，具有与正常象素的象素电压En比较接近的值。
点缺陷(群缺陷)①的象素电压，具有位于栅极断路线缺陷②的象素电压和栅极短路线缺陷③的象素电压之间的值。此外，图中虽未示出，但斑点缺陷⑥的象素电压一般是与正常象素的象素电压En最为接近的值，而作为例外有时也取与点缺陷(群缺陷)①的象素电压接近的值。
在图象处理装置8中，根据上述每种缺陷类别的象素电压的特征，存储着用于按每种缺陷类别对缺陷候选对象进行判定的阈值。图象处理装置8，通过将该阈值与各象素电极a2的象素电压进行比较，以如下方式按每种缺陷类别对缺陷候选对象进行判定
该阈值，例如，如图7所示根据上述每种缺陷类别的象素电压的特征进行设定。即，用于判定与斑点缺陷候选对象相当的象素电极a2的阈值Em，设定为与正常象素的象素电压En最接近的值(大的值)，以下，按照从大到小的顺序设定栅极短路线缺陷候选用的阈值Egs、数据短路线缺陷候选用的阈值Eds、点缺陷候选用的阈值Et、数据断路线缺陷候选用的阈值Edo、栅极断路线缺陷候选用的阈值Ego。
根据上述背景，图象处理装置8，首先，通过将象素电极a2的象素电压与基准阈值Er进行比较，进行缺陷候选对象的判定处理(步骤S33)。这种处理，虽然不能判定相当于哪种缺陷类别，但通过对缺陷候选对象的认定也可以用于推断被认为合格的象素电极a2。该基准阈值Er，设定为比用于判定缺陷类别的上述各缺陷候选用的阈值中的任何一个都更接近正常象素的象素电压En的值或与最接近正常象素的象素电压En的电压Em相等的电压值。然后，图象处理装置8，将该缺陷候选对象的判定处理的结果即缺陷候选数据登录在上述检查信息用数据库的相应区域内。
接着，在步骤S34中，进行按每种缺陷类别将上述缺陷候选对象分类的处理。图象处理装置8，通过将每个象素电极a2的象素电压依次与上述各缺陷候选用的阈值Em、Eds、Egs、Et、Edo、Ego进行比较，判定其缺陷类别。这时，图象处理装置8，从数值小的阈值、即离正常象素的象素电压En最远的阈值起依次与象素电压进行比较从而判定缺陷类别。
即，图象处理装置8，按规定的顺序指定构成1个区位的所有象素电极a2，并将该指定的象素电极a2的象素电压首先与栅极断路线缺陷候选用的阈值Ego进行比较，从而判定该象素电极a2是否是与栅极断路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。
接着，将该象素电极a2的象素电压与次于上述阈值Ego的下一个离正常象素的象素电压En较远的数据断路线缺陷候选用的阈值Edo进行比较，从而判定该象素电极a2是否是与数据断路线缺陷候选对象相当的象素电极a2，并进一步与次于上述阈值Edo的下一个离正常象素的象素电压En较远的点缺陷候选用的阈值Et进行比较，从而判定该象素电极a2是否是与点缺陷候选对象相当的象素电极a2。
然后，将该象素电极a2的象素电压与次于上述阈值Et的下一个离正常象素的象素电压En较远的栅极短路线缺陷候选用的阈值Egs进行比较，从而判定该象素电极a2是否是与栅极短路线缺陷候选对象相当的象素电极a2，并将该象素电极a2的象素电压与次于上述阈值Egs的下一个离正常象素的象素电压En较远的数据短路线缺陷候选用的阈值Eds进行比较，从而判定该象素电极a2是否是与数据短路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。
接着，图象处理装置8，最后将该象素电极a2的象素电压与次于上述阈值Eds的下一个离正常象素的象素电压En较远的斑点缺陷候选用的阈值Em进行比较，从而判定该象素电极a2是否与斑点缺陷候选对象相当。图象处理装置8，对构成1个区位的所有象素电极a2依次进行与上述各缺陷候选用的阈值Em、Eds、Egs、Et、Edo、Ego的比较处理，并结束该区位的缺陷候选对象的缺陷类别分类处理。
图8是表示上述一系列的缺陷候选对象的缺陷类别分类处理(步骤S34～S39)的处理结果的一例的表。在该图中，如最下一行所示，当象素电压V(xa、ya)为小于栅极断路线缺陷候选用的阈值Ego的值时，可以判明该象素电压V(xa、ya)的象素电极a2是点缺陷、栅极短路线缺陷、栅极断路线缺陷、数据短路线缺陷、数据断路线缺陷及斑点缺陷的所有缺陷的缺陷候选对象(即×号)。
接着，在下起第2行中，当大于栅极断路线缺陷候选用的阈值Ego的值、且小于数据断路线缺陷候选用的阈值Edo时，可以判明该象素电压V(xa、ya)的象素电极a2不是栅极断路线缺陷的缺陷候选对象(即○号)，而是点缺陷、栅极短路线缺陷、数据短路线缺陷、数据断路线缺陷及斑点缺陷的缺陷候选对象(即×号)。
在下起第3行中，当大于数据断路线缺陷候选用的阈值Edo、且小于点缺陷候选用的阈值Et时，可以判明该象素电压V(xa、ya)的象素电极a2不是栅极断路线缺陷、数据断路线缺陷的缺陷候选对象(即○号)，而是点缺陷、栅极短路线缺陷、数据短路线缺陷及斑点缺陷的缺陷候选对象(即×号)。
在下起第4行中，当大于数据断路线缺陷候选用的阈值Edo、且小于点缺陷候选用的阈值Et时，可以判明该象素电压V(xa、ya)的象素电极a2不是点缺陷、栅极断路线缺陷、数据断路线缺陷的缺陷候选对象(即○号)，而是栅极短路线缺陷、数据短路线缺陷及斑点缺陷的缺陷候选对象(即×号)。
在下起第5行中，当大于点缺陷候选用的阈值Et、且小于栅极短路线缺陷候选用的阈值Egs时，可以判明该象素电压V(xa、ya)的象素电极a2不是点缺陷、栅极断路线缺陷、栅极短路线缺陷、数据断路线缺陷的缺陷候选对象(即○号)，而是数据短路线缺陷及斑点缺陷的缺陷候选对象(即×号)。
在上起第2行中，当大于栅极短路线缺陷候选用的阈值Egs、且小于斑点缺陷候选用的阈值Em时，可以判明该象素电压V(xa、ya)的象素电极a2不是点缺陷、栅极断路线缺陷、栅极短路线缺陷、数据断路线缺陷及数据短路线缺陷的缺陷候选对象(即○号)，而是斑点缺陷的缺陷候选对象(即×号)。
这里，上述各缺陷类别的分类处理(步骤S34)的处理顺序，其意图是提高处理速度。即，如果从离正常象素的象素电压En最远的阈值起依次与象素电压进行比较，则在已判定为任何一种缺陷类别的缺陷候选对象的时刻，再与数值比该缺陷类别的阈值大的阈值进行比较就没有意义了，所以可以将其之后的比较处理省略。例如，在图8的最下一行的情况下，在与栅极断路线缺陷候选用的阈值Ego的比较中，已判明为栅极断路线缺陷候选对象。因此，这就可以清楚地知道与比该阈值Ego更接近正常象素的象素电压En的阈值Edo、Et、Egs、Eds、Em的比较结果都相当于各种缺陷候选对象，因此可以将其以后的比较处理省略，从而可以提高处理效率，并能缩短数据处理时间。
图象处理装置8，根据各缺陷候选用的阈值Em、Eds、Egs、Et、Edo、Ego，按如上方式对1个区位的所有象素电极a2中的由基准阈值Er认定为缺陷候选对象的象素电极a2进行分类，并将该分类结果作为检查信息登录在检查信息用数据库内(步骤S35)。
该缺陷候选对象的缺陷类别分类结果，例如按每个象素电极a2以1位的数据登录在检查信息用数据库内。如图9所示，对按二维阵列排列的各象素电极a11、a12、a13......(尾标表示排列顺序)，在按每种缺陷类别设置的1位的数据区域内，当相当于该缺陷类别的缺陷候选对象时写入「1」，当与该缺陷类别不相当时写入「0」，从而将象素电极a2在上述6种缺陷类别的每一种中是否相当于缺陷候选对象与上述步骤S33的处理结果即是否是缺陷候选对象一起进行登录。
另外，在上述步骤S34的说明中，仅对与低于正常象素的象素电压En一侧的阈值Em、Eds、Egs、Et、Edo、Ego有关的处理进行了说明，但对高于正常象素的象素电压En的电压侧，也可以按每种缺陷类别设定阈值而进行缺陷类别的分类判定，并将判定结果登录在检查信息用数据库内。
以下，按图10所示的流程图对上述的整板处理(步骤S9)进行详细说明。该处理，与上述区位处理一样也由图象处理装置8执行。
首先，根据上述步骤S34的处理结果即栅极断路线缺陷候选对象的判定结果，进行栅极断路线缺陷的判定处理(步骤S91)。该处理，包括3种处理，即根据栅极断路线缺陷候选对象的判定结果抽出与栅极断路线缺陷相当的象素电极a2的处理(缺陷要素抽出处理)、将由该缺陷要素抽出处理抽出的象素电极a2连接的处理(缺陷要素连接处理)、根据该缺陷要素连接处理最终判定是否是栅极断路线缺陷并进行登录的缺陷判定登录处理。
在缺陷要素抽出处理中，按如图2所示的沿水平方向(行方向)和垂直方向(列方向)配置多行和多列的象素电极a2的每行及每列将上述栅极断路线缺陷候选用的阈值Ego与象素电压进行比较，从而抽出与栅极断路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。然后，将①作为多个连续的部分的起点的缺陷象素、②作为多个连续的部分的终点的缺陷象素、③缺陷象素的个数等与该抽出结果一起登录在检查信息用数据库内。
图11中以与象素电极a2的排列位置对应的方式示意地示出上述抽出结果。在该图中，○号表示与栅极断路线缺陷候选对象不相当的象素电极a2，而×号表示与栅极断路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。在该图的情况下，右起第2列有5个连续成线状的缺陷。总计将10个象素电极a2判定为缺陷象素。因此，例如将右起第2列中位于最上侧的象素电极a2作为起点缺陷象素、并将上述5个缺陷象素中位于最下1行的象素电极a2作为终点缺陷象素、另外还将「5」作为缺陷象素的个数登录在检查信息用数据库内。
这里，例如，当缺陷象素在某行的多个部位上连续时，对于各部位也将各自的起点缺陷象素和终点缺陷象素登录在检查信息用数据库内。
另外，在缺陷要素连接处理中，根据上述抽出结果，对各行及各列将①缺陷象素从最端部的象素电极a2开始且4个以上连续的部位(缺陷象素群)、②缺陷象素在最端部的象素电极a2结束且4个以上在行方向或列方向连续的缺陷象素群、③缺陷象素不在最端部的象素电极a2开始及结束但为规定个数K1以上连续的缺陷象素群连接，并将该连接结果登录在检查信息用数据库内。
即，将夹在这些缺陷象素群之间的象素电极a2作为缺陷象素并与上述缺陷象素群一起形成并认定为一连串的线缺陷部。此外，关于上述缺陷象素群③的个数K1，可以从控制装置12所备有的操作装置任意设定。
进一步，在缺陷判定登录处理中，根据上述缺陷要素连接处理的结果及以下给出的栅极断路线缺陷用的判定条件，最终判定与栅极断路线缺陷相当的象素电极a2，并登录在检查信息用数据库内。
[判定条件]
(1)如缺陷象素的排列方向为行方向、且通过上述连接形成的线缺陷象素的两端为最端部的象素电极a2，则最终判定为栅极断路线缺陷。
(2)如缺陷象素的排列方向为行方向且仅线缺陷象素的一端为最端部的象素电极a2、而另一端(缺陷端部)的正常象素与缺陷象素的象素电压的电压变化率大于规定的电压变化率，则最终判定为栅极断路线缺陷。
在如图2所示的液晶驱动基板A中，栅极线a4沿行方向配线，即，当栅极线a4因任何原因而断路(断线)时，使沿行方向排列的TFTa3的动作产生故障，因而使与这些TFTa3连接的在行方向上连续的象素电极a2的两端电压发生异常。因此，栅极断路线缺陷，以缺陷象素在行方向上连续的形态发生。此外，在将栅极线a4沿列方向配线的液晶驱动基板的情况下，当然是缺陷象素在列方向上连续的线缺陷形态。
在这种情况下，如图12所示，根据指定距离(象素数)ng，假定用于计算电压梯度的缺陷侧的象素电极ar为位于与上述缺陷端部pr的距离为ng/2的位置的缺陷象素，并假定用于计算电压梯度的正常侧的象素电极as为位于与上述缺陷端部pr的距离为ng/2的位置的正常象素。计算彼此相距上述指定距离ng的象素电极ar、as的各象素电压的电压差ΔV作为上述电压变化率。
然后，将按如上方式求得的电压差ΔV与指定基准电压Es进行比较，当ΔV＞Es时，将该线缺陷部最终判定为栅极断路线缺陷。将该最终判定结果登录在检查信息用数据库内，并结束该栅极断路线缺陷的判定处理。上述指定距离ng和指定基准电压Es，可以从控制装置12所备有的操作装置任意设定。
另外，上述图11中示出的沿列方向5个连续的线缺陷部，不满足上述判定条件(1)、(2)。即，该线缺陷部，不是在行方向上连续，所以不能判定为栅极断路线缺陷。
当按如上方式完成栅极断路线缺陷的判定处理(步骤S91)时，在步骤S92中进行栅极短路线缺陷的判定处理。该处理，包括根据登录在检查信息用数据库内的栅极短路线缺陷候选对象的判定结果抽出与栅极短路线缺陷相当的象素电极a2的缺陷要素抽出处理、将由该缺陷要素抽出处理抽出的象素电极a2连接的缺陷要素连接处理、根据该缺陷要素连接处理最终判定是否是栅极短路线缺陷并进行登录的缺陷判定登录处理。
在缺陷要素抽出处理中，按象素电极a2的每行及每列将上述栅极短路线缺陷候选用的阈值Egs与象素电压进行比较，从而抽出与栅极短路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。然后，将①作为多个连续的部分的起点的缺陷象素、②作为多个连续的部分的终点的缺陷象素、③缺陷象素的个数等与该抽出结果一起登录在检查信息用数据库内。
另外，在缺陷要素连接处理中，根据上述抽出结果，对各行及各列将①缺陷象素从最端部的象素电极a2开始且4个以上连续的部位(缺陷象素群)、②缺陷象素在最端部的象素电极a2结束且4个以上在行方向或列方向连续的缺陷象素群、③缺陷象素不在最端部的象素电极a2开始及结束但为规定个数K2以上连续的缺陷象素群连接，并将该连接结果登录在检查信息用数据库内。
即，将夹在这些缺陷象素群之间的象素电极a2作为缺陷象素并与上述缺陷象素群一起形成并认定为一连串的线缺陷部。此外，关于上述缺陷象素群③的个数K2，可以从控制装置12所备有的操作装置任意设定。
进一步，在缺陷判定登录处理中，根据上述缺陷要素连接处理的结果，最终判定与栅极短路线缺陷相当的象素电极a2，并登录在检查信息用数据库内，对该处理来说，因与上述栅极断路线缺陷的判定处理(步骤S91)的情况一样，所以这里将其说明省略。
接着，在步骤S93中进行数据断路线缺陷的判定处理。该处理，包括根据登录在检查信息用数据库内的数据断路线缺陷候选对象的判定结果(步骤S34)抽出与数据断路线缺陷相当的象素电极a2的处理(缺陷要素抽出处理)、将由该缺陷要素抽出处理抽出的象素电极a2连接的处理(缺陷要素连接处理)、根据该缺陷要素连接处理最终判定是否是数据断路线缺陷并进行登录的缺陷判定登录处理。
在缺陷要素抽出处理中，按象素电极a2的每行及每列将数据断路线缺陷候选用的阈值Edo与象素电压进行比较，从而抽出与数据断路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。然后，将①作为多个连续的部分的起点的缺陷象素、②作为多个连续的部分的终点的缺陷象素、③缺陷象素的个数等与该抽出结果一起登录在检查信息用数据库内。
另外，在缺陷要素连接处理中，根据上述抽出结果，对各行及各列将①缺陷象素从最端部的象素电极a2开始且4个以上连续的部位(缺陷象素群)、②缺陷象素在最端部的象素电极a2结束且4个以上在行方向或列方向连续的缺陷象素群、③缺陷象素不在最端部的象素电极a2开始及结束但为规定个数K3以上连续的缺陷象素群连接，并将该连接结果登录在检查信息用数据库内。
即，将夹在这些缺陷象素群之间的象素电极a2作为缺陷象素并与上述缺陷象素群一起形成并认定为一连串的线缺陷部。此外，关于上述缺陷象素群③的个数K3，可以从控制装置12所备有的操作装置任意设定。
进一步，在缺陷判定处理中，根据上述缺陷要素连接处理的结果及以下给出的数据断路线缺陷用的判定条件，最终判定与数据断路线缺陷相当的象素电极a2，并登录在检查信息用数据库内。
[判定条件]
(1)如缺陷象素的排列方向为列方向、且通过上述连接形成的线缺陷象素的两端为最端部的象素电极a2，则最终判定为数据断路线缺陷。
(2)如缺陷象素的排列方向为列方向且仅线缺陷象素的一端为最端部的象素电极a2、而另一端(缺陷端部)的正常象素与缺陷象素的象素电压的电压变化率大于规定的电压变化率，则最终判定为数据断路线缺陷。此外，关于电压变化率的计算方法，因与上述栅极断路线缺陷的判定处理(步骤S91)相同，所以这里将其说明省略。
在如上述的图2所示的液晶驱动基板A中，数据线a5沿列方向配线，即，当数据线a5因任何原因而断路(断线)时，使沿列方向排列的TFTa3的动作产生故障，因而使与这些TFTa3连接的在列方向上连续的象素电极a2的两端电压发生异常。
因此，数据断路线缺陷，以缺陷象素在列方向上连续的形态发生。此外，在将数据线a5沿行方向配线的液晶驱动基板的情况下，当然是缺陷象素在行方向上连续的线缺陷形态。上述图11中示出的沿列方向5个连续的线缺陷部，满足上述判定条件(1)、(2)，因而判定为数据断路线缺陷。
进一步，在步骤S94中进行数据短路线缺陷的判定处理。该处理，包括根据数据短路线缺陷候选对象的判定结果(步骤S34)抽出与数据短路线缺陷相当的象素电极a2的处理(缺陷要素抽出处理)、将由该缺陷要素抽出处理抽出的象素电极a2连接的处理(缺陷要素连接处理)、根据该缺陷要素连接处理最终判定是否是数据短路线缺陷并进行登录的缺陷判定登录处理。
在缺陷要素抽出处理中，按象素电极a2的每行及每列将上述数据短路线缺陷候选用的阈值Edo与象素电压进行比较，从而抽出与数据短路线缺陷候选对象相当的象素电极a2。然后，将①作为多个连续的部分的起点的缺陷象素、②作为多个连续的部分的终点的缺陷象素、③缺陷象素的个数等与该抽出结果一起登录在检查信息用数据库内。
另外，在缺陷要素连接处理中，根据上述抽出结果，对各行及各列将①缺陷象素从最端部的象素电极a2开始且4个以上连续的部位(缺陷象素群)、②缺陷象素在最端部的象素电极a2结束且4个以上在行方向或列方向连续的缺陷象素群、③缺陷象素不在最端部的象素电极a2开始及结束但为规定个数K4以上连续的缺陷象素群连接，并将该连接结果登录在检查信息用数据库内。
即，将夹在这些缺陷象素群之间的象素电极a2作为缺陷象素并与上述缺陷象素群一起形成并认定为一连串的线缺陷部。此外，关于上述缺陷象素群③的个数K4，可以从控制装置12所备有的操作装置任意设定。
进一步，在缺陷判定登录处理中，根据上述缺陷要素连接处理的结果及以下给出的数据短路线缺陷用的判定条件，最终判定与数据短路线缺陷相当的象素电极a2，并登录在检查信息用数据库内。
[判定条件]
(1)如缺陷象素的排列方向为列方向、且通过上述连接形成的线缺陷象素的两端为最端部的象素电极a2，则最终判定为数据短路线缺陷。
(2)如缺陷象素的排列方向为列方向且仅线缺陷象素的一端为最端部的象素电极a2、而另一端(缺陷端部)的正常象素与缺陷象素的象素电压的电压变化率大于规定的电压变化率，则最终判定为数据短路线缺陷。
此外，关于电压梯度的计算方法，因与上述栅极断路线缺陷的判定处理(步骤S91)相同，所以这里将其说明省略。
接着，在该整板处理中，在步骤95中进行点缺陷、群缺陷的判定处理。该处理，包括①缺陷要素的抽出处理、②分类处理、③判定登录处理构成。
在缺陷要素的抽出处理中，根据在上述步骤S34中被分类为点缺陷候选对象及群缺陷候选对象的象素电极a2，抽出点缺陷、群缺陷的判定对象。即，将在上述各种线缺陷的有关缺陷类别的缺陷判定处理步骤S91～S94中没有被判定为线缺陷的象素电极a2抽出作为点缺陷、群缺陷的判定对象。
在上述的线缺陷判定处理中，根据缺陷要素连接处理，将本来不是缺陷候选对象的象素电极a2判定为构成线缺陷的一部分的缺陷象素，因此，在与该点缺陷、群缺陷有关的缺陷要素的抽出处理中，应将由缺陷判定处理步骤S91～S94从在步骤S34中被分类为点缺陷候选对象及群缺陷候选对象的象素电极a2中判定为构成线缺陷的缺陷象素的从与该点缺陷、群缺陷有关的缺陷要素除去。
在分类处理中，根据缺陷象素的连续个数对上述缺陷要素抽出处理的处理结果进行分类。即，将在列方向、行方向及斜的方向上连续的缺陷象素根据其个数按1～L分类。例如，分别将仅为1点的孤立的缺陷象素分类为1点缺陷、将在列方向、行方向及斜的方向上合计2个连续的缺陷象素分类为2点缺陷、将在列方向、行方向及斜的方向上合计3个连续的缺陷象素分类为3点缺陷、......、进一步将在列方向、行方向及斜的方向上合计L个连续的缺陷象素分类为L点缺陷。
在判定登录处理中，将按上述方式分类后的孤立缺陷及连续的缺陷根据连续的个数分类为点缺陷和群缺陷，并将该分类结果登录在检查信息用数据库内。
图13中示出按上述方式判定的点缺陷及群缺陷的一例。在该图中，缺陷图形P1表示1点缺陷，缺陷图形P2表示合计2个缺陷象素连续的2点缺陷，缺陷图形P3表示合计3个缺陷象素在列方向、行方向或斜的方向上连续的3点缺陷，缺陷图形P4表示合计4个缺陷象素在列方向、行方向或斜的方向上连续的4点缺陷，缺陷图形P5表示合计5个缺陷象素在列方向、行方向或斜的方向上连续的5点缺陷，缺陷图形P6表示合计6个缺陷象素在列方向、行方向或斜的方向上连续的6点缺陷。
在本实施形态中，将这些缺陷图形P1～P6中的缺陷图形P1～P3即1～3点缺陷分类判定为点缺陷，并将缺陷图形P4～P6即4～6点缺陷分类判定为群缺陷。即，在该点缺陷、群缺陷的判定处理(步骤S95)中，缺陷象素在1～3范围内连续是点缺陷的判定条件，而缺陷象素在4以上的范围内连续是群缺陷的判定条件
当按如上方式完成点缺陷、群缺陷的判定处理时，就完成了对一个液晶驱动基板A的整板处理。这种整板处理，对上述液晶驱动基板A1～A4全部按同样方式进行，并作为由该液晶驱动基板A1～A4构成的玻璃基板B的检查结果显示在监视器9上。此外，在本实施形态中，没有进行斑点缺陷的判定处理。因此，在检查结果中不包含与斑点缺陷有关的缺陷信息，
按照本实施形态，可以取得如下的效果。
(1)采用按每种缺陷类别设定的缺陷候选用阈值对各种缺陷类别的缺陷候选对象进行分类判定，并根据该分类判定结果最终判定各缺陷类别的缺陷象素。因此，与像现有技术那样采用单一的缺陷候选用阈值判定缺陷象素的情况相比，可以提高对各象素电极a2的象素电压的缺陷判定精度，同时提高缺陷类别的判定精度。
(2)另外，通过在使液晶驱动基板A的区位间相对于调制器1移动的过程中进行区位处理、按每种缺陷类别设定缺陷候选用阈值并在使玻璃基板B上的液晶驱动基板A之间移动的过程中进行整板处理，可以抑制因数据处理量的增大引起的检查时间的增加，并能抑制与液晶驱动基板A的检查有关的生产率的降低。
(3)由于从离正常象素的象素电压En最远的缺陷候选用阈值起依次与象素电压进行比较而判定缺陷类别，所以，能够高效率地进行缺陷类别的分类处理。因此，可以抑制因数据处理量的增大引起的检查时间的增加。
另外，在上述实施形态中，对在玻璃基板B上形成4个的形态的液晶驱动基板A1～A4的检查进行了说明，但本发明并不限定于此。也可以应用于在玻璃基板上形成1个液晶驱动基板A时的检查。此外，即使是较小的液晶驱动基板A因而使所有的象素电极同时面对调制器1时，也可以应用。

Claims (9)

1.一种液晶驱动基板的检查方法，将电光元件板与按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板相对配置，根据将规定电压写入象素电极而得到电光元件板的电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，其特征在于：
由图象处理装置，通过将上述象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素。
2.一种液晶驱动基板的检查方法，将尺寸比按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板小的电光元件板与该液晶驱动基板相对配置，并在将规定电压写入象素电极的状态下按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像，根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，其特征在于：
由图象处理装置，通过将上述象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述各小区域之间的移动过程中进行上述分类处理。
3.一种液晶驱动基板的检查方法，将电光元件板与形成有多个按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板的玻璃基板相对配置，并在将规定电压写入各象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板，从而取得与所有液晶驱动基板有关的电光元件板的电压影像，根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，其特征在于：
由图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行该判定处理。
4.一种液晶驱动基板的检查方法，将尺寸比按矩阵状配置了象素电极的液晶驱动基板小的电光元件板与形成有多个该液晶驱动基板的玻璃基板相对配置，并在将规定电压写入象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板、且按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得所有液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像，根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素，其特征在于：
由图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述每个小区域之间的移动过程中进行上述分类处理，并在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行上述判定处理。
5.根据权利要求1～4的任何一项所述的液晶驱动基板的检查方法，其特征在于：上述图象处理装置，在按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值中，从远离正常象素的象素电压的阈值起依次与象素电压进行比较，并在与某个阈值的比较中判定为缺陷候选对象的时刻将与随后的阈值的比较省略。
6.一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板；与该液晶基板相对配置的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；根据将规定电压写入象素电极而得到电光元件板的电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：
所述图象处理装置，通过将上述象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素。
7.一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板；与该液晶基板相对配置的、比该液晶驱动基板尺寸小的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；在将规定电压写入象素电极的状态下按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像的驱动装置；根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：
所述图象处理装置，通过将上述象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述各小区域之间的移动过程中进行上述分类处理。
8.一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板形成多个的玻璃基板；与该玻璃基板相对配置的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；在将规定电压写入各象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板，从而取得与所有液晶驱动基板有关的电光元件板的电压影像，的驱动装置；根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：
所述图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行该判定处理。
9.一种液晶驱动基板的检查装置，具有：象素电极按行列状配置的液晶驱动基板形成多个的玻璃基板；与该玻璃基板相对配置的、比该液晶驱动基板尺寸小的电光学元件板；将规定电压写入象素电极的电源装置；在将规定电压写入象素电极的状态下按每个液晶驱动基板移动相对位置以使各液晶驱动基板面对着电光元件板、且按液晶驱动基板的每个小区域依次移动相对位置以使各小区域部分面对着电光元件板，从而取得所有液晶驱动基板的整个区域上的电光元件板的电压影像的驱动装置；根据该电压影像及上述电光元件板的电光特性计算各象素电极的实际电压作为象素电压，并根据该象素电压判别异常电压的缺陷象素和正常电压的正常象素的图象处理装置，该液晶驱动基板的检查装置的特征在于：
所述图象处理装置，通过将象素电压与按缺陷象素的每种缺陷类别设定的阈值进行比较而按上述每种缺陷类别对缺陷候选象素电极进行分类处理，并根据按每种缺陷类别设定的判定条件进行将该每种缺陷类别的缺陷候选象素电极最终判定为各缺陷类别的缺陷象素的处理，同时在上述每个小区域之间的移动过程中进行上述分类处理，并在各液晶驱动基板之间的移动过程中进行上述判定处理。
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