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CN112173981A - 运送机控制装置和包括其的运送机控制系统 - Google Patents

运送机控制装置和包括其的运送机控制系统 Download PDF

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CN112173981A CN202010621071.9A CN202010621071A CN112173981A CN 112173981 A CN112173981 A CN 112173981A CN 202010621071 A CN202010621071 A CN 202010621071A CN 112173981 A CN112173981 A CN 112173981A
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Abstract

提供了考虑是否能够进行连续运送、运送停滞等来将作业多重分配给OHT的运送机控制系统。运送机控制系统包括多个运送机和运送机控制装置，其中：多个运送机运送收纳有晶片的载体；运送机控制装置控制多个运送机，并且在多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，其中，运送机控制装置利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定一个运送机。

Description

运送机控制装置和包括其的运送机控制系统
技术领域
本发明涉及用于控制运送机(transporter)的装置和具有该装置的运送机控制系统。更详细地，涉及用于控制在制造半导体元件的工艺中使用的运送机的装置和具有该装置的运送机控制系统。
背景技术
可以在具有制造线的洁净室(clean room)内经过各种工艺来制造晶片(wafer)。此时，晶片可以被收纳在载体(carrier)中，从而通过布置在洁净室的天花板上的OHT(高架提升传输系统)被运送到执行各个工艺的设备。
发明内容
解决的技术问题
OHT控制系统(OCS；OHT Control System)在根据作业(Job)的产生而生成装卸载(load and unload)命令时，考虑整体OHT的状态(例如，可作业状态、当前位置等)，向距离最近的OHT分配一个待处理的作业。
然而，在将作业分配给OHT时，OHT控制系统不考虑卸载(Unload)之后的情况。因此，在作业集中在特定区段的情况下，在该区段上可能发生OHT的聚集现象，并且也可能发生由于OHT的停滞而导致的作业延迟的情况。
本发明要解决的问题在于提供考虑是否能够进行连续运送、运送停滞等来将作业多重分配给OHT的运送机控制系统。
此外，本发明要解决的问题在于提供考虑是否能够进行连续运送、运送停滞等来将作业多重分配给OHT的运送机。
本发明的问题不限于在上文中提及的问题，并且本领域的技术人员将通过下面的记载可以清楚地理解未提及的其他问题。
问题的解决方案
为解决上述问题的本发明的运送机控制系统的一个方面包括多个运送机和运送机控制装置，其中：上述多个运送机运送收纳有晶片的载体；上述运送机控制装置控制上述多个运送机，并且在上述多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，其中，上述运送机控制装置利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定上述一个运送机。
在利用上述第一因素确定上述一个运送机的情况下，上述运送机控制装置可以基于上述多个作业是否连续布置在单个路径上来确定上述一个运送机。
在进一步利用上述第二因素确定上述一个运送机的情况下，上述运送机控制装置可以进一步考虑在作为上述多个运送机中的上述一个的第一运送机为执行上述多个作业而移动的第一移动路径上是否存在作为上述多个运送机中的另一个的第二运送机来确定上述一个运送机。
上述运送机控制装置可以进一步考虑以下因素中的至少一个来确定上述一个运送机：上述第二运送机是否处于空闲状态；上述第二运送机的作业结束位置是否位于上述第一移动路径上；以及在上述第二运送机位于上述第一移动路径上的情况下，是否能够将上述第二运送机移动。
在进一步考虑上述第二运送机是否处于空闲状态以及上述第二运送机的作业结束位置是否位于上述第一移动路径上来确定上述一个运送机的情况下，上述运送机控制装置可以首先考虑上述第二运送机是否处于空闲状态，然后考虑上述第二运送机的作业结束位置是否位于上述第一移动路径上。
在利用上述第一因素确定上述一个运送机的情况下，上述运送机控制装置可以基于每个运送机的行进路径、根据上述多个作业是否连续布置在特定运送机的行进路径上来确定上述一个运送机。
在利用上述第二因素确定上述一个运送机的情况下，上述运送机控制装置可以基于在作为上述多个运送机中的一个的第一运送机为执行上述多个作业而移动的第一移动路径上是否存在作为上述多个运送机中的另一个的第二运送机来判断运送停滞可能性，并且可以基于对上述运送停滞可能性的判断结果来确定上述一个运送机。
上述运送机控制装置可以进一步考虑以下因素中的至少一个来判断上述运送停滞可能性：上述第二运送机是否处于空闲状态；以及上述第二运送机的作业结束位置是否位于上述第一移动路径上。
在进一步考虑上述第二运送机是否处于空闲状态以及上述第二运送机的作业结束位置是否位于上述第一移动路径上来判断上述运送停滞可能性的情况下，上述运送机控制装置可以首先考虑上述第二运送机是否处于空闲状态，然后考虑上述第二运送机的作业结束位置是否位于上述第一移动路径上。
在利用上述第二因素确定上述一个运送机的情况下，上述运送机控制装置可以基于每个运送机的行进路径、根据特定运送机是否可以不停滞地连续处理上述多个作业来确定上述一个运送机。
上述运送机控制装置可以针对上述多个运送机计算出从移动停止位置到用于执行上述多个作业的出发位置的移动距离以赋予权重，并且确定根据上述权重选择的运送机是否适合作为上述一个运送机。
针对上述多个运送机，上述运送机控制装置可以在判断是否处于空闲状态之后计算出上述移动距离。
针对处于空闲状态的运送机，上述运送机控制装置可以将上述运送机的当前位置作为上述移动停止位置来计算出上述移动距离，并且对于不处于空闲状态的运送机，可以将上述运送机的作业结束位置作为上述移动停止位置来计算出上述移动距离。
上述运送机控制装置可以针对上述移动距离较短的运送机赋予更高的权重。
针对上述多个运送机，上述运送机控制装置可以基于是否处于空闲状态赋予权重，并且可以确定根据上述权重选择的运送机是否适合作为上述一个运送机。
在上述多个运送机中存在至少两个处于空闲状态的运送机的情况下，上述运送机控制装置可以计算出从处于空闲状态的上述运送机的移动停止位置到用于执行上述多个作业的出发位置的移动距离以重新赋予权重，并且可以确定根据重新赋予的权重选择的运送机是否适合作为上述一个运送机。
为解决上述问题的本发明的运送机控制系统的另一方面包括多个运送机和运送机控制装置，其中：上述多个运送机运送收纳有晶片的载体；上述运送机控制装置控制上述多个运送机，并且在上述多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，其中，上述运送机控制装置利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定上述一个运送机，在利用上述第一因素确定上述一个运送机的情况下，基于每个运送机的行进路径、根据上述多个作业是否连续布置在特定运送机的行进路径上来确定上述一个运送机，并且在利用上述第二因素确定上述一个运送机的情况下，基于每个运送机的行进路径、根据特定运送机是否可以不停滞地连续处理上述多个作业来确定上述一个运送机。
为解决上述问题的本发明的运送机控制装置的一个方面用于控制运送收纳有晶片的载体的多个运送机，其中，上述运送机控制装置在上述多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，并且利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定上述一个运送机。
其他实施方式的具体细节包含在详细描述和附图中。
附图说明
图1是概略地示出根据本发明的一个实施方式的运送机控制系统的概念图。
图2是示出构成图1的运送机控制系统的运送机设置在轨道上的形态的前视图。
图3是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第一示例图。
图4是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第二示例图。
图5是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第三示例图。
图6是概略地示出根据图5的运送机控制装置的运送机确定方法的流程图。
图7是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第四示例图。
图8是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第五示例图。
图9是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第六示例图。
图10是概略地示出根据图9的运送机控制装置的运送机确定方法的流程图。
图11是概略地示出根据图9的运送机控制装置的运送停滞可能性判断方法的流程图。
图12是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机选择方法的第一示例图。
图13是概略地示出根据图12的运送机控制装置的运送机选择方法的第一流程图。
图14是概略地示出根据图12的运送机控制装置的运送机选择方法的第二流程图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图详细描述本发明的优选实施方式。参考结合附图在下文详细叙述的实施方式，本发明的优点和特征以及实现优点和特征的方法将变得明确。然而，本发明并不受限于在下文中公布的实施方式，而是可以以各种不同的形式实现，并且本实施方式仅是为了使本发明的公开内容完整并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整告知发明的范围而提供的，并且本发明仅由权利要求的范围限定。在整个说明书中，相同的参考标号指代相同的构成要素。
元件或层被称为在另一元件或层的“上方”或“上”时，其不仅包括在另一元件或另一层的正上方，还包括中间介入有另一层或另一元件的情况。相反，元件被称为“直接在上方”或“在正上方”时，其表示中间不存介入的另一元件或层。
可以使用“下方”、“下面”、“下部”、“上方”、“上部”等空间相对术语以便于描述如图中所示的一个元件或构成要素与其他元件或构成要素的相互关系。空间相对术语应当理解为除了图中所示的方向之外还包括元件在使用时或作业时的不同方向的术语。例如，在图中所示的元件翻转的情况下，被描述为在另一元件的“下方”或“下面”的元件可以定位成在另一元件的“上方”。因此，示例性术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以定向为另外的方向，且因此空间相对术语可以依据定向进行解释。
虽然使用了第一、第二等来叙述各种元件、构成要素和/或部分，但显然这些元件、构成要素和/或部分不受这些术语的限制。这些术语仅是用于将一个元件、构成要素或部分与其他元件、构成要素或部分区分开。因此，在本发明的技术思想内，下文中提到的第一元件、第一构成要素或第一部分显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
本说明书中使用的术语是用于描述实施方式的，而不是旨在限制本发明。在本说明书中，除非句子中特别说明，否则单数形式还包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包括(comprising)”表示包括所提到的构成要素、步骤、作业和/或元件，而不排除一个以上的其他构成要素、步骤、作业和/或元件的存在或添加。
除非另有定义，否则本说明书中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)可以被用作本发明所属技术领域的普通技术人员通常可以理解的含义。此外，除非明确特别地进行定义，否则在通常使用的字典中定义的术语不应以理想化或过度地进行解释。
在下文中，将参考附图详细描述本发明的实施方式，并且在参考附图进行描述时，与附图标号无关地，相同或对应的构成要素赋予相同的参考标号，并省略对其的重复描述。
本发明涉及向诸如OHT的运送机多重分配作业(Job)的运送机控制系统和方法。根据本发明的运送机控制系统考虑是否能够进行连续运送、运送停滞等来确定运送机之后，可以将作业多重分配至该运送机。在下文中，将参考附图等详细描述本发明。
图1是概略地示出根据本发明的一个实施方式的运送机控制系统的概念图。
根据图1，运送机控制系统100可以配置为包括运送机110、运送机控制装置120和数据库130。
运送机110将对象物体运送到目的地。在本实施方式中，这种运送机110可以实现为OHT。
在实现为OHT的情况下，运送机110可以将收纳有晶片(wafer)的载体(carrier)从洁净室(clean room)运送到执行半导体元件制造工艺的各种设备。在这种情况下，如图2所示，运送机110可以配置为包括主体部210、驱动控制部220、驱动轮(driving wheel)230、导向轮(guide wheel)240等。
图2是示出构成图1的运送机控制系统的运送机设置在轨道上的形态的前视图。在下文中，参考图2进行描述。
主体部210在夹持(gripping)载体250后将载体250运送到目的地(例如，执行下一工艺的设备)。该主体部210可以设置在驱动控制部220的下部，并且配置为包括夹持部211和升降部212。
夹持部211夹持载体250。该夹持部211通过升降部212向载体250所在的方向移动，从而可以夹持位于运送机110下方的载体250。夹持部211例如可以实现为握持器(handgripper)。
升降部212使夹持部211向载体250所在的方向下降，从而使得夹持部211可以夹持载体250。如果载体250被夹持部211夹持，则该升降部212可以将夹持载体250的夹持部211提升到洁净室的天花板侧。
在被夹持部211夹持后，载体250可以通过升降部212被提升到洁净室的天花板侧，并且在这种状态下被运送到目的地。如果运送机110到达目的地，则升降部212使载体250下降，以将载体250传递到执行下一工艺的设备。升降部212例如可以实现为升降机(hoist)。
此外，在本实施方式中，运送机110也能够在装载(loading)载体250之后将载体250运送到目的地。在这种情况下，主体部210可以具有收纳部(未示出)而不是夹持部211。
收纳部提供收纳载体250的空间。该收纳部可以形成为顶表面开放的篮子(basket)形态。然而，本发明不限于此。收纳部也能够形成为在侧表面上设置有门的柜子(cabinet)形态。
驱动控制部220控制沿着轨道260移动的驱动轮230。该驱动控制部220可以通过其两个侧表面与一对驱动轮230结合，并且通过底表面与主体部210结合。驱动控制部220也可以起到支承位于下方的主体部210的作用。
驱动控制部220可以配置为包括驱动电机(未示出)、驱动轴(未示出)、速度调节部(未示出)等。
驱动电机产生驱动力。
驱动轴将由驱动电机产生的驱动力传递到驱动轮230。
速度调节部调节驱动轮230的旋转速度。
驱动控制部220可以通过驱动电机、驱动轴等向驱动轮230提供驱动力，并且可以通过速度调节部等控制驱动轮230的旋转速度。
驱动轮230利用从驱动控制部220提供的驱动力在轨道260上旋转。为此，可以在驱动控制部220的两个侧表面上设置至少一对驱动轮230。
导向轮240用于防止运送机110在轨道260上行进时从轨道260脱离。为此，可以在驱动控制部220的底表面两侧沿着与驱动轮230垂直的方向设置至少一对驱动轮230。
轨道260提供运送机110可以移动的路径。该轨道260可以设置在具有制造半导体元件(例如，晶片(wafer))的制造线的洁净室的天花板(ceiling)上。
轨道支承部270可以与轨道260一起设置在洁净室的天花板上。此时，轨道260可以分别与固定在洁净室的天花板上的轨道支承部270的两侧结合，从而设置为一对。
根据洁净室内的布局，轨道260可以形成为并存有多种形态的区段，如直线区段、曲线区段、倾斜区段、分岔区段等。然而，本实施方式不限于此。轨道260也可以仅由单一形态的区段(例如，直线区段)形成。
轨道支承部270设置在洁净室的天花板上以支承轨道260。该轨道支承部270可以形成为盖子(cap)形态，例如∩形形态或Π形形态。
运送机110还可以包括线缆固定部(未示出)、校正部(未示出)等。
线缆固定部固定布置在轨道260下方的线缆。该线缆固定部例如可以实现为绞合线支承构件(litz wire supporter)。
校正部在将载体250移送到目的地时校正载体250的位置。该校正部可以布置在主体部210与驱动控制部220之间，以校正载体250的位置。
校正部可以配置为包括滑动器(slider)和旋转器(rotator)。滑动器使载体250向上侧方向、下侧方向、左侧方向、右侧方向等移动。该滑动器可以设置在驱动控制部220的底表面上。
旋转器使载体250在顺时针方向、逆时针方向等方向上旋转。该旋转器可以设置在滑动器的底表面上。
再次参考图1进行描述。
运送机110可以在轨道260上布置为多个。此时，每个运送机110可以基于从运送机控制装置120接收的信息而将对象物体运送到目的地。
运送机110可以与运送机控制装置120无线通信，以从运送机控制装置120接收信息。然而，本实施方式不限于此。运送机110也能够与运送机控制装置120有线连接以通过有线信号从运送机控制装置120接收信息。
运送机控制装置120控制运送机110。该运送机控制装置120可以实现为装载有具有运算功能的处理器的计算机。
运送机控制装置120执行在多个运送机110中确定待分配多个作业的运送机110的功能。该运送机控制装置120可以考虑是否能够进行连续运送、运送停滞等来确定待分配多个作业的运送机110。
运送机控制装置120可以基于是否能够进行连续运送来确定待分配多个作业的运送机110。在这种情况下，在考虑运送机110的行进方向时，运送机控制装置120可以基于多个作业是否连续布置在单个路径上来确定待分配多个作业的运送机110。
图3是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第一示例图，并且图4是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第二示例图。
在下文中，参考图3和图4进行描述。在以下的描述中，将第一载体从第一位置310运送到第二位置320的作业被定义为第一作业，并且将第二载体从第三位置330运送到第四位置340的作业被定义为第二作业。
首先，参考图3，在考虑第一运送机110a的行进方向时，第一作业和第二作业布置在同一路径上。即，在考虑行进方向时，第一运送机110a能够顺序执行第一作业和第二作业。因此，在这种情况下，运送机控制装置120将第一运送机110a确定为待分配多个作业的对象。
相反，参考图4，在考虑第一运送机110a的行进方向时，第一作业和第二作业并未布置在同一路径上。即，在考虑行进方向时，第一运送机110a不能顺序执行第一作业和第二作业。因此，在这种情况下，运送机控制装置120不将第一运送机110a确定为待分配多个作业的对象。
此外，运送机控制装置120也能够基于在第一运送机110a为执行多个作业而移动的路径上是否存在第二运送机来判断第一运送机110a是否能够进行连续运送。即，运送机控制装置120也可以在判断第一运送机110a是否能够进行连续运送时考虑运送停滞。在下文中，将对此进行描述。
图5是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第三示例图，并且图6是概略地示出根据图5的运送机控制装置的运送机确定方法的流程图。在下文中，将参考图5和图6进行描述。
首先，运送机控制装置120判断在第一运送机110a为执行第一作业和第二作业而移动的路径上上方存在第二运送机110b。
如果在第一运送机110a的移动路径上不存在第二运送机110b，则第一运送机110a可以顺序执行第一作业和第二作业。因此，在这种情况下，运送机控制装置120将第一运送机110a确定为待分配第一作业和第二作业的对象(S420)。
相反，如果判断为在第一运送机110a的移动路径上存在第二运送机110b，则运送机控制装置120判断第二运送机110b是否为空闲(idle)状态(S430)。
如果第二运送机110b不处于空闲状态(即，如果第二运送机110b在进行移动以执行预定作业)，则即使第二运送机110b位于第一运送机110a的移动路径上，第一运送机110a也可以顺序执行第一作业和第二作业。因此，在这种情况下，运送机控制装置120将第一运送机110a确定为待分配第一作业和第二作业的对象(S420)。
相反，如果第二运送机110b处于空闲状态，则第一运送机110a会因为第二运送机110b而无法顺序执行第一作业和第二作业。因此，在这种情况下，运送机控制装置120不将第一运送机110a确定为待分配第一作业和第二作业的对象(S440)。
此外，在第二运送机110b处于空闲状态的情况下，如图7所示，运送机控制装置120也可以通过移动第二运送机110b而使得第一运送机110a能够顺序执行第一作业和第二作业。图7是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第四示例图。
此外，如图8所示，即使第二运送机110b在进行移动以执行预定作业，第二运送机110b结束相应的作业而处于空闲状态的位置也可能位于第一运送机110a的移动路径上。图8是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第五示例图。
在上述情况下，运送机控制装置120判断第二运送机110b的作业结束位置是否位于第一运送机110a的移动路径上。
如果判断为第二运送机110b的作业结束位置不位于第一运送机110a的移动路径上，则运送机控制装置120将第一运送机110a确定为待分配第一作业和第二作业的对象。
相反，如果判断为第二运送机110b的作业结束位置位于第一运送机110a的移动路径上，则运送机控制装置120不将第一运送机110a确定为待分配第一作业和第二作业的对象。运送机控制装置120也可以将第二运送机110b移动并将第一运送机110a确定为待分配第一作业和第二作业的对象。
以上，参考图3和图4，描述了以是否能够进行连续运送为主要因素来确定待分配多个作业的运送机110的方法。此外，参考图5至图8，还描述了以是否能够进行连续运送为主要因素并以运送停滞为附加因素来确定待分配多个作业的运送机110的方法。
然而，本实施方式不限于此。运送机控制装置120也可以以运送停滞为主要因素来确定待分配多个作业的运送机110。在这种情况下，考虑到运送机110的行进方向，运送机控制装置120可以基于运送机110是否可以不停滞地连续执行多个作业来确定待分配多个作业的运送机110。在下文中，将对此进行描述。
图9是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机确定方法的第六示例图，并且图10是概略地示出根据图9的运送机控制装置的运送机确定方法的流程图。在下文中，将参考图9和图10进行描述。
首先，运送机控制装置120判断对于第一运送机110a顺序执行第一作业和第二作业的情况是否具有运送停滞可能性(S510)。在这种情况下，运送机控制装置120可以根据以下顺序判断第一运送机110a是否具有运送停滞可能性。
图11是概略地示出根据图9的运送机控制装置的运送停滞可能性判断方法的流程图。在下文中，将参考图9和图11进行描述。
首先，运送机控制装置120判断在第一运送机110a为顺序执行第一作业和第二作业而移动的路径上是否存在第二运送机110b(S511)。
如果判断为第一运送机110a的移动路径上存在第二运送机110b，则运送机控制装置120判断为第一运送机110a具有运送停滞可能性(S512)。
相反，如果判断为第二运送机110b不位于第一运送机110a的移动路径上，则运送机控制装置120判断第二运送机110b是否处于空闲状态(S513)。
如果判断为第二运送机110b处于空闲状态，则由于第二运送机110b不具有进入第一运送机110a的移动路径的可能性，因此运送机控制装置120判断为第一运送机110a不具有运送停滞可能性(S514)。
相反，如果判断为第二运送机110b正在执行预定作业，则运送机控制装置120判断第二运送机110b的作业结束位置是否位于第一运送机110a的移动路径上(S515)。
如果判断为第二运送机110b的作业结束位置不位于第一运送机110a的移动路径上，则运送机控制装置120判断为第一运送机110a不具有运送停滞可能性(S514)。
相反，如果判断为第二运送机110b的作业结束位置位于第一运送机110a的移动路径上，则运送机控制装置120判断为第一运送机110a具有运送停滞可能性(S512)。
再次参考图9和图10进行描述。
如果判断为第一运送机110a不具有运送停滞可能性，则运送机控制装置120将第一运送机110a确定为待分配多个作业的对象(S520)。
相反，如果判断为第一运送机110a具有运送停滞可能性，则运送机控制装置120不将第一运送机110a确定为待分配多个作业的对象(S530)。此外，运送机控制装置120也可以使第二运送机110b移动并将第一运送机110a确定为待分配多个作业的对象。
以上，参考图3至图11，描述了以是否能够进行连续运送、运送停滞等为主要因素来确定待分配多个作业的运送机110的方法。
在本实施方式中，运送机控制装置120可以选择多个运送机110中的一个运送机110，以确定是将该运送机110确定为待分配多个作业的对象还是要从待分配多个作业的对象中排除。
在选择多个运送机110中的一个运送机110时，可以在将多个运送机110以距离第一作业的开始位置(即，第一位置310)近的顺序进行排列后，按照排列的顺序选择一个运送机110。在下文中，将对此进行描述。
此外，运送机控制装置120也可以随机选择多个运送机110中的一个运送机110。
图12是用于描述构成图1的运送机控制系统的运送机控制装置的运送机选择方法的第一示例图，并且图13是概略地示出根据图12的运送机控制装置的运送机选择方法的第一流程图。
在以下的描述中，参考图12和图13，以运送机控制系统100具有三个运送机110a、110b、110c的情况为例(第一运送机110a、第二运送机110b、第三运送机110c等)进行描述。
然而，本实施方式不限于此。即，在本实施方式中，运送机控制系统100可以具有两个运送机，并且也可以具有四个以上的运送机。
运送机控制装置120判断第一运送机110a是否处于空闲状态(S610)。
如果判断为第一运送机110a处于空闲状态，则运送机控制装置120计算从第一运送机110a的当前位置到第一作业的开始位置(即，第一位置310)的距离(cost)(S620)。
之后，运送机控制装置120计算出第一运送机110a的当前位置与第一位置310之间的距离，作为第一运送机110a的移动距离(S630)。
此外，如果判断为第一运送机110a不处于空闲状态(即，如果判断为第一运送机110a正在执行预定作业)，则运送机控制装置120计算从第一运送机110a的作业结束位置到第一位置310的距离(S620')。
之后，运送机控制装置120计算出第一运送机110a的作业结束位置与第一位置310之间的距离，作为第一运送机110a的移动距离(S630)。
之后，运送机控制装置120将移动距离计算对象依次变更为第二运送机110b、第三运送机110c等(S640、S650)，并且以与第一运送机110a的情况相同的方法依次计算出第二运送机110b的移动距离、第三运送机110c的移动距离等(S610至S650)。
当计算出所有第一运送机110a的移动距离、第二运送机110b的移动距离、第三运送机110c的移动距离等时，运送机控制装置120按照移动距离的升序对各个运送机110a、110b、110c赋予权重(S660)。
例如，如果按移动距离的升序排列为第一运送机110a、第二运送机110b、第三运送机110c等的顺序，则运送机控制装置120可以向第一运送机110a赋予最高的权重，向第二运送机110b赋予次高的权重，并且向第三运送机110c赋予最低的权重。
之后，运送机控制装置120选择被赋予最高权重的第一运送机110a，并确定第一运送机110a是否适合分配多个作业(S670)。
如果确定第一运送机110a不适合分配多个作业，则运送机控制装置120可以根据所赋予的权重选择与下一顺序对应的第二运送机110b，并确定第二运送机110b是否适合分配多个作业。
如果确定第二运送机110b也不适合分配多个作业，则运送机控制装置120可以根据所赋予的权重选择与下一顺序对应的第三运送机110c，并确定第三运送机110c是否适合分配多个作业。
此外，在确定第一运送机110a、第二运送机110b、第三运送机110c等是否适合分配多个作业时，可以利用是否能够进行连续运送、运送停滞等因素来进行确定。对此已经参考图3至图11进行了描述，因此将在此省略其详细描述。
此外，如上所述，在图12和图13中，以运送机控制系统100具有三个运送机110a、110b、110c的情况为例进行了描述。在本实施方式中，运送机控制系统100可以具有N个运送机，在这种情况下，显然可以从图12和图13类推出在N个运送机中选择一个运送机的方法(上述N为2以上的自然数)。
此外，在从多个运送机110中选择一个运送机时，也可以根据运送机是否处于空闲状态进行优先排序来选择一个运送机。在下文中，将对此进行描述。
图14是概略地示出根据图12的运送机控制装置的运送机选择方法的第二流程图。在下文中，将参考图12和图14进行描述。
首先，运送机控制装置120判断第一运送机110a是否处于空闲状态(S710)。
如果判断为第一运送机110a处于空闲状态，则运送机控制装置120将第一运送机110a包含在检测对象中(S720)。
相反，如果判断为第一运送机110a不处于空闲状态(即，如果判断为第一运送机110a正在执行预定作业)，则运送机控制装置120将第一运送机110a从检测对象中排除(S730)。
运送机控制装置120对第二运送机110b、第三运送机110c等也执行相同的判断过程(S710至S730)，从而检测出判断处于空闲状态的运送机(S740至S750)。
在下文中，将假设第一运送机110a和第二运送机110b被检测为经判断处于空闲状态的运送机进行描述。
运送机控制装置120计算从第一运送机110a的当前位置到第一位置310的距离，以计算出第一运送机110a的移动距离(S760)。
针对第二运送机110b，运送机控制装置120以与第一运送机110a的情况相同的方法计算出移动距离(S760)。
之后，运送机控制装置120按照移动距离的升序对各个运送机110a、110b赋予权重(S770)。
例如，如果按移动距离的升序排列为第一运送机110a、第二运送机110b等的顺序，则运送机控制装置120可以向第一运送机110a赋予相对较高的权重，并且向第二运送机110b赋予相对较低的权重。
之后，运送机控制装置120选择被赋予最高权重的第一运送机110a，并确定第一运送机110a是否适合分配多个作业(S780)。
如果确定第一运送机110a不适合分配多个作业，则运送机控制装置120根据所赋予的权重选择与下一顺序对应的第二运送机110b，并确定第二运送机110b是否适合分配多个作业。
再次参考图1进行描述。
数据库130以有线或无线方式与运送机控制装置120连接，以提供运送机控制装置120控制多个运送机110所需的信息。
数据库130可以以存储器单元的形式实现在运送机控制装置120的内部。然而，本实施方式不限于此。数据库130也可以与运送机控制装置120分开设置在运送机控制系统100内。
针对各个运送机110，数据库130可以存储关于是否处于空闲状态的信息、关于处于空闲状态的运送机110的当前位置的信息、关于正在执行预定作业的运送机110的作业结束位置的信息等。然而，在本实施方式中，存储在数据库130中的信息不限于此。
以上，参考图1至图14对运送机控制系统100进行了描述。根据本实施方式的运送机控制系统100也可以适用于物流自动化服务。
以上参考附图对本发明的实施方式进行了描述，但本发明所属技术领域的普通技术人员将可以理解，本发明在不变更其技术思想或必要特征的情况下，可以以其他具体的形式进行实施。因此，应理解在上文中记载的实施方式在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。
附图标记的说明
100：运送机控制系统 110：运送机
110a：第一运送机 110b：第二运送机
110c：第三运送机 120：运送机控制装置
130：数据库 210：主体部
211：夹持部 212：升降部
220：驱动控制部 230：驱动轮
240：导向轮 250：载体
260：轨道 270：轨道支承部
310：第一位置 320：第二位置
330：第三位置 340：第四位置

Claims (20)

1.运送机控制系统，包括：
多个运送机，运送收纳有晶片的载体；以及
运送机控制装置，控制所述多个运送机，并且在所述多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，
其中，所述运送机控制装置利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定所述一个运送机。
2.根据权利要求1所述的运送机控制系统，其中，在利用所述第一因素确定所述一个运送机的情况下，所述运送机控制装置基于所述多个作业是否连续布置在单个路径上来确定所述一个运送机。
3.根据权利要求2所述的运送机控制系统，其中，在进一步利用所述第二因素确定所述一个运送机的情况下，所述运送机控制装置进一步考虑在作为所述多个运送机中的所述一个的第一运送机为执行所述多个作业而移动的第一移动路径上是否存在作为所述多个运送机中的另一个的第二运送机来确定所述一个运送机。
4.根据权利要求3所述的运送机控制系统，其中，所述运送机控制装置进一步考虑以下因素中的至少一个来确定所述一个运送机：
所述第二运送机是否处于空闲状态；
所述第二运送机的作业结束位置是否位于所述第一移动路径上；以及
在所述第二运送机位于所述第一移动路径上的情况下，是否能够将所述第二运送机移动。
5.根据权利要求4所述的运送机控制系统，其中，在进一步考虑所述第二运送机是否处于空闲状态以及所述第二运送机的作业结束位置是否位于所述第一移动路径上来确定所述一个运送机的情况下，所述运送机控制装置首先考虑所述第二运送机是否处于空闲状态，然后考虑所述第二运送机的作业结束位置是否位于所述第一移动路径上。
6.根据权利要求1所述的运送机控制系统，其中，在利用所述第一因素确定所述一个运送机的情况下，所述运送机控制装置基于每个运送机的行进路径、根据所述多个作业是否连续布置在特定运送机的行进路径上来确定所述一个运送机。
7.根据权利要求1所述的运送机控制系统，其中，在利用所述第二因素确定所述一个运送机的情况下，所述运送机控制装置基于在作为所述多个运送机中的所述一个的第一运送机为执行所述多个作业而移动的第一移动路径上是否存在作为所述多个运送机中的另一个的第二运送机来判断运送停滞可能性，并且基于对所述运送停滞可能性的判断结果来确定所述一个运送机。
8.根据权利要求7所述的运送机控制系统，其中，所述运送机控制装置进一步考虑以下因素中的至少一个来判断所述运送停滞可能性：
所述第二运送机是否处于空闲状态；以及
所述第二运送机的作业结束位置是否位于所述第一移动路径上。
9.根据权利要求8所述的运送机控制系统，其中，在进一步考虑所述第二运送机是否处于空闲状态以及所述第二运送机的作业结束位置是否位于所述第一移动路径上来判断所述运送停滞可能性的情况下，所述运送机控制装置首先考虑所述第二运送机是否处于空闲状态，然后考虑所述第二运送机的作业结束位置是否位于所述第一移动路径上。
10.根据权利要求1所述的运送机控制系统，其中，在利用所述第二因素确定所述一个运送机的情况下，所述运送机控制装置基于每个运送机的行进路径、根据特定运送机是否可以不停滞地连续处理所述多个作业来确定所述一个运送机。
11.根据权利要求1所述的运送机控制系统，其中，所述运送机控制装置针对所述多个运送机计算出从移动停止位置到用于执行所述多个作业的出发位置的移动距离以赋予权重，并且确定根据所述权重选择的运送机是否适合作为所述一个运送机。
12.根据权利要求11所述的运送机控制系统，其中，针对所述多个运送机，所述运送机控制装置在判断是否处于空闲状态之后计算出所述移动距离。
13.根据权利要求12所述的运送机控制系统，其中，针对处于空闲状态的运送机，所述运送机控制装置将所述运送机的当前位置作为所述移动停止位置来计算出所述移动距离，并且对于不处于空闲状态的运送机，将所述运送机的作业结束位置作为所述移动停止位置来计算出所述移动距离。
14.根据权利要求11所述的运送机控制系统，其中，所述运送机控制装置针对所述移动距离较短的运送机赋予更高的权重。
15.根据权利要求1所述的运送机控制系统，其中，针对所述多个运送机，所述运送机控制装置基于是否处于空闲状态赋予权重，并且确定根据所述权重选择的运送机是否适合作为所述一个运送机。
16.根据权利要求15所述的运送机控制系统，其中，在所述多个运送机中存在至少两个处于空闲状态的运送机的情况下，所述运送机控制装置计算出从处于空闲状态的所述运送机的移动停止位置到用于执行所述多个作业的出发位置的移动距离以重新赋予权重，并且确定根据重新赋予的权重选择的运送机是否适合作为所述一个运送机。
17.根据权利要求16所述的运送机控制系统，其中，所述运送机控制装置针对所述移动距离较短的运送机赋予更高的权重。
18.运送机控制系统，包括：
多个运送机，运送收纳有晶片的载体；以及
运送机控制装置，控制所述多个运送机，并且在所述多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，
其中，所述运送机控制装置利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定所述一个运送机，
在利用所述第一因素确定所述一个运送机的情况下，基于每个运送机的行进路径、根据所述多个作业是否连续布置在特定运送机的行进路径上来确定所述一个运送机，以及
在利用所述第二因素确定所述一个运送机的情况下，基于每个运送机的行进路径、根据特定运送机是否可以不停滞地连续处理所述多个作业来确定所述一个运送机。
19.运送机控制装置，用于控制运送收纳有晶片的载体的多个运送机，其中，
所述运送机控制装置在所述多个运送机中确定待执行多个作业的一个运送机，并且利用表示是否能够进行连续运送的第一因素和表示在运送中是否存在运送停滞的第二因素中的至少一个因素来确定所述一个运送机。
20.根据权利要求19所述的运送机控制装置，其中，
所述运送机控制装置在利用所述第一因素确定所述一个运送机的情况下，基于每个运送机的行进路径、根据所述多个作业是否连续布置在特定运送机的行进路径上来确定所述一个运送机，以及
在利用所述第二因素确定所述一个运送机的情况下，基于每个运送机的行进路径、根据特定运送机是否可以不停滞地连续处理所述多个作业来确定所述一个运送机。
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