CN117790384A - 一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了硅片生产设备技术领域的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法，包括，硅片放置机构，所述硅片放置机构用于叠放硅片；工作台；液压伸缩杆，所述液压伸缩杆设置在工作台上，且液压伸缩杆用于带动硅片放置机构上的硅片向上移动；硅片转移机构，通过气缸带动连接板向下移动，使得吸盘接触顶部硅片，在连接板向下移动时，通过设置有防叠片组件，可以挤压两侧的顶杆，进而当吸盘接触顶部硅片时，两侧的防滑垫正好夹紧除了顶部以外的硅片，从而通过吸盘吸住顶部硅片后，再通过电动伸缩杆带动吸盘向上移动，使得顶部硅片向上移动不会带起下方硅片，从而在转移硅片时避免出现带起双片的情况，提高了插片的效率。
Description
技术领域
本发明涉及硅片生产设备技术领域，具体为一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法。
背景技术
硅片生产工艺主要由粘结、固化、搽试、切片、脱胶、插片、清洗、烘干、分选和检验工序组成，在插片时将脱胶后的硅片叠放在放置座内，通过吸盘转移到输送带上，通过输送带送到硅片花篮内进行自动插片。
在插片过程中由于硅片是叠放的，导致吸盘带动上方的硅片转移时容易出现带起双片的情况，且插片过程中有个别硅片没有插紧的情况，造成后续还需要人工进行压紧，降低了生产效率，为此，我们提出一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，包括，硅片放置机构，所述硅片放置机构用于叠放硅片；
工作台；
液压伸缩杆，所述液压伸缩杆设置在工作台上，且液压伸缩杆用于带动硅片放置机构上的硅片向上移动；
硅片转移机构，所述硅片转移机构用于将硅片放置机构上的硅片转移；
防叠双片机构；
所述硅片输送机构，所述硅片输送机构用于输送由硅片转移机构转移过来的硅片；
硅片花篮升降机构；
硅片花篮，所述硅片花篮升降机构用于带动硅片花篮升降；
翻转机构。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述硅片放置机构包括底座，所述底座的中部开设有通孔，所述底座的四周处均设置有挡杆，所述底座的顶部叠放有硅片，且硅片的外侧与四周的挡杆均贴合连接，所述液压伸缩杆的活塞杆位于通孔内，且液压伸缩杆的活塞杆与底端的硅片相接触。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述底座的底部四周处均设置有套筒，且工作台上设置有与套筒内壁贴合连接的导杆。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述硅片转移机构包括设置在工作台顶部的横向电动导轨，所述横向电动导轨的输出端连接有气缸，所述气缸的活塞杆设置有连接板，所述连接板的底部设置有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的输出端连接有吸盘。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述防叠双片机构包括两组结构相同的顶杆，两侧顶杆上均铰接有斜杆，两侧斜杆上均铰接有滑杆，两侧滑杆上均滑动连接有设置在工作台上的滑轨，两侧滑杆的相对侧均设置有防滑垫，两侧滑杆分别位于底座的两侧，两侧顶杆的内壁均贴合连接有设置在工作台上的竖杆，两侧顶杆的底部均设置有连接在工作台上的弹簧一。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述硅片输送机构包括机架，所述机架的前端设置有转辊一，所述机架的后端设置有安装板，且安装板上设置有转辊二，且转辊二伸入至硅片花篮内，所述转辊一和转辊二的外部均连接有驱动装置，所述转辊一和转辊二均与输送带连接，所述横向电动导轨的右端延伸至输送带的正上方。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述机架上设置有两组结构相同的固定杆。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述硅片花篮升降机构包括设置在机架上的安装板，所述安装板上设置有竖向电动导轨，所述竖向电动导轨的输出端连接有活动板，所述活动板上插接有与硅片花篮连接的支撑板，所述活动板上设置有电动推杆，且电动推杆的输出端连接有插杆和连接块，所述插杆贯穿活动板插接在支撑板上。
作为本发明所述一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的一种优选方案，其中：所述翻转机构包括设置在机架上的连接杆、安装杆和支撑杆，所述连接杆和安装杆上均通过轴承转动连接有转轴，两侧转轴上均设置有带轮，且两侧带轮之间连接有皮带，后侧转轴上设置有齿轮，前侧转轴上设置有推板，所述支撑杆上设置有圆杆和弹簧二，且弹簧二与滑动连接在圆杆上的齿杆连接，所述齿杆与齿轮啮合连接，所述齿杆位于连接块的右侧。
一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的工作方法，具体包括如下步骤：
步骤一：将硅片叠放在底座上，通过挡杆进行定位，然后通过横向电动导轨带动气缸横向移动，使得吸盘位于硅片的上方，接着通过气缸带动连接板向下移动，使得吸盘接触顶部硅片，在连接板向下移动时，挤压两侧的顶杆，进而当吸盘接触顶部硅片时，两侧的防滑垫正好夹紧除了顶部以外的硅片，从而通过吸盘吸住顶部硅片后，再通过电动伸缩杆带动吸盘向上移动直到顶部硅片脱离下方硅片时，再通过气缸带动连接板向上移动，使得吸盘带动顶部硅片继续向上移动后，再通过横向电动导轨向右移动，直到将硅片放置在两侧固定杆之间，且放在输送带上，通过转辊一和转辊二转动带动输送带转动，使得硅片即可在输送带上输送最后插进硅片花篮内；
步骤二：在通过吸盘转移好顶部的硅片后，再通过液压伸缩杆带动叠放的硅片向上移动，使得吸盘可以循环往复转移好顶部的硅片，且不会出现带起双片的情况；
步骤三：当在硅片花篮上插好一个硅片时，再通过竖向电动导轨带动硅片花篮向上移动，使得硅片可以循环往复的插进硅片花篮当硅片花篮插片插满后，此时连接块正好位于齿杆的左侧，进而再通过电动推杆带动插杆向右移动，即可带动连接块挤压齿杆，从而通过齿轮和带轮带动推板旋转至硅片的前方，将没有插紧的硅片插紧在硅片花篮上，此时插杆刚好脱离支撑板，即可取下硅片花篮。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、通过气缸带动连接板向下移动，使得吸盘接触顶部硅片，在连接板向下移动时，通过设置有防叠片组件，可以挤压两侧的顶杆，进而当吸盘接触顶部硅片时，两侧的防滑垫正好夹紧除了顶部以外的硅片，从而通过吸盘吸住顶部硅片后，再通过电动伸缩杆带动吸盘向上移动，使得顶部硅片向上移动不会带起下方硅片，从而在转移硅片时避免出现带起双片的情况，提高了插片的效率；
2、在插片结束后取消对硅片花篮的固定时，使插杆脱离支撑板，进而能够带动连接块移动挤压齿杆，从而通过齿轮和带轮带动推板旋转至硅片的前方，将没有插紧的硅片插紧在硅片花篮上，避免了插片过程中有个别硅片没有插紧的情况，从而不需要人工进行压紧。
附图说明
图1为本发明一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法的整体结构示意图；
图2为本发明一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法所述的硅片放置机构、硅片转移机构和防叠双片机构的结构示意图；
图3为本发明一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法所述的防叠双片结构示意图；
图4为本发明一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法所述的硅片输送机构、硅片花篮升降机构和翻转机构的结构示意图；
图5为本发明一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法所述的硅片输送机构、硅片花篮升降机构和翻转机构的结构放大示意图；
图6为本发明一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法所述的硅片输送机构、硅片花篮升降机构和翻转机构的结构剖视示意图。
图中：1、硅片放置机构；11、底座；12、挡杆；13、套筒；14、导杆；2、工作台；
3、液压伸缩杆；
4、硅片转移机构；41、横向电动导轨；42、气缸；43、连接板；44、电动伸缩杆；45、吸盘；
5、防叠双片机构；51、顶杆；52、斜杆；53、滑杆；54、滑轨；55、防滑垫；56、竖杆；57、弹簧一；
6、硅片输送机构；61、机架；62、转辊一；63、安装板；64、转辊二；65、输送带；66、固定杆；
7、硅片花篮升降机构；71、安装板；72、竖向电动导轨；73、活动板；74、支撑板；75、电动推杆；76、插杆；77、连接块；
8、硅片花篮；
9、翻转机构；91、连接杆；92、安装杆；93、支撑杆；94、带轮；95、齿轮；96、齿杆；97、圆杆；98、弹簧二；99、推板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
诚如背景技术中所提到的，针对于现有技术中由于硅片是叠放的，导致吸盘带动上方的硅片转移时容易出现带起双片的情况，且插片过程中有个别硅片没有插紧的情况，造成后续还需要人工进行压紧，降低了生产效率的问题。本发明提出一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法。
实施例1
参照图1至图6，一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，包括，硅片放置机构1，硅片放置机构1用于叠放硅片；
工作台2；
液压伸缩杆3，液压伸缩杆3设置在工作台2上，且液压伸缩杆3用于带动硅片放置机构1上的硅片向上移动，使得每次吸盘45均能移动到固定位置接触硅片；
硅片转移机构4，硅片转移机构4用于将硅片放置机构1上的硅片转移；
防叠双片机构5；
硅片输送机构6，硅片输送机构6用于输送由硅片转移机构4转移过来的硅片；
硅片花篮升降机构7；
硅片花篮8，硅片花篮升降机构7用于带动硅片花篮8升降；
翻转机构9。
硅片放置机构1包括底座11，底座11的中部开设有通孔，底座11的四周处均设置有挡杆12，底座11的顶部叠放有硅片，且硅片的外侧与四周的挡杆12均贴合连接，液压伸缩杆3的活塞杆位于通孔内，且液压伸缩杆3的活塞杆与底端的硅片相接触，通过液压伸缩杆3伸缩，使得硅片在挡杆12的导向下向上移动。
为了便于对底座11的放置进行定位，以便于液压伸缩杆3能够带动硅片升降，底座11的底部四周处均设置有套筒13，且工作台2上设置有与套筒13内壁贴合连接的导杆14。
硅片转移机构4包括设置在工作台2顶部的横向电动导轨41，横向电动导轨41的输出端连接有气缸42，气缸42的活塞杆设置有连接板43，连接板43的底部设置有电动伸缩杆44，且电动伸缩杆44的输出端连接有吸盘45，电动伸缩杆44用于带动吸附住硅片的吸盘45向上移动，当顶部硅片脱离下方硅片后，再通过气缸42带动连接板43向上移动，使得吸盘45继续带动硅片移动，使用电动伸缩杆44时连接板43不向上移动，以避免防滑垫55离开硅片不能对硅片起到夹紧效果。
防叠双片机构5包括两组结构相同的顶杆51，两侧顶杆51上均铰接有斜杆52，两侧斜杆52上均铰接有滑杆53，两侧滑杆53上均滑动连接有设置在工作台2上的滑轨54，滑轨54用于滑杆53导向，两侧滑杆53的相对侧均设置有防滑垫55，两侧滑杆53分别位于底座11的两侧，两侧顶杆51的内壁均贴合连接有设置在工作台2上的竖杆56，两侧顶杆51的底部均设置有连接在工作台2上的弹簧一57，弹簧一57用于带动顶杆51复位，气缸42带动连接板43向下移动，使得吸盘45接触顶部硅片，在连接板43向下移动时，挤压两侧的顶杆51，进而当吸盘45接触顶部硅片时，顶杆51通过竖杆56导向后带动斜杆52推动滑杆53横向移动，使得两侧的防滑垫55正好夹紧除了顶部以外的硅片，避免转移顶部硅片时下方硅片被带起来，造成带起双片的情况。
硅片输送机构6包括机架61，机架61的前端设置有转辊一62，机架61的后端设置有安装板63，且安装板63上设置有转辊二64，且转辊二64伸入至硅片花篮8内，转辊一62和转辊二64的外部均连接有驱动装置，用于驱动转辊一62和转辊二64转动，转辊一62和转辊二64均与输送带65连接，横向电动导轨41的右端延伸至输送带65的正上方。
机架61上设置有两组结构相同的固定杆66，用于对硅片的输送进行导向。
硅片花篮升降机构7包括设置在机架61上的安装板71，安装板71上设置有竖向电动导轨72，竖向电动导轨72的输出端连接有活动板73，活动板73上插接有与硅片花篮8连接的支撑板74，活动板73用于对支撑板74定位，活动板73上设置有电动推杆75，且电动推杆75的输出端连接有插杆76和连接块77，插杆76贯穿活动板73插接在支撑板74上，插杆76用于对支撑板74进行固定。
实施例2
参照图1、图4、图5和图6，翻转机构9包括设置在机架61上的连接杆91、安装杆92和支撑杆93，连接杆91和安装杆92上均通过轴承转动连接有转轴，两侧转轴上均设置有带轮94，且两侧带轮94之间连接有皮带，使得两侧转轴可以同步转动，后侧转轴上设置有齿轮95，前侧转轴上设置有推板99，支撑杆93上设置有圆杆97和弹簧二98，且弹簧二98与滑动连接在圆杆97上的齿杆96连接，齿杆96与齿轮95啮合连接，齿杆96位于连接块77的右侧，弹簧二98用于带动齿杆96复位，支撑杆93用于对齿杆96导向，开始时连接块77不能推动齿杆96，随着插片越来越多，连接块77跟随向上移动，使得插片结束后，连接块77正好可以位于齿杆96的左侧，然后使插杆76脱离支撑板74进行取消固定时，连接块77即可自动推动齿杆96，实现智能带动推板99翻转的目的。
其余结构均与实施例1相同。
一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的工作方法，采用实施例2中的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，具体包括如下步骤：
步骤一：将硅片叠放在底座11上，通过挡杆12进行定位，然后通过横向电动导轨41带动气缸42横向移动，使得吸盘45位于硅片的上方，接着通过气缸42带动连接板43向下移动，使得吸盘45接触顶部硅片，在连接板43向下移动时，挤压两侧的顶杆51，进而当吸盘45接触顶部硅片时，两侧的防滑垫55正好夹紧除了顶部以外的硅片，从而通过吸盘45吸住顶部硅片后，再通过电动伸缩杆44带动吸盘45向上移动直到顶部硅片脱离下方硅片时，再通过气缸42带动连接板43向上移动，使得吸盘45带动顶部硅片继续向上移动后，再通过横向电动导轨41向右移动，直到将硅片放置在两侧固定杆66之间，且放在输送带65上，通过转辊一62和转辊二64转动带动输送带65转动，使得硅片即可在输送带65上输送最后插进硅片花篮8内；
步骤二：在通过吸盘45转移好顶部的硅片后，再通过液压伸缩杆3带动叠放的硅片向上移动，使得吸盘45可以循环往复转移好顶部的硅片，且不会出现带起双片的情况；
步骤三：当在硅片花篮8上插好一个硅片时，再通过竖向电动导轨72带动硅片花篮8向上移动，使得硅片可以循环往复的插进硅片花篮8当硅片花篮8插片插满后，此时连接块77正好位于齿杆96的左侧，进而再通过电动推杆75带动插杆76向右移动，即可带动连接块77挤压齿杆96，从而通过齿轮95和带轮94带动推板99旋转至硅片的前方，将没有插紧的硅片插紧在硅片花篮8上，此时插杆76刚好脱离支撑板74，即可取下硅片花篮8。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：包括，
硅片放置机构(1)，所述硅片放置机构(1)用于叠放硅片；
工作台(2)；
液压伸缩杆(3)，所述液压伸缩杆(3)设置在工作台(2)上，且液压伸缩杆(3)用于带动硅片放置机构(1)上的硅片向上移动；
硅片转移机构(4)，所述硅片转移机构(4)用于将硅片放置机构(1)上的硅片转移；
防叠双片机构(5)；
所述硅片输送机构(6)，所述硅片输送机构(6)用于输送由硅片转移机构(4)转移过来的硅片；
硅片花篮升降机构(7)；
硅片花篮(8)，所述硅片花篮升降机构(7)用于带动硅片花篮(8)升降；
翻转机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述硅片放置机构(1)包括底座(11)，所述底座(11)的中部开设有通孔，所述底座(11)的四周处均设置有挡杆(12)，所述底座(11)的顶部叠放有硅片，且硅片的外侧与四周的挡杆(12)均贴合连接，所述液压伸缩杆(3)的活塞杆位于通孔内，且液压伸缩杆(3)的活塞杆与底端的硅片相接触。
3.根据权利要求2所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述底座(11)的底部四周处均设置有套筒(13)，且工作台(2)上设置有与套筒(13)内壁贴合连接的导杆(14)。
4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述硅片转移机构(4)包括设置在工作台(2)顶部的横向电动导轨(41)，所述横向电动导轨(41)的输出端连接有气缸(42)，所述气缸(42)的活塞杆设置有连接板(43)，所述连接板(43)的底部设置有电动伸缩杆(44)，且电动伸缩杆(44)的输出端连接有吸盘(45)。
5.根据权利要求2所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述防叠双片机构(5)包括两组结构相同的顶杆(51)，两侧顶杆(51)上均铰接有斜杆(52)，两侧斜杆(52)上均铰接有滑杆(53)，两侧滑杆(53)上均滑动连接有设置在工作台(2)上的滑轨(54)，两侧滑杆(53)的相对侧均设置有防滑垫(55)，两侧滑杆(53)分别位于底座(11)的两侧，两侧顶杆(51)的内壁均贴合连接有设置在工作台(2)上的竖杆(56)，两侧顶杆(51)的底部均设置有连接在工作台(2)上的弹簧一(57)。
6.根据权利要求4所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述硅片输送机构(6)包括机架(61)，所述机架(61)的前端设置有转辊一(62)，所述机架(61)的后端设置有安装板(63)，且安装板(63)上设置有转辊二(64)，且转辊二(64)伸入至硅片花篮(8)内，所述转辊一(62)和转辊二(64)的外部均连接有驱动装置，所述转辊一(62)和转辊二(64)均与输送带(65)连接，所述横向电动导轨(41)的右端延伸至输送带(65)的正上方。
7.根据权利要求6所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述机架(61)上设置有两组结构相同的固定杆(66)。
8.根据权利要求6所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述硅片花篮升降机构(7)包括设置在机架(61)上的安装板(71)，所述安装板(71)上设置有竖向电动导轨(72)，所述竖向电动导轨(72)的输出端连接有活动板(73)，所述活动板(73)上插接有与硅片花篮(8)连接的支撑板(74)，所述活动板(73)上设置有电动推杆(75)，且电动推杆(75)的输出端连接有插杆(76)和连接块(77)，所述插杆(76)贯穿活动板(73)插接在支撑板(74)上。
9.根据权利要求8所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于：所述翻转机构(9)包括设置在机架(61)上的连接杆(91)、安装杆(92)和支撑杆(93)，所述连接杆(91)和安装杆(92)上均通过轴承转动连接有转轴，两侧转轴上均设置有带轮(94)，且两侧带轮(94)之间连接有皮带，后侧转轴上设置有齿轮(95)，前侧转轴上设置有推板(99)，所述支撑杆(93)上设置有圆杆(97)和弹簧二(98)，且弹簧二(98)与滑动连接在圆杆(97)上的齿杆(96)连接，所述齿杆(96)与齿轮(95)啮合连接，所述齿杆(96)位于连接块(77)的右侧。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的工作方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：
步骤一：将硅片叠放在底座(11)上，通过挡杆(12)进行定位，然后通过横向电动导轨(41)带动气缸(42)横向移动，使得吸盘(45)位于硅片的上方，接着通过气缸(42)带动连接板(43)向下移动，使得吸盘(45)接触顶部硅片，在连接板(43)向下移动时，挤压两侧的顶杆(51)，进而当吸盘(45)接触顶部硅片时，两侧的防滑垫(55)正好夹紧除了顶部以外的硅片，从而通过吸盘(45)吸住顶部硅片后，再通过电动伸缩杆(44)带动吸盘(45)向上移动直到顶部硅片脱离下方硅片时，再通过气缸(42)带动连接板(43)向上移动，使得吸盘(45)带动顶部硅片继续向上移动后，再通过横向电动导轨(41)向右移动，直到将硅片放置在两侧固定杆(66)之间，且放在输送带(65)上，通过转辊一(62)和转辊二(64)转动带动输送带(65)转动，使得硅片即可在输送带(65)上输送最后插进硅片花篮(8)内；
步骤二：在通过吸盘(45)转移好顶部的硅片后，再通过液压伸缩杆(3)带动叠放的硅片向上移动，使得吸盘(45)可以循环往复转移好顶部的硅片，且不会出现带起双片的情况；
步骤三：当在硅片花篮(8)上插好一个硅片时，再通过竖向电动导轨(72)带动硅片花篮(8)向上移动，使得硅片可以循环往复的插进硅片花篮(8)当硅片花篮(8)插片插满后，此时连接块(77)正好位于齿杆(96)的左侧，进而再通过电动推杆(75)带动插杆(76)向右移动，即可带动连接块(77)挤压齿杆(96)，从而通过齿轮(95)和带轮(94)带动推板(99)旋转至硅片的前方，将没有插紧的硅片插紧在硅片花篮(8)上，此时插杆(76)刚好脱离支撑板(74)，即可取下硅片花篮(8)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311796132.5A CN117790384A (zh) | 2023-12-25 | 2023-12-25 | 一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202311796132.5A CN117790384A (zh) | 2023-12-25 | 2023-12-25 | 一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN117790384A true CN117790384A (zh) | 2024-03-29 |
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ID=90399453
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN117790384A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118335668A (zh) * | 2024-04-28 | 2024-07-12 | 安徽美达伦光伏科技有限公司 | 一种全自动硅片插片机 |
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2023
- 2023-12-25 CN CN202311796132.5A patent/CN117790384A/zh active Pending
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