CN116097532A - 窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法 - Google Patents

Abstract

窄带化模块具有：壳体；棱镜，其被配置于壳体的内部空间，光透过棱镜；载置部，其被配置于内部空间，载置有棱镜；固定单元，其被配置于内部空间，将棱镜固定于载置部；以及遮光部件。遮光部件被配置于内部空间，对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

Description

窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法

技术领域

本公开涉及窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的KrF准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的ArF准分子激光装置。

KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350pm～400pm。因此，在利用使KrF和ArF激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(Line Narrow Module：LNM)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-233858号公报

专利文献2：日本特开平2-194677号公报

专利文献3：美国专利第9130338号说明书

专利文献4：日本特开2002-374025号公报

发明内容

本公开的一个方式的窄带化模块具有：壳体；棱镜，其被配置于壳体的内部空间，光透过棱镜；载置部，其被配置于内部空间，载置有棱镜；固定单元，其被配置于内部空间，将棱镜固定于载置部；以及遮光部件，其被配置于内部空间，对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

本公开的一个方式的气体激光装置具有窄带化模块，窄带化模块具有：壳体；棱镜，其被配置于壳体的内部空间，光透过棱镜；载置部，其被配置于内部空间，载置有棱镜；固定单元，其被配置于内部空间，将棱镜固定于载置部；以及遮光部件，其被配置于内部空间，对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

本公开的一个方式的电子器件的制造方法包含以下步骤：使从具有窄带化模块的气体激光装置出射的激光入射到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，窄带化模块具有：壳体；棱镜，其被配置于壳体的内部空间，光透过棱镜；载置部，其被配置于内部空间，载置有棱镜；固定单元，其被配置于内部空间，将棱镜固定于载置部；以及遮光部件，其被配置于内部空间，对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

附图说明

下面，参照附图将本公开的若干个实施方式作为简单例子进行说明。

图1是示出电子器件制造装置的整体的概略结构例的示意图。

图2是示出气体激光装置的整体的概略结构例的示意图。

图3是图2所示的窄带化模块的放大图。

图4是从壳体的盖体部侧朝向与盖体部相反的一侧的壳体的底面侧观察图3所示的窄带化模块的壳体的内部空间的图。

图5是从与棱镜的侧面垂直的方向观察棱镜被固定单元固定于载置部的主体部的状况的图。

图6是沿着棱镜的侧面从盖体部侧朝向壳体的底面侧观察图5所示的A-A线处的截面的图。

图7是示出包围图5所示的固定单元的实施方式1的遮光部件的图。

图8是沿着棱镜的侧面从盖体部侧朝向壳体的底面侧观察图7所示的B-B线处的截面的图。

图9是示出包围图5所示的固定单元的实施方式1的变形例的遮光部件的图。

图10是实施方式1的变形例的窄带化模块的放大图。

图11是示出包围图5所示的固定单元的实施方式2的遮光部件的图。

图12是沿着棱镜的侧面从盖体部侧朝向壳体的底面侧观察图11所示的C-C线处的截面的图。

具体实施方式

1.电子器件的曝光工序中使用的电子器件制造装置的说明

2.比较例的气体激光装置的说明

2.1 结构

2.2 动作

2.3 课题

3.实施方式1的窄带化模块的说明

3.1结构

3.2作用/效果

4.实施方式2的窄带化模块的说明

4.1结构

4.2作用/效果

下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。

以下说明的实施方式示出本公开的几个例子，不限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。

1.电子器件的曝光工序中使用的电子器件制造装置的说明

图1是示出电子器件的曝光工序中使用的电子器件制造装置的整体的概略结构例的示意图。如图1所示，曝光工序中使用的制造装置包含气体激光装置100和曝光装置200。曝光装置200包含照明光学系统210和投影光学系统220，该照明光学系统210包含多个镜211、212、213。照明光学系统210利用从气体激光装置100入射的激光对掩模版台RT的掩模版图案进行照明。投影光学系统220对透过掩模版后的激光进行缩小投影，使其在被配置于工件台WT上的未图示的工件上成像。工件是被涂布了光致抗蚀剂的半导体晶片等感光基板。曝光装置200使掩模版台RT和工件台WT同步地平行移动，由此在工件上曝光反映了掩模版图案的激光。通过以上这种曝光工序在半导体晶片上转印器件图案，由此能够制造作为电子器件的半导体器件。

2.比较例的气体激光装置的说明

2.1结构

对比较例的气体激光装置100进行说明。另外，本公开的比较例是申请人认识到仅申请人知道的方式，不是申请人自己承认的公知例。

图2是示出本例的气体激光装置100的整体的概略结构例的示意图。如图2所示，本例的气体激光装置100包含壳体10、激光振荡器LO、波长计测模块20和处理器70作为主要结构。本例的气体激光装置100例如是使用包含氩(Ar)、氟(F₂)和氖(Ne)的混合气体的ArF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100出射中心波长大约为193nm的脉冲激光。另外，气体激光装置100也可以是ArF准分子激光装置以外的气体激光装置，例如也可以是使用包含氪(Kr)、氟(F₂)和氖(Ne)的混合气体的KrF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100出射中心波长大约为248nm的脉冲激光。作为激光介质的包含Ar、F₂和Ne的混合气体、作为激光介质的包含Kr、F₂和Ne的混合气体有时被称为激光气体。

本公开的处理器70是包含存储有控制程序的存储装置和执行控制程序的CPU的处理装置。处理器70被特别地构成或编程以执行本公开中包含的各种处理。处理器70对气体激光装置100的若干个结构进行控制。此外，处理器70对气体激光装置100整体进行控制。

激光振荡器LO包含腔装置CH、充电器BC、窄带化模块60和输出耦合镜OC作为主要结构。

腔装置CH具有壳体30、一对窗口31a、31b、一对电极32a、32b、绝缘部33、脉冲功率模块35、电极保持架部36、横流风扇38和马达38M作为主要结构。

窗口31a和窗口31b被设置于壳体30中的相互对置的位置。窗口31a位于壳体30中的激光的行进方向上的一端侧，窗口31b位于壳体30中的激光的行进方向上的另一端侧。如后所述，在气体激光装置100中，光在包含壳体30的光路上振荡而出射激光，因此，在壳体30的内部空间中产生的激光经由窗口31a和窗口31b向壳体30的外部出射。各个窗口31a、31b以相对于激光的行进方向成布儒斯特角的方式倾斜，以抑制激光的P偏振光的反射。窗口31a可以被嵌入壳体30的孔中，也可以被筒状的保持架保持。在窗口31a被保持架保持的情况下，保持架的一端与壳体30的壁面连接，保持架的中空部与壳体30的孔连通，以与中空部对置的方式在保持架的另一端面配置有窗口31a。窗口31b与窗口31a同样，可以被嵌入孔中，也可以被筒状的保持架保持。

壳体30包含通过上述的激光气体的激励而产生光的内部空间。激光气体从被配置于壳体10的未图示的激光气体供给源经由未图示的配管被供给到壳体30的内部空间。在本例中，气体激光装置100是ArF准分子激光装置，因此，例如包含Ar、F₂和Ne的混合气体从激光气体供给源被供给到壳体30的内部空间。另外，在气体激光装置100是KrF准分子激光器的情况下，例如包含Kr、F₂和Ne的混合气体从激光气体供给源被供给到壳体30的内部空间。通过激光气体的激励而产生的上述的光向窗口31a、31b行进。

一对电极32a、32b的长度方向沿着激光的行进方向，一对电极32a、32b在壳体30的内部空间中相互对置地被配置。壳体30中的电极32a与电极32b之间的空间介于窗口31a和窗口31b之间。各个电极32a、32b是用于通过辉光放电来激励激光介质的放电电极。在本例中，电极32a是阴极，电极32b是阳极。

在壳体30形成有开口，该开口被包含绝缘体而形成的绝缘部33堵住。电极32a被绝缘部33支承。在绝缘部33嵌入有由导电部件构成的馈通孔34。馈通孔34将从脉冲功率模块35供给的电压施加给电极32a。电极32b被电极保持架部36支承，与电极保持架部36电连接。该电极保持架部36经由未图示的布线而与壳体30电连接。

在脉冲功率模块35连接有被配置于壳体30的外部的充电器BC。充电器BC是以规定的电压对被设置于脉冲功率模块35中的未图示的电容器进行充电的直流电源装置。脉冲功率模块35包含由处理器70控制的开关。当开关从断开变成接通时，脉冲功率模块35使从充电器BC施加的电压升压，生成脉冲状的高电压，将该高电压施加给一对电极32a、32b。

在以电极保持架部36为基准而与电极32b侧相反的一侧的壳体30的内部空间配置有横流风扇38。壳体30的内部空间中的配置有横流风扇38的空间与壳体30的内部空间中的一对电极32a、32b之间的空间连通。因此，横流风扇38旋转，由此，被封入壳体30的内部空间内的激光气体沿规定的方向循环。在横流风扇38连接有被配置于壳体30的外部的马达38M。该马达38M旋转，由此，横流风扇38旋转。通过处理器70的控制对马达38M进行开启、关闭、转速的调节。因此，处理器70通过控制马达38M，能够对在壳体30的内部空间中循环的激光气体的循环速度进行调节。

另外，在横流风扇38的旁边配置有未图示的热交换器。通过横流风扇38而循环的激光气体的至少一部分通过该热交换器，通过热交换器调节激光气体的温度。

在壳体30中的设置有窗口31a的上述一端侧连接有光路管51。输出耦合镜OC被设置于以壳体30为基准的上述一端侧，被配置于光路管51的内部空间。输出耦合镜OC是供从窗口31a出射的激光入射的光学元件，使从窗口31a出射的光中的一部分透过，使另一部分反射而经由窗口31a返回到壳体30的内部空间。输出耦合镜OC例如由在氟化钙的基板形成有电介质多层膜而成的元件构成。也可以在输出耦合镜OC的表面形成有使激光进行部分反射的膜。

在壳体30中的设置有窗口31b的上述另一端侧连接有光路管52。窄带化模块60与光路管52连接。因此，窄带化模块60以壳体30为基准而被设置于上述另一端侧，以壳体30为基准而被设置于与输出耦合镜OC相反的一侧。窄带化模块60包含壳体61、光栅62和棱镜63、64、65、66。

图3是图2所示的窄带化模块60的放大图。此外，图4是从壳体61的盖体部61L侧朝向与盖体部61L相反的一侧的壳体61的底面侧观察图3所示的壳体61的内部空间的图。从盖体部61L侧朝向底面侧的方向是从电极32a朝向电极32b的方向。壳体61包含主体部61M和堵住主体部61M的上方的盖体部61L。在主体部61M的侧面形成有开口61H，壳体61的内部空间和光路管52的内部空间通过该开口61H连通。

光栅62和棱镜63、64、65、66被配置于壳体61的内部空间。光栅62和棱镜63、64、65、66是供从窗口31b出射的激光入射的光学元件。光栅62被进行利特罗配置，以使激光的入射角度和衍射角度大致一致。在本例中，光栅62可以是针对大约193.4nm的波长闪耀的阶梯光栅。另外，光栅62被固定于载置部62D，载置部62D被固定于壳体61。因此，光栅62相对于壳体61不动。

本例的棱镜63、64、65、66呈三棱柱状的形状，具体而言，呈底面为直角三角形的形状的直角三棱柱状的形状。棱镜63包含一对底面63B、63T、以及与底面63B、63T垂直的侧面63H、63X、63Y。侧面63H是包含底面63B、63T的斜边的侧面，侧面63X、63Y是彼此垂直的侧面。棱镜64包含一对底面64B、64T、以及与底面64B、64T垂直的侧面64H、64X、64Y。侧面64H是包含底面64B、64T的斜边的侧面，侧面64X、64Y是彼此垂直的侧面。棱镜65包含一对底面65B、65T、以及与底面65B、65T垂直的侧面65H、65X、65Y。侧面65H是包含底面65B、65T的斜边的侧面，侧面65X、65Y是彼此垂直的侧面。棱镜66包含一对底面66B、66T、以及与底面66B、66T垂直的侧面66H、66X、66Y。侧面66H是包含底面66B、66T的斜边的侧面，侧面66X、66Y是彼此垂直的侧面。在侧面63H、64H、65H、66H形成膜，以抑制从棱镜的外部向这些侧面行进的激光的P偏振光的反射。此外，在侧面63X、64X、65X、66X和侧面63Y、64Y、65Y、66Y形成膜，以抑制从棱镜的外部向这些侧面行进的激光的反射。这些膜可以是包含SiO₂、MgF₂、LaF₃和GdF₃中的至少一方的膜。特别地，膜的材料优选使用耐受紫外线的氟化物类的材料。此外，膜的材料优选使用与棱镜63、64、65、66的材料相同类的材料。

各个棱镜63、64、65、66例如由氟化钙构成。棱镜63、64、65、66包含供光入射的入射侧面和供入射的光出射的出射侧面，对从入射侧面入射的光进行波长色散而使其从出射侧面出射。在本例中，从腔装置CH侧传播的光从各个棱镜63、64、65、66的侧面63H、64H、65H、66H入射。此外，从侧面63H、64H、65H、66H入射的光从各个棱镜63、64、65、66的侧面63X、64X、65X、66X出射。因此，针对从腔装置CH侧入射的光，侧面63H、64H、65H、66H成为入射侧面，侧面63X、64X、65X、66X成为出射侧面。相反，从光栅62侧传播的光从各个棱镜66、65、64、63的侧面66X、65X、64X、63X入射。此外，从侧面66X、65X、64X、63X入射的光从各个棱镜66、65、64、63的侧面66H、65H、64H、63H出射。因此，针对从光栅62侧传播的光，侧面66X、65X、64X、63X成为入射侧面，侧面66H、65H、64H、63H成为出射侧面。

在本例中，如图3所示，棱镜63以一个底面63B朝向载置部63D侧的状态被固定于载置部63D。棱镜64以一个底面64B朝向载置部64D侧的状态被固定于载置部64D。棱镜66以一个底面66B朝向载置部66D侧的状态被固定于载置部66D。载置部63D、64D、66D固定于壳体61。因此，棱镜63、64、66相对于壳体61和光栅62不动。另一方面，棱镜65被固定于载置部65D。载置部65D以与从棱镜65出射的光的色散平面垂直的轴为中心使棱镜65稍微旋转。载置部65D的详细情况在后面叙述。另外，棱镜63的底面63T成为以棱镜63为基准而与被载置于载置部63D的一个底面63B相反的一侧的另一个面。棱镜64的底面64T成为以棱镜64为基准而与被载置于载置部64D的一个底面64B相反的一侧的另一个面。棱镜65的底面65T成为以棱镜65为基准而与被载置于载置部65D的一个底面65B相反的一侧的另一个面。棱镜66的底面66T成为以棱镜66为基准而与被载置于载置部66D的一个底面66B相反的一侧的另一个面。

棱镜65稍微旋转而使朝向变化，由此，从棱镜65出射的光的朝向变化，入射到光栅62的光的入射角度被调节。通过调节入射到光栅62的光的入射角度，在光栅62处反射而入射到腔装置CH的光的波长被调节。因此，从壳体30的窗口31b出射的光经由棱镜63、64、65、66在光栅62处反射，由此，入射到壳体30的光的波长被调节成期望的波长。另外，被配置于窄带化模块60的棱镜的数量在本例中为4个，但是，包含至少1个棱镜65那样旋转的棱镜即可，被配置于窄带化模块60的棱镜的数量可以是3个以下，也可以是5个以上。

返回图2，继续说明本例的气体激光装置100。利用隔着壳体30设置的输出耦合镜OC和光栅62构成激光谐振器，壳体30被配置于该激光谐振器的光路上。因此，来自壳体30的内部空间的光经由窗口31a、31b和棱镜63、64、65、66在窄带化模块60的光栅62与输出耦合镜OC之间往复。往复的光每当通过电极32a与电极32b之间的激光增益空间时被放大。被放大的光的一部分经由窗口31a透过输出耦合镜OC，作为脉冲激光而出射。

波长计测模块20被配置于从激光振荡器LO的输出耦合镜OC出射的脉冲激光的光路上。波长计测模块20包含壳体21、分束器22和波长监视器23。壳体21与光路管51连接。在壳体21形成有开口，壳体21的内部空间和光路管51的内部空间通过该开口连通。在壳体21的内部空间配置有分束器22和波长监视器23。分束器22和波长监视器23是供从输出耦合镜OC出射的脉冲激光入射的光学元件。

分束器22使从激光振荡器LO出射的脉冲激光以高透射率透过，并且使脉冲激光的一部分朝向波长监视器23的受光面反射。波长监视器23检测入射到受光面的脉冲激光的波长，将检测到的波长的数据输出到处理器70。波长监视器23具有标准具等分光器和图像传感器，利用图像传感器等检测由标准具生成的干涉条纹。

在波长计测模块20的壳体21中的与连接有光路管51的一侧相反的一侧形成有开口，以包围该开口的方式连接有光路管53。因此，光路管51的内部空间、壳体21的内部空间和光路管53的内部空间相互连通。光路管53与壳体10连接。在壳体10中的被光路管53包围的位置设置有激光出射窗口OW。因此，透过波长计测模块20的分束器22的光经由光路管53从激光出射窗口OW向壳体10的外部出射。

在光路管51、52、53、壳体21、61的内部空间填充有吹扫气体。在吹扫气体中包含氧等杂质较少的高纯度氮等非活性气体。吹扫气体从被配置于壳体10的外部的未图示的吹扫气体供给源通过未图示的配管被供给到光路管51、52、53、壳体21、61的内部空间。

另外，在壳体10的内部空间配置有用于对从腔装置CH的壳体30的内部空间排放的激光气体进行排放的未图示的排气装置。排气装置对从壳体30的内部空间排放的气体进行通过卤素过滤器去除F₂气体的处理，向壳体10放出气体。

接着，对在载置部65D固定棱镜65的固定单元300进行说明。

图5是从与棱镜65的侧面65H垂直的方向观察棱镜65被固定单元300固定于载置部65D的主体部81的状况的图。图6是沿着棱镜65的侧面从盖体部61L侧朝向壳体61的底面侧观察图5所示的A-A线处的截面的图。另外，在图3和图4中，为了图示的清晰化，省略固定单元300的记载。如图5和图6所示，主体部81是板状的部件，主面的形状是大致长方形。主体部81的一个主面是被固定有棱镜65的固定面81F。

固定单元300被配置于壳体61的内部空间。固定单元300包含一对柱部件301a、301b、梁部件303、板部件305、作为螺旋弹簧的一对按压部件307a、307b。此外，固定单元300还包含一对固定部件309a、309b，这一对固定部件309a、309b是螺栓，一对按压部件307a、307b分别卷绕于一对固定部件309a、309b的轴部。

柱部件301a、301b被固定于固定面81F。此外，柱部件301a、301b沿着与固定面81F正交的方向延伸到比棱镜65的底面65T高的位置。因此，柱部件301a、301b向以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧延伸。柱部件301a、301b被配置成彼此隔着棱镜65。柱部件301a、301b被配置于从入射到棱镜65的入射侧面的光的行进路径和从棱镜65的出射侧面出射的光的行进路径偏移的位置，被配置成避开该光，以不妨碍该光的行进。具体而言，柱部件301a、301b被配置于棱镜65的入射侧面和出射侧面各自的光行进的区域的外侧。柱部件301a、301b为圆柱状的形状，但是，柱部件301a、301b的形状没有特别限定。

梁部件303在柱部件301a、301b中的以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的端部被架设于柱部件301a和柱部件301b。梁部件303的一端被固定于柱部件301a的端部，梁部件303的另一端被固定于柱部件301b的端部。在与固定面81F正交的方向上，柱部件301a、301b比棱镜65长，因此，梁部件303位于比底面65T靠上方的位置。梁部件303与固定面81F大致平行。梁部件303的主面的形状是大致长方形。在图6中，梁部件303用虚线表示。

板部件305被配置于棱镜65的底面65T。此外，板部件305呈三棱柱状的形状。板部件305的主面是与底面65T相同的形状，板部件305的主面的面积比底面65T的面积小。

固定部件309a、309b贯通梁部件303，各自的端部与板部件305抵接。

按压部件307a、307b以使按压部件307a、307b的中心轴线与固定部件309a、309b的中心轴线同轴的方式卷绕于固定部件309a、309b的轴部。此外，按压部件307a、307b能够在按压部件307a、307b的长度方向上伸缩。按压部件307a、307b被配置于板部件305与梁部件303之间。按压部件307a、307b以梁部件303侧的按压部件307a、307b的端部为基准朝向板部件305伸长，朝向棱镜65按压板部件305。

在固定部件309a、309b和按压部件307a、307b与被载置于棱镜65的底面65T的板部件305接触的状态下，棱镜65的底面65B与固定面81F接触。通过按压部件307a、307b的弹力，板部件305朝向主体部81的固定面81F按压棱镜65。因此，棱镜65在被板部件305和按压部件307a、307b按压于固定面81F的状态下，被固定单元300的板部件305和载置部65D的主体部81夹持。由此，棱镜65的沿着固定面81F的面内方向的移动被限制，被固定于主体部81。

上述的固定单元300还被配置成，将棱镜63、64、66分别固定于载置部63D、64D、66D。固定单元300相对于棱镜63、64、66和载置部63D、64D、66D的配置与固定单元300相对于棱镜65和载置部65D的主体部81的配置相同，因此省略详细说明。此外，为了图示的清晰化，在图3和图4中，省略针对棱镜63、64、66和载置部63D、64D、66D的固定单元300的记载。

接着，对载置部65D进行说明。载置部65D包含作为台的主体部81和旋转机构部82。主体部81被固定于旋转机构部82。本例的旋转机构部82包含固定板82a和旋转台82b。主体部81被固定于旋转台82b。固定板82a被固定于壳体61的主体部61M。旋转台82b是圆形的板状的部件，是在固定板82a的主面的面内方向上以规定的轴为中心进行旋转的部件。固定板82a和旋转台82b例如经由交叉滚子轴承连接。该固定板82a的主面的面内方向与棱镜65的底面65B平行。因此，旋转台82b的旋转轴RA5与从棱镜65出射的光的色散平面垂直。当旋转台82b旋转时，被固定于旋转台82b的主体部81、被固定于主体部81的棱镜65和固定单元300与旋转台82b一起，以与从棱镜65出射的光的色散平面垂直的旋转轴RA5为中心进行旋转。

如图4所示，固定板82a从壳体61的内侧向外侧突出。在固定板82a中的壳体61的外侧的部位设置有壳体87。壳体87内和壳体61内在空间上连接，确保气密性。在固定板82a中的壳体61的外侧的部位固定有步进马达84。该步进马达84包含规定的轴部，轴部的一个前端位于壳体87内。该轴部通过步进马达84的动作而沿着长度方向移动。

压电致动器85以能够移动的方式被配置于壳体87。压电致动器85与步进马达84的轴部的一个前端接触。因此，步进马达84的轴部移动，由此，压电致动器85移动。

在旋转台82b连接有杆86。杆86从壳体61的内侧向外侧突出，杆86的与旋转台82b侧相反的一侧的端部位于壳体87内。压电致动器85与杆86接触。因此，压电致动器85被步进马达84的轴部和杆86夹着，当压电致动器85进行动作时，通过压电效应，步进马达84的轴部的前端与杆86之间的距离变化。此外，杆86的跟与压电致动器85接触的一侧相反的一侧与柱塞89接触。柱塞89被固定于壳体87，按压杆86。因此，杆86被压电致动器85和柱塞89夹着，被压电致动器85和柱塞89按压。杆86的倾斜根据由于步进马达84的动作而引起的压电致动器85的移动、由于压电致动器85的动作而引起的从步进马达84的轴部的前端到杆86为止的距离的变化而变化。旋转台82b根据该杆86的倾斜的变化而旋转。因此，在本例中，步进马达84和压电致动器85是使旋转台82b旋转的驱动部。由于压电致动器85的动作而引起的杆86的倾斜的变化比由于步进马达84的动作而引起的杆86的倾斜的变化小。即，步进马达84是粗动用的驱动部，压电致动器85是微动用的驱动部。因此，通过步进马达84的动作对光路进行粗调节，通过压电致动器85的动作对光路进行微调节。

在步进马达84和压电致动器85电连接有驱动器72。驱动器72与处理器70电连接，处理器70与曝光装置200和波长监视器23电连接。与气体激光装置100应该出射的光的波长有关的信号从曝光装置200输入到处理器70。此外，基于波长监视器23接收的激光的能量强度的信号从波长监视器23输入到处理器70。处理器70在被输入这些信号时，根据这些信号向驱动器72输出使驱动器72驱动的信号，驱动器72在被输入来自处理器70的信号时，使步进马达84和压电致动器85驱动。

2.2动作

接着，对比较例的气体激光装置100的动作进行说明。

在气体激光装置100出射激光之前的状态下，从未图示的吹扫气体供给源向光路管51、52、53的内部空间、壳体21、61的内部空间填充吹扫气体。此外，从未图示的激光气体供给源向壳体30的内部空间供给激光气体。当供给激光气体时，处理器70控制马达38M，使横流风扇38旋转，通过横流风扇38的旋转，激光气体被循环。

在气体激光装置100出射激光时，处理器70对充电器BC和脉冲功率模块35内的开关进行控制，对电极32a与电极32b之间施加高电压。在对电极32a、32b之间施加高电压时，电极32a、32b之间的绝缘被破坏而产生放电。通过该放电的能量，电极32a、32b之间的激光气体中包含的激光介质成为激励状态，在返回到基态时发射自然发射光。该光的一部分是紫外线，透过窗口31b。透过的光每当透过棱镜63、64、65、66时在光的行进方向上被扩大。此外，光每当透过各个棱镜63、64、65、66时进行波长色散并被引导至光栅62。光以规定的角度入射到光栅62进行衍射，规定波长的光以与入射角度相同的反射角度在光栅62处反射。在光栅62处反射后的光经由各个棱镜66、65、64、63再次从窗口31b向壳体30的内部空间传播。向壳体30的内部空间传播的光被窄带化。通过该被窄带化的光，激励状态的激光介质产生受激发射，光被放大。光透过窗口31a，向输出耦合镜OC行进。光的一部分透过输出耦合镜OC，光的另外一部分被输出耦合镜OC反射而透过窗口31a向壳体30的内部空间传播。向壳体30的内部空间传播的光如上所述透过窗口31b和棱镜63、64、65、66向光栅62行进。这样，规定的波长的光在光栅62与输出耦合镜OC之间往复。光每当通过壳体30的内部空间中的放电空间时被放大，产生激光振荡。然后，激光的一部分透过输出耦合镜OC，从激光出射窗口OW出射。

另外，透过输出耦合镜OC后的激光中的一部分在分束器22反射。反射后的激光被波长监视器23接收，波长监视器23将基于接收到的激光的能量强度的信号输出到处理器70。此外，从曝光装置200向处理器70输入与光的波长有关的信号。因此，处理器70根据从波长监视器23输入的信号和从曝光装置200输入的信号对驱动器72进行控制。由此，驱动器72使步进马达84和压电致动器85驱动。通过步进马达84和压电致动器85的驱动，杆86的倾斜变化，旋转台82b旋转。该旋转的角度例如为±2.5度的范围。旋转台82b旋转，由此，被固定于旋转台82b的主体部81和被固定于主体部81的棱镜65与旋转台82b一起旋转，棱镜65的朝向变化。

棱镜65的朝向变化，由此，在光栅62处反射而返回到腔装置CH的壳体30内的光的波长被调节。即，处理器70根据来自波长监视器23的信号和来自曝光装置200的信号对棱镜65的旋转角度进行调节，进行反馈控制，以使从气体激光装置100出射的光的波长成为曝光装置200要求的波长。

2.3课题

在比较例的气体激光装置100中，在光例如透过棱镜63、64、65、66时，有时由于棱镜63、64、65、66的入射侧面中的光的一部分的非预期的反射而产生散射光。散射光有时在壳体61的内周面反射，例如对固定棱镜65的固定单元300进行照射。或者，来自棱镜64、66的散射光有时直接对固定棱镜65的固定单元300进行照射。这里，对固定棱镜65的固定单元300进行了说明，但是，在固定棱镜63、64、66的固定单元300中，有时来自其他棱镜的散射光也对该固定单元300进行照射。在散射光对固定单元300进行照射时，固定单元300发热而热膨胀。该情况下，固定单元300由于热膨胀而变形，棱镜65有时由于固定单元300的变形而倾斜。这种情况下，从气体激光装置100出射的光的行进方向可能经时地变化。

因此，在以下的实施方式中，例示了如下的气体激光装置100：通过抑制散射光对固定单元300的照射，能够抑制从气体激光装置100出射的光的行进方向的经时变化。

在以下的实施方式中，使用固定棱镜65的固定单元300进行说明，但是，关于固定棱镜63、64、66的固定单元300，也能够得到与使用固定棱镜65的固定单元300进行说明的情况相同的作用/效果。

3.实施方式1的窄带化模块的说明

接着，对实施方式1的窄带化模块60进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。

3.1结构

图7是示出包围图5所示的固定单元300的实施方式1的遮光部件400的图。如图7所示，窄带化模块60与比较例的窄带化模块60的不同之处在于，还包含遮光部件400，该遮光部件400对向固定棱镜65的固定单元300行进的散射光进行遮光。遮光部件400包围固定单元300，在图7中，利用虚线示出固定单元300中的被遮光部件400包围的部分。

遮光部件400被配置于壳体61的内部空间。遮光部件400是一个端部被堵住的筒状的部件。因此，遮光部件400包含被固定于盖体部61L的上壁401、以及从上壁401的周缘朝向主体部81延伸且与上壁401一体的侧壁403。这种遮光部件400在与上壁401相反的一侧的底面开口。

遮光部件400的上壁401在与壳体61的盖体部61L抵接的状态下被作为螺栓的固定部件420固定于盖体部61L，遮光部件400从盖体部61L朝向主体部81悬吊。在这种遮光部件400中，侧壁403从盖体部61L至少延伸到比固定部件309a、309b的头部靠固定面81F侧。此外，优选侧壁403延伸到与底面65T相同的高度位置。因此，遮光部件400的侧壁403遍及整周地包围固定单元300中的位于以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的部分。该部分是包含位于以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的柱部件301a、301b的一部分、梁部件303、板部件305、按压部件307a、307b、固定部件309a、309b在内的固定单元300的一部分。因此，位于比底面65T靠底面65B侧的柱部件301a、301b的另外一部分和棱镜65的侧面65H、65X、65Y未被遮光部件400包围而露出。侧壁403在上述部分与壳体61的内周面之间位于比内周面靠上述部分侧的位置。在上述这种遮光部件400中，散射光在到达固定单元300的一部分之前对遮光部件400的侧壁403进行照射，因此，在散射光到达固定单元300的一部分之前，遮光部件400对散射光进行遮光。

遮光部件400例如由不锈钢、铝或铜等热传导性高的金属形成。遮光部件400将从对遮光部件400进行照射的散射光产生的热传导至盖体部61L。

图8是沿着棱镜65的侧面从盖体部61L侧朝向壳体61的底面侧观察图7所示的B-B线处的截面的图。在图8中，与图6同样，梁部件303用虚线表示。侧壁403的外形和上壁401例如为梯形的形状，但是，它们的形状没有特别限定。此外，侧壁403的外形和上壁401比主体部81、棱镜65和固定单元300大。由此，即使棱镜65和固定单元300经由主体部81而通过旋转机构部82旋转，也抑制侧壁403与棱镜65、主体部81和固定单元300接触。

3.2作用/效果

在本实施方式的窄带化模块60中，遮光部件400在散射光到达固定单元300的一部分之前对向固定单元300行进的散射光进行遮光。

当遮光部件400对散射光进行遮光时，散射光对固定单元300的照射被抑制，由于散射光而引起的固定单元300的热膨胀被抑制。当热膨胀被抑制时，固定单元300的变形被抑制，由于该变形而引起的棱镜65的倾斜被抑制。由此，能够抑制从气体激光装置100出射的光的行进方向的经时变化。

散射光不仅在与向棱镜63、64、65、66的入射侧面行进的光相同的高度位置处行进，还朝向比该位置低的位置或比该位置高的位置行进。此外，在光从棱镜63、64、65、66的出射侧面出射时，也从该出射面产生散射光。此外，在于棱镜63、64、65、66的内部行进的光中，光的一部分有时被出射侧面朝向侧面63Y、64Y、65Y、66Y反射。在光向侧面63Y、64Y、65Y、66Y行进而从这些侧面出射时，有时产生散射光。上述这种散射光从各个方向向固定单元300行进。本实施方式的遮光部件400包围固定单元300，因此，能够对从各个方向向固定单元300行进的散射光进行遮光。此外，本实施方式的遮光部件400包围多个固定单元300中的、散射光照射最多的固定单元300，与包围其他固定单元300的情况相比，能够抑制从气体激光装置100出射的光的行进方向的经时变化。

此外，在本实施方式的窄带化模块60中，遮光部件400包围固定单元300中的位于以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的部分。该部分包含位于以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的柱部件301a、301b的一部分、梁部件303、板部件305、按压部件307a、307b和固定部件309a、309b。由此，遮光部件400对向上述部分行进的散射光进行遮光，而不会妨碍入射到棱镜65的入射侧面的光和从棱镜65的出射侧面出射的光的行进。因此，不会妨碍该光的行进，抑制上述部分的变形，能够抑制由于该变形而引起的棱镜65的倾斜。

此外，在本实施方式的窄带化模块60中，遮光部件400被固定于壳体61。由此，即使遮光部件400由于对遮光部件400进行照射的散射光而发热，热也从遮光部件400被传递到壳体61。当热被传递到壳体61时，固定单元300所在的遮光部件400的内部空间的温度上升被抑制，能够抑制由于该温度上升而引起的固定单元300的热膨胀。

此外，在本实施方式的窄带化模块60中，遮光部件400是金属。由此，热能够容易地从遮光部件400传递到壳体61。

此外，在本实施方式的窄带化模块60中，金属是不锈钢、铝或铜。由此，与上述以外的金属相比，热能够更加容易地从遮光部件400传递到壳体61。

此外，在本实施方式的窄带化模块60中，也可以在铝上配置吸收与散射光相同波长的光的至少一部分的镍镀层。

本实施方式的包含主体部81的载置部65D的体积比固定单元300的各部件的体积的合计大，载置部65D的热容量比固定单元300的热容量大。因此，即使散射光对载置部65D进行照射，载置部65D也比固定单元300更难热膨胀，比固定单元300更难变形。载置部65D很难变形，因此，能够抑制由于该变形而引起的棱镜65的倾斜。

本实施方式的遮光部件400通过侧壁403遍及整周地包围固定单元300中的位于以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的部分，但是，不需要限于此。图9是示出包围图5所示的固定单元300的实施方式1的变形例的遮光部件400的图。光不是从棱镜65的作为入射侧面的例如侧面65H整体入射到棱镜65，而是从入射侧面中的一部分区域入射。将该区域称为入射区域65e，在图9中标注阴影。此外，光不是从棱镜65的出射侧面整体向棱镜65的外部出射，而是从出射侧面中的一部分区域出射。将该区域称为出射区域。在入射侧面是侧面65H的情况下，出射侧面成为侧面65X，出射区域成为侧面65X的一部分。入射区域65e和出射区域彼此隔着棱镜65相面对地配置，在棱镜65的高度方向上位于大致相同的位置。遮光部件400的侧壁403也可以包围固定单元300中的位于以该入射区域65e的上缘65f和出射区域的上缘为基准而与入射区域65e的下缘65g和出射区域的下缘相反的一侧的部分。各个上缘位于比棱镜65的底面65T靠底面65B侧的位置。此外，该部分是包含位于以各个上缘为基准而与下缘相反的一侧的柱部件301a、301b的一部分、梁部件303、板部件305、按压部件307a、307b和固定部件309a、309b在内的固定单元300的一部分。在图9中，利用虚线示出棱镜65和固定单元300中的被遮光部件400包围的部分。由此，与包围固定单元300中的位于以底面65T为基准而与底面65B相反的一侧的部分的情况相比，遮光部件400对更多的散射光进行遮光，而不会妨碍入射到棱镜65的入射区域65e的光和从棱镜65的出射区域出射的光的行进。因此，能够进一步抑制由于散射光而引起的固定单元300的热膨胀，能够进一步抑制固定单元300的变形。

遮光部件400遍及整周地包围固定单元300，但是，也可以包围固定单元300的至少一部分。因此，例如，也可以在遮光部件400的一部分设置切口，遮光部件400包围固定单元300的绕中心轴线方向上的一部分，不包围另外一部分。该情况下，在遮光部件400的横截面中，连接遮光部件400的绕中心轴线方向上的遮光部件400的两端的直线穿过固定单元300的中心轴线。或者，在遮光部件400的横截面中，连接遮光部件400的两端的直线穿过固定单元300中的比固定单元300的中心轴线靠外侧的位置。这样，遮光部件400仅包围固定单元300的一部分，也能够对散射光进行遮光。

在本实施方式的窄带化模块60中，遮光部件400包围固定棱镜65的固定单元300，但是，不需要限于此。例如，遮光部件400也可以单独地包围对棱镜65以外的其他棱镜63、64、66中的任意一方进行固定的固定单元300。或者，如图10所示，遮光部件400也可以配置与分别单独地固定棱镜63、64、65、66的固定单元300相同的数量，该棱镜63、64、65、66被配置于窄带化模块60的壳体61的内部空间中，遮光部件400分别单独地包围分别固定棱镜63、64、65、66的固定单元300。在图10中，与图3同样，省略固定单元300的记载。此外，在图10中，为了易于观察，仅对1个固定部件420标注标号，省略其他固定部件420的标号。或者，1个遮光部件也可以统一地包围分别固定棱镜63、64、65、66的固定单元300。或者，1个遮光部件也可以统一地包围分别固定棱镜63、64、65、66中的相邻的棱镜的固定单元300。

4.实施方式2的窄带化模块的说明

接着，对实施方式2的窄带化模块60进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。

4.1结构

图11是示出包围图5所示的固定单元300的实施方式2的遮光部件400的图。在图11中，利用虚线示出固定单元300中的被遮光部件400包围的部分。如图11所示，本实施方式的窄带化模块60与实施方式1的窄带化模块60的不同之处在于，遮光部件400还包围柱部件301a、301b中的比底面65T靠底面65B侧的部分。

遮光部件400的侧壁403包含从底面65T侧朝向底面65B侧延伸的一对延伸部405。延伸部405遍及柱部件301a、301b的大致全长地被配置。为了在主体部81通过旋转机构部82进行旋转的情况下抑制延伸部405和固定面81F接触，延伸部405的端部被配置成从固定面81F微小地离开。

图12是沿着棱镜65的侧面从盖体部61L侧朝向壳体61的底面侧观察图11的C-C线处的截面的图。如图12所示，延伸部405例如为C字形状，但是，形状没有特别限定。包围柱部件301a的一个延伸部405包围柱部件301a的外周面中的隔着棱镜65而与柱部件301b的外周面相面对的外周面以外的外周面。因此，延伸部405被配置于以柱部件301a为基准而与位于连接柱部件301a和柱部件301b的线上的棱镜65的一部分相反的一侧，包围柱部件301a的外周面中的以柱部件301a为基准而与棱镜65相反的一侧的外周面。此外，在从延伸部405侧经由柱部件301a和棱镜65观察柱部件301b侧的情况下，柱部件301a被延伸部405覆盖而被隐藏。延伸部405被配置成从柱部件301a离开，以使得在如上所述通过旋转机构部82经由主体部81使柱部件301a旋转的情况下，柱部件301a不与延伸部405接触。在延伸部405的横截面中，连接遮光部件400的两端的直线穿过柱部件301a中的比柱部件301a的中心轴线靠棱镜65侧的位置。这里，使用柱部件301a侧的延伸部405进行了说明，但是，柱部件301b侧的延伸部405也同样。

4.2作用/效果

在本实施方式的窄带化模块60中，遮光部件400的延伸部405包围柱部件301a、301b中的比底面65T靠底面65B侧的部分。由此，延伸部405对向该部分行进的散射光进行遮光。当延伸部405对散射光进行遮光时，能够进一步抑制由于散射光而引起的柱部件301a、301b的热膨胀，能够进一步抑制柱部件301a、301b的变形。

另外，在延伸部405的横截面中，连接延伸部405的两端的直线也可以穿过柱部件301a的中心轴线。或者，延伸部405也可以遍及整周地包围柱部件301a。这里，使用柱部件301a侧进行了说明，但是，柱部件301b侧也同样。

延伸部405也可以与固定面81F抵接。由此，即使延伸部405由于对延伸部405进行照射的散射光而发热，热也从延伸部405经由固定面81F被传递到载置部65D。因此，柱部件301a、301b所在的延伸部405的内侧的空间的温度上升被抑制，能够抑制由于该温度上升而引起的柱部件301a、301b的热膨胀。

本实施方式的遮光部件400不需要被固定于盖体部61L，也可以被固定于固定面81F。

上述说明不是限制，而是简单的例示。因此，本领域技术人员明白能够在不脱离权利要求书的情况下对本公开的实施方式施加变更。此外，本领域技术人员还明白组合使用本公开的实施方式。

只要没有明确记载，则本说明书和权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”或“所包含”这样的用语应该解释为“不限于记载为所包含的部分”。“具有”这样的用语应该解释为“不限于记载为所具有的部分”。此外，不定冠词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。此外，“A、B和C中的至少一个”这样的用语应该解释为“A”、“B”、“C”、“A+B”、“A+C”、“B+C”或“A+B+C”。进而，应该解释为还包含它们和“A”、“B”、“C”以外的部分的组合。

Claims (16)

1.一种窄带化模块，其具有：

壳体；

棱镜，其被配置于所述壳体的内部空间，光透过所述棱镜；

载置部，其被配置于所述内部空间，载置有所述棱镜；

固定单元，其被配置于所述内部空间，将所述棱镜固定于所述载置部；以及

遮光部件，其被配置于所述内部空间，对在所述内部空间中从所述光产生且向所述固定单元行进的散射光进行遮光。

2.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件包围所述固定单元的至少一部分。

3.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

所述固定单元包含：

一对柱部件，它们以在从如下行进路径偏移的位置处彼此隔着所述棱镜的方式被配置于所述载置部，延伸到比以所述棱镜为基准而与所述棱镜中的被配置于所述载置部的一个底面相反的一侧的另一个底面高的位置，所述行进路径为入射到所述棱镜的入射侧面的所述光的行进路径和从所述棱镜的出射侧面出射的所述光的行进路径；

梁部件，其在以所述另一个底面为基准而与所述一个底面侧相反的一侧被架设于所述一对柱部件；

板部件，其被配置于所述另一个底面；以及

按压部件，其被配置于所述梁部件与所述板部件之间，朝向所述棱镜按压所述板部件，

所述遮光部件包围所述固定单元中的位于以所述另一个底面为基准而与所述一个底面侧相反的一侧的部分。

4.根据权利要求3所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件还包围所述柱部件中的比所述另一个底面靠所述一个底面侧的部分。

5.根据权利要求4所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件包围所述柱部件中的以所述柱部件为基准而与所述棱镜相反的一侧的外周面。

6.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

所述固定单元包含：

一对柱部件，它们以在从如下行进路径偏移的位置处彼此隔着所述棱镜的方式被配置于所述载置部，延伸到比以所述棱镜为基准而与所述棱镜中的被配置于所述载置部的一个底面相反的一侧的另一个底面高的位置，所述行进路径为入射到所述棱镜的入射侧面的所述光的行进路径和从所述棱镜的出射侧面出射的所述光的行进路径；

梁部件，其在以所述另一个底面为基准而与所述一个底面侧相反的一侧被架设于所述一对柱部件；

板部件，其被配置于所述另一个底面；以及

按压部件，其被配置于所述梁部件与所述板部件之间，朝向所述棱镜按压所述板部件，

所述入射侧面和所述出射侧面包含供所述光行进的区域，

所述遮光部件包围所述固定单元中的位于以所述区域的上缘为基准而与所述区域的下缘侧相反的一侧的部分。

7.根据权利要求6所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件还包围所述柱部件中的比所述另一个底面靠所述一个底面侧的部分。

8.根据权利要求7所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件包围所述柱部件中的以所述柱部件为基准而与所述棱镜相反的一侧的外周面。

9.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件被固定于所述壳体。

10.根据权利要求9所述的窄带化模块，其中，

所述遮光部件是金属。

11.根据权利要求10所述的窄带化模块，其中，

所述金属包括不锈钢、铝或铜。

12.根据权利要求11所述的窄带化模块，其中，

在所述金属是所述铝的情况下，在所述遮光部件中的被照射所述散射光的部分配置有镍镀层。

13.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

所述窄带化模块还具有旋转机构部，所述旋转机构部以与从所述棱镜出射的所述光的色散平面垂直的轴为中心，使所述载置部与所述棱镜一起旋转。

14.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

所述棱镜、所述载置部、所述固定单元和所述遮光部件分别设置有多个，

各个所述遮光部件分别单独地包围所述固定单元。

15.一种气体激光装置，其具有窄带化模块，其中，

所述窄带化模块具有：

壳体；

棱镜，其被配置于所述壳体的内部空间，光透过所述棱镜；

载置部，其被配置于所述内部空间，载置有所述棱镜；

固定单元，其被配置于所述内部空间，将所述棱镜固定于所述载置部；以及

遮光部件，其被配置于所述内部空间，对在所述内部空间中从所述光产生且向所述固定单元行进的散射光进行遮光。

16.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：

使从具有窄带化模块的气体激光装置出射的激光入射到曝光装置，

在所述曝光装置内在感光基板上曝光所述激光，以制造电子器件，

所述窄带化模块具有：

壳体；

棱镜，其被配置于所述壳体的内部空间，光透过所述棱镜；

载置部，其被配置于所述内部空间，载置有所述棱镜；

固定单元，其被配置于所述内部空间，将所述棱镜固定于所述载置部；以及

遮光部件，其被配置于所述内部空间，对在所述内部空间中从所述光产生且向所述固定单元行进的散射光进行遮光。

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