[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

CN115180959A - 一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法 - Google Patents

一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法 Download PDF

Info

Publication number
CN115180959A
CN115180959A CN202210851536.9A CN202210851536A CN115180959A CN 115180959 A CN115180959 A CN 115180959A CN 202210851536 A CN202210851536 A CN 202210851536A CN 115180959 A CN115180959 A CN 115180959A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon nitride
ceramic substrate
gel system
environment
nitride ceramic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202210851536.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115180959B (zh
Inventor
马成良
高正霞
刘源
李祥
赵振威
陶梦雅
刘伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan Beixing Jinggong Technology Co ltd
Zhengzhou University
Original Assignee
Henan Beixing Jinggong Technology Co ltd
Zhengzhou University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan Beixing Jinggong Technology Co ltd, Zhengzhou University filed Critical Henan Beixing Jinggong Technology Co ltd
Priority to CN202210851536.9A priority Critical patent/CN115180959B/zh
Publication of CN115180959A publication Critical patent/CN115180959A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115180959B publication Critical patent/CN115180959B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B1/00—Producing shaped prefabricated articles from the material
    • B28B1/02—Producing shaped prefabricated articles from the material by turning or jiggering in moulds or moulding surfaces on rotatable supports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/624—Sol-gel processing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62625—Wet mixtures
    • C04B35/6264—Mixing media, e.g. organic solvents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C04B35/632—Organic additives
    • C04B35/634—Polymers
    • C04B35/63404—Polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
    • C04B35/63428—Polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds of ethylenically unsaturated dicarboxylic acid anhydride polymers, e.g. maleic anhydride copolymers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/42—Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
    • C04B2235/428—Silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

本发明公开了一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，该方法结合凝胶注模成型与旋转涂布成型的优点，选择无毒的异丁烯‑马来酸酐共聚物(ISOBAM)自发凝胶体系，使用去离子水为溶剂配制预混液，与陶瓷粉体进行球磨，后续添加塑性剂，继续球磨均匀，经旋涂形成薄片状坯体，固化、干燥后可进一步加工，无需加入粘结剂、分散剂、引发剂及催化剂。本方法选择的原料价廉易得，环保无毒，绿色经济，过程中有机物添加少，对环境影响小，且使后续排胶工作易于进行；该凝胶体系不发生氧阻聚效应，无需惰性气体保护，工艺简单，便于操作。

Description

一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法
技术领域
本发明涉及一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，属于无机非金属领域。
背景技术
为了解决能源和环境问题，电能正在逐步代替化石能源成为世界发展主流。在电力高效控制和转换需求的推动下，电力电子器件技术正朝着更高电压、更大电流、更大功率密度、更小尺寸的方向发展。然而，高功率会在器件中产生较大的热应力，这对器件的组装和封装材料，特别是具有电绝缘和散热功能的脆性陶瓷基板构成了巨大的挑战。由于氮化硅(Si3N4)陶瓷具有高导热性、优异的力学性能、低热膨胀系数等优点，成为极具潜力的大功率电子器件衬底。
目前在制膜工艺中，旋涂与刮涂技术应用非常广泛。非水基浆料成型体系具有沸点低、易干燥、表面张力低、水化抑制和生产时间短等优点，已用于工业生产，但几乎所有的非水基成型体系都存在对人体有毒、挥发后对环境有害、易燃、易爆炸等方面的缺点。随着环境保护、清洁生产成为发展趋势，特别是我国提出了“碳中和”的发展战略，水基浆料成型技术因其无毒、清洁、低成本等特点，成为人们关注的热点。
凝胶注模成型工艺的原理是将陶瓷粉料分散于含有有机单体和交联剂的溶液中，制成低粘度、高固含量的悬浮液，然后加入引发剂和催化剂，利用有机单体的聚合原位凝固成型，使陶瓷粉末均匀分布在高聚物形成的三维网络结构中，制备出结构均匀、致密度高、具有一定强度、可进一步加工的坯体。在此基础上，将凝胶注模技术与旋转涂布技术相结合，研究新的成型方法。
公开号为CN 114538935 A的专利“一种高导热氮化硅基板的成型方法”中，使用丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺等醇溶性凝胶单体，醇类有机物作为溶剂，再加入分散剂、塑化剂与引发剂，制备了具有一定强度与韧性的流延薄片，实现了高性能氮化硅陶瓷基板的制备。然而，该方法中所用有机单体具有一定毒性，对人员健康及自然环境都会造成一定的影响。
因此，本发明提供了一种低成本的、无毒且环境友好型的制备氮化硅陶瓷基板的凝胶涂布成型新方案。
发明内容
异丁烯-马来酸酐共聚物(ISOBAM)是一种新型无毒、环保的水溶性共聚物，是一种自发胶凝剂。本发明选择ISOBAM凝胶体系，以硅粉为起始原料，减少了有机物添加，步骤简单，并节约成本，提供了一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法。
为达到上述目的，本发明采取的技术方案如下：
(1)配料与球磨，将ISOBAM与去离子水机械搅拌混合配制成预混液，然后将预混液、硅粉、烧结助剂粉体混合加入氮化硅研磨球进行球磨；
(2)加入增塑剂，在第一次球磨的浆料中加入增塑剂后，继续进行第二次球磨；
(3)真空除泡，将两次球磨后得到的浆料进行真空除泡；
(4)成型，将进行过脱泡处理的浆料利用旋转涂布的方法制备出0.25～0.80mm厚的薄片状素坯，固化、干燥后切割。
优选的，所述ISOBAM的加入量为陶瓷粉体质量的1％～10％，浆料固含量为40％～68％。
优选的，所述烧结助剂为为稀土氧化物和氧化镁的混合物，烧结助剂总含量为2～15mol％。
优选的，所述增塑剂为聚乙二醇、甘油其中一种或两种混合，目的是使成型后的素坯具备一定的柔韧性，加入量为陶瓷粉体质量的2％～15％。
优选的，所述步骤中第一次球磨时间为2～8h，第二次球磨时间为6～16h。
优选的，所述真空除泡时间为5～30min，若除泡时间太短无法充分去除气孔，反之，除泡时间太长可能会导致液体不必要的蒸发和浆液流变性的变化。
优选的，所述旋涂基底的转速为700～800r/min，采用静态旋涂模式，旋涂时间为5～90s。
优选的，在旋涂设备边缘设置凸起的台阶，形成闭合边框以控制旋涂膜的厚度。
优选的，所述固化、干燥温度为室温，干燥时间为12～24h。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
1、本方法选用高纯硅粉作为起始原料，解决了氧含量较低的进口氮化硅粉体价格太贵的问题，国内高纯硅粉制备技术已经非常成熟，氧含量可以控制在较低水平，可提高制品的热导率。
2、本方法中溶剂为去离子水，取代了传统制备氮化硅基片浆料时使用的有毒溶剂，对人体和环境无害，并且节约成本。
3、本方法中凝胶体系ISOBAM可作为陶瓷加工工艺的粘结剂，无需另外加入粘结剂，可以有效降低浆料粘度，提高固含量，可明显提高成型后的素坯密度，有利于后续烧结更致密，提高产品导热率。
4、ISOBAM在水溶液中同时具有分散作用，可作为本方法浆料体系的分散剂，省略了有机物分散剂的添加；此外，ISOBAM是一种自发的凝胶体系，后续无需加入常用凝胶体系需要的引发剂和催化剂，为排胶工艺降低了难度，并对环境友好。
5、本方法不会发生氧阻聚效应，无需惰性气体保护，工艺简单，便于操作。
6、使用旋涂的方法，可以制备很薄的基板生坯，并且该方法对浆料的粘度要求较低，易于制备固含量更高更致密的生坯片。
本方法使用的凝胶体系安全无毒，价廉易得，添加的有机物含量少，绿色环保，且工艺简单，便于操作，是具有广阔发展前景的一种的氮化硅陶瓷成型方法。
附图说明
构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，并用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1为本方法的实施流程图。
图2为制备的硅膜素坯照片。
具体实施方式
为更好地说明本发明的技术方案和产品性能，下面将结合具体实施例作进一步阐述。但实施例仅作说明，并不对本发明的保护范围构成任何限制。
实施例1
本实施例中一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法为：
(1)称取5g ISOBAM，溶于100mL去离子水中，机械搅拌20min。
(2)称取硅粉100g，并按比例称取氧化钇、氧化镁，使完全氮化后的氮化硅：氧化钇：氧化镁三者的摩尔比为93:2:5，加入步骤(1)得到的预混液中，并加入适量氮化硅研磨球，以200r/min的速度球磨4h。
(3)在步骤(2)的混合料中加入PEG-600(质量占比为9.5％)，继续球磨12h，得到具有一定黏度的浆料。
(4)真空脱泡20min；在30℃的温度下，将浆料倒入基底，设置0.5mm边框，开启旋涂设备，转速为700rpm，旋涂时间为60s。固化、干燥12h，将坯体薄片从基底上剥离，进一步切割加工，得到厚度为0.30～0.45mm的生坯薄片，表面光滑致密，收缩率小。
实施例2
本实施例中一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法为：
(1)称取8g ISOBAM，溶于80mL去离子水中，机械搅拌20min。
(2)称取硅粉100g，并按比例称取氧化钇、氧化镁，使完全氮化后的氮化硅：氧化钇：氧化镁三者的摩尔比为93:2:5，加入步骤(1)得到的预混液中，并加入适量氮化硅研磨球，以200r/min的速度球磨4h。
(3)在步骤(2)的混合料中加入PEG-600(质量占比为12％)，继续球磨12h，得到具有一定黏度的浆料。
(4)真空脱泡20min；在30℃的温度下，将浆料倒入基底，设置0.5mm边框，开启旋涂设备，转速为800rpm，旋涂时间为60s。固化、干燥12h，将坯体薄片从基底上剥离，进一步切割加工，得到厚度为0.40～0.50mm的生坯薄片，表面光滑致密，有一定韧性，收缩率小。
以上所述，仅为本发明的较优实施方式对本技术的具体说明，但本发明的保护范围并不局限于此。本技术领域的技术人员对本发明的技术方案可轻易想到的变化或替换，只要不脱离本发明的实质和范围，均应涵盖在本发明的权利保护范围内。

Claims (9)

1.一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)配料与球磨，将异丁烯-马来酸酐共聚物(ISOBAM)与去离子水机械搅拌混合配制成预混液，然后将预混液、硅粉、烧结助剂粉体混合加入氮化硅研磨球进行球磨；
(2)加入增塑剂，在第一次球磨的浆料中加入增塑剂后，继续进行第二次球磨；
(3)真空除泡，将两次球磨后得到的浆料进行真空除泡；
(4)成型，将进行过脱泡处理的浆料利用旋转涂布的方法制备出0.25～0.80mm厚的薄片状素坯，固化、干燥后切割。
2.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述ISOBAM的加入量为陶瓷粉体质量的1％～10％，浆料固含量为40％～68％。
3.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述烧结助剂为为稀土氧化物和氧化镁的混合物，烧结助剂总含量为2～15mol％。
4.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述增塑剂为聚乙二醇、甘油其中一种或两种混合，目的是使成型后的素坯具备一定的柔韧性，加入量为陶瓷粉体质量的2％～15％。
5.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述步骤中第一次球磨时间为2～8h，第二次球磨时间为6～16h。
6.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述真空除泡时间为5～30min，若除泡时间太短无法充分去除气孔，反之，除泡时间太长可能会导致液体不必要的蒸发和浆液流变性的变化。
7.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述旋涂基底的转速为700～800r/min，采用静态旋涂模式，旋涂时间为5～90s。
8.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，在旋涂设备边缘设置凸起的台阶，形成闭合边框以控制旋涂膜的厚度。
9.根据权利要求1所述的一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法，其特征在于，所述固化、干燥温度为室温，干燥时间为12～24h。
CN202210851536.9A 2022-07-19 2022-07-19 一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法 Active CN115180959B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210851536.9A CN115180959B (zh) 2022-07-19 2022-07-19 一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210851536.9A CN115180959B (zh) 2022-07-19 2022-07-19 一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115180959A true CN115180959A (zh) 2022-10-14
CN115180959B CN115180959B (zh) 2023-07-14

Family

ID=83518364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210851536.9A Active CN115180959B (zh) 2022-07-19 2022-07-19 一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115180959B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117303914A (zh) * 2023-11-30 2023-12-29 山东合创明业精细陶瓷有限公司 塑性陶瓷素坯的制备方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1087370A (ja) * 1996-09-06 1998-04-07 Hitachi Ltd 窒化珪素系複合セラミックス及びその製造方法
CN104230345A (zh) * 2014-09-15 2014-12-24 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种多孔氮化硅陶瓷材料的制备方法
CN106631039A (zh) * 2016-11-04 2017-05-10 广东工业大学 一种氮化硅陶瓷基板的制备方法
CN108276006A (zh) * 2018-01-25 2018-07-13 武汉科技大学 一种氮化硅多孔陶瓷及其制备方法
CN108863394A (zh) * 2017-05-10 2018-11-23 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种凝胶浇注结合冷冻干燥制备多孔陶瓷的方法
CN111205093A (zh) * 2019-04-26 2020-05-29 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种超轻质氮化硅泡沫陶瓷的制备方法
CN111253153A (zh) * 2020-01-22 2020-06-09 新沂市锡沂高新材料产业技术研究院有限公司 一种基于Isobam凝胶体系制备增韧大尺寸超薄YAG透明陶瓷素坯的方法
CN112159236A (zh) * 2020-10-19 2021-01-01 江苏贝色新材料有限公司 高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法
CN112811913A (zh) * 2021-03-11 2021-05-18 无锡辰海新材料科技有限公司 一种环保型凝胶注模成型制备氮化硅陶瓷素坯的方法
CN114044682A (zh) * 2021-11-29 2022-02-15 上海材料研究所 一种水基浆料凝胶注模成型制备高导热氮化硅陶瓷的方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1087370A (ja) * 1996-09-06 1998-04-07 Hitachi Ltd 窒化珪素系複合セラミックス及びその製造方法
CN104230345A (zh) * 2014-09-15 2014-12-24 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种多孔氮化硅陶瓷材料的制备方法
CN106631039A (zh) * 2016-11-04 2017-05-10 广东工业大学 一种氮化硅陶瓷基板的制备方法
CN108863394A (zh) * 2017-05-10 2018-11-23 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种凝胶浇注结合冷冻干燥制备多孔陶瓷的方法
CN108276006A (zh) * 2018-01-25 2018-07-13 武汉科技大学 一种氮化硅多孔陶瓷及其制备方法
CN111205093A (zh) * 2019-04-26 2020-05-29 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种超轻质氮化硅泡沫陶瓷的制备方法
CN111253153A (zh) * 2020-01-22 2020-06-09 新沂市锡沂高新材料产业技术研究院有限公司 一种基于Isobam凝胶体系制备增韧大尺寸超薄YAG透明陶瓷素坯的方法
CN112159236A (zh) * 2020-10-19 2021-01-01 江苏贝色新材料有限公司 高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法
CN112811913A (zh) * 2021-03-11 2021-05-18 无锡辰海新材料科技有限公司 一种环保型凝胶注模成型制备氮化硅陶瓷素坯的方法
CN114044682A (zh) * 2021-11-29 2022-02-15 上海材料研究所 一种水基浆料凝胶注模成型制备高导热氮化硅陶瓷的方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117303914A (zh) * 2023-11-30 2023-12-29 山东合创明业精细陶瓷有限公司 塑性陶瓷素坯的制备方法
CN117303914B (zh) * 2023-11-30 2024-03-15 山东合创明业精细陶瓷有限公司 塑性陶瓷素坯的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN115180959B (zh) 2023-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108033801A (zh) 氮化硅纳米线增强多孔氮化硅复合材料及其制备方法
CN114538899B (zh) 一种996氧化铝陶瓷基板的制备方法
CN115180959B (zh) 一种环保水基凝胶体系氮化硅陶瓷基板的成型方法
CN104649677A (zh) 一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法
CN114044682A (zh) 一种水基浆料凝胶注模成型制备高导热氮化硅陶瓷的方法
CN106810648A (zh) 一种导热率高的聚乙二醇固-固相变材料及其制备方法
CN112480465B (zh) 一种热空气干燥凝胶导热骨架材料的制备方法、骨架材料及高分子复合材料
CN116023124B (zh) 一种基于注凝成型的氧化铝陶瓷及其制备方法
CN113140867A (zh) 一种基于生物质呋喃基聚合物的锂电池隔膜及其制备方法
CN115347208B (zh) 一种石墨极板的制备工艺
CN116283251B (zh) 一种氧化铝陶瓷及其制备方法与应用
CN114538935A (zh) 一种高导热氮化硅基板的成型方法
CN113248256B (zh) 一种用于陶瓷光纤挤出成型的强韧性膏料的配制方法
CN116606124A (zh) 一种氧化铝陶瓷基板及其制备方法
CN106145926A (zh) 一种氧化锌电子陶瓷的制造方法
CN108275980A (zh) 一种复杂形状氧化铝陶瓷件的成型方法
CN100551874C (zh) 一种对已成型的水基流延膜进行重新流延成型的方法
CN110937902A (zh) 一种氮化铝陶瓷基片的制备方法
CN106564886A (zh) 一种干态研磨剥离制备石墨烯的方法
CN117903485B (zh) 一种微波发泡的硅橡胶泡沫及其复合材料的制备方法
CN116003137B (zh) 一种抗水化氮化铝粉体及其制备方法与应用
CN117550898B (zh) 利用酚醛环氧树脂凝胶注模制备反应烧结碳化硅的方法
CN111117558A (zh) 一种低密度导热型有机硅电子灌封胶及其制备方法
CN118240248A (zh) 一种低热阻导热胶片的制备方法
CN1971983B (zh) 降低燃料电池石墨板透气性的处理方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant