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CN114720638B - 一种气体分子污染物的监测装置及监测方法 - Google Patents

一种气体分子污染物的监测装置及监测方法 Download PDF

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CN114720638B CN202210347658.4A CN202210347658A CN114720638B CN 114720638 B CN114720638 B CN 114720638B CN 202210347658 A CN202210347658 A CN 202210347658A CN 114720638 B CN114720638 B CN 114720638B
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Abstract

本公开实施例提供了一种气体分子污染物的监测装置及监测方法，该监测装置包括第一采样通路和第二采样通路，通过设置并列的第一采样通路和第二采样通路交替进行采样，同时设置吹扫组件连通第一采样通路和第二采样通路，第一采样通路和第二采样通路中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫，使得第一采样通路和第二采样通路进行交替吹扫，由于两路采样通路进行交替采样和交替吹扫，相邻近的两次采样和吹扫之间没有延迟，采样和吹扫交替进行，因此可以提高气体分子污染物的监测效率。

Description

一种气体分子污染物的监测装置及监测方法
技术领域
本公开涉及气体分子污染物监测技术领域，特别涉及一种气体分子污染物的监测装置及监测方法。
背景技术
气体分子污染物(Airborne Molecular Contamination，AMC)对半导体制成的良率影响巨大，例如，总挥发性有机物(Total Volatile Organic Compounds，TVOC)会在晶圆表面形成颗粒或者微粒，造成工艺缺陷，另外空气中的硫化物和酸碱性也会影响半导体制成的良性，因此需要对进行半导体制造的无尘室内的环境进行AMC监测。
在现有无尘室AMC监测中，通常使用单一测向的手持式分析仪或在线式分析仪进行环境监测，监测周期都比较长，监测得到的数据也不精确。
因此，如何提高AMC监测的效率和精度是本领域技术人员亟待解决的问题。
公开内容
本公开提供了一种气体分子污染物的监测装置及监测方法，用以提高气体分子污染物的监测效率和监测精度，避免不同采样点之间的相互串扰，对检测结果产生影响。
第一方面，本公开实施例提供了一种气体分子污染物的监测装置，包括：
第一采样通路；
第二采样通路，与所述第一采样通路并列设置，所述第一采样通路和所述第二采样通路用于对待测环境中的气体进行交替采样；
吹扫组件，连通所述第一采样通路和所述第二采样通路，所述吹扫组件用于，所述第一采样通路和所述第二采样通路中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫；
至少一个分析器，连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，用于对所述第一采样通路和所述第二采样通路采集的所述气体进行气体分子污染物分析；
控制单元，通讯连接所述分析器。
在一种可能的实现方式中，所述第一采样通路包括至少一个第一采样点，所述第二采样通路包括至少一个第二采样点；
所述第一采样通路和所述第二采样通路具体用于，通过任意一个所述第一采样点和任意一个所述第二采样点对所述气体进行交替采样。
在一种可能的实现方式中，所述第一采样通路还包括第一采样内管、至少一个第一采样外管、第一阀门、第一采样泵和第一缓冲罐，其中，所述第一采样内管上设置有与所述第一采样点数量相同的第一采样阀，且每一所述第一采样阀连接每一所述第一采样外管；
所述第一采样外管的一端为自由端，并形成为所述第一采样点，另一端连接所述吹扫组件，所述第一采样点通过所述第一采样阀与所述第一采样内管连通；
所述第一采样内管的一端与所述吹扫组件连接，所述第一采样内管的另一端通过所述第一阀门、所述第一采样泵和所述第一缓冲罐与所述至少一个分析器连接；
所述控制单元，通讯连接所述第一阀门、所述第一采样泵和每个所述第一采样阀。
在一种可能的实现方式中，所述第二采样通路还包括第二采样内管、至少一个第二采样外管、第二阀门、第二采样泵和第二缓冲罐，其中，所述第二采样内管上设置有与所述第二采样点数量相同的第二采样阀，且每一所述第二采样阀连接每一所述第二采样外管；
所述第二采样外管的一端为自由端，并形成为所述第二采样点，另一端连接所述吹扫组件，所述第二采样点通过所述第二采样阀与所述第二采样内管连通；
所述第二采样内管的一端与所述吹扫组件连接，所述第二采样内管的另一端通过所述第二阀门、所述第二采样泵和所述第二缓冲罐与所述至少一个分析器连接；
所述控制单元，通讯连接所述第二阀门、所述第二采样泵和每个所述第二采样阀。
在一种可能的实现方式中，所述吹扫组件包括第一吹扫部，所述第一吹扫部分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，并分别经所述第一采样通路和所述第二采样通路向所述待测环境外进行热吹扫。
在一种可能的实现方式中，所述第一吹扫部包括依次连接的氮气源、净化泵、第三阀门、红外导流板和温控传感器；
所述第一吹扫部通过第一三通阀分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，其中，所述第一三通阀的第一端连接所述温控传感器，所述第一三通阀的第二端连接所述第一采样通路的一端，所述第一三通阀的第三端连接所述第二采样通路的一端；
所述控制单元，通讯连接所述净化泵、所述第三阀门、所述温控传感器和所述第一三通阀。
在一种可能的实现方式中，所述吹扫组件还包括第二吹扫部；
所述第二吹扫部分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，并分别经所述第一采样通路和所述第二采样通路向所述待测环境内进行吹扫。
在一种可能的实现方式中，所述第二吹扫部包括压缩干燥空气源，其中，
所述压缩干燥空气源通过第二三通阀分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，其中，所述第二三通阀的第一端连接所述压缩干燥空气源，所述第二三通阀的第二端连接所述第一采样通路的一端，所述第二三通阀的第三端连接所述第二采样通路的一端；
所述控制单元，通讯连接所述第二三通阀。
在一种可能的实现方式中，所述分析器通过第三三通阀连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，且所述分析器的数量和所述第三三通阀的数量相同，其中，每一所述第三三通阀的第一端分别连接每一所述分析器，每一所述第三三通阀的第二端连接所述第一采样通路，每一所述第三三通阀的第三端连接所述第二采样通路；
所述控制单元，通讯连接所述第三三通阀。
在一种可能的实现方式中，所述至少一个分析器包括：总挥发性有机物分析仪、硫化物分析仪和酸碱度分析仪。
在一种可能的实现方式中，所述至少一个分析器和所述控制单元均位于所述待测环境之外。
第二方面，本公开实施例还提供一种气体分子污染物的监测方法，应用于如第一方面任一所述的气体分子污染物的监测装置，该方法包括：
通过第一采样通路和第二采样通路对待测环境中的气体进行交替采样；以及通过吹扫组件在所述第一采样通路和所述第二采样通路中任意一者进行采样时，对另一者进行吹扫；
通过至少一个分析器对所述第一采样通路和所述第二采样通路采集的所述气体进行气体分子污染物分析。
在一种可能的实现方式中，所述第一采样通路包括至少一个第一采样点；所述第二采样通路包括至少一个第二采样点，以任意一个所述第一采样点和任意一个所述第二采样点交替进行采样，其包括以下过程：
开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并于采样结束后关闭所述第一采样点；
循环执行以下过程：
开启任意一个第二采样点进行采样，收集所述第二采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第一采样通路进行吹扫，于采样结束后关闭所述第二采样点；
开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第二采样通路进行吹扫，于采样结束后关闭所述第一采样点。
在一种可能的实现方式中，开启任意一个所述第二采样点进行采样，收集所述第二采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第一采样通路进行吹扫的过程中，包括：
向所述待测环境外的方向对所述第一采样通路进行热吹扫，向所述待测环境内的方向对所述第一采样通路进行吹扫。
在一种可能的实现方式中，开启任意一个所述第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第二采样通路进行吹扫的过程中，包括：
向所述待测环境外的方向对所述第二采样通路进行热吹扫，向所述待测环境内的方向对所述第二采样通路进行吹扫。
本公开实施例提供了一种气体分子污染物的监测装置及监测方法，该监测装置包括第一采样通路和第二采样通路，通过设置并列的第一采样通路和第二采样通路交替进行采样，同时设置吹扫组件连通第一采样通路和第二采样通路，第一采样通路和第二采样通路中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫，使得第一采样通路和第二采样通路进行交替吹扫，由于两路采样通路进行交替采样和交替吹扫，相邻近的两次采样和吹扫之间没有延迟，采样和吹扫交替进行，同时可以对闲置的采样通路进行吹扫，防止采样通路采样点之间的相互串扰，避免对上一采样点对下一采样点的检测结果产生影响，因此可以提高气体分子污染物的监测效率和监测精度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本公开实施例提供的一种气体分子污染物的监测装置结构示意图；
图2为本公开实施例提供的另一种气体分子污染物的监测装置结构示意图；
图3为本公开实施例提供的另一种气体分子污染物的监测装置结构示意图；
图4为本公开实施例提供的另一种气体分子污染物的监测装置结构示意图；
图5为本公开实施例提供的另一种气体分子污染物的监测装置结构示意图；
图6为本公开实施例提供的一种气体分子污染物的监测方法流程示意图。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在半导体制造领域，对环境的要求较高，例如晶圆在加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响很大，TVOC会在晶圆表面形成颗粒造成工艺缺陷，空气中的硫化物和酸碱性同样也会影响半导体制成的良性，因此需要对半导体制造的无尘室环境进行气体分子污染物监测，并通过相应的技术手段使得环境中的气体分子污染物保持在一个较低水平，从而不会影响半导体制成的良性。
为了提高气体分子污染物AMC的监测效率和监测精度，本公开实施例提供了一种气体分子污染物的监测装置，例如监测无尘室内不同浓度的AMC物质进行不间断的精准检测，如图1，该装置包括：
第一采样通路100；
第二采样通路200，与第一采样通路100并列设置，第一采样通路100和第二采样通路200用于对待测环境中的气体进行交替采样；
吹扫组件300，连通第一采样通路100和第二采样通路200，吹扫组件300用于，第一采样通路100和第二采样通路200中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫；
至少一个分析器400，连接第一采样通路100和第二采样通路200，用于对第一采样通路100和第二采样通路200采集的气体进行气体分子污染物分析；
控制单元(图中未示出)，通讯连接分析器400。
本公开实施例提供的气体分子污染物监测装置，通过设置并列的第一采样通路100和第二采样通路200交替进行采样，同时设置吹扫组件300连通第一采样通路100和第二采样通路200，第一采样通路100和第二采样通路200中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫，使得第一采样通路100和第二采样通路200进行交替吹扫，由于两路采样通路进行交替采样和交替吹扫，相邻近的两次采样和吹扫之间没有延迟，采样和吹扫交替进行，同时，可以对闲置的采样通路进行吹扫，防止采样通路采样点之间的相互串扰，避免对上一采样点对下一采样点的检测结果产生影响，因此可以提高气体分子污染物的监测效率和监测精度。
在具体实施中，如图2所示，第一采样通路100可以包括至少一个第一采样点，例如1个、3个、6个、8个，例如为8个(CH1、CH3、CH5、CH7、CH9、CH11、CH13、CH15)，第二采样通路200可以包括至少一个第二采样点，例如1个、3个、6个、8个，例如为8个(CH2、CH4、CH6、CH8、CH10、CH12、CH14、CH16)，所有的采样点分别位于待测环境中的不同位置，第一采样通路100和第二采样通路200具体用于，通过任意一个第一采样点和任意一个第二采样点对气体进行交替采样。
例如，可以先对第一采样点CH1进行采样，待测环境中的气体从CH1进入第一采样通路100，然后进入分析器400中进行采样气体的气体分子污染物分析，采样完成后，停止对CH1采样，对第二采样点CH2进行采样，待测环境中的气体从CH2进入第二采样通路200，然后进入分析器400中进行采样气体的气体分子污染物分析，采样完成后，停止对CH2采样，对第一采样点CH3进行采样，依次交替进行采样分析，可以显著提高采样效率，从而可以提高气体分子污染物的监测效率。
在具体实施中，如图3所示，第一采样通路100还包括第一采样内管101、至少一个第一采样外管102、第一阀门103、第一采样泵104和第一缓冲罐105，其中，第一采样内管101上设置有与第一采样点数量相同的第一采样阀106，且每一第一采样阀106连接每一第一采样外管102；第一采样外管102的一端为自由端，并形成为第一采样点，另一端连接吹扫组件300，第一采样点通过第一采样阀106与第一采样内管101连通；第一采样内管101的一端与吹扫组件300连接，第一采样内管101的另一端通过第一阀门103、第一采样泵104和第一缓冲罐105与至少一个分析器400连接；控制单元，通讯连接第一阀门103、第一采样泵104和每个第一采样阀106。
第二采样通路200还包括第二采样内管201、至少一个第二采样外管202、第二阀门203、第二采样泵204和第二缓冲罐205，其中，第二采样内管201上设置有与第二采样点数量相同的第二采样阀206，且每一第二采样阀206连接每一第二采样外管202；第二采样外管202的一端为自由端，并形成为第二采样点，另一端连接吹扫组件300，第二采样点通过第二采样阀206与第二采样内管201连通；第二采样内管201的一端与吹扫组件300连接，第二采样内管201的另一端通过第二阀门203、第二采样泵204和第二缓冲罐205与至少一个分析器400连接；控制单元，通讯连接第二阀门203、第二采样泵204和每个第二采样阀206。
其中，第一采样阀106和第二采样阀206可以为具有4个通路的阀门，例如四通阀，如图3所示，所有的第一采样阀106和第二采样阀206均具有四个通路(通路1、通路2、通路3和通路4)，控制单元可以控制采样阀的4个通路的通断。
具体的，在采样过程中，例如先对CH1进行采样，则控制单元控制与CH1对应的第一采样阀106的通路2和通路3导通，控制其余第一采样阀106的通路1和通路2导通，控制第一阀门103打开，控制第一采样泵104提供负压，以使CH1采样得到的气体流经第一采样外管102、第一采样内管101、第一阀门103、第一采样泵104和第一缓冲罐105，进入分析器400进行气体分子污染物分析；待采样完成之后，控制与CH1对应的第一采样阀106的通路3关闭，控制通路1和通路2导通，以使吹扫组件300对第一采样通路100吹扫，同时对CH2进行采样，控制单元控制与CH2对应的第二采样阀206的通路2和通路4导通，控制其余第二采样阀206的通路1和通路2导通，控制第一阀门103关闭，控制第二阀门203打开，控制第二采样泵204提供负压，以使CH2采样得到的气体流经第二采样外管202、第二采样内管201、第二阀门203、第二采样泵204和第二缓冲罐205，进入分析器400进行气体分子污染物分析；待采样完成之后，控制与CH2对应的第二采样阀206的通路4关闭，控制通路1和通路2导通，以使吹扫组件300对第二采样通路200吹扫，同时对CH3进行采样，接下来的控制过程与上述类似，使得第一采样通路100和第二采样通路200交替进行采样和吹扫，可以提高气体分子污染物的监测效率，而且，可以对CH1的经过的第一采样内管101进行清洁，避免对下一次CH3位点在进行采样时造成串扰，导致检测结果误差，提高检测精度。
在具体实施中，如图4所示，吹扫组件300可以包括第一吹扫部301和第二吹扫部302，第一吹扫部301分别连接第一采样通路100和第二采样通路200，并分别经第一采样通路100和第二采样通路200向待测环境外进行热吹扫，第二吹扫部302分别连接第一采样通路100和第二采样通路200，并分别经第一采样通路100和第二采样通路200向待测环境内进行吹扫。
本公开实施例提供的第一吹扫部301和第二吹扫部302用于在对第一采样通路100或第二采样通路200的任意一个采样点采样完成之后，分两个步骤进行吹扫，首先第一吹扫部301件使用热氮气进行吹扫，以将第一采样通路100或第二采样通路200中的采样气体吹扫到待测环境之外，使用热氮气进行吹扫相较于CDA吹扫效率更高，可有效去除采样管路内残留的AMC，然后第二吹扫部302件使用CDA进行再次吹扫，以将第一采样通路100或第二采样通路200中的残余采样气体吹扫到待测环境之内，两次吹扫之后可以彻底去除采样管路内的采样气体，不会影响下次采样监测，从而可以提高监测精度。
在具体实施中，如图4，第一吹扫部301包括依次连接的氮气源3011、净化泵3012、第三阀门3013、红外导流板3014和温控传感器3015；第一吹扫部301通过第一三通阀601分别连接第一采样通路100和第二采样通路200，其中，第一三通阀601的第一端连接温控传感器3015，第一三通阀601的第二端连接第一采样通路100的一端，第一三通阀601的第三端连接第二采样通路200的一端；第二吹扫部302包括压缩干燥空气源3021，其中，压缩干燥空气源3021通过第二三通阀602分别连接第一采样通路100和第二采样通路200，其中，第二三通阀602的第一端连接压缩干燥空气源3021，第二三通阀602的第二端连接第一采样通路100的一端，第二三通阀602的第三端连接第二采样通路200的一端；
控制单元，通讯连接净化泵3012、第三阀门3013、温控传感器3015、第一三通阀601和第二三通阀602。
具体的，可以设定采样时间例如为25min，当CH1采样开始持续时间25min后，采样结束，开始对CH2采样，同时对第一采样通路100进行热吹扫，控制单元控制净化泵3012提供稳定的氮气压力，控制第三阀门3013打开，控制红外导流板3014加热氮气，控制温控传感器3015控制温度保持稳定，例如可以控制氮气加热温度稳定在例如60℃，该温度下的吹扫效果最佳，并且不会损坏管路，控制第一三通阀601的第一端和第二端导通，以使第一吹扫组件300中的热氮气对第一采样通路100中的第一采样内管101进行热吹扫，从而将采样气体经第一阀门103、第一采样泵104，吹扫到第一缓冲罐105，进而向大气环境排出。
值得说明的是，在第一缓冲罐105和分析器400之间可以设置阀门，在吹扫时关闭该阀门，以使得采样气体全部被吹扫到第一缓冲罐105中，并且第一缓冲罐105是位于待测的无尘室环境之外的，在第一缓冲罐105中可以设置一个吹扫口，该吹扫口通过电磁阀控制打开或关闭，在吹扫时，控制该吹扫口打开，以使得吹扫的采样气体从该吹扫口中被吹扫到待测环境之外，吹扫结束之后控制该吹扫口关闭，第二缓冲罐205和分析器400同样的被相应控制，这些控制过程都是由控制单元完成的。
可以设定热吹扫时间例如为10min，热吹扫完成之后，控制单元控制第一三通阀601关闭，控制第二三通阀602的第一端和第二端导通，以使第二吹扫机构使用压缩干燥空气CDA对第一采样通路100进行逆吹扫，将第一采样通路100中的残余气体通过各个第一采样点吹扫回待测环境中，此时控制单元控制所有的第一采样阀106的通路3和通路4导通，以使CDA流经第二三通阀602、公共管500和第一采样外管102进入各个采样点，各个采样点位于待测环境内，逆吹扫过程可以设定例如为15min，这样当逆吹扫完成的同时CH2采样也相应完成，之后对CH3采样例如25min，对第二采样通路200进行热吹扫例如10min和逆吹扫例如15min，从而可以实现交替对第一采样通路100和第二采样通路200进行采样和吹扫，可以提高气体分子污染物的监测效率和监测精度。
在具体实施中，如图5所示，分析器400通过第三三通阀603连接第一采样通路100和第二采样通路200，且分析器400的数量和第三三通阀603的数量相同，其中，每一第三三通阀603的第一端分别连接每一分析器400，每一第三三通阀603的第二端连接第一采样通路100，每一第三三通阀603的第三端连接第二采样通路200。
例如，如图5所示，分析器400例如可以包括总挥发性有机物分析仪401、硫化物分析仪402和酸碱度分析仪403，第三三通阀603的数量相应可以设置3个，这些分析器400都位于待测环境之外。控制器通讯连接第三三通阀603，控制第三三通阀603的连通状态。
如图5所示，下面对本公开实施例提供的气体分子污染物监测装置的交替监测过程进行详细说明：
设定CH1-CH16按顺序交替进行采样监测，采样开始时，控制器控制与CH1对应的第一采样阀106的通路2和通路3导通，控制其余第一采样阀106的通路1和通路2导通，控制第一阀门103打开，控制第一采样泵104提供负压，控制第三三通阀603的第一端和第二端导通，以使CH1采样得到的气体流经第一采样外管102、第一采样内管101、第一阀门103、第一采样泵104、第一缓冲罐105和第三三通阀603进入每个分析器400中进行气体分子污染物的分析，由于总挥发性有机物分析仪401的分析时间相较于另外两个分析仪的分析时间更长，一般为25min，因此可以设定采样时间为25min，CH1采样结束后，控制与CH1对应的第一采样阀106的通路3关闭，控制第一阀门103关闭，控制与CH2对应的第二采样阀206的通路2和通路4导通，控制其余第二采样阀206的通路1和通路2导通，控制第二阀门203打开，控制第二采样泵204提供负压，控制第三三通阀603的第一端和第三端导通，以使CH2采样得到的气体流经第二采样外管202、第二采样内管201、第二阀门203、第二采样泵204、第二缓冲罐205和第三三通阀603进入每个分析器400中进行气体分子污染物的分析；同时，控制净化泵3012提供稳定的氮气压力，控制第三阀门3013打开，控制红外导流板3014加热氮气，控制温控传感器3015控制温度保持在60℃，控制第一三通阀601的第一端和第二端导通，控制所有的第一采样阀106的通路1和通路2导通，控制第一阀门103打开，控制第三三通阀603关闭，以使第一吹扫部301对第一采样通路100进行热吹扫，吹扫方向为经过第一三通阀601、第一采样内管101、第一阀门103、第一采样泵104进入第一缓冲罐105，从而将第一采样通路100的采样气体经过第一缓冲罐105吹扫到待测环境之外，热吹扫持续时间10min，热吹扫结束之后，控制第一三通阀601关闭，控制所有的第一采样阀106的通路3和通路4导通，控制第二三通阀602的第一端和第二端导通，以使第二吹扫部302中的压缩干燥空气CDA流经第二三通阀602、公共管500、第一采样外管102和第一采样内管101进入各个第一采样点，从而将第一采样通路100的残余采样气体吹扫到待测环境内，设定吹扫时间为15min。
对第一采样通路100吹扫完成的同时，第二采样通路200采样也相应完成，此时控制与CH3对应的第一采样阀106的通路2和通路3导通，控制其余第一采样阀106的通路1和通路2导通，控制第三三通阀603的第一端和第二端导通，以使CH3采样得到的气体进入分析器400进行分析，控制第一三通阀601的第一端和第三端导通，控制所有的第二采样阀206的通路1和通路2导通，以使第一吹扫部301对第二采样通路200进行热吹扫，吹扫方向为经过第一三通阀601、第二采样内管201、第二阀门203、第二采样泵204进入第一缓冲罐105，从而将第二采样通路200的采样气体经过第一缓冲罐105吹扫到待测环境之外；热吹扫10min之后，控制第一三通阀601关闭，控制所有的第二采样阀206的通路3和通路4导通，控制第二三通阀602的第一端和第三端导通，以使第二吹扫部302中的压缩干燥空气CDA流经第二三通阀602、公共管500、第二采样外管202和第二采样内管201进入各个第二采样点，从而将第二采样通路200的残余采样气体吹扫到待测环境内，设定吹扫时间为15min。
接下来的监测过程与上述过程类似，将所有的采样点采样完成即可结束，在此不再赘述。
本公开实施例提供的气体分子污染物监测装置，对第一采样通路100和第二采样通路200交替进行采样和吹扫，采样过程和吹扫过程时间同步，可以提高气体分子污染物的监测效率；并且吹扫时先用热氮气进行热吹扫，然后用压缩干燥空气CDA再进行一次吹扫，可以提高监测精度。
基于相同的公开构思，本公开实施例还提供一种气体分子污染物的监测方法，该方法的实施可以参见上述装置的实施，重复之处不再赘述。
如图6所示，为本公开实施例提供的一种气体分子污染物的监测方法，应用于上述任意一种气体分析污染物的监测装置，该方法包括：
S601、通过第一采样通路100和第二采样通路200对待测环境中的气体进行交替采样；以及通过吹扫组件300在第一采样通路100和第二采样通路200中任意一者进行采样时，对另一者进行吹扫；
S602、通过至少一个分析器400对第一采样通路100和第二采样通路200采集的气体进行气体分子污染物分析。
可选的，所述第一采样通路100包括至少一个第一采样点；所述第二采样通路200包括至少一个第二采样点，以任意一个所述第一采样点和任意一个所述第二采样点交替进行采样，其包括以下过程：
开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并于采样结束后关闭所述第一采样点；
循环执行以下过程：
开启任意一个第二采样点进行采样，收集所述第二采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第一采样通路100进行吹扫，于采样结束后关闭所述第二采样点；
开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第二采样通路200进行吹扫，于采样结束后关闭所述第一采样点。
可选的，开启任意一个第二采样点进行采样，收集第二采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对第一采样通路100进行吹扫的过程中，包括：
向待测环境外的方向对第一采样通路100进行热吹扫，以及向待测环境内的方向对第一采样通路100进行吹扫。
可选的，开启任意一个第一采样点进行采样，收集第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对第二采样通路200进行吹扫的过程中，包括：
向待测环境外的方向对第二采样通路200进行热吹扫，以及向待测环境内的方向对第二采样通路200进行吹扫。
本公开实施例提供了一种气体分子污染物的监测装置及监测方法，该监测装置包括第一采样通路100和第二采样通路200，通过设置并列的第一采样通路100和第二采样通路200交替进行采样，同时设置吹扫组件300连通第一采样通路100和第二采样通路200，第一采样通路100和第二采样通路200中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫，使得第一采样通路100和第二采样通路200进行交替吹扫，由于两路采样通路进行交替采样和交替吹扫，相邻近的两次采样和吹扫之间没有延迟，采样和吹扫交替进行，同时可以对闲置的采样通路进行吹扫，防止采样通路采样点之间的相互串扰，避免对上一采样点对下一采样点的检测结果产生影响，因此可以提高气体分子污染物的监测效率和监测精度。
本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本申请是参照根据本申请的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (12)

1.一种气体分子污染物的监测装置，其特征在于，包括：
第一采样通路；
第二采样通路，与所述第一采样通路并列设置，所述第一采样通路和所述第二采样通路用于对待测环境中的气体进行交替采样；
吹扫组件，连通所述第一采样通路和所述第二采样通路，所述吹扫组件用于，所述第一采样通路和所述第二采样通路中任意一者在进行采样时，对另一者进行吹扫；所述吹扫组件包括第一吹扫部和第二吹扫部，所述第一吹扫部分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，并分别经所述第一采样通路和所述第二采样通路向所述待测环境外进行热吹扫，所述第二吹扫部分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，并分别经所述第一采样通路和所述第二采样通路向所述待测环境内进行吹扫；
至少一个分析器，连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，用于对所述第一采样通路和所述第二采样通路采集的所述气体进行气体分子污染物分析；
控制单元，通讯连接所述分析器；
其中，所述第一吹扫部包括依次连接的氮气源、净化泵、第三阀门、红外导流板和温控传感器；
所述第一吹扫部通过第一三通阀分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，其中，所述第一三通阀的第一端连接所述温控传感器，所述第一三通阀的第二端连接所述第一采样通路的一端，所述第一三通阀的第三端连接所述第二采样通路的一端；
所述控制单元，通讯连接所述净化泵、所述第三阀门、所述温控传感器和所述第一三通阀。
2.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述第一采样通路包括至少一个第一采样点，所述第二采样通路包括至少一个第二采样点；
所述第一采样通路和所述第二采样通路具体用于，通过任意一个所述第一采样点和任意一个所述第二采样点对所述气体进行交替采样。
3.如权利要求2所述的监测装置，其特征在于，所述第一采样通路还包括第一采样内管、至少一个第一采样外管、第一阀门、第一采样泵和第一缓冲罐，其中，所述第一采样内管上设置有与所述第一采样点数量相同的第一采样阀，且每一所述第一采样阀连接每一所述第一采样外管；
所述第一采样外管的一端为自由端，并形成为所述第一采样点，另一端连接所述吹扫组件，所述第一采样点通过所述第一采样阀与所述第一采样内管连通；
所述第一采样内管的一端与所述吹扫组件连接，所述第一采样内管的另一端通过所述第一阀门、所述第一采样泵和所述第一缓冲罐与所述至少一个分析器连接；
所述控制单元，通讯连接所述第一阀门、所述第一采样泵和每个所述第一采样阀。
4.如权利要求3所述的监测装置，其特征在于，所述第二采样通路还包括第二采样内管、至少一个第二采样外管、第二阀门、第二采样泵和第二缓冲罐，其中，所述第二采样内管上设置有与所述第二采样点数量相同的第二采样阀，且每一所述第二采样阀连接每一所述第二采样外管；
所述第二采样外管的一端为自由端，并形成为所述第二采样点，另一端连接所述吹扫组件，所述第二采样点通过所述第二采样阀与所述第二采样内管连通；
所述第二采样内管的一端与所述吹扫组件连接，所述第二采样内管的另一端通过所述第二阀门、所述第二采样泵和所述第二缓冲罐与所述至少一个分析器连接；
所述控制单元，通讯连接所述第二阀门、所述第二采样泵和每个所述第二采样阀。
5.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述第二吹扫部包括压缩干燥空气源，其中，
所述压缩干燥空气源通过第二三通阀分别连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，其中，所述第二三通阀的第一端连接所述压缩干燥空气源，所述第二三通阀的第二端连接所述第一采样通路的一端，所述第二三通阀的第三端连接所述第二采样通路的一端；
所述控制单元，通讯连接所述第二三通阀。
6.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，
所述分析器通过第三三通阀连接所述第一采样通路和所述第二采样通路，且所述分析器的数量和所述第三三通阀的数量相同，其中，每一所述第三三通阀的第一端分别连接每一所述分析器，每一所述第三三通阀的第二端连接所述第一采样通路，每一所述第三三通阀的第三端连接所述第二采样通路；
所述控制单元，通讯连接所述第三三通阀。
7.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述至少一个分析器包括：总挥发性有机物分析仪、硫化物分析仪和酸碱度分析仪。
8.如权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述至少一个分析器和所述控制单元均位于所述待测环境之外。
9.一种气体分子污染物的监测方法，其特征在于，应用于如权利要求1～8任一所述的气体分子污染物的监测装置，该方法包括：
通过第一采样通路和第二采样通路对待测环境中的气体进行交替采样；以及通过吹扫组件在所述第一采样通路和所述第二采样通路中任意一者进行采样时，对另一者进行吹扫；
通过至少一个分析器对所述第一采样通路和所述第二采样通路采集的所述气体进行气体分子污染物分析。
10.如权利要求9所述的监测方法，其特征在于，所述第一采样通路包括至少一个第一采样点；所述第二采样通路包括至少一个第二采样点，以任意一个所述第一采样点和任意一个所述第二采样点交替进行采样，其包括以下过程：
开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并于采样结束后关闭所述第一采样点；
循环执行以下过程：
开启任意一个第二采样点进行采样，收集所述第二采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第一采样通路进行吹扫，于采样结束后关闭所述第二采样点；
开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第二采样通路进行吹扫，于采样结束后关闭所述第一采样点。
11.如权利要求10所述的监测方法，其特征在于，开启任意一个第二采样点进行采样，收集所述第二采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第一采样通路进行吹扫的过程中，包括：
向所述待测环境外的方向对所述第一采样通路进行热吹扫，向所述待测环境内的方向对所述第一采样通路进行吹扫。
12.如权利要求10所述的监测方法，其特征在于，开启任意一个第一采样点进行采样，收集所述第一采样点的采样气体进行气体分子污染物分析，并同时对所述第二采样通路进行吹扫的过程中，包括：
向所述待测环境外的方向对所述第二采样通路进行热吹扫，向所述待测环境内的方向对所述第二采样通路进行吹扫。
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