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CN103199038B - 惰性气体注入设备及惰性气体注入方法 - Google Patents

惰性气体注入设备及惰性气体注入方法 Download PDF

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CN103199038B
CN103199038B CN201310001477.7A CN201310001477A CN103199038B CN 103199038 B CN103199038 B CN 103199038B CN 201310001477 A CN201310001477 A CN 201310001477A CN 103199038 B CN103199038 B CN 103199038B
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Abstract

本发明提供一种惰性气体注入设备及惰性气体注入方法。惰性气体注入设备包括:注入装置,以使收纳于保管架的收纳部的容器内的气体向与外部划分形成的保管空间内排出的状态,将惰性气体注入该容器的内部;和控制注入装置的动作的控制装置。控制装置构成为,在未由停止无效指令装置指示停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下,在检测到检查门的打开状态的情况下,停止对容器供给惰性气体,并且,在由停止无效指令装置指示了停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下,在检测到检查门的打开状态的情况下,也继续对容器供给惰性气体。

Description

惰性气体注入设备及惰性气体注入方法
技术领域
本发明涉及惰性气体注入设备、以及使用了这样的惰性气体注入设备的惰性气体注入方法,所述惰性气体注入设备包括:保管架,设置于与外部划分形成的保管空间内,并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部;注入装置,以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态,将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部;以及控制装置,控制上述注入装置的动作。
背景技术
为了抑制在基板(例如半导体晶片)上附着微粒、并且抑制因氧或湿度而使基板从适当状态恶化,而使用如上所述的惰性气体注入设备,用于向收纳基板的容器注入惰性气体。
即,随着从收纳基板的容器的供气口注入惰性气体,容器内的气体被从排气口向保管空间内排出,容器内成为被注入的惰性气体充满的状态。因此,能够抑制在基板上附着微粒以及因氧或湿度而使基板从适当状态恶化。
在日本特开2001-338971号公报(专利文献1)中公开了这种惰性气体注入设备的一例,在该惰性气体注入设备中,在箱形的保管库内沿上下方向和左右方向并排地设置有作为收纳部的保管部,在各保管部装备有供给作为惰性气体的氮气的气体供给管。
虽然在专利文献1中没有详细的说明,但箱形的保管库内相当于与外部划分形成的保管空间,从容器向该箱形的保管库内排出氮气。
在惰性气体注入设备中,为了进行各种检查作业,一般设置用于供作业人员出入保管空间内的检查门。
在设置这种检查门的情况下,为了在作业人员位于保管空间内时,抑制从收纳于收纳部的容器的排气口向保管空间内排出惰性气体,可以考虑构成为当打开检查门时停止供给惰性气体。
然而,若简单地构成为当打开检查门时停止供给惰性气体,则无法进行惰性气体对收纳于收纳部的容器的供气口的供给状态的检查、惰性气体从容器的排气口的排出状态的检查等供给惰性气体的状态下的检查。
发明内容
鉴于上述背景,期望实现这样的惰性气体注入设备:除了能够进行停止供给惰性气体的状态下的检查作业,还能够进行继续供给惰性气体的状态下的检查作业。
本发明的惰性气体注入设备包括:
保管架,设置于与外部划分形成的保管空间内,并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部;
注入装置,以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态,将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部;
控制装置,控制上述注入装置的动作;
检查门开闭检测装置,检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态;以及
人为操作式的停止无效指令装置,用于对上述控制装置指示停止无效指令,
这里,上述控制装置构成为,
在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体,并且,
在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。
根据上述结构,作为检查作业,在进行对收纳于收纳部的容器的供气口的惰性气体的供给状态的检查、来自容器的排气口的惰性气体的排出状态的检查等供给惰性气体的状态下的检查时,从停止无效指令装置对控制装置指示停止无效指令,由此,即使检查门打开,也能够使对容器供给惰性气体的状态继续。其结果是,能够在继续对容器供给惰性气体的状态下进行检查作业。
并且,在检查作业时不需要对容器供给惰性气体的情况下,不从停止无效指令装置对控制装置指示停止无效指令,由此,当由检测门开闭检测装置检测到检查门的打开状态时,停止对容器供给惰性气体。其结果是,能够在停止对容器供给惰性气体的状态下进行检查作业。
总之,根据上述结构,能够提供这样的惰性气体注入设备:除了能够进行停止供给惰性气体的状态下的检查作业,还能够进行继续供给惰性气体的状态下的检查作业。
本发明的惰性气体注入设备的技术特征也能够应用于惰性气体注入方法,本发明还能够以这样的方法为权利保护对象。在该惰性气体注入方法中也能够获得上述的惰性气体注入设备的作用效果。
即,本发明的惰性气体注入方法是使用了惰性气体注入设备的方法,
上述惰性气体注入设备包括:
保管架,设置于与外部划分形成的保管空间内,并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部;
注入装置,以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态,将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部;
控制装置,控制上述注入装置的动作,
检查门开闭检测装置,检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态;以及
人为操作式的停止无效指令装置,用于对上述控制装置指示停止无效指令,
上述惰性气体注入方法包括由上述控制装置执行的以下工序:
供给状态控制工序,在该供给状态控制工序中,
在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体,并且,
在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。
以下,对本发明的优选实施方式的示例进行说明。
在本发明的惰性气体注入设备的实施方式中,优选的是,设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器,上述控制装置构成为,在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时,在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。
根据上述结构,在停止无效模式下,在由于从容器的排气口向保管空间内排出惰性气体而使保管空间内的氧浓度小于设定值的情况下,停止对容器供给惰性气体,能够确保作业人员的安全性。
即,为了将从容器排出的气体排放到外部,保管空间未形成为完全密闭,而是适当开放为能够与外部空间通气的状态。并且,在进行检查作业时,检查门维持打开状态。因此,即使从容器的排气口向保管空间内排出惰性气体,保管空间内的氧浓度极端降低而小于设定值的可能性也较小,但万一保管空间内的氧浓度变成小于设定值的情况下,停止对容器供给惰性气体,能够适当地确保作业人员的安全性。
在本发明的惰性气体注入设备的实施方式中,优选的是,上述控制装置构成为,在上述停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时,使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。
根据上述结构,当作业人员在保管空间内进行检查作业时,能够准确地识别继续对容器供给惰性气体的情况,因此,能够在识别了继续对容器供给惰性气体的情况的状态下良好地进行检查作业。
顺便说一下,作为通知装置,可以采用对作业人员携带的移动电话等便携终端通知继续供给惰性气体的结构、以及在检查门的附近设置扬声器来通知继续供给惰性气体的结构等。
在本发明的惰性气体注入设备的实施方式中,优选的是,上述控制装置构成为,在对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令切换到上述停止无效模式后,即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状态的情况下,解除上述停止无效模式而切换至上述通常停止模式。
根据上述结构,在作业人员为了在继续对容器供给惰性气体的状态下进行检查作业,而由停止无效指令装置对控制装置指示了停止无效指令,但之后根据情况而中止了检查作业的情况下等,自动地解除停止无效模式而切换至通知停止模式。因此,能够避免不必要地继续停止无效模式。
即,能够避免发生如下不良情况:若继续停止无效模式,则认为处于通常停止模式的作业人员打开检查门而进入保管空间内时,与作业人员认为的不同,而继续对容器供给惰性气体的状态。
在本发明的惰性气体注入设备的实施方式中,优选的是,上述停止无效指令装置构成为,具备能够在操作解除位置和无效指令位置之间操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作体,并且通过将上述操作体操作至上述无效指令位置,而对上述控制装置指示上述停止无效指令。
在操作体未被施力返回操作解除位置的情况下,解除停止无效模式而自动切换到通常停止模式时,看到保持于无效指令位置的操作体的作业人员有可能误解为正在执行停止无效模式。根据上述结构,由于操作体借助返回作用力而返回操作解除位置,因此能够避免作业人员如上所述地误解为处于停止无效模式。
在本发明的惰性气体注入方法的实施方式中,优选的是,在上述惰性气体注入设备设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器,在上述供给状态控制工序中,在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时,在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。
在本发明的惰性气体注入方法的实施方式中,优选的是,在上述供给状态控制工序中,在上述停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时,使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。
在本发明的惰性气体注入方法的实施方式中,优选的是,在上述供给状态控制工序中,在对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令切换到上述停止无效模式后,即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状态的情况下,解除上述停止无效模式而切换至上述通常停止模式。
在本发明的惰性气体注入方法的实施方式中,优选的是,上述停止无效指令装置具备能够在操作解除位置和无效指令位置之间进行操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作体,并且在将上述操作体操作至上述无效指令位置的情况下,对上述控制装置指示上述停止无效指令。
附图说明
图1是物品保管设备的纵剖主视图,
图2是上述设备的切开侧视图,
图3是收纳部的立体图,
图4是表示氮气的注入状态的说明图,
图5是表示控制动作的流程图。
标号说明
10保管架
10S收纳部
50容器
50i供气口
50o排气口
55检查门
56操作体
57A通知装置
A操作解除位置
B无效指令位置
H控制装置
N 注入装置
S1检查门开闭检测装置
S2氧浓度检测传感器
SW停止无效指令装置。
具体实施方式
根据附图对将本发明应用于物品保管设备的情况下的实施方式进行说明。
(整体结构)
如图1和图2所示,物品保管设备包括:保管架10,用于保管以密闭状态容纳基板的搬运容器50(以下简称为容器50);作为搬运装置的塔式起重机20;以及作为容器50的入库出库部的入库出库输送机CV。
保管架10和塔式起重机20配设在利用墙体K与外部划分形成的保管空间内,入库出库输送机CV以贯穿墙体K的状态配设。
保管架10构成为,以沿上下方向和左右方向排列的状态具有多个收纳部10S,收纳部10S作为支承容器50的支承部,在多个收纳部10S中分别收纳容器50,其详细情况将在后文叙述。
而且,如图1所示,在本实施方式中构成为,在设置有物品保管设备的无尘室的天花板部,装备有沿着铺设的导轨G行进的升降机式的搬运车D,利用该升降机式的搬运车D,相对于入库出库输送机CV搬入和搬出容器50。
(容器50的结构)
容器50是遵照SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)标准的合成树脂制的气密容器,用于收纳作为基板的半导体晶片W(参照图4),被称为FOUP(Front Opening Unified Pod)。并且省略其详细的说明,但是在容器50的正面形成有通过拆装自如的盖体而开闭的基板出入用的开口,在容器50的顶面形成有由升降机式的搬运车D把持的顶部凸缘52(参照图4)。在容器50的底面形成有与定位销10b(参照图3)卡合的三个卡合槽(未图示)。
即,如图4所示,容器50包括:壳体51,在内部沿上下方向具有能够自由地载置多个半导体晶片W的基板支承体53;以及未图示的盖体。容器50构成为,在盖体装配于壳体51的状态下,内部空间被密闭成气密状态,并且构成为,在收纳于收纳部10S的状态下,利用定位销10b进行定位。
此外,如图4所示,为了如后所述注入作为惰性气体的氮气,在容器50的底部设置有供气口50i和排气口50o。虽然省略了图示,但是在供气口50i设置有注入侧开闭阀,在排气口50o设置有排出侧开闭阀。
注入侧开闭阀构成为,被弹簧等施力部件向关闭方向施力,当供给到供气口50i的氮气的排出压力成为比大气压高设定值的设定开阀压力以上时,该注入侧开闭阀由于所述压力而被进行打开操作。
而且,排出侧关闭阀构成为,被弹簧等施力部件向关闭方向施力,当容器50内部的压力成为比大气压高设定值的设定开阀压力以上时,该排出侧开闭阀由于所述压力而被进行打开操作。
(塔式起重机20的结构)
如图1所示,塔式起重机20包括:行进台车21,能够沿着设置于保管架10的正面侧的底板部的行进轨道E行进移动;桅杆22,立设于所述行进台车21;以及升降台24,能够在由所述桅杆22引导的状态下进行升降移动。
另外,虽然未图示,但构成为,设置于桅杆22的上端的上部框23与上部导轨卡合着移动,所述上部导轨设置于外周部被墙体K覆盖的保管空间的天花板侧。
在升降台24装备有相对于收纳部10S移载容器50的移载装置25。
移载装置25具有载置支承容器50的板状的载置支承体25A,该载置支承体25A能够在突出到收纳部10S的内部的突出位置和退避到升降台24侧的退避位置之间突出退避。具有移载装置25的塔式起重机20构成为,通过载置支承体25A的突出退避动作以及升降台24的升降动作,来进行将载置于载置支承体25A的容器50卸下到收纳部10S的卸下处理、以及将收纳于收纳部10S的容器50取出的捞取处理。
另外,具备移载装置25的塔式起重机20相对于入库出库输送机CV也进行卸下处理和捞取处理,从而进行相对于出库输送机CV的移载作业。
虽未图示,但是在塔式起重机20装备有检测行进路径上的行进位置的行进位置检测装置、以及检测升降台24的升降位置的升降位置检测装置。控制塔式起重机20的运转的起重机控制器构成为,根据行进位置检测装置和升降位置检测装置的检测信息来控制塔式起重机20的运转。
即,起重机控制器构成为,控制行进台车21的行进动作和升降台24的升降动作以及移载装置25的载置支承体25A的突出退避动作,以进行将搬入到入库出库输送机CV的容器50收纳到收纳部10S的入库作业、以及将收纳于收纳部10S的容器50取出到入库出库输送机CV的出库作业。
(收纳部10S的结构)
如图3和图4所示,多个收纳部10S分别具有载置支承容器50的板状的载置支承部10a(参照图1)。
该载置支承部10a形成为俯视形状为U字状,以形成供移载装置25的载置支承体25A上下通过的空间,在载置支承部10a的顶面以向上方突出的状态装备有上述的定位销10b。
另外,在载置支承部10a设置有一对存货传感器10z,该存货传感器10z用于检测是否载置有容器50(即,容器50是否收纳于收纳部10S),并且构成为,所述存货传感器10z的检测信息被输入到控制装置H(参照图4),控制装置H对后述的质量流量控制器40的运转进行管理。
在载置支承部10a设置有将作为惰性气体的氮气供给到容器50内部的排出喷嘴10i;以及用于使从容器50的内部排出的气体通流的排出用通气体10o。此外,在各收纳部10S装备有控制氮气的供给的质量流量控制器40(参照图2)。
并且,在排出喷嘴10i连接有使来自质量流量控制器40的氮气流动的供给配管Li,在排出用通气体10o连接有端部开口的排出管Lo。
构成为当容器50载置支承于载置支承部10a时,排出喷嘴10i与容器50的供气口50i以嵌合状态连接,而且排出用通气体10o与容器50的排气口50o以嵌合状态连接。
并且构成为,在容器50载置支承于载置支承部10a的状态下,通过从排出喷嘴10i排出比大气压高设定值以上的压力的氮气,能够在使容器内的气体从容器50的排气口50o排出到外部的状态下,自容器50的供气口50i向容器50的内部注入氮气。
另外,如图3所示,在供给配管Li装备有手动操作式的开闭阀Vi,构成为在质量流量控制器40发生故障的紧急时等,能够切换至停止氮气的供给的状态。
(质量流量控制器40的结构)
如图3和图4所示,质量流量控制器40具有流入侧端口40i和排出侧端口40o。在排出侧端口40o连接有上述的供给配管Li,在流入侧端口40i连接有流入配管Ls,流入配管Ls引导来自氮储气瓶等氮气供给源(未图示)的氮气。
另外,在氮气供给源装备有:将氮气的供给压力调整至比大气压高设定值以上的设定压力的调节器;以及使氮气的供给间断的手动操作式的开闭阀等。
在质量流量控制器40装备有:流量调节阀,对在从流入侧端口40i朝向排出侧端口40o的内部流路中流动的氮气的流量(向容器50的供给流量)进行变更调节;流量传感器,对在内部流路中流动的氮气的流量(向容器50的供给流量)进行计测;以及内部控制部,对流量调节阀的动作进行控制。
并且内部控制部构成为,根据流量传感器的检测信息控制流量调节阀,以将向容器50的供给流量调整为从上述控制装置H指示的目标流量。即,内部控制部控制流量调节阀,以使向容器50的供给流量与从控制装置H指示的流量指令匹配。
在本实施方式中,质量流量控制器40将在内部流路中流动的氮气的流量(向容器50的供给流量)在0到50升/分钟之间调节。在本实施方式中使用的质量流量控制器40构成为,在全流量调节范围中以高速(例如1秒以内)调节为从控制装置H指示的目标流量(流量指令)。
顺便说一下,在本实施方式中,以使容器内的气体从容器50的排气口50o向外部排出的状态将作为惰性气体的氮气从容器50的供气口50i向容器50的内部注入的注入装置N以氮气供给源、质量流量控制器40及排出喷嘴10i为主要部分构成,上述控制装置H控制注入装置N的动作。并且,注入装置N构成为,能够与从控制装置H指示的流量指令匹配地改变作为惰性气体的氮气的供给流量。
(控制装置H的目标流量)
如图4所示,控制装置H经由可编程逻辑控制器P对分别对应于多个收纳部10S设置的质量流量控制器40指示目标流量(流量指令)。
另外,在控制装置H中装备有用于输入各种信息的控制台HS。
作为控制装置H所指示的目标流量,有在容器50收纳在收纳部10S中的状态下,为了向容器50的内部注入氮气而对质量流量控制器40指示的保管用的目标流量;还有在容器50即将收纳到收纳部10S中之前,为了清洁排出喷嘴10i而指示的喷嘴净化用的目标流量;以及在保管架10的设置时等,为了清洁排出喷嘴10i和供给配管Li等而指示的清洁用的目标流量。具体而言,控制装置H对质量流量控制器40(注入装置N)指示流量指令,所述流量指令用于将向容器50的氮气的供给量调整为保管用的目标流量、喷嘴净化用的目标流量或清洁用的目标流量。
即,控制装置H构成为,在保管架10的设置时等,当由控制台HS指示了清洁开始指令时,在设定时间期间对质量流量控制器40指示清洁用的目标流量(供给流量)。
此外,控制装置H构成为,当容器50被搬入到入库出库输送机CV中时,在设定时间期间对质量流量控制器40指示喷嘴净化用的目标流量。
进而,控制装置H构成为,当两个存货传感器10z检测到容器50时,对质量流量控制器40指示保管用的目标流量。
在本实施方式中,作为保管用的目标流量,设定了初始目标流量和比该初始目标流量少的恒定目标流量。控制装置H构成为,在容器50收纳于收纳部10S而开始供给氮气时,首先,在设定时间期间指示初始目标流量作为保管用的目标流量,然后指示恒定目标流量作为保管用的目标流量。
另外,指示保管用的目标流量的模型不限于上述模型。例如也可以是,在如上所述指示恒定目标流量作为保管用的目标流量时,间歇地供给恒定目标流量的氮气的模型。在该情况下,交替地反复执行在设定供给时间期间指示恒定目标流量作为目标流量、以及在设定待机时间期间指示0作为目标流量。此外,例如也可以为这样的模型:作为保管用的目标流量,不设定初始目标流量而仅设定恒定目标流量,并间歇地供给该恒定目标流量的氮气。这样,作为指示保管用的目标流量的模型,可以应用各种保管用模型。
(氮供给停止控制)
在本实施方式中,当用于供作业人员出入保管空间内的检查门55(参照图2)打开时,控制装置H执行氮供给停止控制。在该氮供给停止控制中,基本上对保管的所有容器50停止注入装置N进行的氮气的供给。如下所述,在该氮供给停止控制中,即使检查门55打开,有时也对容器50继续供给氮气。
顺便说一下,为了检查作业而打开的检查门55在检查作业中维持在打开状态,从而将外部的空气导入保管空间内。然后,当检查作业结束时,检查门55关闭。
如图2和图4所示,设置有检测检查门55的开闭状态的作为检查门开闭检测装置的检查门开闭检测传感器S1、和对控制装置H指示停止无效指令的人为操作式的作为停止无效指令装置的停止无效指令开关SW。
检查门开闭检测传感器S1由被检查门55按压操作的限位开关等构成,检测是处于检查门55位于全闭位置的关闭状态,还是处于检查门55从全闭位置向打开侧被操作了的打开状态,并将该检测信息输出至控制装置H。
停止无效指令开关SW例如设置于处于墙体K的外表面部的检测门55附近,如图4所示,具备能够相对于主体部插拔的作为操作体的钥匙56。插入于主体部的钥匙56能够在操作解除位置A和无效指令位置B之间进行操作,插入于主体部的钥匙56构成为被施力而返回到操作解除位置A。
进而,停止无效指令开关SW构成为,当将钥匙56操作至无效指令位置B时,对控制装置H指示停止无效指令。
顺便说一下,作为停止无效指令开关SW,可以使用常设有作为操作体的操作旋钮的开关、所谓的选择器开关。
控制装置H构成为,当由停止无效指令开关SW指示停止无效指令时,将停止无效模式设定为执行模式,在未由停止无效指令开关SW指示停止无效指令时,将通常停止模式设定为执行模式。
控制装置H构成为,在通常停止模式下,在由检查门开闭检测传感器S1检测到检测门55的打开状态的情况下,控制注入装置N的动作以停止对所有容器50的氮气的供给。具体而言,控制装置H将对与多个收纳部10S对应地装备的多个质量流量控制器40指示的目标流量设定为0。
并且,控制装置H构成为,在停止无效模式下,在由检查门开闭检测传感器S1检测到检查门55的打开状态的情况下,也控制注入装置N的动作以继续对容器50供给氮气。具体而言,控制装置H如上所述继续对质量流量控制器40指示保管用的目标流量。
(附带控制)
如上所述,在停止无效模式下,即使检查门55打开,也继续对容器50供给氮气。在本实施方式中,作为与此附带的控制,装备有下述的控制结构。
控制装置H在停止无效模式下,在由检查门开闭检测传感器S1检测到检查门55的打开状态的情况下,也继续对容器50供给惰性气体时,如图4所示,使对作业人员通知继续供给氮气的作为通知装置的无线式通信器57A动作。
即,通信器57A构成为,将表示继续供给氮气的情况的消息发送给作业人员携带的移动电话等便携终端57B。进而,便携终端57B通过将接收到的消息显示于显示画面或将接收到的消息用声音输出,来将处于继续供给氮气的状态告知作业人员。
并且,控制装置H构成为,在由停止无效指令开关SW指示了停止无效指令而切换到停止无效模式后,即使经过了设定时间(例如5分钟)检查门开闭检测传感器S1也未检测到检查门55的打开状态的情况下,解除停止无效模式而切换至通常停止模式。
即构成为,避免了作业人员为了检查作业而利用停止无效指令开关SW指示了停止无效指令后中止该检查作业这样的情况下,继续停止无效模式。
另外,如图2所示,设置有检测利用墙体K与外部划分的保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器S2,如图4所示,该氧浓度检测传感器S2的检测信息被输入到控制装置H。
顺便说一下,如图2和图4所示,例示了设有一个氧浓度检测传感器S2的方式,但优选的是在保管空间的内部的多个部位分散地设置多个氧浓度检测传感器S2。
而且,控制装置H构成为,在停止无效模式下继续对容器50供给氮气时,若由氧浓度检测传感器S2检测到的氧浓度小于设定值,则控制注入装置N的动作以停止对容器50供给惰性气体。具体而言,控制装置H将对与多个收纳部10S对应地装备的多个质量流量控制器40指示的目标流量设定为0。
顺便说一下,在保管空间的内部的多个部位分散设置多个氧浓度检测传感器S2的情况下,控制装置H可以构成为,若由多个氧浓度检测传感器S2中的某一个氧浓度检测传感器S2检测到的氧浓度小于设定值,则控制注入装置N的动作以停止对容器50供给惰性气体。
接着,根据图5的流程图对控制装置H所执行的供给状态控制工序加以说明。在该供给状态控制工序中,执行用于上述氮供给停止控制的处理以及用于上述附带控制的处理。
首先,判别是否处于对收纳于收纳部10S的容器50停止了供给氮气的供给停止状态(步骤#1),在判别为不是停止供给状态的情况下,接着判别是否正在执行停止无效模式(步骤#2)。
在步骤#2中,在判别为不是正在执行停止无效模式的情况下,即,在正在执行通常停止模式的情况下,接着判别是否有基于停止无效指令开关SW的停止无效指令(步骤#3)。
在步骤#3中,在判别为没有停止无效指示的情况下,接着判别是否打开了检查门55(步骤#4),在判别为打开了检查门55的情况下,执行停止向容器50供给氮气的氮供给停止处理(步骤#5),然后转移至步骤#1的处理。
并且,在步骤#4中,在判别为检查门55未打开的情况下,也转移至步骤#1的处理。
另外,步骤#5的氮供给停止处理是这样的处理:将对与多个收纳部10S对应地装备的多个质量流量控制器40指示的目标流量设定为0。
在步骤#1中,在判别为处于供给停止状态的情况下,接着判别是否处于检查门55关闭的关闭状态(步骤#6),在判别为检查门55处于关闭状态的情况下,执行开始向容器50供给氮气的氮供给开始处理(步骤#7),然后转移至步骤#1的处理。
并且,在步骤#6中,在判别为检查门55未关闭的情况下,也转移至步骤#1的处理。
另外,步骤#7的氮供给开始处理是这样的处理:作为对收纳有容器50的收纳部10S的质量流量控制器40指示的目标流量,指示保管用的目标流量。
在步骤#3中,在判别为有停止无效指示的情况下,接着执行设定停止无效模式作为执行模式的处理(步骤#8),接着判别是否打开了检查门55(步骤#9)。
在步骤#9中,在判别为打开了检查门55的情况下,使通信器57A动作,执行将表示继续供给氮气的消息传达给作业人员携带的便携终端57B的通知处理(步骤#10)。
在执行了步骤#10的处理后,判别是否处于检查门55关闭的关闭状态(步骤#11),在判别为检查门55处于关闭状态的情况下,执行解除停止无效模式的处理(步骤#12),然后转移至步骤#1的处理。
顺便说一下,通过步骤#12的解除停止无效模式的处理,将通常停止模式设定为执行模式。
在步骤#11中,在判别为检查门55未关闭的情况下,接着判别由氧浓度检测传感器S2检测到的氧浓度是否小于设定值(步骤#15)。
在步骤#15中,在判别为小于设定值的情况下,执行停止向容器50供给氮气的氮供给停止处理(步骤#16),然后转移至步骤#1的处理。
此外,在步骤#15中,在判别为氧浓度不小于设定值的情况下,也转移至步骤#1的处理。
另外,步骤#16的氮供给停止处理与步骤#5的处理同样,是将对与多个收纳部10S对应地装备的多个质量流量控制器40指示的目标流量设定为0的处理。
在步骤#9中,在判别为检查门55未打开的情况下,接着判别从指示了停止无效指令起是否经过了5分钟(步骤#14),在判别为从指示了停止无效指令起经过了5分钟的情况下,执行步骤#12的解除停止无效模式的处理,然后转移至步骤#1的处理。
并且,在步骤#14中,在判别为从指示了停止无效指令起未经过5分钟的情况下,也转移至步骤#1的处理。
在步骤#2中,在判别为处于停止无效模式的情况下,接着,在设定了停止无效模式后,判别检查门55是否已经打开(步骤#13)。
在步骤#13中,在判别为检查门55已经打开的情况下,转移至步骤#11的处理,此外,在步骤#13中,在判别为检查门55未打开的情况下,转移至步骤#9的处理。
如上所述,根据本实施方式,在容器50收纳于收纳部10S时,向容器50的内部注入氮气,因此能够将收纳于容器内的半导体晶片W维持在适当状态。
而且,在通常停止模式下,为了抑制氮气的消耗量和检查作业时保管空间内的氧浓度的降低,在用于供作业人员出入保管空间内的检查门55打开的情况下,基本上注入装置N停止向容器50供给氮气。与此相对,在停止无效模式下,即使在检查门55打开的情况下,也能够继续供给氮气,因此,能够在对收纳于收纳部10S的容器50继续供给氮气的状态下进行检查作业。
(其他实施方式)
(1)在上述实施方式中,作为惰性气体例示了使用氮气的情况,但作为惰性气体也可以使用氩气等各种气体。顺便说一下,本发明的惰性气体需要是氧含量低且绝对湿度低的气体。
(2)在上述实施方式中,例示了将氮气供给源、排出喷嘴10i及质量流量控制器40作为主要部分来构成注入装置N的情况,即,使用质量流量控制器40来构成注入装置N的情况,但本发明的实施方式不限于此。例如也可以以这样的方式实施:不设置质量流量控制器40,而是在氮气的供给路中设置变更调节向容器50的供给流量的流量调节阀、以及计测向容器50的供给流量的流量传感器,控制装置H根据流量传感器的检测信息来控制流量调节阀的动作。
在该情况下,将氮气供给源、排出喷嘴10i及流量调节阀作为主要部分来构成注入装置N。
(3)在上述实施方式中,在通常停止模式下检查门55打开的情况下,通过对与多个收纳部10S分别对应地设置的质量流量控制器40指示0的目标流量,从而停止对容器50供给氮气,但本发明的实施方式不限于此。例如,对装备于氮供给源的供给继续阀进行关闭操作来停止对容器50供给氮气的结构等、停止对容器50供给氮气的结构可以应用各种结构。
(4)在上述实施方式中,例示了在向收纳于收纳部10S的容器50供给作为惰性气体的氮气时,将保管用的目标流量切换设定为初始目标流量和比该初始目标流量少的恒定目标流量,同时供给氮气的情况,但本发明的实施方式不限于此。例如也可以在将保管用的目标流量维持在一个设定流量的形态下供给氮气。
(5)在上述实施方式中,作为对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置,例示了将消息传达给作业人员的便携终端57B的通信器57A,但本发明的实施方式不限于此。例如,作为通知装置,在检查门55的附近设置利用声音输出上述消息的扬声器等通知装置的具体结构可以进行变更。

Claims (10)

1.一种惰性气体注入设备,包括:
保管架,设置于与外部划分形成的保管空间内,并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部;
注入装置,以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态,将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部;以及
控制装置,控制上述注入装置的动作,
其特征在于,
该惰性气体注入设备具有:
检查门开闭检测装置,检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态;以及
人为操作式的停止无效指令装置,用于对上述控制装置指示停止无效指令,
上述控制装置构成为,
在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体,并且,
在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。
2.根据权利要求1所述的惰性气体注入设备,其特征在于,
设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器,
上述控制装置构成为,在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时,在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。
3.根据权利要求1或2所述的惰性气体注入设备,其特征在于,
上述控制装置构成为,在上述停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时,使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。
4.根据权利要求1或2所述的惰性气体注入设备,其特征在于,
上述控制装置构成为,在上述控制装置对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令而切换到上述停止无效模式后,即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状态的情况下,解除上述停止无效模式而切换至上述通常停止模式。
5.根据权利要求4所述的惰性气体注入设备,其特征在于,
上述停止无效指令装置构成为,具备能够在操作解除位置和无效指令位置之间操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作体,并且通过将上述操作体操作至上述无效指令位置,而对上述控制装置指示上述停止无效指令。
6.一种惰性气体注入方法,使用了惰性气体注入设备,
上述惰性气体注入设备包括:
保管架,设置于与外部划分形成的保管空间内,并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部;
注入装置,以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态,将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部;
控制装置,控制上述注入装置的动作,
检查门开闭检测装置,检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态;以及
人为操作式的停止无效指令装置,用于对上述控制装置指示停止无效指令,
上述惰性气体注入方法包括由上述控制装置执行的以下工序:
供给状态控制工序,在该供给状态控制工序中,
在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体,并且,
在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下,也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。
7.根据权利要求6所述的惰性气体注入方法,其特征在于,
在上述惰性气体注入设备设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器,
在上述供给状态控制工序中,在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时,在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下,控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。
8.根据权利要求6或7所述的惰性气体注入方法,其特征在于,
在上述供给状态控制工序中,在上述停止无效模式下,在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时,使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。
9.根据权利要求6或7所述的惰性气体注入方法,其特征在于,
在上述供给状态控制工序中,在上述控制装置对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令而切换到上述停止无效模式后,即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状态的情况下,解除上述停止无效模式而切换至上述通常停止模式。
10.根据权利要求9所述的惰性气体注入方法,其特征在于,
上述停止无效指令装置具备能够在操作解除位置和无效指令位置之间进行操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作体,并且在将上述操作体操作至上述无效指令位置的情况下,对上述控制装置指示上述停止无效指令。
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