CN103137638A - 固态摄像器件及其制造方法、电子装置及用于固态摄像器件的合成物 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种固态摄像器件及其制造方法、电子装置及用于固态摄像器件的合成物，所述固态摄像器件包括以二维方式排列的多个像素，其中所述像素分别至少具有：平坦化膜，其形成于光电转换元件的上侧上；滤光器，其形成于所述平坦化膜的上侧上；以及微透镜，其形成于所述滤光器的上侧上。其中一部分所述像素的滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器。所述白色滤光器、所述微透镜及所述平坦化膜的折射率满足以下关系：（白色滤光器的折射率）≥（微透镜的折射率）>（平坦化膜的折射率）。本发明可抑制光学混色并可增强色彩再现特性。

Description

固态摄像器件及其制造方法、电子装置及用于固态摄像器件的合成物

相关申请的交叉引用

本申请包含与2011年11月30日向日本专利局提交的日本专利申请JP 2011-262102中公开的相关主题并要求其优先权，将其全部内容通过引用并入此处。

技术领域

本发明涉及一种固态摄像器件及其制造方法、一种电子装置、以及一种用于固态摄像器件的合成物。更具体而言，本发明涉及可抑制光学混色并可增强色彩再现特性的一种固态摄像器件及其制造方法、一种电子装置、以及一种用于固态摄像器件的合成物。

背景技术

在例如CCD(电荷耦合器件)及CMOS(互补金属氧化物半导体)图像传感器等固态摄像器件中，已出现朝像素数目增大而像素尺寸逐渐减小的趋势。当像素尺寸减小到一定程度时，每一像素的灵敏度特性会降低，从而使得难以获得所需的灵敏度。

有鉴于此问题，如下一种技术已为人所知：在该技术中，不仅设置有普通的R(红色)像素、G(绿色)像素及B(蓝色)像素(例如，参见日本专利特开第2009-26808号及日本专利特开第2009-81169号，在下文中分别被称为专利文献1及专利文献2)，还设置有能透射过整个可见光谱范围的光的像素(这些像素将被称为W像素)，由此来提高灵敏度。

现在将参照图1及图2来阐述相关技术中的W像素的构造。

图1表示根据相关技术的固态摄像器件中的W像素1W及与其相邻的G像素1G的剖面构造的实例。

如图1所示，在例如硅基板的半导体基板11上，在每一像素1(W像素1W、G像素1G)中均形成例如光电二极管的光接收区域12。在半导体基板11上各像素1之间的边界区域中形成光阻挡膜13，并在光阻挡膜13上形成平坦化膜14。随后，在平坦化膜14上，在每个W像素1W的区域中形成白色滤光器15W，而在每个G像素1G的区域中形成G彩色滤光器15G。此处，白色滤光器15W的形成材料不包含与用于R、G、或B彩色滤光器15的色成分一样的颜料或染料。接着，在白色滤光器15W及彩色滤光器15G上形成微透镜16。

因此，结合相关技术中的固态摄像器件，存在如下一种方法：其中形成不包含与R、G、或B色成分一样的颜料或染料的白色滤光器来取代现有的彩色滤光器，从而形成W像素。

图2表示W像素的构造的另一实例。

在W像素的此种另一构造实例中，将形成于彩色滤光器上的微透镜的材料作为白色滤光器而进行嵌入，从而形成W像素。因此，如图2所示，W像素1W的白色滤光器15W的形成材料与微透镜16的形成材料相同。

然而，在如图1及图2所示的W像素构造中，由于白色滤光器与R、G及B彩色滤光器之间存在折射率差异，因此存在容易发生光学混色的问题。具体而言，对于图3所示的实例而言，最初射入W像素1W中的光21可能不会在白色滤光器15W中偏转，并因此可能射入相邻的G像素1G中。相似地，射入G像素1G中的光可能会不期望地射入相邻的W像素1W中。因此，在根据相关技术的W像素构造中，常常会降低色彩再现特性。

发明内容

因此，本发明期望抑制光学混色并增强色彩再现特性。

根据本发明的一个实施例，提供一种固态摄像器件，所述固态摄像器件包括以二维方式排列的多个像素，其中所述像素分别至少具有形成于光电转换元件的上侧上的平坦化膜、形成于所述平坦化膜的上侧上的滤光器、以及形成于所述滤光器的上侧上的微透镜，其中一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，且所述白色滤光器、所述微透镜及所述平坦化膜的折射率满足以下关系：(白色滤光器的折射率)≥(微透镜的折射率)＞(平坦化膜的折射率)。

根据本发明的另一实施例，提供一种制造固态摄像器件的方法，所述固态摄像器件包括以二维方式排列的多个像素，所述像素分别至少具有：平坦化膜，其形成于光电转换元件的上侧上；滤光器，其形成于所述平坦化膜的上侧上；以及微透镜，其形成于所述滤光器的上侧上，且其中一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，所述方法包括：通过对所述平坦化膜、所述白色滤光器及所述微透镜使用满足以下关系的材料来形成所述像素：(白色滤光器的折射率)≥(微透镜的折射率)＞(平坦化膜的折射率)。

根据本发明的再一实施例，提供一种包括固态摄像器件的电子装置，所述固态摄像器件包括以二维方式排列的多个像素，其中所述像素分别至少具有形成于光电转换元件的上侧上的平坦化膜、形成于所述平坦化膜的上侧上的滤光器、以及形成于所述滤光器的上侧上的微透镜；其中一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，且所述白色滤光器、所述微透镜及所述平坦化膜的折射率满足以下关系：(白色滤光器的折射率)≥(微透镜的折射率)＞(平坦化膜的折射率)。

根据本发明的又一实施例，提供一种用于固态摄像器件的合成物，所述合成物包含共聚树脂、金属化合物、以及UV紫外光吸收剂，所述合成物在500nm波长处具有处于1.54～2.00范围内的折射率，并能透射过整个可见光谱范围的光。

根据本发明的上述实施例，可抑制光学混色并可增强色彩再现特性。

附图说明

图1表示相关技术中的W像素的构造；

图2表示相关技术中的W像素的构造；

图3图示相关技术中的问题；

图4是表示根据本发明实施例的固态摄像器件的整体部分的构造示意图；

图5表示白色滤光器的排列方式的实例；

图6表示W像素的剖视图；

图7图示图6所示白色滤光器的效果；

图8A至图8D图示一种制造像素的方法；

图9表示具有层内透镜的结构的固态摄像器件的剖视图；

图10表示具有波导结构的结构的固态摄像器件的剖视图；

图11表示白色滤光器的排列方式的另一实例；

图12表示白色滤光器的排列方式的再一实例；以及

图13是表示作为根据本发明的实施例的电子装置的摄像设备的构造实例的方框图。

具体实施方式

[固态摄像器件的总体构造]

图4是表示根据本发明实施例的固态摄像器件41的整体部分的构造示意图。图4所示的固态摄像器件41例如是背部照明式CMOS固态摄像器件。

图4所示的固态摄像器件41被构造成包括具有多个像素51的像素区域52、垂直驱动电路53、列信号处理电路54、水平驱动电路55、输出电路56、控制电路57等。

像素51被构造成具有作为光电转换元件的光电二极管、以及多个像素晶体管。构摄像素51的像素晶体管可为四个像素晶体管，所述四个像素晶体管分别是传输晶体管、复位晶体管、选择晶体管及放大晶体管。作为另一选择，像素晶体管可以是不包括选择晶体管在内的三个晶体管。

在像素区域52中，将多个像素51有序地排列成二维矩阵。此外，像素区域52还包括有效像素区域(图未示出)及黑色基准像素区域(图未示出)，由实际接收到的光通过光电转换而产生的信号电荷被所述有效像素区域放大并读入列信号处理电路54中，所述黑色基准像素区域用于输出光学黑色(optical black)以作为黑色电平基准。所述黑色基准像素区域通常形成于所述有效像素区域的外围。

基于垂直同步信号及水平同步信号以及主时钟，控制电路57产生时钟信号及控制信号等，所述时钟信号用作垂直驱动电路53、列信号处理电路54及水平驱动电路55等的工作的基准。由控制电路57所产生的时钟信号及控制信号等被输入至垂直驱动电路53、列信号处理电路54及水平驱动电路55等。

垂直驱动电路53例如是由移位寄存器构成，所述移位寄存器沿垂直方向依序并逐行地选择性地扫描像素区域52中的像素51。此外，垂直驱动电路53通过垂直信号线58而为列信号处理电路54提供基于信号电荷的图像信号，所述信号电荷是根据在像素51中的光电二极管处所接收的光量而产生。

列信号处理电路54是例如针对每一列像素51而设置。列信号处理电路54根据来自黑色基准像素区域的信号，对由对应于一行的各像素51所输出的信号逐像素列地进行例如噪声移除及信号放大的信号处理。在列信号处理电路54的输出级处，在列信号处理电路54与水平信号线59之间设置有水平选择开关(图未示出)。

水平驱动电路55例如是由移位寄存器构成，所述移位寄存器依序地输出扫描脉冲，从而依序地选择列信号处理电路54，并使列信号处理电路54输出像素信号至水平信号线59。

输出电路56的运行使由列信号处理电路54通过水平信号线59依序提供的信号受到信号处理，并输出所得到的信号。

以如上方式构造的固态摄像器件41中的每一像素51均由R像素、G像素、B像素及W像素之一构成。R像素是其中在光电二极管的上部设置R(红色)彩色滤光器且接收红光(红色成分的光)的像素。相似地，G像素及B像素分别是用于接收绿光及蓝光的像素。另一方面，W像素是其中在光电二极管的上部设置能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器且接收整个可见光谱范围的光的像素。与其中仅设置有R像素、G像素及B像素的普通固态摄像器件相比，以此种方式设置有W像素的固态摄像器件41显示出增强的灵敏度。

[白色滤光器的排列方式的实例]

图5表示白色滤光器在像素区域52中的排列方式的实例。

如图5所示，白色滤光器61被排列成栅格图案(checked pattern)，且R、G或B彩色滤光器15设置于其余位置。白色滤光器61与R、G、或B彩色滤光器15彼此相邻地排列。顺便而言，当在以下说明中单独地区分R、G或B彩色滤光器15时，所述彩色滤光器将被称为彩色滤光器15R、15G及15B。此外，其中设置有彩色滤光器15R的像素51将被称为R像素51R；其中设置有彩色滤光器15G的像素51将被称为G像素51G；其中设置有彩色滤光器15B的像素51将被称为B像素51B；且其中设置有白色滤光器61的像素51将被称为W像素51W。

在图5所示的实例中，像素区域52中的白色滤光器61的数目等于R、G及B彩色滤光器15的总数目。此外，G彩色滤光器15G的数目等于R彩色滤光器15R与B彩色滤光器15B的总数目。此外，白色滤光器61在平面方向的大小(面积)与R、G及B彩色滤光器15各自在平面方向的大小(面积)相同。

[W像素的剖视图]

图6表示在像素区域52中在水平方向上彼此相邻的三个像素51的剖视图，具体而言，这三个像素是两个W像素51W以及设置于其间的一个G像素51G。顺便而言，与图1所示相同的部件由在图1中所用的相同附图标记来表示。

在图6中，在半导体基板11(例如，硅基板)中针对每一像素51而形成由光电二极管构成的光接收区域12。在半导体基板11上，在各像素51之间的每一边界区域中形成光阻挡膜13。此外，使用平坦化膜14来覆盖上面形成有光阻挡膜13的半导体基板11。

此外，在平坦化膜14上，在W像素51W的区域中形成白色滤光器61，而在G像素51G的区域中形成G彩色滤光器15G。此外，对于每一像素51，在白色滤光器61及彩色滤光器15G上形成微透镜16。

因此，与图1所示的W像素1W一样，W像素51W被构造成具有从半导体基板11侧依序堆叠的光接收区域12、平坦化膜14、白色滤光器61及微透镜16。然而，用于白色滤光器61的材料不同于用于图1所示白色滤光器15W的材料。

白色滤光器61是使用通过如下方式而制备的材料形成：在共聚树脂(例如，丙烯酸树脂、苯乙烯树脂、或硅烷树脂)中添加金属化合物(例如，钛化合物、镁化合物、或铝化合物)粒子并将所述金属化合物粒子分散于所述共聚树脂中。通过将金属化合物粒子添加并分散于用于白色滤光器61的材料中，会得到与其中未添加金属化合物的情形相比更高的折射率。更具体而言，当白色滤光器61不包含添加并分散于其中的金属化合物粒子时，其在500nm波长处的折射率约为1.50。另一方面，当白色滤光器61包含添加并分散于其中的金属化合物粒子时，其在500nm波长处的折射率处于1.54至2.00的范围内。

换言之，G彩色滤光器15G在500nm波长处的折射率处于1.54至2.00的范围内；相似地，R彩色滤光器15R及B彩色滤光器15B的折射率也处于1.54至2.00的范围内。有鉴于此，用于白色滤光器61的材料也包含添加并分散于其中的金属化合物粒子，使得白色滤光器61的折射率与R、G、及B彩色滤光器15的折射率相当。

这会使得如图7所示，入射至W像素51W上的光62被白色滤光器61折射，从而防止其进入相邻的G像素51G。因此，可防止最初射入W像素51W中的光62被引导至相邻的G像素51G中。相似地，可防止射入G像素51G中的光被引导至相邻的W像素1W。因此，可抑制光学混色并增强色彩再现特性。

此外，相关技术中用于白色滤光器15W的普通材料不包含作为彩色成分的颜料或染料，且对于任何波长范围内的光均保持透射特性。因此，应用于白色滤光器15W的光刻的分辨能力(分辨率)低，从而难以形成精细的像素图案。此外，由于用于白色滤光器15W的材料中没有作为彩色成分的微粒，因此会增大回流特性，从而使像素边界处会发生热下垂(thermal sagging)，且白色滤光器15W容易变成透镜状的形状。在此种情形中，实际上难以将白色滤光器15W形成图1所示的矩形形状。

用于形成图6所示白色滤光器61的材料包含添加并分散于其中的金属化合物粒子。此会增强光刻的分辨能力并增强在后期烘焙时的耐热性。因此，可轻易地将白色滤光器61形成为矩形形状。

将此种构造与其中通过嵌入微透镜16的材料来形成白色滤光器15W的情形中的构造(如图2所示)进行比较。在图2所示的构造中，白色滤光器15W与彩色滤光器15G之间将产生热收缩系数的差异。此会导致如下问题：在运输固态摄像器件之前进行作为可靠性测试的高温高湿重复测试时，极有可能会使微透镜16在W像素1W与G像素1G之间的边界区域中破裂。

另一方面，根据图6所示的像素51的构造，用于白色滤光器61的材料是与用于彩色滤光器15的材料相似的共聚树脂。因此，白色滤光器61的热收缩系数与彩色滤光器15G的热收缩系数相当，并因此可抑制破裂的产生。

此外，白色滤光器61的上述材料也是具有感光性的有机材料(感光树脂)，这使得能够容易地通过光刻来形成图案。

顺便而言，例如SiON等无机材料也可用作白色滤光器61的材料。然而，在此种情形中，可出现以下问题。在将白色滤光器61形成为所需形状时，需使用光致抗蚀剂(photoresist)来进行图案化及干法蚀刻，从而导致步骤的数目增多。此外，在因生产而产生异常时，可能无法执行返工工艺(校正工艺)。考虑到这些缺点，使用上述有机材料是期望的。

此外，可在用于白色滤光器61的材料中添加例如能够吸收i线光(波长：365nm)的UV吸收剂。这使得可排除那些对于可见光而言不必要的波长的光。此外，可提高图案分辨率，这是因为用于曝光的光源通常为UV光源。

关于白色滤光器61的光谱特性，期望的是，白色滤光器61的膜厚度为200nm至1,200nm，且在400nm至700nm(可见光谱区域)波长范围内的透射率不小于90％。然而，此处应注意，在某些情形中，例如为了防止由于来自W像素51W的光而达到饱和，可通过将白色滤光器材料与碳黑(carbon black)、钛黑(titanium black)、染料、颜料等混合而使透射率降低至90％以下。

[制造像素的方法]

以下，将参照图8A至图8D来阐述制造像素51的方法。

在第一步骤中，如图8A所示，通过离子注入而在半导体基板11(例如，硅基板)中形成光接收区域12(例如，光电二极管)，随后形成光阻挡膜13及平坦化膜14。在各像素51之间的每一边界区域中形成光阻挡膜13，使得像素15的光接收区域12为开放的。平坦化膜14在500nm波长处的折射率被设定为处于1.50至1.52的范围内。

接下来，在第二步骤中，如图8B所示，在平坦化膜14上将白色滤光器61形成为栅格图案。更具体而言，将用于白色滤光器61的材料(其也为光致抗蚀剂)涂覆于平坦化膜14的整个表面。随后，通过具有与W像素51W的排列方式相对应的栅格图案的光掩模来执行曝光及显影，从而形成白色滤光器61。

在第三步骤中，如图8C所示，在平坦化膜14上与未设置有白色滤光器61的像素51相对应的那些区域中，以图5所示的排列方式形成G彩色滤光器15G、R彩色滤光器15R(图未示出)或B彩色滤光器15B(图未示出)。

白色滤光器61、G彩色滤光器15G、R彩色滤光器15R及B彩色滤光器15B可以任意顺序形成。然而，期望的是首先形成像素数目相对较大的白色滤光器61。在图5所示排列方式的情形中，像素数目相对较小的R、G及B彩色滤光器15形成为单独的或独立的图案，因而其容易剥落。另一方面，当首先形成像素数目相对较大的白色滤光器61时，便可限制或抑制滤光器的剥落。

R、G及B彩色滤光器15在500nm波长处的折射率处于1.54至2.00的范围内。此外，如上所述，白色滤光器61在500nm波长处的折射率也是处于1.54至2.00范围内，其值与R、G及B彩色滤光器15的折射率相当。

在第四步骤中，如图8D所示，在白色滤光器61以及R、G及B彩色滤光器15上形成微透镜16。具体而言，在这些滤光层上形成一层透明材料作为用于微透镜16的材料，并进一步通过干法蚀刻将由于热回流而形成为透镜形状的热变形树脂层转移至所述透明材料上，从而形成微透镜16。

微透镜16在500nm波长处的折射率被设定为处于1.54至1.65的范围内，使其高于平坦化膜14的折射率且不高于各滤光器(白色滤光器61以及R、G及B彩色滤光器15)的折射率。

因此，在固态摄像器件41中，各滤光器及微透镜16以及平坦化膜14被形成(制造)为满足以下关系：(各滤光器、即白色滤光器61以及R、G及B彩色滤光器15的折射率)≥(微透镜16的折射率)＞(平坦化膜14的折射率)。此外，白色滤光器61的折射率被设定成与彩色滤光器15的折射率的接近程度大于与微透镜16的折射率的接近程度。

如上文中参照图7所述，当白色滤光器61被如此设置成其折射率与R、G及B彩色滤光器15的折射率相当时，可增强色彩再现特性。在背部照明式CMOS固态摄像器件中，从光入射表面到光接收区域12的距离短，且相对于微透镜16在聚集光时的角度陡，因而更容易发生混色至W像素中的情况。因此，白色滤光器的效果更为突出。

以往，在例如专利文献1中所述的设置有W像素的固态摄像器件中，用于W像素的微透镜的高度被设定成低于用于R像素、G像素及B像素的微透镜的高度，以防止光射入与W像素相邻的像素中。此外，在专利文献2中，构成光电二极管的电荷积聚层的深度有所变化，以提高光聚集效率。相关技术中的这些方法具有以下问题：步骤数目增多、形成微透镜的难度增大、以及难以调整各像素之间的灵敏度特性。

在根据本方面的实施例的固态摄像器件41中，白色滤光器61的形成工艺可与R、G及B彩色滤光器15的形成工艺相同，从而保证制造工艺容易进行。

尽管是在假设固态摄像器件41是背部照明式CMOS固态摄像器件的情况下对以上实施例进行了阐述，然而本发明也可应用于前部照明式固态摄像器件及CCD固态摄像器件。此外，本发明也可应用于被构造成如图9所示具有层内透镜71的固态摄像器件、以及被构造成如图10所示具有波导结构72的固态摄像器件。层内透镜71或波导结构72的设置使得可提高进入光接收区域12中的光的聚集效率并进一步增强灵敏度特性。自然，也可结合本发明而采用其中同时设置有层内透镜71及波导结构72的构造。

此外，尽管在上述实施例中已阐述了其中白色滤光器61被排列成如图5所示的栅格状态的实例，然而白色滤光器61的排列方式并不限于此一种排列方式。例如，也可采用其中白色滤光器61被排列成如图11所示的条带图案的构造。此外，也可采用如图12所示的构造，其中像素区域52中的像素51被设置成相对于水平方向或垂直方向旋转45度或成45度角，且相应地，白色滤光器61以及R、G及B彩色滤光器15也被设置成旋转45度或具有45度角。

此外，基于本发明实施例的固态摄像器件仅需具有上述构造的白色滤光器61连同至少一种颜色的其他彩色滤光器。此外，所述至少一种颜色的其他彩色滤光器的颜色并不限于上述R、G或B。例如，可采用其中白色滤光器61与品红色(Mg)、青色(Cy)、黄色(Ye)及黑色(Bk)彩色滤光器一起设置的构造，或者其中白色滤光器61与品红色彩色滤光器一起设置的构造。

此外，尽管在上述实施例中白色滤光器61在平面方向的大小(面积)与R、G及B彩色滤光器15中的每一个在平面方向的大小(面积)相同，然而白色滤光器61在平面方向的大小(面积)可小于R、G及B彩色滤光器15中的每一个在平面方向的大小(面积)。当白色滤光器61在平面方向的大小被设定成小于其他彩色滤光器在平面方向的大小时，能透射过宽波长区域的光的区域变窄，因此可更可靠地防止混色。

[应用于电子装置的实例]

如上所述的固态摄像器件41适用于各种电子装置，所述电子装置例如为摄像设备(例如，数字静物照相机及数字摄像机)、具有摄像功能的移动电话、或具有摄像功能的其他装置。

图13是表示摄像设备的构造实例的方框图，所述摄像设备是作为基于本发明的应用的电子装置。

图13所示的摄像设备201包括光学系统202、快门器件203、固态摄像器件204、驱动电路205、信号处理电路206、监视器207、及存储器208，并可拍摄静态图像及动态图像。

光学系统202被构造成具有一或多个透镜。光学系统202将来自对象的光(入射光)引导至固态摄像器件204，以在固态摄像器件204的光接收平面(光接收区域12)上形成图像。

快门器件203设置于光学系统202与固态摄像器件204之间。根据驱动电路205的控制，快门器件203控制对于固态摄像器件204的光照射时段及光阻挡时段。

固态摄像器件204是由上述固态摄像器件41构成。根据穿过光学系统202及快门器件203进行聚焦后用于在光接收平面上形成图像的光，固态摄像器件204在预定时段内积聚信号电荷。根据从驱动电路205提供的驱动信号(定时信号)来传输固态摄像器件204中所积聚的信号电荷。可将固态摄像器件204构造成仅一个芯片，或通过将固态摄像器件204与光学系统202及信号处理电路206等封装于一起而将其构造成照相机模块的一部分。

驱动电路205输出驱动信号以用于控制固态摄像器件204的传输操作以及快门器件203的快门操作，从而驱动固态摄像器件204及快门器件203。

信号处理电路206对从固态摄像器件204输出的信号电荷施加各种信号处理。由信号处理电路206所执行的信号处理而获得的图像(图像数据)被提供至或显示于监视器207上，或被提供至并存储(记录)于存储器208中。

在以如上所述方式构造的摄像设备201中，将色彩再现特性得到增强的上述固态摄像器件41用作固态摄像器件204，从而提高图像品质。

本发明的实施方式并不限于上述实施例，而且可在本发明的构思的范围内作出各种变化。

顺便而言，本发明可具有以下配置：

(1)一种固态摄像器件，其包括以二维方式排列的多个像素，其中，所述像素分别至少具有：

平坦化膜，其形成于光电转换元件的上侧上；

滤光器，其形成于所述平坦化膜的上侧上；以及

微透镜，其形成于所述滤光器的上侧上，

一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，并且

所述白色滤光器、所述微透镜及所述平坦化膜的折射率满足以下关系：

白色滤光器的折射率≥微透镜的折射率＞平坦化膜的折射率。

(2)如(1)所述的固态摄像器件，其中，所述白色滤光器的折射率与所述彩色滤光器的折射率的接近程度大于与所述微透镜的折射率的接近程度。

(3)如(1)或者(2)所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的所述像素与具有所述彩色滤光器的所述像素彼此相邻地排列。

(4)如(3)所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的所述像素被排列成栅格图案，且具有所述彩色滤光器的所述像素设置于其余位置。

(5)如(3)所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的所述像素被排列成条带图案。

(6)如(3)所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的像素以及具有所述彩色滤光器的像素被设置成相对于水平方向或垂直方向旋转45度或具有45度角。

(7)如(1)所述的固态摄像器件，其中，所述白色滤光器在500nm波长处的折射率处于1.54～2.00的范围内。

(8)如(1)所述的固态摄像器件，其中，所述白色滤光器是使用将金属化合物添加在共聚树脂中而获得的材料制成。

(9)如(8)所述的固态摄像器件，其中，在用于所述白色滤光器的所述材料中进一步添加有UV吸收剂、即紫外光吸收剂。

(10)如(1)所述的固态摄像器件，其中，所述固态摄像器件具有层内透镜和波导结构中的至少一个。

(11)一种制造固态摄像器件的方法，所述固态摄像器件包括以二维方式排列的多个像素，所述像素分别至少具有：平坦化膜，其形成于光电转换元件的上侧上；滤光器，其形成于所述平坦化膜的上侧上；以及微透镜，其形成于所述滤光器的上侧上，并且，

其中一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，所述方法包括：

通过对所述平坦化膜、所述白色滤光器及所述微透镜使用满足以下关系的材料来形成所述像素：

白色滤光器的折射率≥微透镜的折射率＞平坦化膜的折射率。

(12)如(11)所述的方法，其中，

所述彩色滤光器包括至少一种彩色滤光器，且

在形成所述滤光器时，首先形成所述白色滤光器及所述至少一种彩色滤光器中像素数目较大的滤光器，然后形成其余滤光器。

(13)一种电子装置，其包括如(1)～(10)之一所述的固态摄像器件。

(14)一种用于固态摄像器件的合成物，其中，所述合成物包括：

共聚树脂；

金属化合物；以及

UV吸收剂、即紫外光吸收剂，

所述合成物在500nm波长处具有处于1.54～2.00范围内的折射率，并能透射过整个可见光谱范围的光。

Claims (14)

1.一种固态摄像器件，其包括以二维方式排列的多个像素，其中，所述像素分别至少具有：

平坦化膜，其形成于光电转换元件的上侧上；

滤光器，其形成于所述平坦化膜的上侧上；以及

微透镜，其形成于所述滤光器的上侧上，

一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，并且

所述白色滤光器、所述微透镜及所述平坦化膜的折射率满足以下关系：

白色滤光器的折射率≥微透镜的折射率>平坦化膜的折射率。

2.如权利要求1所述的固态摄像器件，其中，所述白色滤光器的折射率与所述彩色滤光器的折射率的接近程度大于与所述微透镜的折射率的接近程度。

3.如权利要求1或者2所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的所述像素与具有所述彩色滤光器的所述像素彼此相邻地排列。

4.如权利要求3所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的所述像素被排列成栅格图案，且具有所述彩色滤光器的所述像素设置于其余位置。

5.如权利要求3所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的所述像素被排列成条带图案。

6.如权利要求3所述的固态摄像器件，其中，具有所述白色滤光器的像素以及具有所述彩色滤光器的像素被设置成相对于水平方向或垂直方向旋转45度或具有45度角。

7.如权利要求1所述的固态摄像器件，其中，所述白色滤光器在500nm波长处的折射率处于1.54～2.00的范围内。

8.如权利要求1所述的固态摄像器件，其中，所述白色滤光器是使用将金属化合物添加在共聚树脂中而获得的材料制成。

9.如权利要求8所述的固态摄像器件，其中，在用于所述白色滤光器的所述材料中进一步添加有UV吸收剂、即紫外光吸收剂。

10.如权利要求1所述的固态摄像器件，其中，所述固态摄像器件具有层内透镜和波导结构中的至少一个。

11.一种制造固态摄像器件的方法，所述固态摄像器件包括以二维方式排列的多个像素，所述像素分别至少具有：平坦化膜，其形成于光电转换元件的上侧上；滤光器，其形成于所述平坦化膜的上侧上；以及微透镜，其形成于所述滤光器的上侧上，并且，

其中一部分所述像素的所述滤光器分别是能透射过预定色成分的光的彩色滤光器，而另一部分所述像素的所述滤光器则分别是能透射过整个可见光谱范围的光的白色滤光器，所述方法包括：

通过对所述平坦化膜、所述白色滤光器及所述微透镜使用满足以下关系的材料来形成所述像素：

白色滤光器的折射率≥微透镜的折射率>平坦化膜的折射率。

12.如权利要求11所述的方法，其中，

所述彩色滤光器包括至少一种彩色滤光器，且

在形成所述滤光器时，首先形成所述白色滤光器及所述至少一种彩色滤光器中像素数目较大的滤光器，然后形成其余滤光器。

13.一种电子装置，其包括如权利要求1～10之任一项所述的固态摄像器件。

14.一种用于固态摄像器件的合成物，其中，所述合成物包括：

共聚树脂；

金属化合物；以及

UV吸收剂、即紫外光吸收剂，

所述合成物在500nm波长处具有处于1.54～2.00范围内的折射率，并能透射过整个可见光谱范围的光。

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