CN109530244A - 一种基板的检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板检测技术领域，具体公开了一种基板的检测方法。基板的检测方法用于基板的检测或传输，检测方法包括：步骤1：提供一种基板的检测设备，检测设备包括设置于支架上的暂存载台与检测机构；步骤2：放置基板于检测机构或暂存载台上；步骤3：若基板位于暂存载台上，则进入步骤4；若基板位于检测机构，则对基板进行检测，并将检测完的基板自检测机构上卸载；步骤4：将基板自暂存载台上卸载。检测设备将基板放置于暂存载台上，则基板被分级为合格品。本发明提供的基板的检测方法能够同时实现基板的分级及检测，提高了基板的生产效率。

Description

一种基板的检测方法

技术领域

本发明涉及基板检测技术领域，尤其涉及一种基板的检测方法。

背景技术

各类基板，如液晶面板、OLED(Organic Light-Emitting Display)面板、触控面板、玻璃基板等，在出厂前需要由人工对其表面进行再次检测，以确保基板为合格品。

由于上游完成的基板并不一定需要全部再次检测，可能为抽检部分良品和全部不良品进行检测，或者仅检测不良品，现有的检测方法往往仅能实现已经筛选过需要再次检测的基板的检测，不能直接对上游完成的基板进行筛选确定需要再次检测的对象，这就要求首先对基板进行分级，然后对基板进行再次检测，造成生产效率较低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板的检测方法，以能够同时实现基板的分级及检测，提高了基板的生产效率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种基板的检测方法，用于基板的检测或传输，所述检测方法包括：

步骤1：提供一种基板的检测设备，所述检测设备包括设置于支架上的暂存载台与检测机构；

步骤2：放置所述基板于所述检测机构或所述暂存载台上；

步骤3：若所述基板位于所述暂存载台上，则进入步骤4；若所述基板位于所述检测机构，则对所述基板进行检测，并将检测完的所述基板自所述检测机构上卸载；

步骤4：将所述基板自所述暂存载台上卸载。

作为优选，所述检测设备还包括搬运机构，所述搬运机构设置于所述支架上，且包括入料搬运臂组件；所述步骤2包括：驱动所述入料搬运臂组件放置所述基板于所述检测机构或所述暂存载台上。

作为优选，所述搬运机构还包括中转搬运臂组件；所述步骤4包括：驱动所述中转搬运臂组件将所述基板自所述暂存载台上卸载，或所述步骤3包括驱动所述中转搬运臂组件将所述基板自所述检测机构上卸载。

作为优选，所述检测设备还包括中转载台，所述检测方法还包括步骤5：驱动所述中转搬运臂组件搬运所述基板至所述中转载台。

作为优选，所述检测设备还包括贴标机构，所述检测方法还包括步骤6：对所述中转载台上的所述基板进行贴标。

作为优选，所述搬运机构还包括出料搬运臂组件，所述检测方法还包括步骤7：驱动所述出料搬运臂组件将完成贴标的所述基板自所述中转载台上卸载。

作为优选，所述中转载台能够在贴标位与出料位之间往复移动；所述步骤7包括：

步骤71：驱动所述中转载台自所述贴标位移动至所述出料位；

步骤72：驱动所述出料搬运臂组件将完成贴标的所述基板自所述中转载台上卸载。

作为优选，所述检测机构包括翻转臂组件和检测载台，所述步骤2包括放置所述基板于所述检测机构中的所述检测载台或所述暂存载台。

作为优选，所述步骤3中，对所述基板进行检测包括：

步骤31：翻转所述检测载台，检测所述基板的第一面；

步骤32：驱动所述翻转臂组件抓取所述基板；

步骤33：驱动所述翻转臂组件翻转，检测所述基板的第二面；其中，所述第一面与所述第二面相对。

作为优选，所述检测设备具有所述暂存载台和所述检测载台承接所述基板的暂存位和所述检测载台检测所述基板的检测位，所述检测载台可在所述暂存位与所述检测位之间往复移动；放置所述基板于所述检测载台包括：

步骤21：驱动所述检测载台移动至所述暂存位；

步骤22：放置所述基板于所述检测载台上；

步骤23：驱动所述检测载台移动至所述检测位。

本发明的有益效果：检测设备将基板放置于暂存载台上，则基板被分级为合格品；若基板位于检测机构，则基板被分级为不合格品，然后对位于检测机构的基板进行检测，以便对基板进行进一步的分级，最后将基板于暂存载台或检测机构上卸载，从而同时实现了基板的分级及检测，提高了基板的生产效率。

附图说明

图1是本发明实施例一提供的基板的检测设备的俯视图；

图2是本发明实施例一提供的暂存载台、伸缩杆和升降驱动件连接的结构示意图；

图3是本发明实施例一提供的检测机构的结构示意图；

图4是图3中A处的局部放大图；

图5是本发明实施例一提供的翻转检测组件设置于支架上的结构示意图；

图6是本发明实施例一提供的检测机构的另一视角的结构示意图；

图7是图6中B处的局部放大图；

图8是本发明实施例一提供的基板的检测设备的结构示意图。

图中：

1、检测机构；11、翻转臂组件；111、臂移动架；112、翻转臂载台；113、臂翻转驱动组件；1131、第二旋转驱动件；1132、连接板；12、载台翻转驱动组件；121、第一旋转驱动件；122、主动齿轮；123、从动齿轮；124、从动轴；13、载台翻转检测组件；131、第一挡片；132、第一光电传感器；14、臂翻转检测组件；141、第二挡片；142、第二光电传感器；15、检测载台；16、载台移动架；

21、暂存载台；22、升降驱动件；23、伸缩杆；

3、搬运机构；31、出料搬运臂组件；32、中转搬运臂组件；33、入料搬运臂组件；34、龙门组件；

4、中转载台；5、贴标机构；6、支架；7、吸嘴；200、基板。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。

实施例一

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连接”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。术语“设置”、“设置于”应做广义理解，例如，可以是直接设置，也可以通过中间媒介间接设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本实施例提供了一种基板的检测设备，主要用于基板200的检测中，以使检测设备同时能够承载需要检测的基板200和不需要检测的基板200，且同时实现基板200的分级，提高生产效率。

图1为本实施例提供的基板的检测设备的俯视图，如图1所示，本实施例提供的基板的检测设备包括支架6、暂存载台21、搬运机构3和检测机构1。

检测机构1包括检测载台15。检测载台15设置于支架6上，用于基板200的检测。具体地，检测载台15可水平移动地设置于支架6上，能够沿第一方向在可接料的暂存位和基板200被检测的检测位之间往复移动。检测载台15还能够翻转，检测人员可对基板200的第一面进行多角度的检测。

暂存载台21设置于支架6上，用于暂存基板200。

搬运机构3设置于支架6上，能够将基板200搬运至暂存载台21和检测载台15上。在本实施例中，搬运机构3还能够将暂存载台21和检测载台15上的基板200搬出检测设备。

如图1所示，在本实施例中规定，第一方向为箭头W所示的方向，第二方向为箭头H所示的方向，第一方向与第二方向垂直。

上游设备对基板200检测后，搬运机构3将需要检测的基板200放置于检测机构1的检测载台15上，以对基板200进行检测及分级；将不需要检测的基板200放置于暂存载台21上，从而使得检测设备既能够接收需要检测的基板200，也能够接收不需要检测的基板200，且同时在检测设备中完成基板200的分级，无需上游设备先将出料的基板200分级，提高了生产效率。

检测载台15可水平移动地设置于支架6上，从而使得检测载台15水平移动至暂存位，搬运机构3将基板200放置于检测载台15上，检测载台15反向水平移动至检测位，工作人员便可对基板200进行检测。一方面，检测过程中，检测载台15不会影响搬运机构3和暂存载台21的工作，保证了检测设备的工作效率；另一方面，当人工检测到基板200为合格品时，检测载台15可以再次移动至暂存位，搬运机构3将基板200搬出，合格的基板200不会离开自动生产线，避免合格基板200被污染。

在其他实施例中，检测载台15还可以不必沿第一方向往复移动，而是通过暂存载台21沿第一方向在暂存位与检测位之间往复移动；或在其他实施例中，搬运机构3沿第一方向在暂存位与检测位之间往复移动，将基板200放置于检测载台15上。

在本实施例中，检测载台15通过直线模组设置于工作支架6上，直线模组可以为气缸或电机、螺杆与螺母三者配合驱动机构。

搬运机构3用于吸附检测后的基板200，将基板200放置于暂存载台21或检测载台15上，由于搬运机构3在同一位置将基板200放置于暂存载台21或检测载台15上，因此，为了使搬运机构3既可以将基板200放置于暂存载台21上，又可以将基板200放置于检测载台15上，如图2所示，暂存载台21可升降地设置于支架6上，暂存载台21下降以避让检测载台15。在其他实施例中，还可以是检测载台15可升降地设置于支架6上，检测载台15上升以避让暂存载台21。

具体地，暂存载台21上连接有多个竖直设置的伸缩杆23，伸缩杆23连接于支架6。支架6上还设置有升降驱动件22，升降驱动件22的输出端与暂存载台21连接，并用于驱动暂存载台21沿伸缩杆23的长度方向升降。升降驱动件22可以为气缸。

为了提高检测的效率，暂存载台21的两侧分别设置有检测机构1。具体地，两组检测机构1沿第一方向间隔设置，两组检测机构1分别位于暂存载台21的相对两侧，其中一检测载台15的检测位位于暂存载台21的一侧，另一检测载台15的检测位位于暂存载台21的另一侧，从而检测设备沿第一方向的两侧均可以检测基板200。

图3为本实施例提供的检测机构的结构示意图。如图3所示，检测机构1还包括翻转臂组件11。翻转臂组件11位于检测载台15的上方，翻转臂组件11用于基板200的第一面的检测，检测载台15用于基板200的第二面的检测，第一面与第二面相对。

翻转臂组件11可升降的设置于支架6上，翻转臂组件11下降，能够抓取位于检测载台15上的基板200，翻转臂组件11上升，能够将基板200提升。

当基板200放置于检测载台15上时，基板200的第一面为检测面，当基板200位于翻转臂组件11上时，其第二面为检测面。

当基板200放置于检测载台15上时，翻转臂组件11上升到较高的位置，基板200的第一面不会被检测载台15和翻转臂组件11遮挡，此时工作人员可以对第一面进行检测。第一面检测完毕后，翻转臂组件11向下运动，抓取基板200，使基板200转移至翻转臂组件11上。由于翻转臂组件11由上向下搬运基板200，因此，基板200的第一面被翻转臂组件11遮挡，同时，又由于翻转臂组件11将基板200提升到较高的高度后翻转，因此，基板200的第二面朝向工作人员，工作人员可以对第二面进行检测。本实施例提供的检测机构1可以不必对基板200进行180°翻转即可实现基板200上下两面的检测，有效提高了检测效率，避免基板200表面被污染。

在本实施例中，翻转臂组件11上设置有能够吸附基板200的吸附组件，吸附组件吸附基板200的第一面使基板200能够被上下搬运。具体地，吸附组件可以为多个间隔设置的吸嘴7和与吸嘴7连通的真空泵。

由于检测载台15在正常情况下是水平设置的，而基板200的尺寸较大，因此，工作人员在检测基板200时，难以较清楚全面地观察到基板200，造成检测结果不准确，通过检测载台15的翻转可以使检测人员较为清楚且从不同的角度检查整个基板200。因此，为了实现检测载台15的翻转，支架6上还设置有载台翻转驱动组件12，载台翻转驱动组件12与检测载台15连接，且用于驱动检测载台15翻转，使得检测载台15与水平面呈0°至90°夹角。

载台翻转驱动组件12能够驱动检测载台15位于检测前的第一位置和检测时的第二位置。其中，为了方便检测载台15接料，第一位置可以是检测载台15处于水平面的位置，即检测载台15与水平面呈0°夹角；为了方便工作人员检测，第二位置可以是检测载台15处于竖直面的位置，即检测载台15与水平面呈90°夹角，或与竖直面呈锐角设置的位置，如该锐角优选为5°-20°。

为了避免基板200在检测载台15翻转的过程中坠落，检测载台15上设置有能够吸附基板200的吸附组件。

检测载台15通过载台移动架16连接于直线模组上。

图4为图3中A处的局部放大图。如图4所示，载台翻转驱动组件12包括第一旋转驱动件121、主动齿轮122、从动齿轮123和从动轴124。第一旋转驱动件121通过载台移动架16设置于支架6上，第一旋转驱动件121的输出端与主动齿轮122传动连接，以驱动主动齿轮122旋转。从动齿轮123转动设置于载台移动架16上，并与主动齿轮122啮合，从动轴124与从动齿轮123传动连接，进而实现从动轴124的转动。检测载台15与从动轴124固定连接，从动轴124带动检测载台15实现翻转。在本实施例中，第一旋转驱动件121可以为伺服电机。

图5为本实施例提供的翻转检测组件设置于支架上的结构示意图。如图5所示，支架6上还设置有载台翻转检测组件13，载台翻转检测组件13用于检测检测载台15是否翻转至第一位置或第二位置。

优选地，载台翻转检测组件13包括第一挡片131和两个第一光电传感器132。两个第一光电传感器132与第一挡片131的旋转中心的连线呈90°夹角设置于载台移动架16上，第一挡片131连接于第一旋转驱动件121的输出端，当第一挡片131随输出端旋转的过程中能够插入到第一光电传感器132的发射端和接收端之间，第一光电传感器132即可检测到检测载台15位于第一位置或第二位置。

图6为本实施例提供的检测机构的另一视角的结构示意图，图7为图6的B处的局部放大图。如图7所示，翻转臂组件11包括臂移动架111、臂翻转驱动组件113和翻转臂载台112。

臂移动架111可升降的设置于支架6上。具体地，支架6上设置有直线模组，直线模组与臂移动架111驱动连接，以驱动臂移动架111上下往复运动。臂翻转驱动组件113设置于臂移动架111上。翻转臂载台112通过臂翻转驱动组件113可翻转的连接于翻转臂移动支架6上。

具体地，臂翻转驱动组件113包括第二旋转驱动件1131和连接板1132。第二旋转驱动件1131设置于臂移动架111上。第二旋转驱动件1131可以为伺服电机。连接板1132与第二旋转驱动件1131的输出端传动连接，并与翻转臂载台112固定连接，从而使得第二旋转驱动件1131驱动翻转臂载台112翻转。

臂翻转驱动组件113能够驱动翻转臂载台112位于检测前的第三位置和检测时的第四位置。为了使翻转臂组件11易于吸附检测载台15上的基板200，第三位置为翻转臂载台112处于水平面的位置，即翻转臂载台112与水平面呈0°夹角。及为了使工作人员易于检测基板200的第二面，第四位置为翻转臂载台112处于竖直面的位置，即翻转臂载台112与水平面呈90°夹角，当然翻转臂载台112也可与竖直面呈锐角设置。

支架6上还设置有臂翻转检测组件14，臂翻转检测组件14用于检测翻转臂载台112是否翻转至第三位置或第四位置。

优选地，臂翻转检测组件14包括第二挡片141和两个第二光电传感器142。两个第二光电传感器142与第二挡片141的旋转中心的连线呈90°夹角设置于臂移动架111上，第二挡片141连接于连接板1132上，当第二挡片141随连接板1132旋转的过程中能够插入到第二光电传感器142的发射端和接收端之间，此时，第二光电传感器142检测到检测载台15位于第三位置或第四位置。

可以理解的是，两个第一光电传感器132之间的角度和两个第二光电传感器142之间的角度与暂存载台21和翻转臂载台112的翻转角度一致，且两个第一光电传感器132之间的角度和两个第二光电传感器142之间的角度均可调。

图8为本实施例提供的基板的检测设备的另一视角的结构示意图。如图8所示，为了便于搬运，搬运机构3通过吸附的方式搬运基板200，搬运机构3位于暂存载台21、检测载台15的上方，搬运机构3能够上下运动，其下降后可以抓取基板200，将其提升后可以在直线模组的驱动作用下沿第二方向运送基板200。具体地，搬运机构3的升降运动可以通过直线模组驱动。

如图1所示，搬运机构3包括入料搬运臂组件33、中转搬运臂组件32和出料搬运臂组件31。入料搬运臂组件33、中转搬运臂组件32和出料搬运臂组件31均能够沿第二方向运动，且均通过吸附的方式搬运基板200。搬运机构3还包括龙门组件34，龙门组件34可以通过立柱(图中未示出)与支架6连接，并位于支架6的上方。入料搬运臂组件33、中转搬运臂组件32和出料搬运臂组件31可滑动地设置于龙门组件34上。入料搬运臂组件33用以将基板200置于检测载台15或暂存载台21。

检测设备还包括中转载台4。中转载台4设置于暂存载台21的一侧，优选地，暂存载台21和中转载台4沿第一方向依次设置。

检测设备还包括贴标机构5，贴标机构5用于为中转载台4上的基板200贴标。示例性的，贴标机构5可以将暂存载台21移载到中转载台4上的基板200贴附A级标，将检测机构1移载到中转载台4上的基板200贴附B、C或D级标。具体地，贴标机构5设置于检测载台15的一侧，检测载台15与贴标机构5沿第二方向依次设置。检测设备具有贴标位和出料位，中转载台4设置为可在贴标位与出料位之间往复移动，从而可以为中转载台4上的基板200贴标，及将贴标后的基板200搬离检测设备。

中转搬运臂组件32能够在暂存载台21和中转载台4之间往复移动，并将暂存载台21和位于暂存位处的检测载台15上的基板200放置于中转载台4上。出料搬运臂组件31能够将中转载台4上的贴标后的基板200搬离检测设备。

在本实施例中，为了方便检测设备与下游设备连接，中转搬运臂组件32和出料搬运臂组件31沿第一方向依次设置，贴标位和出料位沿第一方向间隔设置，中转载台4能够沿第一方向在贴标位和出料位之间往复运动，以位于中转搬运臂组件32的正下方和出料搬运臂组件31的正下方。

本实施例提供的检测设备的工作过程如下：

入料搬运臂组件33吸附上游来料的基板200，若基板200不需检测，暂存载台21升至暂存位，入料搬运臂组件33将基板200放置于暂存载台21上。中转搬运臂组件32将暂存载台21上的基板200搬运至中转载台4，贴标机为中转载台4上的基板200贴标后，中转载台4沿第一方向运动至出料搬运臂组件31的正下方，出料搬运臂组件31将中转载台4上的基板200搬离检测设备。

若上游来料的基板200为不合格品，则暂存载台21降至避让位，检测载台15沿第一方向运动至暂存位，入料搬运臂组件33将基板200放置于检测载台15上。检测载台15沿第一方向的反向运动至检测位，载台翻转驱动组件12驱动检测载台15翻转至第二位置，人工检测基板200的第一面。载台翻转驱动组件12驱动检测载台15翻转至第一位置，翻转臂组件11吸附基板200的第一面，并将基板200提升，臂翻转驱动组件113将翻转臂载台112翻转至第四位置进行检测。检测载台15沿第一方向的反向运动至暂存位，中转搬运臂组件32将检测载台15上的基板200搬运至中转载台4，进行贴标和出料。

实施例二

本实施例提供了一种基板的检测方法，主要用于基板200的检测或传输。该检测方法可以用于实施例一种的基板的检测设备中，但不限于此，还可以用于其他能够实现本实施例提供的检测方法的检测设备中，该方法能够同时实现基板200的分级及检测，提高了基板200的生产效率。

本实施例提供的基板200的检测方法包括：

步骤1：提供一种基板200的检测设备，所述检测设备包括设置于支架6上的暂存载台21与检测机构1；

步骤2：放置所述基板200于所述检测机构1或所述暂存载台21上；

步骤3：若所述基板200位于所述暂存载台21上，则进入步骤4；若所述基板200位于所述检测机构1，则对所述基板200进行检测，并将检测完的所述基板200自所述检测机构1上卸载；

步骤4：将所述基板200自所述暂存载台21上卸载。

示例性的，检测设备将基板200放置于暂存载台21上，则基板200被分级为A级品。若所述基板200位于所述检测机构1，则基板200被分级为其他等级的产品，然后人工对位于所述检测机构1的基板200进行检测，以便对基板200进行进一步的分级，最后将基板200于暂存载台21或检测机构1上卸载，从而同时实现了基板200的分级及检测，提高了基板200的生产效率。

所述检测设备还包括搬运机构3，所述搬运机构3设置于所述支架6上，且包括入料搬运臂组件33。所述步骤2包括：驱动所述入料搬运臂组件33放置所述基板200于所述检测载台15或所述暂存载台21上。

所述检测机构1包括翻转臂组件11和检测载台15。具体地，所述步骤2包括放置所述基板200于所述检测机构1中的所述检测载台15或所述暂存载台21。

所述检测设备具有所述暂存载台21和所述检测载台15承接所述基板200的暂存位和所述检测载台15检测所述基板200的检测位，所述检测载台15可在所述暂存位与所述检测位之间往复移动。

放置所述基板200于所述检测载台15包括：

步骤21：驱动所述检测载台15移动至所述暂存位；

步骤22：放置所述基板200于所述检测载台15上；

步骤23：驱动所述检测载台15移动至所述检测位。

所述步骤3中，对所述基板200进行检测包括：

步骤31：翻转所述检测载台15，检测所述基板200的第一面。翻转所述检测载台15从而使基板200位于合适的角度，便于工作人员检测基板200的第一面。

步骤32：驱动所述翻转臂组件11抓取所述基板200，从而使得基板200加载在翻转臂组件11上，使得基板200的第二面不被遮挡，能够被检测。其中，所述第一面与所述第二面相对。

步骤33：驱动所述翻转臂组件11翻转，检测所述基板200的第二面。驱动所述翻转臂组件11翻转，从而使得基板200处于合适的角度，便于工作人员检测基板200的第二面。

所述搬运机构3还包括中转搬运臂组件32。所述步骤4包括：驱动所述中转搬运臂组件32将所述基板200自所述暂存载台21上卸载；或所述步骤3中将检测完的所述基板200自所述检测机构1上卸载，包括驱动所述中转搬运臂组件32将所述基板200自所述检测机构1上卸载。具体地，驱动所述中转搬运臂组件32将所述基板200自检测载台15上卸载。

驱动所述中转搬运臂组件32将所述基板200自检测载台15上卸载前还包括如下步骤：检测载台15由检测位移动至暂存位。

所述检测设备还包括中转载台4，所述检测方法还包括步骤5：驱动所述中转搬运臂组件32搬运所述基板200至所述中转载台4。

具体地，当基板200位于暂存载台21时，中转搬运臂组件32搬运暂存载台21上的所述基板200至所述中转载台4；当基板200位于检测载台15时，检测载台15由检测位移动至暂存位，然后中转搬运臂组件32搬运检测载台15上的所述基板200至所述中转载台4。

所述检测设备还包括贴标机构5，所述检测方法还包括步骤6：对所述中转载台4上的所述基板200进行贴标，以将分级完成的基板200贴附相应的标签。

所述搬运机构3还包括出料搬运臂组件31，所述检测方法还包括步骤7：驱动所述出料搬运臂组件31将完成贴标的所述基板200自所述中转载台4上卸载。

优选地，所述中转载台4能够在贴标位与出料位之间往复移动；所述步骤7包括：

步骤71：驱动所述中转载台4自所述贴标位移动至所述出料位；

步骤72：驱动所述出料搬运臂组件31将完成贴标的所述基板200自所述中转载台4上卸载。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基板的检测方法，用于基板(200)的检测或传输，其特征在于，所述检测方法包括：

步骤1：提供一种基板的检测设备，所述检测设备包括设置于支架(6)上的暂存载台(21)与检测机构(1)；

步骤2：放置所述基板(200)于所述检测机构(1)或所述暂存载台(21)上；

步骤3：若所述基板(200)位于所述暂存载台(21)上，则进入步骤4；若所述基板(200)位于所述检测机构(1)，则对所述基板(200)进行检测，并将检测完的所述基板(200)自所述检测机构(1)上卸载；

步骤4：将所述基板(200)自所述暂存载台(21)上卸载。

2.根据权利要求1所述的基板的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括搬运机构(3)，所述搬运机构(3)设置于所述支架(6)上，且包括入料搬运臂组件(33)；所述步骤2包括：驱动所述入料搬运臂组件(33)放置所述基板(200)于所述检测机构(1)或所述暂存载台(21)上。

3.根据权利要求2所述的基板的检测方法，其特征在于，所述搬运机构(3)还包括中转搬运臂组件(32)；所述步骤4包括：驱动所述中转搬运臂组件(32)将所述基板(200)自所述暂存载台(21)上卸载，或所述步骤3包括驱动所述中转搬运臂组件(32)将所述基板(200)自所述检测机构(1)上卸载。

4.根据权利要求3所述的基板的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括中转载台(4)，所述检测方法还包括步骤5：驱动所述中转搬运臂组件(32)搬运所述基板(200)至所述中转载台(4)。

5.根据权利要求4所述的基板的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括贴标机构(5)，所述检测方法还包括步骤6：对所述中转载台(4)上的所述基板(200)进行贴标。

6.根据权利要求5所述的基板的检测方法，其特征在于，所述搬运机构(3)还包括出料搬运臂组件(31)，所述检测方法还包括步骤7：驱动所述出料搬运臂组件(31)将完成贴标的所述基板(200)自所述中转载台(4)上卸载。

7.根据权利要求6所述的基板的检测方法，其特征在于，所述中转载台(4)能够在贴标位与出料位之间往复移动；所述步骤7包括：

步骤71：驱动所述中转载台(4)自所述贴标位移动至所述出料位；

步骤72：驱动所述出料搬运臂组件(31)将完成贴标的所述基板(200)自所述中转载台(4)上卸载。

8.根据权利要求1所述的基板的检测方法，其特征在于，所述检测机构(1)包括翻转臂组件(11)和检测载台(15)，所述步骤2包括放置所述基板(200)于所述检测机构(1)中的所述检测载台(15)或所述暂存载台(21)。

9.根据权利要求8所述的基板的检测方法，其特征在于，所述步骤3中，对所述基板(200)进行检测包括：

步骤31：翻转所述检测载台(15)，检测所述基板(200)的第一面；

步骤32：驱动所述翻转臂组件(11)抓取所述基板(200)；

步骤33：驱动所述翻转臂组件(11)翻转，检测所述基板(200)的第二面；其中，所述第一面与所述第二面相对。

10.根据权利要求8所述的基板的检测方法，其特征在于，所述检测设备具有所述暂存载台(21)和所述检测载台(15)承接所述基板(200)的暂存位和所述检测载台(15)检测所述基板(200)的检测位，所述检测载台(15)可在所述暂存位与所述检测位之间往复移动；放置所述基板(200)于所述检测载台(15)包括：

步骤21：驱动所述检测载台(15)移动至所述暂存位；

步骤22：放置所述基板(200)于所述检测载台(15)上；

步骤23：驱动所述检测载台(15)移动至所述检测位。