CN105190329A - 绝缘检测方法及绝缘检测装置 - Google Patents

Abstract

在一种进行配线图形的绝缘检测的绝缘检测装置中，在向检测对象间施加用于实施绝缘检测的电压时，电流控制部进行控制，以使第一电流大于第二电流，至第一检测部与第二检测部之间的电位差达到所定的电位差为止供给第一电流，且当达到了所定的电位差时供给第二电流。

Description

绝缘检测方法及绝缘检测装置

技术领域

本发明涉及一种与基板的配线图形的绝缘检测相关的绝缘检测方法及绝缘检测装置。并且，本发明并不限定于印刷配线基板，其可适用于例如柔性(flexible)基板、多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用电极板以及半导体封装用封装基板或薄膜载体等各种基板中的电气配线的检测，在本说明书中将这些各种配线基板总称为“基板”。

背景技术

以往，基板上形成的配线图形用于向装载在基板上的IC或半导体部件或者除此以外的电子部件收发电信号。这种配线图形随着近来电子部件的微细化，在更微细且更复杂地形成的同时，按更低的电阻形成。随着所述基板的配线图形的微细化，对检测配线图形的良好/不良的精密度要求变得更高。

作为检测此种配线图形的良好/不良的方法，存在检测配线图形是否具有所定的电阻值而形成的导通检测以及检测各个配线图形是否未短路而形成的绝缘检测这两大类检测。

尤其，所述绝缘检测通过向一侧的配线图形施加电压，而在另一侧的配线图形中测定流动的电流，从而算出配线图形间的电阻值，且通过此电阻值检测绝缘状态。

在这种绝缘检测中，在向配线图形施加所定电压(施加电压V)之后，由于随配线图形间的电压不稳定而在配线图形间瞬间流动过大的电流，因此在配线图形间的电压稳定为施加电压V且经过电流变稳的时间(所定时间)之后，进行绝缘状态的不良判定。但，若在检测对象的配线图形间施加较高的直流电压(施加电压)，则在施加电压后，直至所定时间经过为止，在配线图形间可能会产生电火花(放电现象)，且据此电火花，配线图形间的绝缘电阻值发生变化，因此存在着不能算出正确的配线图形间的绝缘电阻值的问题。

为了改善这种问题，可利用例如专利文献1揭示的技术。此专利文献1揭示的技术是通过测定向配线图形接通施加电压的所定时间中的配线图形间的电压变化值且检测出上述电火花产生时的电压降，从而检测电火花。例如，在专利文献1的图10所示的电压变化的图表中，示出了在图表中的时间t21和时间t22产生电火花。如此，在检测电压变化的同时，通过检测(图表中的A和B之处)因电火花引起的电压降(算出「dv/dt」而获得的值)来检测电火花。

由于上述基板进行量产，因此如何对大量的基板有效率地实施并完成检测是一个重要的问题。鉴于此，需要可靠且有效地实施绝缘检测的方法。

【现有技术文献】

【专利文献1】

日本专利第3546046号公报

发明内容

本发明提供了一种在发现如上所述的电火花(spark)现象(电火花不良)的同时有效地实施绝缘检测的方法及绝缘检测装置。

根据权利要求1的发明，提供了一种绝缘检测装置，针对形成有多个配线图形的基板，从所述的多个配线图形中选择成为检测对象的配线图形，且进行上述配线图形的绝缘检测，所述绝缘检测装置包括：选出设备，从所述多个配线图形中选出成为检测对象的配线图形作为第一检测部，同时选出除所述第一检测部以外的成为检测对象的配线图形作为第二检测部；电源设备，为了在所述第一检测部与所述第二检测部之间设定所定的电位差，分别与所述第一检测部和第二检测部电连接，进而供给电力；电压检测设备，检测所述第一检测部与第二检测部之间的电位差；以及判定设备，利用所述电压检测设备检测的电压值，根据比较结果，将所述基板判定为良品或不良品，其中，所述电源设备包括控制来自所述电源设备的电流的电流控制部，所述电流控制部进行控制，以使第一电流大于第二电流，至所述第一检测部与第二检测部之间的所述电位差达到所述所定的电位差为止供给所述第一电流，且当达到了所述所定的电位差时供给所述第二电流。

根据权利要求2的发明，提供了一种绝缘检测装置，所述电流控制部将所述第一电流和所述第二电流控制在0mA至30mA的范围。

根据权利要求3的发明，提供了一种绝缘检测装置，所述电流控制部将所述第一电流控制为所述第二电流的五倍至三十倍。

根据权利要求4的发明，提供了一种绝缘检测方法，进行从基板上形成的多个配线图形中选择成为检测对象的配线图形的绝缘检测，所述绝缘检测方法包括如下步骤：从所述多个配线图形中选出成为检测对象的配线图形作为第一检测部，且选出除所述第一检测部以外的成为检测对象的配线图形作为第二检测部；供给电力，以达到所述检测对象间用于进行绝缘检测的所定的电位差；检测向所述检测对象间供给所述电力时的所述检测对象间的电位差；以所述检测的所述电位差为基础，判定所述检测对象间的绝缘状态；以及在所述检测对象间设定所述电位差时，进行控制，以使达到所述电位差为止供给的电流值大于已达到所述电位差后进行供给的电流值。

根据权利要求1和4记载的发明，在向设定于第一检测部和第二检测部之间的检测对象间赋予用于绝缘检测的所定电位差时，由于通过控制使此检测对象间达到所定的电位差为止的第一电流大于此检测对象间达到所定电位差之后供给的第二电流，因此在为使检测对象间达到所定电位差而供给电流的期间，根据大于第二电流的第一电流来赋予电位差，从而可缩短充电时间。此外，由于在检测对象间设定所定的电位差后供给小于第一电流的第二电流，因此可降低供给电流的影响，进而进行电火花检测。

根据权利要求2记载的发明，由于第一电流和第二电流设定为0至30mA的范围内，因此可进行所希望的绝缘检测。

根据权利要求3记载的发明，由于第一电流控制为第二电流的五倍至三十倍，因此可缩短向检测对象间赋予所定电位差的时间，且针对赋予了电位差的检测对象间，可具有高的电火花检测能力。

附图说明

图1是示出根据本发明的绝缘检测装置的一个实施形态的概略构成图。

图2是示出根据本发明的绝缘检测装置的动作的一个实施形态的示图。

图3是示出根据本发明的检测对象间的电压变化的图表。

[附图标记说明]

1:绝缘检测装置

2:电源设备

3:电压检测设备

5:电流控制部

6:控制设备

具体实施方式

现针对用于实施本发明的具体内容进行说明。

本发明涉及一种对在基板上形成的多个配线图形进行绝缘检测时所产生的电火花不良，能有效且不使检测时间变冗长而进行检测的绝缘检测装置及其方法。

图1是本发明绝缘检测装置的一个实施形态的概略构成图。

根据本发明的一个实施形态的绝缘检测装置1包括电源设备2、电压检测设备3、电流检测设备4、电流控制部5、控制设备6、切换设备7、电流供给端子8、电压检测端子9和显示设备10。在图1的实施形态中，示出了本发明的绝缘检测装置1、成为检测对象的基板CB、将绝缘检测装置1和基板CB相电连接的接触探针CP。

图1所示的基板CB具有四个配线图形P1至P4。此基板CB具有的配线图形根据所设计的基板CB适当地设定其数量及形状。图1的基板CB虽然示出了一字状的配线图形P1、T字状的配线图形P2以及十字状的配线图形P3和P4，但对此并不进行特别的限定。

图1示出了与各配线图形P1至P4电接触的四个接触探针CP。此接触探针CP能使绝缘检测装置1和基板CB相电导通连接。且此接触探针CP的配置位置或配置数量根据基板CB上形成的配线图形适当地设定。

在图1的实施形态中，虽然将后述的上流侧和下流侧电流供给端子以及上流侧和下流侧电压检测端子，通过一个接触探针CP来可导通地连接到配线图形上设定的所定检测位置，但也可以将电流供给端子8和电压检测端子9分别通过不同的两个接触探针CP来可导通地连接到所定的检测位置。

电源设备2向成为检测对象的配线图形和其他配线图形之间(以下称，检测对象间)施加用于绝缘检测的所定电位差(检测电压)。此电源设备2可使用直流电源或交流电源，并不进行特别的限定，只要能在检测对象间施加所定的电位差则均可使用。

此电源设备2施加的电位差虽然根据使用者可适当地进行设定，但在基板的绝缘检测时一般设定为200V至250V。

电流控制部5控制从电源设备2供给的电流，进而向检测对象间进行供给。此电流控制部5能控制电流量的增减，且根据来自后述的控制设备6的控制信号进行控制。此电流控制部5进行的电流控制具体来说具有针对从电源设备2供给的电流设定所定的限制，从而限制一定以上电流量的电流不流过的功能。电流控制部5具有至少两个这样的电流限制，且根据来自后述的控制设备6的控制信号可对电流量施加限制。

此电流控制部5具有在向检测对象间施加检测电压期间(在检测对象间达到所定电位差之前)将从电源设备2供给的电流作为第一电流进而进行控制的功能，和在向检测对象间施加所定的检测电压后(检测对象间达到所定电位差之后)将从电源设备2供给的电流作为第二电流进而进行控制的功能。

电流控制部5将第一电流设定为大于第二电流。鉴于此，截止至检测对象间达到所定的电位差，从电源设备2供给的电流受到第一电流的大小限制而供给。且在检测对象间被设定为所定的电位差之后，从电源设备2供给的电流受到第二电流的大小限制而供给。鉴于此，检测对象间未达到所定的电位差时，由于供给电流量大的第一电流，因此检测对象间可更快地具有所定的电位差。且在检测对象间达到所定的电位差之后，由于向检测对象间供给电流量小的第二电流，因此可使来自电源设备2的电流影响变小，从而进行电火花检测。从而，能进行精密度高的电火花检测。

优选地，电流控制部5控制的第一电流和第二电流全部按0至30mA的范围进行控制。通过按此电流值的范围进行控制，能恰当地执行基板配线图形的检测对象间的绝缘检测。

电流控制部5按第二电流的五倍至三十倍控制第一电流。通过这种控制，在检测对象间未达到所定的电位差时，能使检测对象间更快地达到所定的电位差，而在检测对象间达到所定的电位差之后，能使来自电源设备2的电流影响变小进而进行电火花检测，因此是最能发挥上述两个效果的条件。具体来讲，优选地，第一电流设定为15mA至25mA，而第二电流设定为0mA至5mA。

此第一电流和第二电流更优选的具体条件则是将第一电流设定为20mA，将第二电流设定为1mA。通过这种设定，能缩短达到所定电位差的电流供给时间，且能提高达到所定电位差后的电火花检测精密度。本发明人通过调整控制第一电流和第二电流，创出了能更加准确地发现在基板配线图形中绝缘检测时的电火花不良且能提高大批量处理的基板检测的节拍(tact)的条件。

如上所述，电流控制部5具有调整一定电流量的功能，可采用例如电流限制器电路。通过使用电流限制器电路能控制所定电流的流量。此电流限制器电路能进行上述两个电流控制，且根据后述的控制设备6的控制信号能分别切换对第一电流和第二电流的控制。

电压检测设备3检测出检测对象间的电压。此电压检测设备3例如可使用电压计，但并不进行特别的限定，只要能检测出检测对象间的电压即可。通过使用此电压检测设备3检测的电压值和根据电源设备2供给的电流值，可算出检测对象间的电阻值。且通过使用此电阻值能检测出检测对象间的绝缘性。还能根据此电压检测设备3检测的电压值，进行对电源设备2动作的控制。

电流检测设备4检测出检测对象间的电流。此电流检测设备4例如可使用电流计，但并不进行特别的限定，只要能检测出检测对象间流动的电流值即可。

虽然可决定根据电流供给设备(电源设备)2供给的电流值，但通过使用此电流检测设备4，也能检测出检测对象间的电流值。

电流供给端子8为了向检测对象间供给电流，通过接触探针CP与各个配线图形P连接。此电流供给端子8包括用于将电流供给设备2的上流侧(正极侧)和配线图形P相连接的上流侧电流供给端子81，以及用于将电流供给设备2的下流侧(负极侧)或电流检测设备4和配线图形P相连接的下流侧电流供给端子82。如图1所示，此电流供给端子8的上流侧电流供给端子81和下流侧电流供给端子82针对各自的配线图形P而设置。

上流侧电流供给端子81和下流侧电流供给端子82分别具有切换设备7的开关元件SW，根据此切换设备7的开关元件SW的ON/OFF动作，可设定连接状态/未连接状态。优选地，在电流供给端子8中配置静电释放(ESD，Electro-StaticDischarge)保护用的电阻。

电压检测端子9为了检测出检测对象间的电压，通过接触探针CP与各个配线图形P连接。此电压检测端子9包括用于将电压检测设备3的上流侧(正极侧)和配线图形P相连接的上流侧电压检测端子91，以及用于将电压检测设备3的下流侧(负极侧)和配线图形P相连接的下流侧电压检测端子92。如图1所示，此电压检测端子9的上流侧电压检测端子91和下流侧电压检测端子92针对各自的配线图形P而设置。与电流供给端子8一样，上流侧电压检测端子91和下流侧电压检测端子92分别连接切换设备7的开关元件SW，根据此切换设备7的开关元件SW的ON/OFF动作，可设定连接状态/未连接状态。

电流供给端子8和电压检测端子9，如图1所示，针对与配线图形P导通连接的一个接触探针CP配置四个端子，且同时具有进行各个端子的ON/OFF控制的四个开关元件SW。在图1中，将控制上流侧电流供给端子81的动作的开关元件用符号SW1表示，将控制上流侧电压检测端子91的动作的开关元件用符号SW2表示，将控制下流侧电压检测端子92的动作的开关元件用符号SW3表示，将控制下流侧电流供给端子82的动作的开关元件用符号SW4表示。

切换设备7由与上述各个接触探针CP导通连接的多个开关元件SW构成。此切换设备7根据来自后述的控制设备6的动作信号来控制ON/OFF动作。

控制设备6选出成为检测对象的配线图形P，或以来自电压检测设备3的电压值为基础检测电火花，或发送切换设备7的动作的指示信号，或进行本装置1的整体控制。此控制设备6，如图1所示，包括选出设备61、判定设备62和记忆设备63。

选出设备61从基板CB的多个配线图形P中选出成为检测对象的配线图形P，进而对检测对象的配线图形P进行特定。通过此选出设备61对检测对象的配线图形P进行特定，从而按顺序选出进行绝缘检测的配线图形P。此选出设备61对检测对象的配线图形P进行选出的方法，可以事先在记忆设备63中设定成为检测对象的配线图形P的顺序，根据此顺序选出检测对象的配线图形P。此选出方法虽然可采用如上所述的方法，但只要是能按顺序选出成为检测对象的配线图形P的方法就不进行特别的限定。

选出设备61进行的具体配线图形P的选出通过使用切换设备7而实施。例如，通过对切换设备7的各个开关元件SW的ON/OFF控制，可选出成为检测对象的配线图形P。在本实施形态的绝缘检测装置中，开关元件SW处于ON状态，以使成为检测对象的配线图形P与用于和电源设备2连接的上流侧电流供给端子81连接。且同时，开关元件SW处于ON状态，以使上流侧电压检测端子91与此配线图形P连接。

例如，在图1所示的实施形态中，将配线图形P1作为检测对象时，选出设备61选出与配线图形P1连接的上流侧电流供给端子81和上流侧电压检测端子91，且发送催促信号以使端子81、91的开关元件SW1和开关元件SW2处于ON状态。切换设备7通过接收此信号，使开关元件SW1和开关元件SW2动作。并且此时，发送催促信号以使与检测对象的配线图形以外的配线图形(余下的配线图形)相对应的开关元件SW3和开关元件SW4处于ON状态。

如上所述，根据选出设备61，从基板CB的多个配线图形P中选择成为检测对象的配线图形P。根据此实施形态的绝缘检测装置1的选出设备61所选出的配线图形P，从基板CB上形成的多个配线图形中选出一个配线图形P。即，在根据选出设备61选出的一个配线图形P与余下所有的配线图形P间进行绝缘检测。通过如此选出配线图形P，则可设定检测对象间。

判定设备62以来自电压检测设备3的电压值为基础判定电火花的产生。此判定设备62进行的判定，例如可检测根据电压施加而产生的检测对象间的电压，在检测出产生电压降时可以判定为电火花不良。另外，虽然图1中未进行图示，但还能通过检测上流侧电流供给端子81和上流侧电压检测端子91之间的电压变化，来检测电火花不良的电压变化。此判定设备62进行的判定方法，如上所述，可将检测到检测对象间的电压降之情况作为不良，也可利用形成检测对象间的配线图形P的上流侧电流供给端子81与上流侧电压检测端子91之间的电压的变化(未图示)。

显示设备10显示绝缘检测的状态等。此显示设备10显示出对电火花的发现。此显示设备10显示的内容并不进行特别的限定，可根据本绝缘检测装置的制造者适当地进行设定。

以上是对根据本发明的绝缘检测装置1的构成的说明。

接着，对本绝缘检测装置的动作进行说明。

图2是示出实施本绝缘检测装置的绝缘检测时的一个实施例的示图，图3是作为示出图2的绝缘检测装置的电压变化的图表，图3(a)示出了良品时的电压变化，而图3(b)则示出了不良品时的电压变化。

首先，在记忆设备63中存储成为检测对象的基板CB的配线图形P的信息等，并进行基板CB的导通和绝缘检测的准备。接着，在所定的检测位置配置基板CB，且在基板CB上形成的配线图形P上的检测点配置接触探针CP，进而相接以能进行电连接。

基板CB准备好后则进行导通检测。此时，虽未进行详细记载，但在进行全部配线图形的导通检测且全部配线图形的导通状态无异常时(全部配线图形是通过(pass)了导通检测的状态时)，进行下一步的绝缘检测。

此时，选出设备61为了设定检测对象间，选出成为检测对象的配线图形P。若选出设备61选出成为检测对象的配线图形P，则对作为此检测对象而选出的配线图形P的上流侧电流供给端子81和上流侧电压检测端子91进行特定。并且，从选出设备61向切换设备7发送动作信号，以使用于将此特定的上流侧电流供给端子81和上流侧电压检测端子91形成连接状态的开关元件SW1和SW2处于ON。切换设备7若接收与来自选出设备61的开关元件的ON/OFF动作相关的信号，则根据此信号进行开关元件SW的ON/OFF控制。

更具体地讲，例如配线图形P1成为检测对象的配线图形时，与对应于配线图形P1的上流侧电流供给端子81和上流侧电压检测端子91连接的开关元件SW1和SW2处于ON。且与此同时，为了使与除此配线图形P1外的配线图形P2至配线图形P4连接的接触探针CP与各个下流侧电流供给端子82形成连接状态，控制各个下流侧电压检测端子92的开关元件SW3和下流侧电流供给端子82的开关元件SW4处于ON(参考图2)。

在图2所示的动作状态中，如上所述，选出配线图形P1作为检测对象。鉴于此，由于开关元件SW1和开关元件SW2处于ON，因此配线图形P1与上流侧电流供给端子81和上流侧电压检测端子91连接。此时，由于开关元件SW3和开关元件SW4处于ON，因此除检测对象之外的配线图形P2至配线图形P4分别与下流侧电流供给端子82和下流侧电压检测端子92连接。

如上所述，当开关元件SW受ON或OFF控制时，由于检测对象间已设定，因此向配线图形P1施加用于绝缘检测的所定电位差。具体来讲，控制设备6向电源设备2发送动作信号以使供给电力，且同时针对电流控制部5发送动作信号以使进行第一电流的限定。若控制设备6向电源设备2和电流控制部5发送控制信号，则从电源设备2通过电流控制部5，供给按第一电流进行限定的电流。第一电流设定为大于第二电流，且因此能迅速地将检测对象间的电位差设定为所定的电位差。

此时，电压检测设备3在绝缘检测的实施中，检测出检测对象间的电压，且向控制设备6发送此检测结果。控制设备6以此电压检测设备3检测的电压信息为基础，发送控制电源设备2和电流控制部5的信号。

图3(a)是示出不存在电火花不良时的电压变化的图表，图3(b)是示出存在电火花不良时的电压变化的图表。在图3中，电压值V1以向检测对象间施加的所定电位差所设定。图3(a)的时间t0至时间t1期间以及图3(b)的时间t0至时间t3期间示出了检测对象间的电压上升至所定电位差的状态，在此期间供给第一电流。

若检测对象间的电压根据来自电源设备2的电流(第一电流)供给设定为用于绝缘检测的所定电位，则控制设备6接收来自电压检测设备3的信号，且确认检测对象间所定的电压的供给，控制设备6针对电流控制部5发送控制信号，以将来自电源设备2的电流限定为第二电流。若接收来自控制设备6的控制信号，则电流控制部5将来自电源设备2的电流限定为第二电流。

电流控制部5若接收来自控制设备6的控制信号，则将来自电源设备2的电流按第二电流限定的电流进行供给。第二电流是被设定为小于第一电流的电流，由于向已达到所定电位差的检测对象间进行供给，因此通过将对电火花不良的影响变得非常小而进行供给，从而能提高电火花不良的检测精密度而实施绝缘检测。

在图3(a)的时间t1至时间t2期间，进行根据此第二电流的电流供给。在图3(b)中，在时间t0至时间t3期间，由于发现电火花不良(图中以符号A表示的地方)，因此虽未在图表中记载进行绝缘检测的时间，但从时间t3之后向检测对象间供给第二电流。

在控制设备6中，如上所述开始向检测对象间施加所定的电位差，且在检测对象间的所定的电位差设定后截止所定的时间连续地检测出检测对象间的电压。此时，例如图3(a)所示，若未算出因电火花导致的电压降，则在此检测对象间不存在电火花不良，而进行绝缘检测。在图3(a)的时间t2进行检测对象间的电压值检测，进而算出检测对象间的电阻值。在检测对象间达到所定电位差后经过所定的时间之后，设定时间t2。

此外，如图3(b)所示，算出因电火花导致的电压降时，例如，当检测到在供给第一电流的期间中的电压降状态或供给第二电流的期间中的电压降状态的时候，判定设备62判定检测对象间存在电火花不良。

如上所述，当产生电火花时，在通知产生电火花的同时，算出此电火花的大小，且与电火花一同显示出其大小。鉴于此，使用者通过检测电压值，不仅可容易地检测在绝缘检测中发生的电火花，而且还可知道此电火花的大小。

在此绝缘检测装置1中，进行成为检测对象的一个配线图形P与余下全部的配线图形的绝缘检测，在此检测对象的一个配线图形P的绝缘检测结束后，选择一个作为下一个检测对象的配线图形P，并重复进行相对于余下全部配线图形的绝缘检测。并且在进行各个检测对象间(检测对象的配线图形P)的绝缘检测时，可同时对如上所述的电火花不良进行检测，且在检测到不良时，将其作为不良基板进而终止检测。

如上所述，可将在被检测基板上形成的全部配线图形作为检测对象的配线图形而进行绝缘检测。

Claims (4)

1.一种绝缘检测装置，进行从基板上形成的多个配线图形中选择成为检测对象的配线图形的绝缘检测，所述绝缘检测装置包括：

选出设备，从所述多个配线图形中选出成为检测对象的配线图形作为第一检测部，同时选出除所述第一检测部以外的成为检测对象的配线图形作为第二检测部；

电源设备，为了在所述第一检测部与所述第二检测部之间设定所定的电位差，分别与所述第一检测部和第二检测部电连接，进而供给电力；

电压检测设备，检测所述第一检测部与第二检测部之间的电位差；以及

判定设备，利用所述电压检测设备检测的所述电位差，将所述基板判定为良品或不良品，

其中，所述电源设备包括控制来自所述电源设备的电流的电流控制部，

所述电流控制部进行控制，以使第一电流大于第二电流，至所述第一检测部与第二检测部之间的所述电位差达到所述所定的电位差为止供给所述第一电流，且当达到了所述所定的电位差时供给所述第二电流。

2.如权利要求1所述的绝缘检测装置，其特征在于所述电流控制部将所述第一电流和所述第二电流控制在0mA至30mA的范围。

3.如权利要求1或2所述的绝缘检测装置，其特征在于所述电流控制部将所述第一电流控制为所述第二电流的五倍至三十倍。

4.一种绝缘检测方法，进行从基板上形成的多个配线图形中选择成为检测对象的配线图形的绝缘检测，所述绝缘检测方法包括如下步骤：

从所述多个配线图形中选出成为检测对象的配线图形作为第一检测部，且选出除所述第一检测部以外的成为检测对象的配线图形作为第二检测部；

供给电力，以达到所述检测对象间用于进行绝缘检测的所定的电位差；

检测向所述检测对象间供给所述电力时的所述检测对象间的电位差；

以所述检测的所述电位差为基础，判定所述检测对象间的绝缘状态；以及

在所述检测对象间设定所述电位差时，进行控制，以使达到所述电位差为止供给的电流值大于已达到所述电位差后进行供给的电流值。