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CN104583827B - 导光装置、制造方法、及ld模块 - Google Patents

导光装置、制造方法、及ld模块 Download PDF

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CN104583827B CN201380044951.2A CN201380044951A CN104583827B CN 104583827 B CN104583827 B CN 104583827B CN 201380044951 A CN201380044951 A CN 201380044951A CN 104583827 B CN104583827 B CN 104583827B
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Abstract

一种导光装置，将由从多个LD元件分别射出的激光射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，该导光装置具备与所述各LD元件LDi分别对应且彼此分离的多个双联反射镜。所述各双联反射镜Mi由载置在基板B的上表面上的第一反射镜Mi1和进而载置在第一反射镜Mi1的上表面上的第二反射镜Mi2构成。所述第一反射镜和所述第二反射镜分别具有第一反射面和第二反射面。所述第一反射面和所述第二反射面的法线与所述基板的上表面的法线所成的角度分别为45°和135°。从所述对应的各LD元件射出的激光射线在所述第一反射面被反射后在所述第二反射面被反射。通过调整所述第一反射镜、所述第二反射镜的朝向、位置，能够调整所述输出射线的传播方向。

Description

导光装置、制造方法、及LD模块
技术领域
本发明涉及将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束的导光装置。而且，涉及这样的导光装置的制造方法、及具备这样的导光装置的LD模块。
背景技术
为了使从LD(Laser Diode)元件(半导体激光元件)射出的激光射线与光纤耦合，而广泛地使用LD模块。在这样的LD模块中，作为将从多个LD元件分别射出的激光射线向光纤引导的导光装置，已知有专利文献1记载的微型光学装置。
图14是专利文献1记载的微型光学装置10的立体图。如图14所示，微型光学装置10具备基板11、LD棒12、圆柱透镜13、第一镜列14、及第二镜列15。
LD棒12具备沿x轴排列的多个LD元件，从各LD元件向z轴正方向射出激光射线。从各LD元件向z轴正方向射出的激光射线的光轴在与zx面平行的第一平面内沿x轴排列。
需要说明的是，从各LD元件射出的激光射线的传播方向以z轴正方向为中心而向±θx方向分散。因此，在微型光学装置10中，采用通过以与LD棒12的出射端面相对的方式配置的圆柱透镜13，从而对从各LD元件射出的激光射线进行校准(使传播方向向z轴正方向收敛)的结构。
第一镜列14是将与构成LD棒12的各LD元件相对的镜面14a一体化而成。从各LD元件向z轴正方向射出的激光射线利用与该LD元件相对的镜面14a而向y轴正方向反射。而且，第二镜列15是将与构成第一镜列14的各镜面14a相对的镜面15a一体化而成。在各镜面14a处向y轴正方向反射的激光射线利用与该镜面14a相对的镜面15a而向x轴正方向反射。
需要说明的是，对从x轴正方向侧计数的第i+1个LD元件射出的激光射线进行反射的镜面14a、15a，与对从x轴正方向侧计数的第i个LD元件射出的激光射线进行反射的镜面14a、15b相比，更向z轴负方向侧配置。因此，在各镜面15a处向x轴正方向反射的激光射线的光轴在与zx平面平行的第二平面、且位于比上述的第一平面靠y轴正方向侧的第二平面内沿着z轴排列。
这样，微型光学装置10具有将由从构成LD棒12的各LD元件射出的向z轴正方向传播的激光射线构成的第一射线束转换成由在构成第二镜列15的各镜面15a处反射的沿x轴方向传播的激光射线构成的第二射线束的功能。从微型光学装置10输出的第二射线束(以下，记载为“输出射线束”)例如通过未图示的透镜而会聚到光纤的入射端面上。
【在先技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本国公开专利公报“特开2004-252428号”(公开日：2004年9月9日)
发明内容
【发明要解决的课题】
然而，在以往的微型光学装置10中，在从各LD元件射出的激光射线的传播方向存在变动(不一样的倾斜)的情况下，在构成输出射线束的各激光射线的传播方向上难免会产生变动。这是因为，由于对从各LD元件射出的激光射线进行反射的镜面14a、15a作为镜列14、15而一体化，因此无法个别地调整构成输出射线束的激光射线的传播方向。构成输出射线束的各激光射线的传播方向的变动难以使输出射线束会聚于光纤的入射端面，成为妨碍高输出化及高效率化的主要原因。
这样的问题在多芯片LD模块中特别显著。在此，多芯片LD模块是指以分别具备1个LD元件的多个LD芯片为光源的LD模块。可知在需要个别地安装各LD芯片的多芯片LD模块中，在从各LD芯片射出的激光射线的传播方向上容易产生变动。
需要说明的是，在从各LD元件射出的激光射线的传播方向的倾斜一样的情况下，通过调整镜列14的倾斜，能够使构成输出射线束的各激光射线向规定的方向传播。然而，维持镜列14的倾斜的情况由于以下的理由而比较困难。
即，为了使镜列14以倾斜的状态与基板11粘接，需要使夹设在镜列14与基板11之间的粘接层的厚度不均匀。因此，在使粘接层固化时会发生不均匀的固化收缩，镜列14的倾斜发生变化。而且，即使在使粘接层固化之后，伴随着温度上升/温度下降而引起不均匀的热膨胀/热收缩，镜列14的倾斜发生变化。
本发明鉴于这样的问题而作出，其目的是实现一种导光装置，所述导光装置将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其中，在输入射线的传播方向上无论是存在不一样或一样的倾斜，都能将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，使用这样的导光装置，实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
【用于解决课题的方案】
本发明的导光装置将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其特征在于，所述导光装置具备双联反射镜，所述双联反射镜与各输入射线对应且从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立，与各输入射线对应的双联反射镜由载置在特定的平面上的第一反射镜和载置在该第一反射镜上的第二反射镜构成，上述第一反射镜具有第一反射面，所述第一反射面对输入射线进行反射且所述第一反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的角成为45°，上述第二反射镜具有第二反射面，所述第二反射面对由上述第一反射面反射后的输入射线进行反射且所述第二反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的角成为135°。
在上述的结构中，对各输入射线进行反射的第一反射面设于在特定的平面上载置的第一反射镜上，对由第一反射面反射后的输入射线进行反射的第二反射面设于在第一反射镜上载置的第二反射镜上。因此，通过使第一反射镜及第二反射镜分别转动，能够自由地调整输出射线的传播方向。例如，即使在输入射线的传播方向上存在倾斜，也能够将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，通过使第一反射镜及第二反射镜分别滑动，也能够自由调整输出射线的光轴位置。
而且，在上述的结构中，与各输入射线对应的双联反射镜从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立。因此，能够相互独立地进行各输出射线的传播方向的调整。因此，即使在输入射线的传播方向上存在变动，也能够将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，也能够相互独立地进行各输出射线的光轴位置的调整。
具备上述导光装置的LD模块也包含在本发明的范畴内。
通过具备上述导光装置，能够实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
【发明效果】
根据本发明，实现在输入射线的传播方向上无论是存在不一样或一样的倾斜，都能将输出射线的传播方向调整成规定的方向的导光装置。而且，使用这样的导光装置，能实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的LD模块的结构的俯视图。
图2是表示图1所示的LD模块具备的单位光学系统的结构的立体图。
图3是表示图1所示的LD模块具备的双联反射镜的结构的立体图。
图4是用于说明图3所示的双联反射镜具备的第一反射镜及第二反射镜的微小旋转引起输出射线的传播方向的微小旋转的情况的图。
图5是表示实施图6所示的调整方法时的LD模块的结构的俯视图。
图6是表示对图3所示的双联反射镜具备的第一反射镜及第二反射镜的朝向及位置进行调整的调整方法的流程图。
图7(a)是例示实施图6所示的流程图包含的第一反射镜转动工序之前的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及主视图(下段)。图7(b)是例示实施了第一反射镜转动工序之后的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及主视图(下段)。
图8(a)是例示实施图6所示的流程图包含的第二反射镜转动工序之前的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及侧视图(下段)。图8(b)是例示实施了第二反射镜转动工序之后的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及侧视图(下段)。
图9(a)是例示实施图6所示的流程图包含的第一反射镜滑动工序之前的双联反射镜的状态的侧视图。图9(b)是例示实施了第一反射镜滑动工序之后的双联反射镜的状态的侧视图。
图10(a)是例示实施图6所示的流程图包含的第二反射镜滑动工序之前的双联反射镜的状态的主视图。图10(b)是例示实施了第二反射镜滑动工序之后的双联反射镜的状态的主视图。
图11是表示实施图6所示的调整方法时设为调整目标的输出射线的配置的图。
图12是表示图1所示的LD模块的第一变形例的俯视图。
图13是表示图1所示的LD模块的第二变形例的俯视图。
图14是表示以往的微型光学装置的结构的立体图。
具体实施方式
关于本发明的一实施方式的LD模块，若基于附图进行说明，则如以下所述。
〔LD模块的结构〕
关于本实施方式的LD模块1的结构，参照图1进行说明。图1是表示LD模块1的结构的俯视图。
LD模块1是用于使从N个(在本实施方式中为N＝10)LD芯片LD1～LD10射出的激光射线与光纤OF耦合的结构。需要说明的是，在本实施方式中，LD模块1具备的LD芯片的个数N设为10，但是本发明没有限定于此。即，LD模块1具备的LD芯片的个数N可以是2以上的任意的整数。
如图1所示，LD模块1除了N个LD芯片LD1～LD10之外，还具备N个F轴校准透镜FAC1～FAC10、N个S轴校准透镜SAC1～SAC10、N个双联反射镜M1～M10、基板B、F轴聚光透镜FL、S轴聚光透镜SL。LD芯片LD1～L10、F轴校准透镜FAC1～FAC10、S轴校准透镜SAC1～SAC10、双联反射镜M1～M10、F轴聚光透镜FL及S轴聚光透镜SL都直接或经由未图示的安装件而载置在基板B上。
在LD模块1中，基板B、F轴校准透镜FAC1～FAC10、S轴校准透镜SAC1～SAC10及双联反射镜M1～M10构成相当于以往的微型光学装置10(参照图14)的导光装置。该导光装置与以往的微型光学装置10同样，具有将由从LD芯片LD1～LD10射出的向z轴正方向传播的激光射线(以下，也记载为“输入射线”)构成的输入射线束转换成由向x轴负方向传播的激光射线(以下，也记载为“输出射线”)构成的输出射线束的功能。
在该输出射线束的光路上配置有F轴聚光透镜FL和S轴聚光透镜SL。F轴聚光透镜FL使构成输出射线束的各输出射线以使射线间隔在光纤OF的入射端面处成为最小(优选成为0)的方式折射。而且，S轴聚光透镜SL使构成输出射线束的各输出射线以y轴方向的射线直径在光纤OF的入射端面处成为最小(优选成为0)的方式会聚。
如图1所示，LD模块1以由LD芯片LDi、F轴校准透镜FACi、S轴校准透镜SACi、双联反射镜Mi构成的光学系统为单位而构成。在图1中，例示出由LD芯片LD1、F轴校准透镜FAC1、S轴校准透镜SAC1、双联反射镜M1构成的单位光学系统S1。
〔单位光学系统的结构〕
关于LD模块1具备的单位光学系统Si的结构，参照图2进行说明。图2是表示单位光学系统Si的结构的立体图。如图2所示，单位光学系统Si由LD芯片LDi、F轴校准透镜FACi、S轴校准透镜SACi、双联反射镜Mi构成。
LD芯片LDi以使活性层与zx平面平行且出射端面朝向z轴正方向的方式载置在基板B上。因此，从LD芯片LDi射出的激光射线的传播方向为z轴正方向，F轴与y轴平行，S轴与x轴平行。
需要说明的是，如图1所示，N个LD芯片LD1～LD10沿着x轴排列。因此，从各LD芯片LDi向z轴正方向射出的激光射线的光轴在与zx面平行的第一平面内沿着x轴平行地排列。
在从LD芯片LDi射出的激光射线的光路上配置有F轴校准透镜FACi和S轴校准透镜SACi。F轴校准透镜FACi用于对从LD芯片LDi射出的激光射线的F轴方向的扩展进行校准，S轴校准透镜SACi用于对从LD芯片LDi射出的激光射线的S轴方向的扩展进行校准。透过了F轴校准透镜FACi及S轴校准透镜SACi的激光射线成为传播方向向z轴正方向收敛的校准射线。需要说明的是，在从LD芯片LDi射出的激光射线的S轴方向的扩展充分小的情况下，S轴校准透镜SACi也可以省略。
在从LD芯片LDi射出的激光射线的光路上，还配置有双联反射镜Mi。双联反射镜Mi由配置在基板B上的第一反射镜Mi1和配置在第一反射镜Mi1上的第二反射镜Mi2构成。第一反射镜Mi1对从LD芯片LDi射出的激光射线进行反射，用于将其传播方向从z轴正方向转换成y轴正方向，也称为“跳起反射镜”。而且，第二反射镜Mi2对由第一反射镜Mi1反射后的激光射线进行反射，用于将其传播方向从y轴正方向转换成x轴负方向，有时也称为“折回反射镜”。
需要说明的是，如图1所示，对从x轴负方向侧计数的第i+1个LD芯片LDi+1射出的激光射线进行反射的双联反射镜Mi+1，与对从x轴负方向侧计数的第i个LD芯片LDi射出的激光射线进行反射的双联反射镜Mi相比，配置在z轴负方向侧。因此，在各双联反射镜Mi处向x轴负方向反射的激光射线的光轴在与zx面平行的第二平面、且位于比上述的第一平面靠y轴正方向侧的第二平面内沿着z轴排列。
〔双联反射镜的结构〕
关于LD模块1具备的双联反射镜Mi的结构，参照图3进行说明。图3是表示双联反射镜Mi的结构的立体图。如图3所示，双联反射镜Mi由第一反射镜Mi1和第二反射镜Mi2构成。
第一反射镜Mi1是至少具有下表面A1、与下表面A1平行的上表面B1、反射面S1的多面体状的结构物。反射面S1与下表面A1所成的角如图3所示为45°。
第一反射镜Mi1以使下表面A1与基板B的上表面抵接的方式载置在基板B上(参照图2)。由此，第一反射镜Mi1的反射面S1的法线向量(从反射面S1朝向第一反射镜Mi1的外部的向外法线向量)与基板B的上表面(zx面)的法线向量(从上表面朝向基板B的外部的向外法线向量)所成的角成为45°。而且，第一反射镜Mi1的朝向以使反射面S1的法线成为与yz面平行的方式决定。由此，第一反射镜Mi1的反射面S1将从z轴负方向入射的激光射线向y轴正方向反射。
第二反射镜Mi2是至少具有下表面A2和反射面S2的多面体状的结构体。反射面S2与下表面A2所成的角如图3所示为45°。
第二反射镜Mi2以下表面A2与第一反射镜Mi1的上表面B1抵接的方式载置在第一反射镜Mi1上。由此，第二反射镜Mi2的反射面S2的法线向量(从反射面S2朝向第二反射镜Mi2的外部的向外法线向量)与基板B的上表面(zx面)的法线向量(从上表面朝向基板B的外部的向外法线向量)所成的角成为135°。而且，第二反射镜Mi2的朝向以使反射面S2的法线成为与xy面平行的方式决定。由此，第二反射镜Mi2的反射面S2将从y轴负方向入射的激光射线向x轴负方向反射。
在LD模块1中，通过调整构成各双联反射镜Mi的第一反射镜Mi1及第二反射镜Mi2的朝向，能够使输出射线的传播方向与x轴负方向一致。这是因为，当以y轴为旋转轴而使第一反射镜Mi1微小旋转时，以z轴为旋转轴而输出射线的传播方向进行微小旋转，当以y轴为旋转轴而使第二反射镜Mi2微小旋转时，以y轴为旋转轴而输出射线的传播方向进行微小旋转。
另外，在LD模块1中，通过调整构成各双联反射镜Mi的第一反射镜Mi1及第二反射镜Mi2的位置，能够将输出射线的光轴在与xz面平行的平面内等间隔地排列。这是因为，当使第一反射镜Mi1向z轴正方向/负方向平移时，输出射线的光轴向z轴正方向/负方向平移，当使第二反射镜Mi2向x轴正方向/负方向平移时，输出射线的光轴向y轴正方向/负方向平移。
需要说明的是，在本实施方式中，以使构成输出射线束的各输出射线的传播方向与x轴负方向一致的情况为第一调整目标，但本发明没有限定于此。即，只要能够使构成输出射线的各输出射线的传播方向与特定的方向一致即可，该特定的方向没有限定为x轴负方向。
另外，在本实施方式中，以将构成输出射线束的各输出射线的光轴在与zx面平行的平面内等间隔地排列的情况为第二调整目标，但是本发明没有限定于此。即，只要将构成输出射线的各输出射线的光轴在特定的平面内等间隔地排列即可，该特定的平面没有限定为与zx面平行的平面。
〔反射镜的微小旋转引起输出射线旋转的理由〕
关于第一反射镜Mi1及第二反射镜Mi2的微小旋转引起输出射线的微小旋转的理由，参照图4进行说明。
当向第一反射面S1入射的入射光(输入射线)的方向向量设为L时，从第一反射面S1射出的反射光的方向向量L’可以如以下那样表示。在此，n1是第一反射面S1的法线向量，(L·n1)是方向向量L与法线向量n1的内积。
L’＝L-2(L·n1)n1…(1)
同样，向第二反射面S2入射的入射光的方向向量设为L’时，从第二反射面S2射出的反射光(输出射线)的方向向量L”可以如下表示。在此，n2是第二反射面S2的法线向量，(L’·n2)是方向向量L’与法线向量n2的内积。
L”＝L’-2(L’·n2)n2…(2)
因此，在向第一反射面S1入射的入射光的方向向量为L时，从第二反射面S2射出的反射光的方向向量L”可以如下表示。
L”＝L-2(L·n1)n1-2{(L·n2)-2(L·n1)(n1·n2)}n2…(3)
然而，当使第一反射镜Mi1以y轴为旋转轴而旋转θy＝θ1时，第一反射面S1的法线向量n1从n1＝(1/2)1/2(0，1，-1)向n1＝(1/2)1/2(-sinθ1，1，-cosθ1)变化。而且，当使第二反射镜Mi2以y轴为旋转轴而旋转θy＝θ2时，第二反射面S2的法线向量n2从n2＝(1/2)1/2(-1，-1，0)向n2＝(1/2)1/2(-cosθ2，-1，sinθ2)变化。
此时，从第二反射面S2射出的反射光的方向向量L”＝(L”x，L”y，L”z)的各分量按照(3)式如以下那样赋予。
L”x＝sin2θ1·cosθ2·sinθ2
-cosθ1·sinθ1·sin2θ2-cosθ1·cosθ2…(4)
L”y＝sin2θ1·sinθ2+cosθ1·sinθ1·cosθ2…(5)
L”z＝sin2θ1·cos2θ2
+cosθ1·sinθ2(1-sinθ1·cosθ2)…(6)
在θ1及θ2充分小的情况下，可以近似为sinθ1≒θ1，cosθ≒1，sinθ2≒θ2，cosθ2≒1。当将上述的近似值代入式(4)～(6)而忽视2次以上的微小量(θ12，θ22，θ1×θ2等)时，能得到对于从第二反射面S2射出的反射光的方向向量L”进行近似的以下的式子。
L”≒(-1，θ1，θ2)…(7)
根据(7)式可知以下的情况。即，当使第一反射镜Mi1以y轴为旋转轴而微小旋转θy＝θ1时，如图4所示，从第二反射面S2射出的反射光的方向向量L”以z轴为旋转轴而微小旋转θz＝θ1。而且，当使第二反射镜Mi2以y轴为旋转轴而微小旋转θy＝θ2时，如图4所示，从第二反射面S2射出的反射光的方向向量L”以y轴为旋转轴而微小旋转θy＝θ2。
〔反射镜的朝向及位置的调整方法〕
关于第一反射镜Mi1及第二反射镜Mi2的朝向及位置的调整方法，参照图5～图11进行说明。图5是表示实施本调整方法时的LD模块1的结构的俯视图。图6是表示本调整方法的流程的流程图。图7～图10是说明本调整方法包含的各工序的图。图11是表示在本调整方法中设为调整目标的输出射线的配置的图。
如图5所示，本调整方法使用光监视器装置OM来实施。光监视器装置OM用于检测入射的激光射线的朝向及位置，在实施本调整方法时配置在输出射线束的光路上。而且，本调整方法在将下表面涂覆有粘接材料的第一反射镜Mi1载置在基板B上、且将下表面涂覆有粘接材料的第二反射镜Mi2载置在第一反射镜Mi1上的状态下实施。这些粘接材料在实施了本调整方法之后利用紫外线等进行固化。
如图6所示，本调整方法关于各双联反射镜Mi，通过反复进行第一反射镜转动工序T1、第二反射镜转动工序T2、第一反射镜滑动工序T3、第二反射镜滑动工序T4来实现。
第一反射镜转动工序T1是如下所述的工序：通过以y轴为旋转轴而使第一反射镜Mi1微小旋转，由此以z轴为旋转轴而使输出射线的传播方向进行微小旋转。更具体而言，是如下所述的工序：以使由光监视器装置OM检测到的输出射线的倾斜(以z轴为旋转轴的旋转所产生的倾斜)成为最小(优选为0)的方式，使用旋转台而使第一反射镜Mi1进行微小旋转(以y轴为旋转轴的旋转)。
图7(a)是例示实施第一反射镜转动工序T1之前的双联反射镜Mi的状态的俯视图(上段)及主视图(下段)。图7(b)是例示实施了第一反射镜转动工序T1之后的双联反射镜Mi的状态的俯视图(上段)及主视图(下段)。如图7(a)的下段所示，在输出射线的传播方向以z轴为旋转轴从x轴方向微小旋转Δθz的情况下，如图7(a)的上段所示，以y轴为旋转轴而使第一反射镜Mi1微小旋转。由此，输出射线的传播方向如图7(b)的下段所示与x轴负方向一致。
第二反射镜转动工序T2是如下所述的工序：通过以y轴为旋转轴而使第二反射镜Mi2微小旋转，由此以y轴为旋转轴而使输出射线的传播方向微小旋转。更具体而言，是如下所述的工序：以使由光监视器装置OM检测到的输出射线的倾斜(以y轴为旋转轴的旋转所产生的倾斜)成为最小(优选为0)的方式，使用旋转台使第二反射镜Mi2进行微小旋转(以y轴为旋转轴的旋转)。
图8(a)是例示实施第二反射镜转动工序T2之前的双联反射镜Mi的状态的俯视图(上段)及侧视图(下段)。图8(b)是例示实施了第二反射镜转动工序T2之后的双联反射镜Mi的状态的俯视图(上段)及侧视图(下段)。如图8(a)的上段所示，在输出射线的传播方向以y轴为旋转轴而从x轴方向微小旋转Δθy的情况下，如图8(a)的上段所示，以y轴为旋转轴而使第二反射镜Mi2进行微小旋转。由此，输出射线的传播方向如图8(b)的上段所示与x轴负方向一致。
通过实施第一反射镜转动工序T1及第二反射镜转动工序T2，达成使构成输出射线束的各输出射线的传播方向与x轴负方向一致这样的第一调整目标。
第一反射镜滑动工序T3是如下工序：通过使第一反射镜Mi1与z轴平行地平移，而使输出射线的光轴与z轴平行地平移。更具体而言，是如下工序：以使由光监视器装置OM检测到的输出射线的z坐标成为规定的调整目标值的方式使用位置控制台来使第一反射镜Mi1与z轴平行地平移。
图9(a)是例示实施第一反射镜滑动工序T3之前的双联反射镜Mi的状态的侧视图。图9(b)是例示实施了第一反射镜滑动工序T3之后的双联反射镜Mi的状态的侧视图。如图9(a)所示，在输出射线的光轴向z轴正方向偏移Δz的情况下，使第一反射镜Mi1向z轴负方向平移。由此，输出射线的光轴的z轴方向的偏移如图9(b)所示那样消除。
第二反射镜滑动工序T4是如下所述工序：通过使第二反射镜Mi2与x轴平行地平移而使输出射线的光轴与y轴平行地平移。更具体而言，是如下所述工序：以使由光监视器装置OM检测到的输出射线的y坐标成为规定的调整目标值的方式，使用位置控制台来使第二反射镜Mi2与x轴平行地平移。
图10(a)是例示实施第二反射镜滑动工序T4之前的双联反射镜Mi的状态的主视图。图10(b)是例示实施了第二反射镜滑动工序T4之后的双联反射镜Mi的状态的主视图。如图10(a)所示，在输出射线的光轴向y轴正方向偏移Δy的情况下，使第二反射镜Mi2向x轴正方向平移。由此，输出射线的光轴的y轴方向的偏移如图10(b)所示消除。
通过实施第一反射镜滑动工序T3及第二反射镜滑动工序T4，实现将构成输出射线束的各输出射线的光轴在与zx面平行的平面内等间隔地排列这样的第二调整目标。
在将构成输出射线束的各输出射线的光轴在与zx面平行的平面内等间隔地排列的情况作为第二调整目标的情况下，在第一反射镜滑动工序T3及第二反射镜滑动工序T4中参照的调整目标值只要如图11所示那样确定即可。即，只要在光监视器装置OM的受光面中，各输出射线的射线点Li以在z轴上等间隔地排列的方式确定即可。
需要说明的是，第一反射镜滑动工序T3及第二反射镜滑动工序T4如图6所示，优选在通过实施第一反射镜转动工序T1及第二反射镜转动工序T2而使构成输出射线束的各输出射线的传播方向平行化之后实施。但是，第一反射镜转动工序T1及第二反射镜转动工序T2的实施顺序、以及第一反射镜滑动工序T3及第二反射镜滑动工序T4的实施顺序没有限定为图6所示的情况。即，可以采用在实施了第二反射镜转动工序T2之后实施第一反射镜转动工序T1的结构，也可以采用在实施了第二反射镜滑动工序T4之后实施第一反射镜滑动工序T3的结构。
另外，第一反射镜Mi1向基板B的固定、及第二反射镜Mi2向第一反射镜Mi1的固定使用粘接剂的情况下，优选将其如下进行。即，在第一反射镜Mi1的下表面与基板B的上表面之间、及第二反射镜Mi2的下表面与第一反射镜Mi1的上表面之间涂覆了粘接剂之后，实施第一反射镜转动工序T1、第二反射镜转动工序T2、第一反射镜滑动工序T3及第二反射镜滑动工序T4。但是，在实施这些工序期间、及从实施完这些工序到粘接剂的固化完成为止的期间，保持第一反射镜Mi1的下表面与基板B的上表面平行且第二反射镜Mi2的下表面与第一反射镜Mi1的上表面平行的状态。由此，能够使在第一反射镜Mi1的下表面与基板B的上表面之间形成的粘接剂层、及在第二反射镜Mi2的下表面与第一反射镜Mi1的上表面之间形成的粘接剂层的厚度均匀化。
若在基板B的上表面与第一反射镜Mi1的下表面之间形成的粘接剂层的厚度均匀，则即使该粘接剂层发生了膨胀或收缩的情况下，各处的膨胀量或收缩量也相同。因此，即使在该粘接材料层发生了膨胀或收缩的情况下，第一反射镜Mi1仅在与基板B的上表面正交的方向(粘接剂层的厚度方向)上进行平行移动，基板B的上表面与第一反射镜Mi1的下表面的平行性不会受损。同样，若在第一反射镜Mi1的上表面与第二反射镜Mi2的下表面之间形成的粘接剂层的厚度均匀，则即使该粘接剂层发生了膨胀或收缩的情况下，第二反射镜Mi2也仅是在与第一反射镜Mi1的上表面正交的方向上进行平行移动，第一反射镜Mi1的上表面与第二反射镜Mi2的下表面的平行性不会受损。因此，若这些粘接剂层的厚度均匀，则即使在这些粘接剂层发生了收缩或膨胀的情况下，也能够避免输出射线的传播方向倾斜或输出射线的光轴的配置破坏这样的事态的发生。需要说明的是，作为在这些粘接剂层产生的收缩或膨胀，假定在使粘接剂固化时产生的固化收缩或在使粘接剂固化之后产生的热膨胀、热收缩、膨润等。
另外，在基板B的上表面与第一反射镜Mi1的下表面之间形成的粘接剂层的厚度、及在第一反射镜Mi1的上表面与第二反射镜Mi2的下表面之间形成的粘接剂层的厚度在能担保要求的粘接力的范围内，优选尽可能薄。这是因为，这些粘接剂层的厚度越薄，在这些粘接剂层发生了膨胀或收缩时产生的厚度的变化量越小，其结果是，容易确保基板B的上表面与第一反射镜Mi1的下表面的平行性、及第一反射镜Mi1的上表面与第二反射镜Mi2的下表面的平行性。尤其是这些粘接剂层的厚度分别优选比双联反射镜Mi的尺寸公差(更具体而言，第一反射镜Mi1及第二反射镜的厚度的公差)、及基板B的公差(更具体而言，基板B的厚度的公差)小。这种情况下，这些粘接剂层发生了膨胀或收缩时产生的厚度的变化量也低于双联反射镜Mi的尺寸公差及基板B的尺寸公差(通常，粘接剂层的厚度的变化量比粘接剂层的厚度自身小)。因此，即使在这些粘接剂层发生了膨胀或收缩的情况下，无论粘接剂层的厚度是否均匀，基板B的上表面与第一反射镜Mi1的下表面的平行性、及第一反射镜Mi1的上表面与第二反射镜Mi2的下表面的平行性都不会低于设计上允许的程度。
〔变形例〕
需要说明的是，在本实施方式中，示出了将LD芯片LD1～LD10沿x轴配置的结构，但是本发明没有限定于此。
例如，如图12所示，也可以是，以使从LD芯片LDi到双联反射镜Mi的光路长度成为一定的方式，将LD芯片LD1～LD10倾斜配置。这种情况下，如图12所示，能够实现基板B的尺寸的小型化。
另外，如图13所示，也可以是，以使从LD芯片LDi到F轴聚光透镜FL的光路长度成为一定的方式将LD芯片LD1～LD10倾斜配置。这种情况下，向F轴聚光透镜L入射的激光射线的射线直径成为一样，因此能够使输出射线束更高精度地会聚。
〔总结〕
如以上那样，本实施方式的导光装置将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其特征在于，具备双联反射镜，该双联反射镜与各输入射线对应且从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立，与各输入射线对应的双联反射镜由载置在特定的平面上的第一反射镜和载置在该第一反射镜上的第二反射镜构成，上述第一反射镜具有第一反射面，该第一反射面对输入射线进行反射且该第一反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的角成为45°，上述第二反射镜具有第二反射面，该第二反射面对在上述第一反射面处反射后的输入射线进行反射且该第二反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的角成为135°。
在上述的结构中，对各输入射线进行反射的第一反射面设于在特定的平面上载置的第一反射镜，对由第一反射面反射后的输入射线进行反射的第二反射面设于在第一反射镜上载置的第二反射镜。因此，通过使第一反射镜及第二反射镜分别转动，能够自由地调整输出射线的传播方向。例如，即使在输入射线的传播方向上存在倾斜，也能够将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，通过使第一反射镜及第二反射镜分别滑动，也能够自由调整输出射线的光轴位置。
而且，在上述的结构中，与各输入射线对应的双联反射镜从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立。因此，能够相互独立地进行各输出射线的传播方向的调整。因此，即使在输入射线的传播方向上存在变动，也能够将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，也能够相互独立地进行各输出射线的光轴位置的调整。
在本实施方式的导光装置中，优选的是，对于与各输入射线对应的双联反射镜，第一反射镜及第二反射镜的朝向调整成使构成上述输出射线束的各输出射线的传播方向与特定的方向一致。
根据上述的结构，能够得到可利用凸透镜等而高精度地会聚的输出射线束。
在本实施方式的导光装置中，优选的是，对于与各输入射线对应的双联反射镜，第一反射镜及第二反射镜的位置调整成使构成上述输出射线束的各输出射线的光轴在特定的平面内等间隔地排列。
根据上述的结构，能够得到更高精度地会聚的输出射线束。
制造上述导光装置的制造方法也包含在本实施方式的范畴内。
通过包括下述工序，即对于与各输入射线对应的双联反射镜，将第一反射镜及第二反射镜的朝向调整成使构成上述输出射线束的各输出射线的传播方向与特定的方向一致的工序，或者通过还包括下述工序，即对于与各输入射线对应的双联反射镜，将第一反射镜及第二反射镜的位置调整成使构成上述输出射线束的各输出射线的光轴在特定的平面内等间隔地排列的工序，从而能够制造生成可高精度地会聚的输出射线束的导光装置。
具备上述导光装置的LD模块也包含于本实施方式的范畴。
通过具备上述导光装置，能够实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
〔附记事项〕
本发明没有限定为上述的实施方式，在权利要求所示的范围内能够进行各种变更。即，对于组合在权利要求所示的范围内进行了适当变更的技术手段而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。
工业实用性
本发明能够适当地利用于LD模块。尤其是能够适当地利用于以LD芯片为光源的LD模块。
标号说明
1 LD模块
LD1～LD10 LD芯片
FAC1～FAC10 F轴校准透镜
SAC1～SAC10 S轴校准透镜
M1～M10 双联反射镜
Mi1 第一反射镜
S1 反射面(第一反射面)
Mi2 第二反射镜
S2 反射面(第二反射面)
B 基板
FL F轴聚光透镜
SL S轴聚光透镜

Claims (13)

1.一种导光装置，将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其特征在于，
所述导光装置具备双联反射镜，所述双联反射镜与各输入射线对应且从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立，
与各输入射线对应的双联反射镜由载置在特定的平面上的第一反射镜和载置在该第一反射镜上的第二反射镜构成，所述第二反射镜与该第一反射镜为分体，且粘接固定于该第一反射镜，
所述第一反射镜具有第一反射面，所述第一反射面对输入射线进行反射且所述第一反射面的法线向量与所述特定的平面的法线向量所成的角成为45°，
所述第二反射镜具有第二反射面，所述第二反射面对由所述第一反射面反射后的输入射线进行反射且所述第二反射面的法线向量与所述特定的平面的法线向量所成的角成为135°，
所述第一反射镜及所述第二反射镜的朝向以使构成所述输出射线束的各输出射线的传播方向与特定的方向一致的方式进行调整。
2.根据权利要求1所述的导光装置，其特征在于，
对于与各输入射线对应的双联反射镜，第一反射镜及第二反射镜的位置以使构成所述输出射线束的各输出射线的光轴在与特定的平面平行的平面内等间隔地排列的方式进行调整。
3.根据权利要求1或2所述的导光装置，其特征在于，
所述特定的平面与所述第一反射镜的下表面由形成在这些面之间的厚度均匀的粘接剂层粘接，
所述第一反射镜的上表面与所述第二反射镜的下表面由形成在这些面之间的厚度均匀的粘接剂层粘接。
4.根据权利要求3所述的导光装置，其特征在于，
在所述特定的平面与所述第一反射镜的下表面之间形成的粘接剂层的厚度、及在所述第一反射镜的上表面与所述第二反射镜的下表面之间形成的粘接剂层的厚度比所述双联反射镜的尺寸公差小。
5.根据权利要求1所述的导光装置，其特征在于，
所述第一反射面将从所述第一反射镜的外部入射的输入射线向该第一反射镜的外部反射，所述第二反射面将从所述第二反射镜的外部入射的输入射线向该第二反射镜的外部反射。
6.一种制造方法，制造权利要求1所述的导光装置，其特征在于，
包括如下工序：对于与各输入射线对应的双联反射镜，以使构成所述输出射线束的各输出射线的传播方向与特定的方向一致的方式调整第一反射镜及第二反射镜的朝向。
7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，
还包括如下工序：对于与各输入射线对应的双联反射镜，以使构成所述输出射线束的各输出射线的光轴在与特定的平面平行的平面内等间隔地排列的方式调整第一反射镜及第二反射镜的位置。
8.一种LD模块，具备：多个LD元件；及导光装置，将由从所述多个LD元件分别射出的激光射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其特征在于，
所述导光装置具备双联反射镜，所述双联反射镜与各LD元件对应且从与其他的LD元件对应的双联反射镜独立，
与各LD元件对应的双联反射镜由载置在特定的平面上的第一反射镜和载置在该第一反射镜上的第二反射镜构成，所述第二反射镜与该第一反射镜为分体，且粘接固定于该第一反射镜，
所述第一反射镜具有第一反射面，所述第一反射面对从对应的LD元件射出的激光射线进行反射且所述第一反射面的法线向量与所述特定的平面的法线向量所成的角成为45°，
所述第二反射镜具有第二反射面，所述第二反射面对由所述第一反射面反射后的激光射线进行反射且所述第二反射面的法线向量与所述特定的平面的法线向量所成的角成为135°，
所述第一反射镜及所述第二反射镜的朝向以使构成所述输出射线束的各输出射线的传播方向与特定的方向一致的方式进行调整。
9.根据权利要求8所述的LD模块，其特征在于，
所述第一反射面将从所述第一反射镜的外部入射的激光射线向该第一反射镜的外部反射，所述第二反射面将从所述第二反射镜的外部入射的激光射线向该第二反射镜的外部反射。
10.根据权利要求8所述的LD模块，其特征在于，
所述LD模块还具备使所述输出射线束会聚于光纤的入射端面的会聚透镜，
对于与各LD对应的双联反射镜，第一反射镜及第二反射镜的位置以使构成所述输出射线束的各输出射线的光轴在与特定的平面平行的平面内等间隔地排列的方式进行调整。
11.一种导光装置，将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其特征在于，
所述导光装置具备双联反射镜，所述双联反射镜与各输入射线对应且从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立，
与各输入射线对应的双联反射镜由载置在特定的平面上的第一反射镜和载置在该第一反射镜的上表面上的第二反射镜构成，所述第二反射镜与该第一反射镜为分体，且粘接固定于该第一反射镜，
所述第一反射镜具有第一反射面，所述第一反射面对输入射线进行反射且所述第一反射面的法线向量与所述特定的平面的法线向量所成的角成为45°，
所述第二反射镜具有第二反射面，所述第二反射面对由所述第一反射面反射后的输入射线进行反射且所述第二反射面的法线向量与所述第一反射镜的所述上表面的法线向量所成的角成为135°，
所述第一反射镜及所述第二反射镜的朝向以使构成所述输出射线束的各输出射线的传播方向与特定的方向一致的方式进行调整。
12.根据权利要求11所述的导光装置，其特征在于，
所述第一反射面将从所述第一反射镜的外部入射的输入射线向该第一反射镜的外部反射，所述第二反射面将从所述第二反射镜的外部入射的输入射线向该第二反射镜的外部反射。
13.一种LD模块，其特征在于，具备权利要求11所述的导光装置。
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