CN104516101A - 光学滤波器装置、光学模块、电子设备及mems装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。光学滤波器装置600包括：波长可变干涉滤波器5、收纳波长可变干涉滤波器5的箱体610、将可动基板52固定于箱体610的接合部件7。箱体610具有接合部件7所接合的固定部626，该固定部626具有：与可动基板52的基板表面52A的一部分相对的底座固定面627(第一面)、与底座固定面627的周围的一部分连续并与可动基板52的侧面527相对的侧壁固定面629(第二面)、从底座固定面627的周围的余部向离开可动基板52的方向连续的交叉面628A(第三面)，接合部件7位于基板表面52A与底座固定面627之间以及侧面527与侧壁固定面629之间。

Description

光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置

技术领域

本发明涉及光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。

背景技术

目前已知分别将反射膜经由规定的间隙相对配置于一对基板的相互相对的面的干涉滤波器、将反射膜配置在基板上的镜面元件、将晶体振荡片等的压电体配置在基板上的压电振动元件等的各种MEMS(微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems))元件。此外，已知将这种MEMS元件收纳于收纳用容器内的MEMS装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1记载了具备包括板状的底座及圆筒状的盖的组件(箱体)的红外线式气体检测器(光学滤波器装置)。该箱体中，底基板的周缘部分和盖的圆筒一端部通过焊接或者接合而连接，在底基板和盖之间设置有收纳法布里-珀罗干涉仪(干涉滤波器)的空间。该干涉滤波器，在构成该干涉滤波器的基板的下面侧被粘接固定。

如上所述，专利文献1所记载的干涉滤波器，在基板的下面侧被粘接固定，在与基板的厚度方向相交的面方向与粘接剂紧密接合。粘接剂通常由于固化时被付与的热而粘度下降，向基板的下面侧的广泛区域浸润扩散。其后，由于粘接剂固化收缩，因此，粘接剂的收缩所产生的应力施加于基板的广泛区域。因此，基板的下面，沿面方向以粘接位置为中心而受到应力，基板有可能挠曲。当基板挠曲时，设置于基板上的反射膜歪曲，或者反射膜间的间隙的尺寸发生变化，干涉滤波器的分光精度下降。

另一方面，如果减小粘接剂的固定面积的话，当施加振动或冲击时，干涉滤波器有可能从箱体脱落。

在上述的各种MEMS装置中，当在构成MEMS元件的基板上产生挠曲时，由于该挠曲的影响，MEMS元件的性能下降。另一方面，如果减小固定面积，则存在MEMS元件从箱体脱落的同样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-70163号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。

本发明的一方式的光学滤波器装置，其特征在于，包括：干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；箱体，收纳所述干涉滤波器；接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体，其中，所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面相对的位置的第二面、从所述第一面连续并位于从所述干涉滤波器离开的方向的第三面，所述接合部件位于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

该光学滤波器装置，其特征在于，包括：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜以及所述第一反射膜及设置有所述第二反射膜中的任一个的基板；箱体，具有能够收纳所述干涉滤波器的内部空间；接合部件，将沿所述基板的厚度方向的基板侧面及与所述基板侧面相交的基板表面固定于所述箱体，其中，所述箱体具有：与所述基板表面相对的第一面、与所述第一面的周围的一部分连续并与所述基板侧面相对的第二面、从所述第一面的周围的余部向离开所述基板的方向连续的第三面，所述接合部件跨越所述基板表面和所述第一面之间以及所述基板侧面和所述第二面之间而设置。

在此，作为接合部件，可以例示各种粘接剂，更具体而言，为热固性树脂或UV固化树脂等。

在本发明中，箱体具有：与基板的基板表面相对的第一面、以与基板侧面相对的方式而与第一面的一部分连续的第二面、从第一面的周围中的未连接于第二面的剩余部分向离开基板的方向连续的第三面。此外，上述第一面、第二面及第三面构成与接合部件粘接的固定部。并且，接合部件跨越基板表面和固定部的第一面之间以及基板侧面和固定部的第二面之间而设置，接合箱体的固定部和基板。

在这种构成中，即使接合部件在固化前具有流动性，接合部件的流动在固定部的第一面和第三面的边缘部分停止，接合部件在第二面侧浸润扩散。因此，接合部件与基板表面中的与固定部的第一面相对的位置和基板侧面中的与固定部的第二面相对的位置粘接。也就是说，接合部件的浸润扩散能够被固定部的第一面和第三面的边界的台阶所限制。由此，能够抑制由于接合部件和基板表面粘接的面积扩大而导致的接合部件的收缩应力的增大。其结果是，能够抑制该收缩应力增大、基板挠曲而导致的干涉滤波器的分光性能的下降。

此外，虽然接合部件在基板侧面和固定部的第二面之间浸润扩散，但是，由于基板侧面与基板表面相比，对于挠曲的刚性高，因此，难以受到收缩应力的影响。

进一步，与将接合部件仅设置于基板侧面及固定部的第二面之间的情况，或者将接合部件仅设置于基板表面和固定部的第一面之间的情况相比，由于能够增大接合面积，因此，能够相应地提高接合强度，能够得到能够抑制由于振动等导致的基板的脱落等的固定力。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述箱体具备包围所述第一面的周围的余部的槽部，所述第三面为所述槽部中的所述第一面侧的侧面。

在本发明中，以包围固定部的第一面的方式构成槽部，通过槽部的一侧面构成第三面。通过这种构成，与例如以包围固定部的第一面的方式而设置贯通孔的构成相比，收纳干涉滤波器的收纳空间的密闭性优异，能够容易地构成气密空间。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述基板表面与所述槽部的底面之间的距离尺寸大于所述基板侧面和所述第二面之间的距离尺寸。

在本发明中，当接合部件浸润扩散时，通过毛细管现象，易于浸润扩散至与基板表面与槽部的底面之间相比距离尺寸更小的基板侧面和第二面之间。因此，能够更确实地抑制接合部件向基板表面的浸润扩散，能够更确实地抑制基板的挠曲。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述基板侧面包括平面状的第一侧面和与所述第一侧面连续并与所述第一侧面交叉的平面状的第二侧面，所述接合部件跨越所述第一侧面及所述第二侧面而设置。

在此，固定部的第二面具有分别与基板侧面的第一侧面和第二侧面相对的面，接合部件设置于该第一侧面及第二侧面和分别与所述第一侧面及第二侧面相对的固定部的第一面及第二面之间。

在本发明中，接合部件相互连续并且跨越不在同一平面上的基板侧面的第一侧面及第二侧面而设置。由此，在将接合部件从基板侧面的第一侧面经由第一侧面和第二侧面交叉的角部跨至第二侧面而配置的状态下，通过将基板抵接于固定部的第二面及第三面，通过简单的作业就能够将基板固定于箱体。

此外，由于固定部分别在作为交叉的两个侧面的第一面及第二面将基板固定于箱体，因此，能够使基板相对于箱体的固定力增大。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述干涉滤波器具备设置有所述第一反射膜的第一基板和与所述第一基板相对并设置有所述第二反射膜的第二基板作为所述基板，所述接合部件将所述第一基板及所述第二基板中的任一个固定于所述箱体。

在本发明中，干涉滤波器具有第一基板及第二基板。上述第一基板及第二基板以相互相对的方式而配置。在这种构成中，当跨越第一基板及第二基板的双方的侧面而设置接合部件时，来自接合部件的应力施加于使第一基板和第二基板接近或者远离的方向，有可能无法使第一基板及第二基板维持平行，或者反射膜间的间隙尺寸变动。

与此对比，在本发明中，通过以将第一基板及第二基板中的任一个固定于箱体的方式设置接合部件，能够维持基板间的平行，并且也能够抑制反射膜间的间隙尺寸的变动。因此，能够抑制由于无法维持基板间的平行或上述间隙尺寸精度的变动而导致的干涉滤波器的分光精度的下降，能够维持分光精度。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述第一基板及所述第二基板中的任一方的基板在基板厚度方向俯视观察时，具有向另一个基板突出的突出部，所述第一面在所述俯视观察时与所述突出部的至少一部分重叠，所述接合部件跨越所述突出部中的所述基板表面和所述第一面之间以及所述突出部中的基板侧面和所述第二面之间而设置。

在本发明中，一对基板中的至少一个具备在俯视观察时相对于另一个突出的突出部，在俯视观察时，固定部的第一面位于与突出部重叠的位置。并且，突出部和固定部的相对部及第一面被接合部件固定。如此，突出部和固定部的第一面以在俯视观察时重叠的方式而构成，由此，通过将接合部件设置于一对基板相互不相对的位置，从而能够通过接合部件更加确实地仅固定一对基板的任一个。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述突出部为具有电连接于设置于所述箱体的箱体侧端子的连接端子的电气安装部。

在本发明中，上述突出部为电气安装部。通过这种构成，即使在光学滤波器装置上施加冲击，或者光学滤波器装置由于光学滤波器装置的驱动而振动的情况下，也能够抑制设置有连接端子的电气安装部的振动。从而，能够抑制连接端子和箱体侧端子的配线断线等的不良情况。

在本发明的光学滤波器装置中，优选所述第二基板具备：设置有所述第二反射膜的可动部以及将所述可动部在所述厚度方向上能够变位地保持的保持部，所述接合部件将所述第一基板固定于所述箱体。

在本发明中，第二基板具有将可动部在厚度方向上能够变位地保持的保持部。这种干涉滤波器，通过保持部使可动部在厚度方向上变位，从而，形成于第一反射膜及第二反射膜间的间隙的尺寸(以下也称为间隙尺寸)能够变更。另一方面，在这种干涉滤波器中，由于保持部设置于第二基板，因此，与相对于第一基板的基板厚度方向的刚性相比，相对于第二基板的基板厚度方向的刚性变小。因此，当将接合部件设置于第二基板时，第二基板有可能由于接合部件的应力而挠曲。与此对比，在本发明中，通过在比第二基板刚性大的第一基板上设置接合部件，能够抑制在基板上发生挠曲，能够抑制干涉滤波器的分光精度的下降。

本发明的光学模块，其特征在于，包括：干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；箱体，收纳所述干涉滤波器；接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体；检测部，检测由所述干涉滤波器取出的光，其中，所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面相对的位置的第二面、从所述第一面连续并位于离开所述干涉滤波器的方向的第三面，所述接合部件位于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

该光学模块，其特征在于，包括：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜以及设置有所述第一反射膜及所述第二反射膜中的任一个的基板；箱体，具有能够收纳所述干涉滤波器的内部空间；接合部件，将所述基板固定于所述箱体；检测部，检测由所述干涉滤波器取出的光，其中，所述箱体具有所述接合部件所粘接的固定部，该固定部具有：与与所述基板的厚度方向相交的所述基板表面的一部分相对的第一面、与所述第一面的周围的一部分连续并与沿所述基板的厚度方向的基板侧面相对的第二面、从所述第一面的周围的余部向离开所述基板的方向连续的第三面，所述接合部件跨越所述基板表面和所述第一面之间以及所述基板侧面和所述第二面之间而设置。

在本发明中，箱体具有与上述发明同样地构成的固定部，接合部件跨越基板和第一面及第二面之间而设置。由此，与上述发明同样地，能够在抑制由来自接合部件的应力导致的基板的挠曲的同时，得到希望的固定力。从而，能够抑制性能下降，并且提供对于冲击或振动的可靠性高的光学模块。

本发明的电子设备，其特征在于，包括：干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；箱体，收纳所述干涉滤波器；接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体，控制部，控制所述干涉滤波器，其中，所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面相对的位置的第二面、从所述第一面连续并位于离开所述干涉滤波器的方向的第三面，所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

该电子设备，其特征在于，包括：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜以及设置有所述第一反射膜及所述第二反射膜中的任一个的基板；箱体，具有能够收纳所述干涉滤波器的内部空间；接合部件，将所述基板固定于所述箱体；控制部，控制所述干涉滤波器，其中，所述箱体具有所述接合部件所粘接的固定部，该固定部具有：与与所述基板的厚度方向相交的所述基板表面的一部分相对的第一面、与所述第一面的周围的一部分连续并与沿所述基板的厚度方向的基板侧面相对的第二面、从所述第一面的周围的余部向离开所述基板的方向连续的第三面，所述接合部件跨越所述基板表面和所述第一面之间以及所述基板侧面和所述第二面之间而设置。

在本发明中，箱体具有与上述发明同样地构成的固定部，接合部件跨越基板和第一面及第二面之间而设置。由此，与上述发明同样地，能够在抑制由来自接合部件的应力导致的基板的挠曲的同时，得到希望的固定力。从而，能够抑制性能下降，并且提供对于冲击或振动的可靠性高的电子设备。

本发明的MEMS装置，包括：MEMS元件；箱体，收纳所述MEMS元件；接合部件，将所述基板固定于所述箱体，其中，所述箱体具有：位于与所述MEMS元件的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述MEMS元件的所述一个面交叉的另一个面相对的位置的第二面、与所述第一面连续并位于离开所述MEMS元件的方向的第三面，所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

该MEMS装置具备：具备基板的MEMS元件、具有能够收纳所述MEMS元件的内部空间的箱体、将所述基板固定于所述箱体的接合部件，其中，所述箱体具有所述接合部件所粘接的固定部，该固定部具有：与相与所述基板的厚度方向相交的所述基板表面的一部分相对的第一面、与所述第一面的周围的一部分连续并与沿所述基板的厚度方向的基板侧面相对的第二面、从所述第一面的周围的余部向离开所述基板的方向连续的第三面，所述接合部件跨越所述基板表面和所述第一面之间以及所述基板侧面和所述第二面之间而设置。

在本发明中，箱体具有与上述发明同样地构成的固定部，接合部件跨越基板和固定部的第一面及第二面之间而设置。由此，与上述发明同样地，能够抑制由来自接合部件的应力导致的基板的挠曲，能够抑制MEMS元件挠曲导致的MEMS元件的性能的下降。进一步，由于在限制基板表面的浸润扩散的同时，能够增大接合面积，因此，能够增大接合强度，能够得到能够抑制振动等导致的基板的脱落等的固定力。从而，能够抑制性能下降，并且提供对于冲击或振动的可靠性高的MEMS元件。

附图说明

图1为示出本发明的第一实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。

图2为示出上述实施方式的光学滤波器装置的概略构成的俯视图。

图3为示出上述实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。

图4为示出第二实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。

图5为示出上述实施方式的光学滤波器装置的概略构成的俯视图。

图6为示出第三实施方式中的比色装置的概略构成的框图。

图7为示出本发明的光学滤波器装置的一变形例的概略构成的俯视图。

图8为示出本发明的光学滤波器装置的一变形例的概略构成的截面图。

图9为示出作为本发明的电子设备的一例的气体检测装置的概略图。

图10为示出图9的气体检测装置的控制系统的构成的框图。

图11为示出作为本发明的电子设备的一例的食物分析装置的概略构成的图。

图12为示出作为本发明的电子设备的一例的光谱照相机的概略构成的模式图。

符号说明

1、比色(colorimetric)装置 5、波长可变干涉滤波器

7、接合部件               42、比色传感器控制部

51、固定基板              51A、基板表面

52、可动基板              52A、基板表面

54、固定反射膜            55、可动反射膜

100、气体检测装置         138、控制部

200、食物分析装置         220、控制部

300、光谱照相机514、突出部

517、518、(固定基板)的侧面  526、电气安装部

527、528、(可动基板的)侧面  563P、固定电极垫

564P、可动电极垫

600、600A、600B、600C、光学滤波器装置

610、610A、610B、640、箱体  611、内部空间

620、620A、620B、底部       621A、652、700A、底内侧面

624、内侧端子部             626、690、701、711、固定部

627、702、712、底座固定面   628、692、703、713、槽部

628A、692A、703A、713A、交叉面

628B、692B、713B、槽底面

629、693A、704、714、侧壁固定面  691、底固定面。

具体实施方式

[第一实施方式]

以下，基于附图说明本发明涉及的第一实施方式。

[光学滤波器装置的构成]

图1为示出作为本发明的光学滤波器装置的一实施方式的、光学滤波器装置600的概略构成的截面图。

光学滤波器装置600为从入射的检查对象光中取出规定的目的波长的光并使其射出的装置，包括：箱体610；收纳于箱体610内部的波长可变干涉滤波器5。这种光学滤波器装置600，能够组装于例如比色传感器等的光学模块、比色装置或气体分析装置等的电子设备。此外，有关包括光学滤波器装置600的光学模块或电子设备的构成，将于后述。

[波长可变干涉滤波器的构成]

图2为示出波长可变干涉滤波器的概略构成的俯视图。图3为沿图2中的III-III线切开时的波长可变干涉滤波器的向视截面图。

波长可变干涉滤波器5为波长可变型的法布里-珀罗标准具。该波长可变干涉滤波器5例如为矩形板状的光学构件，具备：厚度尺寸例如形成为500μm左右的的固定基板51、厚度尺寸例如形成为200μm左右的可动基板52。这些固定基板51及可动基板52，分别例如由苏打玻璃、结晶性玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等的各种玻璃、水晶等形成。并且，这些固定基板51及可动基板52中，通过例如以硅氧烷为主要成分的等离子体聚合膜等构成的接合膜53(第一接合膜531及第二接合膜532)，接合固定基板51的第一接合部513及可动基板52的第二接合部523，从而固定基板51及可动基板52被一体地构成。

固定反射膜54设置于固定基板51，可动反射膜55设置于可动基板52。这些固定反射膜54及可动反射膜55经由间隙G1而相对配置。并且，用于调整(变更)该间隙G1的尺寸的静电驱动器56，设置于波长可变干涉滤光器5。

此外，在从固定基板51(可动基板52)的基板厚度方向观察波长可变干涉滤波器5的图2所示的俯视观察(以后，称为滤波器俯视图)时，固定基板51及可动基板52的平面中心点O与固定反射膜54及可动反射膜55的中心点一致，并且与后述的可动部521的中心点一致。

在滤波器俯视图中，可动基板52的边的一边侧(例如，图2中的边C1-C2)比固定基板51向外侧突出。该可动基板52的突出部分为未与固定基板51接合的电气安装部526。该可动基板52的电气安装部526中的、从固定基板51侧观察波长可变干涉滤波器5时露出的面，为电气安装面524，设置有后述的电极垫563P、564P(相当于本发明的连接端子)。

(固定基板的构成)

在固定基板51上，通过蚀刻形成有电极配置槽511及反射膜设置部512。

电极配置槽511在滤波器俯视图中，形成为以固定基板51的平面中心点O为中心的环状。反射膜设置部512从滤波器俯视图中，从电极配置槽511的中心部向可动基板52侧突出而形成。该电极配置槽511的槽底面，成为配置有固定电极561的电极设置面511A。此外，反射膜设置部512的突出前端面，成为反射膜设置面512A。

此外，从电极配置槽511向固定基板51的外周缘的点C1侧的顶点延伸的电极引出槽511B，设置于固定基板51。

构成静电驱动器56的固定电极561设置于电极配置槽511的电极设置面511A。更具体而言，固定电极561设置于电极设置面511A中的与后述的可动部521的可动电极562相对的区域。此外，也可以构成为为了确保固定电极561及可动电极562之间的绝缘性的绝缘膜层叠于固定电极561上。

并且，从固定电极561的外周缘向点C1方向延伸的固定引出电极563A设置于固定基板51。该固定引出电极563A的延伸前端部经由凸块电极563C而电连接于设置于可动基板52侧的固定连接电极563B。该固定连接电极563B通过电极引出槽511B而延伸至电气安装面524，在电气安装面524上构成相当于本发明的连接端子的固定电极垫563P。固定电极垫563P连接于后述的设置于箱体610的内部的内侧端子部624。

此外，在本实施方式中表示了一个固定电极561设置于电极设置面511A的构成，也可以为设置有成为以平面中心点O为中心的同心圆的两个电极的构成(双重电极构成)等。

反射膜设置部512如上所述，在与电极配置槽511同轴上，形成为小于电极配置槽511的直径尺寸的大致圆柱状，具备与该反射膜设置部512的可动基板52相对的反射膜设置面512A。

如图3所示，固定反射膜54设置于该反射膜设置部512。作为该固定反射膜54，例如可以使用Ag等的金属膜、Ag合金等的合金膜。此外，可以使用例如使高折射层为TiO₂、使低折射层为SiO₂的电介质多层膜。进一步，可以使用在电介质多层膜上层叠金属膜(或者合金膜)的反射膜、或在金属膜(或者合金膜)上层叠电介质多层膜的反射膜、或层叠单层折射层(TiO₂或SiO₂等)和金属膜(或者合金膜)的反射膜等。

此外，在固定基板51的光入射面(未设置有固定反射膜54的面)上，在对应于固定反射膜54的位置，设置反射防止膜515。该反射防止膜515能够通过交互地层叠低折射率膜及高折射率膜而形成，使固定基板51的表面的可见光的反射率下降，使透过率增大。

并且，在固定基板51的与可动基板52相对的面中，未通过蚀刻形成电极配置槽511、反射膜设置部512及电极引出槽511B的面，构成第一接合部513。第一接合膜531设置于该第一接合部513，通过第一接合膜531接合于设置于可动基板52的第二接合膜532，如上所述，固定基板51及可动基板52被接合。被接合的固定基板51如图3所示，在滤波器俯视图中，在可动基板52的与电气安装部526的相反侧的一边侧，具有比可动基板52向外侧突出的突出部514。该突出部514在滤波器俯视图中，为不与可动基板52重叠的部分。

(可动基板的构成)

可动基板52在如图2所示的滤波器俯视图中，具备：以平面中心点O为中心的圆形状的可动部521、与可动部521同轴并保持可动部521的保持部522、设置于保持部522的外侧的基板外周部525。

此外，在可动基板52上，如上所述，如图2所示，具有在边C1-C2侧比固定基板51突出的、相当于本发明的突出部的电气安装部526。

可动部521，其厚度尺寸形成为大于保持部522，例如，在本实施方式中，形成为与可动基板52的厚度尺寸为相同尺寸。该可动部521在滤波器俯视图中，形成为至少比反射膜设置面512A的外周缘的直径尺寸大的直径尺寸。并且，可动电极562及可动反射膜55设置于该可动部521。

另，与固定基板51同样地，反射防止膜可以形成于可动部521的与固定基板51的相反侧的面。该反射防止膜能够通过交互地层叠低折射率膜及高折射率膜而形成，使可动基板52的表面的可见光的反射率下降，使透过率增大。

可动电极562经由间隙G2而与固定电极561相对，形成为与固定电极561相同形状的环状。该可动电极562与固定电极561一起构成静电驱动器56。此外，可动基板52具备从可动电极562的外周缘向电气安装面524延伸并到达电气安装面524的可动引出电极564。该可动引出电极564的延伸前端部，在电气安装面524中构成相当于本发明的连接端子的可动电极垫564P。可动电极垫564P连接于后述的设置于底座部621的内侧端子部624。

可动反射膜55经由间隙G1而与固定反射膜54相对地设置于可动部521的可动面521A的中心部。作为该可动反射膜55，使用与上述固定反射膜54相同构成的反射膜。

此外，在本实施方式中，如上所述，示出了间隙G2比间隙G1的尺寸大的例子，但不限于此。例如，使用红外线或远红外线作为测量对象光的情况等，根据测量对象光的波长域，可以构成为间隙G1的尺寸比间隙G2的尺寸大。

保持部522为包围可动部521的周围的隔膜，其厚度尺寸相比可动部521较小地形成。这种保持部522，相比可动部521易于挠曲，通过微小的静电引力，能够使可动部521向固定基板51侧变位。此时，由于可动部521比保持部522的厚度尺寸大，刚性大。因此，即便在保持部522被静电引力拉向固定基板51侧的情况下，也不会发生可动部521的形状变化。从而，设置于可动部521的可动反射膜55也不发生挠曲，能够常时地将固定反射膜54及可动反射膜55维持为平行状态。

此外，在本实施方式中，例示了隔膜状的保持部522，但不限于此，例如可以为以平面中心点O为中心、以等角度间隔而配置的梁状的保持部的构成等。

基板外周部525如上所述，在滤波器俯视图中设置于保持部522的外侧。该基板外周部525的与固定基板51相对的面，具备与第一接合部513相对的第二接合部523。并且，第二接合膜532设置于该第二接合部523，如上所述，通过第二接合膜532接合于第一接合膜531，从而固定基板51及可动基板52被接合。

[箱体的构成]

箱体610如图1所示，具备：底部620和盖630，将波长可变干涉滤波器5收纳于内部。

底部620具备：底座部621和侧壁部625。

底座部621为在滤波器俯视图中具有矩形状的外形的板状的部分。波长可变干涉滤波器5载置于底座部621的与盖630相对的底内侧面621A。底座部621在其中央部开口形成有贯通厚度方向的光射出孔622。射出侧玻璃窗623接合于该光射出孔622。

此外，如图2所示，连接于波长可变干涉滤波器5的各电极垫563P、564P的内侧端子部624(相当于本发明的箱体侧端子)，设置于底内侧面621A的一个角部。内侧端子部624和各电极垫563P、564P，例如通过焊线，使用Au等的线612连接。此外，在本实施方式中，例示了焊线，也可以使用例如FPC(柔性印刷线路板(Flexible Printed Circuits))等。

此外，底座部621在设置有内侧端子部624的位置，形成有未图示的贯通孔。内侧端子部624经由该贯通孔，与设置于底座部621的底外侧面621B(与底内侧面621A相反侧的面)的未图示的外侧端子部连接。

侧壁部625从矩形状的底座部621的缘部立起，覆盖载置于底内侧面621A的波长可变干涉滤波器5的周围。侧壁部625的与盖630相对的面(以下也称为端面625A)，形成为平行于底内侧面621A的平坦面。

底部620在与波长可变干涉滤波器5的一个顶点(例如，在本实施方式中，可动基板52的电气安装部526中的顶点C2)对应的位置，具有固定部626。该固定部626具备：与可动基板52相对的底座固定面627(相当于本发明的第一面)、与侧壁部625一起包围底座固定面627的槽部628、以及作为侧壁部625的一部分的侧壁固定面629(相当于本发明的第二面)。

底座固定面627于底座部621与可动基板52的与固定基板51相反侧的面52A(以下也称为基板表面52A)中的、顶点C2附近的一部分(角部)相对。

槽部628包围底座固定面627的外周而设置，该底座固定面627侧的槽侧面与底座固定面627连续，并且，成为与底座固定面627相交的交叉面628A(相当于本发明的第三面)。滤波器俯视图中的槽部628的宽度尺寸，为在后述的通过接合部件7固定波长可变干涉滤波器5及底部620时，接合部件7不会由于表面张力而越过槽部628从而在底座部621的表面浸润扩散的程度的尺寸。具体而言，可以通过接合部件7的粘度或量、固定部626和可动基板52之间的尺寸等而适当设定。此外，在图1中作为一例图示了交叉面628A与底座固定面627正交的情况，但不限于交叉面628A和底座固定面627正交的情况。也就是说，从交叉面628A至底座固定面627的角度，根据接合部件7的粘度或量、固定部626和可动基板52之间的尺寸等，只要为接合部件7不从底座固定面627向交叉面628A浸润扩散的角度即可，优选比上述正交情况下的270度更大的角度。通过使该角度为270度以上，能够更加确实地抑制接合部件7从底座固定面627向交叉面628A浸润扩散。

侧壁固定面629为侧壁部625的一部分，与底座固定面627连续。在本实施方式中，固定部626为设置于底座部621的角部的构成，侧壁固定面629具有分别与波长可变干涉滤波器5的各侧面527、528相对的面。

在这种固定部626中，底座固定面627的外周的一部分与侧壁固定面629连续，并且，余部与槽部628的交叉面628A连续。

在此，将侧壁固定面629和可动基板52(电气安装部526中的可动基板52的侧面)的尺寸设为L1、将槽部628的槽底面628B和可动基板52的基板表面52A的尺寸设为L2、将底座固定面627和可动基板52的与固定基板51相反侧的面的尺寸设为L3。在本实施方式中，各尺寸L1、L2、L3，L3＜L1＜L2的关系成立。

盖630在滤波器俯视图中，具有与底座部621同样的矩形状的外形，通过能够透过光的玻璃形成。该盖630在波长可变干涉滤波器5配置于底内侧面621A的状态下，接合于端面625A。由侧壁部625的内面625B、底内侧面621A、盖630围成的空间为箱体610的内部空间611，接合有盖630并被密封。

在如此构成的光学滤波器装置600中，从盖630侧入射的光入射至波长可变干涉滤波器5。并且，被波长可变干涉滤波器5分光的光从光射出孔622射出。

[接合部件的构成]

波长可变干涉滤波器5如图1及图2所示，通过接合部件7而固定于箱体610。

具体而言，接合部件7例如通过环氧类或有机硅类的粘接剂形成。该接合部件7在固定部626中，横跨底座固定面627及侧壁固定面629设置，粘接于可动基板52的基板表面52A的一部分(顶点C2侧的角部)、与底座固定面627相对的一部分和可动基板52的连续的两个侧面527、528。

[光学滤波器装置的制造]

首先，在事先作成的波长可变干涉滤波器5的侧面527、528的点C2附近，涂布接合部件7。并且，使可动基板52接触底内侧面621A的同时，使侧面527、528接近底部620中的侧壁部625的内面625B，在该状态下使接合部件7固化。此外，作为接合部件7，例如使用热固化性树脂。热固化性树脂通过加热而流动性增大，随时间的推移而固化。

具体而言，如图1及图2所示，使波长可变干涉滤波器5的侧面527、528接近底部620的内面625B，从而，使得作为波长可变干涉滤波器5的侧面527、528和底部620的侧壁固定面629的距离的尺寸L1，小于作为底部620的槽底面628B和可动基板52的基板表面52A的距离的尺寸L2。如此，将波长可变干涉滤波器5配置于底部620时，具有流动性的接合部件7在侧面527、528和侧壁固定面629之间、以及可动基板52的基板表面52A和底座固定面627之间浸润扩散。

此时，由于尺寸L3比尺寸L2小，因此，由于毛细管现象，粘接剂向间隙尺寸小的可动基板52的基板表面52A和底座固定面627之间浸润扩散。之后，由于尺寸L1比尺寸L2小，因此，由于毛细管现象，接合部件7向间隙尺寸小的侧面527、528和侧壁固定面629之间浸润扩散，不向间隙尺寸大的槽部628侧浸润扩散。

并且，通过粘接剂固化而形成的接合部件7，侧面527、528和侧壁固定面629被接合，可动基板52的基板表面52A和底座固定面627被接合。如此，波长可变干涉滤波器5通过接合部件7而被固定于底部620。

之后，通过焊接由线(wire)612连接波长可变干涉滤波器5的各电极垫563P、564P和底部620的内侧端子部624。具体而言，将线插通毛细管，在线612的前端形成球(FAB：自由空气球(Free Air Ball))。在该状态下，使毛细管移动而使球接触固定电极垫563P，形成粘结。并且，使毛细管移动而使线也连接于内侧端子部624后，切断线。

此外，作为焊接，对于使用球焊进行连接的例子进行了说明，也可以使用楔焊等。此外，不限于通过焊接的连接，也可以使用例如FPC，通过Ag糊剂、ACF(异方性导电胶膜(Anisotropic Conductive Film))、ACP(各向异性导电胶(Anisotropic Conductive Paste))等接合。

此外，接合底部620及盖630。底部620及盖630的接合，例如在通过真空腔装置等设定为真空氛围的环境下，使用低熔点玻璃进行。

通过如上制造光学滤波器装置600。

[第一实施方式的作用效果]

在本实施方式中，箱体610具备固定部626，该固定部626具有：与可动基板52的侧面527、528相对的侧壁固定面629、与可动基板52的基板表面52A相对的底座固定面627、及在底座部621包围底座固定面627的槽部628。并且，槽部628的槽底面628B，在基板厚度方向相比底座固定面627远离可动基板52，在滤波器俯视图中，与侧壁固定面629一起包围底座固定面627的周围。并且，接合部件7设置于可动基板52的侧面527、528和侧壁固定面629之间、以及可动基板52的基板表面52A和底座固定面627之间。

通过这种构成，即使使用固化前具有流动性的粘接剂作为接合部件7的情况下，也能够将可动基板52的基板表面52A中的该粘接剂的浸润扩散限制在底座固定面627内。由此，能够抑制由于接合部件7的收缩应力或热膨胀系数的差等导致的可动基板52的挠曲。

另一方面，可动基板52的侧面527、528和侧壁固定面629之间的接合部件7，即使在固化收缩的情况或受到热膨胀系数的差产生的应力的情况下，对于可动基板52的应力的影响也小。也就是说，可动基板52为板状的构件，平面方向的尺寸与厚度尺寸相比足够大，与厚度方向的刚性相比较，平面方向的刚性大。因此，即使接合部件7粘接于可动基板52的侧面527、528，也能够抑制可动基板52的挠曲。

并且，在本实施方式中，如上所述，在底座固定面627及基板表面52A之间、跨越侧壁固定面629及可动基板52的侧面527、528而设置接合部件7，从而，例如，与仅在底座固定面627及基板表面52A之间设置接合部件7的情况或仅在侧壁固定面629及可动基板52的侧面527、528之间设置接合部件7的情况相比，能够谋求接合强度的强化，能够得到能够抑制由于振动等导致的波长可变干涉滤波器5的脱落等的固定力。

在本实施方式中，槽部628设置于底座部621的底座固定面627的周围。在这种构成中，例如与在底座固定面627的周围形成贯通孔而构成与底座固定面627连续的交叉面628A的情况相比，能够提高箱体610内的内部空间611的气密性。此外，密封箱体610时，没有另外设置密封上述贯通孔的构件的必要，能够削减部件件数。

此外，由于与可动基板52及槽部628的槽底面628B间(尺寸L1)相比，可动基板52的侧面527、528和侧壁固定面629之间的距离尺寸(L2)更小，由于毛细管现象，接合部件7易于向可动基板52的侧面527、528和侧壁固定面629之间浸润扩散。从而，能够更为确实地抑制接合部件7在可动基板52的基板表面52A上超越槽部628而向与底座固定面627相对的区域以外浸润扩散的不良情况。

此外，接合部件7跨越相互连续并且不在同一平面上的两个侧面527、528而设置。由此，由于分别在两个侧面527、528将可动基板52固定于箱体610，能够增大可动基板52对于箱体610的固定力，能够更为确实地将波长可变干涉滤波器5固定于箱体610。

此外，在波长可变干涉滤波器5中，以平面中心点O为中心，设置有各反射膜54、55、构成静电驱动器的可动部521及保持部522等的对于波长可变干涉滤波器5的分光精度施加影响的主要构件。

并且，接合部件7设置于与侧面527、528交叉的角部。该角部由于在滤波器俯视图中离开可动基板52的中心位置(平面中心点O)，因此，能够抑制接合部件7的应力向设置于平面中心点O的周围的上述主要构件的传递，能够更为有效地抑制分光精度的下降。

在此，一对基板51、52的双方通过接合部件7而固定于箱体610的内面625B的情况下，在使一对基板51、52接近或者远离的方向上施加来自接合部件7的应力，有可能无法平行地维持一对基板51、52，反射膜间的间隙G1的尺寸可能产生变动。

对此，在波长可变干涉滤波器5中，可动基板52在滤波器俯视图中，具备与固定基板51不重叠的电气安装部526。并且，电气安装部526的侧面527、528和侧壁固定面629通过接合部件7固定。此外，与电气安装部526的电气安装面524相反侧的基板表面52A与底座固定面627通过接合部件7固定。

通过这样的构成，以仅将一对基板51、52中的可动基板52固定于箱体610的方式设置接合部件7，能够维持一对基板51、52间的平行，并且，能够抑制反射膜间的间隙G1的尺寸的变动。因此，能够抑制由于无法维持基板51、52间的平行、间隙G1的尺寸的变动导致的波长可变干涉滤波器5的分光精度的下降，维持分光精度。

进一步，在波长可变干涉滤波器5中，在滤光器俯视观察时，底座固定面627不与固定基板51重叠，位于与电气安装部526重叠的位置，该电气安装部526和底座固定面627及侧壁固定面629通过接合部件7固定。

由此，能够将接合部件7设置于可动基板52的与固定基板51不相对的位置，能够更确实地仅将可动基板52通过接合部件7固定于箱体610。

也就是说，由于接合部件7粘接于固定基板51及可动基板52的通过接合膜53所接合的区域外，因此，接合部件7固化时的收缩应力或热膨胀系数差产生的应力难以传递至固定基板51侧，也能够抑制固定基板51的挠曲。

此外，设置有接合部件7的电气安装部526，在电气安装面524上设置有各电极垫563P、564P，底座固定面627和接合部件配置于与各电极垫563P、564P俯视重叠的位置。上述各电极垫563P、564P连接于内侧端子部624。

通过这种构成，由于电气安装部526通过接合部件7而被固定于箱体610，因此，即使在光学滤波器装置600上施加冲击，或者光学滤波器装置600由于光学滤波器装置600的驱动而振动的情况下，也能够抑制电气安装部526的振动。从而，能够抑制各电极垫563P、564P和内侧端子部624的配线断线等的不良情况。

[第二实施方式]

下面，基于附图说明本发明涉及的第二实施方式。

在本实施方式中，在底部620上，台阶部设置于固定基板51的与突出部514在滤波器俯视图中重叠的位置，固定基板51被固定于箱体610。

图4为示出本发明涉及的第二实施方式的光学滤波器装置600A的概略构成的截面图，图5为示出上述光学滤波器装置600A的概略构成的俯视图。此外，在图5中，省略盖630的图示。此外，在以后的说明中，对于已经说明的构成，付与相同符号，省略或简略化其说明。

光学滤波器装置600A具备：箱体610A、收纳于箱体610A内部的波长可变干涉滤波器5。

[箱体的构成]

箱体610A如图4及图5所示，具备：底部620A和盖630，将波长可变干涉滤波器5收纳于内部。

底部620A具备：底座部700和侧壁部625。

底座部700在滤光器俯视观察时，在与固定基板51的突出部514中的顶点C3对应的位置设置有固定部701。该固定部701由设置于底座部700的底座固定面702、包围底座固定面702的一部分的槽部703、及侧壁固定面704构成。在本实施方式中，将固定基板51的突出部514固定于底座固定面702，可动基板配置于槽部703内。

底座固定面702在底座部700中，与固定基板51的可动基板52侧的面51A(以下，也称为基板表面51A)中的顶点C3附近的一部分(角部)相对。

槽部703为底座固定面702外周中的、包围与侧壁固定面704不连续的部分而设置的槽。槽部703的槽侧面中的、底座固定面702侧的槽侧面，成为与底座固定面702连续、并且与底座固定面702相交的交叉面703A(相当于本发明的第三面)。此外，槽部703的槽侧面中的、交叉面703A以外的槽侧面，为侧壁部625的内面625B中的、以底座固定面702为基准的底内侧面700A侧的部分。此外，槽部703的槽底面为底内侧面700A，波长可变干涉滤波器5配置于槽部703。

侧壁固定面704为侧壁部625的内面625B的一部分，与底座固定面702连续。此外，在本实施方式中，侧壁固定面704具有分别与波长可变干涉滤波器5的各侧面517、518相对的面。

在这种固定部701中，成为底座固定面702的外周的一部分与侧壁固定面704连续，并且，余部与槽部703的交叉面703A连续的构成。

在此，将侧壁固定面704和固定基板51(突出部514)的尺寸设为L4、将作为槽部703的槽底面的底内侧面700A和固定基板51的基板表面51A的尺寸设为L5、将底座固定面702和固定基板51的基板表面51A的尺寸设为L6。在本实施方式中，各尺寸L4、L5、L6，L6＜L4＜L5的关系成立。

[接合部件的构成]

接合部件7在固定部701中，横跨底座固定面702及侧壁固定面704而设置，与固定基板51的基板表面51A的一部分(顶点C3侧的角部)、与底座固定面702相对的一部分和固定基板51的连续的两个侧面517、518粘接。

[光学滤波器装置的制造]

首先，在事先作成的波长可变干涉滤波器5的侧面517、518的点C3附近，涂布形成接合部件7的粘接剂。并且，使可动基板52接触底内侧面621A的同时，使侧面517、518接近侧壁部625的内面625B，在该状态下使粘接剂固化。

具体而言，使波长可变干涉滤波器5的侧面517、518接近内面625B，从而，使得侧面517、518和侧壁固定面704的尺寸L4小于作为槽底面的底内侧面700A和基板表面51A的尺寸L5。如此，将波长可变干涉滤波器5配置于底部620A的槽部703时，接合部件7在侧面517、518和侧壁固定面704之间、以及固定基板51的基板表面51A和底座固定面702之间浸润扩散。

此时，由于尺寸L6比尺寸L5小，因此，由于毛细管现象，接合部件7向固定基板51的基板表面51A和底座固定面702之间浸润扩散。之后，由于尺寸L4比尺寸L5小，因此，由于毛细管现象，接合部件7向侧面517、518和侧壁固定面704之间浸润扩散，不向间隙尺寸大的槽部703侧浸润扩散。

并且，通过粘接剂固化而形成的接合部件7，侧面517、518和侧壁固定面704被接合，固定基板51的基板表面51A和底座固定面702被接合。

以下，与第一实施方式同样地，通过焊接由线612连接波长可变干涉滤波器5的各电极垫563P、564P和底部620A的内侧端子部624。并且，接合底部620及盖630。

通过以上，制造光学滤波器装置600A。

[第二实施方式的作用效果]

在本实施方式中，波长可变干涉滤波器5的可动基板52具有将可动部521在厚度方向上能够变位地保持的保持部522。通过将接合部件7设置于刚性更大的固定基板51，而不是设置于刚性下降可动基板52，能够抑制在各基板51、52上产生挠曲，能够抑制波长可变干涉滤波器5的分光精度。

[第三实施方式]

下面，基于附图对于本发明涉及的第三实施方式进行说明。

在第三实施方式中，说明作为组装有上述第一实施方式的光学滤波器装置600的光学模块的比色传感器3、以及作为组装有光学滤波器装置600的电子设备的比色装置1。

[比色装置的概略构成]

图6为示出比色装置1的概略构成的框图。

该比色装置1为本发明的电子设备。该比色装置1如图6所示，具备：向检查对象X射出光的光源装置2、比色传感器3、控制比色装置1的整体动作的控制装置4。并且，该比色装置1中，通过比色传感器3接收从光源装置2射出并由检查对象X发射的检查对象光。并且，比色装置1为基于从接收光的比色传感器3输出的检测信号，对于检查对象光的色度、即检查对象X的颜色进行分析、测量的装置。

[光源装置的构成]

光源装置2具备：光源21、多个透镜22(图6中仅记载1个)，向检查对象X射出白色光。此外，多个透镜22中可以包括准直透镜，这种情况下，光源装置2将从光源21射出的白色光通过准直透镜变为平行光，从未图示的投射透镜朝向检查对象X射出。此外，在本实施方式中，例示了具备光源装置2的比色装置1，例如检查对象X为液晶板等的发光构件的情况下，也可以为不设置光源装置2的构成。

[比色传感器的构成]

比色传感器3构成本发明的光学模块，具备上述第一实施方式的光学滤波器装置600。该比色传感器3如图6所示，具备：光学滤波器装置600、接收透过光学滤波器装置600的光的检测部31、变更波长可变干涉滤波器5的透过光的波长的电压控制部32。

此外，比色传感器3在与波长可变干涉滤波器5相对的位置，具备将通过检查对象X反射的反射光(检查对象光)导入内部的未图示的入射光学透镜。然后，该比色传感器3通过光学滤波器装置600内的波长可变干涉滤波器5，从入射光学透镜入射的检查对象光中，对规定波长的光进行分光，由检测部31接收分光的光。

检测部31由多个光电转换元件构成，生成对应于受光量的电信号。在此，检测部31经由例如电路基板311连接于控制装置4，将生成的电信号作为受光信号向控制装置4输出。

此外，形成于箱体610的底外侧面621B的外侧端子部连接于该电路基板311，经由形成于电路基板311的电路而连接于电压控制部32。

通过这种构成，经由电路基板311而能够一体地构成光学滤波器装置600及检测部31，能够使比色传感器3的构成简略化。

电压控制部32经由电路基板311而连接于光学滤波器装置600的外侧端子部。并且，电压控制部32基于从控制装置4输入的控制信号，将规定的跨步电压施加于固定电极垫563P及可动电极垫564P之间，从而驱动静电驱动器56。由此，在电极间间隙产生静电引力，保持部522发生挠曲，从而，可动部521向固定基板51侧变位，能够将反射膜间间隙G1设定为期望的尺寸。

[控制装置的构成]

控制装置4控制比色装置1的整体动作。

作为该控制装置4，能够使用例如通用个人电脑、携带信息终端、此外能够使用比色专用计算机等。

而且，控制装置4如图6所示，具备光源控制部41、比色传感器控制部42及比色处理部43等而构成。

光源控制部41连接于光源装置2。并且，光源控制部41基于例如使用者的设定输入，向光源装置2输出规定的控制信号，使规定的亮度的白色光从光源装置2射出。

比色传感器控制部42连接于比色传感器3。并且，比色传感器控制部42基于例如使用者的设定输入，设定通过比色传感器3接收的光的波长，将以检测该波长的光的受光量为内容的控制信号输出至比色传感器3。由此，比色传感器3的电压控制部32基于控制信号，设定向静电驱动器56的施加电压，使得仅使用者所期望的光的波长透过。

比色处理部43从由检测部31检测的光接收量，分析检查对象X的色度。

[第三实施方式的作用效果]

本实施方式的比色装置1具备上述第一实施方式的光学滤波器装置600。如上所述，根据光学滤波器装置600，能够抑制由于粘接剂向可动基板52和底部620之间浸润扩散而导致的固定面积的扩大，能够将固定面积调整为希望的大小。从而，能够提供如下的比色传感器3及比色装置1，在抑制由于粘接剂的收缩应力导致的基板的挠曲的同时，得到希望的固定力，具有希望的性能，并且对于冲击或振动的可靠性高。

此外，光学滤波器装置600由于内部空间的气密性高、水粒子等的异物不会侵入，因此也能够防止这些异物导致的波长可变干涉滤波器5的光学特性的变化。从而，在比色传感器3中，能够通过检测部31检测以高分辨率取出的目的波长的光，能够对于期望的目的波长的光进行正确的光量检测。由此，比色装置1，能够实施检查对象X的正确的色分析。

[实施方式的变形]

此外，本发明不限于上述的实施方式，在能够达成本发明的目的的范围内的变形、改良等也包括于本发明。

例如，在上述各实施方式中，例示了固定部具有覆盖底座固定面的周围的槽部的构成，但不限于此。固定部也可以在底座固定面的周围设置贯通孔。这种情况下，也能够抑制接合部件在滤波器俯视图中超越底座固定面的外周部而向波长可变干涉滤波器5的与底内侧面相对的基板和该底内侧面之间浸润扩散。此外，如上设置贯通孔的情况下，可以在大气压下将盖接合于底部后，从该贯通孔进行箱体内部的减压，之后再封闭该贯通孔。

在上述各实施方式中，形成为将各基板51、52的任一方固定于箱体610时，跨越相互交叉的两个侧面而设置接合部件7的构成，但不限于此，也可以将接合部件7设置于一个侧面。

图7为表示光学滤波器装置的一变形例的俯视图。如图7所示，光学滤波器装置600B的箱体610B具备底部620B及盖630(参照图1)。底部620B具备底座部710及侧壁部625，固定部711沿可动基板52的边C1-C2而设置于该底座部710。

固定部711在滤波器俯视图中，具有：设置于与可动基板52的边C1-C2重叠的位置的底座固定面712、设置于底座部621并包围底座固定面712的槽部713、与底座固定面712连续并作为侧壁部625的一部分的侧壁固定面714。此外，槽部713具有：与底座固定面712连续的交叉面713A、与交叉面713A连续并与可动基板52的基板表面52A相对的槽底面713B。

接合部件7设置于可动基板52的基板表面52A和底座固定面712之间、以及侧面527和侧壁固定面714之间。

在本变形例中，侧面527和侧壁固定面714的尺寸小于槽底面713B和可动基板52的尺寸。此外，底座固定面712和可动基板52的基板表面52A的尺寸小于侧面527和侧壁固定面714的尺寸。

在上述第一实施方式中，构成为固定部626设置于与各电极垫563P、564P不干涉的位置，但不限于此。例如，在滤波器俯视图中，可以以将底座固定面(第一面)及接合部件7配置于与各电极垫563P、564P重叠的位置的方式设置固定部。由此，当通过焊线等连接各电极垫563P、564P和内侧端子部624时，即使向基板厚度方向按压电气安装面524的力施加于电气安装部526，也能够通过配置于电气安装面524相反侧的接合部件7及底座固定面，从与电气安装面524的相反侧支撑电气安装部526。从而，能够抑制可动基板52由于连接各电极垫563P、564P和内侧端子部624时的按压力而倾斜的情况。

在上述各实施方式中，箱体具备能够固定波长可变干涉滤波器5的侧壁部625，但本发明不限于此。例如，箱体不具备能够固定波长可变干涉滤波器5的侧壁部，取而代之，可以为具备支撑波长可变干涉滤波器5的支撑部的构成。

图8为表示光学滤波器装置的一变形例的截面图。

如图8所示，光学滤波器装置600C具备：波长可变干涉滤波器5和收纳该波长可变干涉滤波器5的箱体640。

箱体640具备：底基板650、盖660、底侧玻璃基板670、盖侧玻璃基板680。

底基板650设置有波长可变干涉滤波器5的可动基板52。在该底基板650上开口形成有光通过孔651，以覆盖该光通过孔651的方式接合有底侧玻璃基板670。在底基板650的与盖660相对的底内侧面652上，设置有分别连接有波长可变干涉滤波器5的各电极垫563P、564P的未图示的内侧端子部。各内侧端子部连接于设置于底基板650的底外侧面653的外侧端子部655。与盖660接合的底接合部656设置于底基板650的外周部。

在底基板650上具备固定波长可变干涉滤波器5的固定部690。固定部690具有：设置于底基板650、相当于本发明的第一面的底固定面691、设置于底基板650并包围底固定面691的一部分的槽部692、粘接于底固定面691的余部的支撑构件693。

支撑构件693具有滤波器俯视图为L字状的外形，向离开底基板650的方向突出。该支撑构件693具有与波长可变干涉滤波器5的各侧面517、518相对、相当于本发明的第二面的侧壁固定面693A。

此外，槽部692具有：与底固定面691连续的交叉面692A、与交叉面692A连续并与可动基板52的基板表面52A相对的槽底面692B。

接合部件7设置于可动基板52的基板表面52A和底固定面691之间、以及侧面527、528和侧壁固定面693A之间。

在本变形例中，侧面527、528和侧壁固定面693A的尺寸小于槽底面692B和可动基板52的尺寸。此外，底固定面691和可动基板52的基板表面51A的尺寸小于侧面527、528和底固定面691的尺寸。

通过该构成，配置有波长可变干涉滤波器5的底基板650，即使为不具备侧壁部的箱体640的构成，也能够将波长可变干涉滤波器5固定于箱体640。

盖660具备：与底接合部656接合的盖接合部662、从盖接合部662立起的侧壁部663、与侧壁部663连续并覆盖波长可变干涉滤波器5的顶面部664。该盖660通过盖接合部662和底基板650的底接合部656被接合而密接接合于底基板650。顶面部664上开口形成有光通过孔661。并且，以覆盖该光通过孔661的方式接合有盖侧玻璃基板680。

在上述各实施方式中，形成通过接合部件7固定固定基板51及可动基板52的任一方的构成，但不限于此，也可以形成通过接合部件7固定固定基板51及可动基板52的双方的构成。不过，这种情况下，当使用线膨胀系数差与固定基板51或可动基板52大不相同的材料或者厚度方向的压缩力比接合膜53的刚性大的粘接剂作为接合部件7时，会成为固定基板51及可动基板52倾斜或间隙尺寸变动的原因。从而，如上述各实施方式所述，优选形成为接合部件7设置于固定基板51或可动基板52的任一方的构成。

在上述各实施方式中，构成为在各基板51、52的任一方的基板的一个角部跨越两个侧面而设置接合部件7，但不限于此，可以以相对于多个角部设置接合部件7的方式而构成。此外，在上述各实施方式中，构成为对于基板的一个侧面仅在一处设置接合部件7，但不限于此，也可以构成为在多处设置接合部件7。

在上述各实施方式中，例示了以可动基板52成为底部的底座部侧的方式而将波长可变干涉滤波器5设置于箱体的构成，但不限于此。例如，可以以固定基板51成为底座部侧的方式而将波长可变干涉滤波器5设置于箱体。

此外，如上述实施方式所述，通过将可动基板52配置于底座部621而将光射出孔622的开口缘配置于与可动基板52的保持部522相对的位置。这种情况下，例如在底部620形成时，即使沿开口缘产生溢料等的突起的情况下，也能够使该突起躲避至保持部522的蚀刻空间，能够抑制可动基板52的倾斜等。

在上述各实施方式中，作为波长可变干涉滤波器5例示了通过将电压施加于固定电极561及可动电极562而通过静电引力而变更反射膜间间隙G1的大小的构成，但不限于此。例如，作为变更反射膜间间隙G1的驱动器，可以使用如下的介电驱动器的构成：配置第一电感线圈代替固定电极561，配置第二电感线圈或者永久磁铁代替可动电极562。

进一步，也可以为使用压电驱动器代替静电驱动器56的构成。这种情况下，例如，通过将下部电极层、压电膜及上部电极层层叠配置于保持部522，使施加于下部电极层及上部电极层之间的电压作为输入值可变，使压电膜伸缩而使保持部522挠曲。

在上述各实施方式中，例示了以能够变更反射膜间间隙G1的方式而构成的波长可变干涉滤波器5，但不限于此，可以为反射膜间间隙G1的大小固定的干涉滤波器。

此外，在上述各实施方式中，作为波长可变干涉滤波器5例示了具备一对基板51、52、分别设置于各基板51、52的一对反射膜54、55的构成，但不限于此。例如，形成为不设置有可动基板52的构成，可以为将固定基板51固定于箱体610的构成。这种情况下，例如，形成为将第一反射膜、间隙间隔件及第二反射膜层叠形成于基板(固定基板)的一面，第一反射膜和第二反射膜经由间隙而相对的构成。通过该构成，成为由一片基板构成的结构，能够使发光元件更为薄型化。

在上述各实施方式中，例示了将波长可变干涉滤波器或干涉滤波器收纳于箱体的光学滤波器装置，但本发明不限于此。

例如，对于将MEMS元件收纳于箱体的MEMS装置，也能够适宜地使用本发明。

作为MEMS元件，例如可以例示使光的入射方向精密地变化的镜面设备等的光学元件。通过这种构成，也能够抑制光学元件所具备的基板的挠曲，能够抑制应力施加于光学元件所具备的光学构件。从而，能够抑制光学元件的光学特性的下降。

此外，作为MEMS元件，可以例示压电振动元件(例如晶体振子、陶瓷振子、硅振子)或压力传感器元件、加速度传感器元件、陀螺传感器元件等，为了性能提升或劣化防止等的目的而收纳于箱体的各种MEMS元件。

压电振动元件通过抑制基板挠曲，能够抑制应力施加于振子，能够抑制振动特性的变化。压力传感器元件通过抑制应力施加于隔膜，从而能够抑制由于隔膜变形而导致的检测精度的下降。加速度传感器元件或陀螺传感器元件，同样地，通过抑制应力施加于为了检测加速度或角速度而设置于基板上的检测部，从而能够抑制检测精度的下降。

此外，作为本发明的电子设备，在第三实施方式中例示了比色装置1，此外，在各种领域中可以使用本发明的光学滤波器装置、光学模块、电子设备。

以下，对于使用本发明的光学滤波器装置的电子设备的变形例进行说明。此外，以下例示的电子设备，具备上述光学滤波器装置600，波长可变干涉滤波器5通过接合部件7而被固定于箱体610。

此外，本发明的电子设备例如可以作为用于检测特定物质的存在的光基础的系统。作为这种系统，例如能够例示出：采用本发明的光学滤波器装置所具备的波长可变干涉滤波器的光谱计测方式而高灵敏度地检测特定气体的车载用气体泄漏检测器、呼气检查用的光音响稀有气体检测器等的气体检测装置。

以下，基于附图说明这种气体检测装置的一例。

图9为示出具备波长可变干涉滤波器的气体检测装置的一例的概略图。

图10为示出图9的气体检测装置的控制系统的构成的框图。

该气体检测装置100，如图9所示，构成为具备：具备传感器芯片110、吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C、以及排出口120D的流路120、主体部130。

主体部130由检测装置、控制部138、电力供给部139等构成。其中，包括：检测装置，其具有可拆装流路120的开口的传感器部盖131、排出单元133、箱体134、光学部135、滤波器136、光学滤波器装置600及光接收元件137(检测部)等；控制部138，其处理检测的信号，控制检测部；以及电力供给部139供给电力。此外，光学部135由如下构成：射出光的光源135A；将从光源135A入射的光反射至传感器芯片110侧，使从传感器芯片侧入射的光透过至光接收元件137侧的分光器135B；透镜135C、135D、135E。

另外，如图9所示，操作板140、显示部141、用于与外部的接口的连接部142、电力供给部139设置于气体检测装置100的表面。电力供给部139为二次电池的情况下，也可以具备用于充电的连接部143。

进一步，气体检测装置100的控制部138，如图10所示，具备：由CPU等构成的信号处理部144、用于控制光源135A的光源驱动电路145、用于控制光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5的电压控制部146、用于接收来自光接收元件137的信号的光接收电路147、接收来自读取传感器芯片110的编码并检测传感器芯片110的有无的传感器芯片检测器148的信号的传感器芯片检测电路149、以及控制排出单元133的排出驱动电路150等。

下面，对于上述的气体检测装置100的动作进行说明。

在主体部130的上部的传感器部盖131的内部，设置有传感器芯片检测器148，通过该传感器芯片检测器148检测传感器芯片110的有无。信号处理部144当检测到来自传感器芯片检测器148的检测信号时，判断为安装有传感器芯片110的状态，向显示部141发出显示信号，使其显示能够实施检测动作的内容。

然后，当通过例如使用者操作操作板140，从操作板140向信号处理部144输出开始检测处理的指示信号时，首先，信号处理部144向光源驱动电路145输出光源动作的信号，使光源135A动作。当光源135A被驱动时，从光源135A射出单一波长的、直线偏振光稳定的激光。此外，光源135A中内置有温度传感器或光量传感器，其信息向信号处理部144输出。于是，信号处理部144基于从光源135A输入的温度或光量，判断光源135A稳定动作时，控制排出驱动电路150，使排出单元133动作。由此，包括应检测的标的物质(气体分子)的气体试料被从吸引口120A向吸引流路120B、传感器芯片110内、排出流路120C、排出口120D引导。此外，在吸引口120A设置有除尘过滤器120A1，比较大的粉尘和一部分水蒸气等被除去。

此外，传感器芯片110为组装多个金属纳米构造体、利用局部表面等离子体共振的传感器。在这种传感器芯片110中，通过激光在金属纳米构造体间形成增强电场，当气体分子进入该增强电场内时，产生包括分子振动的信息的拉曼散射光及瑞利散射光。

这些拉曼散射光和瑞利散射光通过光学部135而入射至滤波器136，瑞利散射光通过滤波器136而被分离，拉曼散射光入射至光学滤波器装置600。然后，信号处理部144控制电压控制部146，调整施加于光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5的电压，光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5使对应于作为检测对象的气体分子的拉曼散射光分光。之后，由光接收元件137接收分光的光，对应于光接收量的光接收信号经由光接收电路147输出至信号处理部144。

信号处理部144比较如上得到的对应于作为检查对象的气体分子的拉曼散射光的光谱数据和存储于ROM的数据，判定是否为目的气体分子，进行物质的特定。并且，信号处理部144使显示部141显示该结果信息，从连接部142向外部输出。

此外，在上述图9及图10中，例示了通过光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5将拉曼散射光分光、从被分光的拉曼散射光进行气体检测的气体检测装置100。此外，作为气体检测装置，也可以用作通过检测气体固有的吸光度而特定气体种别的气体检测装置。这种情况下，使气体流入传感器内部、将检测入射光中被气体吸收的光的气体传感器，作为本发明的光学模块使用。并且，将分析、判别通过这种气体传感器流入传感器内的气体的气体检测装置作为本发明的电子设备。通过这种构成，也能够使用波长可变干涉滤光器检测气体的成分。

此外，作为用于检测特定物质的存在的系统，不限于上述的气体的检测，能够例如通过近红外线分光的糖类的非侵袭性测量装置或食物、生物体、矿物等的信息的非侵袭性测量装置等的物质成分分析装置。

以下，作为上述物质成分分析装置的一例，说明食物分析装置。

图11为示出作为使用光学滤波器装置600的电子设备的一例的食物分析装置的概略构成的图。

该食物分析装置200，如图11所示，具备：检测器210(光学模块)、控制部220、显示部230。检测器210具备：射出光的光源211、导入来自测量对象物的光的拍摄透镜212、将从拍摄透镜212导入的光分光的光学滤波器装置600、检测被分光的光的拍摄部213(检测部)。

此外，控制部220具备：实施光源211的点亮/熄灭控制、点亮时的亮度控制的光源控制部221、控制光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5的电压控制部222、控制拍摄部213并取得由拍摄部213拍摄的光谱图像的检测控制部223、信号处理部224、存储部225。

该食物分析装置200当驱动系统时，由光源控制部221控制光源211，从光源211向测量对象物照射光。接着，由测量对象物反射的光通过拍摄透镜212入射至光学滤波器装置600。光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5通过电压控制部222的控制而被施加能够对希望的波长进行分光的电压，被分光的光被例如由CCD照相机等构成的拍摄部213拍摄。并且，拍摄的光作为光谱图像存储于存储部225。并且，信号处理部224控制电压控制部222，使施加于波长可变干涉滤波器5的电压值发生变化，取得对于各波长的光谱图像。

接着，信号处理部224对存储于存储部225的各图像中的各像素的数据进行演算处理，求取各像素中的光谱。此外，存储部225中存储例如有关对应于光谱的食物的成分的信息，信号处理部224以存储部225所存储的有关食物的信息为基础分析求得的光谱的数据，求取检查对象中包括的食物成分及其含有量。此外，从得到的食物成分及含有量能够算出食物卡路里或鲜度等。进一步，通过分析图像内的光谱分布也能够在检查对象的食物中实施鲜度下降部分的抽出等，进一步，也能够实施食物内包括的异物等的检测。

然后，信号处理部224进行如下处理：使通过上述得到的检查对象的食物的成分或含有量、卡路里或鲜度等的信息显示于显示部230。

此外，在图11中，示出食物分析装置200的例子，通过大致相同的构成，也能够作为上述的其他信息的非侵袭性测量装置使用。例如，能够作为血液等的体液成分的测量、分析等，分析生物体成分的生物体分析装置使用。作为这种生物体分析装置、例如作为测量血液等的体液成分的装置使用检测乙基乙醇的装置的话，能够作为检测驾驶员的饮酒状态的防止酒驾装置使用。此外，也可以作为具备这种生物体分析装置的电子内视镜系统使用。

进一步，也能够作为实施矿物的成分分析的矿物分析装置使用。

进一步，作为本发明的波长可变干涉滤波器、光学模块、电子设备，能够适用于以下的装置。

例如，通过使各波长的光的强度发生经时性的变化，能够以各波长的光传输数据。这种情况下，通过设置于光学模块的波长可变干涉滤波器，对特定波长的光进行分光，由光接收部接收，从而能够抽出由特定波长的光传输的数据，通过具备这种数据抽出用光学模块的电子设备处理各波长的光的数据，能够实施光通信。

此外，作为电子设备，通过本发明的光学滤波器装置所具备的波长可变干涉滤波器对光进行分光，也能够适用于拍摄光谱图像的光谱照相机、光谱分析机等。作为这种光谱照相机的一例，能够例举内置有波长可变干涉滤波器的红外线照相机。

图12为表示光谱照相机的概略构成的模式图。光谱照相机300，如图12所示，具备：照相机主体310、拍摄透镜单元320、拍摄部330(检测部)。

照相机主体310为由使用者把持、操作的部分。

拍摄透镜单元320设置于照相机主体310，将入射的图像光导光至拍摄部330。此外，该拍摄透镜单元320如图12所示，具备对物透镜321、成像透镜322及设置于这些透镜之间的光学滤波器装置而构成。

拍摄部330由光接收元件构成，对由拍摄透镜单元320导光的图像光进行拍摄。

在这种光谱照相机300中，通过光学滤波器装置600的波长可变干涉滤波器5使成为拍摄对象的波长的光透过，从而能够拍摄期望波长的光的光谱图像。

进一步，也可以将本发明的光学滤波器装置所具备的波长可变干涉滤波器作为带通滤波器使用，例如，能够作为光学式激光装置使用，上述光学式激光装置通过波长可变干涉滤光器，从发光元件射出的规定波长域的光中，仅对以规定的波长为中心的窄带域的光进行分光而使其透过。

此外，也可以将本发明的光学滤波器装置所具备的波长可变干涉滤波器作为生物体认证装置使用，例如，能够适用于使用近红外区域或可视区域的光的血管或指纹、网膜、虹膜等的认证装置。

进一步，能够将光学模块及电子设备作为浓度检测装置使用。这种情况下，通过波长可变干涉滤光片，对从物质射出的红外能源(红外光)进行分光并分析，测量样品中的被检测体浓度。

如上所述，本发明的光学模块及电子设备能够适用于从入射光对规定的光进行分光的任何装置。并且，如上所述，由于本发明的光学滤波器装置能够通过1个仪器使多个波长分光，因此，能够精度良好地实施对于多个波长的光谱的测量、对于多个成分的检测。从而，与通过多个仪器取出希望波长的现有装置相比，能够促进光学模块和电子设备的小型化，例如适于作为携带用或车载用的电子设备使用。

在上述的比色装置1、气体检测装置100、食物分析装置200及光谱照相机300的说明中，示出了使用第一实施方式的光学滤波器装置600的例子，但不限于此。当然，其他实施方式的光学滤波器装置也同样地适用于比色装置1等。

此外，本发明实施时的具体的构造，可以在达成本发明的目的的范围内通过适当组合上述各实施方式及变形例而构成，也可以适当变更为其他构造等。

Claims (11)

1.一种光学滤波器装置，其特征在于，包括：

干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；

箱体，收纳所述干涉滤波器；以及

接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体，

所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面所相对的位置的第二面、以及从所述第一面连续并位于离开所述干涉滤波器的方向的第三面，

所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述箱体包括包围所述第一面的周围的一部分的槽部，

所述第三面为所述槽部中的所述第一面侧的侧面。

3.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述一个面和所述槽部的底面之间的距离比所述另一个面和所述第二面之间的距离大。

4.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述另一个面包括平面状的第一侧面和与所述第一侧面连续并与所述第一侧面交叉的平面状的第二侧面，

所述接合部件跨所述第一侧面及所述第二侧面而设置。

5.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述干涉滤波器具备：设置有所述第一反射膜的第一基板和与所述第一基板相对并设置有所述第二反射膜的第二基板，

所述接合部件将所述第一基板及所述第二基板中的任一个固定于所述箱体。

6.根据权利要求5所述的光学滤波器装置，其特征在于，

在从所述第一基板朝向所述第二基板的方向俯视观察时，所述第一基板及所述第二基板中的任一个基板具有向另一个基板突出的突出部，

所述第一面在所述俯视观察时与所述突出部的至少一部分重叠。

7.根据权利要求6所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述突出部具有电连接于设置于所述箱体的箱体侧端子的连接端子。

8.根据权利要求5所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述第二基板具备设置有所述第二反射膜的可动部以及将所述可动部保持为能够在所述第二基板的厚度方向上位移的保持部，

所述接合部件将所述第一基板固定于所述箱体。

9.一种光学模块，其特征在于，包括：

干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；

箱体，收纳所述干涉滤波器；

接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体；以及

检测部，检测由所述干涉滤波器取出的光，

所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面所相对的位置的第二面、以及从所述第一面连续并位于离开所述干涉滤波器的方向的第三面，

所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：

干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；

箱体，收纳所述干涉滤波器；

接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体；以及

控制部，控制所述干涉滤波器，

所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面所相对的位置的第二面、以及从所述第一面连续并位于离开所述干涉滤波器的方向的第三面，

所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。

11.一种MEMS装置，其特征在于，包括：

MEMS元件；

箱体，收纳所述MEMS元件；以及

接合部件，将所述基板固定于所述箱体，

所述箱体具有：位于与所述MEMS元件的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述MEMS元件的所述一个面交叉的另一个面所相对的位置的第二面、以及从所述第一面连续并位于离开所述MEMS元件的方向的第三面，

所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。