NL1014797C2

NL1014797C2 - Massadebietmeter.

Info

Publication number: NL1014797C2
Application number: NL1014797A
Authority: NL
Inventors: Wybren Jouwsma; Joost Conrad Loetters; Hendrik Jan Boer
Original assignee: Berkin Bv
Priority date: 2000-03-30
Filing date: 2000-03-30
Publication date: 2001-10-02
Also published as: EP1139073B1; JP2001304934A; DE60119821T2; US20010027684A1; EP1615001A2; ES2262598T3; DK1139073T3; EP1615001A3; ATE327498T1; JP4831879B2; DE60119821D1; US6637264B2; EP1139073A1

Description

MASSADEBIETMETER

De uitvinding betreft een massadebietmeter, omvattend een holle geleider van een warmtegeleidend materiaal voor het in een bepaalde stroomrichting geleiden van een fluidum met een te meten massadebiet, een eerste temperatuurgevoelig 5 weerstandselement op een eerste positie in thermisch contact met die geleider voor het toevoeren van warmte aan genoemd fluïdum, een temperatuursensor en met het weerstandselement en de tempera tuur sensor koppelbare meet- en regelmiddelen.

Uit het Amerikaanse octrooi nr. 4984460 is een dergelijke 10 massadebietmeter bekend, waarbij een om een geleiderbuis gewikkeld eerste temperatuurgevoelig weerstandselement is opgenomen in een eerste brugschakeling, die voorts twee weerstandselementen omvat, die respectievelijk fungeren als temperatuursensor voor het bepalen van de 15 omgevingstemperatuur en als instelweerstand voor het instellen van een temperatuur van de geleiderbuis ter plaatse van het eerste weerstandselement door warmte-dissipatie in dat weerstandselement. De bekende massadebietmeter omvat voorts een om de geleiderbuis gewikkeld tweede 20 temperatuurgevoelig weerstandselement dat is opgenomen in een tweede brugschakeling, die eveneens voorts twee weerstandselementen omvat, die respectievelijk fungeren als temperatuursensor voor het bepalen van de omgevingstemperatuur en als instelweerstand voor het 25 instellen van een temperatuur van de geleiderbuis ter plaatse van het tweede weerstandselement door warmte-dissipatie in dat weerstandselement. De brugschakelingen zijn verbonden met een regeleenheid die regelt dat het verschil in temperatuur tussen de beide om de geleiderbuis gewikkelde 30 weerstandselementen en de omgevingstemperatuur ongeveer gelijk is aan een waarde die wordt ingesteld met behulp van de instelweerstanden. Het massadebiet van een door de geleiderbuis stromend fluïdum wordt in de bekende inrichting bepaald uit het verschil van de aan het eerste en tweede om 1014797 2 de geleiderbuis gewikkelde weerstandselementen toegevoerde vermogen.

Doordat voor de werking van de bekende massadebietmeter gebruik moet worden gemaakt van twee brugschakelingen, is het 5 verschil in temperatuur ter plaatse van de eerste en tweede om de geleiderbuis gewikkelde weerstandselementen niet altijd gelijk aan de waarde nul, wat een inherente beperking voor de gevoeligheid van deze massadebietmeter oplevert. Een verder bezwaar van het gebruik van twee brugschakelingen, naast 10 inherente stabiliteitsproblemen, vloeit voort uit het relatief grote aantal voor die schakelingen benodigde componenten, wat kostenverhogend werkt.

Het is een doel van de uitvinding een massadebietmeter te verschaffen met een eenvoudig werkingsprincipe, waarbij in 15 beginsel kan worden volstaan met één brugschakeling.

Het is voorts een doel een massadebietmeter te verschaffen met een groter bereik dan de bekende massadebietmeter.

Het is verder een doel van de uitvinding een 20 massadebietmeter te verschaffen waarmee het massadebiet van een fluïdum sneller en nauwkeuriger dan met een massadebietmeter volgens de stand der techniek kan worden gemeten.

Deze doelen worden bereikt, en andere voordelen worden 25 behaald, met een massadebietmeter van het in de aanhef genoemde type, waarbij overeenkomstig de uitvinding de temperatuursensor is verschaft in thermisch contact met de geleider op een tweede positie stroomopwaarts ten opzichte van genoemde eerste positie en de meet- en regelmiddelen zijn 30 ingericht voor het handhaven van een constant verschil in temperatuur op genoemde eerste en tweede positie.

De uitvinding berust op het verrassende inzicht dat het massadebiet van een door een holle geleider stromend fluïdum op betrouwbare wijze kan worden afgeleid uit het vermogen dat 35 op genoemde tweede positie moet worden toegevoerd om het verschil in temperatuur op genoemde eerste en tweede positie te handhaven op een constante waarde.

1 0 1 A 7 9 7 3

In een uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding is de temperatuursensor een tweede warmtegevoelig weerstandselement.

In een gunstige uitvoeringsvorm hebben het eerste en het 5 tweede warmtegevoelige weerstandselement dezelfde temperatuurcoëfficiënt en zijn deze elementen opgenomen in een brugschakeling, waarbij de weerstand van het tweede weerstandselement bij een bepaalde temperatuur groter is dan de weerstand van het eerste weerstandselement. Het 10 uitgangssignaal van de brugschakeling in deze uitvoeringsvorm, dat een maat is voor het te meten massadebiet, is anders dan bij de inrichting volgens de stand der techniek geheel onafhankelijk van de temperatuur van een door de geleider stromend medium.

15 In een voorkeursuitvoeringsvorm is de brugschakeling een wheatstone-brug waarvan de uitgang met een terugkoppellus is verbonden met de top van de brug.

Een massadebietmeter met wheatstone-brug omvat in een volgende uitvoeringsvorm een derde temperatuurgevoelig 20 weerstandselement identiek aan het eerste temperatuurgevoelige weerstandselement op een derde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede positie in thermisch contact met die geleider voor het toevoeren van warmte aan het fluïdum. Door eerste en derde 25 weerstandselement identiek te kiezen en de temperatuur daarvan te stoken tot eenzelfde constante waarde boven de door de temperatuursensor gemeten waarde, is anders dan bij de voorgaande uitvoeringsvormen het uitgangssignaal van de wheatstone-brug gelijk aan nul indien het te meten 30 massadebiet nul is, zodat niet gecorrigeerd behoeft te worden voor een offset-signaal. Indien de geleider in deze uitvoeringsvorm bovendien zodanig is geconfigureerd dat in de eerste en derde weerstandselementen gedissipeerde warmte via convectie, geleiding of straling kan verdwijnen zonder de 35 door de temperatuursensor gemeten waarde te beïnvloeden, geeft het teken van het uitgangssignaal van de wheatstone-brug bovendien informatie over de stroomrichting van het 1 0 14797 4 fluïdum door de geleider.

Een massadebietmeter met wheats tone-brug omvat in een volgende uitvoeringsvorm een additioneel temperatuurgevoelig weerstandselement identiek aan het tweede 5 temperatuurgevoelige weerstandselement op een vierde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede en eerste positie in thermisch contact met die geleider voor het meten van de temperatuur van het fluïdum. Deze uitvoeringsvorm biedt het voordeel de door de eerste temperatuursensor 10 gemeten waarde van de temperatuur kan worden vervangen door een gemiddelde van de door de eerste en tweede temperatuursensor gemeten waarden, zodat onnauwkeurigheden in de gemeten waarde van de temperatuur tengevolge van temperatuurgradiénten op de geleider grotendeels worden 15 uitgemiddeld. Indien de geleider in deze uitvoeringsvorm bovendien zodanig is geconfigureerd dat in het eerste weerstandselement gedissipeerde warmte via convectie, geleiding of straling kan verdwijnen zonder de door de temperatuursensoren gemeten waarden te beïnvloeden, geeft het 20 teken van het uitgangssignaal van de wheatstone-brug bovendien informatie over de stroomrichting van het fluïdum door de geleider.

Een massadebietmeter met wheats tone-brug omvat in een zeer gunstige uitvoeringsvorm een derde temperatuurgevoelig 25 weerstandselement identiek aan het eerste temperatuurgevoelige weerstandselement op een derde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede positie in thermisch contact met die geleider voor het toevoeren van warmte aan het fluïdum en een vierde temperatuurgevoelig 30 weerstandselement identiek aan het tweede temperatuurgevoelige weerstandselement op een vierde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede, eerste en derde positie in thermisch contact met die geleider voor het meten van de temperatuur van het fluïdum. In deze 35 uitvoeringsvorm worden de voordelen van de twee laatstbeschreven uitvoeringsvormen gecombineerd.

Het moge duidelijk zijn dat de begrippen "stroomopwaarts" 1014797 5 en "stroomafwaarts" met betrekking tot de beschreven laatste drie uitvoeringsvormen een arbitraire betekenis hebben, en slechts dienen om de eerste, tweede, derde en vierde positie ten opzichte van elkaar aan te duiden.

5 Teneinde fouten in een te meten massadebiet als gevolg van zelf opwarming van het als temperatuursensor fungerende tweede weerstandselement te elimineren althans in belangrijke mate te reduceren is de weerstand van het tweede weerstandselement bij een bepaalde temperatuur groter dan de 10 weerstand van het eerste weerstandselement, bij voorkeur ten minste een factor 10.

In een gunstige uitvoeringsvorm zijn het eerste en het tweede warmtegevoelige weerstandselement platinaweerstanden.

Het warmtegeleidend materiaal van een holle geleider in 15 een massadebietmeter volgens de uitvinding heeft bij voorkeur een warmtegeleidingscoëfficiënt λ met een waarde ten minste gelijk aan 50 W.m^.K'1. Met een dergelijk materiaal, bijvoorbeeld roestvast staal, wordt het nadelige effect op het resultaat van de debietmeting als gevolg van een 20 eventuele zelfopwarming van de temperatuursensor verder onderdrukt.

In een praktische uitvoeringsvorm omvat de holle geleider een buis waarvan de binnendiameter ligt in het gebied tussen ca. 0,1 mm en 5 mm, bij voorkeur in het gebied tussen ca. 0,8 25 mm en 3 mm.

De geleider heeft bijvoorbeeld een wanddikte in het gebied tussen ca. 0,05 mm en ca. 0,5 mm, bij voorkeur in het gebied tussen ca. 0,1 ram en ca. 0,3 mm.

In een uitvoeringsvorm die in het bijzonder geschikt is 30 voor een sterke reductie van fouten in een te meten massadebiet als gevolg van zelfopwarming van het als temperatuursensor fungerende tweede weerstandselement heeft de geleider ter plaatse van de tweede, de vierde, respectievelijk de tweede en de vierde positie een grotere 35 wanddikte dan ter plaatse van de eerste positie. Door de grotere wanddikte op genoemde posities, dat wil zeggen ter plaatse van de eerste en/of tweede temperatuursensor, is een 1014797 6 groter contactoppervlak tussen geleider en temperatuursensor voor afvoer van de in de sensor gedissipeerde minimale hoeveelheid warmte beschikbaar, terwijl bovendien de massa van de onderliggende dikkere geleiderwand functioneert als 5 warmte-afvoer.

In een alternatieve uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding is de temperatuursensor een thermo-element, bij voorkeur een thermozuil, waarvan een eerste zijde thermisch is gekoppeld 10 met genoemde eerste positie en een tweede zijde thermisch is gekoppeld met genoemde tweede positie.

Bij toepassing van een thermo - element als temperatuursensor omvatten de meet- en regelmiddelen bij wijze van voorbeeld een op zich bekende processor.

15 Opgemerkt zij dat de temperatuursensor niet beperkt is tot de hierboven gegeven voorbeelden; in beginsel kan deze sensor ieder daartoe geschikt temperatuurgevoelig element omvatten, zoals een draadweerstand, een dunnefilmweerstand, een opgedampte of een gesputterde laag, een thermistor of een 20 pn-halfgeleiderovergang.

De uitvinding zal in het nu volgende worden toegelicht aan de hand van uitvoeringsvoorbeelden, met verwijzing naar de tekeningen. In de tekeningen worden overeenkomstige onderdelen aangeduid met dezelfde verwijzingsgetallen.

25 In de tekeningen tonen

Fig. 1 een holle geleider voor een eerste uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding in perspectivisch aanzicht,

Fig. 2 een schema van een brugschakeling voor een eerste 30 uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding,

Fig. 3 een holle geleider voor een tweede uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding in perspectivisch aanzicht, 35 Fig. 4 een schema van een brugschakeling voor een tweede uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding, 1014797 7

Fig. 5 een holle geleider voor een derde uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding in perspectivisch aanzicht,

Fig. 6 een schema van een brugschakeling voor een derde 5 uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding,

Fig. 7 een holle geleider voor een vierde uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding in perspectivisch aanzicht, en 10 Fig. 8 een schema van een brugschakeling voor een vierde uitvoeringsvorm van een massadebietmeter volgens de uitvinding.

Fig. 1 toont een roestvast stalen (RVS) buis 2 met een binnendiameter van ca. 0.8 mm en een wanddikte van ca. 0,2 mm 15 van een massadebietmeter 1 voor een volgens de richting van de pijl door de buis 2 stromend fluïdum Φ. De capaciteit van de buis 2 is voor de ijkvloeistof isopropylalcohol (IPA) ca.

2 kg per uur. Om de RVS buis 2 zijn (elektrisch geïsoleerd) weerstandsdraden 3 en 4 van een onder de merknaam Resistherm® 20 commercieel verkrijgbare nikkel-ijzerlegering met een weerstand van respectievelijk 100 en 1000 ohm gewikkeld, die respectievelijk als stookweerstand 3 en temperatuursensor 4 functioneren. De wanddikte w van de buis 2 is ter plaatse van de temperatuursensor met een waarde Aw vergroot, om in de 25 temperatuursensor 4 gegenereerde (uiterst geringe hoeveelheden) warmte snel en gemakkelijk te kunnen afvoeren.

Fig. 2 toont een brugschakeling 5, waarin de weerstanden 3, 4 van fig. 1 respectievelijk in een "stooktak" en een "sensortak" zijn opgenomen in serie met respectievelijk vaste 30 weerstanden 6, 8, die zodanig zijn gekozen dat de verhouding van de weerstandswaarden gelijk is aan de verhouding van de waarden van de weerstanden 3 en 4 (in casu 1:10). Een spanning over de wheatstone-brug 6, 8, 3, 4, 12 wordt met behulp van een verschilversterker 7 teruggekoppeld naar de 35 basis van een vermogenstransistor 9, die een stroom levert om de brug weer in evenwicht te brengen, en aldus het verschil in temperatuur van de stookweerstand 3 en de sensorweerstand 1014797 8 4 op een door een instelweerstand 12 bepaalde constante waarde te houden. De spanning op het knooppunt van de vaste weerstand 6 en de temperatuurgevoelige weerstand 3 is een maat voor het in de weerstand 3 gedissipeerde vermogen, en 5 daarmee voor het debiet van het door de buis 2 stromende fluïdum. Deze spanning wordt aan de uitgang 11 van een versterker 10 uitgelezen.

Fig. 3 toont een buis 2 van een warmtegeleidend materiaal met een over de gehele lengte constante buitendiameter van 10 een massadebietmeter 21 voor een volgens de richting van de pijl door de buis 2 stromend fluïdum Φ. Om de buis 2 is stroomafwaarts naast weerstandsdraden 4 en 3, die respectievelijk als temperatuursensor 4 en stookweerstand 3 functioneren, een als tweede stookweerstand functionerende 15 derde weerstandsdraad 13 gewikkeld.

Fig. 4 toont een eerste brugschakeling 52, waarin de weerstanden 3 en 13 van fig. 3 zijn opgenomen in een tweede brugschakeling met vaste weerstanden 15, 16 in een "stooktak" van de eerste brugschakeling en de weerstand 4 is opgenomen 20 in een "sensortak" van de eerste brugschakeling. Een spanning over de eerste wheatstone-brug 52 wordt met behulp van een verschilversterker 7 teruggekoppeld naar de basis van een vermogenstransistor 9, die een stroom levert om de brug weer in evenwicht te brengen, en aldus het verschil in temperatuur 25 van de stookweerstanden 3, 13 en de sensorweerstand 4 op een door een instelweerstand 12 bepaalde constante waarde te houden. De verschilspanning over de temperatuurgevoelige weerstanden 3, 13 is een maat voor het verschil voor het in de weerstanden 3 en 13 gedissipeerde vermogen, en daarmee 30 voor het debiet van het door de buis 2 stromende fluïdum, waarbij het teken van het gemeten signaal eenduidig door de stroomrichting van het fluïdum wordt bepaald. Deze spanning wordt aan de uitgang 18 van een verschilversterker 17 uitgelezen.

35 Fig. 5 toont een buis 2 van een warmtegeleidend materiaal van een massadebietmeter 31 voor een volgens de richting van de pijl door de buis 2 stromend fluïdum Φ. Om de buis 2 is 1014797 9 stroomafwaarts naast weerstandsdraden 4 en 3, die respectievelijk als temperatuursensor 4 en stookweerstand 3 functioneren, een als tweede temperatuursensor functionerende additionele weerstandsdraad 14 gewikkeld.

5 Fig. 6 toont een eerste brugschakeling 53, waarin de weerstanden 4 en 14 van fig. 5 zijn opgenomen in een tweede brugschakeling met vaste weerstanden 19, 20 in een "sensortak" van de eerste brugschakeling en de weerstand 3 is opgenomen in een "stooktak"van de eerste brugschakeling. Een 10 spanning over de eerste wheatstone-brug 53 wordt met behulp van een verschilversterker 7 teruggekoppeld naar de basis van een vermogens trans is tor 9, die een stroom levert om de brug weer in evenwicht te brengen, en aldus het verschil in temperatuur van de stookweerstand 3 en de gemiddelde waarden 15 van de door de sensorweerstanden 4, 14 op een constante waarde te houden. De spanning op het knooppunt van de vaste weerstand 6 en de temperatuurgevoelige weerstand 3 is een maat voor het in de weerstand 3 gedissipeerde vermogen, en daarmee voor het debiet van het door de buis 2 stromende 20 fluïdum. Deze spanning wordt aan de uitgang 11 van een versterker 10 uitgelezen.

Fig. 7 toont een buis 2 van een warmtegeleidend materiaal van een massadebietmeter 41 voor een volgens de richting van de pijl door de buis 2 stromend fluïdum Φ. Om de buis 2 zijn 25 stroomafwaarts naast weerstandsdraden 4 en 3, die respectievelijk als temperatuursensor 4 en stookweerstand 3 functioneren, respectievelijk een als tweede stookweerstand functionerende derde weerstandsdraad 13 en een als tweede temperatuursensor functionerende vierde weerstandsdraad 14 30 gewikkeld.

Fig. 8 toont een eerste brugschakeling 54, waarin de weerstanden 3, 13 en 4, 14 van fig. 7 zijn opgenomen in respectieve tweede brugschakelingen overeenkomstig de tweede brugschakelingen in de eerste brugschakelingen 52, 53, 35 respectievelijk getoond in de figuren 4 en 6, waarnaar zij verwezen voor een verdere beschrijving.

Een massadebietmeter overeenkomstig de uitvinding is op 1014797 10 op tal van gebieden toe te passen, bijvoorbeeld als vloeistofdebietmeter in combinatie met een regelventiel in een werkwijze voor het produceren van glasfibers ten behoeve van de telecommunicatie. De sensor meet en regelt een 5 vloeistofstroom van een siliciumhoudende vloeistof zoals methyltrichlorosilaan of TEOS. Deze vloeistof wordt met behulp van een verdamper in dampfase gebracht. In een chemisch dampdepositieproces (CVD) wordt silicium met zuurstof gebonden tot glas. Dit glas wordt, in staafvorm, 10 vervolgens onder verhitting tot lange glas fibers getrokken.

Een andere toepassing is onderzoek en ontwikkeling van brandstofcellen. De sensor wordt bijvoorbeeld in combinatie met een regelventiel of een pomp gebruikt om een brandstof zoals methanol of benzine en water aan de cel toe te voeren.

1014797

Claims

1. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41), omvattend een holle geleider (2) van een warmtegeleidend materiaal voor het in een bepaalde stroomrichting geleiden van een fluïdum met een te meten massadebiet, een eerste temperatuurgevoelig 5 weerstandselement (3) op een eerste positie in thermisch contact met die geleider (2) voor het toevoeren van warmte aan genoemd fluïdum, een temperatuursensor (4) en met het weerstandselement (3) en de temperatuursensor (4) koppelbare meet- en regelmiddelen (5), met het kenmerk, dat de 10 temperatuursensor (4) is verschaft in thermisch contact met de geleider (2) op een tweede postitie stroomopwaarts ten opzichte van genoemde eerste positie en de meet- en regelmiddelen (5) zijn ingericht voor het handhaven van een constant verschil in temperatuur op genoemde eerste en tweede 15 positie.

2. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de temperatuursensor een tweede warmtegevoelig weerstandselement (4) is.

3. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens conclusie 2, 20 met het kenmerk, dat het eerste (3) en het tweede (4) warmtegevoelige weerstandselement dezelfde temperatuurcoëfficiënt hebben en zijn opgenomen in een brugschakeling (5, 52, 53, 54), waarbij de weerstand van het tweede weerstandselement (4) bij een bepaalde temperatuur 25 groter is dan de weerstand van het eerste weerstandselement (3) .

4. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de brugschakeling een wheatstone-brug (5, 52, 53, 54) is waarvan de uitgang met een terugkoppellus 30 is verbonden met de top van de brug.

5. Massadebietmeter (21) volgens conclusie 4, met het kenmerk. dat deze een derde temperatuurgevoelig weerstandselement (13) identiek aan het eerste temperatuurgevoelige weerstandselement (3) omvat op een derde 1014797 positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede positie in thermisch contact met die geleider (2) voor het toevoeren van warmte aan het fluïdum.

6. Massadebietmeter (31) volgens conclusie 4, met het 5 kenmerk dat deze een additioneel temperatuurgevoelig weerstandselement (14) identiek aan het tweede temperatuurgevoelige weerstandselement (4) omvat op een vierde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede en eerste positie in thermisch contact met die 10 geleider (2) voor het meten van de temperatuur van het fluïdum.

7. Massadebietmeter (41) volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat deze omvat een derde temperatuurgevoelig weerstandselement (13) identiek aan het eerste 15 temperatuurgevoelige weerstandselement (3) op een derde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede positie in thermisch contact met die geleider (2) voor het toevoeren van warmte aan het fluïdum en een vierde temperatuurgevoelig weerstandselement (14) identiek aan het 20 tweede temperatuurgevoelige weerstandselement (4) op een vierde positie stroomafwaarts ten opzichte van genoemde tweede, eerste en derde positie in thermisch contact met die geleider (2) voor het meten van de temperatuur van het fluïdum.

8. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens een der conclusies 3-7, met het kenmerk, dat de weerstand van het tweede weerstandselement (4) bij een bepaalde temperatuur ten minste een factor 10 groter is dan de weerstand van het eerste weerstandselement (3).

9. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens een der conclusies 2-8, met het kenmerk, dat het eerste (3) en het tweede (4) warmtegevoelige weerstandselement platinaweerstanden zijn.

10. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens een der 35 conclusies 1-9, met het kenmerk, dat het warmtegeleidend materiaal een warmtegeleidingscoëfficiënt λ met een waarde ten minste gelijk aan 50 W.m^.K1 heeft. 1 0 1 4 7 9 7

11. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens een der conclusies 1-10, met het kenmerk, dat het warmtegeleidend materiaal in hoofdzaak roestvast staal omvat.

12. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens een der 5 conclusies 1-11, met het kenmerk, dat de holle geleider een buis (2) omvat waarvan de binnendiameter ligt in het gebied tussen ca. 0,1 mm en 5 ran.

13. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat de binnendiameter ligt in het gebied 10 tussen ca. 0,8 mm en 3 mm.

14. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de geleider (2) een wanddikte heeft in het gebied tussen ca. 0,05 mm en ca. 0,5 mm.

15. Massadebietmeter (1, 21, 31, 41) volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat de geleider (2) een wanddikte heeft in het gebied tussen ca. 0,1 mm en ca. 0,3 mm.

16. Massadebietmeter (1) volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de geleider (2) ter plaatse 20 van de tweede, de vierde, respectievelijk de tweede en de vierde positie een grotere wanddikte heeft dan ter plaatse van de eerste positie.

17. Massadebietmeter volgens conclusie 1, met het kenmerk. dat de temperatuursensor een thermo-element is, 25 waarvan een eerste zijde thermisch is gekoppeld met genoemde eerste positie en een tweede zijde thermisch is gekoppeld met genoemde tweede positie.

18. Massadebietmeter volgens conclusie 17, met het kenmerk. dat het thermo-element een thermozuil is. 1014797