MX2017007357A - Fuente de plasma utilizando un revestimiento de reduccion de macro-particulas y metodo de uso de una fuente de plasma utilizando un revestimiento de reduccion de macro-particulas para la deposicion de revestimientos de pelicula delgada y modificacion de superficies. - Google Patents

Abstract

La presente invención se refiere de manera general a una fuente de plasma que utiliza un revestimiento de reducción de macro-partículas y método de uso de una fuente de plasma que utiliza una reducción de macro-partículas para la deposición de revestimientos de película delgada y modificación de superficies. Más particularmente, la presente invención se refiere a una fuente de plasma que comprende uno o más electrodos generadores de plasma, en donde el revestimiento de reducción de macro-partículas se deposita sobre al menos una parte de las superficies de generación de plasma de uno o más electrodos para proteger las superficies generadoras de plasma de los electrodos de la erosión por el plasma producido y para resistir la formación de materia en partículas, mejorando así el rendimiento y extendiendo la vida útil de la fuente de plasma.