sog-6とは 意味・読み方・使い方

In a configuration wherein a trench 4 is formed on a silicon substrate 1 and is filled with a SOG film 6, the SOG film 6 is lowered away to become deeper than a high-concentration impurity region 1b after ions are implanted to form the high-concentration impurity region 1b for formation of the LDD structure.例文帳に追加

シリコン基板１にトレンチ４を形成してＳＯＧ膜６を埋め込む構成で、ＬＤＤ構造形成のための高濃度不純物領域１ｂを形成するためのイオン注入をしてから、ＳＯＧ膜６をそれよりも深くなるように落とし込む。 - 特許庁

There is a space between the adjacent metal layers 6, so that the SOG film 13 formed on the metal layers 6 is formed thinner by the spaces than that of a conventional length measuring monitor.例文帳に追加

隣り合う金属層６の間にスペースがあることから、当該スペースによって金属層６上のＳＯＧ膜１３の厚みは従来の測長用モニターに比して薄く形成される。 - 特許庁

A groove pattern 4 is formed in the second insulating layer 3 consisting of a multi-layer film accumulated in sequence from a lower layer with an organic SOG film 3a and a TEOS oxide film 3b, and a barrier layer 6 is formed through the TEOS oxide film 5 formed on a wall of the groove pattern 4 to prevent the organic SOG film 3a from touching the barrier layer directly.例文帳に追加

有機ＳＯＧ膜３ａおよびＴＥＯＳ酸化膜３ｂが下層から順に堆積された積層膜によって構成される第２絶縁層３に溝パターン４が形成されており、この溝パターン４の側壁に設けられたＴＥＯＳ酸化膜５を介してバリア層６を形成することで、有機ＳＯＧ膜３ａとバリア層６とが直接接するのを防ぐ。 - 特許庁

Furthermore, a thermally polymerized hydrocarbon film 7 is formed on the modified SOG film mask 5, and a trench 8 communicating with the contact hole 6 is cut in the hydrocarbon film 7.例文帳に追加

更に、改質ＳＯＧマスク５の上に熱重合性炭化水素膜７が形成され、この炭化水素膜７には、コンタクトホール６に通じるトレンチ８が形成されている。 - 特許庁

The modified SOG film mask 5 functions as an etching mask for forming a contact hole (viahole) 6 which leads to the conductive layer 2.例文帳に追加

この改質ＳＯＧ膜マスク５は、炭化水素膜３に、導電層２に通じるコンタクトホール（ビアホール）６を形成するためのエッチングマスクとして機能する。 - 特許庁

The elastic wave element includes a substrate 4, electrodes 2 containing interdigital electrodes 2a formed on the substrate 4, and dielectric layers 5 formed on the electrodes 2, wherein a SiO2 film 6 is provided at least between interdigital electrodes 2a and the SiO2 film 6 between the electrodes is formed with SOG (Spin on Glass).例文帳に追加

基板４と、基板４上に形成された櫛歯電極２ａを含む電極２と、電極２上に形成された誘電体層５とを備えた弾性波素子であって、少なくとも櫛歯電極２ａ間にＳｉＯ２膜６を備え、電極間のＳｉＯ２膜６は、ＳＯＧ（Spin on Glass）で形成されている。 - 特許庁

Furthermore, since the dimension adjusting layer 10 protects the surface of the nano-column 6, uniformity of embedding causing the problem in surface protection by burying an SOG will not causes problems, and the surface protection excelling in controllability and reproducibility can be realized.例文帳に追加

また、径調整層１０はナノコラム６の表面を保護するので、ＳＯＧの埋め込みによる表面保護の場合に問題になる埋め込みの均一性は一切問題にならず、制御性、再現性に優れた表面保護を実現することもできる。 - 特許庁

Organic SOG films 6 and 13 of specific permittivity 3.0 or below are used for insulating the adjacent wirings from each other in a second wiring layer M2 and a third wiring layer M3 which are set minimum in line width and laid out short in length resting on a layout rule, by which the adjacent wiring layers can be lessened in interlayer capacitance between them.例文帳に追加

レイアウトルールの最小線幅で加工され、短距離引き回し配線である第２層配線Ｍ_2 および第３層配線Ｍ_3 では、隣接配線間の絶縁に比誘電率が約３. ０以下の有機ＳＯＧ膜６，１３を用いることによって、隣接配線間の層間容量を小さくする。 - 特許庁