WO2020187690A1

WO2020187690A1 - Measurement or inspection device, and method for measuring or inspecting a surface

Info

Publication number: WO2020187690A1
Application number: PCT/EP2020/056667
Authority: WO
Inventors: Hubert Holderer; Marcus OEHL; Florian Schapper
Original assignee: Carl Zeiss Smt Gmbh
Priority date: 2019-03-21
Filing date: 2020-03-12
Publication date: 2020-09-24
Also published as: KR102736315B1; KR20210139394A; DE102019203880A1; JP2022526757A; JP2024150511A; JP7548931B2; KR20240172242A

Abstract

The invention relates to a measurement or inspection device, in particular a mask inspection device, comprising: an object (2) to be measured or inspected, a lens system (4) for measuring or inspecting a surface (2a) of the object (2), and a purging device (15) for supplying a purge gas stream (16) into a gap (17) between the surface (2a) of the object (2) and the lens system (4). The measurement device (1) comprises a component (18) that has a surface (18a) which is formed from the same material as the surface (2a) of the object to be measured or inspected. The purging device (15) is designed to conduct the purge gas stream (16) along the surface (18a) of the component (18) before feeding it into the gap (17).

Description

Mess- oder Inspektionsvorrichtung und Verfahren zum Vermessen oder zum Inspizieren einer Oberfläche Measuring or inspection device and method for measuring or inspecting a surface

Bezugnahme auf verwandte Anmeldungen Reference to related applications

Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung DE 10 2019 203 880.8 vom 21.03.2019, deren gesamter Offenbarungsgehalt durch Bezugnahme zum Inhalt dieser Anmeldung gemacht wird. This application claims the priority of the German patent application DE 10 2019 203 880.8 of March 21, 2019, the entire disclosure content of which is incorporated into the content of this application by reference.

Hintergrund der Erfindung Background of the invention

Die Erfindung betrifft eine Mess- oder Inspektionsvorrichtung, insbesondere eine Masken-Inspektionsvorrichtung, umfassend: ein zu vermessendes oder zu inspizierendes Objekt, ein Objektiv zur Vermessung oder zur Inspektion einer Oberfläche des Objekts, sowie eine Spüleinrichtung zum Zuführen eines Spülgasstroms in einen Zwischenraum zwischen der Oberfläche des Objekts und dem Objektiv. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Inspizieren oder Vermessen eines Objekts, insbesondere einer Maske, umfassend: The invention relates to a measuring or inspection device, in particular a mask inspection device, comprising: an object to be measured or inspected, an objective for measuring or inspecting a surface of the object, and a purging device for feeding a purging gas flow into a space between the surface of the subject and the lens. The invention also relates to a method for inspecting or measuring an object, in particular a mask, comprising:

Vermessen oder Inspizieren einer Oberfläche des zu vermessenden oder zu inspizierenden Objekts, das in einer Objektebene eines Objektivs angeordnet ist, sowie Zuführen eines Spülgasstroms in einen Zwischenraum zwischen der Oberfläche des zu vermessenden oder zu inspizierenden Objekts und dem Objektiv. Measuring or inspecting a surface of the object to be measured or inspected, which is arranged in an object plane of an objective, as well as feeding a purge gas flow into a space between the surface of the object to be measured or inspected and the objective.

Für die Vermessung, Abbildung und Inspektion von Oberflächen für die For the measurement, mapping and inspection of surfaces for the

Halbleiterindustrie, insbesondere von Spiegeln, Linsen, Wafern und Semiconductor industry, in particular of mirrors, lenses, wafers and

lithografischen Masken, z.B. für den EUV-Wellenlängenbereich, werden in der Regel Objektive für den UV- und für den sichtbaren Wellenlängenbereich verwendet. Diese Objektive können nach unterschiedlichsten optischen Designs gestaltet sein (refraktiv, reflektiv, katadioptrisch). Bei der Inspektion der Oberfläche eines Objekts wird festgestellt, ob ein Merkmal (z.B. in Form von Partikeln) an der Oberfläche vorhanden ist. Bei der Vermessung wird die tatsächliche Größe des Merkmals gemessen (z.B. eine Linienbreite oder dergleichen). Lithographic masks, for example for the EUV wavelength range, are generally used with objectives for the UV and for the visible wavelength range. These lenses can have a wide variety of optical Be designed designs (refractive, reflective, catadioptric). When the surface of an object is inspected, it is determined whether a feature (e.g. in the form of particles) is present on the surface. During the measurement, the actual size of the feature is measured (for example a line width or the like).

Derartige Objektive können unter anderem für die Vermessung bzw. Inspektion von Oberflächen eingesetzt werden, die nicht geschützt sind. Die hier zu inspizierenden bzw. zu vermessenden Objekte können auch aus metallischen Materialien bestehen, wie z.B. Silizium, Kupfer, Aluminium. Manche dieser Materialien, beispielsweise Kupfer, reagieren sehr empfindlich auf bestimmte Verunreinigungen, beispielsweise durch Schwefel. Um die Objekte vor dieser und vor anderen Verunreinigungen zu schützen, kann in einen Zwischenraum zwischen dem Objekt bzw. zwischen der Oberfläche des Objekts und dem Objektiv ein Spülgasstrom eingeleitet werden. Bei dem Spülgas handelt es sich in der Regel um ein Inertgas, beispielsweise um Stickstoff, oder um ein Such lenses can be used, among other things, for the measurement or inspection of surfaces that are not protected. The objects to be inspected or measured here can also consist of metallic materials, e.g. Silicon, copper, aluminum. Some of these materials, such as copper, are very sensitive to certain impurities, such as sulfur. In order to protect the objects from this and from other contaminants, a purging gas flow can be introduced into a space between the object or between the surface of the object and the objective. The flushing gas is usually an inert gas, for example nitrogen, or a

Edelgas. Noble gas.

Es kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, dass in dem Spülgasstrom selbst Verunreinigungen enthalten sind, beispielsweise geringe Mengen von Schwefelatomen. Auch kann das Objektiv selbst ggf. eine Quelle von However, it cannot be ruled out that the purge gas stream itself contains impurities, for example small amounts of sulfur atoms. The lens itself can also be a source of

Verunreinigungen bilden, da trotz der Verwendung von schwefelarmem Stahl bei metallischen Fassungen zur Halterung der in dem Objektiv verwendeten optischen Gläser nicht ausgeschlossen werden kann, dass kleinste Mengen von Schwefel, insbesondere einzelne Schwefel-Atome, aus den Fassungen austreten und über den Spülgasstrom zum Objekt gelangen. Schon die Impurities form, since, despite the use of low-sulfur steel in metallic frames to hold the optical glasses used in the lens, it cannot be ruled out that the smallest amounts of sulfur, in particular individual sulfur atoms, will escape from the frames and reach the object via the purge gas flow . Already the

Ablagerung von einzelnen Schwefelatomen auf dem Objekt kann ggf. dazu führen, dass dieses in dem Bereich, in dem sich die Schwefelatome anlagern, unbrauchbar wird. Deposits of individual sulfur atoms on the object can make it unusable in the area in which the sulfur atoms are deposited.

Aufgabe der Erfindung Aufgabe der Erfindung ist es, eine Mess- oder Inspektionsvorrichtung, insbesondere eine Masken-Inspektionsvorrichtung, und ein Verfahren zum Vermessen oder zum Inspizieren eines Objekts bereitzustellen, bei denen die Abscheidung von Verunreinigungen an der Oberfläche des Objekts während der Vermessung bzw. Inspektion möglichst vollständig vermieden wird. Object of the invention The object of the invention is to provide a measuring or inspection device, in particular a mask inspection device, and a method for measuring or inspecting an object, in which the deposition of impurities on the surface of the object during the measurement or inspection is avoided as completely as possible becomes.

Gegenstand der Erfindung Subject of the invention

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Mess- oder Inspektionsvorrichtung der eingangs genannten Art, welche (mindestens) ein Bauteil aufweist, das eine Oberfläche aufweist, die aus dem gleichen Material wie die Oberfläche des zu vermessenden oder zu inspizierenden Objekts gebildet ist, und bei der die Spüleinrichtung ausgebildet ist, den Spülgasstrom vor dem Einleiten in den Zwischenraum an der Oberfläche des Bauteils entlang zu führen. This object is achieved by a measuring or inspection device of the type mentioned, which has (at least) one component that has a surface that is formed from the same material as the surface of the object to be measured or inspected, and in which the Flushing device is designed to guide the flushing gas flow along the surface of the component before it is introduced into the space.

Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, eine Nachreinigung des Spülgasstroms und somit der Atmosphäre vorzunehmen, welche die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche des Objekts, beispielsweise eines Spiegels bzw. eines Spiegel-Substrats oder einer Maske, umgibt. Zu diesem Zweck wird der Spülgasstrom an mindestens einem Bauteil entlang geführt, welches aus dem gleichen Material wie die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche des Objekts hergestellt ist. Die Oberfläche des Bauteils dient zum Sammeln von Verunreinigungen, die in dem Spülgasstrom enthalten sind und die ansonsten in den Zwischenraum zwischen dem Objektiv und dem Objekt gelangen können und sich auf der Oberfläche des Objekts, typischerweise auf der Oberfläche eines Spiegels, einer Maske, ... abscheiden. Mit dem Entlangführen des Spülgasstroms an der Oberfläche ist gemeint, dass der Spülgasstrom mit der Oberfläche in Kontakt gebracht wird; es ist daher nicht zwingend erforderlich, dass der Spülgasstrom im Wesentlichen parallel zur Oberfläche des Bauteils verläuft, vielmehr kann der Spülgasstrom auch im Wesentlichen senkrecht zu der Oberfläche auf das Bauteil auftreffen. According to the invention, it is proposed to carry out a subsequent cleaning of the purge gas flow and thus of the atmosphere which surrounds the surface of the object to be measured or inspected, for example a mirror or a mirror substrate or a mask. For this purpose, the purge gas flow is guided along at least one component which is made of the same material as the surface of the object to be measured or inspected. The surface of the component is used to collect contaminants that are contained in the purge gas flow and that could otherwise get into the space between the objective and the object and be on the surface of the object, typically on the surface of a mirror, a mask, ... deposit. By guiding the purge gas flow along the surface it is meant that the purge gas flow is brought into contact with the surface; it is therefore not absolutely necessary that the flushing gas flow is essentially parallel to the surface of the component rather, the flushing gas flow can also impinge on the component essentially perpendicular to the surface.

Um möglichst viele Verunreinigungen zu sammeln, ist es günstig, wenn die Oberfläche des Bauteils, die aus dem gleichen Material wie die Oberfläche des Objekts gebildet ist, einen möglichst großen Flächeninhalt aufweist. Unter einer Oberfläche, die aus dem gleichen Material wie die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche des Objekts gebildet ist, wird im Sinne dieser In order to collect as much contamination as possible, it is advantageous if the surface of the component, which is formed from the same material as the surface of the object, has the largest possible area. A surface which is made of the same material as the surface of the object to be measured or inspected is used in the sense of this

Anmeldung verstanden, dass das Material an den jeweiligen Oberflächen die gleiche chemische Zusammensetzung aufweist, d.h., dass beide Oberflächen beispielsweise aus Cu, Si, SiC oder AI gebildet sind. Es versteht sich, dass unter dem Material der Oberfläche des Bauteils dasjenige Material verstanden wird, das vorliegt, bevor die Oberfläche Verunreinigungen, beispielsweise in Form von Schwefel, absorbiert. Die Oberfläche des Bauteils kann sich über eine gesamte Seite des Bauteils erstrecken, beispielsweise über dessen gesamte Vorderseite oder dessen gesamte Rückseite, es ist aber auch möglich, dass die Oberfläche nur einen Teilbereich einer jeweiligen Seite des Bauteils überdeckt. Application understood that the material on the respective surfaces has the same chemical composition, i.e. that both surfaces are formed from Cu, Si, SiC or Al, for example. It goes without saying that the material of the surface of the component is understood to mean that material that is present before the surface absorbs impurities, for example in the form of sulfur. The surface of the component can extend over an entire side of the component, for example over its entire front side or its entire rear side, but it is also possible that the surface only covers a partial area of a respective side of the component.

Bei einer Ausführungsform ist das Bauteil insbesondere lösbar an dem Objektiv befestigt. Grundsätzlich ist es nicht zwingend erforderlich, das Bauteil an dem Objektiv zu befestigen, d.h. dieses könnte auch an einer anderen Flaltestruktur in der Mess- oder Inspektionsvorrichtung befestigt sein. In der Regel ist das Bauteil jedoch am Objektiv befestigt, wobei sich insbesondere eine lösbare Befestigung, beispielsweise über eine Schraubverbindung, eine Rastverbindung oder dergleichen, als vorteilhaft herausgestellt hat, um das Bauteil bei Bedarf austauschen zu können. Dies kann beispielsweise erforderlich sein, wenn die Oberfläche des Bauteils so viele Verunreinigungen absorbiert hat, dass die Oberfläche keine weiteren Verunreinigungen mehr absorbiert und somit ihre Funktion der Sammlung von Verunreinigungen verloren hat. Ein Austausch des Bauteils kann auch erfolgen bzw. notwendig sein, wenn Objekte vermessen bzw. inspiziert werden sollen, deren Oberflächen aus unterschiedlichen In one embodiment, the component is in particular releasably attached to the objective. In principle, it is not absolutely necessary to fasten the component to the objective, ie this could also be fastened to another fold structure in the measuring or inspection device. As a rule, however, the component is fastened to the lens, in particular a detachable fastening, for example via a screw connection, a snap connection or the like, has proven to be advantageous in order to be able to replace the component if necessary. This may be necessary, for example, if the surface of the component has absorbed so much impurities that the surface no longer absorbs any further impurities and has thus lost its function of collecting impurities. An exchange of the component can also take place or be necessary when measuring objects or are to be inspected whose surfaces consist of different

Materialien gebildet sind. Materials are formed.

Bei einer weiteren Ausführungsform bildet das Bauteil ein plattenförmiges Strömungsleitelement, welches zwischen einem letzten objektseitigen optischen Element des Objektivs und dem Objekt angebracht ist. Ein solches In a further embodiment, the component forms a plate-shaped flow guide element which is attached between a last object-side optical element of the objective and the object. One such

Strömungsleitelement kann beispielsweise in Form einer kreis- bzw. Flow guide element can, for example, in the form of a circular or

ringförmigen Platte bzw. Scheibe ausgebildet sein. Das Strömungsleitelement weist typischerweise eine geringe Dicke von weniger als ca. 3 mm, typisch: ca.be formed annular plate or disc. The flow guide element typically has a small thickness of less than approx. 3 mm, typically: approx.

1 mm auf. Da das letzte objektseitige optische Element des Objektivs in der Regel einen vergleichsweise großen Durchmesser aufweist, kann auch das Strömungsleitelement einen vergleichsweise großen Durchmesser von beispielsweise ca. 60 mm oder darüber aufweisen. Der Spülgasstrom wird typischerweise an der Vorderseite des Strömungsleitelements, d.h. an der dem letzten objektseitigen optischen Element zugewandten Seite des 1 mm. Since the last object-side optical element of the objective generally has a comparatively large diameter, the flow guide element can also have a comparatively large diameter of, for example, approximately 60 mm or more. The purge gas flow is typically at the front of the flow directing element, i. on the side of the facing the last object-side optical element

Strömungsleitelements, entlang geführt. Diese Oberfläche ist daher Flow guiding element, guided along. This surface is therefore

typischerweise aus dem gleichen Material gebildet wie die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche und weist einen vergleichsweise großen Flächeninhalt auf, was die Reinigungswirkung für den Spülgasstrom erhöht. typically formed from the same material as the surface to be measured or inspected and has a comparatively large surface area, which increases the cleaning effect for the purge gas flow.

Bei einer Weiterbildung ist zwischen dem Strömungsleitelement und dem letzten objektseitigen optischen Element ein ringförmiger Spalt, bevorzugt mit einer Spaltbreite von weniger als 0,2 mm, insbesondere von weniger als 0,1 mm, gebildet. Da die Länge des Spalts in radialer Richtung, die im In a further development, an annular gap, preferably with a gap width of less than 0.2 mm, in particular less than 0.1 mm, is formed between the flow guide element and the last object-side optical element. Since the length of the gap in the radial direction, which in

Wesentlichen dem Radius des letzten objektseitigen optischen Elements entspricht, im Vergleich zur Breite des Spalts vergleichsweise groß ist, ist die Wahrscheinlichkeit hoch, dass praktisch alle Atome, die auf der zu Essentially corresponds to the radius of the last object-side optical element, which is comparatively large compared to the width of the gap, the probability is high that practically all atoms that are on the to

vermessenden bzw. zu inspizierenden Oberfläche des Objekts angelagert werden könnten, irgendwann mit der Oberfläche des Strömungsleitelements in Kontakt kommen und stattdessen an dieser Oberfläche angelagert werden. In einer weiteren Weiterbildung weist das Strömungsleitelement eine surface of the object to be measured or to be inspected could be deposited, at some point come into contact with the surface of the flow guide element and instead be deposited on this surface. In a further development, the flow guide element has a

insbesondere zentrische Öffnung zur Zuführung des Spülgasstroms in den Zwischenraum auf. In der Regel verläuft der Spülgasstrom in dem Spalt im Wesentlichen in radialer Richtung von außen nach innen und verlässt den Spalt durch die zentrische Öffnung in den Zwischenraum. Das Strömungsleitelement ist in der Regel aus einem Material gebildet, welches nicht transparent für die Strahlung ist, die zur Vermessung bzw. zur Inspektion des Objekts verwendet wird. Die Öffnung in dem Strömungsleitelement dient somit auch dazu, in particular a central opening for supplying the purge gas flow into the intermediate space. As a rule, the purge gas flow in the gap runs essentially in the radial direction from the outside to the inside and leaves the gap through the central opening into the intermediate space. The flow guiding element is usually formed from a material that is not transparent to the radiation that is used for measuring or inspecting the object. The opening in the flow guide element thus also serves to

Strahlung zur Vermessung bzw. zur Inspektion der Oberfläche des Objekts durchzulassen. Allow radiation to pass through to measure or inspect the surface of the object.

Bei einer Weiterbildung umfasst die Mess- oder Inspektionsvorrichtung zusätzlich ein weiteres, insbesondere ringförmiges Bauteil, das mindestens eine Einlassöffnung zur Zuführung des Spülgasstroms in einen Ringraum aufweist, der das letzte objektseitige optische Element zumindest teilweise ringförmig umgibt. Die Spüleinrichtung weist in der Regel ein Spülgas-Reservoir auf, aus dem das Spülgas entnommen wird und über eine oder mehrere In a further development, the measuring or inspection device additionally comprises a further, in particular ring-shaped component which has at least one inlet opening for feeding the purge gas flow into an annular space which at least partially surrounds the last optical element on the object side. The flushing device generally has a flushing gas reservoir from which the flushing gas is taken and via one or more

Zuführungsleitungen dem Objektiv zugeführt wird. Im vorliegenden Fall wird der Spülgasstrom über eine oder mehrere typischerweise radial verlaufende Einlassöffnungen in dem ringförmigen Bauteil dem Ringraum zugeführt. Von dem Ringraum aus kann der Spülgasstrom idealerweise über den gesamten kreisförmigen Außenumfang des letzten objektseitigen optischen Elements in den Spalt eintreten, so dass in dem Spalt ein im Wesentlichen homogener Spülgasfluss in radialer Richtung erzeugt wird. Es hat sich allerdings als vorteilhaft herausgestellt, wenn der Spülgasfluss, der durch die Öffnung in dem plattenförmigen Strömungsleitelement in den Zwischenraum eintritt, eine Vorzugsrichtung aufweist, d.h. nicht homogen auf die Mitte der Öffnung zu strömt, da ansonsten in der Mitte der Öffnung bzw. auf der Oberfläche des zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekts ein Staupunkt gebildet wird, an dem die Strömungsgeschwindigkeit des Spülgasstroms praktisch bei Null liegt. In einer Weiterbildung ist das weitere Bauteil an seiner dem Ringraum Feed lines is fed to the lens. In the present case, the flushing gas flow is fed to the annular space via one or more typically radially extending inlet openings in the annular component. From the annular space, the flushing gas flow can ideally enter the gap over the entire circular outer circumference of the last object-side optical element, so that a substantially homogeneous flushing gas flow is generated in the radial direction in the gap. However, it has been found to be advantageous if the flushing gas flow that enters the gap through the opening in the plate-shaped flow guide element has a preferred direction, ie does not flow homogeneously towards the center of the opening, since otherwise it flows in the center of the opening or towards a stagnation point is formed on the surface of the object to be measured or inspected, at which the flow velocity of the purge gas flow is practically zero. In a further development, the further component is on its the annular space

zugewandten Oberfläche und/oder an der Innenseite der Einlassöffnung aus dem gleichen Material wie die zu vermessende bzw. zu inspizierende facing surface and / or on the inside of the inlet opening made of the same material as that to be measured or inspected

Oberfläche des Objekts gebildet. Alternativ oder zusätzlich zu dem Surface of the object formed. Alternatively or in addition to the

Strömungsleitelement können auch andere Bauteile des Objektivs, an denen der Spülgasstrom entlang geführt wird, Oberflächen aufweisen, die aus dem gleichen Material wie die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche gebildet sind, insbesondere wenn diese lösbar an dem Objektiv, beispielsweise an einem Gehäuse des Objektivs, befestigt sind. Dies ist typischerweise bei dem weiteren ringförmigen Bauteil der Fall, an dem das plattenförmige Flow guiding elements can also have other components of the lens, along which the purge gas flow is guided, surfaces that are formed from the same material as the surface to be measured or inspected, in particular if they are detachable on the lens, for example on a housing of the lens , are attached. This is typically the case with the further annular component, on which the plate-shaped

Strömungsleitelement in der Regel angebracht bzw. befestigt ist. Das Flow guiding element is usually attached or fastened. The

Strömungsleitelement kann insbesondere dauerhaft mit dem ringförmigen Bauteil verbunden sein. In diesem Fall ist typischerweise das weitere The flow guide element can in particular be permanently connected to the ring-shaped component. In this case it is typically the other

ringförmige Bauteil lösbar mit dem Objektiv verbunden, so dass beim Lösen der Befestigung des weiteren Bauteils auch das plattenförmige ring-shaped component detachably connected to the lens, so that when the fastening of the further component is loosened, the plate-shaped

Strömungsleitelement vom Objektiv gelöst wird. Flow guide is released from the lens.

Bei einer Weiterbildung weist der Ringraum mindestens eine weitere In a further development, the annular space has at least one other

Einlassöffnung zur Zuführung eines Anteils des Spülgasstroms in einen Inlet opening for feeding a portion of the purge gas stream into a

Innenraum des Objektivs auf. In diesem Fall wird von dem Spülgasstrom ein Anteil abgezweigt, der zur Spülung des Innenraums des Objektivs dient. Der Innenraum des Objektivs wird von den Zwischenräumen zwischen den Interior of the lens. In this case, a portion is branched off from the purge gas flow which is used to purge the interior of the lens. The interior of the lens is made up of the spaces between the

Fassungen und den optischen Elementen des Objektivs gebildet. Die Mounts and the optical elements of the lens are formed. The

gleichzeitige Nutzung des Ringraums für die Spülung des Zwischenraums zwischen dem Objektiv und der zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Oberfläche und für die Spülung des Innenraums des Objektivs hat sich als vorteilhaft herausgestellt. Simultaneous use of the annular space for flushing the space between the objective and the surface to be measured or inspected and for flushing the interior of the objective has proven to be advantageous.

Bei einer Weiterbildung beträgt ein Abstand zwischen dem In a further development, a distance between the

Strömungsleitelement und dem zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekt nicht mehr als 2,0 mm. Für die Vermessung bzw. Inspektion der Oberflächen von Objekten, beispielsweise in Form von Masken oder Spiegeln, werden in der Regel geringe Arbeitsabstände benötigt, da die zu diesem Zweck verwendeten Objektive eine vergleichsweise große objektseitige numerische Apertur aufweisen sollten. Flow guide element and the object to be measured or inspected no more than 2.0 mm. For the measurement or inspection of the Surfaces of objects, for example in the form of masks or mirrors, usually require small working distances, since the objectives used for this purpose should have a comparatively large object-side numerical aperture.

Bei einer Weiterbildung bildet das letzte objektseitige optische Element eine Linse. Objektive mit verschiedenen optischen Designs haben unterschiedliche Öffnungen auf der Objektseite. Dabei ist es wichtig, dass der notwendige optisch freie Durchmesser nicht von dem Bauteil abgedeckt wird. In a further development, the last optical element on the object side forms a lens. Lenses with different optical designs have different openings on the object side. It is important that the necessary optically free diameter is not covered by the component.

Bei einer Ausführungsform weist/weisen das Bauteil und/oder das weitere Bauteil eine Oberfläche in Form einer Beschichtung auf, die aus dem gleichen Material wie die Oberfläche des zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekts gebildet ist. Die Beschichtung wird auf eine jeweilige Oberfläche eines Grundkörpers des Bauteils aufgebracht, der in der Regel aus einem anderen Material als die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche des Objekts gebildet ist. Das Aufbringen der Beschichtung erfolgt mit Hilfe von In one embodiment, the component and / or the further component has / have a surface in the form of a coating that is formed from the same material as the surface of the object to be measured or inspected. The coating is applied to a respective surface of a base body of the component, which is generally formed from a different material than the surface of the object to be measured or inspected. The coating is applied with the help of

herkömmlichen Beschichtungsverfahren, beispielsweise Abscheidung aus der Gasphase, insbesondere Sputtern, etc. Das Aufbringen einer Beschichtung ist insbesondere für den Fall sinnvoll, dass das Material der Beschichtung nicht geeignet ist, um das gesamte Bauteil aus diesem Material herzustellen, beispielsweise weil dieses keine geeigneten mechanischen Eigenschaften aufweist, z.B. wenn es sich bei dem Material um einen Halbleiter wie Silizium handelt. conventional coating processes, for example deposition from the gas phase, in particular sputtering, etc. The application of a coating is particularly useful in the event that the material of the coating is not suitable for producing the entire component from this material, for example because it does not have suitable mechanical properties has, e.g. if the material is a semiconductor such as silicon.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist/sind das Bauteil und/oder das weitere Bauteil aus dem gleichen Material wie die Oberfläche des zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekts gebildet. In diesem Fall ist das gesamte Bauteil oder - bei mehrteiligen Bauteilen mindestens eine Komponente des Bauteils, welches die Oberfläche aufweist - aus dem gleichen Material wie die zu vermessende bzw. zu inspizierende Oberfläche gebildet, so dass auf das Aufbringen einer Beschichtung verzichtet werden kann. Dies ist typischerweise günstig, wenn es sich bei dem Material an der Oberfläche des Objekts um ein metallisches Material, beispielsweise um Kupfer, handelt, da dieses In a further embodiment, the component and / or the further component is / are formed from the same material as the surface of the object to be measured or inspected. In this case, the entire component or - in the case of multi-part components, at least one component of the component which has the surface - is formed from the same material as the surface to be measured or inspected, so that the Applying a coating can be dispensed with. This is typically beneficial if the material on the surface of the object is a metallic material, for example copper, since this is

typischerweise eine ausreichende mechanische Stabilität zur Herstellung des Bauteils, beispielsweise in Form eines plattenförmigen Strömungsleitelements, aufweist. typically has sufficient mechanical stability for manufacturing the component, for example in the form of a plate-shaped flow guide element.

In einer Ausführungsform ist das Material der Oberfläche des zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekts ausgewählt aus der Gruppe umfassend: In one embodiment, the material of the surface of the object to be measured or inspected is selected from the group comprising:

Metalle, insbesondere Kupfer, Halbleiter, insbesondere Silizium, Siliziumcarbid oder Aluminium. Das Vermessen bzw. Inspizieren des Objekts kann am unbeschichteten Objekt vorgenommen werden. Das Material an der Oberfläche des Objekts kann in diesem Fall mit dem Material übereinstimmen, aus dem das gesamte Objekt gebildet ist. Für den Fall, dass das Objekt mehrere Metals, especially copper, semiconductors, especially silicon, silicon carbide or aluminum. The object can be measured or inspected on the uncoated object. The material on the surface of the object can in this case match the material from which the entire object is formed. In the event that the object has several

Schichten bzw. Lagen aufweist, stimmt das Material an der Oberfläche des Objekts mit dem Material der obersten Schicht des Objekts überein. Has layers or plies, the material on the surface of the object corresponds to the material of the top layer of the object.

Grundsätzlich ist es auch möglich, die Vermessung bzw. Inspektion an einem beschichteten Objekt durchzuführen. In diesem Fall stimmt das Material an der Oberfläche mit dem Material der obersten Lage der Beschichtung überein. In principle, it is also possible to carry out the measurement or inspection on a coated object. In this case, the material on the surface matches the material of the top layer of the coating.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren der eingangs genannten Art, bei dem der Spülgasstrom vor dem Einleiten in den Zwischenraum an einer Oberfläche eines Bauteils entlang geführt wird, die aus dem gleichen Material wie die Oberfläche des zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekts gebildet ist. Während der Vermessung bzw. Inspektion des Objekts kann auf diese Weise eine Nachreinigung des Spülgasstroms erfolgen, indem an der Oberfläche des Bauteils Verunreinigungen gesammelt werden, die sich ansonsten an der Oberfläche des Objekts ablagern würden. The invention also relates to a method of the type mentioned at the outset, in which the flushing gas stream is guided along a surface of a component, which is made of the same material as the surface of the object to be measured or inspected, before it is introduced into the space. During the measurement or inspection of the object, the purge gas flow can be post-cleaned in this way, in that contaminants are collected on the surface of the component that would otherwise be deposited on the surface of the object.

Bei einer Variante umfasst das Verfahren: Lösbares Befestigen des Bauteils an dem Objektiv vor dem Vermessen bzw. Inspizieren der Oberfläche des Objekts. In diesem Fall kann abhängig vom Material an der Oberfläche eines jeweiligen zu vermessenden bzw. zu inspizierenden Objekts ein jeweiliges Bauteil mit einer Oberfläche aus dem gleichen Material aus einer Gruppe von mehreren Bauteilen ausgewählt werden, die jeweils unterschiedliche Materialien an der Oberfläche aufweisen, an welcher der Spülgasstrom entlang geführt wird. In der Regel wird aber ein Objektiv, welches für die Vermessung bzw. Inspektion von Kupfer-Objekten verwendet wurde, nicht mehr für die Vermessung bzw. In one variant, the method comprises: releasably attaching the component to the objective before measuring or inspecting the surface of the object. In this case, depending on the material on the surface of a respective object to be measured or inspected, a respective component with a surface made of the same material can be selected from a group of several components that each have different materials on the surface on which the Purge gas flow is passed along. As a rule, however, a lens that was used for the measurement or inspection of copper objects is no longer used for the measurement or inspection.

Inspektion von Objekten aus anderen Materialien, beispielsweise von Si- Objekten, eingesetzt, da Kupfer für ein solches Objekt ein verunreinigendes Material darstellt. Das Bauteil kann auch ausgetauscht werden, wenn die Kapazität zur Aufnahme bzw. zur Absorption von Verunreinigungen an der Oberfläche überschritten ist. Inspection of objects made of other materials, for example Si objects, used, since copper is a contaminating material for such an object. The component can also be exchanged if the capacity to absorb or absorb impurities on the surface is exceeded.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Further features and advantages of the invention emerge from the

nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein. The following description of exemplary embodiments of the invention with reference to the figures of the drawing, which show details essential to the invention, and from the claims. The individual features can each be implemented individually or collectively in any combination in a variant of the invention.

Zeichnung drawing

Ausführungsbeispiele sind in der schematischen Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Es zeigt Exemplary embodiments are shown in the schematic drawing and are explained in the following description. It shows

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Masken 1 shows a schematic representation of a mask

inspektionsvorrichtung mit einem Objektiv zur Inspektion eines Objekts in Form einer Maske, deren zu inspizierende Oberfläche in einer Objektebene des Objektivs angeordnet ist, sowie Fig. 2 eine Detaildarstellung des Objektivs mit einem plattenförmigeninspection device with an objective for inspecting an object in the form of a mask, the surface to be inspected of which is arranged in an object plane of the objective, and 2 shows a detailed representation of the lens with a plate-shaped one

Strömungsleitelement, das eine Oberfläche aufweist, die aus dem gleichen Material wie die zu inspizierende Oberfläche gebildet ist, sowie mit einer Spüleinrichtung, welche einen Spülgasstrom an der Oberfläche des Strömungsleitelements entlang führt. Flow guiding element which has a surface which is formed from the same material as the surface to be inspected, as well as having a flushing device which guides a flushing gas flow along the surface of the flow guiding element.

In der folgenden Beschreibung der Zeichnungen werden für gleiche bzw. In the following description of the drawings, the same or

funktionsgleiche Bauteile identische Bezugszeichen verwendet. functionally identical components used identical reference numerals.

In Fig. 1 ist schematisch eine Inspektionsvorrichtung 1 zur Inspektion eines Objekts 2 in Form einer Maske gezeigt. Das Objekt 2, genauer gesagt eine zu inspizierende Oberfläche 2a des Objekts 2, ist in einer Objektebene 3 eines katadioptrischen Objektivs 4 angeordnet. Das Objektiv 4 weist eine optische Baugruppe 5 auf, die benachbart zur Objektebene 3 angeordnet ist. In FIG. 1, an inspection device 1 for inspecting an object 2 in the form of a mask is shown schematically. The object 2, more precisely a surface 2a of the object 2 to be inspected, is arranged in an object plane 3 of a catadioptric objective 4. The objective 4 has an optical assembly 5 which is arranged adjacent to the object plane 3.

Das Objektiv 4 weist mehrere Spiegel 5a, b, sowie mehrere Linsen 6, 7, 8 zur Abbildung der zu inspizierenden Oberfläche 2a auf. Dabei können einzelne Linsen 6, 7, 8 und/oder Spiegel 5a, b des Objektivs 4 symmetrisch zur The objective 4 has several mirrors 5a, b and several lenses 6, 7, 8 for imaging the surface 2a to be inspected. Individual lenses 6, 7, 8 and / or mirrors 5a, b of the objective 4 can be symmetrical to the

Mittenachse 13 des Objektivs 4 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Linsen und Spiegel des Objektivs 4 nicht auf die Central axis 13 of the lens 4 can be arranged. It should be noted that the number of lenses and mirrors of the lens 4 does not affect the

dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Linsen und/oder Spiegel vorgesehen sein. Des Weiteren sind die Spiegel 5a, b in der Regel an ihrer Vorderseite zur Strahlformung gekrümmt. Insbesondere kann auf die Spiegel 5a, b verzichtet werden, d.h. das Objektiv 4 kann refraktiv The number shown is limited. More or fewer lenses and / or mirrors can also be provided. Furthermore, the mirrors 5a, b are usually curved on their front side for beam shaping. In particular, the mirrors 5a, b can be dispensed with, i.e. the lens 4 can be refractive

ausgebildet sein. be trained.

Die Masken-Inspektionsvorrichtung 1 weist neben dem Objektiv 4 weitere refraktive und/oder transmissive optische Elemente auf, die im Strahlweg vor dem Objektiv 4 angeordnet sind und auf deren Darstellung in Fig. 1 zur In addition to the objective 4, the mask inspection device 1 has further refractive and / or transmissive optical elements which are arranged in the beam path in front of the objective 4 and are shown in FIG

Vereinfachung verzichtet wurde. Das in Fig. 1 gezeigte Objektiv 4 ist für den Betrieb mit breitbandiger UV-Strahlung bei weniger als 400 nm, weniger als 300 nm oder ggf. weniger als 200 nm ausgelegt. Unter breitbandiger UV-Strahlung wird verstanden, dass diese einen Wellenlängenbereich von typischerweise mehreren Nanometern, ggf. von mehreren Dutzend Nanometern umfasst. Simplification was omitted. The objective 4 shown in FIG. 1 is for operation with broadband UV radiation at less than 400 nm, less than 300 nm or possibly less than 200 nm. Broadband UV radiation is understood to mean that it covers a wavelength range of typically several nanometers, possibly several dozen nanometers.

Fig. 2 zeigt stark schematisch ein Detail des Objektivs 4 von Fig. 1 mit einer der Linsen 8 als optischem Element, welches das letzte objektseitige optische Element des Objektivs 4 bildet und der Oberfläche 2a des Objekts 2 gegenüber liegend angeordnet ist. Die Inspektionsvorrichtung 1 weist auch eine FIG. 2 shows, very schematically, a detail of the objective 4 from FIG. 1 with one of the lenses 8 as the optical element, which forms the last object-side optical element of the objective 4 and is arranged opposite the surface 2a of the object 2. The inspection device 1 also has a

Spüleinrichtung 15 auf, die in Fig. 2 stark schematisch dargestellt ist. Die Spüleinrichtung 15 dient zur Zuführung eines Spülgasstroms 16 in einen Zwischenraum 17 zwischen dem Objektiv 4 und der zu inspizierenden Flushing device 15, which is shown very schematically in FIG. The flushing device 15 serves to supply a flushing gas stream 16 into an intermediate space 17 between the objective 4 and the object to be inspected

Oberfläche 2a des Objekts 2. Die Spüleinrichtung 15 weist ein nicht bildlich dargestelltes Spülgas-Reservoir auf, aus dem ein Spülgas, beispielsweise in Form von Stickstoff, entnommen werden kann. Das Spülgas bzw. der Surface 2a of the object 2. The flushing device 15 has a flushing gas reservoir (not shown) from which a flushing gas, for example in the form of nitrogen, can be taken. The purge gas or the

Spülgasstrom 16 wird dem Objektiv 4 von der Spüleinrichtung 15 über nicht bildlich dargestellte Zuführungsleitungen zugeführt. Purge gas stream 16 is supplied to objective 4 from purge device 15 via supply lines not shown in the figure.

Bei dem in Fig. 2 gezeigten Beispiel ist an dem Objektiv 4 ein Bauteil in Form eines plattenförmigen Strömungsleitelements 18 angebracht. Das In the example shown in FIG. 2, a component in the form of a plate-shaped flow guide element 18 is attached to the objective 4. The

Strömungsleitelement 18 ist an einem weiteren, ringförmigen Bauteil 19 angebracht, das mehrere, radial verlaufende Einlassöffnungen 20 zur Flow guiding element 18 is attached to a further, annular component 19, which has a plurality of radially extending inlet openings 20

Zuführung des Spülgasstroms 16 in das Objektiv 4 aufweist. Das weitere Bauteil 19 ist lösbar mit dem Objektiv 4, genauer gesagt mit einem im Having the purging gas stream 16 fed into the objective 4. The further component 19 is detachable with the lens 4, more precisely with an im

Wesentlichen zylinderförmigen Gehäuse 21 des Objektivs 4 verbunden, beispielsweise über eine Schraubverbindung oder dergleichen. Das Essentially cylindrical housing 21 of the lens 4 connected, for example via a screw connection or the like. The

Strömungsleitelement 18 und das ringförmige Bauteil 19 können gemeinsam (zerstörungsfrei) von dem Objektiv 4 gelöst werden. Das plattenförmige The flow guide element 18 and the annular component 19 can be released together (non-destructively) from the objective 4. The plate-shaped

Strömungsleitelement 18 dient als Abschlusselement des Objektivs 4, d.h. als Abtrennung des Objektivs 4 zur Umgebung. Der von der Spüleinrichtung 15 über die Einlassöffnung 20 in dem ringförmigen Bauteil 19 zugeführte Spülgasstrom 16 tritt zunächst in einen Ringraum 22 ein, welcher das letzte objektseitige optische Element 8 des Objektivs 4 ringförmig, aber nicht über die gesamte Höhe des letzten objektseitigen optischen The flow guide element 18 serves as a closing element of the objective 4, ie as a separation of the objective 4 from the surroundings. The purge gas flow 16 supplied by the purging device 15 via the inlet opening 20 in the annular component 19 first enters an annular space 22 which forms the last object-side optical element 8 of the objective 4 in a ring shape, but not over the entire height of the last object-side optical element

Elements 8 umgibt. Ausgehend von dem Ringraum 22 tritt der Spülgasstrom 16 in einen ringförmigen Spalt 23 ein, der zwischen der Rückseite 8b des letzten objektseitigen optischen Elements 8 des Objektivs 4 und einer Oberfläche 18a des plattenförmigen Strömungsleitelements 18 gebildet ist, die der Rückseite 8b des letzten optischen Elements 8 des Objektivs 4 zugewandt ist. Der Elements 8 surrounds. Starting from the annular space 22, the purge gas flow 16 enters an annular gap 23 which is formed between the rear side 8b of the last object-side optical element 8 of the objective 4 and a surface 18a of the plate-shaped flow guide element 18, which is the rear side 8b of the last optical element 8 of the lens 4 is facing. Of the

ringförmige Spalt 23 weist eine im Wesentlichen konstante Spaltbreite B von typischerweise weniger als ca. 0,2 mm auf. Der Spülgasstrom 16 tritt von dem Spalt 23 über eine an dem plattenförmigen Strömungsleitelement 18 gebildete, zentrische Öffnung 24 in den Zwischenraum 17 ein. Die zentrische Öffnung 24 in dem Strömungsleitelement 18 weist einen geringfügig größeren Durchmesser auf als der optisch freie Durchmesser des letzten objektseitigen optischen Elements 8, damit die UV-Strahlung, welche auf die Oberfläche 2a des Objekts 2 treffen soll, nicht durch das Strömungsleitelement 18 abgeschattet wird. annular gap 23 has an essentially constant gap width B of typically less than approximately 0.2 mm. The purge gas flow 16 enters the gap 17 from the gap 23 via a central opening 24 formed on the plate-shaped flow guide element 18. The central opening 24 in the flow guide element 18 has a slightly larger diameter than the optically free diameter of the last object-side optical element 8, so that the UV radiation that is to hit the surface 2a of the object 2 is not shaded by the flow guide element 18 .

Der Ringraum 22 weist typischerweise eine größere Höhe als der ringförmige Spalt 23 auf, wobei die Höhe des Ringraums 22 beispielsweise in der The annular space 22 typically has a greater height than the annular gap 23, the height of the annular space 22, for example, in the

Größenordnung von ca. 0,6 mm oder darüber liegen kann. In dem Ringraum 22 ist zwischen der Fassung 25 und dem letzten objektseitigen optischen Element 8 eine weitere Einlassöffnung 26 gebildet, über die ein Anteil 16a des Can be of the order of about 0.6 mm or more. In the annular space 22, a further inlet opening 26 is formed between the mount 25 and the last object-side optical element 8, via which a portion 16a of the

Spülgasstroms 16 abgezweigt und dem Innenraum 27 des Objektivs 4 zugeführt wird, um diesen zu spülen. Es versteht sich aber, dass die Spülung des Objektivs 4 nicht zwingend mit Hilfe des in Fig. 2 gezeigten abgezweigten Spülgasstroms 16a erfolgen muss, sondern dass zu diesem Zweck ggf. andere Spülgasströme verwendet werden können. Purge gas stream 16 is branched off and fed to the interior 27 of the lens 4 in order to purge it. It goes without saying, however, that the rinsing of the objective 4 does not necessarily have to take place with the aid of the branched-off purge gas flow 16a shown in FIG. 2, but that other purge gas flows can be used for this purpose if necessary.

Wie in Fig. 2 ebenfalls zu erkennen ist, ist ein Abstand A zwischen dem As can also be seen in FIG. 2, there is a distance A between the

Strömungsleitelement 18, genauer gesagt zwischen einer dem Objekt 2 zugewandten Rückseite 18b des Strömungsleitelements 18, und der zu inspizierenden Oberfläche 2a an der Vorderseite des Objekts 2 vergleichsweise gering und liegt in der Regel bei nicht mehr als ca. 2,0 mm. Der Abstand A entspricht der Breite des Zwischenraums 17, dem der Spülgasstrom 16 über die zentrische Öffnung 24 des Strömungsleitelements 18 zugeführt wird. Bei dem in Fig. 2 gezeigten Beispiel tritt der Spülgasstrom 16 nicht vollständig Flow guide element 18, more precisely between one of the object 2 facing rear side 18b of flow guide element 18, and the surface to be inspected 2a on the front side of object 2 is comparatively small and is usually not more than about 2.0 mm. The distance A corresponds to the width of the intermediate space 17 to which the purge gas stream 16 is fed via the central opening 24 of the flow guide element 18. In the example shown in FIG. 2, the purge gas stream 16 does not occur completely

radialsymmetrisch über den Spalt 23 durch die Öffnung 24 hindurch, sondern dieser weist eine Vorzugsrichtung auf. Eine solche Vorzugsrichtung kann beispielsweise erzeugt werden, indem die Rückseite 8a des letzten radially symmetrically across the gap 23 through the opening 24, but this has a preferred direction. Such a preferred direction can be generated, for example, by the rear side 8a of the last

objektseitigen optischen Elements 8 und/oder die Vorderseite des object-side optical element 8 and / or the front of the

plattenförmigen Strömungsleitelements 18 geeignet strukturiert werden. Durch die Erzeugung einer Vorzugsrichtung des Spülgasstroms 16 soll verhindert werden, dass im Bereich der Öffnung 24 ein Staupunkt des Spülgasstroms 16 gebildet wird. plate-shaped flow guiding element 18 are appropriately structured. By generating a preferred direction of the flushing gas flow 16, it should be prevented that a stagnation point of the flushing gas flow 16 is formed in the area of the opening 24.

Der Spülgasstrom 16 soll sicherstellen, dass die Oberfläche 2a des Objekts 2 frei von Verunreinigungen bleibt. Allerdings können in dem Spülgasstrom 16 selbst Verunreinigungen, beispielsweise geringe Mengen an Schwefel, enthalten sein. Diese Verunreinigungen können beispielsweise in den The purge gas flow 16 is intended to ensure that the surface 2a of the object 2 remains free from contamination. However, the purge gas stream 16 itself can contain impurities, for example small amounts of sulfur. These impurities can, for example, in the

Zuführungsleitungen der Spüleinrichtung 15 oder im Objektiv 4 freigesetzt werden, z.B. wenn Streulicht auf metallische Fassungen des Objektivs 4 trifft, die geringe Mengen an Schwefel enthalten. Feed lines of the flushing device 15 or in the lens 4 are released, e.g. when stray light strikes metallic mounts of the lens 4 which contain small amounts of sulfur.

Bevor der Spülgasstrom 16 über die Öffnung 24 des Strömungsleitelements 18 in den Zwischenraum 17 eingeleitet wird, wird der Spülgasstrom 16 daher nachgereinigt, indem er an der Vorderseite des plattenförmigen Before the purging gas stream 16 is introduced into the intermediate space 17 via the opening 24 of the flow guide element 18, the purging gas stream 16 is therefore cleaned up by being at the front of the plate-shaped

Strömungsleitelements 18 entlang geführt wird. Die Oberfläche 18a an der Vorderseite des Strömungsleitelements 18 ist bei dem in Fig. 2 gezeigten Beispiel als Beschichtung ausgebildet, die aus dem gleichen Material besteht wie die Oberfläche 2a des Objekts 2, d.h. die Oberfläche 18a des Flow guide element 18 is guided along. In the example shown in FIG. 2, the surface 18a on the front side of the flow guiding element 18 is formed as a coating which consists of the same material as the surface 2a of the object 2, i.e. the surface 18a of the

Strömungsleitelements 18 dient als Sammler („getter“) für die Verunreinigungen. Auf diese Weise lagern sich an der Oberfläche 18a des Strömungsleitelements 18 dieselben Verunreinigungen ab wie an der Flow guide element 18 serves as a collector ("getter") for the Impurities. In this way, the same contaminants are deposited on the surface 18a of the flow guide element 18 as on the

Oberfläche 2a des Objekts 2, wenn der Spülgasstrom 16 nicht gereinigt wird.Surface 2a of the object 2 when the purge gas stream 16 is not cleaned.

Bei dem in Fig. 2 gezeigten Beispiel handelt es sich bei dem Objekt 2 um eine Maske, die Kupfer enthält und die Oberfläche 18a bzw. die Beschichtung an der Vorderseite des plattenförmigen Strömungsleitelements 18 ist ebenfalls aus Kupfer gebildet. Alternativ kann es sich bei dem Objekt 2 um einen Spiegel handeln, beispielsweise um einen Kupfer-Spiegel, oder um ein Substrat für einen Spiegel, das beispielsweise aus Kupfer gebildet ist. In the example shown in FIG. 2, the object 2 is a mask which contains copper, and the surface 18a or the coating on the front side of the plate-shaped flow guide element 18 is also formed from copper. Alternatively, the object 2 can be a mirror, for example a copper mirror, or a substrate for a mirror, which is formed from copper, for example.

Da der Spalt 23 zwischen dem letzten objektseitigen optischen Element 8 und dem plattenförmigen Strömungsleitelement 18 einerseits eine vergleichsweise kleine Spaltbreite B aufweist und andererseits das letzte objektseitige optische Element 8 einen vergleichsweise großen Radius von z.B. ca. 30 mm oder mehr (ungefähr entsprechend der Länge des Spalts 23 in radialer Richtung vom Ringraum 22 zur Mittenachse 13) aufweist, ist die Wahrscheinlichkeit sehr hoch, dass jedes einzelne Schwefelatom irgendwann auf die Kupfer-Oberfläche 18a des plattenförmigen Strömungsleitelements 18 trifft und an dieser haften bleibt. Der Schwefel wird somit vom Kupfer-Material an der Oberfläche 18a des plattenförmigen Strömungsleitelements 18 eingefangen, bevor dieser zur Kupfer-Oberfläche 2a des Objekts 2 gelangen kann. Alternativ zur weiter oben beschriebenen Ausgestaltung der Oberfläche 18a in Form einer Beschichtung kann auch das ganze plattenförmige Strömungsleitelement 18 - oder ggf. Teile davon, insbesondere an dessen Vorderseite - aus dem gleichen Material wie die Oberfläche 2a des Objekts 2 gebildet sein. Beispielsweise kann das plattenförmige Strömungsleitelement 18 als Kupfer-Platte ausgebildet sein. Im gezeigten Beispiel weist das Strömungsleitelement 18 im Bereich des Spalts 23 einen konischen Abschnitt auf, der an die Krümmung der Linse 8 angepasst ist. Es versteht sich, dass bei einem letzten optischen Element, das eine plane Rückseite 8b aufweist, der konische Abschnitt des Strömungsleitelements 18 entfallen kann. Für den Fall, dass die Kupfer-Oberfläche 18a des plattenförmigen Strömungsleitelements 18 irgendwann so viel Schwefel absorbiert hat, dass neuer Schwefel wieder an der Oberfläche 2a des Objekts 2 ankommt, kann das plattenförmige Strömungsleitelement 18 getauscht werden, indem dieses von dem Objektiv 4 gelöst und gegen ein anderes plattenförmiges Since the gap 23 between the last object-side optical element 8 and the plate-shaped flow guide element 18 on the one hand has a comparatively small gap width B and on the other hand the last object-side optical element 8 has a comparatively large radius of e.g. approx. 30 mm or more (roughly corresponding to the length of the gap 23 in the radial direction from the annular space 22 to the central axis 13), the probability is very high that each individual sulfur atom will at some point strike the copper surface 18a of the plate-shaped flow guide element 18 and stick to it. The sulfur is thus captured by the copper material on the surface 18a of the plate-shaped flow guide element 18 before it can reach the copper surface 2a of the object 2. As an alternative to the above-described configuration of the surface 18a in the form of a coating, the entire plate-shaped flow guide element 18 - or possibly parts thereof, in particular on its front side - can be formed from the same material as the surface 2a of the object 2. For example, the plate-shaped flow guide element 18 can be designed as a copper plate. In the example shown, the flow guide element 18 has a conical section in the region of the gap 23 which is adapted to the curvature of the lens 8. It goes without saying that in the case of a last optical element which has a flat rear side 8b, the conical section of the flow guide element 18 can be omitted. In the event that the copper surface 18a of the plate-shaped flow guide element 18 has at some point absorbed so much sulfur that new sulfur arrives again at the surface 2a of the object 2, the plate-shaped flow guide element 18 can be replaced by detaching it from the lens 4 and against another plate-shaped one

Strömungsleitelement 18 ausgetauscht wird, welches noch keinen Schwefel absorbiert hat. Zu diesem Zweck kann insbesondere das weitere ringförmige Bauteil 19 von dem Objektiv 4 gelöst werden. Flow guide element 18 is replaced, which has not yet absorbed sulfur. For this purpose, the further annular component 19 in particular can be detached from the objective 4.

Das in Fig. 2 gezeigte plattenförmige Strömungsleitelement 18 mit der Kupfer- Oberfläche 18a kann auch gegen ein Strömungsleitelement 18 aus einem anderen Material ausgetauscht werden, wenn eine andere Art von Objekt 2 bzw. ein Objekt 2 mit einem anderen Material an seiner Oberfläche 2a mittels der Inspektionsvorrichtung 1 inspiziert werden soll. Beispielsweise kann für die Inspektion eines Objekts 2, das eine Silizium-Oberfläche 2a aufweist, das plattenförmige Strömungsleitelement 18 an seiner Vorderseite mit einer Silizium-Oberfläche 18a bzw. mit einer Beschichtung aus Silizium versehen werden, um Verunreinigungen in Form von Atomen oder Molekülen The plate-shaped flow guide element 18 shown in FIG. 2 with the copper surface 18a can also be exchanged for a flow guide element 18 made of a different material if a different type of object 2 or an object 2 with a different material on its surface 2a by means of the Inspection device 1 is to be inspected. For example, for the inspection of an object 2 that has a silicon surface 2a, the plate-shaped flow guide element 18 can be provided on its front side with a silicon surface 18a or with a coating of silicon in order to remove impurities in the form of atoms or molecules

abzufangen, die sich nicht auf der Oberfläche 2a des Objekts 2 aus Silizium ablagern sollen. to intercept that should not be deposited on the surface 2a of the object 2 made of silicon.

Typischerweise wird ein Objektiv 4, welches für die Inspektion bzw. Typically, an objective 4, which is used for inspection or

Vermessung eines Objekts 2 aus Kupfer verwendet wurde, nicht mehr für die Inspektion bzw. Vermessung von anderen Arten von Objekten 2 verwendet, da Kupfer für die meisten anderen Materialien, aus denen Objekte 2 Measurement of an object 2 made of copper was no longer used for the inspection or measurement of other types of objects 2, since copper is used for most of the other materials that make up objects 2

typischerweise gebildet werden, z.B. aus anderen Metallen, z.B. aus typically formed, e.g. of other metals, e.g. out

Aluminium, oder aus Halbleitern, beispielsweise aus Si, SiC, ... eine Aluminum, or from semiconductors, for example from Si, SiC, ... one

Verunreinigung darstellt. Ein plattenförmiges Strömungsleitelement 18 mit einer Kupfer-Oberfläche 18a wird daher typischerweise nur dann an dem Objektiv 4 angebracht, wenn feststeht, dass das Objektiv 4 nur zur Inspektion bzw. Vermessung eines Kupfer-Objekts 2, aber nicht zur Inspektion oder Represents pollution. A plate-shaped flow guide element 18 with a copper surface 18a is therefore typically only attached to the objective 4 when it is certain that the objective 4 is only used for inspection or Measurement of a copper object 2, but not for inspection or

Vermessung von anderen Arten von Objekten 2 verwendet werden soll. Da bei der Herstellung des Objektivs 4 in der Regel noch nicht feststeht, ob dieses für die Vermessung bzw. Inspektion von Kupfer-Objekten verwendet werden soll oder nicht, verbietet sich bei der Herstellung des Objektivs 4 die Verwendung von Kupfer. Auch aus diesem Grund ist es vorteilhaft, wenn das Survey of other types of objects 2 should be used. Since during the production of the objective 4 it is generally not yet clear whether it is to be used for the measurement or inspection of copper objects or not, the use of copper is prohibited in the production of the objective 4. For this reason, too, it is advantageous if the

Strömungsleitelement 18 lösbar an dem Objektiv 4 angebracht wird. Flow guiding element 18 is detachably attached to lens 4.

Zusätzlich oder alternativ zu dem plattenförmigen Strömungsleitelement 18 können auch andere Bauteile des Objektivs 4 mit einer Oberfläche aus einem Material versehen werden, welches mit dem Material der Oberfläche 2a des Objekts 2 übereinstimmt. Beispielsweise kann das ringförmige Bauteil 19, an dem das plattenförmige Strömungsleitelement 18 befestigt ist, an seiner dem Ringraum 22 zugewandten Oberfläche 19a und/oder an der Innenseite 19b der Einlassöffnung 26 das gleiche Material wie die Oberfläche 2a des Objekts 2 aufweisen. Dies ist günstig, da auch das ringförmige Bauteil 19 lösbar an dem Objektiv 4 befestigt ist. Es versteht sich aber, dass auch Bauteile, die dauerhaft mit dem Objektiv 4 verbunden sind, ggf. Oberflächen aufweisen können, an denen der Spülgasstrom 16 entlang strömt und die zum Auffangen von In addition or as an alternative to the plate-shaped flow guiding element 18, other components of the objective 4 can also be provided with a surface made of a material which corresponds to the material of the surface 2a of the object 2. For example, the annular component 19 to which the plate-shaped flow guide element 18 is attached can have the same material as the surface 2a of the object 2 on its surface 19a facing the annular space 22 and / or on the inside 19b of the inlet opening 26. This is favorable since the annular component 19 is also detachably attached to the objective 4. It goes without saying, however, that components that are permanently connected to the lens 4 can also have surfaces, if necessary, along which the purge gas stream 16 flows and which are used to collect

Verunreinigungen verwendet werden können. Impurities can be used.

Es versteht sich ebenfalls, dass die Inspektionsvorrichtung 1 bzw. das Objektiv 4 nicht zwingend das in Fig. 1 dargestellte optische Design aufweisen muss, sondern dass dieses ggf. auf andere Weise ausgebildet sein kann. Je größer der Durchmesser des letzten objektseitigen optischen Elements 8 ist, desto größer ist die Oberfläche 18a des plattenförmigen Strömungsleitelements 18 und desto besser wird der Spülgasstrom 16 (bei gleicher Spaltbreite B) gereinigt. An Stelle eines Objekts 2 in Form einer lithographischen Maske Spiegels, beispielsweise eines EUV-Spiegels, kann die Inspektionsvorrichtung 1 auch zur Inspektion von anderen Objekten verwendet werden, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, z.B. von Linsen, von Spiegeln, beispielsweise EUV-Spiegeln, oder dergleichen. An Stelle einer Inspektion des Objekts 2 z.B. im Hinblick auf an der Oberfläche 2a vorhandene Partikel mit Hilfe der Inspektionsvorrichtung 1 kann auch eine Vermessung des Objekts 2 mit Hilfe einer geeignet ausgebildeten Messvorrichtung erfolgen. Bei einer solchen Vermessung können Geometrie-Merkmale des Objekts 2 wie z.B. Linienbreiten, ... bestimmt bzw. vermessen werden. It is also understood that the inspection device 1 or the lens 4 does not necessarily have to have the optical design shown in FIG. 1, but that it can be designed in a different way, if necessary. The larger the diameter of the last object-side optical element 8, the larger the surface 18a of the plate-shaped flow guide element 18 and the better the purge gas flow 16 is cleaned (with the same gap width B). Instead of an object 2 in the form of a lithographic mask mirror, for example an EUV mirror, the inspection device 1 can also be used to inspect other objects that are used in the semiconductor industry, for example lenses, mirrors, for example EUV mirrors, or the like. Instead of an inspection of the object 2, for example with regard to particles present on the surface 2a, with the aid of the inspection device 1, the object 2 can also be measured with the aid of a suitably designed measuring device. With such a measurement, geometric features of the object 2 such as line widths,... Can be determined or measured.

Claims

1. Measuring or inspection device (1), in particular masks

inspection device comprising:

an object to be measured or inspected (2),

an objective (4) for measuring or inspecting a surface (2a) of the object (2),

a purging device (15) for feeding a purging gas flow (16) into an intermediate space (17) between the surface (2a) of the object (2) and the objective (4),

marked by

a component (18) which has a surface (18a) made of the same material as the surface (2a) of the to be measured or to

inspecting object is formed, wherein the flushing device (15)

is designed, the purge gas stream (16) before being introduced into the

To guide the gap (17) along the surface (18a) of the component (18).

2. Measuring or inspection device according to claim 1, in which the component (18) is in particular releasably attached to the lens (4).

3. Measuring or inspection device according to claim 1 or 2, in which the component forms a plate-shaped flow guide element (18) which is attached between a last object-side optical element (8) of the objective (4) and the object (2).

4. Measuring or inspection device according to claim 3, in which an annular gap (23), preferably with a gap width (B) of less than 0.2 mm, is formed between the flow guide element (18) and the last object-side optical element (8) is.

5. Measuring or inspection device according to claim 3 or 4, in which the flow guide element (18) has an in particular central opening (24) for feeding the flushing gas flow (16) into the intermediate space (17).

6. Measuring or inspection device according to one of claims 3 to 5,

further comprising: a further, in particular ring-shaped component (19) which has at least one inlet opening (20) for feeding the purge gas stream (16) into an annular space (22) which at least partially surrounds the last optical element (8) on the object side.

7. Measuring or inspection device according to claim 6, wherein the

further component (19) on its surface (19a) facing the annular space (22) and / or on the inside (19b) of the inlet opening (20) made of the same material as the surface (2a) of the object to be measured or inspected (2 ) is formed.

8. Measuring or inspection device according to claim 6, wherein the

Annular space (22) has at least one further inlet opening (26) for feeding a portion (16a) of the purge gas flow (16) into an interior (25) of the objective (4).

9. Measuring or inspection device according to one of claims 3 to 8, in which a distance (A) between the flow guide element (18) and the object to be measured or inspected is not more than 2.0 mm.

10. Measuring or inspection device according to one of claims 3 to 9, in which the last optical element on the object side forms a lens (8).

11. Measuring or inspection device according to one of the preceding

Claims, in which the component (18) and / or the further component (19) has / have a coating which is formed from the same material as the surface (2a) of the object to be measured or inspected.

12. Measuring or inspection device according to one of the preceding

Claims, in which the component (18) and / or the further component (19) is / are formed from the same material as the surface (2a) of the object to be measured or inspected.

13. Measuring or inspection device according to one of the preceding

Claims, in which the material of the surface (2a) of the to

The object to be measured or inspected is selected from the group comprising: metals, in particular copper, semiconductors, in particular silicon, silicon carbide and GaAs.

14. Method for measuring or inspecting an object (2),

in particular a mask comprising:

Measuring or inspecting a surface (2a) of the object (2) to be measured or inspected, which surface is arranged in an object plane (3) of an objective (4), and

Feeding a purge gas flow (16) into an intermediate space (17) between the surface (2a) of the object (2) to be measured or inspected and the objective (4),

characterized,

that the flushing gas stream (16) is guided along a surface (18a) of a component (18) before it is introduced into the intermediate space (17) which is made of the same material as the surface (2a) of the object to be measured or inspected (2 ) is formed.

15. The method of claim 14, further comprising:

Detachable fastening of the component (18) to the objective (4) before the measurement or inspection of the surface (2a) of the object.