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WO2020070393A1 - Method for obtaining a sheet of glass coated with a functional layer - Google Patents

Method for obtaining a sheet of glass coated with a functional layer

Info

Publication number
WO2020070393A1
WO2020070393A1 PCT/FR2018/052440 FR2018052440W WO2020070393A1 WO 2020070393 A1 WO2020070393 A1 WO 2020070393A1 FR 2018052440 W FR2018052440 W FR 2018052440W WO 2020070393 A1 WO2020070393 A1 WO 2020070393A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
layer
sacrificial layer
radiation
molybdenum
glass sheet
Prior art date
Application number
PCT/FR2018/052440
Other languages
French (fr)
Inventor
Andriy Kharchenko
Original Assignee
Saint-Gobain Glass France
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saint-Gobain Glass France filed Critical Saint-Gobain Glass France
Priority to PCT/FR2018/052440 priority Critical patent/WO2020070393A1/en
Publication of WO2020070393A1 publication Critical patent/WO2020070393A1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3652Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/90Other aspects of coatings
    • C03C2217/94Transparent conductive oxide layers [TCO] being part of a multilayer coating
    • C03C2217/948Layers comprising indium tin oxide [ITO]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32After-treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32After-treatment
    • C03C2218/328Partly or completely removing a coating

Definitions

  • the invention relates to obtaining glass sheets coated with at least one functional layer.
  • Certain functional layers require heat treatments, either to improve their properties, or even to give them their functionality.
  • low-emissive functional layers based on silver or transparent conductive oxides (TCO) the emissivity and the electrical resistivity of which are lowered following heat treatments.
  • Photocatalytic layers based on titanium oxide are also more active after heat treatment, because the latter promotes crystal growth. Heat treatments also make it possible to create porosity in silica-based layers to lower their light reflection factor.
  • WO 2010/139908 discloses a method of heat treatment by means of radiation, in particular laser radiation focused on the layer. Such a treatment makes it possible to heat the layer very quickly without significantly heating the glass sheet. Typically, the temperature at any point on the face of the glass sheet opposite to that carrying the layer does not exceed 150 ° C., or even 100 ° C. during the treatment. Other types of radiation, such as that from flash lamps can also be used for the same purpose. Some layers, however, absorb very little radiation, so that most of the radiation energy passes through the material without significantly heating it up. The known methods cannot then be used. Other layers absorb the radiation, but it may be desirable to improve the efficiency of the heat treatment by increasing the absorption of the stack deposited on the glass sheet. This allows for example to reduce the power of the radiation source and / or to speed up the treatment. However, the presence of absorbent layers is not always desirable in the final material.
  • Application WO 2012/022874 describes a process in which a soluble layer based on halides or sulphates is deposited on the layer to be treated, and surmounted by a layer absorbing infrared radiation. The latter can then be removed by washing.
  • the high sensitivity to air humidity of this type of soluble layer makes industrial implementation of this process difficult, in particular when the elimination of the soluble layer must be carried out in a place other than the heat treatment. .
  • These also contain elements such as chlorine, sodium and / or sulfur, which can lead to corrosion of the functional stack, in particular when these elements are not completely eliminated during washing.
  • Application WO 2015/185848 describes the use of an organic absorbent sacrificial layer, such as an ink, or mineral, such as zinc.
  • the zinc layers can be deposited by sputtering, which is an advantage when the functional layer is itself deposited by this process, and after oxidation can be removed using an acidic aqueous solution. This kind of solutions can however lead to degradation of the underlying layers.
  • the object of the present invention is to overcome these drawbacks by proposing a process for obtaining a material comprising a glass sheet coated on at least one of its faces with at least one functional layer, said process comprising:
  • a heat treatment step by means of radiation having at least one treatment wavelength between 200 and 2500 nm, of a glass sheet coated on at least one of its faces with said at least one functional layer and at least one sacrificial layer situated above the functional layer furthest from the glass sheet, then,
  • said process being characterized in that at least one sacrificial layer is based on molybdenum or molybdenum oxide, and in that,
  • a sacrificial layer is based on molybdenum
  • said sacrificial layer is in contact with an oxygen-containing atmosphere during the heat treatment step, and in that,
  • said sacrificial layer in the case where a sacrificial layer is based on molybdenum oxide, said sacrificial layer contains at least one absorbent element, which absorbs said radiation, or is surmounted by an absorbent layer, which absorbs said radiation.
  • Another object of the invention is a material comprising a glass sheet coated on at least one of its faces with at least one functional layer and at least one sacrificial layer based on molybdenum oxide situated above the functional layer furthest from the sheet of glass.
  • This material corresponds to an intermediate material of the method according to the invention, before the step of removing the sacrificial layer.
  • the layers based on molybdenum or molybdenum oxide can be easily obtained by sputtering and, after oxidation in the case of molybdenum, are easily removed by washing with water without adding acid, and preferably without adding basic, while not exhibiting sensitivity to atmospheric humidity.
  • the step of eliminating the sacrificial layer implements the contact of the sacrificial layer with the solvent. This contact may or may not be accompanied by an automated or manual mechanical treatment of the sacrificial layer, for example by means of brushes, rags, etc.
  • the step of eliminating the sacrificial layer may for example be carried out in a glass washing installation, in particular of the type commonly used in glass manufacturing or processing workshops.
  • the step of removing the sacrificial layer can in particular be carried out in a glass washing machine.
  • the solvent is preferably aqueous. These include water. Its pH is preferably between 5 and 8. In this way, the water preferably contains no acid or base capable of degrading the other layers of the coating. According to an advantageous alternative, the pH of the aqueous solvent is between 7.5 and 10.5, in particular between 8.5 and 10.5. A small amount of base in fact facilitates the elimination of the sacrificial layer. The step of removing the sacrificial layer can be carried out just after the heat treatment step, near the heat treatment installation.
  • the elimination step can alternatively be carried out later or at a distance from the heat treatment installation.
  • the sacrificial layer can indeed play a role of mechanical protection of the functional layer during its transport or its handling.
  • the material when the material is intended to be used in the manufacture of a glazing, the material can be delivered still coated with its sacrificial layer to a transformation workshop, and the sacrificial layer can be eliminated in this workshop, either before the transformation stage (cutting, insertion into insulating glass ...) or during or at the end of the transformation.
  • the glass sheet is preferably transparent, colorless (it is then a clear or extra-clear glass) or colored, for example in blue, gray, green or bronze.
  • extra-clear glass is meant a glass whose content by weight of iron oxide is at most 0.02% and whose light transmission factor is at least 90%.
  • the glass is preferably of the silica-soda-lime type, but it can also be of borosilicate or alumino-borosilicate type glass, in particular for high temperature applications (oven doors, chimney inserts, fire-resistant glazing).
  • the glass sheet advantageously has at least one dimension greater than or equal to 1 m, even 2 m and even 3 m.
  • the thickness of the glass sheet generally varies between 0.1 mm and 19 mm, preferably between 0.7 and 12 mm, in particular between 1 and 8 mm, or even between 4 and 6 mm.
  • the glass sheet is preferably of the float type, that is to say capable of having been obtained by a process consisting in pouring the molten glass onto a bath of molten tin (“float” bath).
  • the coating to be treated can be deposited on the “tin” side as well as on the “atmosphere” side of the glass sheet.
  • the term “atmosphere” and “tin” faces is understood to mean the faces of the sheet having been respectively in contact with the atmosphere prevailing in the float bath and in contact with the molten tin.
  • the tin face contains a small surface quantity of tin having diffused in the structure of the glass.
  • the glass sheet can also be obtained by rolling between two rollers, a technique which makes it possible in particular to print patterns on the surface of the glass.
  • the functional and sacrificial layers, as well as possibly all of the layers deposited on or its layers, are typically thin layers, in the sense that their thickness is generally from 0.5 nm to 10 ⁇ m, more generally from 1 nm to 1 pm.
  • thickness is meant the physical thickness throughout this text.
  • the functional and sacrificial layers are preferably deposited on at least 90% of the surface of the glass sheet.
  • a layer generally comprises at least 50% by weight of the element considered (metal, oxide, etc.), preferably at least 60% and even 70% or 80%, even 90%, 95% or 99% by weight of this element. In some cases, the layer consists of this element, except impurities.
  • the functional layer preferably provides the coated glass sheet with at least one functionality chosen from low emissivity, low electrical resistivity, anti-reflective effect, self-cleaning function or ease of cleaning.
  • At least one functional layer is chosen from layers based on a metal, in particular silver, layers based on titanium oxide, layers based on silica or layers based on a transparent oxide. electrically conductive.
  • the functional layer may be the only layer deposited on the glass sheet (in addition to the sacrificial layer). Alternatively, the functional layer can be included in a stack of thin layers. In the following text, the assembly comprising the functional and sacrificial layers as well as any other layer deposited on the same face of the glass sheet is called a "coating".
  • the thickness of the or each functional layer is typically between 1 nm and 5 ⁇ m, in particular between 2 nm and 2 ⁇ m, more particularly between 10 nm and 1 ⁇ m.
  • the at least one functional layer is based on a metal, typically silver, or even gold.
  • the functional layer is preferably made of this metal.
  • Such metals have properties of low emissivity and low electrical resistivity, so that the coated glass sheets can be used for the manufacture of glazing with reinforced thermal insulation, heated glazing or even electrodes.
  • the thickness of the functional layer is then preferably within a range from 2 to 20 nm.
  • the coating comprises at least one functional metallic layer, preferably two or three, each being generally disposed between at least two dielectric layers, typically layers of oxide, nitride or oxynitride, for example layers of silicon nitride, zinc oxide and / or tin oxide, titanium oxide etc ...
  • This type of coating is preferably entirely deposited by sputtering, in particular assisted by magnetic field (magnetron process).
  • the or at least one functional layer is a layer based on titanium oxide, in particular a layer made up or essentially made up of titanium oxide.
  • Titanium dioxide crystallized in the anatase form is much more effective in terms of degradation of organic compounds than titanium dioxide amorphous or crystallized in the rutile or brookite form.
  • Titanium oxide can optionally be doped with a metal ion, for example an ion of a transition metal, or with nitrogen, carbon or fluorine atoms. Titanium oxide can also be sub-stoichiometric or super-stoichiometric in oxygen (TiCh or TiO.
  • the titanium oxide-based layer is preferably deposited by magnetron sputtering.
  • this technique does not allow to obtain very active layers, because the titanium oxide which they contain is little or even not crystallized.
  • Heat treatment is then necessary to confer appreciable self-cleaning properties.
  • the or at least one functional layer is a layer based on a transparent electrically conductive oxide, frequently called “TCO” in the art, acronym of the English expression "transparent conductive oxide”.
  • the transparent electrically conductive oxide is preferably chosen from the layers of tin and indium oxide (ITO), the zinc oxide layers doped with aluminum or gallium and the oxide layers d tin doped with fluorine or antimony.
  • This type of layer confers electrical conduction properties but also low emissivity, allowing the material to be used in the manufacture of insulating glazing, anti-condensation glazing, or electrodes, for example for photovoltaic cells, for display screens or for lighting devices.
  • the or at least one functional layer is a layer based on silica. This type of layer absorbs little in the wavelength range considered, in particular in the near infrared, so that in the absence of a layer sacrificial absorbent heat treatment is ineffective.
  • the silica-based layer is preferably, after heat treatment, essentially made up or even made up of silica.
  • the silica-based layer is advantageously anti-reflective, in the sense that the light reflection factor on the layer side is at most 6%, in particular 5% after heat treatment, when the layer is deposited on one side of the glass sheet (the value therefore takes into account the reflection of the opposite uncoated face, which is approximately 4%).
  • the silica-based layer comprises, before thermal treatment of silicon, oxygen, carbon and optionally hydrogen, these latter two elements being at least partially removed during the thermal treatment so as to obtain a porous layer essentially consisting of silica.
  • This layer is preferably deposited by magnetron sputtering of a silicon or silica target or by chemical vapor deposition assisted by plasma using as an silicon precursor an organometallic compound such as for example hexamethyldisiloxane.
  • the silica-based layer comprises, before heat treatment, a silica matrix and blowing agents, the latter being eliminated during the heat treatment so as to obtain a porous layer essentially consisting of silica.
  • the blowing agents are preferably organic, in particular polymeric, for example made of polymethyl methacrylate, their average size preferably being within a range ranging from 20 to 200 nm.
  • This layer is preferably deposited by a method of the sol-gel type.
  • the or each functional layer can be obtained by any type of thin film deposition process.
  • It can, for example, be processes of the sol-gel, pyrolysis (liquid or solid) type, chemical vapor deposition (CVD), in particular assisted by plasma (APCVD), optionally under atmospheric pressure (APPECVD), evaporation, spraying.
  • CVD chemical vapor deposition
  • APCVD assisted by plasma
  • APPECVD atmospheric pressure
  • evaporation spraying.
  • cathodic in particular assisted by a magnetic field (magnetron process).
  • a plasma is created under a high vacuum in the vicinity of a target comprising the chemical elements to be deposited.
  • the active plasma species by bombarding the target, tear off said elements, which are deposited on the glass sheet, forming the desired thin layer.
  • This process is said to be “reactive” when the layer consists of a material resulting from a chemical reaction between the elements torn from the target and the gas contained in the plasma.
  • the major advantage of this process lies in the possibility of depositing on a single line a very complex stack of layers by successively scrolling the glass sheet under different targets, this generally in a single device. It is thus possible to obtain in this way the complete stack, containing the or each sacrificial layer.
  • the or at least one sacrificial layer is based on molybdenum, and is in contact with an atmosphere containing oxygen during the heat treatment step.
  • the sacrificial layer is preferably essentially made up or even made up of molybdenum.
  • the sacrificial layer is capable of oxidizing during the heat treatment step, thus giving a layer of soluble molybdenum oxide. Before oxidation, it is able to absorb at least part of the radiation.
  • the or at least one sacrificial layer is based on molybdenum oxide, in particular essentially constituted or even made of molybdenum oxide.
  • the sacrificial layer contains at least one absorbing element, capable of absorbing radiation having at least one wavelength between 200 and 2500 nm ("processing wavelength").
  • the or each absorbent element then allows the sacrificial layer to absorb the radiation during the heat treatment and consequently to improve the efficiency of the latter.
  • At least one absorbent element is preferably a metallic element chosen from titanium, silver, tungsten, niobium, indium, tin, copper, molybdenum, zinc, zirconium, silicon, vanadium, aluminum, nickel, chromium, iron and gold.
  • the at least one absorbent element is preferably present in the layer in the form of particles.
  • the amount of absorbent element is preferably adapted so that the absorption of the sacrificial layer is at least 5% at at least one treatment wavelength.
  • the sacrificial layer is preferably a composite containing molybdenum oxide and at least one metal.
  • An example of this type of composite is called "cermet" in the art.
  • the absorbent element can also be present in the sacrificial layer in the form of very thin layers, the sacrificial layer then being in the form of an assembly of superimposed layers, alternating layers of molybdenum oxide and layers of l absorbent element.
  • the sacrificial layer is surmounted by an absorbent layer, capable of absorbing radiation having at least a wavelength between 200 and 2500 nm ("processing wavelength").
  • the sacrificial layer is not (or only slightly) absorbent, and it is the presence of the absorbent layer which makes it possible to improve the efficiency of the heat treatment.
  • the absorbent layer is preferably based on at least one metal chosen from molybdenum, titanium, zinc, zirconium, silver, indium, tin, nickel, chromium, niobium, vanadium, tungsten, copper, iron, silicon, gold.
  • the absorbent layer may in particular be an alloy of one of these metals, for example an alloy of indium and tin.
  • the absorbent layer is preferably porous or discontinuous or else itself soluble or made soluble by the heat treatment so as to be able to easily remove the underlying sacrificial layer.
  • the absorption, in the first mode of the sacrificial layer and in the second mode of the absorbent layer, at at least one treatment wavelength, is preferably at least 5%, in particular 10% or 15%, even 20% and even 25 or 30%.
  • the absorption can in a known manner be deduced from measurements carried out using a spectrophotometer.
  • Molybdenum oxide whether it is obtained during the deposition of the sacrificial layer or during its heat treatment, is advantageously at least partly made up of molybdenum trioxide M0O3 which is the most soluble form.
  • the sacrificial layer is preferably deposited by magnetron sputtering.
  • the thickness of the sacrificial layer is preferably within a range from 0.5 to 100 nm, in particular from 1 to 50 nm, more preferably from 2 to 30 nm.
  • its thickness is advantageously at most 10 nm, in particular between 2 and 10 nm, so that it can oxidize over its entire thickness during the heat treatment and thus be easily removed later.
  • the thickness of the latter is preferably within a range from 0.5 to 100 nm, in particular from 1 at 10 nm.
  • the thickness of the sacrificial layer is to be adjusted according to the nature and the content of absorbent element, so as to obtain adequate absorption.
  • the radiation is preferably chosen from laser radiation or radiation from at least one flash lamp.
  • the temperature at any point on the face of the glass sheet opposite to that carrying the functional layer is preferably at most 150 ° C., in particular 100 ° C. and even 50 ° C.
  • the maximum temperature undergone by each point of the functional layer during the heat treatment is preferably at least 300 ° C, in particular 350 ° C, even 400 ° C, and even 500 ° C or 600 ° C.
  • each point of the functional layer is subjected to this maximum temperature for a period generally not exceeding one second, preferably 0.5 seconds and even 0.05 seconds.
  • the radiation comes from at least one flash lamp.
  • Such lamps are generally in the form of glass or quartz tubes sealed and filled with a rare gas, provided with electrodes at their ends. Under the effect of a short-lived electrical pulse, obtained by discharging a capacitor, the gas ionizes and produces a particularly intense incoherent light.
  • the emission spectrum generally comprises at least two emission lines; it is preferably a continuous spectrum having a maximum emission in the near ultraviolet and extending to the near infrared. In this case, the heat treatment implements a continuum of treatment wavelengths.
  • the lamp is preferably a xenon lamp. It can also be an argon, helium or krypton lamp.
  • the emission spectrum preferably comprises several lines, in particular at wavelengths ranging from 160 to 1000 nm.
  • the duration of the flash is preferably in a range from 0.05 to 20 milliseconds, in particular from 0.1 to 5 milliseconds.
  • the repetition rate is preferably within a range from 0.1 to 5 Hz, in particular from 0.2 to 2 Hz.
  • the radiation can come from several lamps arranged side by side, for example 5 to 20 lamps, or even 8 to 15 lamps, so as to simultaneously treat a wider area. In this case, all the lamps can emit flashes simultaneously.
  • the or each lamp is preferably arranged transversely to the longest sides of the glass sheet.
  • the or each lamp preferably has a length of at least 1 m, in particular 2 m and even 3 m, so that large sheets of glass can be processed.
  • the capacitor is typically charged at a voltage of 500 V to 500 kV.
  • the current density is preferably at least 4000 A / cm 2 .
  • the total energy density emitted by the flash lamps, relative to the surface of the coating, is preferably between 1 and 100 J / cm 2 , especially between 1 and 30 J / cm 2 , or even between 5 and 20 J / cm 2 .
  • the radiation is laser radiation, in particular laser radiation focused on the functional layer in the form of at least one laser line.
  • the laser radiation is preferably generated by modules comprising one or more laser sources as well as shaping and redirection optics.
  • the laser sources are typically laser diodes or fiber lasers, in particular fiber, diode or even disc lasers.
  • the laser diodes make it possible to economically achieve high power densities compared to the electrical power supply, for a small footprint.
  • the size of the fiber lasers is even more reduced, and the linear power obtained can be even higher, at a cost however higher.
  • Fiber lasers are understood to mean lasers in which the place of generation of the laser light is spatially offset from its place of delivery, the laser light being delivered by means of at least one optical fiber.
  • the laser light is generated in a resonant cavity in which is located the emitting medium which is in the form of a disc, for example a thin disc (of about 0.1 mm thick) in Yb: YAG.
  • the light thus generated is coupled in at least one optical fiber directed towards the place of treatment.
  • Fiber or disc lasers are preferably optically pumped using laser diodes.
  • the radiation from the laser sources is preferably continuous. Alternatively, it can be pulsed.
  • the wavelength of the laser radiation is preferably within a range from 800 to 1300 nm, in particular from 800 to 1100 nm.
  • Power laser diodes emitting at one or more wavelengths chosen from 808 nm, 880 nm, 915 nm, 940 nm or 980 nm have been found to be particularly suitable.
  • the processing wavelength is for example 1030 nm (emission wavelength for a Yb: YAG laser).
  • the treatment wavelength is typically 1070 nm.
  • the number of laser lines and their arrangement are advantageously chosen so that the entire width of the glass sheet is treated.
  • disjoint lines can be used, for example be staggered or as the crow flies.
  • this laser line can be generated by a single laser module.
  • the laser line advantageously results from the combination of a plurality of elementary laser lines each generated by independent laser modules.
  • the length of these elementary laser lines typically ranges from 10 to 100 cm, in particular from 30 to 75 cm, or even from 30 to 60 cm.
  • the elementary lines are preferably arranged so as to overlap partially in the lengthwise direction and preferably have an offset in the widthwise direction, said offset being less than half the sum of the widths of two adjacent elementary lines.
  • the term "length" of the line means the largest dimension of the line, measured on the surface of the covering in a first direction, and "width" the dimension in the second direction, perpendicular to the first direction.
  • the width w of the line corresponds to the distance (in this second direction) between the axis of the beam (where the intensity of the radiation is maximum) and the point where the radiation intensity is equal to l / e 2 times the maximum intensity. If the longitudinal axis of the laser line is named x, we can define a width distribution along this axis, called w (x).
  • the average width of the or each laser line is preferably at least 35 micrometers, in particular lying in a range from 40 to 100 micrometers or from 40 to 70 micrometers.
  • "average” means the arithmetic average. Over the entire length of the line, the width distribution is narrow in order to limit as far as possible any heterogeneity of treatment.
  • the difference between the largest width and the smallest width is preferably at most 10% of the value of the average width. This figure is preferably at most 5% and even 3%.
  • the linear power of the laser line is preferably at least 300 W / cm, advantageously 350 or 400 W / cm, in particular 450 W / cm, even 500 W / cm and even 550 W / cm. It is even advantageously at least 600 W / cm, in particular 800 W / cm, or even 1000 W / cm.
  • the linear power is measured at the point where the or each laser line is focused on the coating. It can be measured by placing a power detector along the line, for example a calorimetric power meter, such as in particular the Beam Finder S / N 2000716 power meter from Cohérent Inc.
  • the power is advantageously distributed homogeneously over the entire length of the or each line. Preferably, the difference between the highest power and the lowest power is less than 10% of the average power.
  • a relative displacement between the radiation source and said glass sheet is preferably created.
  • the or each radiation source in particular laser line or flash lamp
  • the glass sheet is in motion, so that the relative displacement speeds will correspond to the running speed of the glass sheet.
  • the or each laser line is substantially perpendicular to the direction of movement.
  • the energy density supplied to the coating by the radiation is preferably at least 20 J / cm 2 , or even 30 J / cm 2 .
  • the high powers and energy densities allow the coating to be heated very quickly, without significantly heating the glass sheet.
  • the maximum temperature undergone by each point of the coating during the heat treatment is preferably at least 300 ° C, in particular 350 ° C, even 400 ° C, and even 500 ° C or 600 ° C.
  • the maximum temperature is notably undergone at the moment when the point of the coating considered passes under the laser line or is irradiated by the flash lamp flash.
  • only the points on the surface of the coating located under the laser line or under the flash lamp and in its immediate surroundings (for example less than a millimeter) are normally at a temperature of at least 300 ° C. .
  • the coating temperature is normally at most 50 ° C, and even 40 ° C or 30 ° C.
  • Each point of the coating undergoes heat treatment (or is brought to the maximum temperature) for a period advantageously included in a range ranging from 0.05 to 10 ms, in particular from 0.1 to 5 ms, or from 0.1 to 2 ms.
  • this duration is fixed both by the width of the laser line and by the speed of relative movement between the glass sheet and the laser line.
  • this duration corresponds to the duration of the flash.
  • the conveying means preferably comprises a rigid frame and a plurality of rollers.
  • the pitch of the rollers is advantageously included in a range from 50 to 300 mm.
  • the rollers preferably comprise metal rings, typically of steel, covered with plastic bandages.
  • the rollers are preferably mounted on bearings with reduced clearance, typically at the rate of three rollers per bearing. In order to ensure perfect flatness of the conveying plane, the positioning of each of the rollers is advantageously adjustable.
  • the rollers are preferably moved using sprockets or chains, preferably tangential chains, driven by at least one motor.
  • the speed of the relative movement of movement between the glass sheet and the or each source of radiation (in particular the or each laser line) is advantageously at least 2 m / min, in particular 5 m / min and even 6 m / min or 7 m / min, or even 8 m / min and even 9 m / min or 10 m / min.
  • the speed of the movement of relative movement between the glass sheet and the radiation source is at least 12 m / min or 15 m / min, in particular 20 m / min and even 25 or 30 m / min.
  • the speed of the relative movement of movement between the glass sheet and the or each source of radiation varies during the treatment of plus 10% relative, especially 2% and even 1% compared to its nominal value.
  • the heat treatment device can be integrated into a layer deposition line, for example a sputtering deposition line assisted by magnetic field (magnetron process), or a chemical vapor deposition line (CVD), in particular assisted by plasma (PECVD), under vacuum or at atmospheric pressure (APPECVD).
  • the line generally includes devices for handling glass sheets, a deposition installation, optical control devices, stacking devices. The glass sheets pass, for example on conveyor rollers, successively in front of each device or each installation.
  • the heat treatment device is preferably located just after the installation for depositing the coating, for example at the outlet of the installation for deposit.
  • the coated glass sheet can thus be processed online after the coating has been deposited, at the outlet of the deposition installation and before the optical control devices, or after the optical control devices and before the sheet stacking devices. of glass .
  • the heat treatment device can also be integrated into the deposition installation.
  • the laser or the flash lamp can be introduced into one of the rooms of a sputtering deposition installation, in particular in a room where the atmosphere is rarefied, in particular under a pressure between 1CT 6 mbar and 1CT 2 mbar .
  • the heat treatment device can also be placed outside the deposition installation, but so as to treat a glass sheet located inside said installation. It suffices to provide for this purpose a window transparent to the wavelength of the radiation used, through which the radiation would come to treat the layer. It is thus possible to treat a layer (for example a layer of silver) before the subsequent deposition of another layer in the same installation.
  • the processes in recovery can however have an interest in the cases where the implementation of the heat treatment according to the invention is made in a place different from that where the deposit is carried out, for example in a place where the transformation of the glass is carried out .
  • the heat treatment device can therefore be integrated into other lines than the layer deposition line. It can for example be integrated into a production line for multiple glazing (double or triple glazing in particular), to a production line for laminated glazing, or even to a production line for curved and / or toughened glazing. Laminated or curved or toughened glazing can be used as well as building or automotive glazing.
  • the heat treatment according to the invention is preferably carried out before the production of multiple or laminated glazing. However, the heat treatment can be carried out after double glazing or laminated glazing has been produced.
  • the heat treatment device is preferably placed in a closed enclosure making it possible to secure people by avoiding any contact with the radiation and avoiding any pollution, in particular of the glass sheet, the optics or the treatment area.
  • the material obtained by the process according to the invention can form or be integrated into a glazing, in particular for building or transport. It can be, for example, multiple glazing (double, triple, etc.), monolithic glazing, curved glazing, laminated glazing.
  • the material can in particular constitute the first sheet of multiple glazing, the functional layer being positioned opposite 1 of said glazing.
  • the functional layer is preferably positioned inside the multiple glazing.
  • the material obtained by the process according to the invention can also be integrated into a photovoltaic cell.
  • the material which is coated with it can form the front face of a photovoltaic cell.
  • the material obtained by the method according to the invention can also be integrated into a display screen or a lighting device or a photovoltaic cell, as a substrate provided with an electrode.
  • a sheet of glass has been coated in known manner, by magnetron sputtering, with a stack of thin layers with low emissivity comprising a silver layer placed between dielectric stacks.
  • the stack deposited on the glass sheet did not contain any other layer.
  • the stack was coated with a sacrificial layer of molybdenum oxide with a thickness of 30 nm, itself coated with a non-continuous absorbent layer of an alloy of indium and tin, a few nanometers thick.
  • the sacrificial layer was deposited using a molybdenum target of 21 * 9 cm 2 , supplied with a power of 700 W.
  • a plasma mixture containing argon (flow rate of 30 sccm) and oxygen ( flow rate of 20 sccm) was introduced into the deposition chamber during the deposition of the sacrificial layer.
  • the glass sheets thus coated were then heat treated by passing under a laser line emitting radiation with a wavelength of 980 nm.
  • the glass sheet coated with the sacrificial layer was immersed in water not added with an acid, a base, or more generally of any additive, for a period ranging from 10 to 15 seconds, then dried.
  • the sacrificial layer and the absorbent layer were completely removed by this washing.
  • water with a small amount of base added so as to obtain a pH of 9 was used, the elimination of the sacrificial layer then being much faster, obtained after only 1 to 2 seconds.

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Abstract

The invention concerns a method for obtaining a material comprising a sheet of glass coated on at least one of its faces with at least one functional layer, the method comprising: - a heat treatment step, using radiation having at least one treatment wavelength of between 200 and 2500 nm, for treating a sheet of glass coated on at least one of its faces with the at least one functional layer and at least one sacrificial layer situated above the functional layer furthest away from the sheet of glass, then, - a step of eliminating the or each sacrificial layer by means of a solvent, the method being characterised in that at least one sacrificial layer is made from molybdenum or molybdenum oxide, and in that, if a sacrificial layer is made from molybdenum, said sacrificial layer is in contact with an atmosphere containing oxygen during the heat treatment step, and in that, if a sacrificial layer is made from molybdenum oxide, said sacrificial layer contains at least one absorbent element, which absorbs the radiation, or is surmounted by an absorbent layer, which absorbs the radiation.

Description

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COUCHE FONCTIONNELLE FUNCTIONAL LAYER
L'invention se rapporte à l'obtention de feuilles de verre revêtues d'au moins une couche fonctionnelle. The invention relates to obtaining glass sheets coated with at least one functional layer.
Certaines couches fonctionnelles nécessitent des traitements thermiques, soit pour améliorer leurs propriétés, soit même pour leur conférer leur fonctionnalité. On peut citer à titres d'exemples les couches fonctionnelles bas-émissives à base d'argent ou d'oxydes transparents conducteurs (TCO) dont l'émissivité et la résistivité électrique sont abaissées suite à des traitements thermiques. Des couches photocatalytiques à base d'oxyde de titane sont également plus actives après traitement thermique, car ce dernier favorise la croissance cristalline. Des traitements thermiques permettent également de créer de la porosité dans des couches à base de silice pour abaisser leur facteur de réflexion lumineuse.  Certain functional layers require heat treatments, either to improve their properties, or even to give them their functionality. By way of example, mention may be made of low-emissive functional layers based on silver or transparent conductive oxides (TCO), the emissivity and the electrical resistivity of which are lowered following heat treatments. Photocatalytic layers based on titanium oxide are also more active after heat treatment, because the latter promotes crystal growth. Heat treatments also make it possible to create porosity in silica-based layers to lower their light reflection factor.
On connaît de la demande WO 2010/139908 une méthode de traitement thermique au moyen d'un rayonnement, notamment un rayonnement laser focalisé sur la couche. Un tel traitement permet de chauffer très rapidement la couche sans échauffer la feuille de verre de manière significative. Typiquement, la température en tout point de la face de la feuille de verre opposée à celle portant la couche ne dépasse pas 150°C, voire 100°C durant le traitement. D'autres types de rayonnement, comme celui issu de lampes flash sont également utilisables dans le même but . Certaines couches absorbent toutefois très peu le rayonnement, de sorte que la majeure partie de l'énergie du rayonnement traverse le matériau sans l'échauffer de manière significative. Les procédés connus ne peuvent alors être utilisés. D'autres couches absorbent le rayonnement mais il peut être souhaitable d'améliorer le rendement du traitement thermique en augmentant l'absorption de l'empilement déposé sur la feuille de verre. Cela permet par exemple de réduire la puissance de la source de rayonnement et/ou d'accélérer le traitement. La présence de couches absorbantes n'est toutefois pas toujours souhaitable dans le matériau final. WO 2010/139908 discloses a method of heat treatment by means of radiation, in particular laser radiation focused on the layer. Such a treatment makes it possible to heat the layer very quickly without significantly heating the glass sheet. Typically, the temperature at any point on the face of the glass sheet opposite to that carrying the layer does not exceed 150 ° C., or even 100 ° C. during the treatment. Other types of radiation, such as that from flash lamps can also be used for the same purpose. Some layers, however, absorb very little radiation, so that most of the radiation energy passes through the material without significantly heating it up. The known methods cannot then be used. Other layers absorb the radiation, but it may be desirable to improve the efficiency of the heat treatment by increasing the absorption of the stack deposited on the glass sheet. This allows for example to reduce the power of the radiation source and / or to speed up the treatment. However, the presence of absorbent layers is not always desirable in the final material.
La demande WO 2012/022874 décrit un procédé dans lequel une couche soluble à base d 'halogénures ou de sulfates est déposée sur la couche à traiter, et surmontée d'une couche absorbant le rayonnement infrarouge. Cette dernière peut alors être éliminée par lavage. La sensibilité élevée à l'humidité de l'air de ce type de couches solubles rend toutefois difficile la mise en œuvre industrielle de ce procédé, en particulier lorsque l'élimination de la couche soluble doit être réalisée dans un autre lieu que le traitement thermique. Ces contiennent en outre des éléments tels que le chlore, le sodium et/ou le soufre, qui peuvent conduire à une corrosion de l'empilement fonctionnel, en particulier lorsque ces éléments ne sont pas totalement éliminés lors du lavage. Application WO 2012/022874 describes a process in which a soluble layer based on halides or sulphates is deposited on the layer to be treated, and surmounted by a layer absorbing infrared radiation. The latter can then be removed by washing. The high sensitivity to air humidity of this type of soluble layer, however, makes industrial implementation of this process difficult, in particular when the elimination of the soluble layer must be carried out in a place other than the heat treatment. . These also contain elements such as chlorine, sodium and / or sulfur, which can lead to corrosion of the functional stack, in particular when these elements are not completely eliminated during washing.
La demande WO 2015/185848 décrit l'utilisation d'une couche sacrificielle absorbante organique, comme une encre, ou minérale, comme du zinc. Les couches de zinc peuvent être déposées par pulvérisation cathodique, ce qui présente un avantage lorsque la couche fonctionnelle est elle-même déposée par ce procédé, et après oxydation peuvent être éliminées à l'aide d'une solution aqueuse acide. Ce type de solutions peut toutefois conduire à une dégradation de couches sous-jacentes. Application WO 2015/185848 describes the use of an organic absorbent sacrificial layer, such as an ink, or mineral, such as zinc. The zinc layers can be deposited by sputtering, which is an advantage when the functional layer is itself deposited by this process, and after oxidation can be removed using an acidic aqueous solution. This kind of solutions can however lead to degradation of the underlying layers.
La présente invention a pour but d'obvier à ces inconvénients en proposant un procédé d'obtention d'un matériau comprenant une feuille de verre revêtue sur au moins une de ses faces d'au moins une couche fonctionnelle, ledit procédé comprenant :  The object of the present invention is to overcome these drawbacks by proposing a process for obtaining a material comprising a glass sheet coated on at least one of its faces with at least one functional layer, said process comprising:
une étape de traitement thermique, au moyen d'un rayonnement possédant au moins une longueur d'onde de traitement comprise entre 200 et 2500 nm, d'une feuille de verre revêtue sur au moins une de ses faces de ladite au moins une couche fonctionnelle et d'au moins une couche sacrificielle située au-dessus de la couche fonctionnelle la plus éloignée de la feuille de verre, puis,  a heat treatment step, by means of radiation having at least one treatment wavelength between 200 and 2500 nm, of a glass sheet coated on at least one of its faces with said at least one functional layer and at least one sacrificial layer situated above the functional layer furthest from the glass sheet, then,
une étape d'élimination de la ou chaque couche sacrificielle à l'aide d'un solvant,  a step of removing the or each sacrificial layer using a solvent,
ledit procédé étant caractérisé en ce qu'au moins une couche sacrificielle est à base de molybdène ou d'oxyde de molybdène, et en ce que, said process being characterized in that at least one sacrificial layer is based on molybdenum or molybdenum oxide, and in that,
dans le cas où une couche sacrificielle est à base de molybdène, ladite couche sacrificielle est au contact d'une atmosphère contenant de l'oxygène durant l'étape de traitement thermique, et en ce que, in the case where a sacrificial layer is based on molybdenum, said sacrificial layer is in contact with an oxygen-containing atmosphere during the heat treatment step, and in that,
dans le cas où une couche sacrificielle est à base d'oxyde de molybdène, ladite couche sacrificielle contient au moins un élément absorbant, qui absorbe ledit rayonnement, ou est surmontée d'une couche absorbante, qui absorbe ledit rayonnement . in the case where a sacrificial layer is based on molybdenum oxide, said sacrificial layer contains at least one absorbent element, which absorbs said radiation, or is surmounted by an absorbent layer, which absorbs said radiation.
Un autre objet de l'invention est un matériau comprenant une feuille de verre revêtue sur au moins une de ses faces d'au moins une couche fonctionnelle et d'au moins une couche sacrificielle à base d'oxyde de molybdène située au-dessus de la couche fonctionnelle la plus éloignée de la feuille de verre. Ce matériau correspond à un matériau intermédiaire du procédé selon l'invention, avant l'étape d'élimination de la couche sacrificielle. Another object of the invention is a material comprising a glass sheet coated on at least one of its faces with at least one functional layer and at least one sacrificial layer based on molybdenum oxide situated above the functional layer furthest from the sheet of glass. This material corresponds to an intermediate material of the method according to the invention, before the step of removing the sacrificial layer.
Toutes les caractéristiques ou tous les modes de réalisation décrits ci-après s'appliquent aussi bien au procédé qu'au matériau selon l'invention.  All the characteristics or all the embodiments described below apply both to the process and to the material according to the invention.
Les couches à base de molybdène ou d'oxyde de molybdène peuvent être aisément obtenues par pulvérisation cathodique et, après oxydation dans le cas du molybdène, sont facilement éliminables par lavage avec de l'eau sans ajout d'acide, et de préférence sans ajout de base, tout en ne présentant pas de sensibilité à l'humidité de 1 ' atmosphère .  The layers based on molybdenum or molybdenum oxide can be easily obtained by sputtering and, after oxidation in the case of molybdenum, are easily removed by washing with water without adding acid, and preferably without adding basic, while not exhibiting sensitivity to atmospheric humidity.
L'étape d'élimination de la couche sacrificielle met en œuvre le contact de la couche sacrificielle avec le solvant. Ce contact peut s'accompagner ou non d'un traitement mécanique automatisé ou manuel de la couche sacrificielle, par exemple au moyen de brosses, de chiffons etc... L'étape d'élimination de la couche sacrificielle peut par exemple être réalisée dans une installation de lavage du verre, notamment du type couramment utilisé dans les ateliers de fabrication ou de transformation du verre. L'étape d'élimination de la couche sacrificielle peut notamment être réalisée dans une machine à laver le verre.  The step of eliminating the sacrificial layer implements the contact of the sacrificial layer with the solvent. This contact may or may not be accompanied by an automated or manual mechanical treatment of the sacrificial layer, for example by means of brushes, rags, etc. The step of eliminating the sacrificial layer may for example be carried out in a glass washing installation, in particular of the type commonly used in glass manufacturing or processing workshops. The step of removing the sacrificial layer can in particular be carried out in a glass washing machine.
Le solvant est de préférence aqueux. Il s'agit notamment d'eau. Son pH est de préférence compris entre 5 et 8. De la sorte, l'eau ne contient de préférence pas d'acide ou de base susceptible de dégrader les autres couches du revêtement. Selon une alternative avantageuse, le pH du solvant aqueux est compris entre 7,5 et 10,5, notamment entre 8,5 et 10,5. Un ajout de base en faible quantité facilite en effet l'élimination de la couche sacrificielle. L'étape d'élimination de la couche sacrificielle peut être réalisée juste après l'étape de traitement thermique, à proximité de l'installation de traitement thermique . The solvent is preferably aqueous. These include water. Its pH is preferably between 5 and 8. In this way, the water preferably contains no acid or base capable of degrading the other layers of the coating. According to an advantageous alternative, the pH of the aqueous solvent is between 7.5 and 10.5, in particular between 8.5 and 10.5. A small amount of base in fact facilitates the elimination of the sacrificial layer. The step of removing the sacrificial layer can be carried out just after the heat treatment step, near the heat treatment installation.
L'étape d'élimination peut alternativement être réalisée ultérieurement ou à distance de l'installation de traitement thermique. La couche sacrificielle peut en effet jouer un rôle de protection mécanique de la couche fonctionnelle lors de son transport ou de sa manutention. A titre d'exemple, lorsque le matériau est destiné à être utilisé dans la fabrication d'un vitrage, le matériau peut être livré encore revêtu de sa couche sacrificielle à un atelier de transformation, et la couche sacrificielle peut être éliminée dans cet atelier, soit avant l'étape de transformation (découpe, insertion dans un vitrage isolant...) soit pendant ou à l'issue de la transformation.  The elimination step can alternatively be carried out later or at a distance from the heat treatment installation. The sacrificial layer can indeed play a role of mechanical protection of the functional layer during its transport or its handling. For example, when the material is intended to be used in the manufacture of a glazing, the material can be delivered still coated with its sacrificial layer to a transformation workshop, and the sacrificial layer can be eliminated in this workshop, either before the transformation stage (cutting, insertion into insulating glass ...) or during or at the end of the transformation.
La feuille de verre est de préférence transparente, incolore (il s'agit alors d'un verre clair ou extra-clair) ou colorée, par exemple en bleu, gris, vert ou bronze. Par verre extra-clair, on entend un verre dont la teneur pondérale en oxyde de fer est d'au plus 0,02% et dont le facteur de transmission lumineuse est d'au moins 90%. Le verre est de préférence de type silico-sodo-calcique, mais il peut également être en verre de type borosilicate ou alumino-borosilicate, notamment pour les applications à haute température (portes de four, inserts de cheminée, vitrages anti-feu) . La feuille de verre possède avantageusement au moins une dimension supérieure ou égale à 1 m, voire 2 m et même 3 m. L'épaisseur de la feuille de verre varie généralement entre 0,1 mm et 19 mm, de préférence entre 0,7 et 12 mm, notamment entre 1 et 8 mm, voire entre 4 et 6 mm.  The glass sheet is preferably transparent, colorless (it is then a clear or extra-clear glass) or colored, for example in blue, gray, green or bronze. By extra-clear glass is meant a glass whose content by weight of iron oxide is at most 0.02% and whose light transmission factor is at least 90%. The glass is preferably of the silica-soda-lime type, but it can also be of borosilicate or alumino-borosilicate type glass, in particular for high temperature applications (oven doors, chimney inserts, fire-resistant glazing). The glass sheet advantageously has at least one dimension greater than or equal to 1 m, even 2 m and even 3 m. The thickness of the glass sheet generally varies between 0.1 mm and 19 mm, preferably between 0.7 and 12 mm, in particular between 1 and 8 mm, or even between 4 and 6 mm.
La feuille de verre est de préférence du type flotté, c'est-à-dire susceptible d'avoir été obtenue par un procédé consistant à déverser le verre fondu sur un bain d'étain en fusion (bain « float ») . Dans ce cas, le revêtement à traiter peut aussi bien être déposé sur la face « étain » que sur la face « atmosphère » de la feuille de verre. On entend par faces « atmosphère » et « étain », les faces de la feuille ayant été respectivement en contact avec l'atmosphère régnant dans le bain float et en contact avec l'étain fondu. La face étain contient une faible quantité superficielle d'étain ayant diffusé dans la structure du verre. La feuille de verre peut également être obtenue par laminage entre deux rouleaux, technique permettant en particulier d'imprimer des motifs à la surface du verre. The glass sheet is preferably of the float type, that is to say capable of having been obtained by a process consisting in pouring the molten glass onto a bath of molten tin (“float” bath). In this case, the coating to be treated can be deposited on the “tin” side as well as on the “atmosphere” side of the glass sheet. The term “atmosphere” and “tin” faces is understood to mean the faces of the sheet having been respectively in contact with the atmosphere prevailing in the float bath and in contact with the molten tin. The tin face contains a small surface quantity of tin having diffused in the structure of the glass. The glass sheet can also be obtained by rolling between two rollers, a technique which makes it possible in particular to print patterns on the surface of the glass.
Les couches fonctionnelles et sacrificielles, ainsi qu ' éventuellement l'ensemble des couches déposées sur ou ses ces couches, sont typiquement des couches minces, au sens où leur épaisseur est généralement de 0,5 nm à 10 pm, plus généralement de 1 nm à 1 pm. Par « épaisseur » on entend l'épaisseur physique dans l'ensemble du présent texte .  The functional and sacrificial layers, as well as possibly all of the layers deposited on or its layers, are typically thin layers, in the sense that their thickness is generally from 0.5 nm to 10 μm, more generally from 1 nm to 1 pm. By "thickness" is meant the physical thickness throughout this text.
Les couches fonctionnelles et sacrificielles sont de préférence déposées sur au moins 90% de la surface de la feuille de verre.  The functional and sacrificial layers are preferably deposited on at least 90% of the surface of the glass sheet.
L'expression « sur » ou « au-dessus » doit se comprendre en ce que la couche sacrificielle est plus éloignée de la feuille de verre que la couche fonctionnelle la plus éloignée de la feuille de verre. Cette expression ne préjuge toutefois pas d'un éventuel contact direct entre les deux couches.  The expression "on" or "above" should be understood in that the sacrificial layer is further from the glass sheet than the functional layer farthest from the glass sheet. This expression does not however prejudge any direct contact between the two layers.
Dans l'ensemble du texte, on entend par « à base de » le fait qu'une couche comprenne généralement au moins 50% en poids de l'élément considéré (métal, oxyde etc...), de préférence au moins 60% et même 70% ou 80%, voire 90%, 95% ou 99% en poids de cet élément. Dans certains cas, la couche est constituée de cet élément, sauf impuretés. Throughout the text, the term “based on” means that a layer generally comprises at least 50% by weight of the element considered (metal, oxide, etc.), preferably at least 60% and even 70% or 80%, even 90%, 95% or 99% by weight of this element. In some cases, the layer consists of this element, except impurities.
La couche fonctionnelle apporte de préférence à la feuille de verre revêtue au moins une fonctionnalité choisie parmi une faible émissivité, une faible résistivité électrique, un effet antireflet, une fonction autonettoyante ou de facilité de nettoyage.  The functional layer preferably provides the coated glass sheet with at least one functionality chosen from low emissivity, low electrical resistivity, anti-reflective effect, self-cleaning function or ease of cleaning.
De préférence au moins une couche fonctionnelle est choisie parmi les couches à base d'un métal, notamment l'argent, les couches à base d'oxyde de titane, les couches à base de silice ou les couches à base d'un oxyde transparent électro-conducteur.  Preferably at least one functional layer is chosen from layers based on a metal, in particular silver, layers based on titanium oxide, layers based on silica or layers based on a transparent oxide. electrically conductive.
La couche fonctionnelle peut être la seule couche déposée sur la feuille de verre (en plus de la couche sacrificielle). Alternativement, la couche fonctionnelle peut être comprise dans un empilement de couches minces. Dans la suite du texte, on qualifie de « revêtement » l'ensemble comprenant les couches fonctionnelle ( s ) et sacrificielle ( s ) ainsi que le cas échéant toute autre couche déposée sur la même face de la feuille de verre.  The functional layer may be the only layer deposited on the glass sheet (in addition to the sacrificial layer). Alternatively, the functional layer can be included in a stack of thin layers. In the following text, the assembly comprising the functional and sacrificial layers as well as any other layer deposited on the same face of the glass sheet is called a "coating".
L'épaisseur de la ou de chaque couche fonctionnelle est typiquement comprise entre 1 nm et 5 pm, notamment entre 2 nm et 2 pm, plus particulièrement entre 10 nm et 1 pm.  The thickness of the or each functional layer is typically between 1 nm and 5 μm, in particular between 2 nm and 2 μm, more particularly between 10 nm and 1 μm.
Selon un mode de réalisation préféré, la au moins une couche fonctionnelle est à base d'un métal, typiquement l'argent, ou encore l'or. La couche fonctionnelle est de préférence constituée de ce métal. De tels métaux possèdent des propriétés de faible émissivité et de faible résistivité électrique, si bien que les feuilles de verre revêtues peuvent servir à la fabrication de vitrages à isolation thermique renforcée, de vitrages chauffants ou encore d'électrodes. L'épaisseur de la couche fonctionnelle est alors de préférence comprise dans un domaine allant de 2 à 20 nm . According to a preferred embodiment, the at least one functional layer is based on a metal, typically silver, or even gold. The functional layer is preferably made of this metal. Such metals have properties of low emissivity and low electrical resistivity, so that the coated glass sheets can be used for the manufacture of glazing with reinforced thermal insulation, heated glazing or even electrodes. The thickness of the functional layer is then preferably within a range from 2 to 20 nm.
Dans ce mode de réalisation, le revêtement comprend au moins une couche fonctionnelle métallique, de préférence deux ou trois, chacune étant généralement disposée entre au moins deux couches diélectriques, typiquement des couches d'oxyde, de nitrure ou d ' oxynitrure , par exemple des couches de nitrure de silicium, d'oxyde de zinc et/ou d'étain, d'oxyde de titane etc... Ce type de revêtement est de préférence entièrement déposé par pulvérisation cathodique, notamment assistée par champ magnétique (procédé magnétron) .  In this embodiment, the coating comprises at least one functional metallic layer, preferably two or three, each being generally disposed between at least two dielectric layers, typically layers of oxide, nitride or oxynitride, for example layers of silicon nitride, zinc oxide and / or tin oxide, titanium oxide etc ... This type of coating is preferably entirely deposited by sputtering, in particular assisted by magnetic field (magnetron process).
Selon un autre mode de réalisation préféré, la ou au moins une couche fonctionnelle est une couche à base d'oxyde de titane, notamment une couche constituée ou essentiellement constituée d'oxyde de titane.  According to another preferred embodiment, the or at least one functional layer is a layer based on titanium oxide, in particular a layer made up or essentially made up of titanium oxide.
Les couches minces à base d'oxyde de titane ont la particularité d'être autonettoyantes, en facilitant la dégradation des composés organiques sous l'action de rayonnements ultraviolets (phénomène de photocatalyse) et l'élimination des salissures minérales (poussières) sous l'action d'un ruissellement d'eau. Le dioxyde de titane cristallisé sous la forme anatase est bien plus efficace en termes de dégradation des composés organiques que le dioxyde de titane amorphe ou cristallisé sous la forme rutile ou brookite. L'oxyde de titane peut éventuellement être dopé par un ion métallique, par exemple un ion d'un métal de transition, ou par des atomes d'azote, de carbone, de fluor.... L'oxyde de titane peut également être sous- stœchiométrique ou sur-stœchiométrique en oxygène (TiCh ou TiO .  The thin layers based on titanium oxide have the particularity of being self-cleaning, facilitating the degradation of organic compounds under the action of ultraviolet radiation (photocatalysis phenomenon) and the elimination of mineral soiling (dust) under the action of water runoff. Titanium dioxide crystallized in the anatase form is much more effective in terms of degradation of organic compounds than titanium dioxide amorphous or crystallized in the rutile or brookite form. Titanium oxide can optionally be doped with a metal ion, for example an ion of a transition metal, or with nitrogen, carbon or fluorine atoms. Titanium oxide can also be sub-stoichiometric or super-stoichiometric in oxygen (TiCh or TiO.
La couche à base d'oxyde de titane est préférentiellement déposée par pulvérisation cathodique magnétron. Cette technique ne permet toutefois pas d'obtenir des couches très actives, car l'oxyde de titane qu'elles contiennent est peu voire pas cristallisé. Le traitement thermique est alors nécessaire pour conférer des propriétés autonettoyantes appréciables. Afin d'améliorer ces propriétés, il est préférable, en particulier lorsque la feuille de verre est destinée à subir un traitement thermique prolongé, par exemple un traitement de trempe, d'insérer entre la feuille de verre et la couche en oxyde de titane au moins une couche barrière à la migration des alcalins, notamment choisie parmi les couches à base de silice, d'oxycarbure de silicium, d'alumine, de nitrure de silicium. The titanium oxide-based layer is preferably deposited by magnetron sputtering. However, this technique does not allow to obtain very active layers, because the titanium oxide which they contain is little or even not crystallized. Heat treatment is then necessary to confer appreciable self-cleaning properties. In order to improve these properties, it is preferable, in particular when the glass sheet is intended to undergo a prolonged heat treatment, for example a tempering treatment, to insert between the glass sheet and the titanium oxide layer at the at least one barrier layer to the migration of alkali metals, in particular chosen from layers based on silica, silicon oxycarbide, alumina, silicon nitride.
Selon un autre mode de réalisation préféré, la ou au moins une couche fonctionnelle est une couche à base d'un oxyde transparent électro-conducteur, fréquemment appelé « TCO » dans la technique, acronyme de l'expression anglaise « transparent conductive oxide ». L'oxyde transparent électro-conducteur est de préférence choisi parmi les couches d'oxyde d'étain et d'indium (ITO), les couches d'oxyde de zinc dopé à l'aluminium ou au gallium et les couches d'oxyde d'étain dopé au fluor ou à l'antimoine.  According to another preferred embodiment, the or at least one functional layer is a layer based on a transparent electrically conductive oxide, frequently called "TCO" in the art, acronym of the English expression "transparent conductive oxide". The transparent electrically conductive oxide is preferably chosen from the layers of tin and indium oxide (ITO), the zinc oxide layers doped with aluminum or gallium and the oxide layers d tin doped with fluorine or antimony.
Ce type de couches confère des propriétés de conduction électrique mais aussi de faible émissivité, permettant au matériau d'être employé dans la fabrication de vitrages isolants, de vitrages anticondensation, ou d'électrodes, par exemple pour cellules photovoltaïques, pour écrans de visualisation ou pour dispositifs d ' éclairage .  This type of layer confers electrical conduction properties but also low emissivity, allowing the material to be used in the manufacture of insulating glazing, anti-condensation glazing, or electrodes, for example for photovoltaic cells, for display screens or for lighting devices.
Selon encore un autre mode de réalisation préféré, la ou au moins une couche fonctionnelle est une couche à base de silice. Ce type de couches absorbe peu dans le domaine de longueurs d'onde considéré, en particulier dans le proche infrarouge, si bien qu'en l'absence de couche sacrificielle absorbante le traitement thermique est inefficace . According to yet another preferred embodiment, the or at least one functional layer is a layer based on silica. This type of layer absorbs little in the wavelength range considered, in particular in the near infrared, so that in the absence of a layer sacrificial absorbent heat treatment is ineffective.
La couche à base de silice est de préférence, après traitement thermique, essentiellement constituée voire constituée de silice. La couche à base de silice est avantageusement antireflets, au sens où le facteur de réflexion lumineuse côté couche est d'au plus 6%, notamment 5% après traitement thermique, lorsque la couche est déposée sur une seule face de la feuille de verre (la valeur tient donc compte de la réflexion de la face opposée non revêtue, qui est d'environ 4%) .  The silica-based layer is preferably, after heat treatment, essentially made up or even made up of silica. The silica-based layer is advantageously anti-reflective, in the sense that the light reflection factor on the layer side is at most 6%, in particular 5% after heat treatment, when the layer is deposited on one side of the glass sheet ( the value therefore takes into account the reflection of the opposite uncoated face, which is approximately 4%).
Selon une première variante, la couche à base de silice comprend avant traitement thermique du silicium, de l'oxygène, du carbone et éventuellement de l'hydrogène, ces deux derniers éléments étant au moins partiellement éliminés lors du traitement thermique de manière à obtenir une couche poreuse essentiellement constituée de silice. Cette couche est préférentiellement déposée par pulvérisation cathodique magnétron d'une cible en silicium ou en silice ou par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma en utilisant comme précurseur de silicium un composé organométallique tel que par exemple 1 'hexamethyldisiloxane .  According to a first variant, the silica-based layer comprises, before thermal treatment of silicon, oxygen, carbon and optionally hydrogen, these latter two elements being at least partially removed during the thermal treatment so as to obtain a porous layer essentially consisting of silica. This layer is preferably deposited by magnetron sputtering of a silicon or silica target or by chemical vapor deposition assisted by plasma using as an silicon precursor an organometallic compound such as for example hexamethyldisiloxane.
Selon une deuxième variante, la couche à base de silice comprend avant traitement thermique une matrice de silice et des agents porogènes, ces derniers étant éliminés lors du traitement thermique de manière à obtenir une couche poreuse essentiellement constituée de silice. Les agents porogènes sont de préférence organiques, notamment polymériques, par exemple en polyméthacrylate de méthyle, leur taille moyenne étant de préférence comprise dans un domaine allant de 20 à 200 nm. Cette couche est préférentiellement déposée par un procédé du type sol-gel. La ou chaque couche fonctionnelle peut être obtenue par tout type de procédé de dépôt de couche mince. Il peut par exemple s'agir de procédés de type sol-gel, pyrolyse (liquide ou solide), dépôt chimique en phase vapeur (CVD) , notamment assisté par plasma (APCVD) , éventuellement sous pression atmosphérique (APPECVD) , évaporation, pulvérisation cathodique, notamment assistée par un champ magnétique (procédé magnétron) . Dans ce dernier procédé, un plasma est créé sous un vide poussé au voisinage d'une cible comprenant les éléments chimiques à déposer. Les espèces actives du plasma, en bombardant la cible, arrachent lesdits éléments, qui se déposent sur la feuille de verre en formant la couche mince désirée. Ce procédé est dit « réactif » lorsque la couche est constituée d'un matériau résultant d'une réaction chimique entre les éléments arrachés de la cible et le gaz contenu dans le plasma. L'avantage majeur de ce procédé réside dans la possibilité de déposer sur une même ligne un empilement très complexe de couches en faisant successivement défiler la feuille de verre sous différentes cibles, ce généralement dans un seul et même dispositif. Il est ainsi possible d'obtenir de cette manière l'empilement complet, contenant la ou chaque couche sacrificielle. According to a second variant, the silica-based layer comprises, before heat treatment, a silica matrix and blowing agents, the latter being eliminated during the heat treatment so as to obtain a porous layer essentially consisting of silica. The blowing agents are preferably organic, in particular polymeric, for example made of polymethyl methacrylate, their average size preferably being within a range ranging from 20 to 200 nm. This layer is preferably deposited by a method of the sol-gel type. The or each functional layer can be obtained by any type of thin film deposition process. It can, for example, be processes of the sol-gel, pyrolysis (liquid or solid) type, chemical vapor deposition (CVD), in particular assisted by plasma (APCVD), optionally under atmospheric pressure (APPECVD), evaporation, spraying. cathodic, in particular assisted by a magnetic field (magnetron process). In the latter process, a plasma is created under a high vacuum in the vicinity of a target comprising the chemical elements to be deposited. The active plasma species, by bombarding the target, tear off said elements, which are deposited on the glass sheet, forming the desired thin layer. This process is said to be “reactive” when the layer consists of a material resulting from a chemical reaction between the elements torn from the target and the gas contained in the plasma. The major advantage of this process lies in the possibility of depositing on a single line a very complex stack of layers by successively scrolling the glass sheet under different targets, this generally in a single device. It is thus possible to obtain in this way the complete stack, containing the or each sacrificial layer.
Selon une première variante de l'invention, la ou au moins une couche sacrificielle est à base de molybdène, et est au contact d'une atmosphère contenant de l'oxygène durant l'étape de traitement thermique. La couche sacrificielle est de préférence essentiellement constituée voire constituée de molybdène. La couche sacrificielle est capable de s'oxyder durant l'étape de traitement thermique, donnant alors une couche d'oxyde de molybdène soluble. Avant oxydation, elle est capable d'absorber au moins une partie du rayonnement. Selon une deuxième variante de l'invention, la ou au moins une couche sacrificielle est à base d'oxyde de molybdène, notamment essentiellement constituée voire constituée d'oxyde de molybdène. According to a first variant of the invention, the or at least one sacrificial layer is based on molybdenum, and is in contact with an atmosphere containing oxygen during the heat treatment step. The sacrificial layer is preferably essentially made up or even made up of molybdenum. The sacrificial layer is capable of oxidizing during the heat treatment step, thus giving a layer of soluble molybdenum oxide. Before oxidation, it is able to absorb at least part of the radiation. According to a second variant of the invention, the or at least one sacrificial layer is based on molybdenum oxide, in particular essentially constituted or even made of molybdenum oxide.
Selon un premier mode de cette deuxième variante, la couche sacrificielle contient au moins un élément absorbant, susceptible d'absorber un rayonnement possédant au moins une longueur d'onde comprise entre 200 et 2500 nm (« longueur d'onde de traitement ») . Le ou chaque élément absorbant permet alors à la couche sacrificielle d'absorber le rayonnement lors du traitement thermique et par conséquent d'améliorer l'efficacité de ce dernier. Au moins un élément absorbant est de préférence un élément métallique choisi parmi le titane, l'argent, le tungstène, le niobium, l'indium, l'étain, le cuivre, le molybdène, le zinc, le zirconium, le silicium, le vanadium, l'aluminium, le nickel, le chrome, le fer et l'or. Le au moins un élément absorbant est de préférence présent dans la couche sous forme de particules. La quantité d'élément absorbant est de préférence adaptée de manière à ce que l'absorption de la couche sacrificielle soit d'au moins 5% à au moins une longueur d'onde de traitement. La couche sacrificielle est de préférence un composite contenant de l'oxyde de molybdène et au moins un métal. Un exemple de ce type de composite est appelé « cermet » dans la technique. L'élément absorbant peut également être présent dans la couche sacrificielle sous la forme de très fines couches, la couche sacrificielle se présentant alors sous la forme d'un assemblage de couches superposées, alternant des couches d'oxyde de molybdène et des couches de l'élément absorbant .  According to a first mode of this second variant, the sacrificial layer contains at least one absorbing element, capable of absorbing radiation having at least one wavelength between 200 and 2500 nm ("processing wavelength"). The or each absorbent element then allows the sacrificial layer to absorb the radiation during the heat treatment and consequently to improve the efficiency of the latter. At least one absorbent element is preferably a metallic element chosen from titanium, silver, tungsten, niobium, indium, tin, copper, molybdenum, zinc, zirconium, silicon, vanadium, aluminum, nickel, chromium, iron and gold. The at least one absorbent element is preferably present in the layer in the form of particles. The amount of absorbent element is preferably adapted so that the absorption of the sacrificial layer is at least 5% at at least one treatment wavelength. The sacrificial layer is preferably a composite containing molybdenum oxide and at least one metal. An example of this type of composite is called "cermet" in the art. The absorbent element can also be present in the sacrificial layer in the form of very thin layers, the sacrificial layer then being in the form of an assembly of superimposed layers, alternating layers of molybdenum oxide and layers of l absorbent element.
Selon un deuxième mode de la deuxième variante, la couche sacrificielle est surmontée d'une couche absorbante, susceptible d'absorber un rayonnement possédant au moins une longueur d'onde comprise entre 200 et 2500 nm (« longueur d'onde de traitement ») . Dans ce deuxième mode, la couche sacrificielle n'est pas (ou peu) absorbante, et c'est la présence de la couche absorbante qui permet d'améliorer l'efficacité du traitement thermique. La couche absorbante est de préférence à base d'au moins un métal choisi parmi le molybdène, le titane, le zinc, le zirconium, l'argent, l'indium, l'étain, le nickel, le chrome, le niobium, le vanadium, le tungstène, le cuivre, le fer, le silicium, l'or. La couche absorbante peut notamment être un alliage de l'un de ces métaux, par exemple un alliage d'indium et d'étain. La couche absorbante est de préférence poreuse ou discontinue ou encore elle-même soluble ou rendue soluble par le traitement thermique de manière à pouvoir éliminer facilement la couche sacrificielle sous-jacente. According to a second mode of the second variant, the sacrificial layer is surmounted by an absorbent layer, capable of absorbing radiation having at least a wavelength between 200 and 2500 nm ("processing wavelength"). In this second mode, the sacrificial layer is not (or only slightly) absorbent, and it is the presence of the absorbent layer which makes it possible to improve the efficiency of the heat treatment. The absorbent layer is preferably based on at least one metal chosen from molybdenum, titanium, zinc, zirconium, silver, indium, tin, nickel, chromium, niobium, vanadium, tungsten, copper, iron, silicon, gold. The absorbent layer may in particular be an alloy of one of these metals, for example an alloy of indium and tin. The absorbent layer is preferably porous or discontinuous or else itself soluble or made soluble by the heat treatment so as to be able to easily remove the underlying sacrificial layer.
Les deux modes précédemment décrits peuvent bien entendu être combinés entre eux.  The two modes described above can of course be combined with one another.
L'absorption, dans le premier mode de la couche sacrificielle et dans le second mode de la couche absorbante, à au moins une longueur d'onde de traitement, est de préférence d'au moins 5%, notamment 10% ou 15%, voire 20% et même 25 ou 30%. L'absorption peut de manière connue être déduite de mesures réalisées à l'aide d'un spectrophotomètre .  The absorption, in the first mode of the sacrificial layer and in the second mode of the absorbent layer, at at least one treatment wavelength, is preferably at least 5%, in particular 10% or 15%, even 20% and even 25 or 30%. The absorption can in a known manner be deduced from measurements carried out using a spectrophotometer.
L'oxyde de molybdène, qu'il soit obtenu lors du dépôt de la couche sacrificielle ou lors de son traitement thermique est avantageusement au moins en partie constitué de trioxyde de molybdène M0O3 qui est la forme la plus soluble .  Molybdenum oxide, whether it is obtained during the deposition of the sacrificial layer or during its heat treatment, is advantageously at least partly made up of molybdenum trioxide M0O3 which is the most soluble form.
La couche sacrificielle est de préférence déposée par pulvérisation cathodique magnétron. L'épaisseur de la couche sacrificielle est de préférence comprise dans un domaine allant de 0,5 à 100 nm, notamment de 1 à 50 nm, plus préférentiellement de 2 à 30 nm. Lorsque la couche sacrificielle est à base de molybdène, son épaisseur est avantageusement d'au plus 10 nm, notamment entre 2 et 10 nm, de manière à ce qu'elle puisse s'oxyder sur toute son épaisseur lors du traitement thermique et ainsi être facilement éliminée ultérieurement. Lorsque la couche sacrificielle est à base d'oxyde de molybdène et que la couche sacrificielle est surmontée d'une couche absorbante, l'épaisseur de cette dernière est de préférence comprise dans un domaine allant de 0,5 à 100 nm, notamment de 1 à 10 nm. Lorsque la couche sacrificielle contient un élément absorbant, l'épaisseur de la couche sacrificielle est à ajuster en fonction de la nature et de la teneur en élément absorbant, de manière à obtenir l'absorption adéquate. The sacrificial layer is preferably deposited by magnetron sputtering. The thickness of the sacrificial layer is preferably within a range from 0.5 to 100 nm, in particular from 1 to 50 nm, more preferably from 2 to 30 nm. When the sacrificial layer is based on molybdenum, its thickness is advantageously at most 10 nm, in particular between 2 and 10 nm, so that it can oxidize over its entire thickness during the heat treatment and thus be easily removed later. When the sacrificial layer is based on molybdenum oxide and the sacrificial layer is surmounted by an absorbent layer, the thickness of the latter is preferably within a range from 0.5 to 100 nm, in particular from 1 at 10 nm. When the sacrificial layer contains an absorbent element, the thickness of the sacrificial layer is to be adjusted according to the nature and the content of absorbent element, so as to obtain adequate absorption.
Lors du traitement thermique, le rayonnement est de préférence choisi parmi un rayonnement laser ou un rayonnement issu d'au moins une lampe flash.  During the heat treatment, the radiation is preferably chosen from laser radiation or radiation from at least one flash lamp.
Durant toute l'étape de traitement thermique, la température en tout point de la face de la feuille de verre opposée à celle portant la couche fonctionnelle est de préférence d'au plus 150°C, notamment 100°C et même 50°C.  During the entire heat treatment step, the temperature at any point on the face of the glass sheet opposite to that carrying the functional layer is preferably at most 150 ° C., in particular 100 ° C. and even 50 ° C.
La température maximale subie par chaque point de la couche fonctionnelle lors du traitement thermique est de préférence d'au moins 300°C, notamment 350°C, voire 400°C, et même 500°C ou 600°C. Pendant l'étape de traitement thermique, chaque point de la couche fonctionnelle est soumis à cette température maximale pendant une période n'excédant généralement pas une seconde, de préférence 0,5 secondes et même 0,05 seconde.  The maximum temperature undergone by each point of the functional layer during the heat treatment is preferably at least 300 ° C, in particular 350 ° C, even 400 ° C, and even 500 ° C or 600 ° C. During the heat treatment step, each point of the functional layer is subjected to this maximum temperature for a period generally not exceeding one second, preferably 0.5 seconds and even 0.05 seconds.
Selon un premier mode de réalisation préféré, le rayonnement est issu d'au moins une lampe flash. De telles lampes se présentent généralement sous la forme de tubes en verre ou en quartz scellés et remplis d'un gaz rare, munis d'électrodes à leurs extrémités. Sous l'effet d'une impulsion électrique de courte durée, obtenue par décharge d'un condensateur, le gaz s'ionise et produit une lumière incohérente particulièrement intense. Le spectre d'émission comporte généralement au moins deux raies d'émission ; il s'agit de préférence d'un spectre continu présentant un maximum d'émission dans le proche ultraviolet et s'étendant jusqu'au proche infrarouge. Dans ce cas, le traitement thermique met en œuvre un continuum de longueurs d'onde de traitement. According to a first preferred embodiment, the radiation comes from at least one flash lamp. Such lamps are generally in the form of glass or quartz tubes sealed and filled with a rare gas, provided with electrodes at their ends. Under the effect of a short-lived electrical pulse, obtained by discharging a capacitor, the gas ionizes and produces a particularly intense incoherent light. The emission spectrum generally comprises at least two emission lines; it is preferably a continuous spectrum having a maximum emission in the near ultraviolet and extending to the near infrared. In this case, the heat treatment implements a continuum of treatment wavelengths.
La lampe est de préférence une lampe au xénon. Elle peut également être une lampe à l'argon, à l'hélium ou au krypton. Le spectre d'émission comprend de préférence plusieurs raies, notamment à des longueurs d'onde allant de 160 à 1000 nm .  The lamp is preferably a xenon lamp. It can also be an argon, helium or krypton lamp. The emission spectrum preferably comprises several lines, in particular at wavelengths ranging from 160 to 1000 nm.
La durée du flash est de préférence comprise dans un domaine allant de 0,05 à 20 millisecondes, notamment de 0,1 à 5 millisecondes. Le taux de répétition est de préférence compris dans un domaine allant de 0,1 à 5 Hz, notamment de 0,2 à 2 Hz .  The duration of the flash is preferably in a range from 0.05 to 20 milliseconds, in particular from 0.1 to 5 milliseconds. The repetition rate is preferably within a range from 0.1 to 5 Hz, in particular from 0.2 to 2 Hz.
Le rayonnement peut être issu de plusieurs lampes disposées côte à côte, par exemple 5 à 20 lampes, ou encore 8 à 15 lampes, de manière à traiter simultanément une zone plus large. Toutes les lampes peuvent dans ce cas émettre des flashs de manière simultanée.  The radiation can come from several lamps arranged side by side, for example 5 to 20 lamps, or even 8 to 15 lamps, so as to simultaneously treat a wider area. In this case, all the lamps can emit flashes simultaneously.
La ou chaque lampe est de préférence disposée transversalement aux plus grands côtés de la feuille de verre. La ou chaque lampe possède une longueur de préférence d'au moins 1 m notamment 2 m et même 3 m de manière à pouvoir traiter des feuilles de verre de grande taille . Le condensateur est typiquement chargé à une tension de 500 V à 500 kV. La densité de courant est de préférence d'au moins 4000 A/cm2. La densité d'énergie totale émise par les lampes flash, rapportée à la surface du revêtement, est de préférence comprise entre 1 et 100 J/cm2, notamment entre 1 et 30 J/cm2, voire entre 5 et 20 J/cm2. The or each lamp is preferably arranged transversely to the longest sides of the glass sheet. The or each lamp preferably has a length of at least 1 m, in particular 2 m and even 3 m, so that large sheets of glass can be processed. The capacitor is typically charged at a voltage of 500 V to 500 kV. The current density is preferably at least 4000 A / cm 2 . The total energy density emitted by the flash lamps, relative to the surface of the coating, is preferably between 1 and 100 J / cm 2 , especially between 1 and 30 J / cm 2 , or even between 5 and 20 J / cm 2 .
Selon un deuxième mode de réalisation préféré, le rayonnement est un rayonnement laser, notamment un rayonnement laser focalisé sur la couche fonctionnelle sous la forme d'au moins une ligne laser.  According to a second preferred embodiment, the radiation is laser radiation, in particular laser radiation focused on the functional layer in the form of at least one laser line.
Le rayonnement laser est de préférence généré par des modules comprenant une ou plusieurs sources laser ainsi que des optiques de mise en forme et de redirection.  The laser radiation is preferably generated by modules comprising one or more laser sources as well as shaping and redirection optics.
Les sources laser sont typiquement des diodes laser ou des lasers fibrés, notamment des lasers à fibre, à diodes ou encore à disque. Les diodes laser permettent d'atteindre de manière économique de fortes densités de puissance par rapport à la puissance électrique d'alimentation, pour un faible encombrement. L'encombrement des lasers fibrés est encore plus réduit, et la puissance linéique obtenue peut être encore plus élevée, pour un coût toutefois plus important. On entend par lasers fibrés des lasers dans lesquels le lieu de génération de la lumière laser est déporté spatialement par rapport à son lieu de délivrance, la lumière laser étant délivrée au moyen d'au moins une fibre optique. Dans le cas d'un laser à disque, la lumière laser est générée dans une cavité résonnante dans laquelle se trouve le milieu émetteur qui se présente sous la forme d'un disque, par exemple un disque mince (d'environ 0,1 mm d'épaisseur) en Yb:YAG. La lumière ainsi généré est couplée dans au moins une fibre optique dirigée vers le lieu de traitement. Les lasers à fibre ou à disque sont de préférence pompés optiquement à l'aide de diodes laser . Le rayonnement issu des sources laser est de préférence continu. Il peut alternativement être pulsé. The laser sources are typically laser diodes or fiber lasers, in particular fiber, diode or even disc lasers. The laser diodes make it possible to economically achieve high power densities compared to the electrical power supply, for a small footprint. The size of the fiber lasers is even more reduced, and the linear power obtained can be even higher, at a cost however higher. Fiber lasers are understood to mean lasers in which the place of generation of the laser light is spatially offset from its place of delivery, the laser light being delivered by means of at least one optical fiber. In the case of a disc laser, the laser light is generated in a resonant cavity in which is located the emitting medium which is in the form of a disc, for example a thin disc (of about 0.1 mm thick) in Yb: YAG. The light thus generated is coupled in at least one optical fiber directed towards the place of treatment. Fiber or disc lasers are preferably optically pumped using laser diodes. The radiation from the laser sources is preferably continuous. Alternatively, it can be pulsed.
La longueur d'onde du rayonnement laser, donc la longueur d'onde de traitement, est de préférence comprise dans un domaine allant de 800 à 1300 nm, notamment de 800 à 1100 nm. Des diodes laser de puissance émettant à une ou plusieurs longueurs d'onde choisie parmi 808 nm, 880 nm, 915 nm, 940 nm ou 980 nm se sont révélées particulièrement bien appropriées. Dans le cas d'un laser à disque, la longueur d'onde de traitement est par exemple de 1030 nm (longueur d'onde d'émission pour un laser Yb :YAG) . Pour un laser à fibre, la longueur d'onde de traitement est typiquement de 1070 nm.  The wavelength of the laser radiation, therefore the processing wavelength, is preferably within a range from 800 to 1300 nm, in particular from 800 to 1100 nm. Power laser diodes emitting at one or more wavelengths chosen from 808 nm, 880 nm, 915 nm, 940 nm or 980 nm have been found to be particularly suitable. In the case of a disc laser, the processing wavelength is for example 1030 nm (emission wavelength for a Yb: YAG laser). For a fiber laser, the treatment wavelength is typically 1070 nm.
Le nombre de lignes laser et leur disposition sont avantageusement choisis pour que la totalité de la largeur de la feuille de verre soit traitée.  The number of laser lines and their arrangement are advantageously chosen so that the entire width of the glass sheet is treated.
Plusieurs lignes disjointes peuvent être employées, par exemple être disposées en quinconce ou en vol d'oiseau.  Several disjoint lines can be used, for example be staggered or as the crow flies.
Il est toutefois plus avantageux, afin d'assurer un traitement plus homogène, d'employer une seule ligne laser. Dans le cas de substrats de faible largeur, cette ligne laser peut être générée par un seul module laser . Pour des feuilles de verre de grande largeur en revanche, par exemple supérieure à 1 m, voire 2 m et même 3 m, la ligne laser résulte avantageusement de la combinaison d'une pluralité de lignes laser élémentaires générées chacune par des modules laser indépendants. La longueur de ces lignes laser élémentaires va typiquement de 10 à 100 cm, notamment de 30 à 75 cm, voire de 30 à 60 cm. Les lignes élémentaires sont de préférence disposées de manière à se superposer partiellement dans le sens de la longueur et présentent de préférence un décalage dans le sens de la largeur, ledit décalage étant inférieur à la demi-somme des largeurs de deux lignes élémentaires adjacentes. On entend par « longueur » de la ligne la plus grande dimension de la ligne, mesurée sur la surface du revêtement dans une première direction, et par « largeur » la dimension selon la seconde direction, perpendiculaire à la première direction. Comme il est d'usage dans le domaine des lasers, la largeur w de la ligne correspond à la distance (selon cette seconde direction) entre l'axe du faisceau (où l'intensité du rayonnement est maximale) et le point où l'intensité du rayonnement est égale à l/e2 fois l'intensité maximale. Si l'axe longitudinal de la ligne laser est nommé x, on peut définir une distribution de largeurs selon cet axe, nommée w(x) . It is however more advantageous, in order to ensure a more homogeneous treatment, to use a single laser line. In the case of narrow width substrates, this laser line can be generated by a single laser module. For glass sheets of large width, on the other hand, for example greater than 1 m, even 2 m and even 3 m, the laser line advantageously results from the combination of a plurality of elementary laser lines each generated by independent laser modules. The length of these elementary laser lines typically ranges from 10 to 100 cm, in particular from 30 to 75 cm, or even from 30 to 60 cm. The elementary lines are preferably arranged so as to overlap partially in the lengthwise direction and preferably have an offset in the widthwise direction, said offset being less than half the sum of the widths of two adjacent elementary lines. The term "length" of the line means the largest dimension of the line, measured on the surface of the covering in a first direction, and "width" the dimension in the second direction, perpendicular to the first direction. As is customary in the field of lasers, the width w of the line corresponds to the distance (in this second direction) between the axis of the beam (where the intensity of the radiation is maximum) and the point where the radiation intensity is equal to l / e 2 times the maximum intensity. If the longitudinal axis of the laser line is named x, we can define a width distribution along this axis, called w (x).
La largeur moyenne de la ou chaque ligne laser est de préférence d'au moins 35 micromètres, notamment comprise dans un domaine allant de 40 à 100 micromètres ou de 40 à 70 micromètres. Dans l'ensemble du présent texte on entend par « moyenne » la moyenne arithmétique. Sur toute la longueur de la ligne, la distribution de largeurs est étroite afin de limiter autant que faire se peut toute hétérogénéité de traitement. Ainsi, la différence entre la largeur la plus grande et la largeur la plus petite vaut de préférence au plus 10% de la valeur de la largeur moyenne. Ce chiffre est de préférence d'au plus 5% et même 3%.  The average width of the or each laser line is preferably at least 35 micrometers, in particular lying in a range from 40 to 100 micrometers or from 40 to 70 micrometers. Throughout this text, "average" means the arithmetic average. Over the entire length of the line, the width distribution is narrow in order to limit as far as possible any heterogeneity of treatment. Thus, the difference between the largest width and the smallest width is preferably at most 10% of the value of the average width. This figure is preferably at most 5% and even 3%.
La puissance linéique de la ligne laser est de préférence d'au moins 300 W/cm, avantageusement 350 ou 400 W/cm, notamment 450 W/cm, voire 500 W/cm et même 550 W/cm. Elle est même avantageusement d'au moins 600 W/cm, notamment 800 W/cm, voire 1000 W/cm. La puissance linéique est mesurée à l'endroit où la ou chaque ligne laser est focalisée sur le revêtement. Elle peut être mesurée en disposant un détecteur de puissance le long de la ligne, par exemple un puissance-mètre calorimétrique, tel que notamment le puissance-mètre Beam Finder S/N 2000716 de la société Cohérent Inc. La puissance est avantageusement répartie de manière homogène sur toute la longueur de la ou chaque ligne. De préférence, la différence entre la puissance la plus élevée et la puissance la plus faible vaut moins de 10% de la puissance moyenne . The linear power of the laser line is preferably at least 300 W / cm, advantageously 350 or 400 W / cm, in particular 450 W / cm, even 500 W / cm and even 550 W / cm. It is even advantageously at least 600 W / cm, in particular 800 W / cm, or even 1000 W / cm. The linear power is measured at the point where the or each laser line is focused on the coating. It can be measured by placing a power detector along the line, for example a calorimetric power meter, such as in particular the Beam Finder S / N 2000716 power meter from Cohérent Inc. The power is advantageously distributed homogeneously over the entire length of the or each line. Preferably, the difference between the highest power and the lowest power is less than 10% of the average power.
Afin de traiter la totalité de la surface de la feuille de verre, un déplacement relatif entre la source de rayonnement et ladite feuille de verre est de préférence créé. De préférence, en particulier pour les feuilles de verre de grande taille, la ou chaque source de rayonnement (notamment ligne laser ou lampe flash) est fixe, et la feuille de verre est en mouvement, si bien que les vitesses de déplacement relatif correspondront à la vitesse de défilement de la feuille de verre. De préférence, la ou chaque ligne laser est sensiblement perpendiculaire à la direction de déplacement.  In order to treat the entire surface of the glass sheet, a relative displacement between the radiation source and said glass sheet is preferably created. Preferably, in particular for large glass sheets, the or each radiation source (in particular laser line or flash lamp) is fixed, and the glass sheet is in motion, so that the relative displacement speeds will correspond to the running speed of the glass sheet. Preferably, the or each laser line is substantially perpendicular to the direction of movement.
La densité d'énergie fournie au revêtement par le rayonnement est de préférence d'au moins 20 J/cm2, voire 30 J/cm2. The energy density supplied to the coating by the radiation is preferably at least 20 J / cm 2 , or even 30 J / cm 2 .
Les puissances et densités d'énergies élevées permettent de chauffer le revêtement très rapidement, sans échauffer la feuille de verre de manière significative.  The high powers and energy densities allow the coating to be heated very quickly, without significantly heating the glass sheet.
Comme mentionné précédemment, la température maximale subie par chaque point du revêtement lors du traitement thermique est de préférence d'au moins 300°C, notamment 350°C, voire 400°C, et même 500°C ou 600°C. La température maximale est notamment subie au moment où le point du revêtement considéré passe sous la ligne laser ou est irradié par le flash de lampe flash. A un instant donné, seuls les points de la surface du revêtement situés sous la ligne laser ou sous la lampe flash et dans ses environs immédiats (par exemple à moins d'un millimètre) sont normalement à une température d'au moins 300°C. Pour des distances à la ligne laser (mesurées selon la direction de défilement) supérieures à 2 mm, notamment 5 mm, y compris en aval de la ligne laser, la température du revêtement est normalement d'au plus 50°C, et même 40°C ou 30 °C . As mentioned previously, the maximum temperature undergone by each point of the coating during the heat treatment is preferably at least 300 ° C, in particular 350 ° C, even 400 ° C, and even 500 ° C or 600 ° C. The maximum temperature is notably undergone at the moment when the point of the coating considered passes under the laser line or is irradiated by the flash lamp flash. At a given instant, only the points on the surface of the coating located under the laser line or under the flash lamp and in its immediate surroundings (for example less than a millimeter) are normally at a temperature of at least 300 ° C. . For distances to the laser line (measured according to direction scrolling) greater than 2 mm, in particular 5 mm, including downstream of the laser line, the coating temperature is normally at most 50 ° C, and even 40 ° C or 30 ° C.
Chaque point du revêtement subit le traitement thermique (ou est porté à la température maximale) pendant une durée avantageusement comprise dans un domaine allant de 0,05 à 10 ms, notamment de 0,1 à 5 ms, ou de 0,1 à 2 ms. Dans le cas d'un traitement au moyen d'une ligne laser, cette durée est fixée à la fois par la largeur de la ligne laser et par la vitesse de déplacement relatif entre la feuille de verre et la ligne laser. Dans le cas d'un traitement au moyen d'une lampe flash, cette durée correspond à la durée du flash.  Each point of the coating undergoes heat treatment (or is brought to the maximum temperature) for a period advantageously included in a range ranging from 0.05 to 10 ms, in particular from 0.1 to 5 ms, or from 0.1 to 2 ms. In the case of a treatment by means of a laser line, this duration is fixed both by the width of the laser line and by the speed of relative movement between the glass sheet and the laser line. In the case of treatment with a flash lamp, this duration corresponds to the duration of the flash.
Lorsque la feuille de verre est en déplacement, notamment en translation, elle peut être mise en mouvement à l'aide de tous moyens mécaniques de convoyage, par exemple à l'aide de bandes, de rouleaux, de plateaux en translation. Le système de convoyage permet de contrôler et réguler la vitesse du déplacement. Le moyen de convoyage comprend de préférence un châssis rigide et une pluralité de rouleaux. Le pas des rouleaux est avantageusement compris dans un domaine allant de 50 à 300 mm. Les rouleaux comprennent de préférence des bagues métalliques, typiquement en acier, recouvertes de bandages en matière plastique. Les rouleaux sont de préférence montés sur des paliers à jeu réduit, typiquement à raison de trois rouleaux par palier. Afin d'assurer une parfaite planéité du plan de convoyage, le positionnement de chacun des rouleaux est avantageusement réglable. Les rouleaux sont de préférence mus à l'aide de pignons ou de chaînes, de préférence de chaînes tangentielles, entraînés par au moins un moteur. La vitesse du mouvement de déplacement relatif entre la feuille de verre et la ou chaque source de rayonnement (notamment la ou chaque ligne laser) est avantageusement d'au moins 2 m/min, notamment 5 m/min et même 6 m/min ou 7 m/min, ou encore 8 m/min et même 9 m/min ou 10 m/min. Selon certains modes de réalisation, en particulier lorsque l'absorption du rayonnement par le revêtement est élevée ou lorsque le revêtement peut être déposé avec de grandes vitesses de dépôt, la vitesse du mouvement de déplacement relatif entre la feuille de verre et la source de rayonnement (notamment la ou chaque ligne laser ou lampe flash) est d'au moins 12 m/min ou 15 m/min, notamment 20 m/min et même 25 ou 30 m/min. Afin d'assurer un traitement qui soit le plus homogène possible, la vitesse du mouvement de déplacement relatif entre la feuille de verre et la ou chaque source de rayonnement (notamment la ou chaque ligne laser ou lampe flash) varie lors du traitement d'au plus 10% en relatif, notamment 2% et même 1% par rapport à sa valeur nominale. When the glass sheet is in movement, in particular in translation, it can be set in motion using any mechanical conveying means, for example using strips, rollers, trays in translation. The conveyor system makes it possible to control and regulate the speed of movement. The conveying means preferably comprises a rigid frame and a plurality of rollers. The pitch of the rollers is advantageously included in a range from 50 to 300 mm. The rollers preferably comprise metal rings, typically of steel, covered with plastic bandages. The rollers are preferably mounted on bearings with reduced clearance, typically at the rate of three rollers per bearing. In order to ensure perfect flatness of the conveying plane, the positioning of each of the rollers is advantageously adjustable. The rollers are preferably moved using sprockets or chains, preferably tangential chains, driven by at least one motor. The speed of the relative movement of movement between the glass sheet and the or each source of radiation (in particular the or each laser line) is advantageously at least 2 m / min, in particular 5 m / min and even 6 m / min or 7 m / min, or even 8 m / min and even 9 m / min or 10 m / min. According to certain embodiments, in particular when the absorption of radiation by the coating is high or when the coating can be deposited with high deposition rates, the speed of the movement of relative movement between the glass sheet and the radiation source (in particular the or each laser line or flash lamp) is at least 12 m / min or 15 m / min, in particular 20 m / min and even 25 or 30 m / min. In order to ensure treatment that is as homogeneous as possible, the speed of the relative movement of movement between the glass sheet and the or each source of radiation (in particular the or each laser line or flash lamp) varies during the treatment of plus 10% relative, especially 2% and even 1% compared to its nominal value.
Le dispositif de traitement thermique peut être intégré dans une ligne de dépôt de couches, par exemple une ligne de dépôt par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique (procédé magnétron) , ou une ligne de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) , notamment assistée par plasma (PECVD) , sous vide ou sous pression atmosphérique (APPECVD) . La ligne comprend en général des dispositifs de manutention des feuilles de verre, une installation de dépôt, des dispositifs de contrôle optique, des dispositifs d'empilage. Les feuilles de verre défilent, par exemple sur des rouleaux convoyeurs, successivement devant chaque dispositif ou chaque installation.  The heat treatment device can be integrated into a layer deposition line, for example a sputtering deposition line assisted by magnetic field (magnetron process), or a chemical vapor deposition line (CVD), in particular assisted by plasma (PECVD), under vacuum or at atmospheric pressure (APPECVD). The line generally includes devices for handling glass sheets, a deposition installation, optical control devices, stacking devices. The glass sheets pass, for example on conveyor rollers, successively in front of each device or each installation.
Le dispositif de traitement thermique est de préférence situé juste après l'installation de dépôt du revêtement, par exemple à la sortie de l'installation de dépôt. La feuille de verre revêtue peut ainsi être traitée en ligne après le dépôt du revêtement, à la sortie de l'installation de dépôt et avant les dispositifs de contrôle optique, ou après les dispositifs de contrôle optique et avant les dispositifs d'empilage des feuilles de verre . The heat treatment device is preferably located just after the installation for depositing the coating, for example at the outlet of the installation for deposit. The coated glass sheet can thus be processed online after the coating has been deposited, at the outlet of the deposition installation and before the optical control devices, or after the optical control devices and before the sheet stacking devices. of glass .
Le dispositif de traitement thermique peut aussi être intégré à l'installation de dépôt. Par exemple, le laser ou la lampe flash peut être introduit dans une des chambres d'une installation de dépôt par pulvérisation cathodique, notamment dans une chambre où l'atmosphère est raréfiée, notamment sous une pression comprise entre 1CT6 mbar et 1CT2 mbar . Le dispositif de traitement thermique peut aussi être disposé en dehors de l'installation de dépôt, mais de manière à traiter une feuille de verre située à l'intérieur de ladite installation. Il suffit de prévoir à cet effet un hublot transparent à la longueur d'onde du rayonnement utilisé, au travers duquel le rayonnement viendrait traiter la couche. Il est ainsi possible de traiter une couche (par exemple une couche d'argent) avant le dépôt subséquent d'une autre couche dans la même installation. The heat treatment device can also be integrated into the deposition installation. For example, the laser or the flash lamp can be introduced into one of the rooms of a sputtering deposition installation, in particular in a room where the atmosphere is rarefied, in particular under a pressure between 1CT 6 mbar and 1CT 2 mbar . The heat treatment device can also be placed outside the deposition installation, but so as to treat a glass sheet located inside said installation. It suffices to provide for this purpose a window transparent to the wavelength of the radiation used, through which the radiation would come to treat the layer. It is thus possible to treat a layer (for example a layer of silver) before the subsequent deposition of another layer in the same installation.
Que le dispositif de traitement thermique soit en dehors de ou intégré à l'installation de dépôt, ces procédés « en ligne » sont préférables à un procédé en reprise dans lequel il serait nécessaire d'empiler les feuilles de verre entre l'étape de dépôt et le traitement thermique .  Whether the heat treatment device is outside or integrated into the deposition installation, these “on-line” processes are preferable to a recovery process in which it would be necessary to stack the glass sheets between the deposition step and heat treatment.
Les procédés en reprise peuvent toutefois avoir un intérêt dans les cas où la mise en œuvre du traitement thermique selon l'invention est faite dans un lieu différent de celui où est réalisé le dépôt, par exemple dans un lieu où est réalisée la transformation du verre. Le dispositif de traitement thermique peut donc être intégré à d'autres lignes que la ligne de dépôt de couches. Il peut par exemple être intégré à une ligne de fabrication de vitrages multiples (doubles ou triples vitrages notamment), à une ligne de fabrication de vitrages feuilletés, ou encore à une ligne de fabrication de vitrages bombés et/ou trempés. Les vitrages feuilletés ou bombés ou trempés peuvent être utilisés aussi bien en tant que vitrages bâtiment ou automobile. Dans ces différents cas, le traitement thermique selon l'invention est de préférence réalisé avant la réalisation du vitrage multiple ou feuilleté. Le traitement thermique peut toutefois être mis en œuvre après réalisation du double vitrage ou du vitrage feuilleté . The processes in recovery can however have an interest in the cases where the implementation of the heat treatment according to the invention is made in a place different from that where the deposit is carried out, for example in a place where the transformation of the glass is carried out . The heat treatment device can therefore be integrated into other lines than the layer deposition line. It can for example be integrated into a production line for multiple glazing (double or triple glazing in particular), to a production line for laminated glazing, or even to a production line for curved and / or toughened glazing. Laminated or curved or toughened glazing can be used as well as building or automotive glazing. In these different cases, the heat treatment according to the invention is preferably carried out before the production of multiple or laminated glazing. However, the heat treatment can be carried out after double glazing or laminated glazing has been produced.
Le dispositif de traitement thermique est de préférence disposé dans une enceinte close permettant de sécuriser les personnes en évitant tout contact avec le rayonnement et d'éviter toute pollution, notamment de la feuille de verre, des optiques ou de la zone de traitement.  The heat treatment device is preferably placed in a closed enclosure making it possible to secure people by avoiding any contact with the radiation and avoiding any pollution, in particular of the glass sheet, the optics or the treatment area.
Le matériau obtenu par le procédé selon l'invention peut former ou être intégré à un vitrage, notamment pour le bâtiment ou le transport. Il peut s'agir par exemple d'un vitrage multiple (double, triple...), d'un vitrage monolithique, d'un vitrage bombé, d'un vitrage feuilleté. Dans le cas des couches à base d'oxyde de titane autonettoyantes, le matériau peut notamment constituer la première feuille d'un vitrage multiple, la couche fonctionnelle étant positionné en face 1 dudit vitrage. Dans le cas des couches à base d'argent, la couche fonctionnelle est de préférence positionnée à l'intérieur du vitrage multiple.  The material obtained by the process according to the invention can form or be integrated into a glazing, in particular for building or transport. It can be, for example, multiple glazing (double, triple, etc.), monolithic glazing, curved glazing, laminated glazing. In the case of self-cleaning titanium oxide layers, the material can in particular constitute the first sheet of multiple glazing, the functional layer being positioned opposite 1 of said glazing. In the case of silver-based layers, the functional layer is preferably positioned inside the multiple glazing.
Le matériau obtenu par le procédé selon l'invention peut encore être intégré à une cellule photovoltaïque. Dans le cas des couches à base de silice antireflets telles que mentionnées précédemment, le matériau qui en est revêtu peut former la face avant d'une cellule photovoltaïque. The material obtained by the process according to the invention can also be integrated into a photovoltaic cell. In the case of anti-reflective silica-based layers such as mentioned above, the material which is coated with it can form the front face of a photovoltaic cell.
Le matériau obtenu par le procédé selon l'invention peut encore être intégré à un écran de visualisation ou un dispositif d'éclairage ou une cellule photovoltaïque, en tant que substrat muni d'une électrode.  The material obtained by the method according to the invention can also be integrated into a display screen or a lighting device or a photovoltaic cell, as a substrate provided with an electrode.
L'invention est illustrée à l'aide des exemples de réalisation non limitatifs qui suivent.  The invention is illustrated with the aid of the following nonlimiting exemplary embodiments.
Une feuille de verre a été revêtue de manière connue, par pulvérisation cathodique magnétron, d'un empilement de couches minces à faible émissivité comprenant une couche d'argent disposée entre des empilements diélectriques. Dans un exemple comparatif, l'empilement déposé sur la feuille de verre ne contenait pas d'autre couche .  A sheet of glass has been coated in known manner, by magnetron sputtering, with a stack of thin layers with low emissivity comprising a silver layer placed between dielectric stacks. In a comparative example, the stack deposited on the glass sheet did not contain any other layer.
Dans un exemple selon l'invention, l'empilement a été revêtu d'une couche sacrificielle d'oxyde de molybdène d'une épaisseur de 30 nm, elle-même revêtue d'une couche absorbante non-continue d'un alliage d'indium et d'étain, d'une épaisseur de quelques nanomètres.  In an example according to the invention, the stack was coated with a sacrificial layer of molybdenum oxide with a thickness of 30 nm, itself coated with a non-continuous absorbent layer of an alloy of indium and tin, a few nanometers thick.
Le dépôt de la couche sacrificielle a été réalisé en utilisant une cible de molybdène de 21*9 cm2, alimentée avec une puissance de 700 W. Un mélange plasmagène contenant de l'argon (débit de 30 sccm) et de l'oxygène (débit de 20 sccm) a été introduit dans la chambre de dépôt pendant le dépôt de la couche sacrificielle. The sacrificial layer was deposited using a molybdenum target of 21 * 9 cm 2 , supplied with a power of 700 W. A plasma mixture containing argon (flow rate of 30 sccm) and oxygen ( flow rate of 20 sccm) was introduced into the deposition chamber during the deposition of the sacrificial layer.
Les feuilles de verre ainsi revêtues (exemple comparatif et exemple selon l'invention) ont ensuite été traitées thermiquement en défilant sous une ligne laser émettant un rayonnement d'une longueur d'onde de 980 nm.  The glass sheets thus coated (comparative example and example according to the invention) were then heat treated by passing under a laser line emitting radiation with a wavelength of 980 nm.
Après traitement thermique, la feuille de verre revêtue de la couche sacrificielle a été immergée dans de l'eau non additionnée d'un acide, d'une base, ou plus généralement d'un quelconque additif, pendant une durée allant de 10 à 15 secondes, puis séchée. La couche sacrificielle et la couche absorbante ont été totalement éliminées par ce lavage. Dans un autre essai, de l'eau additionnée d'une faible quantité de base de manière à obtenir un pH de 9 a été utilisée, l'élimination de la couche sacrificielle étant alors beaucoup plus rapide, obtenue après 1 à 2 secondes seulement. After heat treatment, the glass sheet coated with the sacrificial layer was immersed in water not added with an acid, a base, or more generally of any additive, for a period ranging from 10 to 15 seconds, then dried. The sacrificial layer and the absorbent layer were completely removed by this washing. In another test, water with a small amount of base added so as to obtain a pH of 9 was used, the elimination of the sacrificial layer then being much faster, obtained after only 1 to 2 seconds.
Dans les deux cas, une amélioration relative de la résistance carrée de 18 à 19% a été obtenue, mais pour une vitesse de défilement de 4,5 m/min dans le cas de l'exemple comparatif, et de 10 m/min dans le cas de l'exemple selon 1 ' invention .  In both cases, a relative improvement in the square resistance of 18 to 19% was obtained, but for a running speed of 4.5 m / min in the case of the comparative example, and of 10 m / min in the case of the example according to the invention.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé d'obtention d'un matériau comprenant une feuille de verre revêtue sur au moins une de ses faces d'au moins une couche fonctionnelle, ledit procédé comprenant : une étape de traitement thermique, au moyen d'un rayonnement possédant au moins une longueur d'onde de traitement comprise entre 200 et 2500 nm, d'une feuille de verre revêtue sur au moins une de ses faces de ladite au moins une couche fonctionnelle et d'au moins une couche sacrificielle située au-dessus de la couche fonctionnelle la plus éloignée de la feuille de verre, puis, 1. A method for obtaining a material comprising a glass sheet coated on at least one of its faces with at least one functional layer, said method comprising: a heat treatment step, by means of radiation having at least a treatment wavelength between 200 and 2500 nm, of a glass sheet coated on at least one of its faces with said at least one functional layer and at least one sacrificial layer located above the layer farthest from the glass sheet, then,
une étape d'élimination de la ou chaque couche sacrificielle à l'aide d'un solvant,  a step of removing the or each sacrificial layer using a solvent,
ledit procédé étant caractérisé en ce qu'au moins une couche sacrificielle est à base de molybdène ou d'oxyde de molybdène, et en ce que, said process being characterized in that at least one sacrificial layer is based on molybdenum or molybdenum oxide, and in that,
dans le cas où une couche sacrificielle est à base de molybdène, ladite couche sacrificielle est au contact d'une atmosphère contenant de l'oxygène durant l'étape de traitement thermique, et en ce que, in the case where a sacrificial layer is based on molybdenum, said sacrificial layer is in contact with an oxygen-containing atmosphere during the heat treatment step, and in that,
dans le cas où une couche sacrificielle est à base d'oxyde de molybdène, ladite couche sacrificielle contient au moins un élément absorbant, qui absorbe ledit rayonnement, ou est surmontée d'une couche absorbante, qui absorbe ledit rayonnement . in the case where a sacrificial layer is based on molybdenum oxide, said sacrificial layer contains at least one absorbent element, which absorbs said radiation, or is surmounted by an absorbent layer, which absorbs said radiation.
2. Procédé selon la revendication 1, tel que le solvant est aqueux, son pH étant de préférence compris entre 5 et 8, ou entre 7,5 et 10,5. 2. Method according to claim 1, such that the solvent is aqueous, its pH preferably being between 5 and 8, or between 7.5 and 10.5.
3. Procédé selon l'une des revendications précédentes, tel que le rayonnement est choisi parmi un rayonnement laser ou un rayonnement issu d'au moins une lampe flash. 3. Method according to one of the preceding claims, such that the radiation is chosen from laser radiation or radiation from at least one flash lamp.
4. Procédé selon la revendication précédente, tel que le rayonnement laser est focalisé sur la couche fonctionnelle sous la forme d'au moins une ligne laser.  4. Method according to the preceding claim, such that the laser radiation is focused on the functional layer in the form of at least one laser line.
5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, tel que pendant l'étape de traitement thermique, chaque point de la couche fonctionnelle est soumis à une température maximale d'au moins 300°C pendant une période n'excédant pas une seconde.  5. Method according to one of the preceding claims, such that during the heat treatment step, each point of the functional layer is subjected to a maximum temperature of at least 300 ° C for a period not exceeding one second.
6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, tel qu'au moins une couche fonctionnelle est choisie parmi les couches à base d'un métal, notamment l'argent, les couches à base d'oxyde de titane, les couches à base de silice ou les couches à base d'un oxyde transparent électro-conducteur.  6. Method according to one of the preceding claims, such that at least one functional layer is chosen from layers based on a metal, in particular silver, layers based on titanium oxide, layers based silica or layers based on a transparent electrically conductive oxide.
7. Procédé selon l'une des revendications précédentes, tel qu'au moins un élément absorbant est un élément métallique choisi parmi le titane, l'argent, le tungstène, le niobium, l'indium, l'étain, le cuivre, le molybdène, le zinc, le zirconium, le silicium, le vanadium, l'aluminium, le nickel, le chrome, le fer et l'or, ou la couche absorbante est à base d'au moins un métal choisi parmi le molybdène, le titane, le zinc, le zirconium, l'argent, l'indium, l'étain, le nickel, le chrome, le niobium, le vanadium, le tungstène, le cuivre, le fer, le silicium, l'or.  7. Method according to one of the preceding claims, such that at least one absorbent element is a metallic element chosen from titanium, silver, tungsten, niobium, indium, tin, copper, molybdenum, zinc, zirconium, silicon, vanadium, aluminum, nickel, chromium, iron and gold, or the absorbent layer is based on at least one metal chosen from molybdenum, titanium, zinc, zirconium, silver, indium, tin, nickel, chromium, niobium, vanadium, tungsten, copper, iron, silicon, gold.
8. Matériau comprenant une feuille de verre revêtue sur au moins une de ses faces d'au moins une couche fonctionnelle et d'au moins une couche sacrificielle à base d'oxyde de molybdène située au-dessus de la couche fonctionnelle la plus éloignée de la feuille de verre. 8. Material comprising a glass sheet coated on at least one of its faces with at least one functional layer and at least one sacrificial layer based molybdenum oxide located above the functional layer furthest from the glass sheet.
9. Matériau selon la revendication précédente, tel qu'au moins une couche sacrificielle contient un élément absorbant, susceptible d'absorber un rayonnement possédant au moins une longueur d'onde comprise entre 200 et 2500 nm ou est surmontée d'une couche absorbante, susceptible d'absorber un rayonnement possédant au moins une longueur d'onde comprise entre 200 et 2500 nm.  9. Material according to the preceding claim, such that at least one sacrificial layer contains an absorbent element, capable of absorbing radiation having at least a wavelength between 200 and 2500 nm or is surmounted by an absorbent layer, capable of absorbing radiation having at least one wavelength between 200 and 2500 nm.
10. Matériau selon la revendication précédente, tel que l'élément absorbant est un élément métallique choisi parmi le titane, l'argent, le tungstène, le niobium, l'indium, l'étain, le cuivre, le molybdène, le zinc, le zirconium, le silicium, le vanadium, l'aluminium, le nickel, le chrome, le fer et l'or, ou la couche absorbante est à base d'au moins un métal choisi parmi le molybdène, le titane, le zinc, le zirconium, l'argent, l'indium, l'étain, le nickel, le chrome, le niobium, le vanadium, le tungstène, le cuivre, le fer, le silicium, l'or.  10. Material according to the preceding claim, such that the absorbent element is a metallic element chosen from titanium, silver, tungsten, niobium, indium, tin, copper, molybdenum, zinc, zirconium, silicon, vanadium, aluminum, nickel, chromium, iron and gold, or the absorbent layer is based on at least one metal chosen from molybdenum, titanium, zinc, zirconium, silver, indium, tin, nickel, chromium, niobium, vanadium, tungsten, copper, iron, silicon, gold.
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