[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

WO2020044410A1 - 走査光学系および走査型共焦点顕微鏡 - Google Patents

走査光学系および走査型共焦点顕微鏡 Download PDF

Info

Publication number
WO2020044410A1
WO2020044410A1 PCT/JP2018/031614 JP2018031614W WO2020044410A1 WO 2020044410 A1 WO2020044410 A1 WO 2020044410A1 JP 2018031614 W JP2018031614 W JP 2018031614W WO 2020044410 A1 WO2020044410 A1 WO 2020044410A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lens
refractive power
line
refractive index
conditional expression
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/031614
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
吉田　祐樹
鈴木　章夫
Original Assignee
株式会社ニコン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ニコン filed Critical 株式会社ニコン
Priority to US17/268,464 priority Critical patent/US20210302709A1/en
Priority to PCT/JP2018/031614 priority patent/WO2020044410A1/ja
Priority to JP2020539184A priority patent/JP7218758B2/ja
Publication of WO2020044410A1 publication Critical patent/WO2020044410A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0072—Optical details of the image generation details concerning resolution or correction, including general design of CSOM objectives
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/001—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras
    • G02B13/0015—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design
    • G02B13/002—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design having at least one aspherical surface
    • G02B13/0045—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design having at least one aspherical surface having five or more lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0095—Relay lenses or rod lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/02—Objectives
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G02B27/005—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for correction of secondary colour or higher-order chromatic aberrations
    • G02B27/0062—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for correction of secondary colour or higher-order chromatic aberrations by controlling the dispersion of a lens material, e.g. adapting the relative partial dispersion

Definitions

  • the present invention relates to a scanning optical system and a scanning confocal microscope.
  • a pupil projection lens is provided between a scanning unit and an objective lens optical system (for example, see Patent Document 1).
  • a scanning optical system is a scanning optical system provided between an objective lens and a scanning mechanism, and a first lens group having a negative refractive power, which is arranged in order from the scanning mechanism side.
  • At least one lens included in any of the first lens group, the second lens group, and the third lens group has a negative refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ d2 ⁇ 50 The following conditional expression is satisfied.
  • hmax is the maximum distance from the optical axis of the principal ray that defines the maximum image height among principal rays passing through the rear focal point of the objective lens.
  • ⁇ d1 d-line of the lens having the positive refractive power is used as a reference. Abbe number, the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the d-line is nd1, the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F-line is nF1, and the refractive index of the lens having the positive refractive power is nF1.
  • ⁇ d1 (nd1-1) / (nF1-nC1) defined by the following equation.
  • ⁇ d2 is an Abbe number based on the d-line of the lens having the negative refractive power
  • the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F of the lens having the negative refractive power is Fd.
  • the refractive index for the line is nF2 and the refractive index for the C-line of the lens having the negative refractive power is nC2
  • ⁇ d2 (nd2-1) / (nF2-nC2)
  • a scanning optical system is a scanning optical system provided between an objective lens and a scanning mechanism, and a first lens group having a negative refractive power, which is arranged in order from the scanning mechanism side.
  • At least one lens included has a positive refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ gF1 ⁇ ( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d1) ⁇ 0.644> 0.03
  • At least one lens included in any of the first lens group, the second lens group, and the third lens group has a negative refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ gF2-( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d2) ⁇ 0.644 ⁇ 0.002
  • the following conditional expression is satisfied.
  • hmax is the maximum distance from the optical axis of the principal ray that defines the maximum image height among principal rays passing through the rear focal point of the objective lens.
  • ⁇ d1 d-line of the lens having the positive refractive power is used as a reference. Abbe number, the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the d-line is nd1, the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F-line is nF1, and the refractive index of the lens having the positive refractive power is nF1.
  • ⁇ d1 (nd1-1) / (nF1-nC1) defined by the following equation.
  • ⁇ d2 is an Abbe number based on the d-line of the lens having the negative refractive power
  • the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F of the lens having the negative refractive power is Fd.
  • ⁇ gF2 a partial dispersion ratio of the lens having the negative refractive power, where ng2 is the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the g-line, and the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the F-line.
  • ng2 the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the g-line
  • ⁇ gF2 (ng2-nF2) / (nF2-nC2) defined by the following equation.
  • a scanning optical system is a scanning optical system provided between an objective lens and a scanning mechanism, wherein the first lens group having a negative refractive power is arranged in order from the scanning mechanism side.
  • a second lens group having a positive refractive power, and a third lens group having a negative refractive power, wherein any one of the first lens group, the second lens group, and the third lens group At least one lens included has a positive refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ d1> 80
  • At least one lens included in any of the first lens group, the second lens group, and the third lens group has a negative refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ d2 ⁇ 50 The following conditional expression is satisfied.
  • FOV is the maximum field number of the scanning optical system.
  • ⁇ d1 Abbe number based on the d line of the lens having the positive refractive power
  • nd1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the d line.
  • nF1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F line and nC1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the C line
  • ⁇ d1 (nd1) -1) / (nF1-nC1)
  • ⁇ d2 is an Abbe number based on the d-line of the lens having the negative refractive power
  • the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F of the lens having the negative refractive power is Fd.
  • a scanning optical system is a scanning optical system provided between an objective lens and a scanning mechanism, wherein the first lens group having a negative refractive power is arranged in order from the scanning mechanism side.
  • a second lens group having a positive refractive power, and a third lens group having a negative refractive power, wherein any one of the first lens group, the second lens group, and the third lens group At least one lens included has a positive refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ gF1 ⁇ ( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d1) ⁇ 0.644> 0.03
  • At least one lens included in any of the first lens group, the second lens group, and the third lens group has a negative refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ gF2-( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d2) ⁇ 0.644 ⁇ 0.002 The following conditional expression is satisfied.
  • FOV is the maximum field number of the scanning optical system.
  • ⁇ d1 Abbe number based on the d line of the lens having the positive refractive power
  • nd1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the d line.
  • nF1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F line and nC1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the C line
  • the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F of the lens having the negative refractive power is Fd.
  • ⁇ gF2 a partial dispersion ratio of the lens having the negative refractive power, where ng2 is the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the g-line, and the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the F-line.
  • ng2 the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the g-line
  • ⁇ gF2 (ng2-nF2) / (nF2-nC2) defined by the following equation.
  • a scanning optical system is a scanning optical system provided between an objective lens and a scanning mechanism, wherein the first lens group having a negative refractive power is arranged in order from the scanning mechanism side.
  • a second lens group having a positive refractive power, and a third lens group having a negative refractive power, wherein any one of the first lens group, the second lens group, and the third lens group At least one lens included has a positive refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ d1> 80
  • At least one lens included in any of the first lens group, the second lens group, and the third lens group has a negative refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ d2 ⁇ 50 The following conditional expression is satisfied.
  • ⁇ max ⁇ 48.0 [mm]
  • ⁇ max the maximum outer diameter of the scanning optical system
  • ⁇ d1 Abbe number based on the d-line of the lens having the positive refractive power
  • nd1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power for the d-line.
  • nF1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F line and nC1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the C line
  • ⁇ d1 (nd1) -1) / (nF1-nC1)
  • ⁇ d2 is an Abbe number based on the d-line of the lens having the negative refractive power
  • the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F of the lens having the negative refractive power is Fd.
  • a scanning optical system is a scanning optical system provided between an objective lens and a scanning mechanism, wherein the first lens group having a negative refractive power is arranged in order from the scanning mechanism side.
  • a second lens group having a positive refractive power, and a third lens group having a negative refractive power, wherein any one of the first lens group, the second lens group, and the third lens group At least one lens included has a positive refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ gF1 ⁇ ( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d1) ⁇ 0.644> 0.03
  • At least one lens included in any of the first lens group, the second lens group, and the third lens group has a negative refractive power and satisfies the following conditional expression; ⁇ gF2-( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d2) ⁇ 0.644 ⁇ 0.002 The following conditional expression is satisfied.
  • ⁇ max ⁇ 48.0 [mm]
  • ⁇ max the maximum outer diameter of the scanning optical system
  • ⁇ d1 Abbe number based on the d-line of the lens having the positive refractive power
  • nd1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power for the d-line.
  • nF1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F line and nC1 is the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the C line
  • the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F of the lens having the negative refractive power is Fd.
  • ⁇ gF2 a partial dispersion ratio of the lens having the negative refractive power, where ng2 is the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the g-line, and the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the F-line.
  • ng2 the refractive index of the lens having the negative refractive power with respect to the g-line
  • ⁇ gF2 (ng2-nF2) / (nF2-nC2) defined by the following equation.
  • the scanning confocal microscope according to the seventh aspect includes the objective lens, the scanning mechanism, and the scanning optical system according to the first to sixth aspects.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of a scanning confocal microscope provided with a scanning optical system.
  • FIG. 2 is a lens configuration diagram of a scanning optical system according to a first example.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the first example.
  • FIG. 9 is a lens configuration diagram of a scanning optical system according to a second example.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the second example.
  • FIG. 13 is a lens configuration diagram of a scanning optical system according to a third example.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the third example.
  • FIG. 13 is a lens configuration diagram of a scanning optical system according to a fourth example.
  • FIG. 1 is a lens configuration diagram of a scanning optical system according to a fourth example.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the fourth example. It is a lens block diagram of the scanning optical system concerning 5th Example. FIG. 14 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the fifth example. It is a lens block diagram of the scanning optical system concerning 6th Example. FIG. 14 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the sixth example. It is a lens block diagram of the scanning optical system concerning 7th Example.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the seventh example. It is explanatory drawing which shows the modification of the scanning confocal microscope provided with the scanning optical system.
  • the scanning confocal microscope 1 includes a first condensing optical system 2 for condensing an illumination laser beam from a light source unit 6 on a sample SA, and a laser beam condensed on the sample SA to deflect the laser beam.
  • a scanning device 3 for scanning on the SA, a light detecting device 5 for detecting a light intensity signal from the sample SA, and a second condensing optical system 4 for guiding light from the sample SA to the light detecting device 5 are mainly configured. Is done.
  • the first condensing optical system 2 includes a collimator lens 21 that converts laser light (light flux) oscillated from the light source unit 6 into parallel light, and a dichroic mirror 22 that reflects the laser light from the collimator lens 21 toward the sample SA. And a second objective lens 23 and an objective lens 24 for condensing the laser light reflected by the dichroic mirror 22 on the sample SA.
  • the second objective lens 23 is provided in the lens barrel 11 of the microscope main body 10, and the collimator lens 21 and the dichroic mirror 22 are provided in the microscope housing 12 provided above the lens barrel 11.
  • the light source unit 6 and the microscope housing 12 are connected by an optical fiber 69 using connectors C3 and C4.
  • the scanning device 3 includes, for example, a scanning mechanism (scanner) 31 having a galvanomirror (not shown) or a resonant mirror (not shown), and a scanning optical system 32, and includes a microscope housing. It is arranged between the dichroic mirror 22 and the second objective lens 23 in the section 12.
  • the scanning mechanism (scanner) 31 deflects the incident laser light. That is, the scanning mechanism (scanner) 31 scans the sample SA by deflecting the laser light focused on the sample SA.
  • the scanning optical system 32 is an optical system provided between the objective lens 24 and the scanning mechanism (scanner) 31.
  • the scanning optical system 32 is an optical system in which the focal position of the scanning optical system 32 is located on an image plane I conjugate with the sample SA (scanning surface of the sample SA).
  • the second condensing optical system 4 includes an objective lens 24 and a second objective lens 23, a total reflection mirror 42 that reflects the fluorescence from the sample SA, and a fluorescent light reflected by the total reflection mirror 42, A first condensing lens 41 for condensing light on a light shielding plate 52 having a hole 51 is provided.
  • the total reflection mirror 42 and the first condenser lens 41 are disposed above the dichroic mirror 22 and the collimator lens 21 in the microscope housing 12.
  • the light detection device 5 includes a light shielding plate 52 having a pinhole 51 (opening), an optical fiber 53 on which light (fluorescence) passing through the pinhole 51 enters, and light (fluorescence) passing through the pinhole 51 and the optical fiber 53. ) And a detection unit 55 for detecting).
  • the light-shielding plate 52 is disposed in the microscope housing 12, and the optical fiber 53 is connected to the microscope housing 12 and the detection unit 55 using connectors C1 and C2.
  • a processing unit 57 is electrically connected to the detection unit 55 via a cable 56. Image processing (of the sample SA) is performed based on a detection signal detected by the detection unit 55, and an image of the processing unit 57 is displayed.
  • An observation image of the sample SA obtained by the processing is displayed on a monitor (not shown).
  • the illumination light emitted from the scanning device 3 is configured to be once collected on the image forming plane (primary image plane) 13 and then collected again on the sample SA by the second objective lens 23 and the objective lens 24.
  • the scanning plane, the imaging plane 13 and the pinhole 51 of the sample SA are in a conjugate relationship with each other.
  • the scanning optical system SL according to the first embodiment has a negative refractive power, for example, arranged in order from the scanning mechanism 31 (pupil conjugate plane P), like the scanning optical system SL (1) shown in FIG. It comprises a first lens group G1, a second lens group G2 having a positive refractive power, and a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the Petzval sum can be made close to zero, and the image plane can be reduced.
  • the curvature can be corrected well.
  • the scanning optical system SL according to the first embodiment may be the scanning optical system SL (2) shown in FIG. 4, the scanning optical system SL (3) shown in FIG. 6, or the scanning optical system SL (4) shown in FIG. ) Is fine. Further, the scanning optical system SL according to the first embodiment may be the scanning optical system SL (5) shown in FIG. 10, the scanning optical system SL (6) shown in FIG. 12, or the scanning optical system SL shown in FIG. (7) may be used.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a positive refractive power. Satisfies the following conditional expression (1).
  • ⁇ d1 Abbe number based on the d-line of a lens having a positive refractive power, the refractive index of the lens having a positive refractive power with respect to the d-line is nd1, and the F-line of the lens having a positive refractive power
  • nF1 is the refractive index with respect to and nC1 is the refractive index with respect to the C-line of the lens having a positive refractive power
  • ⁇ d1 (nd1-1) / (nF1-nC1)
  • Conditional expression (1) defines the Abbe number of the lens material having a positive refractive power.
  • the lens having the positive refractive power satisfies the conditional expression (1), the dispersion of light in the lens having the positive refractive power is reduced, and thus the chromatic aberration of magnification can be corrected well.
  • conditional expression (1) If the corresponding value of conditional expression (1) is below the lower limit, the dispersion of light in the lens having a positive refractive power becomes large, so that it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 90, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a negative refractive power.
  • ⁇ d2 is an Abbe number based on the d-line of the lens having a negative refractive power
  • the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the d-line is nd2
  • the F-line of the lens having a negative refractive power is the refractive index of the lens having a negative refractive power
  • nF2 is the refractive index of the lens having a negative refractive power
  • nC2 is the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the C line
  • ⁇ d2 (nd2-1) / (nF2-nC2)
  • Conditional expression (2) defines the Abbe number of the material of the lens having a negative refractive power.
  • the lens having a negative refractive power satisfies the conditional expression (2), by combining a lens having a negative refractive power having a large light dispersion and a lens having a positive refractive power having a small light dispersion. And chromatic aberration of magnification can be satisfactorily corrected.
  • conditional expression (2) If the corresponding value of the conditional expression (2) exceeds the upper limit value, the dispersion of light in the lens having a negative refractive power becomes small, so that the magnification in combination with the lens having a positive refractive power (small light dispersion) is obtained. It becomes difficult to correct chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 40, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the scanning optical system SL according to the first embodiment satisfies the following conditional expression (3).
  • hmax ⁇ 18.0 [mm] (3)
  • hmax is the maximum distance from the optical axis of the principal ray defining the maximum image height among the principal rays passing through the rear focal point of the objective lens 24.
  • Conditional expression (3) defines the maximum distance from the optical axis of the principal ray defining the maximum image height among the principal rays passing through the rear focal point of the objective lens 24.
  • conditional expression (3) the maximum image height increases, so that the maximum number of fields of the scanning optical system SL increases, and the field of view can be widened.
  • conditional expressions (1) to (3) it becomes possible to reduce lateral chromatic aberration and widen the field of view.
  • the principal ray is a ray passing through the center of the aperture stop.
  • the objective lens of a microscope is telecentric, and the rear focal position of the objective lens is the position of the exit pupil (aperture stop) of the objective lens. Therefore, the principal ray of the scanning optical system SL in the scanning confocal microscope 1 passes through the rear focal point of the objective lens 24.
  • a pupil conjugate plane P conjugate with the exit pupil of the objective lens 24 is formed at a position closer to the scanning mechanism 31 than the scanning optical system SL, and the scanning mechanism 31 is arranged near the pupil conjugate plane P.
  • the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL is the diameter of the image plane I conjugate with the sample SA (scanning plane of the sample SA), that is, the image plane 13 (primary image) formed by the second objective lens 23. Surface).
  • conditional expression (3) If the corresponding value of the conditional expression (3) is below the lower limit, the maximum image height decreases, so that the maximum number of fields of the scanning optical system SL decreases, and it becomes difficult to widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (3) By setting the lower limit of conditional expression (3) to 18.3 [mm], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (4).
  • ⁇ gF1 ( ⁇ 0.00168 ⁇ ⁇ d1) ⁇ 0.644> 0.03 (4)
  • ⁇ gF1 the partial dispersion ratio of the lens having a positive refractive power
  • the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the g-line is ng1
  • the refractive index of the lens having the positive refractive power with respect to the F-line is nF1.
  • nC1 is the refractive index of the lens having a positive refractive power with respect to the C line
  • ⁇ gF1 (ng1-nF1) / (nF1-nC1) defined by the following equation.
  • Conditional expression (4) defines the relationship between the partial dispersion ratio of the lens material having a positive refractive power and the Abbe number.
  • the lens having the positive refractive power satisfies the conditional expression (4), the chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light is favorably corrected using the anomalous dispersion of the material of the lens having the positive refractive power. It can be carried out.
  • Condition (4) If the value of Condition (4) is below the lower limit, the effect of anomalous dispersion will be insufficient, and it will be difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to 0.04, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (5).
  • ⁇ gF2 is a partial dispersion ratio of a lens having a negative refractive power
  • the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the g-line is ng2
  • the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the F-line is nF2.
  • nC2 is the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the C line
  • ⁇ gF2 (ng2-nF2) / (nF2-nC2) defined by the following equation.
  • Conditional expression (5) defines the relationship between the partial dispersion ratio of the lens material having a negative refractive power and the Abbe number.
  • the lens having the negative refractive power satisfies the conditional expression (5), the chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light is favorably corrected using the anomalous dispersion of the material of the lens having the negative refractive power. It can be carried out.
  • conditional expression (5) If the corresponding value of conditional expression (5) exceeds the upper limit, the effect of anomalous dispersion is insufficient, and it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to -0.004, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the above-described at least one lens having a positive refractive power may satisfy the following conditional expression (6).
  • Conditional expression (6) defines the partial dispersion ratio of the lens material having a positive refractive power.
  • the anomalous dispersion of the material of the lens having the positive refractive power becomes appropriate, and the correction of the chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light becomes satisfactory. It can be carried out.
  • conditional expression (6) exceeds the upper limit, the effect of the anomalous dispersion of the material of the lens having a positive refractive power becomes excessive, so that it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (6) By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.535, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (7).
  • Conditional expression (7) defines the partial dispersion ratio of the material of the lens having negative refractive power.
  • the anomalous dispersion of the material of the lens having the negative refractive power becomes appropriate, and the correction of the lateral chromatic aberration in the wavelength region of visible light is favorably performed. It can be carried out.
  • conditional expression (7) If the corresponding value of the conditional expression (7) is below the lower limit, the effect of the anomalous dispersion of the material of the lens having a negative refractive power becomes excessive, and it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.58, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the second embodiment has a negative refractive power, which is arranged in order from the scanning mechanism 31 (pupil conjugate plane P), for example, like the scanning optical system SL (1) shown in FIG. It comprises a first lens group G1, a second lens group G2 having a positive refractive power, and a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the Petzval sum can be made close to zero, and the image plane can be reduced.
  • the curvature can be corrected well.
  • the scanning optical system SL according to the second embodiment may be the scanning optical system SL (2) shown in FIG. 4, the scanning optical system SL (3) shown in FIG. 6, or the scanning optical system SL (4) shown in FIG. ) Is fine. Further, the scanning optical system SL according to the second embodiment may be the scanning optical system SL (5) shown in FIG. 10, the scanning optical system SL (6) shown in FIG. 12, or the scanning optical system SL shown in FIG. (7) may be used.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a positive refractive power.
  • conditional expression (4) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (4), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to 0.04, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a negative refractive power.
  • conditional expression (5) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (5), chromatic aberration of magnification in the visible light wavelength region can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to -0.004, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the second embodiment satisfies the following conditional expression (3).
  • conditional expression (3) it is possible to widen the field of view as in the first embodiment.
  • conditional expression (3) and conditional expressions (4) to (5) it becomes possible to reduce lateral chromatic aberration and widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (3) By setting the lower limit of conditional expression (3) to 18.3 [mm], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (1) described above.
  • conditional expression (1) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (1), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 90, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the above-described conditional expression (2) described above.
  • conditional expression (2) When the lens having the negative refractive power satisfies the conditional expression (2), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 40, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (6).
  • conditional expression (6) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (6), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (6) By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.535, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the above-mentioned at least one lens having a negative refractive power may satisfy the following conditional expression (7).
  • conditional expression (7) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (7), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.58, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the third embodiment has the same configuration as the scanning optical system SL according to the first embodiment, the same reference numerals as those in the first embodiment are used for the description.
  • the scanning optical system SL according to the third embodiment has a negative refractive power, for example, arranged in order from the scanning mechanism 31 (pupil conjugate plane P), like the scanning optical system SL (1) shown in FIG. It comprises a first lens group G1, a second lens group G2 having a positive refractive power, and a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the Petzval sum can be made close to zero, and the image plane can be reduced.
  • the curvature can be corrected well.
  • the scanning optical system SL according to the third embodiment may be the scanning optical system SL (2) shown in FIG. 4, the scanning optical system SL (3) shown in FIG. 6, or the scanning optical system SL (4) shown in FIG. ) Is fine. Further, the scanning optical system SL according to the third embodiment may be the scanning optical system SL (5) shown in FIG. 10, the scanning optical system SL (6) shown in FIG. 12, or the scanning optical system SL shown in FIG. (7) may be used.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a positive refractive power.
  • conditional expression (1) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (1), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 90, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a negative refractive power.
  • conditional expression (2) When the lens having the negative refractive power satisfies the conditional expression (2), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 40, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the scanning optical system SL according to the third embodiment satisfies the following conditional expression (8).
  • FOV FOV ⁇ 23 [mm] (8)
  • FOV is the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL.
  • Conditional expression (8) defines the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL.
  • the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL increases, so that the field of view can be widened.
  • conditional expressions (1) and (2) and conditional expression (8) it becomes possible to reduce lateral chromatic aberration and widen the field of view.
  • the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL is the diameter of the image plane I conjugate to the sample SA (scanning plane of the sample SA), that is, the imaging plane 13 (primary image plane) by the second objective lens 23. Shows the diameter of
  • conditional expression (8) If the corresponding value of the conditional expression (8) is below the lower limit, the maximum number of fields of the scanning optical system SL becomes small, and it becomes difficult to widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (8) By setting the lower limit of conditional expression (8) to 24 [mm], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (4).
  • conditional expression (4) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (4), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to 0.04, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (5) described above.
  • conditional expression (5) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (5), chromatic aberration of magnification in the visible light wavelength region can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to -0.004, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (6).
  • conditional expression (6) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (6), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (6) By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.535, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (7).
  • conditional expression (7) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (7), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.58, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the fourth embodiment has a negative refractive power, which is arranged in order from the scanning mechanism 31 (pupil conjugate plane P), like the scanning optical system SL (1) shown in FIG. 2, for example. It comprises a first lens group G1, a second lens group G2 having a positive refractive power, and a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the Petzval sum can be approximated to zero, and the image plane can be reduced.
  • the curvature can be corrected well.
  • the scanning optical system SL according to the fourth embodiment may be the scanning optical system SL (2) shown in FIG. 4, the scanning optical system SL (3) shown in FIG. 6, or the scanning optical system SL (4) shown in FIG. ) Is fine. Further, the scanning optical system SL according to the fourth embodiment may be the scanning optical system SL (5) shown in FIG. 10, the scanning optical system SL (6) shown in FIG. 12, or the scanning optical system SL shown in FIG. (7) may be used.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a positive refractive power.
  • conditional expression (4) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (4), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to 0.04, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a negative refractive power.
  • conditional expression (5) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (5), chromatic aberration of magnification in the visible light wavelength region can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to -0.004, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the fourth embodiment satisfies the following conditional expression (8).
  • conditional expression (8) it is possible to widen the field of view as in the first embodiment.
  • conditional expressions (4) to (5) and the conditional expression (8) it is possible to reduce the chromatic aberration of magnification and widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (8) 24 [mm] the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (1).
  • conditional expression (1) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (1), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 90, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the above-mentioned at least one lens having a negative refractive power may satisfy the following conditional expression (2) described above.
  • conditional expression (2) When the lens having the negative refractive power satisfies the conditional expression (2), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 40, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the above-described conditional expression (6) described above.
  • conditional expression (6) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (6), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (6) By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.535, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (7).
  • conditional expression (7) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (7), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.58, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the fifth embodiment has the same configuration as the scanning optical system SL according to the first embodiment, the same reference numerals as those in the first embodiment are used for the description.
  • the scanning optical system SL according to the fifth embodiment has a negative refractive power, for example, arranged in order from the scanning mechanism 31 (pupil conjugate plane P), like the scanning optical system SL (1) shown in FIG. It comprises a first lens group G1, a second lens group G2 having a positive refractive power, and a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the Petzval sum can be approximated to zero, and the image plane can be reduced.
  • the curvature can be corrected well.
  • the scanning optical system SL according to the fifth embodiment may be the scanning optical system SL (2) shown in FIG. 4, the scanning optical system SL (3) shown in FIG. 6, or the scanning optical system SL (4) shown in FIG. ) Is fine.
  • the scanning optical system SL according to the fifth embodiment may be the scanning optical system SL (5) shown in FIG. 10, the scanning optical system SL (6) shown in FIG. 12, or the scanning optical system SL shown in FIG. (7) may be used.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a positive refractive power.
  • conditional expression (1) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (1), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 90, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a negative refractive power.
  • conditional expression (2) When the lens having the negative refractive power satisfies the conditional expression (2), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 40, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the scanning optical system SL according to the fifth embodiment satisfies the following conditional expression (9).
  • Conditional expression (9) defines the maximum outer diameter of the scanning optical system SL.
  • conditional expression (9) the maximum outer diameter of the scanning optical system SL is increased, so that the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL can be increased, and the field of view can be widened.
  • conditional expressions (1) and (2) and conditional expression (9) it becomes possible to reduce lateral chromatic aberration and widen the field of view.
  • conditional expression (9) If the corresponding value of the conditional expression (9) is below the lower limit, the maximum outer diameter of the scanning optical system SL becomes smaller, so that the maximum number of fields of the scanning optical system SL becomes smaller, and it becomes difficult to widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (9) By setting the lower limit of conditional expression (9) to 48.5 [mm], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (4) described above.
  • conditional expression (4) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (4), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to 0.04, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (5).
  • conditional expression (5) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (5), chromatic aberration of magnification in the visible light wavelength region can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to -0.004, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the above-described at least one lens having a positive refractive power may satisfy the following conditional expression (6) described above.
  • conditional expression (6) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (6), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (6) By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.535, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the above-mentioned at least one lens having a negative refractive power may satisfy the following conditional expression (7).
  • conditional expression (7) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (7), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.58, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the sixth embodiment has a negative refractive power, which is arranged in order from the scanning mechanism 31 (pupil conjugate plane P), like the scanning optical system SL (1) shown in FIG. 2, for example. It comprises a first lens group G1, a second lens group G2 having a positive refractive power, and a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the Petzval sum can be made close to zero, and the image plane can be reduced.
  • the curvature can be corrected well.
  • the scanning optical system SL according to the sixth embodiment may be the scanning optical system SL (2) shown in FIG. 4, the scanning optical system SL (3) shown in FIG. 6, or the scanning optical system SL (4) shown in FIG. ) Is fine.
  • the scanning optical system SL according to the sixth embodiment may be the scanning optical system SL (5) shown in FIG. 10, the scanning optical system SL (6) shown in FIG. 12, or the scanning optical system SL shown in FIG. (7) may be used.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a positive refractive power.
  • conditional expression (4) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (4), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to 0.04, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens included in any of the first lens group G1, the second lens group G2, and the third lens group G3 has a negative refractive power.
  • conditional expression (5) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (5), chromatic aberration of magnification in the visible light wavelength region can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to -0.004, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the sixth embodiment satisfies the following conditional expression (9).
  • conditional expression (9) it is possible to widen the field of view as in the first embodiment.
  • conditional expressions (4) to (5) and conditional expression (9) it becomes possible to reduce lateral chromatic aberration and widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (9) By setting the lower limit of conditional expression (9) to 48.5 [mm], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (1).
  • conditional expression (1) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (1), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 90, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the above-mentioned at least one lens having a negative refractive power may satisfy the following conditional expression (2) described above.
  • conditional expression (2) When the lens having the negative refractive power satisfies the conditional expression (2), chromatic aberration of magnification can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 40, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the above-described conditional expression (6) described above.
  • conditional expression (6) When the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (6), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the upper limit of conditional expression (6) By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.535, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • the above-described at least one lens having a negative refractive power may satisfy the above-described conditional expression (7).
  • conditional expression (7) When the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (7), chromatic aberration of magnification in the wavelength region of visible light can be favorably corrected as in the first embodiment.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.58, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the first to sixth embodiments may satisfy the following conditional expression (10).
  • Conditional expression (10) defines the relationship between the maximum field number of the scanning optical system SL and the focal length of the scanning optical system SL.
  • conditional expression (10) the size of the scanning mechanism 31 is appropriately maintained, the scanning speed is maintained, the maximum number of fields of the scanning optical system SL is increased, and a wide field of view on the sample SA is obtained. It is possible to obtain.
  • conditional expression (10) If the corresponding value of the conditional expression (10) is below the lower limit, the focal length of the scanning optical system SL increases, and the numerical aperture of the scanning optical system SL decreases. As a result, in order to secure brightness, it is necessary to increase the diameter of the pupil where the scanning mechanism 31 is arranged, and the size of the scanning mechanism 31 increases. By setting the lower limit of conditional expression (10) to 0.40, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • conditional expression (10) exceeds the upper limit, the focal length of the scanning optical system SL becomes short, and it is necessary to increase the deflection angle of the laser beam by the scanning mechanism 31. As a result, the speed at which the scanning mechanism 31 scans the sample SA with the laser light is reduced. Further, when the focal length of the scanning optical system SL is shortened, image forming performance such as curvature of field and chromatic aberration of magnification is reduced in the peripheral portion of the visual field. By setting the upper limit of conditional expression (10) to 0.50, the effect of the present embodiment can be made more reliable.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (11).
  • ⁇ Ct1 (0.0048 ⁇ ⁇ d1) ⁇ 0.542 ⁇ 0.05 (11)
  • ⁇ Ct1 a partial dispersion ratio of a lens having a positive refractive power
  • the refractive index of the lens having a positive refractive power with respect to the C line is nC1
  • the refractive index of the lens having a positive refractive power with respect to the t line is nt1.
  • nF1 is the refractive index of the lens having a positive refractive power with respect to the F line
  • ⁇ Ct1 (nC1-nt1) / (nF1-nC1) defined by the following equation.
  • Conditional expression (11) defines the relationship between the partial dispersion ratio of the lens material having a positive refractive power and the Abbe number.
  • the lens having a positive refractive power satisfies the conditional expression (11)
  • the wavelength range of the visible light and the wavelength range of the infrared light using the anomalous dispersion of the material of the lens having the positive refractive power
  • chromatic aberration of magnification in a wavelength range up to about 1000 nm can be favorably corrected. This makes it possible to satisfactorily correct lateral chromatic aberration even in a scanning confocal microscope that uses excitation light in a wavelength range of about 700 nm to 1000 nm and that supports fluorescence observation by multiphoton excitation.
  • condition (11) exceeds the upper limit, the effect of anomalous dispersion will be insufficient, and it will be difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (11) By setting the upper limit of conditional expression (11) to ⁇ 0.10, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (12).
  • ⁇ Ct2 (0.0048 ⁇ ⁇ d2) ⁇ 0.542> 0.01 (12)
  • ⁇ Ct2 is a partial dispersion ratio of a lens having a negative refractive power
  • the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the C line is nC2
  • the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the t line is nt2.
  • nF2 is the refractive index of the lens having a negative refractive power with respect to the F line
  • ⁇ Ct2 (nC2-nt2) / (nF2-nC2) defined by the following equation.
  • Conditional expression (12) defines the relationship between the partial dispersion ratio of the lens material having a negative refractive power and the Abbe number.
  • the lens having negative refractive power satisfies the conditional expression (12)
  • the wavelength range of visible light and the wavelength range of infrared light using the anomalous dispersion of the material of the lens having negative refractive power
  • chromatic aberration of magnification in a wavelength range up to about 1000 nm can be favorably corrected. This makes it possible to satisfactorily correct lateral chromatic aberration even in a scanning confocal microscope that uses excitation light in a wavelength range of about 700 nm to 1000 nm and that supports fluorescence observation by multiphoton excitation.
  • conditional expression (12) If the corresponding value of conditional expression (12) is below the lower limit, the effect of anomalous dispersion is insufficient, and it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (12) By setting the lower limit of conditional expression (12) to 0.015, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a positive refractive power described above may satisfy the following conditional expression (13).
  • Conditional expression (13) defines the partial dispersion ratio of the lens material having a positive refractive power.
  • the anomalous dispersion of the material of the lens having the positive refractive power becomes appropriate, and the wavelength range of the visible light and the wavelength range of the infrared light ( For example, chromatic aberration of magnification in a wavelength range up to about 1000 nm) can be favorably corrected.
  • conditional expression (13) If the corresponding value of conditional expression (13) is below the lower limit, the effect of the anomalous dispersion of the material of the lens having a positive refractive power becomes excessive, so that it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (13) By setting the lower limit of conditional expression (13) to 0.82, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • At least one lens having a negative refractive power described above may satisfy the following conditional expression (14).
  • Conditional expression (14) defines the partial dispersion ratio of the material of the lens having a negative refractive power.
  • the anomalous dispersion of the material of the lens having the negative refractive power becomes appropriate, and the wavelength range of the visible light and the wavelength range of the infrared light ( For example, chromatic aberration of magnification in a wavelength range up to about 1000 nm) can be favorably corrected.
  • conditional expression (14) exceeds the upper limit, the effect of the anomalous dispersion of the material of the lens having a negative refractive power becomes excessive, so that it becomes difficult to correct lateral chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (14) By setting the upper limit of conditional expression (14) to 0.75, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the first to sixth embodiments may satisfy the following conditional expressions (15) to (17).
  • Conditional expression (15) defines the power (refractive power) of the first lens group G1.
  • Conditional expression (16) defines the power (refractive power) of the second lens group G2.
  • Conditional expression (17) defines the power (refractive power) of the third lens group G3.
  • conditional expression (15) When the corresponding value of the conditional expression (15) is below the lower limit, the negative power of the first lens group G1 becomes excessive, so that the Petzval sum increases on the negative side, and it becomes difficult to correct the field curvature. .
  • the lower limit of conditional expression (15) By setting the lower limit of conditional expression (15) to 1.7, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • conditional expression (15) exceeds the upper limit, the negative power of the first lens group G1 becomes insufficient, so that the Petzval sum increases to the plus side, and it becomes difficult to correct the field curvature.
  • conditional expression (16) If the corresponding value of the conditional expression (16) is below the lower limit, the positive power of the second lens group G2 becomes excessive, so that it becomes difficult to correct off-axis aberrations, particularly coma and chromatic aberration of magnification. Further, the Petzval sum increases to the plus side, and it becomes difficult to correct the field curvature.
  • conditional expression (16) exceeds the upper limit, the positive power of the second lens group G2 becomes insufficient, so that the Petzval sum increases on the minus side, and it becomes difficult to correct the field curvature.
  • conditional expression (17) When the corresponding value of the conditional expression (17) is below the lower limit, the negative power of the third lens group G3 becomes excessive, so that the Petzval sum increases on the minus side, and it becomes difficult to correct the field curvature. . Further, the distance (back focus) between the scanning optical system SL and the primary image plane 13 is shortened, so that the reflection of dust or the like on the lens surface on the primary image plane side is likely to occur.
  • the lower limit of conditional expression (17) By setting the lower limit of conditional expression (17) to 0.85, the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • conditional expression (17) exceeds the upper limit, the negative power of the third lens group G3 is insufficient, so that the Petzval sum increases on the positive side, and it becomes difficult to correct the field curvature.
  • the lens surface on the scanning mechanism 31 side of the lens disposed closest to the scanning mechanism 31 of the first lens group G1 has a concave surface
  • the third lens group G3 has a concave surface
  • the lens surface on the objective lens 24 side of the lens disposed closest to the objective lens 24 may be concave. This makes it possible to favorably correct off-axis aberrations, particularly curvature of field.
  • the second lens group G2 may include the above-described lens having a positive refractive power. This makes it possible to favorably correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the second lens group G2 may have at least one cemented lens. This makes it possible to favorably correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the cemented lens (of the second lens group G2) may include the above-described lens having a positive refractive power. This makes it possible to favorably correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the third lens group G3 may include a first cemented lens and a second cemented lens arranged in order from the scanning mechanism 31 side. . This makes it possible to favorably correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the scanning optical system SL according to the first to sixth embodiments may satisfy the following conditional expression (18).
  • ⁇ d3 is an Abbe number based on the d line of the positive lens constituting the first cemented lens
  • the refractive index of the positive lens for the d line is nd3
  • the refractive index of the positive lens for the F line is nF3
  • ⁇ d3 (nd3-1) / (nF3-nC3) defined by the following equation.
  • Conditional expression (18) is a relation between the Abbe number of the positive lens forming the first cemented lens based on the d-line and the Abbe number of the negative lens forming the first cemented lens based on the d-line. Is defined.
  • the first lens group G1 may be composed of one cemented lens or a single lens.
  • the third lens group G3 may be composed of two cemented lenses. Note that the second lens group G2 is disposed between the first lens group G1 and the third lens group G3.
  • the scanning optical system SL according to the first to sixth embodiments may satisfy the following conditional expression (19).
  • FOV maximum field number of the scanning optical system
  • Fh focal length of the scanning optical system
  • NAob numerical aperture of the objective lens 24
  • Fob focal length of the objective lens 24
  • Conditional expression (19) defines the relationship between the maximum field number and focal length of the scanning optical system SL and the numerical aperture and focal length of the objective lens 24.
  • the conditional expression (19) can be expressed as the following expression (19-1).
  • the focal length of the lens is f
  • the maximum image height is y
  • the half angle of view is ⁇
  • the numerical aperture NA
  • the pupil diameter is ⁇ .
  • Wh substantially means the angle of view at the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL.
  • the lens focal length f and numerical aperture NA
  • Pob substantially means half the pupil diameter of the objective lens 24. That is, in the conditional expression (19-1), Wh corresponds to the angle of view of the scanning optical system SL at the maximum number of fields, and Pob corresponds to the pupil diameter of the objective lens 24. Therefore, by satisfying conditional expression (19-1), that is, conditional expression (19), the pupil diameter of the objective lens 24 can be sufficiently ensured with respect to the maximum number of fields of view of the scanning optical system SL, and the sample SA It is possible to secure a wide field of view and high resolution.
  • conditional expression (19) If the corresponding value of the conditional expression (19) is below the lower limit, even if the maximum field number of the scanning optical system SL is increased to widen the field of view, the pupil diameter of the objective lens 24 cannot be sufficiently secured. In addition, it becomes difficult to observe the sample SA with a sufficient resolution. Further, since the focal length of the scanning optical system SL increases, the numerical aperture of the scanning optical system SL decreases. As a result, the diameter of the laser beam (beam diameter of the excitation light) incident on the objective lens 24 becomes small, and it becomes difficult to observe the sample SA with sufficient resolution. By setting the lower limit of conditional expression (19) to 4.0 [mm], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • the scanning optical system SL according to the first to sixth embodiments may satisfy the following conditional expression (20).
  • ⁇ b is the diameter of the laser light (beam diameter of the excitation light) incident on the scanning optical system SL from the scanning mechanism 31.
  • ⁇ b the maximum angle formed by the optical axis of the laser beam incident on the scanning optical system SL from the scanning mechanism 31
  • Conditional expression (20) satisfies the diameter of the laser beam incident on the scanning optical system SL from the scanning mechanism 31 (for example, the diameter of the laser beam reflected by the galvanomirror of the scanning mechanism 31) and the scanning optical system SL from the scanning mechanism 31. This defines the relationship with the maximum angle formed by the optical axis of the incident laser light (for example, the maximum angle of the laser light inclined with respect to the optical axis by the galvanometer mirror of the scanning mechanism 31).
  • conditional expression (20) If the corresponding value of the conditional expression (20) is below the lower limit, a sufficient laser beam diameter (beam diameter of excitation light) can be obtained even if the maximum field of view of the scanning optical system SL is increased to widen the field of view. Therefore, a sufficient resolution for the sample SA cannot be obtained. Further, if it is attempted to ensure a sufficient resolution for the sample SA, it becomes difficult to widen the field of view.
  • the lower limit of conditional expression (20) By setting the lower limit of conditional expression (20) to 70 [mm ⁇ degree], the effect of the present embodiment can be further ensured.
  • each lens group is represented by a combination of a symbol G and a numeral, and each lens is represented by a combination of a symbol L and a numeral. .
  • the lens groups and the like are represented by using a combination of codes and numbers independently for each embodiment. For this reason, even if the same combination of reference numerals and numbers is used between the embodiments, it does not mean that the same configuration is used.
  • Tables 1 to 7 are shown below, of which Table 1 is the first embodiment, Table 2 is the second embodiment, Table 3 is the third embodiment, Table 4 is the fourth embodiment, and Table 5 is the fourth embodiment.
  • Fifth Example Table 6 is a table showing the specification data in the sixth example, and Table 7 is a table showing the specification data in the seventh example.
  • Fh indicates the focal length of the entire scanning optical system.
  • FOV indicates the maximum field number of the scanning optical system.
  • NAob indicates the numerical aperture of the objective lens.
  • Fob indicates the focal length of the objective lens.
  • ⁇ b indicates the diameter of the laser beam incident on the scanning optical system from the scanning mechanism.
  • ⁇ b indicates the maximum angle between the optical axis of the laser beam entering the scanning optical system from the scanning mechanism.
  • the surface numbers indicate the order of optical surfaces from the pupil conjugate plane (scanning mechanism) side along the direction in which light rays travel.
  • R indicates the radius of curvature of each optical surface (the surface whose center of curvature is located on the image surface side has a positive value).
  • D indicates a surface interval, which is the distance on the optical axis from each optical surface to the next optical surface (or image surface).
  • ⁇ d indicates the Abbe number based on the d-line of the material of the optical member.
  • nd indicates the refractive index for the d-line of the material of the optical member.
  • the Abbe number ⁇ d based on the d-line of the material of the optical member is defined by the following equation (A).
  • the partial dispersion ratio ⁇ gF of the material of the optical member is defined by the following equation (B).
  • ⁇ gF (ng ⁇ nF) / (nF ⁇ nC) ⁇ (B)
  • the partial dispersion ratio ⁇ Ct of the material of the optical member is defined by the following equation (C).
  • the [lens group data] table shows the starting surface (the surface closest to the scanning mechanism) and the focal length of each lens group.
  • mm is generally used for the focal length Fh, the radius of curvature R, the surface interval D, and other lengths unless otherwise specified, but the optical system is proportionally enlarged unless otherwise specified. Alternatively, the same optical performance can be obtained even if the proportion is reduced, and the present invention is not limited to this.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a lens configuration of a scanning optical system according to a first example of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (1) according to the first example includes a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power arranged in order from the pupil conjugate plane P side. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the above-described scanning mechanism 31 (such as a galvanometer mirror) is disposed near the pupil conjugate plane P.
  • the image plane I corresponds to the above-mentioned imaging plane 13.
  • the sign (+) or (-) attached to each lens group symbol indicates the refractive power of each lens group. This is the same in all the following embodiments.
  • the first lens group G1 includes a cemented lens composed of a negative meniscus lens L11 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P and a positive meniscus lens L12 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P.
  • the second lens group G2 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a positive meniscus lens L21 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P side, a biconvex positive lens L22, and a biconvex positive lens L23. It is composed of a cemented lens with a plano-concave negative lens L24 and a biconvex positive lens L25.
  • the third lens group G3 includes a first meniscus lens L31 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P and a negative meniscus lens L32 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P side. And a second cemented lens of a biconvex positive lens L33 and a biconcave negative lens L34.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 1 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the first example.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the first example.
  • FNO indicates an F number
  • Y indicates an image height.
  • the spherical aberration diagram shows the value of the F-number corresponding to the maximum aperture
  • the astigmatism diagram and the distortion diagram show the maximum value of the image height
  • the coma diagram shows the value of each image height.
  • a solid line indicates a sagittal image plane
  • a broken line indicates a meridional image plane. Note that, in the aberration diagrams of each embodiment described below, the same reference numerals are used as in the present embodiment, and overlapping descriptions are omitted.
  • the scanning optical system according to Example 1 has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • FIG. 4 is a diagram showing a lens configuration of a scanning optical system according to a second example of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (2) according to the second example includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes a cemented lens composed of a negative meniscus lens L11 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P and a positive meniscus lens L12 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P.
  • the second lens group G2 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a biconvex positive lens L21, a cemented lens of a biconvex positive lens L22 and a plano-concave negative lens L23, and a pupil conjugate plane.
  • a positive meniscus lens L24 having a convex surface facing the P side.
  • the third lens group G3 includes a first meniscus lens L31 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P and a negative meniscus lens L32 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P side. And a second cemented lens of a biconvex positive lens L33 and a biconcave negative lens L34.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 2 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the second example.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the second example.
  • the scanning optical system according to Example 2 has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • FIG. 6 is a diagram showing a lens configuration of a scanning optical system according to a third example of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (3) according to the third example includes a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power arranged in order from the pupil conjugate plane P side. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes a negative meniscus lens L11 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P.
  • the second lens group G2 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a positive meniscus lens L21 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P side, and a biconvex positive lens L22 and a concave surface facing the pupil conjugate plane P side. And a cemented lens with the negative meniscus lens L23 and a biconvex positive lens L24.
  • the third lens group G3 includes a first meniscus lens L31 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P and a negative meniscus lens L32 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P side. And a second cemented lens of a biconvex positive lens L33 and a biconcave negative lens L34.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 3 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the third example.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the third example.
  • the scanning optical system according to Example 3 has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • FIG. 8 is a diagram showing a lens configuration of a scanning optical system according to Example 4 of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (4) according to the fourth example includes a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power arranged in order from the pupil conjugate plane P side. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes a negative meniscus lens L11 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P.
  • the second lens group G2 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a positive meniscus lens L21 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P side, and a biconvex positive lens L22 and a concave surface facing the pupil conjugate plane P side. And a cemented lens with the negative meniscus lens L23 and a biconvex positive lens L24.
  • the third lens group G3 includes a first meniscus lens L31 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P and a negative meniscus lens L32 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P side. And a second cemented lens of a biconvex positive lens L33 and a biconcave negative lens L34.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 4 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the fourth example.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the fourth example. From the aberration diagrams, the scanning optical system according to the fourth example has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • FIG. 10 is a diagram showing a lens configuration of a scanning optical system according to Example 5 of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (5) according to the fifth example includes a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power arranged in order from the pupil conjugate plane P side. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes a cemented lens composed of a negative meniscus lens L11 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P and a positive meniscus lens L12 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P.
  • the second lens group G2 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a positive meniscus lens L21 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P side, a biconvex positive lens L22, and a biconvex positive lens L23. It comprises a cemented lens with a biconcave negative lens L24 and a positive meniscus lens L25 with the convex surface facing the pupil conjugate plane P side.
  • the third lens group G3 includes a first meniscus lens L31 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P and a positive meniscus lens L32 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P. And a second cemented lens of a biconvex positive lens L33 and a biconcave negative lens L34.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 5 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the fifth example.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the fifth example. From the aberration diagrams, the scanning optical system according to the fifth example has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • FIG. 12 is a diagram showing a lens configuration of a scanning optical system according to Example 6 of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (6) according to the sixth example includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes a cemented lens composed of a negative meniscus lens L11 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P and a positive meniscus lens L12 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P.
  • the second lens group G2 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a positive meniscus lens L21 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P side, and a biconvex positive lens L22 and a concave surface facing the pupil conjugate plane P side.
  • a negative meniscus lens L23 and a positive meniscus lens L24 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P side.
  • the third lens group G3 includes a first meniscus lens L31 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P and a negative meniscus lens L32 having a convex surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P side. And a second cemented lens of a biconvex positive lens L33 and a biconcave negative lens L34.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 6 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the sixth example.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the sixth example. From the aberration diagrams, it can be seen that the scanning optical system according to Example 6 has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating a lens configuration of a scanning optical system according to Example 7 of the first to sixth embodiments.
  • the scanning optical system SL (7) according to the seventh example includes a first lens group G1 having a negative refractive power and a second lens group G2 having a positive refractive power arranged in order from the pupil conjugate plane P side. , And a third lens group G3 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 is composed of a cemented lens of a biconcave negative lens L11 and a biconvex positive lens L12.
  • the second lens group G2 includes a biconvex positive lens L21, a biconvex positive lens L22, and a negative meniscus lens L23 having a concave surface facing the pupil conjugate plane P, which are arranged in order from the pupil conjugate plane P. It comprises a first cemented lens and a second cemented lens of a biconvex positive lens L24 and a biconcave negative lens L25.
  • the third lens group G3 includes, in order from the pupil conjugate plane P side, a first cemented lens of a biconvex positive lens L31 and a biconcave negative lens L32, and a biconvex positive lens L33. It comprises a negative lens L34 having a concave shape and a second cemented lens.
  • the image plane I is arranged on the objective lens side of the third lens group G3.
  • Table 7 below shows values of specifications of the scanning optical system according to the seventh example.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating various aberrations of the scanning optical system according to the seventh example.
  • the scanning optical system according to Example 7 has excellent imaging performance in which various aberrations such as chromatic aberration of magnification are well corrected in a wide wavelength range from the g-line to the t-line. You can see that.
  • each of the above examples shows a specific example of the first to sixth embodiments, and each embodiment is not limited thereto.
  • the microscope provided with the scanning optical system according to the first to sixth embodiments is not limited to the scanning confocal microscope 1 shown in FIG. 1, but the multiphoton excitation scanning corresponding to the fluorescence observation by the multiphoton excitation. It may be a type confocal microscope. Therefore, a multi-photon excitation scanning confocal microscope 101 will be described as a modification of the scanning confocal microscope provided with the scanning optical system according to the first to sixth embodiments with reference to FIG.
  • the multiphoton excitation scanning confocal microscope 101 includes an excitation light introducing unit 102 that guides an illumination laser beam onto the sample SA, and a scanning device that deflects the laser beam focused on the sample SA and scans the sample SA.
  • a light detection device 5 for detecting a light intensity signal from the sample SA a light detection device 5 for detecting a light intensity signal from the sample SA
  • a second light detection device 108 for detecting a light intensity signal from the sample SA corresponding to multiphoton excitation and light from the sample SA. It is mainly composed of a condensing optical system 104 leading to the light detection device 5.
  • This multiphoton excitation scanning confocal microscope 101 is obtained by partially changing the configuration of the scanning confocal microscope 1 described above.
  • the same components for example, the scanning device 3 and the light detection device 5
  • the scanning confocal microscope 1 described above are used for the scanning confocal microscope 1
  • the same reference numerals are given as in the case of and the detailed description is omitted.
  • the excitation light introducing unit 102 includes a light source unit 121 including a laser light source and a beam diameter adjusting mechanism, and a dichroic mirror 122 that reflects the pulsed laser light (light flux) oscillated from the light source unit 121 toward the sample SA. It is configured with.
  • the laser light reflected by the dichroic mirror 122 is focused on the sample SA by the second objective lens 23 and the objective lens 24.
  • the second objective lens 23 is provided in the lens barrel 11 of the microscope main body 10, and the dichroic mirror 122 is provided in the microscope housing 12 provided above the lens barrel 11.
  • the scanning device 3 includes a scanning mechanism (scanner) 31 and a scanning optical system 32.
  • the scanning device 3 is provided between the dichroic mirror 122 and the second objective lens 23 in the microscope housing 12.
  • the condensing optical system 104 includes the objective lens 24 and the second objective lens 23, a total reflection mirror 142 that reflects the fluorescence from the sample SA, and the fluorescence reflected by the total reflection mirror 142, And a first condensing lens 141 for condensing light on the light shielding plate 52 having.
  • the total reflection mirror 142 and the first condenser lens 141 are disposed above the dichroic mirror 122 in the microscope housing 12.
  • the light detection device 5 includes a light-shielding plate 52 having a pinhole 51 (opening), an optical fiber 53, and a detection unit 55.
  • the light-shielding plate 52 is disposed in the microscope housing 12, and the optical fiber 53 is connected to the microscope housing 12 and the detection unit 55 using connectors C1 and C2.
  • the processing unit 57 is electrically connected to the detection unit 55 via a cable 56.
  • the second light detection device 108 includes a dichroic mirror 181 disposed between the objective lens 24 and the second objective lens 23, relay lenses 182 and 183, and a detection unit 184.
  • the processing unit 57 is electrically connected to the detection unit 184 via a cable 185, and image processing (of the sample SA) is performed based on the detection signal detected by the detection unit 184.
  • An observation image of the sample SA obtained by the processing is displayed on a monitor (not shown).
  • the incident surface of the detection unit 184 in the second light detection device 108 is disposed so as to be substantially conjugate with the pupil surface of the objective lens 24. Therefore, by being configured to condense on the sample SA with the objective lens 24, it is possible to cause the fluorescence passing through the objective lens 24 among the fluorescence generated by the multiphoton excitation to reach the detection unit 184 without leakage. Becomes Accordingly, it is possible to detect the fluorescence scattered inside the sample SA, and it is possible to obtain a brighter observation image (of the sample SA). In the case of a multiphoton excitation type confocal microscope, the multiphoton excitation phenomenon occurs only in a minute area near the focal point of the objective lens 24. Therefore, an image in the vicinity of the focal plane of the objective lens can be obtained without using a pinhole, similarly to a normal confocal microscope.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

走査光学系（ＳＬ）は、負の屈折力を有する第１レンズ群（Ｇ１）と、正の屈折力を有する第２レンズ群（Ｇ２）と、負の屈折力を有する第３レンズ群（Ｇ３）とを有し、第１レンズ群（Ｇ１）、第２レンズ群（Ｇ２）、および第３レンズ群（Ｇ３）のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、　νｄ１＞８０　第１レンズ群（Ｇ１）、第２レンズ群（Ｇ２）、および第３レンズ群（Ｇ３）のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、　νｄ２＜５０　以下の条件式を満足している。　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］　但し、ｈｍａｘ：対物レンズの後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離　νｄ１：正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、ｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１とし、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）　νｄ２：負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、ｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２とし、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）

Description

走査光学系および走査型共焦点顕微鏡
　本発明は、走査光学系および走査型共焦点顕微鏡に関する。
　走査型蛍光顕微鏡では、走査手段と対物レンズ光学系との間に配置された瞳投影レンズが設けられている（例えば、特許文献１を参照）。
米国特許出願公開第２００７／０１５３３６７号明細書
　第１の態様に係る走査光学系は、対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　νｄ１＞８０
　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　νｄ２＜５０
　以下の条件式を満足する。
　　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］
　　但し、ｈｍａｘ：前記対物レンズの後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離
　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　第２の態様に係る走査光学系は、対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
　以下の条件式を満足する。
　　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］
　　但し、ｈｍａｘ：前記対物レンズの後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離
　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　　　　　θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　第３の態様に係る走査光学系は、対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　νｄ１＞８０
　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　νｄ２＜５０
　以下の条件式を満足する。
　　ＦＯＶ≧２３［ｍｍ］
　　但し、ＦＯＶ：前記走査光学系の最大視野数
　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　第４の態様に係る走査光学系は、対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
　以下の条件式を満足する。
　　ＦＯＶ≧２３［ｍｍ］
　　但し、ＦＯＶ：前記走査光学系の最大視野数
　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　　　　　θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　第５の態様に係る走査光学系は、対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　νｄ１＞８０
　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　νｄ２＜５０
　以下の条件式を満足する。
　　Φｍａｘ≧４８．０［ｍｍ］
　　但し、Φｍａｘ：前記走査光学系の最大外径
　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　第６の態様に係る走査光学系は、対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
　以下の条件式を満足する。
　　Φｍａｘ≧４８．０［ｍｍ］
　　但し、Φｍａｘ：前記走査光学系の最大外径
　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　　　　　θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　第７の態様に係る走査型共焦点顕微鏡は、前記対物レンズと、前記走査機構と、第１～第６の態様に係る走査光学系とを備える。
走査光学系を備えた走査型共焦点顕微鏡の構成を示す説明図である。 第１実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第１実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 第２実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第２実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 第３実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第３実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 第４実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第４実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 第５実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第５実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 第６実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第６実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 第７実施例に係る走査光学系のレンズ構成図である。 第７実施例に係る走査光学系の諸収差図である。 走査光学系を備えた走査型共焦点顕微鏡の変形例を示す説明図である。
　以下、第１～第６実施形態に係る走査光学系および走査型共焦点顕微鏡について説明する。まず、図１を用いて、第１～第６実施形態に係る走査光学系を備えた走査型共焦点顕微鏡１について説明する。この走査型共焦点顕微鏡１は、光源ユニット６からの照明用レーザ光を試料ＳＡ上に集光する第１集光光学系２と、試料ＳＡ上に集光されるレーザ光を偏向して試料ＳＡ上で走査する走査装置３と、試料ＳＡからの光強度信号を検出する光検出装置５と、試料ＳＡからの光を光検出装置５に導く第２集光光学系４とを主体に構成される。
　第１集光光学系２は、光源ユニット６から発振されたレーザ光（光束）を平行光に変換するコリメータレンズ２１と、コリメータレンズ２１からのレーザ光を試料ＳＡに向けて反射するダイクロイックミラー２２と、ダイクロイックミラー２２で反射したレーザ光を試料ＳＡ上に集光する第２対物レンズ２３および対物レンズ２４とを備えて構成される。第２対物レンズ２３は顕微鏡本体１０の鏡筒部１１内に配設され、コリメータレンズ２１およびダイクロイックミラー２２は鏡筒部１１の上部に設けられた顕微鏡筐体部１２内に配設される。なお、光源ユニット６と顕微鏡筐体部１２とはコネクタＣ３，Ｃ４を用いて光ファイバ６９により接続されている。
　走査装置３は、例えばガルバノミラー（図示せず）またはレゾナントミラー（図示せず）を有して構成される走査機構（スキャナ）３１と、走査光学系３２とを備えて構成され、顕微鏡筐体部１２内におけるダイクロイックミラー２２と第２対物レンズ２３との間に配設される。走査機構（スキャナ）３１は、入射するレーザ光を偏向する。つまり、走査機構（スキャナ）３１は、試料ＳＡ上に集光されるレーザ光を偏向して試料ＳＡ上で走査する。走査光学系３２は、対物レンズ２４と走査機構（スキャナ）３１との間に設けられる光学系である。また、走査光学系３２は、走査光学系３２の焦点位置が試料ＳＡ（試料ＳＡの走査面）と共役な像面Ｉに位置する光学系である。
　第２集光光学系４は、対物レンズ２４および第２対物レンズ２３と、試料ＳＡからの蛍光が反射する全反射ミラー４２と、全反射ミラー４２で反射した蛍光を、光検出装置５のピンホール５１を有した遮光板５２上に集光する第１集光レンズ４１とを備えて構成される。全反射ミラー４２および第１集光レンズ４１は、顕微鏡筐体部１２内におけるダイクロイックミラー２２およびコリメータレンズ２１の上方に配設される。
　光検出装置５は、ピンホール５１（開口）を有する遮光板５２と、ピンホール５１を通過した光（蛍光）が入射する光ファイバ５３と、ピンホール５１および光ファイバ５３を通過した光（蛍光）を検出する検出ユニット５５とを備えて構成される。遮光板５２は顕微鏡筐体部１２内に配設され、光ファイバ５３はコネクタＣ１，Ｃ２を用いて顕微鏡筐体部１２と検出ユニット５５に接続される。検出ユニット５５には、ケーブル５６を介して処理ユニット５７が電気的に接続されており、検出ユニット５５で検出された検出信号に基づく（試料ＳＡの）画像処理が行われ、処理ユニット５７の画像処理により得られた試料ＳＡの観察画像が図示しないモニターに表示される。なお、走査装置３から出射した照明光は一旦結像面（１次像面）１３に集光し、再度第２対物レンズ２３及び対物レンズ２４で試料ＳＡ上に集光するように構成されており、試料ＳＡの走査面、結像面１３およびピンホール５１が互いに共役の関係にある。
　走査光学系３２として、以降で述べる各実施形態に係る走査光学系ＳＬを用いることが可能である。そこでまず、走査光学系ＳＬの第１実施形態について説明する。第１実施形態に係る走査光学系ＳＬは、例えば、図２に示す走査光学系ＳＬ（１）のように、走査機構３１（瞳共役面Ｐ）側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２の前後に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３を配置することで、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図４に示す走査光学系ＳＬ（２）でも良く、図６に示す走査光学系ＳＬ（３）でも良く、図８に示す走査光学系ＳＬ（４）でも良い。また、第１実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図１０に示す走査光学系ＳＬ（５）でも良く、図１２に示す走査光学系ＳＬ（６）でも良く、図１４に示す走査光学系ＳＬ（７）でも良い。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式（１）を満足する。
　νｄ１＞８０　・・・（１）
　但し、νｄ１：正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　条件式（１）は、正の屈折力を有するレンズの材料のアッベ数を規定するものである。正の屈折力を有するレンズが条件式（１）を満足することで、正の屈折力を有するレンズにおける光の分散が小さくなるため、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（１）の対応値が下限値を下回ると、正の屈折力を有するレンズにおける光の分散が大きくなるため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（１）の下限値を９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式（２）を満足する。
　νｄ２＜５０　・・・（２）
　但し、νｄ２：負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　条件式（２）は、負の屈折力を有するレンズの材料のアッベ数を規定するものである。負の屈折力を有するレンズが条件式（２）を満足することで、光の分散が大きい負の屈折力を有するレンズと、光の分散が小さい正の屈折力を有するレンズとを組み合わせることにより、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（２）の対応値が上限値を上回ると、負の屈折力を有するレンズにおける光の分散が小さくなるため、（光の分散が小さい）正の屈折力を有するレンズとの組み合わせによる倍率色収差の補正が困難になる。条件式（２）の上限値を４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（３）を満足する。
　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］　・・・（３）
　但し、ｈｍａｘ：対物レンズ２４の後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離
　条件式（３）は、対物レンズ２４の後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離を規定するものである。条件式（３）を満足することで、最大像高が大きくなるため走査光学系ＳＬの最大視野数が大きくなり、視野を広くすることができる。第１実施形態によれば、条件式（１）～（３）を満足することにより、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能になる。
　なお、主光線は、開口絞りの中心を通る光線である。一般に、顕微鏡の対物レンズはテレセントリックを前提としており、対物レンズの後側焦点位置が対物レンズの射出瞳（開口絞り）の位置となる。そのため、走査型共焦点顕微鏡１における走査光学系ＳＬの主光線は、対物レンズ２４の後側焦点を通る。走査光学系ＳＬよりも走査機構３１側の位置に、対物レンズ２４の射出瞳と共役な瞳共役面Ｐが形成され、この瞳共役面Ｐの近傍に走査機構３１が配置される。また、各実施形態において、走査光学系ＳＬの最大視野数は、試料ＳＡ（試料ＳＡの走査面）と共役な像面Ｉの直径、すなわち第２対物レンズ２３による結像面１３（１次像面）の直径を示す。
　条件式（３）の対応値が下限値を下回ると、最大像高が小さくなるため走査光学系ＳＬの最大視野数が小さくなり、視野を広くすることが困難になる。条件式（３）の下限値を１８．３［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（４）を満足してもよい。
　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３　・・・（４）
　但し、θｇＦ１：正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　条件式（４）は、正の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比とアッベ数との関係を規定するものである。正の屈折力を有するレンズが条件式（４）を満足することで、正の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性を利用して、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（４）の対応値が下限値を下回ると、異常分散性の効果が不足するため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（４）の下限値を０．０４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（５）を満足してもよい。
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２　・・・（５）
　但し、θｇＦ２：負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　条件式（５）は、負の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比とアッベ数との関係を規定するものである。負の屈折力を有するレンズが条件式（５）を満足することで、負の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性を利用して、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（５）の対応値が上限値を上回ると、異常分散性の効果が不足するため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（５）の上限値を－０．００４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（６）を満足してもよい。
　θｇＦ１＜０．５５　・・・（６）
　条件式（６）は、正の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比を規定するものである。正の屈折力を有するレンズが条件式（６）を満足することで、正の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性が適度になり、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（６）の対応値が上限値を上回ると、正の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性の効果が過剰となるため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（６）の上限値を０．５３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（７）を満足してもよい。
　θｇＦ２＞０．５６　・・・（７）
　条件式（７）は、負の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比を規定するものである。負の屈折力を有するレンズが条件式（７）を満足することで、負の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性が適度になり、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（７）の対応値が下限値を下回ると、負の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性の効果が過剰となるため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（７）の下限値を０．５８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　次に、走査光学系の第２実施形態について説明する。第２実施形態に係る走査光学系は、第１実施形態に係る走査光学系ＳＬと同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して説明する。第２実施形態に係る走査光学系ＳＬは、例えば、図２に示す走査光学系ＳＬ（１）のように、走査機構３１（瞳共役面Ｐ）側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２の前後に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３を配置することで、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図４に示す走査光学系ＳＬ（２）でも良く、図６に示す走査光学系ＳＬ（３）でも良く、図８に示す走査光学系ＳＬ（４）でも良い。また、第２実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図１０に示す走査光学系ＳＬ（５）でも良く、図１２に示す走査光学系ＳＬ（６）でも良く、図１４に示す走査光学系ＳＬ（７）でも良い。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（４）を満足する。
　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３　・・・（４）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（４）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（４）の下限値を０．０４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（５）を満足する。
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２　・・・（５）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（５）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（５）の上限値を－０．００４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬは、先に述べた以下の条件式（３）を満足する。
　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］　・・・（３）
　条件式（３）を満足することで、第１実施形態と同様に、視野を広くすることができる。第２実施形態によれば、条件式（３）および条件式（４）～（５）を満足することにより、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能になる。なお、条件式（３）の下限値を１８．３［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（１）を満足してもよい。
　νｄ１＞８０　・・・（１）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（１）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（１）の下限値を９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（２）を満足してもよい。
　νｄ２＜５０　・・・（２）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（２）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（２）の上限値を４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（６）を満足してもよい。
　θｇＦ１＜０．５５　・・・（６）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（６）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（６）の上限値を０．５３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第２実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（７）を満足してもよい。
　θｇＦ２＞０．５６　・・・（７）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（７）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（７）の下限値を０．５８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　次に、走査光学系の第３実施形態について説明する。第３実施形態に係る走査光学系は、第１実施形態に係る走査光学系ＳＬと同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して説明する。第３実施形態に係る走査光学系ＳＬは、例えば、図２に示す走査光学系ＳＬ（１）のように、走査機構３１（瞳共役面Ｐ）側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２の前後に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３を配置することで、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図４に示す走査光学系ＳＬ（２）でも良く、図６に示す走査光学系ＳＬ（３）でも良く、図８に示す走査光学系ＳＬ（４）でも良い。また、第３実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図１０に示す走査光学系ＳＬ（５）でも良く、図１２に示す走査光学系ＳＬ（６）でも良く、図１４に示す走査光学系ＳＬ（７）でも良い。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（１）を満足する。
　νｄ１＞８０　・・・（１）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（１）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（１）の下限値を９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（２）を満足する。
　νｄ２＜５０　・・・（２）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（２）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（２）の上限値を４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（８）を満足する。
　ＦＯＶ≧２３［ｍｍ］　・・・（８）
　但し、ＦＯＶ：走査光学系ＳＬの最大視野数
　条件式（８）は、走査光学系ＳＬの最大視野数を規定するものである。条件式（８）を満足することで、走査光学系ＳＬの最大視野数が大きくなるため、視野を広くすることができる。第２実施形態によれば、条件式（１）～（２）および条件式（８）を満足することにより、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能になる。前述したように、走査光学系ＳＬの最大視野数は、試料ＳＡ（試料ＳＡの走査面）と共役な像面Ｉの直径、すなわち第２対物レンズ２３による結像面１３（１次像面）の直径を示す。
　条件式（８）の対応値が下限値を下回ると、走査光学系ＳＬの最大視野数が小さくなるため、視野を広くすることが困難になる。条件式（８）の下限値を２４［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（４）を満足してもよい。
　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３　・・・（４）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（４）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（４）の下限値を０．０４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（５）を満足してもよい。
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２　・・・（５）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（５）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（５）の上限値を－０．００４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（６）を満足してもよい。
　θｇＦ１＜０．５５　・・・（６）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（６）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（６）の上限値を０．５３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第３実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（７）を満足してもよい。
　θｇＦ２＞０．５６　・・・（７）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（７）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（７）の下限値を０．５８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　次に、走査光学系の第４実施形態について説明する。第４実施形態に係る走査光学系は、第１実施形態に係る走査光学系ＳＬと同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して説明する。第４実施形態に係る走査光学系ＳＬは、例えば、図２に示す走査光学系ＳＬ（１）のように、走査機構３１（瞳共役面Ｐ）側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２の前後に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３を配置することで、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図４に示す走査光学系ＳＬ（２）でも良く、図６に示す走査光学系ＳＬ（３）でも良く、図８に示す走査光学系ＳＬ（４）でも良い。また、第４実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図１０に示す走査光学系ＳＬ（５）でも良く、図１２に示す走査光学系ＳＬ（６）でも良く、図１４に示す走査光学系ＳＬ（７）でも良い。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（４）を満足する。
　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３　・・・（４）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（４）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（４）の下限値を０．０４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（５）を満足する。
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２　・・・（５）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（５）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（５）の上限値を－０．００４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬは、先に述べた以下の条件式（８）を満足する。
　ＦＯＶ≧２３［ｍｍ］　・・・（８）
　条件式（８）を満足することで、第１実施形態と同様に、視野を広くすることができる。第４実施形態によれば、条件式（４）～（５）および条件式（８）を満足することにより、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能になる。なお、条件式（８）の下限値を２４［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（１）を満足してもよい。
　νｄ１＞８０　・・・（１）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（１）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（１）の下限値を９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（２）を満足してもよい。
　νｄ２＜５０　・・・（２）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（２）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（２）の上限値を４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（６）を満足してもよい。
　θｇＦ１＜０．５５　・・・（６）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（６）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（６）の上限値を０．５３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第４実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（７）を満足してもよい。
　θｇＦ２＞０．５６　・・・（７）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（７）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（７）の下限値を０．５８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　次に、走査光学系の第５実施形態について説明する。第５実施形態に係る走査光学系は、第１実施形態に係る走査光学系ＳＬと同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して説明する。第５実施形態に係る走査光学系ＳＬは、例えば、図２に示す走査光学系ＳＬ（１）のように、走査機構３１（瞳共役面Ｐ）側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２の前後に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３を配置することで、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図４に示す走査光学系ＳＬ（２）でも良く、図６に示す走査光学系ＳＬ（３）でも良く、図８に示す走査光学系ＳＬ（４）でも良い。また、第５実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図１０に示す走査光学系ＳＬ（５）でも良く、図１２に示す走査光学系ＳＬ（６）でも良く、図１４に示す走査光学系ＳＬ（７）でも良い。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（１）を満足する。
　νｄ１＞８０　・・・（１）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（１）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（１）の下限値を９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（２）を満足する。
　νｄ２＜５０　・・・（２）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（２）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（２）の上限値を４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（９）を満足する。
　Φｍａｘ≧４８．０［ｍｍ］　・・・（９）
　　但し、Φｍａｘ：走査光学系ＳＬの最大外径
　条件式（９）は、走査光学系ＳＬの最大外径を規定するものである。条件式（９）を満足することで、走査光学系ＳＬの最大外径が大きくなるため走査光学系ＳＬの最大視野数を大きくすることが可能になり、視野を広くすることができる。第５実施形態によれば、条件式（１）～（２）および条件式（９）を満足することにより、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能になる。
　条件式（９）の対応値が下限値を下回ると、走査光学系ＳＬの最大外径が小さくなるため走査光学系ＳＬの最大視野数が小さくなり、視野を広くすることが困難になる。条件式（９）の下限値を４８．５［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（４）を満足してもよい。
　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３　・・・（４）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（４）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（４）の下限値を０．０４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（５）を満足してもよい。
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２　・・・（５）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（５）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（５）の上限値を－０．００４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（６）を満足してもよい。
　θｇＦ１＜０．５５　・・・（６）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（６）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（６）の上限値を０．５３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第５実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（７）を満足してもよい。
　θｇＦ２＞０．５６　・・・（７）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（７）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（７）の下限値を０．５８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　次に、走査光学系の第６実施形態について説明する。第６実施形態に係る走査光学系は、第１実施形態に係る走査光学系ＳＬと同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して説明する。第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、例えば、図２に示す走査光学系ＳＬ（１）のように、走査機構３１（瞳共役面Ｐ）側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２の前後に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３を配置することで、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図４に示す走査光学系ＳＬ（２）でも良く、図６に示す走査光学系ＳＬ（３）でも良く、図８に示す走査光学系ＳＬ（４）でも良い。また、第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、図１０に示す走査光学系ＳＬ（５）でも良く、図１２に示す走査光学系ＳＬ（６）でも良く、図１４に示す走査光学系ＳＬ（７）でも良い。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（４）を満足する。
　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３　・・・（４）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（４）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（４）の下限値を０．０４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、および第３レンズ群Ｇ３のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して、先に述べた以下の条件式（５）を満足する。
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２　・・・（５）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（５）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（５）の上限値を－０．００４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、先に述べた以下の条件式（９）を満足する。
　Φｍａｘ≧４８．０［ｍｍ］　・・・（９）
　条件式（９）を満足することで、第１実施形態と同様に、視野を広くすることができる。第６実施形態によれば、条件式（４）～（５）および条件式（９）を満足することにより、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能になる。なお、条件式（９）の下限値を４８．５［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（１）を満足してもよい。
　νｄ１＞８０　・・・（１）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（１）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（１）の下限値を９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（２）を満足してもよい。
　νｄ２＜５０　・・・（２）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（２）を満足することで、第１実施形態と同様に、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（２）の上限値を４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（６）を満足してもよい。
　θｇＦ１＜０．５５　・・・（６）
　正の屈折力を有するレンズが条件式（６）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（６）の上限値を０．５３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、先に述べた以下の条件式（７）を満足してもよい。
　θｇＦ２＞０．５６　・・・（７）
　負の屈折力を有するレンズが条件式（７）を満足することで、第１実施形態と同様に、可視光の波長域における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。なお、条件式（７）の下限値を０．５８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　なお、第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（１０）を満足してもよい。
　０．３５＜ＦＯＶ／Ｆｈ＜０．５５　・・・（１０）
　但し、ＦＯＶ：走査光学系ＳＬの最大視野数
　　　　Ｆｈ：走査光学系ＳＬの焦点距離
　条件式（１０）は、走査光学系ＳＬの最大視野数と走査光学系ＳＬの焦点距離との関係を規定するものである。条件式（１０）を満足することで、走査機構３１の大きさを適切に保ち、走査速度を維持しつつ、走査光学系ＳＬの最大視野数を大きくして、試料ＳＡ上での広い視野を得ることが可能となる。
　条件式（１０）の対応値が下限値を下回ると、走査光学系ＳＬの焦点距離が長くなり、走査光学系ＳＬの開口数が小さくなる。その結果、明るさを確保するために、走査機構３１が配置される瞳の径を大きくする必要があり、走査機構３１が大型化する。条件式（１０）の下限値を０．４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１０）の対応値が上限値を上回ると、走査光学系ＳＬの焦点距離が短くなり、走査機構３１によるレーザ光の振れ角を大きくする必要がある。その結果、走査機構３１によりレーザ光を試料ＳＡ上で走査する速度が低下する。また、走査光学系ＳＬの焦点距離が短くなると、視野周辺部において、像面湾曲、倍率色収差等の結像性能が低下する。条件式（１０）の上限値を０．５０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（１１）を満足してもよい。
　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＜－０．０５　・・・（１１）
　但し、θＣｔ１：正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１とし、正の屈折力を有するレンズのｔ線に対する屈折率をｎｔ１とし、正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１としたとき、次式で定義される
　θＣｔ１＝（ｎＣ１－ｎｔ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
　条件式（１１）は、正の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比とアッベ数との関係を規定するものである。正の屈折力を有するレンズが条件式（１１）を満足することで、正の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性を利用して、可視光の波長域および赤外光の波長域（例えば、１０００ｎｍ位までの波長域）における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。これにより、７００ｎｍ～１０００ｎｍ位の波長域の励起光を使用する、多光子励起による蛍光観察に対応した走査型共焦点顕微鏡においても、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（１１）の対応値が上限値を上回ると、異常分散性の効果が不足するため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（１１）の上限値を－０．１０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（１２）を満足してもよい。
　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＞０．０１　・・・（１２）
　但し、θＣｔ２：負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２とし、負の屈折力を有するレンズのｔ線に対する屈折率をｎｔ２とし、負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２としたとき、次式で定義される
　θＣｔ２＝（ｎＣ２－ｎｔ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
　条件式（１２）は、負の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比とアッベ数との関係を規定するものである。負の屈折力を有するレンズが条件式（１２）を満足することで、負の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性を利用して、可視光の波長域および赤外光の波長域（例えば、１０００ｎｍ位までの波長域）における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。これにより、７００ｎｍ～１０００ｎｍ位の波長域の励起光を使用する、多光子励起による蛍光観察に対応した走査型共焦点顕微鏡においても、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（１２）の対応値が下限値を下回ると、異常分散性の効果が不足するため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（１２）の下限値を０．０１５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（１３）を満足してもよい。
　θＣｔ１＞０．７９　・・・（１３）
　条件式（１３）は、正の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比を規定するものである。正の屈折力を有するレンズが条件式（１３）を満足することで、正の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性が適度になり、可視光の波長域および赤外光の波長域（例えば、１０００ｎｍ位までの波長域）における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（１３）の対応値が下限値を下回ると、正の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性の効果が過剰となるため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（１３）の下限値を０．８２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、上述した少なくとも１個の負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式（１４）を満足してもよい。
　θＣｔ２＜０．８　・・・（１４）
　条件式（１４）は、負の屈折力を有するレンズの材料の部分分散比を規定するものである。負の屈折力を有するレンズが条件式（１４）を満足することで、負の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性が適度になり、可視光の波長域および赤外光の波長域（例えば、１０００ｎｍ位までの波長域）における倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　条件式（１４）の対応値が上限値を上回ると、負の屈折力を有するレンズの材料の異常分散性の効果が過剰となるため、倍率色収差の補正が困難になる。条件式（１４）の上限値を０．７５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（１５）～（１７）を満足してもよい。
　１．５＜（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＜５．０　・・・（１５）
　０．６＜Ｆｈ２／Ｆｈ＜０．９　・・・（１６）
　０．８＜（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＜１．３　・・・（１７）
　但し、Ｆｈ１：第１レンズ群Ｇ１の焦点距離
　　　　Ｆｈ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離
　　　　Ｆｈ３：第３レンズ群Ｇ３の焦点距離
　　　　Ｆｈ：走査光学系ＳＬの焦点距離
　条件式（１５）は、第１レンズ群Ｇ１のパワー（屈折力）を規定するものである。条件式（１６）は、第２レンズ群Ｇ２のパワー（屈折力）を規定するものである。条件式（１７）は、第３レンズ群Ｇ３のパワー（屈折力）を規定するものである。条件式（１５）～（１７）を満足することで、走査機構３１と走査光学系ＳＬとの間の距離および、走査光学系ＳＬと第２対物レンズ２３による結像面１３（１次像面）との間の距離を、適切な距離に保つことができる。また、ペッツバール和を零に近づけることができ、像面湾曲を良好に補正することが可能になる。
　条件式（１５）の対応値が下限値を下回ると、第１レンズ群Ｇ１の負のパワーが過剰となるため、ペッツバール和がマイナス側に大きくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。条件式（１５）の下限値を１．７に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１５）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群Ｇ１の負のパワーが不足するため、ペッツバール和がプラス側に大きくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。条件式（１５）の上限値を４．６に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１６）の対応値が下限値を下回ると、第２レンズ群Ｇ２の正のパワーが過剰となるため、軸外収差、特にコマ収差、倍率色収差の補正が困難になる。また、ペッツバール和がプラス側に大きくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。条件式（１６）の下限値を０．６５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１６）の対応値が上限値を上回ると、第２レンズ群Ｇ２の正のパワーが不足するため、ペッツバール和がマイナス側に大きくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。条件式（１６）の上限値を０．８５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１７）の対応値が下限値を下回ると、第３レンズ群Ｇ３の負のパワーが過剰となるため、ペッツバール和がマイナス側に大きくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。また、走査光学系ＳＬと１次像面１３との間の距離（バックフォーカス）が短くなり、１次像面側のレンズ面のゴミ等の映り込みが発生しやすくなる。条件式（１７）の下限値を０．８５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１７）の対応値が上限値を上回ると、第３レンズ群Ｇ３の負のパワーが不足するため、ペッツバール和がプラス側に大きくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。条件式（１７）の上限値を１．２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１の最も走査機構３１側に配置されたレンズにおける走査機構３１側のレンズ面が凹面であり、第３レンズ群Ｇ３の最も対物レンズ２４側に配置されたレンズにおける対物レンズ２４側のレンズ面が凹面であってもよい。これにより、軸外収差、特に像面湾曲の補正を良好に行うことができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第２レンズ群Ｇ２は、上述した正の屈折力を有するレンズを有してもよい。これにより、軸上色収差、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも１個の接合レンズを有してもよい。これにより、軸上色収差、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、（第２レンズ群Ｇ２の）接合レンズは、上述した正の屈折力を有するレンズを有してもよい。これにより、軸上色収差、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第３レンズ群Ｇ３は、走査機構３１側から順に並んだ、第１の接合レンズと、第２の接合レンズとを有してもよい。これにより、軸上色収差、倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（１８）を満足してもよい。
　νｄ３＜νｄ４　・・・（１８）
　但し、νｄ３：第１の接合レンズを構成する正レンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、正レンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ３とし、正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ３とし、正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ３としたとき、次式で定義される
　νｄ３＝（ｎｄ３－１）／（ｎＦ３－ｎＣ３）
　　　　νｄ４：第１の接合レンズを構成する負レンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、負レンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ４とし、負レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ４とし、負レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ４としたとき、次式で定義される
　νｄ４＝（ｎｄ４－１）／（ｎＦ４－ｎＣ４）
　条件式（１８）は、第１の接合レンズを構成する正レンズのｄ線を基準とするアッベ数と、第１の接合レンズを構成する負レンズのｄ線を基準とするアッベ数との関係を規定するものである。意図的に色収差を発生させる接合レンズを所定の位置に配置することで、広い波長域にわたる色収差の補正を行うことができる。第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬでは、第３レンズ群Ｇ３における２つの接合レンズのうち、第１の接合レンズで意図的に色収差を発生させることが可能である。そして、意図的に色収差を発生させる第１の接合レンズが条件式（１８）を満足することで、広い波長域にわたる色収差の補正、特に倍率色収差の補正を良好に行うことができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、１つの接合レンズまたは単レンズから構成されてもよい。第３レンズ群Ｇ３は、２つの接合レンズから構成されてもよい。なお、第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１と第３レンズ群Ｇ３との間に配置される。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（１９）を満足してもよい。
　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＞３．１［ｍｍ］　・・・（１９）
　但し、ＦＯＶ：走査光学系ＳＬの最大視野数
　　　　Ｆｈ：走査光学系ＳＬの焦点距離
　　　　ＮＡｏｂ：対物レンズ２４の開口数
　　　　Ｆｏｂ：対物レンズ２４の焦点距離
　条件式（１９）は、走査光学系ＳＬの最大視野数および焦点距離と、対物レンズ２４の開口数および焦点距離との関係を規定するものである。なお、Ｗｈ＝ＦＯＶ／Ｆｈとし、Ｐｏｂ＝ＮＡｏｂ×Ｆｏｂとしたとき、条件式（１９）を次式（１９－１）のように表すことができる。
　Ｗｈ×Ｐｏｂ＞３．１［ｍｍ］　・・・（１９－１）
　ここで、レンズの焦点距離をｆとし、最大像高をｙとし、半画角をωとし、開口数をＮＡとし、瞳径をφする。通常、レンズの焦点距離ｆと最大像高ｙとの関係は、ｙ＝ｆ×tanωである。レンズ（焦点距離ｆ）を走査光学系ＳＬ（焦点距離Ｆｈ）に置き換えた場合の上記関係は、ｙ＝Ｆｈ×tanωである。また、前述の最大視野数ＦＯＶと最大像高ｙとの関係は、ＦＯＶ＝２×ｙである。従って、Ｗｈを次式（１９－１Ａ）のように表すことができる。
　Ｗｈ＝ＦＯＶ／Ｆｈ
　　　＝（２×ｙ）／（ｙ／tanω）＝２×tanω　・・・（１９－１Ａ）
　式（１９－１Ａ）からわかるように、Ｗｈは実質的に走査光学系ＳＬの最大視野数における画角を意味する。また、レンズの焦点距離ｆと開口数ＮＡとの関係は、φ＝２×ｆ×ＮＡである。レンズ（焦点距離ｆおよび開口数ＮＡ）を対物レンズ２４（焦点距離Ｆｏｂおよび開口数ＮＡｏｂ）に置き換えた場合の上記関係は、φ＝２×Ｆｏｂ×ＮＡｏｂとなる。従って、Ｐｏｂを次式（１９－１Ｂ）のように表すことができる。
　Ｐｏｂ＝ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ
　　　　＝（２×Ｆｏｂ×ＮＡｏｂ）／２＝φ／２　・・・（１９－１Ｂ）
　式（１９－１Ｂ）からわかるように、Ｐｏｂは実質的に対物レンズ２４の瞳径の半分を意味する。すなわち、条件式（１９－１）のうち、Ｗｈは走査光学系ＳＬの最大視野数における画角に相当し、Ｐｏｂは対物レンズ２４の瞳径に相当する。そのため、条件式（１９－１）、すなわち条件式（１９）を満足することで、走査光学系ＳＬの最大視野数に対して対物レンズ２４の瞳径を十分に確保することができ、試料ＳＡ上での広い視野と高い分解能を確保することが可能になる。
　条件式（１９）の対応値が下限値を下回ると、走査光学系ＳＬの最大視野数を大きくして視野を広げようとしても、対物レンズ２４の瞳径を十分に確保することができずに、十分な分解能で試料ＳＡを観察することが困難になる。また、走査光学系ＳＬの焦点距離が長くなるため、走査光学系ＳＬの開口数が小さくなる。その結果、対物レンズ２４に入射するレーザ光の径（励起光のビーム径）が小さくなり、十分な分解能で試料ＳＡを観察することが困難になる。条件式（１９）の下限値を４．０［ｍｍ］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１～第６実施形態に係る走査光学系ＳＬは、以下の条件式（２０）を満足してもよい。
　Φｂ×θｂ＞６３［ｍｍ×度］　・・・（２０）
　但し、Φｂ：走査機構３１から走査光学系ＳＬに入射するレーザ光の径（励起光のビーム径）
　　　　θｂ：走査機構３１から走査光学系ＳＬに入射するレーザ光の光軸となす最大角度
　条件式（２０）は、走査機構３１から走査光学系ＳＬに入射するレーザ光の径（例えば、走査機構３１のガルバノミラーで反射するレーザ光の径）と、走査機構３１から走査光学系ＳＬに入射するレーザ光の光軸となす最大角度（例えば、走査機構３１のガルバノミラーにより光軸に対して傾くレーザ光の最大角度）との関係を規定するものである。条件式（２０）を満足することで、視野を広くしても、試料ＳＡに対する高い分解能を確保することができる。
　条件式（２０）の対応値が下限値を下回ると、走査光学系ＳＬの最大視野数を大きくして視野を広げようとしても、十分なレーザ光の径（励起光のビーム径）が得られず、試料ＳＡに対する十分な分解能が得られなくなる。また、試料ＳＡに対する十分な分解能を確保しようとすると、視野を広げることが困難になる。条件式（２０）の下限値を７０［ｍｍ×度］に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　以下、第１～第６実施形態の実施例に係る走査光学系ＳＬを図面に基づいて説明する。図２、図４、図６、図８、図１０、図１２、図１４は、第１～第７実施例に係る走査光学系ＳＬ｛ＳＬ（１）～ＳＬ（７）｝の構成及び屈折力配分を示す断面図である。これら図２、図４、図６、図８、図１０、図１２、図１４において、各レンズ群を符号Ｇと数字の組み合わせにより、各レンズを符号Ｌと数字の組み合わせにより、それぞれ表している。この場合において、符号、数字の種類および数が大きくなって煩雑化するのを防止するため、実施例毎にそれぞれ独立して符号と数字の組み合わせを用いてレンズ群等を表している。このため、実施例間で同一の符号と数字の組み合わせが用いられていても、同一の構成であることを意味するものでは無い。
　以下に表１～表７を示すが、この内、表１は第１実施例、表２は第２実施例、表３は第３実施例、表４は第４実施例、表５は第５実施例、表６は第６実施例、表７は第７実施例における各諸元データを示す表である。各実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線（波長λ＝５８７．５６ｎｍ）、ｇ線（波長λ＝４３５．８４ｎｍ）、ｔ線（波長λ＝１０１３.９８ｎｍ）を選んでいる。
　［全体諸元］の表において、Ｆｈは走査光学系全系の焦点距離を示す。ＦＯＶは走査光学系の最大視野数を示す。ＮＡｏｂは対物レンズの開口数を示す。Ｆｏｂは対物レンズの焦点距離を示す。Φｂは走査機構から走査光学系に入射するレーザ光の径を示す。θｂは走査機構から走査光学系に入射するレーザ光の光軸となす最大角度を示す。
　［レンズ諸元］の表において、面番号は光線の進行する方向に沿った瞳共役面（走査機構）側からの光学面の順序を示す。Ｒは各光学面の曲率半径（曲率中心が像面側に位置する面を正の値としている）を示す。Ｄは各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離である面間隔を示す。νｄは光学部材の材料のｄ線を基準とするアッベ数を示す。ｎｄは光学部材の材料のｄ線に対する屈折率を示す。θｇＦおよびθＣｔは光学部材の材料の部分分散比を示す。曲率半径の「∞」は平面又は開口を示す。空気の屈折率ｎｄ＝1.000000の記載は省略している。
　光学部材の材料のＣ線（波長λ＝６５６．２７ｎｍ）に対する屈折率をｎＣとする。光学部材の材料のｄ線（波長λ＝５８７．５６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとする。光学部材の材料のＦ線（波長λ＝４８６．１３ｎｍ）に対する屈折率をｎＦとする。光学部材の材料のｇ線（波長λ＝４３５．８４ｎｍ）に対する屈折率をｎｇとする。光学部材の材料のｔ線（波長λ＝１０１３.９８ｎｍ）に対する屈折率をｎｔとする。
　このとき、光学部材の材料のｄ線を基準とするアッベ数νｄは、次式（Ａ）で定義される。
　νｄ＝（ｎｄ－１）／（ｎＦ－ｎＣ）　…（Ａ）
　またこのとき、光学部材の材料の部分分散比θｇＦは、次式（Ｂ）で定義される。
　θｇＦ＝（ｎｇ－ｎＦ）／（ｎＦ－ｎＣ）　…（Ｂ）
　またこのとき、光学部材の材料の部分分散比θＣｔは、次式（Ｃ）で定義される。
　θＣｔ＝（ｎＣ－ｎｔ）／（ｎＦ－ｎＣ）　…（Ｃ）
　［レンズ群データ］の表には、各レンズ群のそれぞれの始面（最も走査機構側の面）と焦点距離を示す。
　［条件式対応値］の表には、各条件式に対応する値を示す。
　以下、全ての諸元値において、掲載されている焦点距離Ｆｈ、曲率半径Ｒ、面間隔Ｄ、その他の長さ等は、特記のない場合一般に「mm」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。
　ここまでの表の説明は全ての実施例において共通であり、以下での重複する説明は省略する。
　（第１実施例）
　第１実施例について、図２～図３および表１を用いて説明する。図２は、第１～第６実施形態の第１実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第１実施例に係る走査光学系ＳＬ（１）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。なお、瞳共役面Ｐの近傍には、上述の走査機構３１（ガルバノミラー等）が配置される。像面Ｉは、上述の結像面１３に相当する。各レンズ群記号に付けている符号（＋）もしくは（－）は、各レンズ群の屈折力を示す。このことは以下の全ての実施例でも同様である。
　第１レンズ群Ｇ１は、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２との接合レンズから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と、両凸形状の正レンズＬ２３と平凹形状の負レンズＬ２４との接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ２５とから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表１に、第１実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表１）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝60
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝11.8
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　νｄ　　　ｎｄ　　θｇＦ　　θＣｔ
　　1　 　　　∞　　　　49.6000
　　2　　　-24.9930　 　10.0000　 64.14　 1.516800　 0.5357　 0.8647
　　3　 　-139.9370　 　10.0000　 82.57　 1.497820　 0.5386　 0.8175
　　4　　　-48.4330　　　0.2000
　　5　 　-133.2080　　　6.5500　 70.31　 1.487490　 0.5291　 0.8982
　　6　　　-63.1220　　　0.2000
　　7　　　183.8690　 　10.0000　 82.57　 1.497820　 0.5386　 0.8175
　　8　　　-65.4640　　　2.7000
　　9　　　162.0030　 　11.3000　 91.36　 1.456000　 0.5342　 0.8399
　　10　 　-53.8120　　　2.7000　 34.70　 1.720467　 0.5834　 0.7267
　　11　　　　∞　　 　　0.2000
　　12　　　67.2210　　　8.1500　 67.90　 1.593190　 0.5440　 0.7962
　　13　　-349.4370　　　0.2000
　　14　　　49.8630　　　6.3000　 22.80　 1.808095　 0.6307　 0.6596
　　15　 　400.6380　　　3.2500　 32.30　 1.738000　 0.5900　 0.7154
　　16　　　25.8310　　　2.0000
　　17　　　26.0490　 　13.6500　 91.36　 1.456000　 0.5342　 0.8399
　　18　 　-57.1400　　　2.2500　 60.20　 1.640000　 0.5377　 0.8593
　　19　　　31.7990　 　30.2711
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-134.490
　G2　　　　5　　 　　47.642
　G3　 　　14　　　　-71.221
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２３」　νｄ１＝９１．３６
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負レンズＬ２４」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１８．３４
　条件式（４）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負レンズＬ２４」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負レンズＬ２４」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝５０．０
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.４１６７
　条件式（１１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負レンズＬ２４」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負レンズＬ２４」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝２．２４１
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．７９４
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝１．１８７
　条件式（１８）　νｄ３＝２２．８０
　　　　　　　　　νｄ４＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝４．１７
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝７０．８
　図３は、第１実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを示し、Ｙは像高を示す。なお、球面収差図では最大口径に対応するＦナンバーの値を示し、非点収差図および歪曲収差図では像高の最大値を示し、コマ収差図では各像高の値を示す。ｄはｄ線（波長λ＝５８７．５６ｎｍ）を示し、ｇはｇ線（波長λ＝４３５．８４ｎｍ）を示し、ｔはｔ線（波長λ＝１０１３.９８ｎｍ）を示す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示す。なお、以下に示す各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用い、重複する説明は省略する。
　各収差図より、第１実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第２実施例）
　第２実施例について、図４～図５および表２を用いて説明する。図４は、第１～第６実施形態の第２実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第２実施例に係る走査光学系ＳＬ（２）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。
　第１レンズ群Ｇ１は、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２との接合レンズから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と平凹形状の負レンズＬ２３との接合レンズと、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２４とから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表２に、第２実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表２）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝60
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝11.8
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　 νｄ　　　ｎｄ　　 θｇＦ　 θＣｔ
　　1　 　　　∞　　　　53.5500
　　2　　　-23.8529　 　12.0000　 64.14　　1.516800　 0.5357　 0.8647
　　3　　　-77.8908　　　8.0000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　4　　　-36.0676　　　3.5000
　　5　　　141.3954　　　9.5000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　6　　　-65.6628　　　2.0000
　　7　　　117.4037　 　10.5000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　8　　　-56.5472　　　2.5000　 34.70　　1.720467　 0.5834　 0.7267
　　9　 　　　∞　　 　　0.2000
　　10　　　53.4466　　　8.0000　 67.90　　1.593190　 0.5440　 0.7962
　　11　　2062.1589　　　0.2000
　　12　　　47.5676　　　6.5000　 22.80　　1.808095　 0.6307　 0.6596
　　13　 　213.5680　　　2.5000　 32.30　　1.738000　 0.5900　 0.7154
　　14　　　25.4452　　　2.5000
　　15　　　28.1569　 　12.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　16　 　-51.3695　　　2.5000　 60.20　　1.640000　 0.5377　 0.8593
　　17　　　32.6237　 　30.3130
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-275.012
　G2　　　　5　　 　　50.765
　G3　 　　12　　　　-65.154
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２１」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝９１．３６
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負レンズＬ２３」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１８．７９
　条件式（４）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２１」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負レンズＬ２３」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２１」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負レンズＬ２３」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝４９．５
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.４１６７
　条件式（１１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２１」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負レンズＬ２３」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２１」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負レンズＬ２３」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝４．５８４
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．８４６
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝１．０８６
　条件式（１８）　νｄ３＝２２．８０
　　　　　　　　　νｄ４＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝４．１７
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝７０．８
　図５は、第２実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図より、第２実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第３実施例）
　第３実施例について、図６～図７並びに表３を用いて説明する。図６は、第１～第６実施形態の第３実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第３実施例に係る走査光学系ＳＬ（３）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。
　第１レンズ群Ｇ１は、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１から構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２３との接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ２４とから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表３に、第３実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表３）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝60
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝11.8
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　 νｄ　　　ｎｄ　　 θｇＦ　 θＣｔ
　　1　 　　　∞　　　　53.3500
　　2　　　-25.0182　 　10.0000　 64.14　　1.516800　 0.5357　 0.8647
　　3　　　-53.7878　　　8.5000
　　4　 　-504.7816　　　9.0000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　5　　　-41.7126　　　0.5000
　　6　　　224.3104　 　12.5000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　7　　　-41.0225　　　2.7000　 34.70　　1.720467　 0.5834　 0.7267
　　8　 　-116.3799　　　0.2000
　　9　　 　56.0783　　　9.0000　 67.90　　1.593190　 0.5440　 0.7962
　　10　　-582.1135　　　0.2000
　　11　　　45.7256　　　7.0000　 22.80　　1.808095　 0.6307　 0.6596
　　12　 　179.3373　　　3.0000　 32.30　　1.738000　 0.5900　 0.7154
　　13　　　21.6575　　　2.0000
　　14　　　21.7592　 　14.5000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　15　 　-50.7847　　　2.5000　 60.20　　1.640000　 0.5377　 0.8593
　　16　　　30.2698　 　30.3911
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-102.666
　G2　　　　4　　 　　41.948
　G3　 　　11　　　　-65.054
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正メニスカスレンズＬ２１」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１９．５６
　条件式（４）
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝５０．０
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.４１６７
　条件式（１１）
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝１．７１１
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．６９９
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝１．０８４
　条件式（１８）　νｄ３＝２２．８０
　　　　　　　　　νｄ４＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝４．１７
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝７０．８
　図７は、第３実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図より、第３実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第４実施例）
　第４実施例について、図８～図９並びに表４を用いて説明する。図８は、第１～第６実施形態の第４実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第４実施例に係る走査光学系ＳＬ（４）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。
　第１レンズ群Ｇ１は、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１から構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２３との接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ２４とから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表４に、第４実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表４）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝60
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝11.8
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　 νｄ　　　ｎｄ　　 θｇＦ　 θＣｔ
　　1　　 　　∞　　　　53.4000
　　2　　　-25.0242　 　12.5000　 64.14　　1.516800　 0.5357　 0.8647
　　3　　　-54.1369　　　6.0000
　　4　 　-640.8906　　　9.5000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　5　　　-41.7085　　　0.5000
　　6　　　178.2157　 　12.5000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　7　　　-42.4059　　　2.7000　 34.70　　1.720467　 0.5834　 0.7267
　　8　 　-108.8746　　　0.2000
　　9　 　　56.5598　　　8.5000　 67.90　　1.593190　 0.5440　 0.7962
　　10　　-1309.3827　 　0.2000
　　11　　　47.4110　　　7.5000　 22.80　　1.808095　 0.6307　 0.6596
　　12　 　240.8185　　　3.0000　 32.30　　1.738000　 0.5900　 0.7154
　　13　　　21.5861　　　2.0000
　　14　　　21.7736　 　14.5000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　15　 　-57.1461　　　2.5000　 58.57　　1.651600　 0.5416　 0.8341
　　16　　　31.4253　 　30.5716
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-105.472
　G2　　　　4　　 　　42.184
　G3　 　　11　　　　-64.070
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正メニスカスレンズＬ２１」　νｄ１＝９１．３６
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１９．５１
　条件式（４）
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝５０．０
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.４１６７
　条件式（１１）
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝１．７５８
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．７０３
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝１．０６８
　条件式（１８）　νｄ３＝２２．８０
　　　　　　　　　νｄ４＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝４．１７
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝７０．８
　図９は、第４実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図より、第４実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
　（第５実施例）
　第５実施例について、図１０～図１１および表５を用いて説明する。図１０は、第１～第６実施形態の第５実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第５実施例に係る走査光学系ＳＬ（５）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。
　第１レンズ群Ｇ１は、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２との接合レンズから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と、両凸形状の正レンズＬ２３と両凹形状の負レンズＬ２４との接合レンズと、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２５とから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３１と瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表５に、第５実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表５）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝60
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝11.8
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　 νｄ　　　ｎｄ　　 θｇＦ　 θＣｔ
　　1　 　　　∞　　　　53.1000
　　2　　　-23.3790　　　5.0000　 64.14　　1.516800　 0.5357　 0.8647
　　3　 　-521.0717　　　9.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　4　　　-36.5677　　　9.0000
　　5　 　-186.5659　　　6.5000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　6　　　-55.9777　　　0.2000
　　7　　　323.4123　　　8.0000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　8　　　-70.7578　　　0.2000
　　9　 　　75.9315　　　9.5000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　10　　-109.1223　　　2.5000　 34.70　　1.720467　 0.5834　 0.7267
　　11　 　747.7880　　　0.2000
　　12　　　46.4635　　　6.5000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　13　 　136.4644　　　0.2000
　　14　　　60.2797　　　3.0000　 32.30　　1.738000　 0.5900　 0.7154
　　15　　　22.4138　　　6.0000　 22.80　　1.808095　 0.6307　 0.6596
　　16　　　28.1885　　　2.5000
　　17　　　29.5269　 　11.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　18　 　-60.8791　　　2.5000　 58.57　　1.651600　 0.5416　 0.8341
　　19　　　31.8482　 　30.3736
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-144.778
　G2　　　　5　　 　　42.055
　G3　 　　14　　　　-53.948
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　νｄ１＝９１．３６
　「正メニスカスレンズＬ２１」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２３」　νｄ１＝９１．３６
　「正メニスカスレンズＬ２５」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負レンズＬ２４」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１９．６２
　条件式（４）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正メニスカスレンズＬ２５」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負レンズＬ２４」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正メニスカスレンズＬ２５」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負レンズＬ２４」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝５１．０
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.４１６７
　条件式（１１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正メニスカスレンズＬ２５」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負レンズＬ２４」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正メニスカスレンズＬ２５」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負レンズＬ２４」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝２．４１３
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．７０１
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝０．８９９
　条件式（１８）　νｄ３＝２２．８０
　　　　　　　　　νｄ４＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝４．１７
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝７０．８
　図１１は、第５実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図より、第５実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第６実施例）
　第６実施例について、図１２～図１３および表６を用いて説明する。図１２は、第１～第６実施形態の第６実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第６実施例に係る走査光学系ＳＬ（６）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。
　第１レンズ群Ｇ１は、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２との接合レンズから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２３との接合レンズと、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２４とから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と瞳共役面Ｐ側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表６に、第６実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表６）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝60
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝11.8
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　 νｄ　　　ｎｄ　　 θｇＦ　 θＣｔ
　　1　 　　　∞　　　　52.7000
　　2　　　-23.3121　　　8.0000　 67.85　　1.458504　 0.5281　 0.9062
　　3　　　-83.9105　　　7.0000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　4　　　-38.1125　　　8.0000
　　5　 　-416.3051　　　9.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　6　　　-45.3519　　　0.5000
　　7　　　161.0017　 　11.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　8　　　-49.1879　　　2.5000　 34.70　　1.720467　 0.5834　 0.7267
　　9　 　-147.7998　　　0.5000
　　10　　　48.8897　　　8.5000　 67.90　　1.593190　 0.5440　 0.7962
　　11　 　459.9026　　　0.5000
　　12　　　48.2794　　　6.5000　 22.80　　1.808095　 0.6307　 0.6596
　　13　 　153.1202　　　2.5000　 32.30　　1.738000　 0.5900　 0.7154
　　14　　　24.6361　　　2.5000
　　15　　　24.8900　 　12.5000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　16　 　-61.8989　　　2.5000　 60.20　　1.640000　 0.5377　 0.8593
　　17　　　28.8701　 　30.2538
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-233.022
　G2　　　　5　　 　　47.089
　G3　 　　12　　　　-61.973
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　νｄ１＝８２．５７
　「正メニスカスレンズＬ２１」　νｄ１＝９１．３６
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝９１．３６
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１８．９６
　条件式（４）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝４９．０
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.４１６７
　条件式（１１）
　「正メニスカスレンズＬ１２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正メニスカスレンズＬ２１」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正メニスカスレンズＬ１２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正メニスカスレンズＬ２１」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝３．８８４
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．７８５
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝１．０３３
　条件式（１８）　νｄ３＝２２．８０
　　　　　　　　　νｄ４＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝４．１７
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝７０．８
　図１３は、第６実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図より、第６実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第７実施例）
　第７実施例について、図１４～図１５および表７を用いて説明する。図１４は、第１～第６実施形態の第７実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第７実施例に係る走査光学系ＳＬ（７）は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。
　第１レンズ群Ｇ１は、両凹形状の負レンズＬ１１と両凸形状の正レンズＬ１２との接合レンズから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ２１と、両凸形状の正レンズＬ２２と瞳共役面Ｐ側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２３との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ２４と両凹形状の負レンズＬ２５との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３は、瞳共役面Ｐ側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ３１と両凹形状の負レンズＬ３２との第１の接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との第２の接合レンズとから構成される。第３レンズ群Ｇ３の対物レンズ側に、像面Ｉが配置される。
　以下の表７に、第７実施例に係る走査光学系の諸元の値を掲げる。
（表７）
［全体諸元］
　Ｆｈ＝50
ＦＯＶ＝25
ＮＡｏｂ＝1
Ｆｏｂ＝10
　Φｂ＝6
　θｂ＝14.0
［レンズ諸元］
　面番号　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　 νｄ　　　ｎｄ　　 θｇＦ　 θＣｔ
　　1　 　　　∞　　　　40.5500
　　2　　　-20.5406　 　10.0000　 64.14　　1.516800　 0.5357　 0.8647
　　3　 　4483.9932　 　10.0000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　4　　　-33.2276　　　2.0000
　　5　　　459.9767　　　8.0000　 82.57　　1.497820　 0.5386　 0.8175
　　6　　　-62.4493　　　0.5000
　　7　 　1234.9246　　　8.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　8　　　-59.8704　　　2.5000　 44.27　　1.613397　 0.5633　 0.7825
　　9　 　-106.5074　　　0.5000
　　10　　　36.6007　 　13.0000　 67.90　　1.593190　 0.5440　 0.7962
　　11　　-163.4401　　　2.5000　 34.70　　1.720467　 0.5834　 0.7267
　　12　 　171.5632　　　0.5000
　　13　　　61.9995　　　7.0000　 22.80　　1.808095　 0.6307　 0.6596
　　14　　-522.0253　　　2.5000　 32.30　　1.738000　 0.5900　 0.7154
　　15　　　21.6480　　　3.0000
　　16　　　27.3158　 　14.0000　 91.36　　1.456000　 0.5342　 0.8399
　　17　 　-28.7338　　　2.5000　 60.20　　1.640000　 0.5416　 0.8341
　　18　　　69.8098　 　21.1140
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　2　　 　-193.035
　G2　　　　5　　 　　41.909
　G3　 　　13　　　　-55.895
［条件式対応値］
　条件式（１）
　「正レンズＬ１２」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２１」　νｄ１＝８２．５７
　「正レンズＬ２２」　νｄ１＝９１．３６
　「正レンズＬ３３」　νｄ１＝９１．３６
　条件式（２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　νｄ２＝４４．３０
　「負レンズＬ２５」　νｄ２＝３４．７０
　条件式（３）　ｈｍａｘ＝１９．２５
　条件式（４）
　「正レンズＬ１２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２１」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０３３３
　「正レンズＬ２２」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　「正レンズＬ３３」
　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＝０．０４３７
　条件式（５）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００６３
　「負レンズＬ２５」
　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＝－０．００２３
　条件式（６）
　「正レンズＬ１２」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２１」　θｇＦ１＝０．５３８６
　「正レンズＬ２２」　θｇＦ１＝０．５３４２
　「正レンズＬ３３」　θｇＦ１＝０．５３４２
　条件式（７）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θｇＦ２＝０．５６３３
　「負レンズＬ２５」　θｇＦ２＝０．５８３４
　条件式（８）　ＦＯＶ＝２５
　条件式（９）　Φｍａｘ＝４８．５
　条件式（１０）　ＦＯＶ／Ｆｈ＝０.５０００
　条件式（１１）
　「正レンズＬ１２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２１」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１２０８
　「正レンズＬ２２」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　「正レンズＬ３３」
　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＝－０．１４０６
　条件式（１２）
　「負メニスカスレンズＬ２３」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０２７９
　「負レンズＬ２５」
　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＝０．０１８１
　条件式（１３）
　「正レンズＬ１２」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２１」　θＣｔ１＝０．８１７５
　「正レンズＬ２２」　θＣｔ１＝０．８３９９
　「正レンズＬ３３」　θＣｔ１＝０．８３９９
　条件式（１４）
　「負メニスカスレンズＬ２３」　θＣｔ２＝０．７８２５
　「負レンズＬ２５」　θＣｔ２＝０．７２６７
　条件式（１５）　（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＝３．８６１
　条件式（１６）　Ｆｈ２／Ｆｈ＝０．８３８
　条件式（１７）　（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＝１．１１８
　条件式（１８）　ν３ｄ＝２２．８０
　　　　　　　　　ν４ｄ＝３２．３０
　条件式（１９）　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＝５．００
　条件式（２０）　Φｂ×θｂ＝８４．０
　図１５は、第７実施例に係る走査光学系の諸収差図である。各収差図より、第７実施例に係る走査光学系は、ｇ線からｔ線までの広い波長域で、倍率色収差等の諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
　上記各実施例によれば、倍率色収差を低減させて、視野を広くすることが可能な走査光学系を実現することができる。
　ここで、上記各実施例は第１～第６実施形態の一具体例を示しているものであり、各実施形態はこれらに限定されるものではない。
　また、第１～第６実施形態に係る走査光学系を備えた顕微鏡は、図１に示す走査型共焦点顕微鏡１に限られるものではなく、多光子励起による蛍光観察に対応した多光子励起走査型共焦点顕微鏡であってもよい。そこで、図１６を用いて、第１～第６実施形態に係る走査光学系を備えた走査型共焦点顕微鏡の変形例として、多光子励起走査型共焦点顕微鏡１０１について説明する。多光子励起走査型共焦点顕微鏡１０１は、照明用レーザ光を試料ＳＡ上に導く励起光導入部１０２と、試料ＳＡ上に集光されるレーザ光を偏向して試料ＳＡ上で走査する走査装置３と、試料ＳＡからの光強度信号を検出する光検出装置５と、多光子励起に対応した試料ＳＡからの光強度信号を検出する第２の光検出装置１０８と、試料ＳＡからの光を光検出装置５に導く集光光学系１０４とを主体に構成される。この多光子励起走査型共焦点顕微鏡１０１は、前述した走査型共焦点顕微鏡１の構成を一部変更したものである。多光子励起走査型共焦点顕微鏡１０１の構成部分のうち、前述した走査型共焦点顕微鏡１と同様の構成部分（例えば、走査装置３および光検出装置５等）については、走査型共焦点顕微鏡１の場合と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
　励起光導入部１０２は、レーザ光源およびビーム径調整機構等から構成される光源ユニット１２１と、光源ユニット１２１から発振されたパルスレーザ光（光束）を試料ＳＡに向けて反射するダイクロイックミラー１２２とを備えて構成される。ダイクロイックミラー１２２で反射したレーザ光は、第２対物レンズ２３および対物レンズ２４により試料ＳＡ上に集光される。なお、第２対物レンズ２３は顕微鏡本体１０の鏡筒部１１内に配設され、ダイクロイックミラー１２２は鏡筒部１１の上部に設けられた顕微鏡筐体部１２内に配設される。
　走査装置３は、走査機構（スキャナ）３１と、走査光学系３２とを備えて構成される。走査装置３は、顕微鏡筐体部１２内におけるダイクロイックミラー１２２と第２対物レンズ２３との間に配設される。
　集光光学系１０４は、対物レンズ２４および第２対物レンズ２３と、試料ＳＡからの蛍光が反射する全反射ミラー１４２と、全反射ミラー１４２で反射した蛍光を、光検出装置５のピンホール５１を有した遮光板５２上に集光する第１集光レンズ１４１とを備えて構成される。全反射ミラー１４２および第１集光レンズ１４１は、顕微鏡筐体部１２内におけるダイクロイックミラー１２２の上方に配設される。
　光検出装置５は、ピンホール５１（開口）を有する遮光板５２と、光ファイバ５３と、検出ユニット５５とを備えて構成される。遮光板５２は顕微鏡筐体部１２内に配設され、光ファイバ５３はコネクタＣ１，Ｃ２を用いて顕微鏡筐体部１２と検出ユニット５５に接続される。検出ユニット５５には、ケーブル５６を介して処理ユニット５７が電気的に接続される。
　第２の光検出装置１０８は、対物レンズ２４と第２対物レンズ２３との間に配置されるダイクロイックミラー１８１と、リレーレンズ１８２，１８３と、検出ユニット１８４とを備えて構成される。検出ユニット１８４には、ケーブル１８５を介して処理ユニット５７が電気的に接続されており、検出ユニット１８４で検出された検出信号に基づく（試料ＳＡの）画像処理が行われ、処理ユニット５７の画像処理により得られた試料ＳＡの観察画像が図示しないモニターに表示される。
　なお、第２の光検出装置１０８における検出ユニット１８４の入射面は、対物レンズ２４の瞳面と略共役となるように配置される。そのため、対物レンズ２４で試料ＳＡ上に集光するように構成されることで、多光子励起により発生した蛍光のうち、対物レンズ２４を通過する蛍光を漏れなく検出ユニット１８４に到達させることが可能となる。これにより、試料ＳＡの内部にて散乱した蛍光の検出も可能となり、より明るい（試料ＳＡの）観察画像を得ることができる。また、多光子励起型の共焦点顕微鏡の場合、対物レンズ２４の焦点近傍における微小な領域でのみ、多光子励起現象が発生する。そのため、ピンホールを使用しなくても、通常の共焦点顕微鏡と同様に、対物レンズの焦点面近傍の画像を得ることが可能である。
　Ｇ１　第１レンズ群　　　　　　　　　　Ｇ２　第２レンズ群
　Ｇ３　第３レンズ群
　　Ｉ　像面　　　　　　　　　　　　　　　Ｐ　瞳共役面

Claims (28)

  1. 　対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
    　前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　νｄ１＞８０
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　νｄ２＜５０
    　以下の条件式を満足する走査光学系。
    　　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］
    　　但し、ｈｍａｘ：前記対物レンズの後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離
    　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  2. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項１に記載の走査光学系。
    　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
    　　但し、θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  3. 　対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
    　前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
    　以下の条件式を満足する走査光学系。
    　　ｈｍａｘ≧１８．０［ｍｍ］
    　　但し、ｈｍａｘ：前記対物レンズの後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離
    　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
    　　　　　θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  4. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　νｄ１＞８０
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項３に記載の走査光学系。
    　　νｄ２＜５０
  5. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１＜０．５５
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項２～４のいずれか一項に記載の走査光学系。
    　　θｇＦ２＞０．５６
  6. 　対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
    　前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　νｄ１＞８０
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　νｄ２＜５０
    　以下の条件式を満足する走査光学系。
    　　ＦＯＶ≧２３［ｍｍ］
    　　但し、ＦＯＶ：前記走査光学系の最大視野数
    　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  7. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項６に記載の走査光学系。
    　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
    　　但し、θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  8. 　対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
    　前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
    　以下の条件式を満足する走査光学系。
    　　ＦＯＶ≧２３［ｍｍ］
    　　但し、ＦＯＶ：前記走査光学系の最大視野数
    　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
    　　　　　θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  9. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　νｄ１＞８０
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項８に記載の走査光学系。
    　　νｄ２＜５０
  10. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１＜０．５５
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項７～９のいずれか一項に記載の走査光学系。
    　　θｇＦ２＞０．５６
  11. 　対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
    　前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　νｄ１＞８０
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　νｄ２＜５０
    　以下の条件式を満足する走査光学系。
    　　Φｍａｘ≧４８．０［ｍｍ］
    　　但し、Φｍａｘ：前記走査光学系の最大外径
    　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  12. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項１１に記載の走査光学系。
    　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
    　　但し、θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  13. 　対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
    　前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１－（－０．００１６８×νｄ１）－０．６４４＞０．０３
    　前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、および前記第３レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも１個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ２－（－０．００１６８×νｄ２）－０．６４４＜－０．００２
    　以下の条件式を満足する走査光学系。
    　　Φｍａｘ≧４８．０［ｍｍ］
    　　但し、Φｍａｘ：前記走査光学系の最大外径
    　　　　　νｄ１：前記正の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　νｄ１＝（ｎｄ１－１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　νｄ２：前記負の屈折力を有するレンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　νｄ２＝（ｎｄ２－１）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
    　　　　　θｇＦ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ１＝（ｎｇ１－ｎＦ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θｇＦ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式で定義される
    　　θｇＦ２＝（ｎｇ２－ｎＦ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  14. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　νｄ１＞８０
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項１３に記載の走査光学系。
    　　νｄ２＜５０
  15. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θｇＦ１＜０．５５
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項１２～１４のいずれか一項に記載の走査光学系。
    　　θｇＦ２＞０．５６
  16. 　以下の条件式を満足する請求項１～１５のいずれか一項に記載の走査光学系。
    　　０．３５＜ＦＯＶ／Ｆｈ＜０．５５
    　　但し、ＦＯＶ：前記走査光学系の最大視野数
    　　　　　Ｆｈ：前記走査光学系の焦点距離
  17. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θＣｔ１－（０．００４８×νｄ１）－０．５４２＜－０．０５
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項１～１６のいずれか一項に記載の走査光学系。
    　　θＣｔ２－（０．００４８×νｄ２）－０．５４２＞０．０１
    　　但し、θＣｔ１：前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのｔ線に対する屈折率をｎｔ１とし、前記正の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１としたとき、次式で定義される
    　　θＣｔ１＝（ｎＣ１－ｎｔ１）／（ｎＦ１－ｎＣ１）
    　　　　　θＣｔ２：前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのｔ線に対する屈折率をｎｔ２とし、前記負の屈折力を有するレンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ２としたとき、次式で定義される
    　　θＣｔ２＝（ｎＣ２－ｎｔ２）／（ｎＦ２－ｎＣ２）
  18. 　前記少なくとも１個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足し、
    　　θＣｔ１＞０．７９
    　前記少なくとも１個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式を満足する請求項１７に記載の走査光学系。
    　　θＣｔ２＜０．８
  19. 　以下の条件式を満足する請求項１～１８のいずれか一項に記載の走査光学系。
    　　１．５＜（－Ｆｈ１）／Ｆｈ＜５．０
    　　０．６＜Ｆｈ２／Ｆｈ＜０．９
    　　０．８＜（－Ｆｈ３）／Ｆｈ＜１．３
    　　但し、Ｆｈ１：前記第１レンズ群の焦点距離
    　　　　　Ｆｈ２：前記第２レンズ群の焦点距離
    　　　　　Ｆｈ３：前記第３レンズ群の焦点距離
    　　　　　Ｆｈ：前記走査光学系の焦点距離
  20. 　前記第１レンズ群の最も前記走査機構側に配置されたレンズにおける前記走査機構側のレンズ面が凹面であり、
    　前記第３レンズ群の最も前記対物レンズ側に配置されたレンズにおける前記対物レンズ側のレンズ面が凹面である請求項１～１９のいずれか一項に記載の走査光学系。
  21. 　前記第２レンズ群は、前記正の屈折力を有するレンズを有する請求項１～２０のいずれか一項に記載の走査光学系。
  22. 　前記第２レンズ群は、少なくとも１個の接合レンズを有する請求項１～２１のいずれか一項に記載の走査光学系。
  23. 　前記接合レンズは、前記正の屈折力を有するレンズを有する請求項２２に記載の走査光学系。
  24. 　前記第３レンズ群は、前記走査機構側から順に並んだ、第１の接合レンズと、第２の接合レンズとを有する請求項１～２３のいずれか一項に記載の走査光学系。
  25. 　以下の条件式を満足する請求項２４に記載の走査光学系。
    　　νｄ３＜νｄ４
    　　但し、νｄ３：前記第１の接合レンズを構成する正レンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記正レンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ３とし、前記正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ３とし、前記正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ３としたとき、次式で定義される
    　　νｄ３＝（ｎｄ３－１）／（ｎＦ３－ｎＣ３）
    　　　　　νｄ４：前記第１の接合レンズを構成する負レンズのｄ線を基準とするアッベ数であり、前記負レンズのｄ線に対する屈折率をｎｄ４とし、前記負レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ４とし、前記負レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ４としたとき、次式で定義される
    　　νｄ４＝（ｎｄ４－１）／（ｎＦ４－ｎＣ４）
  26. 　前記対物レンズと、前記走査機構と、請求項１～２５のいずれか一項に記載の走査光学系とを備える走査型共焦点顕微鏡。
  27. 　以下の条件式を満足する請求項２６に記載の走査型共焦点顕微鏡。
    　（ＦＯＶ／Ｆｈ）×（ＮＡｏｂ×Ｆｏｂ）＞３．１［ｍｍ］
    　但し、ＦＯＶ：前記走査光学系の最大視野数
    　　　　Ｆｈ：前記走査光学系の焦点距離
    　　　　ＮＡｏｂ：前記対物レンズの開口数
    　　　　Ｆｏｂ：前記対物レンズの焦点距離
  28. 　以下の条件式を満足する請求項２６または２７に記載の走査型共焦点顕微鏡。
    　Φｂ×θｂ＞６３［ｍｍ×度］
    　但し、Φｂ：前記走査機構から前記走査光学系に入射するレーザ光の径
    　　　　θｂ：前記走査機構から前記走査光学系に入射するレーザ光の光軸となす最大角度
PCT/JP2018/031614 2018-08-27 2018-08-27 走査光学系および走査型共焦点顕微鏡 WO2020044410A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/268,464 US20210302709A1 (en) 2018-08-27 2018-08-27 Scanning optical system and scanning-type confocal microscope
PCT/JP2018/031614 WO2020044410A1 (ja) 2018-08-27 2018-08-27 走査光学系および走査型共焦点顕微鏡
JP2020539184A JP7218758B2 (ja) 2018-08-27 2018-08-27 走査光学系、走査型顕微鏡および走査型共焦点顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/031614 WO2020044410A1 (ja) 2018-08-27 2018-08-27 走査光学系および走査型共焦点顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020044410A1 true WO2020044410A1 (ja) 2020-03-05

Family

ID=69644830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/031614 WO2020044410A1 (ja) 2018-08-27 2018-08-27 走査光学系および走査型共焦点顕微鏡

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20210302709A1 (ja)
JP (1) JP7218758B2 (ja)
WO (1) WO2020044410A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023106222A1 (ja) * 2021-12-08 2023-06-15 株式会社ニコン 走査型顕微鏡

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3951467A4 (en) * 2019-03-28 2022-11-30 Hamamatsu Photonics K.K. CONFOCAL MICROSCOPE UNIT
CN114967094B (zh) * 2022-04-27 2023-06-02 华中科技大学 一种远心活细胞相差显微镜镜头

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011128273A (ja) * 2009-12-16 2011-06-30 Fujifilm Corp 撮像レンズおよび撮像装置
JP2012173491A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Olympus Corp 顕微鏡用対物レンズ及びそれを備えた顕微鏡装置
WO2012133623A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 株式会社ニコン 走査型顕微鏡
JP2017102013A (ja) * 2015-12-01 2017-06-08 キヤノン株式会社 走査型顕微鏡
JP2017142314A (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 キヤノン株式会社 光学素子、光学系、およびそれを有する光学機器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5112832B2 (ja) * 2006-12-11 2013-01-09 オリンパス株式会社 顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた蛍光観察装置
WO2009011441A1 (ja) * 2007-07-19 2009-01-22 Nikon Corporation 走査型共焦点顕微鏡
US8780463B2 (en) * 2010-06-24 2014-07-15 Ricoh Company, Ltd. Image-forming lens, and imaging apparatus and information device using the image-forming lens
JP5834638B2 (ja) * 2011-09-02 2015-12-24 株式会社ニコン 対物レンズユニット及びこの対物レンズユニットを有する走査型顕微鏡
US11061203B2 (en) * 2018-01-09 2021-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Zoom lens, and image pickup apparatus and image pickup system including the zoom lens

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011128273A (ja) * 2009-12-16 2011-06-30 Fujifilm Corp 撮像レンズおよび撮像装置
JP2012173491A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Olympus Corp 顕微鏡用対物レンズ及びそれを備えた顕微鏡装置
WO2012133623A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 株式会社ニコン 走査型顕微鏡
JP2017102013A (ja) * 2015-12-01 2017-06-08 キヤノン株式会社 走査型顕微鏡
JP2017142314A (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 キヤノン株式会社 光学素子、光学系、およびそれを有する光学機器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023106222A1 (ja) * 2021-12-08 2023-06-15 株式会社ニコン 走査型顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
US20210302709A1 (en) 2021-09-30
JPWO2020044410A1 (ja) 2021-08-26
JP7218758B2 (ja) 2023-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7218758B2 (ja) 走査光学系、走査型顕微鏡および走査型共焦点顕微鏡
US9709790B2 (en) Immersion microscope objective and microscope using the same
US7907335B2 (en) Focus-adjusting unit and microscope
WO2017216969A1 (ja) 明るいリレー光学系及びそれを用いた硬性鏡用光学系、硬性鏡
JP4735760B2 (ja) 走査型共焦点顕微鏡
CN107111114B (zh) 广角光学系统
WO2021215312A1 (ja) 顕微鏡光学系、顕微鏡装置、および結像レンズ
KR980010589A (ko) 대구경 텔레센트릭 렌즈
JPH10221597A (ja) 対物レンズ
JP2008015418A (ja) 接眼レンズ
US20230152565A1 (en) Microscope objective lens, microscope device, and microscope optical system
US9606333B2 (en) Relay optical system and microscope apparatus
US20240045192A1 (en) Microscope objective lens, microscope optical system, and microscope device
JP4862368B2 (ja) ズーム顕微鏡
WO2023210318A1 (ja) 結像レンズおよび顕微鏡装置
JP3556283B2 (ja) 顕微鏡用照明光学系
JP4921802B2 (ja) 対物レンズ及びそれを備えた光学装置
WO2023106222A1 (ja) 走査型顕微鏡
WO2023095723A1 (ja) 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置
JPH1195130A (ja) 接眼レンズ
US20240019676A1 (en) Microscope objective lens, microscope optical system, and microscope device
WO2024090587A1 (ja) 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置
WO2023120104A1 (ja) 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置
JP2012083486A (ja) 対物レンズ
JP7079856B2 (ja) 内視鏡

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18931379

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2020539184

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18931379

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1