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WO2018235726A1 - 冷却構造体、冷却構造体の製造方法、電力増幅器、および、送信機 - Google Patents

冷却構造体、冷却構造体の製造方法、電力増幅器、および、送信機 Download PDF

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WO2018235726A1
WO2018235726A1 PCT/JP2018/022822 JP2018022822W WO2018235726A1 WO 2018235726 A1 WO2018235726 A1 WO 2018235726A1 JP 2018022822 W JP2018022822 W JP 2018022822W WO 2018235726 A1 WO2018235726 A1 WO 2018235726A1
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WO
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cooling structure
layer
pipe
plate
cooling
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/022822
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English (en)
French (fr)
Inventor
孝博 中川
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
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Priority to EP18819729.7A priority patent/EP3644356A4/en
Priority to JP2019525535A priority patent/JP7003992B2/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
    • F28F13/06—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing by affecting the pattern of flow of the heat-exchange media
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the groups H01L21/18 - H01L21/326 or H10D48/04 - H10D48/07
    • H01L21/4814—Conductive parts
    • H01L21/4871—Bases, plates or heatsinks
    • H01L21/4882—Assembly of heatsink parts
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04B—TRANSMISSION
    • H04B1/00—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/02—Transmitters
    • H04B1/03—Constructional details, e.g. casings, housings
    • H04B1/036—Cooling arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2089—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
    • H05K7/20927—Liquid coolant without phase change

Definitions

  • the present disclosure relates to a cooling structure, a method of manufacturing the cooling structure, a power amplifier, and a transmitter.
  • Patent Document 1 describes, as a water-cooled cold plate, an aluminum plate in which a corrosion-resistant metal pipe such as copper, copper alloy, stainless steel or the like having a flat cross-sectional shape is cast.
  • Patent Document 2 describes a mold for blow molding of a resin which is a cast product of aluminum alloy or copper.
  • a passage is provided in the mold by casting a pipe of pure copper and copper alloy or steel throughout the inside thereof. It is described.
  • Patent Document 3 describes a method for preventing an accident such as stopping of a broadcasting system even in the case where the coolant leaks water in a cooling device using the coolant.
  • the cooling structure (cold plate) described in Patent Document 1 and the mold described in Patent Document 2 are formed by pouring molten metal into a mold in which a metal pipe is installed.
  • a metal pipe having low heat resistance
  • the metal pipe may be deformed or melted.
  • the thermal conductivity is low. Therefore, there is a possibility that the cooling structure using such a metal pipe can not sufficiently exhibit the cooling performance with respect to the heating element emitting high heat like the heating element used in the broadcast system described in Patent Document 3. is there.
  • the passage may extend from one side surface to the opposite side surface of the cooling structure. It reaches a straight line. Therefore, the freedom degree of the shape of the flow path of a cooling water will fall.
  • it is necessary to install a connecting member, and the size of the cooling structure becomes large.
  • the present disclosure has been made in view of the above problems, and an object thereof is to increase the degree of freedom in the shape of the flow path of cooling water without increasing the size of the cooling structure, and to cool the cooling structure.
  • a cooling structure is formed on a base on which a cooling water flow path is formed, a first layer formed on the outer surface of the base, and the outside of the first layer.
  • a pipe having the second layer, and a plate into which the pipe is cast, and the substrate is made of a first material having good thermal conductivity, and the first layer Is made of a second material having heat resistance, the second layer is made of a third material having high affinity to the second material, and the plate is made of a fourth material having good thermal conductivity.
  • the second material and the third material have high affinity to the fourth material, respectively.
  • a method of manufacturing a cooling structure is a method of manufacturing a plate-shaped cooling structure, which is a pipe-shaped base in which a flow path of cooling water is formed.
  • a first layer composed of a heat-resistant second material is formed on the outer surface of the base composed of a highly conductive first material, and the second layer is formed on the outside of the first layer
  • a power amplifier including the cooling structure and a transmitter including the power amplifier are also included in the scope of the present disclosure.
  • the cooling structure can increase the degree of freedom in the shape of the flow path of the cooling water and can exhibit the cooling performance without increasing the size.
  • FIG. 2 shows an example of a power amplifier with a cooling structure. It is a figure showing an example of a transmitter provided with a plurality of power amplifiers. It is a cross-sectional enlarged view of the AA part of FIG. It is a flowchart which shows an example of the flow of the manufacturing method of a cooling structure to one embodiment.
  • FIG. 1 is a top view showing an example of a cooling structure 10 according to the present embodiment.
  • the cooling structure 10 comprises a pipe 20 and a plate 30.
  • the cooling structure 10 is formed by casting the pipe 20 into the interior of the plate 30.
  • the plate 30 is a plate-like structure having a predetermined thickness.
  • the shape of the plate 30 is not particularly limited, and may be substantially rectangular, or may be another shape.
  • the front surface and the back surface of the plate 30 are flat surfaces having a substantially rectangular shape, and are described as having four side surfaces (31A to 31D).
  • Heating elements (34A to 34D) are mounted on the first flat surface 32 of the plate 30. Further, on the second flat surface 33 opposite to the first flat surface 32 of the plate 30, the heating elements (34E to 34H) are mounted. Hereinafter, when the heating elements (34A to 34H) are not distinguished from one another or collectively referred to, they are referred to as a heating element 34.
  • the heating element 34 is, for example, an electronic component that emits heat, such as a transistor.
  • the number of heating elements 34 mounted on the first flat surface 32 and the second flat surface 33 is not particularly limited, and may be appropriately determined depending on the type of device on which the cooling structure 10 is mounted.
  • the position in which the heat generating body 34 in the 1st plane 32 and the 2nd plane 33 is mounted is not specifically limited, You may determine suitably.
  • the heating element 34 may be mounted on both sides of the first flat surface 32 and the second flat surface 33, or may be mounted on any one side.
  • the pipe 20 is formed with a cooling water flow path.
  • the ends (21A, 21B) of the pipe 20 are provided to connect cooling water to a member (for example, a hose) that flows in or out from any side (the side 31A in FIG. 1) of the plate 30. .
  • the end portions (21A, 21B) of the pipe 20 may be provided so as to be connected to the outside of the cooling structure 10 from any side surface.
  • the ends (21 A, 21 B) of the pipe 20 may be provided to be connected to the outside of the cooling structure 10 from different side surfaces.
  • the pipe 20 is formed along the heating element 34 as shown in FIG. 1 and is preferably disposed at a position along the heating element 34.
  • the pipe 20 may be disposed so that the heating elements 34 partially or entirely overlap when viewed from the first plane 32 side (when viewed from the Z-axis negative direction).
  • the pipe 20 may be disposed in a straight, refracted or bent shape along the position corresponding to each heating element 34 when viewed from the first flat surface 32 side.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of a power amplifier 40 provided with the cooling structure 10.
  • the power amplifier 40 includes the cooling structure 10 in which the heating element 34 is mounted in the housing 41.
  • Power amplifier 40 may include members other than the members shown in FIG.
  • the power amplifier 40 may include a member for connecting a hose for flowing the cooling water into the cooling structure 10 and the end described above.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of a transmitter 50 provided with a plurality of power amplifiers 40.
  • the power amplifier 40 including the cooling structure 10 according to the present embodiment will be described as amplifying a radio wave for broadcasting and outputting it to an antenna not shown. That is, the cooling structure 10 according to the present embodiment is applied to the transmitter 50 that transmits radio waves for broadcasting.
  • the power amplifier 40 may include a handle 42 so that the power amplifier 40 can be easily stored in and removed from the rack 51, as shown in FIG.
  • the number of power amplifiers 40 provided in the transmitter 50 is not particularly limited, and can be changed as appropriate depending on the situation of use.
  • the transmitter 50 includes, in addition to the power amplifier 40, a control unit that controls the power amplifier 40 and other broadcast devices.
  • the transmitter 50 has a mechanism for causing the cooling water to flow into the power amplifier 40 and a mechanism for causing the cooling water after flowing through the inside of the pipe 20 to flow out. Any of these mechanisms may be adopted.
  • FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a portion AA of FIG.
  • the cooling structure 10 comprises a pipe 20 and a plate 30.
  • the plate 30 is formed by casting the pipe 20 inside.
  • the pipe 20 includes a copper pipe 22 as a pipe-like base, a first layer plating 23 as a first layer formed on the outer surface of the copper pipe 22, and a first layer formed on the outer side of the first layer. And second layer plating 24 which is two layers.
  • the substrate is a pipe in which a flow path of cooling water is formed.
  • the substrate is made of a material (first material) having a good thermal conductivity.
  • Good thermal conductivity indicates that the thermal conductivity is higher than a predetermined value.
  • Good thermal conductivity of the substrate means that the heat can be conducted to the cooling water to an extent sufficient to cool the heating element to the desired temperature.
  • the material having a good thermal conductivity is, for example, a material having a thermal conductivity higher than that of stainless steel.
  • the material of a base material is copper. This is because the copper pipe 22 made of copper has good thermal conductivity, high corrosion resistance, and is inexpensive, so that the generation cost of the cooling structure 10 can be suppressed. Therefore, in the present embodiment, the description will be made on the assumption that the base material is the copper pipe 22.
  • the material of the base is not limited to copper, and may be an alloy containing copper.
  • the first layer is formed on the outer surface of the copper pipe 22.
  • the first layer is made of a material (second material) which is heat resistant and highly compatible with the material of the plate 30.
  • the high affinity to the material of the plate 30 means that the second material has good wettability with the plate material at the time of casting, and a space ( ⁇ ) is less likely to be generated inside the plate.
  • the first layer is preferably iron plating made of iron. The reason is that the iron plating made of iron has high heat resistance, so it does not melt into a high-temperature molten metal (molten metal of the plate 30) at the time of casting. As a result, the copper pipe 22 can be prevented from coming into contact with the high-temperature molten metal.
  • the first layer plating 23 which is the first layer is iron plating.
  • the first layer is not limited to iron plating composed of iron, but may be chromium plating composed of chromium (Cr) or nickel plating composed of nickel (Ni) Alternatively, it may be a heat-resistant material having high affinity with the material of the plate 30.
  • the second layer is formed on the surface of the first layer plating 23.
  • the second layer is made of a material (third material) having high affinity to the material of the first layer and high affinity to the material of the plate 30.
  • the high affinity to the first layer means that the third material has good wettability with the first layer at the time of casting, and the second layer can sufficiently cover the first layer.
  • the high affinity to the material of the plate 30 means that the third material has good wettability with the plate material at the time of casting, and a space (sink) is hardly generated inside the plate.
  • the material of the second layer is at least partially melted by the molten metal used to form the plate 30.
  • the first layer and the plate 30 are made of materials having high affinity with each other, as the second layer is at least partially melted by the molten metal during casting, Can be bonded through the melted second layer.
  • a 2nd layer is the copper plating comprised with copper.
  • the first layer plating 23 and the plate 30 can be easily bonded by melting copper into the molten metal. Therefore, in the present embodiment, the second layer plating 24 which is the second layer is described as copper plating.
  • the second layer is not limited to copper plating made of copper, but may be silver plating made of silver (Ag) or gold plating made of gold (Au). It may be titanium plating made of titanium (Ti), or may be made of other metals or their alloys.
  • the pipe 20 is a copper pipe 22 to which the first layer plating 23 is applied and the second layer plating 24 is applied. Further, as described above, since the pipe 20 formed along the heating element 34 is cast into the inside of the plate 30, the pipe 20 can effectively cool the heating element 34 as shown in FIG. Will be placed. Thus, the cooling structure 10 can effectively cool the heating element 34 by the cooling water flowing through the flow path of the pipe 20.
  • the pipe 20 is formed in a shape along the heating element 34 before casting, the first layer plating 23 and the second layer plating 24 are applied at the timing of forming in such a shape. Although it may be after, it is more preferable before applying the first layer plating 23 and the second layer plating 24. That is, the pipe 20 is preferably formed by applying the first layer plating 23 and the second layer plating 24 to the copper pipe 22 formed along the heating element 34. Thereby, the first layer plating 23 and the second layer plating 24 can be applied without unevenness on the entire copper pipe 22.
  • the plate 30 is formed in a plate shape by casting the pipe 20 (the copper pipe 22 subjected to the first layer plating 23 and the second layer plating 24) inside using a mold.
  • the plate 30 is made of a material (a fourth material) which has a high thermal conductivity and a high affinity to the second material and the third material.
  • the material of the plate 30 is preferably aluminum or an aluminum alloy. Since aluminum has high thermal conductivity, it is possible to sufficiently exhibit the cooling performance of the cooling water for cooling the heating element 34. If the plate 30 is made of a material having good thermal conductivity such as aluminum, it is possible to lower the heating element 34 to a desired temperature with cooling water. Also, aluminum has high affinity with iron and copper. Therefore, when the pipe 20 is cast inside using a molten aluminum, the plate 30 is easily melted with the first layer plating 23 which is iron plating through the second layer plating 24 which is copper plating and melted out of the molten metal. It is because it can be combined.
  • the space may be generated relatively and hard pure aluminum may be adopted.
  • the thicknesses of the first layer plating 23 and the second layer plating 24 are not particularly limited, and the cooling performance of the cooling water flowing in the copper pipe 22 can be sufficiently exhibited, and the copper pipe 22 is damaged by the molten metal of the plate 30. It is sufficient if the thickness is not received. Further, the inner diameter and thickness of the copper pipe 22 are not particularly limited.
  • the thickness of the plate 30 is not particularly limited, as long as it is larger than the outer diameter of the pipe 20 and can sufficiently exhibit the cooling performance of the cooling water.
  • the plate 30 may be formed by cutting to a desired thickness after being formed to a predetermined thickness.
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of a flow of a method of manufacturing the cooling structure 10 according to the present embodiment.
  • the copper pipe 22 is formed along the heating element 34.
  • the first layer plating 23 is applied to the outer surface of the copper pipe 22 (step S1).
  • the second layer plating 24 is applied to the outside of the first layer plating 23 (step S2).
  • the pipe 20 which is the copper pipe 22 to which the first layer plating 23 and the second layer plating 24 have been applied is placed so as to be cast inside the plate 30, casting is performed to form the plate 30 (Step S3).
  • the cooling structure 10 in which the pipe 20 is cast into the inside of the plate 30 can be manufactured.
  • the degree of freedom of the shape of the flow path of the cooling water can be increased and the cooling performance of the cooling structure 10 can be exhibited without increasing the size.
  • the cooling structure formed by pouring into a molten metal into a mold in which a metal pipe such as copper is installed is, as described above, the temperature of the molten metal in the mold as the size of the cooling structure increases. Takes a long time to lower, and the metal pipe is exposed to the molten metal for a long time. Therefore, for example, in the case of a cooling structure having a size of about 100 mm ⁇ 100 mm, the metal pipe can be cast in a state having the function of a metal pipe, but in the case of a cooling structure having a size larger than that, As a result, the metal pipe may be deformed or melted, and the cooling water may not be able to flow sufficiently.
  • the pipe 20 is formed by forming the first layer plating 23 made of a material having heat resistance on the surface of the copper pipe 22, so that the molten metal Does not melt out.
  • the second layer (the second layer plating 24) formed of a material having a high affinity to the material of the first layer plating 23 and the material of the plate 30 is the first. It is formed on the surface of layer plating 23.
  • the plate 30 having the pipe 20 cast therein is easily coupled to the pipe 20. Therefore, according to the cooling structure 10 according to the present embodiment, the heat generating body 34 mounted on the cooling structure 10 can be sufficiently cooled by the cooling water flowing through the pipe 20. The cooling performance can be sufficiently exhibited.
  • the cooling structure 10 according to the present embodiment can be suitably applied to an apparatus in which the size of the cooling structure 10 is large, such as the transmitter 50.
  • the cooling structure 10 according to the present embodiment may be any device as long as the cooling structure 10 is mounted on the power amplifier 40 housed and used in a rack. Therefore, for example, the cooling structure 10 according to the present embodiment can be applied to a cooling server or the like that cools drinking water.
  • the degree of freedom in the shape of the cooling water flow path is reduced.
  • it is necessary to install a connecting member in the case of connecting a plurality of linear flow paths, it is necessary to install a connecting member, and the size of the cooling structure becomes large.
  • the cooling structure 10 since the cooling structure 10 according to the present embodiment is formed by casting the pipe 20 in which the flow path is formed into the inside of the plate 30, it is possible to freely change the pipe 20 before casting. it can. Further, since it is not necessary to connect the flow paths, the cooling structure 10 can be formed without increasing the size of the cooling structure and suppressing the cost of forming the flow paths.
  • the pressure loss generated in the connection portion may be large.
  • the cooling structure 10 according to the present embodiment since the flow paths are not connected to each other, such pressure loss can be reduced.
  • the cooling structure 10 improves the cooling performance as compared with the case where a plurality of linear flow paths are connected. be able to.
  • the cooling structure 10 can mount the heat generating body 34 on both planes (the first plane 32 and the second plane 33) of the plate 30. That is, even if the heating elements 34 are mounted on both planes of the plate 30, the cooling structure 10 can sufficiently cool the heating elements 34.
  • Cooling structure 20 pipe 22 copper pipe 23 1st layer plating 24 2nd layer plating 30 plate 40 power amplifier 50 transmitter

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Abstract

本発明の目的は、冷却構造体のサイズを大きくすること無く、冷却水の流路の形状の自由度を上げ、且つ、冷却構造体の冷却性能を発揮可能な冷却構造体を提供することである。そのために本発明の冷却構造体は、冷却水の流路が形成された基材と、該基材の外側表面に形成された第１の層と、第１の層の外側に形成された第２の層と、を有するパイプと、パイプを内部に鋳込んだプレートと、を備え、基材は、熱伝導性の良い第１の材料で構成され、第１の層は、耐熱性を有する第２の材料で構成され、第２の層は、第２の材料と親和性の高い第３の材料で構成され、プレートは、熱伝導性の良い第４の材料で構成され、第２の材料および第３の材料は、夫々、第４の材料と親和性が高い。

Description

冷却構造体、冷却構造体の製造方法、電力増幅器、および、送信機
　本開示は、冷却構造体、冷却構造体の製造方法、電力増幅器、および、送信機に関する。
　発熱体を冷却する方法として、水冷式の冷却構造体が考えられている。例えば、特許文献１には、水冷式コールドプレートとして、断面形状が偏平の、銅および銅合金、ステンレス鋼などの耐食性の金属パイプを内部に鋳込んだアルミニウムプレートが記載されている。
　また、特許文献２には、アルミニウム合金または銅の鋳物である樹脂のブロー成形用金型が記載されている。特許文献２には、金型に冷却媒体を循環させる通路をドリル加工で設ける代わりに、内部にその全体にわたって純銅および銅合金あるいは鋼のパイプを鋳ぐるむことにより、金型内に通路を設けることが記載されている。
　また、冷却液を用いた冷却装置において、冷却液が漏水した場合であっても、放送システムの停止などの事故を防止する方法が特許文献３に記載されている。
特開平６－３０４７３９号公報 特開平４－１９７５６９号公報 特開２００６－６６６６９号公報
　特許文献１に記載の冷却構造体（コールドプレート）や特許文献２に記載の金型は、金属パイプを内部に設置した鋳型に、溶湯を流し込むことにより成形される。しかしながら、特許文献１および２に記載の技術では、冷却構造体のサイズが大きくなればなるほど、鋳型内の溶湯の温度が低下するまでに時間がかかり、金属パイプが長時間高温の溶湯にさらされてしまう。これにより、耐熱性が低い金属パイプの場合、該金属パイプが変形や溶融してしまう可能性がある。一方、特許文献１に記載のように、高い耐熱性を有するステンレス鋼の金属パイプの場合、熱伝導性が低い。そのため、このような金属パイプを用いた冷却構造体は、特許文献３に記載の放送システムに用いられる発熱体のように高熱を発する発熱体に対して、十分に冷却性能を発揮できない可能性がある。
　また、上述した特許文献２に記載の通路をドリル加工で設ける方法を冷却構造体の製造に適用した場合、製造上の関係により、該通路は、冷却構造体の一の側面から対向する側面に達する直線状になる。よって、冷却水の流路の形状の自由度が低下してしまう。また、複数の直線状の流路同士を連結させる場合、連結部材を設置する必要があり、冷却構造体のサイズが大きくなってしまう。
　本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、冷却構造体のサイズを大きくすること無く、冷却水の流路の形状の自由度を上げ、且つ、冷却構造体の冷却性能を発揮可能な冷却構造体、その製造方法、並びに、該冷却構造体を備える電力増幅器および送信機を提供することにある。
　本開示の一態様に係る冷却構造体は、冷却水の流路が形成された基材と、該基材の外側表面に形成された第１の層と、前記第１の層の外側に形成された第２の層と、を有するパイプと、前記パイプを内部に鋳込んだプレートと、を備え、前記基材は、熱伝導性の良い第１の材料で構成され、前記第１の層は、耐熱性を有する第２の材料で構成され、前記第２の層は、前記第２の材料と親和性の高い第３の材料で構成され、前記プレートは、熱伝導性の良い第４の材料で構成され、前記第２の材料および前記第３の材料は、夫々、前記第４の材料と親和性が高い。
　また、本開示の一態様に係る冷却構造体の製造方法は、プレート状の冷却構造体の製造方法であって、冷却水の流路が形成されたパイプ状の基材であって、熱伝導性の良い第１の材料で構成される基材の外側表面に、耐熱性を有する第２の材料で構成される第１の層を形成し、前記第１の層の外側に、前記第２の材料と親和性の高い第３の材料で構成される第２の層を形成し、熱伝導性が良く前記第２の材料および前記第３の材料と親和性が高い第４の材料の溶湯を用いて、前記第１の層および前記第２の層が形成された前記基材を内部に鋳込む。
　なお、上記冷却構造体を備える電力増幅器、および、該電力増幅器を備える送信機も本開示の範疇に含まれる。
　本開示によれば、冷却構造体は、サイズを大きくすること無く、冷却水の流路の形状の自由度を上げ、且つ、冷却性能を発揮することができる。
一実施の形態に係る冷却構造体の一例を示す上面図である。 冷却構造体を備える電力増幅器の一例を示す図である。 複数の電力増幅器を備える送信機の一例を示す図である。 図１のＡ－Ａ部の断面拡大図である。 一実施の形態に冷却構造体の製造方法の流れの一例を示すフローチャートである。
　本開示の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態に係る冷却構造体１０の一例を示す上面図である。冷却構造体１０は、パイプ２０と、プレート３０とを備える。冷却構造体１０は、パイプ２０をプレート３０の内部に鋳込むことによって形成される。プレート３０は、所定の厚みを有するプレート状の構造体である。プレート３０の形状は、特に限定されず、略矩形であってもよいし、その他の形状であってもよい。本実施の形態では、プレート３０の表面と裏面とは、形状が略矩形の平面であり、４つの側面（３１Ａ～３１Ｄ）を有するとして説明を行う。
　プレート３０の第１平面３２には、発熱体（３４Ａ～３４Ｄ）が搭載される。また、プレート３０の第１平面３２に対向する第２平面３３には、発熱体（３４Ｅ～３４Ｈ）が搭載される。以降、発熱体（３４Ａ～３４Ｈ）をそれぞれ区別しない場合、または、総称する場合には、これらを発熱体３４と呼ぶ。
　発熱体３４は、例えば、トランジスタなどの熱を発する電子部品である。なお、第１平面３２および第２平面３３に搭載される発熱体３４の数は特に限定されず、冷却構造体１０が搭載される機器の種類によって適宜決定されるものであってもよい。また、第１平面３２および第２平面３３における発熱体３４が搭載される位置は特に限定されず、適宜決定されるものであってもよい。
　また、発熱体３４は、第１平面３２および第２平面３３の両面に搭載されてもよいし、何れか一方の面に搭載されてもよい。
　パイプ２０は、冷却水の流路が形成されている。パイプ２０の端部（２１Ａ、２１Ｂ）は、プレート３０の何れかの側面（図１においては、側面３１Ａ）から冷却水を流入または流出する部材（例えばホース）に接続するように設けられている。なお、パイプ２０の端部（２１Ａ、２１Ｂ）は、何れの側面から冷却構造体１０の外部に接続するように設けられてもよい。また、パイプ２０の端部（２１Ａ、２１Ｂ）は、夫々異なる側面から冷却構造体１０の外部に接続するように設けられてもよい。
　パイプ２０は、図１に示す通り、発熱体３４に沿うように形成されており、該発熱体３４に沿う位置に配置されることが好ましい。パイプ２０は、第１平面３２側から見た場合（Ｚ軸負方向から見た場合）に、各発熱体３４と一部または全部が重なるように配置されてもよい。パイプ２０は、第１平面３２側から見た場合に、各発熱体３４に対応する位置に沿って直線、屈折または屈曲した形状で配置されていればよい。
　図２は、冷却構造体１０を備える電力増幅器４０の一例を示す図である。図２に示す通り、電力増幅器４０は、筐体４１内に発熱体３４が搭載された冷却構造体１０を備える。
なお、電力増幅器４０は、図２に示す部材以外の部材を含んでもよい。例えば、電力増幅器４０は、冷却構造体１０へ冷却水を流入するためのホースと上述した端部とを接続するための部材を含んでもよい。
　図３は、複数の電力増幅器４０を備える送信機５０の一例を示す図である。本実施の形態に係る冷却構造体１０を備える電力増幅器４０は、放送用の電波を増幅し、図示しないアンテナに出力するとして説明を行う。すなわち、本実施の形態に係る冷却構造体１０は、放送用の電波を送出する送信機５０に適用される。
　図３に示すように、１以上の電力増幅器４０はラック５１内に収納される。電力増幅器４０は、図３に示すように、電力増幅器４０をラック５１に収納および取り出し易いように取手４２を備えてもよい。この送信機５０が備える電力増幅器４０の数は特に限定されず、使用される状況によって適宜変更可能である。送信機５０は、電力増幅器４０の他に、電力増幅器４０の制御を行う制御部やその他の放送用機器を備える。また、送信機５０は、電力増幅器４０に冷却水を流入させる機構や、パイプ２０の内部を流れた後の冷却水を流出させる機構を有する。なお、これらの機構はどのようなものを採用してもよい。
　次に、冷却構造体１０について、さらに説明する。図４は、図１のＡ－Ａ部の断面拡大図である。図４に示す通り、冷却構造体１０は、パイプ２０と、プレート３０とを備える。プレート３０は、パイプ２０を内部に鋳込むことによって形成される。
　パイプ２０は、パイプ状の基材である銅パイプ２２と、銅パイプ２２の外側表面に形成された第１の層である第１層めっき２３と、第１の層の外側に形成された第２の層である第２層めっき２４とを有する。
　基材は、冷却水の流路が形成されたパイプである。基材は、熱伝導性が良い材料（第１の材料）で構成される。熱伝導性が良いとは、熱伝導率が所定の値より高いことを示す。基材の熱伝導性が良いとは、発熱体を希望の温度まで冷却するのに十分な程度に冷却水に熱を伝導できることを言う。熱伝導性が良い材料とは、例えば、ステンレス鋼よりも高い熱伝導率を有する材料である。なお、基材の材料は、銅であることが好ましい。なぜならば、銅で構成された銅パイプ２２は、熱伝導性が良く、耐食性が高く、安価であるため、冷却構造体１０の生成コストを抑えることができるからである。したがって、本実施の形態では、基材が銅パイプ２２であるとして説明を行う。なお、基材の材料は、銅に限定されず、銅を含む合金であってもよい。
　第１の層は、銅パイプ２２の外側表面に形成される。第１の層は、耐熱性を有し、プレート３０の材料と親和性が高い材料（第２の材料）で構成される。プレート３０の材料と親和性が高いとは、鋳込み時に、第２の材料がプレート材料との間で濡れ性が良く、プレート内部に空間（鬆）が発生しにくいことを言う。なお、第１の層は、鉄で構成された鉄めっきであることが好ましい。なぜならば、鉄で構成された鉄めっきは、耐熱性が高いため、鋳込みの際に高温の溶湯（プレート３０の材料の溶湯）に溶融しない。その結果、銅パイプ２２が高温の溶湯に接触することを防ぐことができる。したがって、本実施の形態では、第１の層である第１層めっき２３が鉄めっきであるとして説明を行う。なお、第１の層は、鉄で構成される鉄めっきに限定されず、クロム（Ｃｒ）で構成されるクロムめっきであってもよいし、ニッケル（Ｎｉ）で構成されるニッケルめっきであってもよいし、その他の、耐熱性を有しプレート３０の材料と親和性が高い材料であってもよい。
　第２の層は、第１層めっき２３の表面に形成される。第２の層は、第１の層の材料と親和性の高く、且つ、プレート３０の材料と親和性が高い材料（第３の材料）で構成される。第１の層と親和性が高いとは、鋳込み時に、第３の材料が第１の層との間で濡れ性が良く、第２の層が第１の層を十分被覆できることを言う。またプレート３０の材料と親和性が高いとは、鋳込み時に、第３の材料がプレート材料との間で濡れ性が良く、プレート内部に空間（鬆）が発生しにくいことを言う。なお、第２の層の材料は、プレート３０の形成に用いる溶湯によって少なくとも一部が熔解するものであることが好ましい。鋳込みの際に第２の層が溶湯によって少なくとも一部が溶融することにより、互いに親和性が高い材料で構成される、第１の層およびプレート３０は、これらと親和性が高い材料で構成される、溶けだした第２の層を介して、結合することができる。なお、第２の層は、銅で構成された銅めっきであることが好ましい。これにより、溶湯に銅が溶けだすことにより、第１層めっき２３とプレート３０とを容易に結合させることができる。したがって、本実施の形態では、第２の層である第２層めっき２４が銅めっきであるとして説明を行う。なお、第２の層は、銅で構成される銅めっきに限定されず、銀（Ａｇ）で構成される銀めっきであってもよいし、金（Ａｕ）で構成される金めっきであってもよいし、チタン（Ｔｉ）で構成されるチタンめっきであってもよいし、その他の金属やその合金で構成されるものであってもよい。
　以上のように、パイプ２０は、銅パイプ２２に対し、第１層めっき２３が施され、第２層めっき２４が施されたものであることが好ましい。また、上述した通り、発熱体３４に沿うように形成されたパイプ２０がプレート３０の内部に鋳込まれるため、パイプ２０は、図４に示す通り、発熱体３４を効果的に冷却可能な位置に配置される。これにより、冷却構造体１０は、パイプ２０の流路を流れる冷却水によって、発熱体３４を効果的に冷却することができる。
　なお、パイプ２０は、鋳込みの前に発熱体３４に沿うような形状に形成されるが、このような形状に形成されるタイミングは、第１層めっき２３および第２層めっき２４が施された後であってもよいが、第１層めっき２３および第２層めっき２４を施される前の方が好ましい。つまり、パイプ２０は、発熱体３４に沿うように形成された銅パイプ２２に対し、第１層めっき２３および第２層めっき２４を施すことによって形成される方が好ましい。これにより、銅パイプ２２全体にわたって、斑なく第１層めっき２３および第２層めっき２４を施すことができるからである。
　プレート３０は、鋳型を用いて、パイプ２０（第１層めっき２３および第２層めっき２４が施された銅パイプ２２）を内部に鋳込んで、プレート状に形成されたものである。プレート３０は、熱伝導性が良く、第２の材料および第３の材料と親和性が高い材料（第４の材料）で構成される。
　なお、プレート３０の材料は、アルミニウムまたはアルミニウム合金であることが好ましい。アルミニウムは熱伝導性が高いため、発熱体３４を冷却するための冷却水の冷却性能を十分に発揮させることができるからである。アルミニウムのような熱伝導性が良い材料でプレート３０を構成すれば、冷却水で発熱体３４を希望の温度まで下げることが可能である。また、アルミニウムは、鉄および銅と親和性が高い。したがって、アルミニウムの溶湯を用いてパイプ２０を内部に鋳込む際、プレート３０は、溶湯に溶けだした、銅めっきである第２層めっき２４を介して鉄めっきである第１層めっき２３と容易に結合することができるからである。
　なお、鋳込みの際に、プレート３０内部にできる空間（鬆）を電気的に除去する必要がある場合、該空間が比較的発生し辛い純アルミニウムを採用してもよい。
　なお、第１層めっき２３および第２層めっき２４の厚みは特に限定されず、銅パイプ２２内を流れる冷却水の冷却性能を十分に発揮でき、且つ、銅パイプ２２がプレート３０の溶湯によって損傷を受けない厚みであればよい。また、銅パイプ２２の内径および肉厚は特に限定されない。
　プレート３０の厚みは、特に限定されず、パイプ２０の外径よりも大きく、且つ、冷却水の冷却性能を十分に発揮できる厚みであればよい。プレート３０は、所定の厚みで成形された後、所望の厚みになるまで切削することにより形成されてもよい。
　次に、図５を参照して、プレート状の冷却構造体１０の製造方法の流れについて説明する。図５は、本実施の形態に係る冷却構造体１０の製造方法の流れの一例を示すフローチャートである。図５においては、銅パイプ２２は、発熱体３４に沿うように形成されているとする。
　まず、銅パイプ２２の外側表面に、第１層めっき２３を施す（ステップＳ１）。次に、第１層めっき２３の外側に、第２層めっき２４を施す（ステップＳ２）。そして、第１層めっき２３および第２層めっき２４が施された銅パイプ２２であるパイプ２０を、プレート３０の内部に鋳込まれるように配置した状態で、鋳込みを行い、プレート３０を形成する（ステップＳ３）。
　以上により、パイプ２０がプレート３０の内部に鋳込まれた冷却構造体１０を製造することができる。
　本実施の形態に係る冷却構造体１０によれば、サイズを大きくすること無く、冷却水の流路の形状の自由度を上げ、且つ、冷却構造体１０の冷却性能を発揮することができる。
　例えば、銅などの金属パイプを内部に設置した鋳型に、溶湯に流し込むことにより形成された冷却構造体は、上述した通り、該冷却構造体のサイズが大きくなればなるほど、鋳型内の溶湯の温度が低下するまでに時間がかかり、金属パイプが長時間高温の溶湯にさらされてしまう。したがって、例えば、１００ｍｍ×１００ｍｍ程度のサイズの冷却構造体の場合、金属パイプの機能を有した状態で該金属パイプを鋳込むことができるが、それ以上のサイズの冷却構造の場合、鋳込みの途中で該金属パイプが変形したり溶融したりし、冷却水を十分に流すことができなくなってしまう可能性がある。
　しかしながら、本実施の形態に係る冷却構造体１０によれば、パイプ２０は、銅パイプ２２の表面に耐熱性を有する材料で構成された第１層めっき２３が形成されたものであるため、溶湯で溶け出さない。また、本実施の形態に係る冷却構造体１０は、第１層めっき２３の材料およびプレート３０の材料と親和性が高い材料で形成された第２の層（第２層めっき２４）が第１層めっき２３の表面に形成される。これにより、パイプ２０を内部に鋳込んだプレート３０は、パイプ２０と容易に結合する。したがって、本実施の形態に係る冷却構造体１０によれば、パイプ２０を流れる冷却水によって、冷却構造体１０に搭載される発熱体３４を十分に冷却することができるため、冷却構造体１０の冷却性能を十分に発揮することができる。
　したがって、送信機５０のように、冷却構造体１０のサイズが大きい装置にも本実施の形態に係る冷却構造体１０を好適に適用することができる。なお、本実施の形態に係る冷却構造体１０は、ラック内に収納して使用する電力増幅器４０に搭載される冷却構造体１０であれば、どの様な機器であってもよい。したがって、例えば、飲料水を冷却する冷却サーバ等にも、本実施の形態に係る冷却構造体１０を適用することができる。
　また、上述した通り、冷却水の流路をドリル加工で設ける方法では、冷却水の流路の形状の自由度が低下してしまう。また、複数の直線状の流路同士を連結させる場合、連結部材を設置する必要があり、冷却構造体のサイズが大きくなってしまう。
　しかしながら、本実施の形態に係る冷却構造体１０は、流路が形成されたパイプ２０をプレート３０の内部に鋳込むことにより形成されるので、鋳込みの前にパイプ２０を自由に変化させることができる。また、流路同士を連結させる必要が無いため、冷却構造体のサイズを大きくすること無く、流路の形成に係るコストを抑えて、冷却構造体１０を形成することができる。
　また、複数の直線状の流路同士を連結させる場合、連結部分に発生する圧力損失が大きくなる可能性がある。しかしながら、本実施の形態に係る冷却構造体１０によれば、流路同士を連結させないため、このような圧力損失を低減させることができる。
　したがって、圧力損失の少ない冷却水を流路に流すことができるため、本実施の形態に係る冷却構造体１０は、複数の直線状の流路同士を連結させる場合に比べ、冷却性能を向上させることができる。これにより、冷却構造体１０は、図４に示すように、プレート３０の両平面（第１平面３２、第２平面３３）に発熱体３４を搭載することができる。つまり、プレート３０の両平面に発熱体３４を搭載したとしても、冷却構造体１０は、発熱体３４を十分に冷却することができる。
　なお、上述した実施の形態は、本開示の好適な実施の形態であり、上記実施の形態にのみ本開示の範囲を限定するものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において当業者が上記実施の形態の修正や代用を行い、種々の変更を施した形態を構築することが可能である。
　この出願は、２０１７年６月１９日に出願された日本出願特願２０１７－１１９２５８を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
　１０　　冷却構造体
　２０　　パイプ
　２２　　銅パイプ
　２３　　第１層めっき
　２４　　第２層めっき
　３０　　プレート
　４０　　電力増幅器
　５０　　送信機

Claims (10)

  1. 　冷却水の流路が形成された基材と、該基材の外側表面に形成された第１の層と、前記第１の層の外側に形成された第２の層と、を有するパイプと、
    　前記パイプを内部に鋳込んだプレートと、
    　を備え、
    　前記基材は、熱伝導性の良い第１の材料で構成され、
    　前記第１の層は、耐熱性を有する第２の材料で構成され、
    　前記第２の層は、前記第２の材料と親和性の高い第３の材料で構成され、
    　前記プレートは、熱伝導性の良い第４の材料で構成され、
    　前記第２の材料および前記第３の材料は、夫々、前記第４の材料と親和性が高い、
    　ことを特徴とする冷却構造体。
  2. 　前記第３の材料は、前記第４の材料の溶湯によって少なくとも一部が熔解する、
    　ことを特徴とする請求項１に記載の冷却構造体。
  3. 　前記プレートの少なくとも一方の面には、発熱体が搭載されており、
    　前記プレートは、前記発熱体に沿うように形成された前記パイプを内部に鋳込んでいる、
    　ことを特徴とする請求項１または２に記載の冷却構造体。
  4. 　前記第４の材料は、アルミニウムまたはアルミニウム合金である、
    　ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の冷却構造体。
  5. 　前記第１の材料は、銅である、
    　ことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の冷却構造体。
  6. 　前記第１の層は、鉄めっきである、
    　ことを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の冷却構造体。
  7. 　前記第２の層は、銅めっきである、
    　ことを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の冷却構造体。
  8. 　プレート状の冷却構造体の製造方法であって、
    　冷却水の流路が形成されたパイプ状の基材であって、熱伝導性の良い第１の材料で構成される基材の外側表面に、耐熱性を有する第２の材料で構成される第１の層を形成し、
    　前記第１の層の外側に、前記第２の材料と親和性の高い第３の材料で構成される第２の層を形成し、
    　熱伝導性が良く前記第２の材料および前記第３の材料と親和性が高い第４の材料の溶湯を用いて、前記第１の層および前記第２の層が形成された前記基材を内部に鋳込む、
    　ことを特徴とする冷却構造体の製造方法。
  9. 　請求項１から７の何れか１項に記載の冷却構造体を備える電力増幅器。
  10. 　請求項９に記載の電力増幅器を備える送信機。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019172233A1 (ja) * 2018-03-08 2019-09-12 日本電気株式会社 冷却構造体、電力増幅器及び送信機
JP2022530673A (ja) * 2019-05-03 2022-06-30 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 電力増幅器内の熱管理用の水冷プレート

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5930465A (ja) * 1982-08-12 1984-02-18 Yanmar Diesel Engine Co Ltd アルミニウム合金による鉄系材料の鋳包み方法
JPH04197569A (ja) 1990-11-29 1992-07-17 Ube Ind Ltd ブロー成形用金型
JPH06304739A (ja) 1993-04-20 1994-11-01 Furukawa Electric Co Ltd:The 水冷式コールドプレートおよびその製造方法
JP2000340728A (ja) * 1999-05-26 2000-12-08 Mitsubishi Electric Corp ヒートシンクおよびその製造方法
JP2004214503A (ja) * 2003-01-07 2004-07-29 Hitachi Cable Ltd 受熱体及びそれを用いた冷却装置
JP2006066669A (ja) 2004-08-27 2006-03-09 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子装置
US20070017658A1 (en) * 2005-07-19 2007-01-25 International Business Machines Corporation Cold plate apparatus and method of fabrication thereof with a controlled heat transfer characteristic between a metallurgically bonded tube and heat sink for facilitating cooling of an electronics component
JP2016035945A (ja) * 2014-08-01 2016-03-17 株式会社日立製作所 パワーモジュールおよび熱拡散板
JP2017119258A (ja) 2015-12-29 2017-07-06 株式会社アーステクニカ 破砕機

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS555101A (en) * 1978-06-05 1980-01-16 Nikkei Giken:Kk Casting method for wrapping metal
EP0029471A1 (de) 1979-11-27 1981-06-03 BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie. Verfahren zur Herstellung eines Lagerkörpers für ein Gleitlager hoher Wärmeleitfähigkeit und Lagerkörper
JPS61123459A (ja) 1984-11-17 1986-06-11 Kobe Steel Ltd アルミニウム合金鋳物への銅又は銅合金パイプの鋳ぐるみ方法
US6031751A (en) * 1998-01-20 2000-02-29 Reliance Electric Industrial Company Small volume heat sink/electronic assembly
JPH11304314A (ja) 1998-04-24 1999-11-05 Hoshizaki Electric Co Ltd 製氷器及びその製造方法
CN201852443U (zh) 2010-08-26 2011-06-01 象山永和机械模具有限公司 热媒固化炉用导热铝板
JP6904554B2 (ja) 2017-02-02 2021-07-21 株式会社サンテック 熱交換器、及びその製造方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5930465A (ja) * 1982-08-12 1984-02-18 Yanmar Diesel Engine Co Ltd アルミニウム合金による鉄系材料の鋳包み方法
JPH04197569A (ja) 1990-11-29 1992-07-17 Ube Ind Ltd ブロー成形用金型
JPH06304739A (ja) 1993-04-20 1994-11-01 Furukawa Electric Co Ltd:The 水冷式コールドプレートおよびその製造方法
JP2000340728A (ja) * 1999-05-26 2000-12-08 Mitsubishi Electric Corp ヒートシンクおよびその製造方法
JP2004214503A (ja) * 2003-01-07 2004-07-29 Hitachi Cable Ltd 受熱体及びそれを用いた冷却装置
JP2006066669A (ja) 2004-08-27 2006-03-09 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子装置
US20070017658A1 (en) * 2005-07-19 2007-01-25 International Business Machines Corporation Cold plate apparatus and method of fabrication thereof with a controlled heat transfer characteristic between a metallurgically bonded tube and heat sink for facilitating cooling of an electronics component
JP2016035945A (ja) * 2014-08-01 2016-03-17 株式会社日立製作所 パワーモジュールおよび熱拡散板
JP2017119258A (ja) 2015-12-29 2017-07-06 株式会社アーステクニカ 破砕機

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3644356A4

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019172233A1 (ja) * 2018-03-08 2019-09-12 日本電気株式会社 冷却構造体、電力増幅器及び送信機
JP2022530673A (ja) * 2019-05-03 2022-06-30 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 電力増幅器内の熱管理用の水冷プレート
JP7376613B2 (ja) 2019-05-03 2023-11-08 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 電力増幅器内の熱管理用の水冷プレート

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