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WO2015135795A1 - Flashlamp arrangement and processing arrangement - Google Patents

Flashlamp arrangement and processing arrangement Download PDF

Info

Publication number
WO2015135795A1
WO2015135795A1 PCT/EP2015/054391 EP2015054391W WO2015135795A1 WO 2015135795 A1 WO2015135795 A1 WO 2015135795A1 EP 2015054391 W EP2015054391 W EP 2015054391W WO 2015135795 A1 WO2015135795 A1 WO 2015135795A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gas discharge
pulse
ignition
discharge lamp
electrical
Prior art date
Application number
PCT/EP2015/054391
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Harald Gross
Original Assignee
Von Ardenne Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Gmbh filed Critical Von Ardenne Gmbh
Publication of WO2015135795A1 publication Critical patent/WO2015135795A1/en

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
    • H05B41/14—Circuit arrangements
    • H05B41/16—Circuit arrangements in which the lamp is fed by dc or by low-frequency ac, e.g. by 50 cycles/sec ac, or with network frequencies
    • H05B41/20—Circuit arrangements in which the lamp is fed by dc or by low-frequency ac, e.g. by 50 cycles/sec ac, or with network frequencies having no starting switch
    • H05B41/22—Circuit arrangements in which the lamp is fed by dc or by low-frequency ac, e.g. by 50 cycles/sec ac, or with network frequencies having no starting switch for lamps having an auxiliary starting electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/70—Lamps with low-pressure unconstricted discharge having a cold pressure < 400 Torr
    • H01J61/80—Lamps suitable only for intermittent operation, e.g. flash lamp
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
    • H05B41/02—Details
    • H05B41/04—Starting switches

Definitions

  • Flash lamp arrangement and processing arrangement The invention relates to a flash lamp arrangement and a processing arrangement.
  • a gas discharge lamp conventionally has a cathode and an anode inside a gas-filled glass tube, and when ignited the gas discharge lamp to a
  • Gas discharge under the emission of light comes.
  • a gas discharge lamp can be operated as a flash lamp, for example by a capacitor through the
  • Pulsed gas discharge lamp is pulsed, with the flash lamp, a flash of light can be generated.
  • a gas discharge lamp can be operated in such a way that a pulsed gas discharge occurs when the gas discharge lamp is ignited.
  • the discharge duration of a pulsed gas discharge may be short, e.g.
  • Megawatt range can be provided, by means of which the gas discharge is fed in the gas discharge lamp.
  • an electric ignition pulse is conventionally generated by means of an ignition generator and coupled into the gas discharge lamp in such a way that the formation of a plasma charge within the gas discharge lamp is excited.
  • Plasma filament lowers the impedance of the gas discharge lamp, so that a voltage applied to the gas discharge lamp leads to a discharge current in the lamp.
  • Gas discharge to be stimulated If a long gas discharge lamp, eg with a length greater than 1 m, is to be ignited, the generation of an electrical ignition pulse which reliably ignites the gas discharge lamp may require considerable effort.
  • the launching of the electrical firing pulse into the gas discharge lamp can be accomplished by means of an electric field generated outside the gas discharge (external firing).
  • electric ignition pulse for example, be transmitted to an electrical conductor, which is outside the
  • Gas discharge lamp extends so that a plasma thread is formed in the gas discharge lamp, which runs along the electrical conductor. Reliable ignition of the gas discharge lamp may require electrical power
  • Performance of the ignition generator which increases the cost of the ignition generator. For example, a required for generating an electric ignition pulse peak current can be greater, the longer a gas discharge lamp to be ignited.
  • an ignition pulse is generated with a pulse duration greater than 200 ys, wherein a delay between the triggering of the electric ignition pulse and the beginning of the gas discharge in the gas discharge lamp (in other words the ignition timing) occurs, which can vary over time. Therefore, conventionally, it may be difficult to reliably time-fire a gas discharge lamp.
  • Various embodiments are illustratively based on the recognition that the electric field generated for external firing results in a displacement current that causes the formation stimulate the plasma charge and therefore can influence the ignition behavior of the gas discharge lamp.
  • Flash lamp assembly provided with a gas discharge lamp with the most reliable ignition.
  • Such a flash lamp arrangement can be used, for example, for the simultaneous ignition of several gas discharge lamps.
  • the multiple gas discharge lamps may influence each other during ignition and / or it may be electrically conductive components in the vicinity of the plurality
  • Gas discharge lamps affect the action of the electric ignition pulse on the plurality of gas discharge lamps, so that ignition of the gas discharge lamps is offset. This can lead to fluctuations in the maximum light intensity of the superimposed flashes of light, depending on how strongly the multiple gas discharge lamps are influenced. Is by means of the superimposed flashes of light (eg
  • Flash lamp assembly provided with a plurality of gas discharge lamps such that a possible simultaneous ignition of the plurality of gas discharge lamps can be carried out.
  • those of the several gas discharge lamps are provided with a plurality of gas discharge lamps such that a possible simultaneous ignition of the plurality of gas discharge lamps can be carried out.
  • those of the several gas discharge lamps are provided with a plurality of gas discharge lamps such that a possible simultaneous ignition of the plurality of gas discharge lamps can be carried out.
  • the light output impairing reflector and a reflector are used, the geometry of which clearly ostensibly to produce the largest possible light output with the best possible homogeneity
  • Light intensity of a substrate to be illuminated is optimized.
  • a maximum light intensity of a generated flash of light can also be increased, the faster the gas discharge takes place at a constant dose (eg at a constant energy density), in other words the shorter the flash of light.
  • a flash lamp assembly with a plurality of gas discharge lamps provided such that an ignition pulse igniting the plurality of gas discharge lamps at a discharge time in the
  • the ignition pulse can be set or become such that all of the gas discharge lamps ignited collectively
  • Flash lamp assembly comprising: a
  • a gas discharge lamp wherein the drive circuit may be configured such that an electric discharge pulse (e.g., a current pulse) may be generated as soon as the
  • Gas discharge lamp is ignited; an ignition circuit for generating an electric ignition pulse (e.g.
  • the half-width of the electric ignition pulse is less than a tenth (or as a
  • Discharge pulse Illustratively, the half-width of the electric
  • Discharge pulse of the structure of the driver circuit may be defined or be.
  • the half-value width of the electric ignition pulse may be made as small as necessary to make the gas discharge lamp within one
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Half-width of the electric ignition pulse is less than about one fifth of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about one-tenth of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about one fiftieth (2%) of the half width of the electrical discharge pulse, e.g. less than about one hundredth (1%) of the half width of the
  • various embodiments may be less than about 20% of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about 10% of the half width of the electric discharge pulse, further e.g. less than about 5% of the half-width of the electric discharge pulse, e.g.
  • the half-width of the electric ignition pulse is or will be chosen so large that this sufficient electrical displacement in the
  • Gas discharge lamp also referred to as displacement current
  • the necessary half width may depend on the type and design of the gas discharge lamp. For example, an electrical firing pulse having a half width in a range of about 0.1% of the half width of the electric discharge pulse to about 20% of the half width of the electric
  • Discharge pulse sufficient electrical displacement in a long gas discharge lamp (for example longer than 100 mm) produce.
  • the flash lamp assembly with the gas discharge lamp (the gas discharge tube) can be used as a
  • Flash lamp arrangement with at least one flash lamp
  • Flash lamp assembly comprising: a plurality
  • Gas discharge lamps wherein the drive circuit may be arranged such that an electric discharge pulse can be generated when the plurality of gas discharge lamps are ignited; an ignition circuit for generating an electric ignition pulse for igniting the plurality
  • the ignition circuit is arranged such that the half-width of the electric ignition pulse is smaller than a fifth, a tenth or a fiftieth of the half-width of the electric
  • Flash lamp arrangement have a plurality of driver circuits for providing an operating voltage of several
  • Gas discharge lamp to be associated with a driver circuit. According to various embodiments, each
  • Gas discharge lamp of the plurality of gas discharge lamps with a driver circuit to be coupled to the multiple driver circuits This can be achieved, for example, that the respective provided by the driver circuit operating voltage for different gas discharge lamps may be different.
  • the several gas discharge lamps can be part of a
  • a lamp array may include or be formed from a plurality of gas discharge lamps, e.g. two, three, four, five, more than five, e.g. ten or e.g. twenty gas discharge lamps.
  • the gas discharge lamps of a lamp field can be used individually, in groups or together
  • Gas discharge lamps generated light flashes can overlap.
  • the ignition of a gas discharge lamp can be understood in such a way that, starting from the time of ignition, a gas discharge in the gas discharge lamp takes place with emission (or
  • Generating the gas discharge can be provided by means of a capacitor.
  • the capacitor can be part of a
  • the electrical energy necessary for generating the gas discharge can be stored in the capacitor be or become.
  • Capacitor are discharged through the gas discharge lamp by means of an electric discharge pulse (e.g., a current flow), the electric energy of the
  • the radiant energy is converted.
  • the radiant energy can be emitted from the gas discharge lamp by means of the
  • a substrate is irradiated for processing (e.g., at least processing) the substrate
  • the gas discharge (or the electric discharge pulse) can be an electric current flow, in other words a
  • Amperage of the discharge current in other words the discharge current, may be time-dependent and have a maximum (or a peak current).
  • the electrical discharge pulse as an electric current pulse
  • the electrical discharge pulse can be adjusted such that the
  • Time-dependent current (or the current-time characteristic) has a predefined half-width.
  • the current pulse when discharging the capacitor via the gas discharge lamp have a predefined half-width.
  • the current-time characteristic (or the time dependence of the electric current) and / or the voltage-time characteristic (or the time dependence of the electrical
  • the capacitor of the Driver circuit may be dimensioned accordingly and / or an electrically coupled to the capacitor inductance of the driver circuit, which may affect the discharge rate of the capacitor (and thus the discharge time) may be provided accordingly.
  • the inductance coupled to the capacitor may e.g. by means of a coil
  • the ignition circuit may be configured such that the electric ignition pulse as a time-dependent electrical
  • Amperage can be provided or can be.
  • Voltage pulse be provided.
  • Ignition pulse a maximum of amperage (a maximum
  • the ignition circuit may be configured such that the half width of the electric ignition pulse, in other words the half width of the electric current pulse and / or the half width of the electric voltage pulse has a predefined half width.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Ignition circuit be set up such that the
  • electrical firing pulse has a maximum voltage in a range of ⁇ 5 kV approximately to approximately ⁇ 50 kV, e.g. in a range of ⁇ 10 kV approximately to approximately ⁇ 40 kV, e.g. approximately
  • the ignition circuit may be configured such that the electrical ignition pulse has a maximum current in one
  • the required current can, for example, from the parasitic capacitance of the reflector as well as the
  • the electrical ignition pulse at a maximum voltage of about ⁇ 50 kV, a maximum
  • an ignition transformer (with a transmission factor of about one hundredth), for example, on the
  • Ignition transformer may be part of the ignition generator for generating the ignition pulse and be connected on the low voltage side with a sufficiently large power supply, so that the required electric current can be provided on the low voltage side.
  • the ignition transformer may also have a different transmission factor, or be dimensioned such that a
  • Discharge pulse of a flash lamp assembly can be adjusted so that the ignition pulse relative to the electrical discharge pulse of the flash lamp assembly is clearly as short as possible.
  • the half-width of a variable variable in time with a maximum can be understood as a time difference between two values of the time-variable variable (eg, an electric current or an electric voltage), which are each half of the maximum ,
  • the half-width can be the (temporal) width of a current pulse and / or voltage pulse describe which is measured at half the height of the current pulse and / or voltage pulse.
  • a variable of varying magnitude is provided as part of a temporal periodic (e.g., oscillating) electrical signal, e.g. As oscillating electrical voltage and / or as an oscillating electric current, the half-width can be defined by the period of the periodic time course and / or be defined by a half-wave of the time course.
  • the periodic time signal can be described, for example, as a sine function, the half-width can be defined by the first half-wave of the sine function, wherein the half-width of the first half-wave of the sine function can be one third of the period.
  • the periodic history can be used as a rectangle function
  • the half-width of the rectangular function can be the width of the rectangular function. Analogously, the half-width of other signal forms can be defined.
  • Flash lamp assembly further comprising: a
  • Sheath tube which surrounds the gas discharge lamp such that the gas discharge lamp can be cooled with a introduced into the sheath tube cooling liquid, wherein the ignition circuit between the sheath tube and the
  • the shell tube may be configured to receive the cooling liquid (e.g., cooling water) for cooling the gas discharge lamp with the cooling liquid.
  • the gas discharge lamp may be water-cooled, wherein the gas discharge lamp flows around and / or is flushed by the cooling water within the casing tube.
  • Ignition have a firing wire, which extends along the gas discharge lamp.
  • the ignition pulse can be transmitted to the ignition wire, so that the ignition wire forms a time-varying electric field, which acts on the gas discharge lamp such that a plasma thread within the gas discharge lamp
  • the ignition wire may be electrically conductive and e.g. comprise or be formed from a metal, e.g. Molybdenum, aluminum or steel.
  • the firing wire may be disposed between the shell tube and the gas discharge lamp. This can be achieved, for example, that the ignition wire in the smallest possible distance from the
  • Gas discharge lamp can be arranged or can, so that a coupling of the electric ignition pulse in the
  • Gas discharge lamp can be clearly as effective as possible. Is the ignition wire between sheath tube and
  • Coolant be lapped or be. This may require the ignition wire to be corrosion resistant
  • the ignition wire so
  • the ignition wire may, for example, be a corrosion-resistant metal, e.g.
  • corrosion-resistant steel in other words, stainless steel
  • a chromium-steel alloy e.g. a chromium-steel alloy
  • a coating of corrosion-resistant material e.g. have a coating of a plastic or glass.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Ignition circuit having a reflector
  • Gas discharge lamp can be ignited by means of the reflector.
  • the ignition pulse can be transferred to the reflector, so that the reflector on a time forms a variable electric field, which acts on the gas discharge lamp such that a plasma thread can be generated.
  • the reflector may be further configured to reflect light generated by the gas discharge lamp.
  • the reflector can be set up such that a luminous efficiency of the light reflected by the reflector is as high as possible.
  • the reflector may comprise a light-reflecting surface, e.g. a polished surface or a light-reflecting
  • the reflector may be arranged to reflect more than 60% of the light incident on it, e.g. more than 70% of the incident on him
  • the reflector can be tuned to the wavelength range (in other words, the spectrum) of the light generated by the gas discharge lamp, so that the reflector clearly shows as much of the generated by the gas discharge lamp
  • the reflector may be electrically conductive and e.g. comprise or be formed from a metal, e.g. Steel, aluminum or silver-coated copper.
  • the reflector and / or the ignition wire can be any suitable material.
  • the reflector and / or the ignition wire can age clearly, e.g. chemically with the
  • these may be a resistant material and / or have a coating of resistant material, eg steel, an oxide or silver.
  • (Illuminant) filled discharge vessel e.g. one
  • tubular discharge vessel e.g., made of glass, a quartz glass or a crystalline alumina ceramics (sapphire)
  • the gas discharge lamp When the gas discharge lamp is ignited, the light source enclosed in the discharge vessel can be passed through the light source by means of a current flow (in other words, by means of an electrical discharge pulse)
  • the tubular discharge vessel may, for example
  • a gas discharge lamp may, for example, a
  • a tubular gas discharge lamp may have a longitudinal extent in a range of about 0.1 m to about 2 m, e.g. in a range of about 0.1 m to about 1 m.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Discharge vessel of a gas discharge lamp have a diameter (eg inner diameter), for example transverse to the longitudinal extent of the discharge vessel, in a range of about 0.2 cm to about 5.0 cm, for example in a range of about 1.0 cm to about 3.0 cm, eg in a range of
  • extent e.g., longitudinal extent or
  • Diameter of a gas discharge lamp the larger the radiation output from the gas discharge lamp can be when the gas discharge lamp is ignited.
  • Exposure profile (in other words, a spatial
  • Distribution of light intensity be more uniform, the longer the gas discharge lamp.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • a power i.e., a peak electrical power
  • a power greater than about 100 kW e.g. a power greater than about 10 MW, e.g. a power of more than about 1 GW.
  • Gas discharge lamp converted power can be converted into a corresponding radiant power, which of the
  • Gas discharge lamp can be emitted by means of light, e.g. more than 20%, more than 30% or more than 40%, e.g. about 45% (also called light efficiency).
  • a radiant power greater than about 0.4 kW may be emitted (emitted) from the gas discharge lamp, e.g. a radiant power greater than about 40 kW, e.g. a radiant power greater than about 4 MW, e.g. a radiant power of more than about 0.4 GW.
  • a gas discharge lamp may refer to or be measured (eg, summed) over light in a wavelength range of about 200 nm to about 1000 nm.
  • a gas discharge lamp upper and generate little or no light below this wavelength range, ie, the remaining electrical energy is substantially completely converted into heat in this case.
  • the peak electrical power can at the time
  • the electrical discharge current through the gas discharge lamp reaches its maximum, i. to which the gas discharge lamp emits a maximum of light intensity.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • electric discharge pulse has a maximum amplitude (in other words a maximum) of the current greater than about 1 kA, e.g. greater than about 5 kA, e.g. greater than about 25 kA. This can be the
  • the electrical discharge pulse may have a pulse duration of less than about 50 ms, e.g. a pulse duration of less than about
  • the pulse duration may describe how long the capacitor discharges, in other words how long the electrical current will flow through the gas discharge lamp when the capacitor is discharged.
  • Discharge pulse can be understood as a time difference between two electric currents of the electric discharge pulse, which is about 33% of the maximum
  • Amperage of the electric discharge pulse can be.
  • the pulse duration can be the width of a current pulse describe which at one third of the height of the
  • Igniting the gas discharge lamp may be the short-term
  • the gas discharge lamp is then configured, for example, as a flash lamp).
  • the gas discharge lamp can emit light for a predefined period of time.
  • the predefined time span can be
  • shorter than about 50 ms e.g. shorter than about 10 ms, e.g. shorter than about 1 ms, e.g.
  • the electrical firing pulse may have a pulse duration of less than about 1 ms
  • a pulse duration of less than about 100 ys e.g. a pulse duration of less than about 50 ys, e.g. a pulse duration of less than about 20 ys, e.g. a pulse duration of less than about 10 ys, e.g. a pulse duration of less than about 5 ys.
  • the pulse duration of a firing pulse may range from about 1 ys to about 200 ys.
  • Zündpulses can as a time difference between two
  • the pulse duration of the electrical voltage pulse can describe the width of a voltage pulse, which is measured at one third of the height of the voltage pulse.
  • electric ignition pulse is less than one fifth of the pulse duration of the electric discharge pulse, e.g. less than one tenth of the pulse duration of the electrical discharge pulse, e.g. less than a fiftieth of the pulse duration of the
  • Ignition pulse according to various embodiments less than about 20% of the pulse duration of the electric
  • Discharge pulses e.g. less than about 10% of the pulse duration of the electrical discharge pulse, e.g. less than about 5% of the pulse duration of the electrical discharge pulse, e.g.
  • Discharge pulses e.g. less than about 1% of the pulse duration of the electrical discharge pulse.
  • the electrical firing pulse may be timed as part (e.g., half-wave)
  • the electrical ignition pulse is provided as part of a time-periodic voltage, the electrical ignition pulse can be formed by the first half-wave of the time-periodic voltage. If the electrical ignition pulse is provided as part of a time-periodic voltage, the pulse duration of the electrical
  • Ignition pulse about half the period of time
  • a firing pulse having a pulse duration of approximately 1 ms may or may not be provided.
  • Processing arrangement comprising: at least one process chamber; a flash lamp assembly according to the
  • Flash lamp assemblies as described above for processing a substrate within the process chamber.
  • a flash lamp assembly can be used to, for example, substrates or other carriers of a
  • Substrates or for processing other supports e.g. so that they can be heated or structurally changed.
  • Gas discharge lamps by means of an electric ignition pulse wherein the ignition pulse has a half-width of less than 1 ms, e.g. less than 200 ys, e.g. less than 100 ys, e.g. less than 50 ys, e.g. less than about 20 ys, e.g. less than about 10 ys, e.g. less than about 5 ys.
  • the half-width of a firing pulse may range from about 1 ys to about 200 ys. It can be a simultaneous (synchronous)
  • predefined time interval (the ignition tolerance time) is reached.
  • Gas discharge lamp can generate (by means of the electric field), so that a gas discharge is triggered.
  • the necessary Halbwertsbreite can of the type and the
  • an electric ignition pulse having a half-width may range from about 0.1 ys to about 1 ms
  • Generate gas discharge lamp (eg longer than 100 mm).
  • simultaneously firing a plurality of gas discharge lamps may ignite the plurality of gas discharge lamps within a firing tolerance time
  • Gas discharge lamp be maximum current within a
  • the ignition tolerance time may describe the maximum time deviation of the ignition point of the plurality of gas discharge lamps from each other. In other words, the ignition tolerance time can be the maximum temporal
  • the ignition tolerance time may be about 2% of the maximum pulse duration of the
  • the ignition tolerance time may have a duration of less than about 1 ms, e.g. less than about 200 ys, e.g. less than about 20 ys, e.g. less than 10 ys, e.g. less than about 5 ys.
  • a method of igniting a gas discharge lamp may include:
  • Discharge pulse has a (predefined) first half-width; Applying a voltage to the gas discharge lamp by means of the driver circuit.
  • the self-ignition voltage may be greater than that of the lamp
  • Half width less than one fifth eg less than one tenth, eg less than one fiftieth, eg less than one hundredth, the first half width is generated. Coupling of the electric ignition pulse in the Gas discharge lamp, so that the gas discharge lamp is ignited and the electric discharge pulse through the
  • Gas discharge lamp is discharged.
  • self-ignition voltage the voltage applied to the lamp electrical voltage can be understood, in which the
  • Self-ignition voltage on the gas discharge lamp this can uncontrolled independently, i. imprecise in time, ignite, i. hard to predict.
  • a flash lamp assembly may include one or more light sources (e.g., one or more light sources)
  • Gas discharge lamps or one or more flash lamps for generating light having a light distribution (e.g., a distribution of light intensity or a spatial light field).
  • a light distribution e.g., a distribution of light intensity or a spatial light field.
  • Flash lamp arrangement light with a light distribution in
  • Substrate are emitted.
  • the light generated by a gas discharge lamp can be any light generated by a gas discharge lamp.
  • UV light ultraviolet (UV) light
  • visible light and / or infrared (IR) light have.
  • the wavelength of the light or the wavelength spectrum of the light can be in the UV range, in the visible range and / or in the IR range.
  • the wavelength of the light or the wavelength spectrum of the light can be in the UV range, in the visible range and / or in the IR range.
  • Wavelength range of 200 nm to 1000 nm generate.
  • An exposure region may be defined by a region in which exposure of a substrate occurs. For example, exposing a substrate in one
  • Exposure range such that the substrate with a light intensity greater than a predefined
  • the predefined Light intensity can vividly the light intensity
  • the substrate must be exposed in order to achieve a desired effect (e.g., heating and / or structural alteration).
  • exposing a substrate in an exposure region may be performed such that the substrate has an energy density greater than a predefined one
  • the predefined energy density (eg, on the substrate surface) may range from about 0.1 J / cm 2 to about 100 J / cm 2 , eg, the predefined energy density may be greater than 0.1 J / cm 2 , eg, greater as 1 J / cm 2 or greater
  • a dose (energy density) in a range from about 0.1 J / cm 2 to about 10 J / cm 2 may be or may be provided for discharge pulses (eg, shorter than about 300 ys). If the pulse duration of the discharge pulse is increased approximately tenfold (eg to approximately 3 ms), a doubling of the necessary dose is to be expected (for example, so that an equivalent effect, eg heating of an irradiated substrate can be achieved). With a pulse duration of the discharge pulse of approximately 30 ms, for example, an energy density of at least 40 J / cm 2 may be required so that an equivalent effect, for example a heating of an irradiated substrate, can be achieved. Similarly, with pulse durations of up to 50 ms, a sufficient effect of the emitted radiation (eg light) can be achieved.
  • emitted radiation eg light
  • FIGS. 2A and 2B each show a flash lamp assembly according to various embodiments in one
  • Figure 3A and Figure 3B each have an electrical
  • FIG. 4 shows a flash lamp assembly according to various aspects
  • 5A and 5B each show a processing arrangement according to various embodiments in one
  • FIG. 1A illustrates a flash lamp assembly 100a according to various embodiments in a schematic
  • Flash lamp assembly 100a include a gas discharge lamp 102 or be formed therefrom.
  • the gas discharge lamp 102 may be configured and / or operated as a flashlamp 102 according to various embodiments.
  • the gas discharge lamp 102 configured as a flash lamp 102 can be operated such that a flash of light can be generated by means of the gas discharge lamp 102, so that a
  • the gas discharge lamp 102 may be a transparent one
  • Discharge tube (a tubular discharge vessel) have (For example, made of quartz glass), wherein the transparent discharge tube has an anode and a cathode and is set up (eg filled with gas) that within the
  • Discharge tube a gas discharge can be ignited.
  • the discharge tube of a gas discharge lamp 102 may be tubular, e.g.
  • cylindrical tubular e.g. with a circular
  • the gas discharge lamp 102 can be electrically coupled to a driver circuit 104.
  • the gas discharge lamp 102 may have two terminals, each one of the two terminals connected to the cathode of the
  • Gas discharge lamp 102 and the other of the two terminals is coupled to the anode of the gas discharge lamp 102.
  • the cathode and the anode may be coupled to the respective terminal through the discharge vessel.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Gas discharge lamp have a distance between the cathode and anode of more than 1 m, e.g. a distance of more than about 2 m, e.g. a distance in a range of
  • the driver circuit 104 may be electrically coupled by means of an electrically conductive cable 112 or an electrical lead 112 to the terminals of the gas discharge lamp 102, in other words to the cathode and the anode. According to various embodiments, the
  • Driver circuit 104 may be configured such that by means of the driver circuit 104, a voltage (operating voltage) between the cathode and the anode of the gas discharge lamp 102 can be provided.
  • a voltage operting voltage
  • Driver circuit 104 provided can graphically between the cathode and the anode of the
  • Driver circuit 104 provided voltage may be smaller than one according to various embodiments
  • Gas discharge lamp 102 This can be achieved, for example, that a self-ignition of the gas discharge lamp 102 can be avoided.
  • the autoignition voltage of a gas discharge lamp 102 may be smaller than various embodiments
  • ⁇ 50 kV e.g. none as ⁇ 25 kV, e.g. none as ⁇ 20 kV, e.g. none as ⁇ 15 kV.
  • Gas discharge lamp 102 the tendency to auto-ignition can be so large that a reliable and reliable ignition of the gas discharge lamp 102 is difficult.
  • a plasma thread can spontaneously arise within the gas discharge lamp 102, which can trigger an uncontrolled electrical discharge pulse.
  • Plasma thread is formed.
  • the operating voltage may therefore be below the self-ignition voltage of the flash lamp.
  • Discharge pulse can be coupled into the gas discharge lamp 102, an electric ignition pulse such that within the gas discharge lamp 102, a plasma thread can be formed, which triggers an electric discharge pulse. This can clearly be achieved that the Ignition timing of the gas discharge lamp 102 can be controlled in time (precise).
  • Flash lamp assembly 100a an ignition circuit 106th
  • the ignition circuit 106 may be configured such that it can generate the electrical ignition pulse as part of a time-varying electrical current and / or as part of a time-varying electrical voltage.
  • the ignition circuit 106 may be configured such that it has the electrical
  • Ignition pulse can generate as part of a current pulse and / or as part of a voltage pulse. If the electric ignition pulse is coupled into the gas discharge lamp 102, this can excite ionization of the luminous means in the gas discharge lamp 102, wherein the ionized luminous means can form a plasma thread.
  • the plasma thread generated within the gas discharge lamp 102 may lower the impedance of the gas discharge lamp 102 such that the voltage applied to the gas discharge lamp 102
  • the flash lamp arrangement 100a can have an ignition electrode 110, as shown in FIG. 1C and FIG.
  • FIG. 1B illustrates a flash lamp assembly 100b according to various embodiments in a schematic
  • Flash lamp assembly 100b a sheath tube 108 (a so Flowtube), wherein the gas discharge lamp 102 may be disposed within the shell tube 108.
  • the sheath tube 108 may be configured such
  • the gas discharge lamp 102 can be cooled with an introduced into the sheath tube 108 cooling liquid 108k.
  • the sheath tube 108 To supply the sheath tube 108 with the cooling liquid 108k, the sheath tube 108
  • the gas discharge lamp 102 flows around and / or is flushed by the cooling liquid 108k within the casing tube 108.
  • the cooling liquid 108k can be discharged from the casing tube 108, wherein the gas discharge lamp 102 flows around and / or is flushed by the cooling liquid 108k within the casing tube 108.
  • Gas discharge tube of the gas discharge lamp 102 may be arranged coaxially with the sheath tube 108, so that between the
  • Gas discharge tube and the sheath tube 108 may remain a uniform distance, e.g. an annular gap through which the cooling fluid 108k can be passed.
  • the sheath tube 108 may comprise a transparent material, e.g. Quartz glass, or consist of quartz glass.
  • FIG. 1C illustrates a flash lamp assembly 100c according to various embodiments in a schematic
  • the ignition electrode 110 for coupling 106 k of the electric ignition pulse in gas discharge lamp 102 for example, outside of the sheath tube 108 and outside of the
  • Gas discharge lamp 102 may be arranged. So that can
  • the ignition electrode 110 can along the
  • Longitudinal extent of the gas discharge lamp 102 may be extended. This can be achieved, for example, that a
  • elongated plasma thread can be generated within the gas discharge lamp 102, which can connect the cathode to the anode.
  • Plasma flame ignition 106k of the gas discharge lamp 102 made more reliable.
  • the ignition electrode 110 may be part of an ignition wire 110 which may be extended outside the cladding tube 108 and outside of the gas discharge lamp 102.
  • the ignition wire 110 may be attached to the sheath tube 108.
  • the ignition electrode 110 may be part of a reflector 110, which may be disposed outside of the shell tube 108 and outside of the gas discharge lamp 102.
  • the reflector 110 may illustratively be configured as a light-reflecting mirror 110. In other words, the reflector 110 may reflect incident light in a direction away from the reflector 110.
  • the reflector 110 may be configured such that it occupies a majority of the
  • Gas discharge lamp 102 generated light reflected.
  • the reflector 110 may, for example, as a light-reflecting layer (in other words, as a light-reflecting coating) on the
  • Sheath tube 108 e.g. be attached. This can be achieved that the reflector 110 clearly
  • the reflector 110 for example, a sheet, such as a curved and / or Angled sheet metal, have or be formed from it. This can be achieved that the reflector 110 is set up vividly stable (eg self-supporting).
  • FIG. 1D illustrates a flash lamp arrangement 100d according to various embodiments in a schematic
  • the ignition electrode 110 may be arranged to couple 106 k of the electrical firing pulse into a gas discharge lamp 102 between the shell tube 108 and the gas discharge lamp 102. So that can
  • the ignition electrode 110 may be arranged in the smallest possible distance from the gas discharge lamp 102, so that the action of the electric field generated by the ignition electrode 110 (at
  • Transmission of the ignition pulse to the ignition electrode 110) may be as large as possible to the enclosed in the gas discharge lamp 102 bulbs.
  • an as effective as possible coupling 106k of the ignition pulse into the gas discharge lamp 102 can be achieved.
  • ignition electrode 110 can analogously to the previously described along the longitudinal extent of
  • Gas discharge lamp 102 extends.
  • the ignition electrode 110 may be formed as an ignition wire 110, which may extend between the cladding tube 108 and the gas discharge lamp 102. According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be formed as a reflector 110, which may be disposed between the cladding tube 108 and the gas discharge lamp 102. According to various embodiments, the
  • Reflector 110 for example, a light-reflecting layer (in other words, light-reflecting coating) disposed in the cladding tube 108 or one in the
  • FIG. 2A illustrates a flash lamp arrangement 100e according to various embodiments in a schematic
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • an electrical voltage e.g., an electrical charging current
  • an electrical power e.g., an electrical charging current
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Driver circuit 104 may include a capacitor 204c, which may be electrically coupled to the voltage source 204u, so that the capacitor 204c by means of
  • Voltage source 204u can be loaded.
  • the capacitor 204c may be replaced by the capacitor 204c
  • Voltage source 204u are supplied with a charging current, wherein the capacitor 204c stores electrical energy. When the capacitor 204c is charged, it can provide an operating voltage. Clearly, the capacitor 204c may act as an energy storage, which can store and provide a necessary energy for generating a flash of light. According to various embodiments, the
  • Voltage source 204u be configured such that it has a voltage greater than the operating voltage of the
  • the voltage source 204u for example, a voltage greater than the operating voltage of the
  • Gas discharge lamp 102 are provided. Clearly, the capacitor 204c can be charged as quickly as possible.
  • the capacitor 204c can be charged, the faster it can supply the operating voltage at the Provide gas discharge lamp, so that a discharge of the capacitor 204 c can be done at shorter intervals and thus more often. According to various embodiments, the
  • Voltage source 204u provide an electrical power and / or electrical voltage such that the
  • predefined frequency e.g., several times per second
  • the gas discharge lamp 102 can be ignited as often as possible, with each ignited 106k of the gas discharge lamp 102, the energy stored in the capacitor 204c by means of the gas discharge lamp 102 can be at least partially converted into radiation energy.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • the Driver circuit 104 an electromagnetic coil 2041 (inductor 2041), which may have an impedance.
  • the impedance of the choke coil 2041 may be the
  • Discharge speed of the capacitor 104c affect, e.g., the capacitor 104c may be discharged more slowly via the gas discharge lamp 102 coupled to the choke coil 2041, the larger the impedance of the choke coil 2041 is.
  • the gas discharge lamp 102 may act as a resistor during discharge, which may affect the discharge rate of the capacitor 104c, e.g. can he
  • Capacitor 104c are discharged more slowly via the gas discharge lamp 102 coupled to the choke coil 2041 the worse the gas discharge lamp 102 electrically conducts during discharge.
  • the conductivity of the gas discharge lamp 102 may of the design, the pressure of the bulb, with the gas discharge lamp 102 is filled, the distance from cathode to anode and the inner diameter of the
  • the choke coil 2041 and the capacitor 204c form a resonant circuit, which electrical
  • Capacitor 204c wherein the resonant circuit, or the electrical oscillation, can be attenuated by the gas discharge lamp 102.
  • the capacitor 204c and the choke coil 2041 may be dimensioned such that a change in direction of the capacitor 204c
  • the gas discharge lamp 102, the capacitor 204c and the choke coil 2041 can interact with one another in such a way that the capacitor 204c is discharged once in as short a time as possible.
  • the capacitor 204c and the choke coil 2041 may be so relative to the
  • Gas discharge lamp 102 to be tuned to that
  • Aperiodic limit case is set.
  • Gas discharge lamp 102 can be discharged. Will the
  • Capacitor 204c discharged via the gas discharge lamp 102 (in other words, generates a discharge pulse), an electric current flow (discharge current) with a
  • discharge current time-dependent electric current
  • the discharge current may further ionize the
  • the capacitor 204c may be discharged with a pulse-shaped electric discharge current (in other words, an electric discharge pulse).
  • the timing of the discharge current intensity may be defined by the capacitor 204c and the choke coil 2041 and predefined based on the characteristics of the capacitor 204c and the choke coil 2041. In other words, the timing of the discharge electric current of the discharge pulse from the drive circuit 104 can be defined.
  • electrical discharge current intensity have a half-width, which can describe the width of the pulse-shaped electric discharge current at half the height of the pulse-shaped electric discharge current intensity.
  • Discharge current intensity (in other words, the electric discharge pulse) may be defined by the inductance of the choke coil 2041 and the capacitance of the capacitor 204c. According to various embodiments, the
  • Ignition circuit 106 have an ignition generator 206g for generating the ignition pulse.
  • Ignition generator 206g may be configured to provide a pulse-shaped voltage (in other words, a firing pulse) having a half-width that is less than about one fifth of the half-width of the discharge pulse.
  • the ignition circuit 106 may include a voltage source 206u for supplying a
  • Ignition generator 206g with electrical energy.
  • the ignition electrode 110 may be configured such that the ignition pulse generated can be transmitted to the ignition electrode. Is the
  • Ignition electrode 110 for example, as a firing wire 110th
  • the ignition wire 110 may be an ohmic
  • Ignition wire surrounded electrically conductive components which has a capacity, so that one on the
  • Ignition wire 110 transmitted ignition pulse can be influenced by the capacity of the ignition wire 110.
  • the capacitance of the ignition wire 110 may increase with increasing length of the ignition wire 110 of the ignition wire 110.
  • the ignition wire can be provided with components in the vicinity of the ignition wire, such as a fuse. the reflector, or the gas in the flashlamp
  • the ignition generator 206g such as
  • FIG. 2B illustrates a flash lamp arrangement 100f according to various embodiments in a schematic
  • the driver circuit 104 may include a capacitor 204c, which may be coupled to the electrodes (the anode 202a and the cathode 202k) of the gas discharge lamp 102.
  • a capacitor 204c which may be coupled to the electrodes (the anode 202a and the cathode 202k) of the gas discharge lamp 102.
  • a positive electrical voltage may be provided at a first terminal of the power supply 204u or may be charged to charge the capacitor 204c. For example, between the first
  • Terminal contact 204a of the capacitor 204c and a second terminal contact 204b capacitor 204c an electrical voltage of about 25 kV or more than 25 kV
  • Ground potential ground to be laid.
  • Ground potential (ground) to be laid.
  • the driver circuit 104 may include a switch 204s.
  • the switch 204s for example, it is possible to prevent one from the capacitor 204c
  • the switch 204s may be configured such that the capacitor 204c may be electrically disconnected from the gas discharge lamp 102, eg, when the capacitor 204c is being charged.
  • the switch 204s may be configured such that, for example, in an on-state of the switch 204s at the anode of the gas discharge lamp 102, substantially the same as that of FIG
  • Capacitor 204c supplied voltage is applied.
  • the switch 204s may have a low resistance, i. the first positive terminal 204a of the capacitor 204c may be electrically connected to the anode 102a of the gas discharge lamp 102.
  • the driver circuit 104 may include an inductor 2041, e.g. an electromagnetic coil 2041 (choke coil connected in series in the drive circuit 104)
  • the coil 2041 may have, for example, the R-C-L swing behavior of the driver circuit 104 (e.g., the discharge characteristic of the capacitor 204c when discharging through the gas discharge lamp 102) with others
  • the electrical resistance of the gas discharge lamp 102 is generally time dependent during discharge of the capacitor 204c (also referred to as the negative resistance characteristic of the gas discharge lamp 102). The time-dependent
  • electrical resistance of the gas discharge lamp 102 may during the discharge of the capacitor 204c of the at the
  • Gas discharge lamp 102 applied voltage and the electrical current flowing through the gas discharge lamp 102 be defined.
  • the electrical resistance of the gas discharge lamp 102 when discharging the capacitor 204c may then be understood as a minimum of the time dependent electrical resistance, i. to a certain
  • the resistance characteristic curve can be measured (time-dependent) over the entire discharge and its minimum can indicate the electrical resistance of the gas discharge lamp 102.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Gas discharge lamp 102 has an electrical resistance (i.e., the minimum of the resistance characteristic) when discharging the capacitor 204c in a range of about 0.1 ohms to about 10 ohms, e.g. in a range of about 1 ohm to about 5 ohms.
  • the capacitor 204c or the capacitor array 204c may have a capacitance in a range of about 20 yF to about 2000 yF
  • the capacitor 204 c or the capacitor arrangement 204 c may include a
  • the choke coil 2041 may have an inductance in a range of about 10 ⁇ to about 10 mH, e.g. in a range of about 100 ⁇ to about 1 mH. According to different
  • the choke coil 2041 may have an ohmic resistance in a range of about 0.1 milliohms to about 0.1 ohms
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Driver circuit 104 may be configured accordingly, a discharge current of several 1 kA at a voltage of about 25 kV or more than about 30 kV cyclically
  • multiple voltage sources 204u may also be used to charge the capacitor 204c. Further, a plurality of capacitors 204c may be used for
  • Powering a plurality of gas discharge lamps 102 are operated by means of a common voltage source 204u.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Gas discharge lamp 102 and / or electrical for coupling the gas discharge lamp 102 to the driver circuit 104 are provided.
  • the discharge tube 102r of the gas discharge lamp 102 may be provided with a lighting means 102g, e.g. a noble gas 102g may be filled, wherein the noble gas 102g (when the gas discharge lamp 102 is not in operation) may have a pressure in a range of about 50 mbar to about 1000 mbar.
  • a lighting means 102g e.g. a noble gas 102g may be filled, wherein the noble gas 102g (when the gas discharge lamp 102 is not in operation) may have a pressure in a range of about 50 mbar to about 1000 mbar.
  • suitable gas 102g or gas mixture 102g be filled.
  • the electrodes 202a, 202k of the gas discharge lamp 102 may comprise tungsten or another metal or a metal alloy.
  • the ignition 106k of a gas discharge lamp 102 can take place more reliably (with less ignition delay) the shorter the ignition pulse is, as shown in FIGS. 3A and 3B.
  • FIG. 3A illustrates an ignition pulse and an electrical discharge pulse according to various embodiments in a schematic current-time diagram 200a or voltage-time diagram 200a, wherein in each case a current 105 as a function of time 101 or a voltage 105 as a function of time 101 (discharge diagram 200a).
  • a current 105 as a function of time 101 or a voltage 105 as a function of time 101 (discharge diagram 200a).
  • the electric ignition pulse 306p by means of the ignition circuit 106 as part of a time periodic firing signal 306, e.g. a time-periodic electrical voltage 306, a time-periodic electrical current 306, an oscillating electrical voltage 306 and / or an oscillating electric current 306 are provided.
  • the electric ignition pulse 306p may have a maximum 306m (e.g., a maximum current of 306m or a maximum of 306m
  • the half width 306w of the electric ignition pulse 306p may be defined by the width of the electric ignition pulse 306p at the half of the maximum 306m.
  • the pulse duration 306d of the electric ignition pulse 306p may be defined by the width of the electric ignition pulse 306p at one third of the maximum 306m
  • an electric discharge pulse for example, a discharge current
  • Embodiments may be one quarter to three quarters of the period of the time periodic firing signal 306
  • Discharge pulse 302a, 302b, 302c is generated.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • the Ignition circuit act as a resonant circuit. If the electrical ignition pulse is provided, the periodic ignition signal can be, for example, a result of a ringing of the
  • An ignition delay 301d may vary according to various
  • Embodiments are reduced, the greater the frequency (and thus the smaller the period) of the temporally periodic Ignition signal 306 is, in other words, the lower the
  • Half width 306w of the firing pulse 306p (also referred to as firing pulse 306p).
  • the frequency of the time periodic firing signal 306 may be e.g. more than about 7 kHz, e.g. more than about 10 kHz.
  • the height of the displacement current between the ignition wire and the gas discharge lamp can ignite the ignition
  • the displacement current is proportional to the change of the electric field strength
  • Displacement current result and thus allow earlier ignition of the gas discharge lamp (a shorter delay between the generation of the ignition pulse 306p and the ignition of the gas discharge lamp).
  • Delay between the generation of the ignition pulse 306p and the ignition of the gas discharge lamp is.
  • Gas discharge lamp 102 or more gas discharge lamps 102 may occur in the ignition timing on different time scales.
  • the ignition timing of a gas discharge lamp 102 may be influenced by both the state of the gas discharge lamp 102 (temperature, gas pressure, etc.) and by the interaction of the gas discharge lamp 102 with the environment of the gas discharge lamp 102
  • Gas discharge lamp 102 e.g. other gas discharge lamps 102. These influences can overlap one another and one
  • a fluctuation of the ignition timing may occur, for example, when a gas discharge lamp 102 by means of a electric ignition pulse 306p (eg several times in succession) is ignited.
  • Ignition timing of the gas discharge lamp 102 relative to the generation of the electric ignition pulse 306p fluctuate and be influenced for example by the prior use of the gas discharge lamp 102, as described below with reference to
  • a first electric discharge pulse 302a can be generated through the gas discharge lamp 102 as soon as the gas discharge lamp is ignited a first time, a second electric one
  • Discharge pulse 302b are generated by the gas discharge lamp 102 as soon as the gas discharge lamp is ignited a second time, and a third electric discharge pulse 302c are generated by the gas discharge lamp 102 as soon as the gas discharge lamp for a third time
  • a plurality of periodically (at a constant time interval to each other) generated electric ignition pulses 306p are successively coupled into the gas discharge lamp 102 to generate flashes of light in the temporally constant distance from each other (time interval). Due to the
  • Fluctuation of the ignition timing may be the occurrence of
  • Discharge pulse 302b, 302c shown.
  • Discharge pulses 302a, 302b, 302c may each have one
  • Amperage 302m can be defined. Depending on a previous use of the
  • Gas discharge lamp 102 may be ambient conditions, e.g. Temperature of the discharge tube 102r, pressure of the phosphor (with which the gas discharge lamp 102 is filled), temperature of the cathode 202a and the anode 202a of the gas discharge lamp 102 and the like before the first ignition 106k
  • Gas discharge lamp 102 may be different compared to a time after the first ignition 106k (in other words, after the discharge) of the gas discharge lamp 102nd
  • the temperature of the cathode 202a and the anode 202a before the first ignition 106k is lower than after the first ignition and thus before the second ignition of the gas discharge lamp 102.
  • the temperature of the cathode 202a have an effect on the work function of the electrons, in other words on the energy required per electron to dissolve the electron out of the cathode 202a.
  • the temperature of the cathode 202a can affect the number of electrons released from the cathode 202a and thus the firing behavior of the gas discharge lamp 102.
  • a second ignition of the gas discharge lamp 102 and a third ignition of the gas discharge lamp delayed 301d may occur to the ignition pulse 306p, generating the second and the third electric discharge pulse 302b, 302c relative to the ignition pulse 306p (or relative to the first electric discharge pulse 302a ) is delayed by a time 301d.
  • Gas discharge lamp 102 is delayed 301d (ignition delay 301d) relative to the ignition timing 310a of the first gas discharge 302a be.
  • gas discharge lamp 102 may range from about 5 ys to about 20 ys.
  • Zündverzögerung 301d can one by means of
  • Gas discharge lamp 102 performed exposure process influence the stronger, the lower the pulse duration of the
  • Discharge pulse is, for example, when the pulse duration of the discharge pulse less than 100 ys, e.g. less than 50 ys.
  • the pulse duration of the discharge pulse less than 100 ys, e.g. less than 50 ys.
  • Discharge pulses (less than 100 ys, e.g., less than 50 ys) in plastics electronics, in other words, in the fabrication of microelectronic devices on organic film substrates or in the manufacture of conductive organic molecules tracks and devices.
  • an ignition delay 301d or a fluctuation of the ignition time, the overlapping of several exposed areas of a continuously at the
  • the first electrical discharge pulse 302a may be a maximum
  • the half width 302w of the first electric discharge pulse 302a may be defined from the width of the first electric discharge pulse 302a at half of the maximum 302m.
  • the pulse duration 306d of the first electric discharge pulse may be the width of the first electric discharge pulse at a
  • Half width 306w of the electric ignition pulse 306p be less than one quarter of the half width 302w of
  • the half width 306w of the electric ignition pulse 306p may be short
  • Discharge pulse (less than 100 ys, e.g., less than 50 ys) less than 5 ys, e.g. less than 1 ys.
  • a fluctuation of the ignition timing may occur when a plurality of gas discharge lamps are ignited together (e.g., simultaneously) by an electric ignition pulse due to an interaction of the plurality of gas discharge lamps 102 with each other, as in FIG.
  • Such a fluctuation of the ignition timing of the plurality of gas discharge lamps 102 with each other may be e.g. be greater than the above-described fluctuation of the ignition timing of each individual gas discharge lamp 102, which occurs due to the state of the gas discharge lamps 102.
  • the time variation of the ignition timing (or the ignition delay) of the plurality of gas discharge lamps 102 with each other up to 50% of
  • Gas discharge lamps act so that they can be ignited.
  • a first electric discharge pulse 302a in the first gas discharge lamp 402a, a first electric discharge pulse 302a, in the second gas discharge lamp 402b, a second electric discharge pulse 302b and in the third gas discharge lamp 402c, a third electric discharge pulse 302c are generated when they are ignited.
  • Gas discharge lamps 402a, 402b, 402c may affect each other and each other
  • gas discharge lamps 402a, 402b, 402c aligned parallel in a plane (e.g., axial or parallel to the axes of the discharge tubes), generally for the outer gas discharge lamps (e.g., the first
  • Gas discharge lamps e.g., the second and third
  • Gas discharge lamp 402b, 402c result due to electrically conductive components in the vicinity of the gas discharge lamps 402a, 402b, 402c, such.
  • Potential distributions may vary for each gas discharge lamp 402a, 402b, 402c of the lamp array
  • Ignition delay 301d (in other words a time
  • a light intensity of the generated flash of light may have a maximum when the electric discharge pulse 302a, 302b, 302c reaches its maximum 302m (e.g.
  • time offset 301d of the electrical discharge pulses 302a, 302b, 302c also from flash of light to flash of light in terms of
  • Timing relative to the firing pulse 306p will vary, which
  • the time offset 301d of the electrical discharge pulses 302a, 302b, 302c can be reduced relative to each other by means of an ignition pulse 306p which is as short as possible, which can be achieved by reducing the half-value width of the ignition pulse 306p. Due to the temporally limited maximum of the light intensity of the
  • Lamp field 402 the smaller the time offset 301d of the electrical discharge pulses 302a, 302b, 302c to each other.
  • the half width 302w of the electrical discharge pulse 302a, 302b, 302c may be in a range from about 25 ys to about 50 ms, e.g. in a range of about 50 ys to about 20 ms, e.g. in a range of about 300 ys to about 1000 ys, for example, the
  • Half width 302w of the electric discharge pulse 302a, 302b, 302c is less than about 600 ys, e.g. less than about 400 ys, e.g. less than about 200 ys.
  • FIG. 3B illustrates an electrical discharge pulse 302a, 302b and an electrical ignition pulse 306p, respectively
  • an ignition signal 306 having a different voltage-time profile may be provided for generating the electrical ignition pulse 306p having a suitable half width 306w, e.g. one
  • Rectangular signal a triangular signal, a Gaussian signal, an asymmetric signal, or the like.
  • the half width 306w of the electric ignition pulse 306p may be less than about 1000 ys, e.g. less than about 200 ys, e.g.
  • less than about 50 ys e.g. less than about 20 ys, e.g. less than about 10 ys, e.g. less than about 5 ys, e.g. less than about 2 ys.
  • FIG. 3B the illustration in FIG. 3B is limited to two electrical discharge pulses 302a, 302b. Analogous to the previous description can also at reduced
  • Half width 306w of an electric ignition pulse 306p one quarter to three quarter periods of the ignition signal 306th
  • an ignition delay 301d between the first electrical discharge pulse 302a and the second electrical discharge pulse 302b may be defined from the half width 306w of the electric ignition pulse 306p, and may be smaller than that in various embodiments triple half width 306w of the electric ignition pulse 306p.
  • an ignition delay 301d between two electrical discharge pulses 302a, 302b may be less than the period of the electrical ignition signal 306, according to various embodiments
  • the electric ignition pulse 306p may be provided in such a way, e.g. with a sufficiently small
  • Half width 306w that the ignition delay 301d between the first electric discharge pulse 302a and the second electric discharge pulse 302b is negligibly small. In other words, the temporal offset of the
  • a firing generator 206g having a lower half width 306w of the electrical firing pulse 306p which can produce a higher peak current (a higher current peak).
  • the ignition generator 206g may be configured as a switchable ignition generator 206g, wherein by switching the ignition generator 206g the
  • Half width 306w of the electric ignition pulse 306p generated by the ignition generator 206g can be adjusted and / or changed. Thus, it can be achieved, for example, that the half width 306w of the electrical ignition pulse 306p generated by the ignition generator 206g is connected to a
  • Driver circuit 104 may be adapted such that an ignition 106k of the gas discharge lamp 102 takes place with a small ignition delay 301d.
  • the ignition circuit can according to various
  • Ignition delay 301d between two electrical Discharge pulses 302a, 302b may be in a range of less than about 1000%, eg in a range of less than about 200%, for example in a range of less than about 20%, for example in a range of less than about 10 ⁇ , eg in a range of less than about 5].
  • the ignition generator may be configured such that by switching the ignition generator 206g, the frequency of a periodic electrical ignition signal generated by the ignition generator 206g, which may include the ignition pulse 306p, may be adjusted and / or varied.
  • the gradient of the electrical firing pulse 306p ie, the temporal gradient, in other words, the increase of the time-dependent voltage, eg at its zero crossing
  • the pulse duration 306d or the larger the pulse duration
  • Be shift current This may require a smaller amplitude of the electrical firing pulse 306p, i. the required maximum voltage 306m may be smaller the smaller the pulse duration 306d of the electric ignition pulse 306p is, to reliably supply the gas discharge lamp, e.g. precise in time, to ignite. Furthermore, e.g. in the case of external ignition, the
  • Lamp length gas discharge lamps of different lengths can be operated, ie ignited, with a substantially identical electric ignition pulse 306p.
  • the voltage requirement for large Lamp lengths eg more than 1 m
  • Displacement current is generally dependent on the
  • tip electrodes 202a and 202k can generate large electric field strengths and thus ignite
  • Electrodes facilitate ignition (i.e., a lower maximum voltage of 306m is needed for ignition, for example).
  • an electrical firing pulse 306p in the form of exactly one half wave may be used for firing.
  • a small charging capacitor may be short-circuited via a thyristor to the primary side of the ignition transformer to form an LC circuit (resonant circuit) configured to have exactly one (e.g., sinusoidal) high voltage half wave on the ignition transformer
  • Secondary side of the ignition transformer is generated, which is then transmitted to the ignition electrode, e.g. the secondary side of the ignition transformer is connected to the ignition electrode.
  • FIG. 4 illustrates a flash lamp assembly 100g according to various embodiments in a schematic
  • Gas discharge lamp 402a, a second gas discharge lamp 402b and a third gas discharge lamp 402c may have.
  • the gas discharge lamps 402a, 402b, 402c may be part of a common lamp field 402 for generating flashes of light.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Gas discharge lamps 402a, 402b, 402c by means of a suitable electric ignition pulse 306p, as described above, be ignited so that the ignited
  • Gas discharge lamps 402a, 402b, 402c superimposed light flashes generated.
  • the ignition 106k of the gas discharge lamps 402a, 402b, 402c can take place such that the light dose of the superimposed light flashes can be constant.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Flash lamp assembly 100g includes a bearing assembly 216 (e.g., a lamp cap) for holding, supporting, and electrically coupling a plurality of gas discharge lamps 402a, 402b, 402c.
  • a bearing assembly 216 e.g., a lamp cap
  • driver circuit 104 may be connected to each
  • Gas discharge lamp 402a, 402b, 402c of the lamp array 402 may be electrically coupled, wherein the driver circuit 104 may be configured such that this each
  • 5A illustrates a processing arrangement 300a according to various embodiments in a schematic
  • the processing arrangement 300a may comprise at least one process chamber 702, and at least one flash lamp arrangement (for example one of the flash lamp arrangement).
  • the process chamber 702 may comprise an exposure area 701 and the exposure chamber 702 may have an exposure area 701 in the process chamber 702
  • Flash lamp assembly may be configured such that the substrate 504 can be exposed within the exposure area 701 by means of the flash lamp assembly.
  • FIG. 5B illustrates a processing arrangement 300b according to various embodiments in a schematic
  • the processing assembly 300b may include a process chamber 702 for processing a substrate 504 within the process chamber 702.
  • the process chamber 702 may be configured such that the environmental conditions (the
  • Process conditions e.g. a pressure, temperature and / or gas composition within the process chamber 702 may be adjusted or regulated during processing of the substrate 504.
  • the process chamber 702 may be e.g. be airtight, dustproof and / or vacuum-tight set up or can be.
  • the process chamber 702 may be configured as an atmospheric pressure process chamber 702 for providing a process gas environment below
  • a gas and / or a gas mixture may be provided at a pressure in a range from about 900 mbar to about 1100 mbar.
  • the process chamber 702 may be configured as an overpressure process chamber 702 for providing a process gas environment having a pressure greater than about 2 bar, e.g. more than about 10 bar.
  • the process chamber 702 may be configured as a vacuum process chamber 702, for
  • the process chamber 702 can be configured to be so stable that the process chamber 702 can be evacuated (pumped out), so that from the outside against the process chamber 702 a pressure (eg the prevailing air pressure) can act if the
  • Process chamber 702 is evacuated without the process chamber 702 irreversibly deformed and / or damaged.
  • the process chamber 702 can be coupled to a pump system, for example, so that a negative pressure can be or can be provided within the process chamber 702.
  • the pump system can
  • Process chamber 702 a vacuum and / or a high vacuum
  • a process chamber 702 may be part of a
  • Forming processing plant for example, a vacuum processing plant, a vacuum processing plant or a
  • Processing plant can, for example, as a so-called in-line processing, by means of which substrates 504 can be processed continuously, or as a so-called batch
  • Processing plant by means of which substrates 504 can be processed in batches, be set up.
  • the process chamber 702 may be connected to a gas supply so that the process chamber 702 may be supplied with a process gas or a mixed gas (e.g., a process gas and a reactive gas) via the gas supply.
  • a process gas or a mixed gas e.g., a process gas and a reactive gas
  • the process chamber 702 may have at least one opening (access opening).
  • the opening can be designed to be sealable, for example by means of a valve, for example by means of a flap valve or a gap seal.
  • the processing assembly 300b may include a transport system 712 (eg, transport rollers 712 or a conveyor belt 712) for transporting the substrate 504 into the processing area 701, or for transporting the substrate 504 out of the processing area 701, or for transporting the substrate 504 in the processing area 701 ,
  • the process chamber 702 may include an exposure area 701 in which a substrate 504 may be processed.
  • the processing of a substrate 504 may
  • machining, heating, and / or structurally altering a substrate 504 may be included.
  • a substrate 504 may be exposed in the exposure area 701, in other words be irradiated.
  • Exposure area 701 can by means of a
  • Flash lamp assembly 100 according to the preceding
  • light e.g., ultraviolet light, visible
  • Light and / or infrared light e.g. in the form of flashes of light which can be emitted in the direction of the exposure area 701, so that a substrate 504 in the exposure area 701 can be irradiated with the generated light.
  • the flash lamp assembly (e.g., one of the first flash lamp assembly
  • Flash lamp assemblies 100a to 100f may be so
  • Ignition timing of multiple gas discharge lamps 102 may be reduced, which may lead to reproducible maximum temperatures on the surface of substrates 504.
  • a reactive gas may be supplied, which upon processing the substrate 504 with the substrate 504, e.g. a surface of the substrate 504, and / or a layer on the substrate 504 can chemically react.
  • This can be achieved, for example, that the reaction product can form a new layer on the substrate 504 (in other words, the
  • Reaction product can evaporate from the substrate 504 (e.g., the substrate 504 can be cleaned).
  • a layer may be irradiated on the substrate 504, so that this layer can be heated in such a way that a structural change of the layer takes place.
  • a material of the layer (re) crystallize, react with another material of the layer, partially evaporate, chemically transform, or otherwise changed.
  • the flash lamp assembly e.g., one of the flash lamp assembly
  • Flash lamp arrangements 100a to 100f) for generating a corresponding light distribution have a plurality of gas discharge lamps 102 (compare, for example, Figure 4).
  • the plurality of gas discharge lamps 102 may, for example, be arranged side by side and each individually or jointly by means of a bearing assembly 216, e.g. a lamp base 216 or pedestal structure 216 and supplied (e.g.
  • the side by side arranged a plurality of gas discharge lamps 102 may be arranged within a plane and in its entirety as
  • Light source 402 act (in other words
  • the juxtaposed multiple gas discharge lamps 102 may be e.g. form a light generation field.
  • the flash lamp assembly e.g., one of the flash lamp assembly
  • Flash lamp assemblies 100a to 100f) at least one
  • Reflector 110 wherein the at least one reflector 110 may be arranged relative to at least one gas discharge lamp 102 of the flash lamp assembly that from the at least one gas discharge lamp 102 emitted light from the at least one reflector 110 is reflected in the exposure area 701.
  • the reflector 110 may at least partially surround the at least one gas discharge lamp 102.
  • Ignition circuit 106 transmit the ignition pulse to the reflector 110, as described above.
  • the ignition circuit 106 may transmit the ignition pulse for igniting 106k of the gas discharge lamp 102 to an ignition wire 110, as described above.

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Abstract

In accordance with various embodiments, a flashlamp arrangement (100) can have the following: a gas discharge lamp (102), a driver circuit (104) for providing a running voltage to the gas discharge lamp (102), wherein the driver circuit (104) can be set up in such a way that an electrical discharge pulse (302a, 302b, 302c) is generated as soon as the gas discharge lamp (102) is started; a starting circuit (106) for generating an electrical starting pulse (306p) for starting (106k) the gas discharge lamp (102); wherein the starting circuit (106) can be set up in such a way that the full width at half maximum (306w) of the electrical starting pulse (306p) is less than a fifth of the full width at half maximum (302w) of the electrical discharge pulse (302a, 302b, 302c).

Description

Beschreibung description
Blitzlampenanordnung und Prozessieranordnung Die Erfindung betrifft eine Blitzlampenanordnung und eine Prozessieranordnung . Flash lamp arrangement and processing arrangement The invention relates to a flash lamp arrangement and a processing arrangement.
Eine Gasentladungslampe weist herkömmlicherweise eine Kathode und eine Anode innerhalb einer gasgefüllten Glasröhre auf, wobei es beim Zünden der Gasentladungslampe zu einer A gas discharge lamp conventionally has a cathode and an anode inside a gas-filled glass tube, and when ignited the gas discharge lamp to a
Gasentladung unter Aussendung von Licht (sichtbares Licht, UV-Licht und/oder Infrarot-Licht) kommt. Im Allgemeinen kann eine Gasentladungslampe als Blitzlampe betrieben werden, indem beispielsweise ein Kondensator durch die  Gas discharge under the emission of light (visible light, UV light and / or infrared light) comes. In general, a gas discharge lamp can be operated as a flash lamp, for example by a capacitor through the
Gasentladungslampe hindurch gepulst entladen wird, wobei mittels der Blitzlampe ein Lichtblitz erzeugt werden kann. Mit anderen Worten kann eine Gasentladungslampe derart betrieben werden, dass es beim Zünden der Gasentladungslampe zu einer gepulsten Gasentladung kommt. Die Entladungsdauer einer gepulsten Gasentladung kann dabei kurz sein, z.B. Pulsed gas discharge lamp is pulsed, with the flash lamp, a flash of light can be generated. In other words, a gas discharge lamp can be operated in such a way that a pulsed gas discharge occurs when the gas discharge lamp is ignited. The discharge duration of a pulsed gas discharge may be short, e.g.
kleiner als 20 ms, wobei mittels des Kondensators eine elektrische Spitzenleistung im Kilowatt-Bereich oder less than 20 ms, wherein by means of the capacitor, a peak electrical power in the kilowatt range or
Megawatt-Bereich bereitgestellt werden kann, mittels der die Gasentladung in der Gasentladungslampe gespeist wird. Megawatt range can be provided, by means of which the gas discharge is fed in the gas discharge lamp.
Zum kontrollierten Zünden einer Gasentladungslampe wird herkömmlicherweise ein elektrischer Zündpuls mittels eines Zündgenerators erzeugt und in die Gasentladungslampe derart eingekoppelt, dass das Bilden eines Plasmafadens innerhalb der Gasentladungslampe angeregt wird. Der gebildete For the controlled ignition of a gas discharge lamp, an electric ignition pulse is conventionally generated by means of an ignition generator and coupled into the gas discharge lamp in such a way that the formation of a plasma charge within the gas discharge lamp is excited. The educated one
Plasmafaden senkt die Impedanz der Gasentladungslampe, so dass eine an der Gasentladungslampe anliegende Spannung zu einem Entladungsstrom in der Lampe führt. Mit anderen Worten kann mittels des elektrischen Zündpulses eine gepulste  Plasma filament lowers the impedance of the gas discharge lamp, so that a voltage applied to the gas discharge lamp leads to a discharge current in the lamp. In other words, by means of the electric ignition pulse, a pulsed
Gasentladung angeregt werden. Soll eine lange Gasentladungslampe, z.B. mit einer Länge größer als 1 m gezündet werden, kann das Erzeugen eines elektrischen Zündpulses, welcher die Gasentladungslampe zuverlässig zündet, einen erheblichen Aufwand erfordern. Gas discharge to be stimulated. If a long gas discharge lamp, eg with a length greater than 1 m, is to be ignited, the generation of an electrical ignition pulse which reliably ignites the gas discharge lamp may require considerable effort.
Um diesen Aufwand zu kompensieren, kann das Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die Gasentladungslampe (anstatt seriell an der Anode/Kathode) mittels eines elektrischen Feldes erfolgen, welches außerhalb der Gasentladung erzeugt wird (externes Zünden) . Zum externen Zünden kann der To compensate for this effort, the launching of the electrical firing pulse into the gas discharge lamp (rather than serially at the anode / cathode) can be accomplished by means of an electric field generated outside the gas discharge (external firing). For external ignition of the
elektrische Zündpuls beispielsweise auf einen elektrischen Leiter übertragen werden, welcher sich außerhalb der electric ignition pulse, for example, be transmitted to an electrical conductor, which is outside the
Gasentladungslampe erstreckt, so dass sich ein Plasmafaden in der Gasentladungslampe ausbildet, welcher entlang des elektrischen Leiters verläuft. Ein zuverlässiges Zünden der Gasentladungslampe kann es erfordern, den elektrischen Gas discharge lamp extends so that a plasma thread is formed in the gas discharge lamp, which runs along the electrical conductor. Reliable ignition of the gas discharge lamp may require electrical power
Zündpuls entlang der Länge der Gasentladungslampe Ignition pulse along the length of the gas discharge lamp
einzukoppeln, was die benötigte Energie zum Erzeugen des elektrischen Zündpulses erhöht, je länger die couple, which increases the energy required to generate the electric ignition pulse, the longer the
Gasentladungslampe ist. Daher stellen lange Gas discharge lamp is. Therefore, make long
Gasentladungslampen zusätzliche Anforderungen an die  Gas discharge lamps additional requirements to the
Leistungsfähigkeit des Zündgenerators, was die Kosten des Zündgenerators erhöht. Beispielsweise kann ein zum Erzeugen eines elektrischen Zündpulses benötigter Spitzenstrom größer sein, je länger eine zu zündende Gasentladungslampe ist. Performance of the ignition generator, which increases the cost of the ignition generator. For example, a required for generating an electric ignition pulse peak current can be greater, the longer a gas discharge lamp to be ignited.
Herkömmlicherweise wird ein Zündpuls mit einer Pulsdauer größer als 200 ys erzeugt, wobei eine Verzögerung zwischen dem Auslösen des elektrischen Zündpulses und dem Beginn der Gasentladung in der Gasentladungslampe (mit anderen Worten des Zündzeitpunktes) auftritt, welche zeitlich schwanken kann. Daher kann es herkömmlicherweise schwierig sein, eine Gasentladungslampe zeitlich zuverlässig zu zünden. Conventionally, an ignition pulse is generated with a pulse duration greater than 200 ys, wherein a delay between the triggering of the electric ignition pulse and the beginning of the gas discharge in the gas discharge lamp (in other words the ignition timing) occurs, which can vary over time. Therefore, conventionally, it may be difficult to reliably time-fire a gas discharge lamp.
Verschiedene Ausführungsformen beruhen anschaulich auf der Erkenntnis, dass das zum externen Zünden erzeugte elektrische Feld zu einem Verschiebungsstrom führt, welcher das Bilden des Plasmafadens anregen und daher das Zündverhalten der Gasentladungslampe beeinflussen kann. Various embodiments are illustratively based on the recognition that the electric field generated for external firing results in a displacement current that causes the formation stimulate the plasma charge and therefore can influence the ignition behavior of the gas discharge lamp.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung mit einer Gasentladungslampe mit einem möglichst zuverlässigen Zündverhalten bereitgestellt. Flash lamp assembly provided with a gas discharge lamp with the most reliable ignition.
Anschaulich wurde erkannt, dass ein Zünden einer It was clearly recognized that igniting a
Gasentladungslampe zeitlich zuverlässiger (mit weniger Gas discharge lamp more reliable in time (with less
Zündverzögerung) erfolgt, je kürzer der Zündpuls ist. Eine derartige Blitzlampenanordnung kann beispielsweise zum zeitgleichen Zünden mehrerer Gasentladungslampen eingesetzt werden . Ignition delay), the shorter the ignition pulse. Such a flash lamp arrangement can be used, for example, for the simultaneous ignition of several gas discharge lamps.
Sollen mehrere Gasentladungslampen zeitgleich gezündet werden (anschaulich zum Erzeugen energiereicherer Lichtblitze) , kann ein Erzeugen einer möglichst großen Lichtintensität aufgrund einer Zündverzögerung (Zündzeitverzögerung) der mehreren Gasentladungslampen untereinander erschwert sein. Anschaulich können sich die von den mehreren Gasentladungslampen If several gas discharge lamps are to be ignited at the same time (clearly for generating more energy-rich flashes of light), generating as large a light intensity as possible due to an ignition delay (ignition delay) of the several gas discharge lamps can be made more difficult. Illustratively, those of the several gas discharge lamps
erzeugten Lichtblitze zeitlich versetzt überlagern, wobei sich die maximale Lichtintensität der überlagerten superimposed light flashes offset in time, with the maximum light intensity of the superimposed
Lichtblitze verkleinert, je größer die Zündverzögerung der mehreren Gasentladungslampen untereinander (mit anderen Reduced light flashes, the greater the ignition delay of the multiple gas discharge lamps with each other (with others
Worten je größer die zeitliche Versetzung der überlagerten Lichtblitze zueinander) ist. Words the greater the time offset of the superimposed flashes of light to each other).
Ferner können sich die mehreren Gasentladungslampen beim Zünden gegenseitig beeinflussen und/oder es können elektrisch leitfähige Bauteile in der Umgebung der mehreren Furthermore, the multiple gas discharge lamps may influence each other during ignition and / or it may be electrically conductive components in the vicinity of the plurality
Gasentladungslampen das Wirken des elektrischen Zündpulses auf die mehreren Gasentladungslampen beeinflussen, so dass ein Zünden der Gasentladungslampen versetzt erfolgt. Dies kann zu Schwankungen der maximalen Lichtintensität der überlagerten Lichtblitze führen, je nachdem, wie stark die mehreren Gasentladungslampen beeinflusst werden. Wird mittels der überlagerten Lichtblitze ein (z.B. Gas discharge lamps affect the action of the electric ignition pulse on the plurality of gas discharge lamps, so that ignition of the gas discharge lamps is offset. This can lead to fluctuations in the maximum light intensity of the superimposed flashes of light, depending on how strongly the multiple gas discharge lamps are influenced. Is by means of the superimposed flashes of light (eg
lichtabsorbierendes) Substrat bestrahlt zum Erwärmen und/oder zum Prozessieren des Substrats, können die schwankenden light-absorbing) substrate irradiated to heat and / or process the substrate, the fluctuating
Zündzeitpunkte der mehreren Gasentladungslampen zu Ignition timing of the multiple gas discharge lamps to
unterschiedlichen Maximaltemperaturen auf der Oberfläche des Substrats führen. Ein Prozessresultat kann daher variieren und einen kostenverursachenden Produktionsausschuss erhöhen. lead to different maximum temperatures on the surface of the substrate. A process result can therefore vary and increase a costly production scrap.
Herkömmlicherweise wird eine Potentialverteilung der Conventionally, a potential distribution of
Gasentladungslampen mittels eines speziell geformten, z.B. möglichst symmetrisch aufgebauten, Reflektors verbessert. Der speziell geformte Reflektor resultiert allerdings Gas discharge lamps by means of a specially shaped, e.g. as symmetrically constructed, reflector improved. The specially shaped reflector, however, results
gleichzeitig in einer Geometrie, welche die lichtoptischen Eigenschaften (und damit die maximale Lichtausbeute) des Reflektors beeinträchtigt, sowie einer aufwendigeren at the same time in a geometry that affects the light-optical properties (and thus the maximum light output) of the reflector, as well as a more complex
Herstellung des Reflektors, da beispielsweise mehrere Production of the reflector, since for example several
Bauteile benötigt und miteinander verbunden werden müssen. Components needed and connected to each other.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung mit mehreren Gasentladungslampen derart bereitgestellt, dass ein möglichst gleichzeitiges Zünden der mehreren Gasentladungslampen erfolgen kann. Anschaulich können sich die von den mehreren Gasentladungslampen Flash lamp assembly provided with a plurality of gas discharge lamps such that a possible simultaneous ignition of the plurality of gas discharge lamps can be carried out. Illustratively, those of the several gas discharge lamps
erzeugten Lichtblitze derart überlagern, dass die maximale Lichtintensität der überlagerten Lichtblitze möglichst groß ist. Dabei kann beispielsweise auf einen speziell geformten, die Lichtausbeute beeinträchtigenden, Reflektor verzichtet werden und ein Reflektor verwendet werden, dessen Geometrie anschaulich vordergründig zum Erzeugen einer möglichst großen Lichtausbeute bei bestmöglicher Homogenität der superimpose light flashes generated such that the maximum light intensity of the superimposed flashes of light is as large as possible. In this case, for example, to dispense with a specially shaped, the light output impairing reflector and a reflector are used, the geometry of which clearly ostensibly to produce the largest possible light output with the best possible homogeneity
Lichtintensität eines zu beleuchtenden Substrats optimiert ist .  Light intensity of a substrate to be illuminated is optimized.
Eine maximale Lichtintensität eines erzeugten Lichtblitzes kann ferner vergrößert sein, je schneller die Gasentladung bei konstanter Dosis (z.B. bei konstanter Energiedichte) erfolgt, mit anderen Worten je kürzer der Lichtblitz ist. Wenn die einander überlagerten Lichtblitze zeitlich A maximum light intensity of a generated flash of light can also be increased, the faster the gas discharge takes place at a constant dose (eg at a constant energy density), in other words the shorter the flash of light. When the superimposed flashes of light in time
zueinander versetzt sind, kann deren maximale Lichtintensität stärker beeinträchtigt sein, je kürzer die einander offset from each other, their maximum light intensity can be more affected, the shorter the one another
überlagerten Lichtblitze sind. Daher kann es erforderlich sein, mehrere Gasentladungslampen möglichst zeitgleich zu zünden (beispielsweise mit einer zeitlichen Toleranz von wenigen Mikrosekunden oder von einigen hundert Nanosekunden) , damit eine möglichst hohe maximale Lichtintensität erhalten werden kann. superimposed flashes of light are. Therefore, it may be necessary to ignite several gas discharge lamps at the same time as possible (for example, with a time tolerance of a few microseconds or a few hundred nanoseconds), so that the highest possible maximum light intensity can be obtained.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung mit mehreren Gasentladungslampen derart bereitgestellt, dass ein die mehreren Gasentladungslampen zündender Zündpuls an eine Entladungsdauer der in den A flash lamp assembly with a plurality of gas discharge lamps provided such that an ignition pulse igniting the plurality of gas discharge lamps at a discharge time in the
mehreren Gasentladungslampen erfolgenden Gasentladungen angepasst werden kann, so dass ein zeitlicher Versatz der Gasentladungen zueinander reduziert werden kann. Anschaulich kann der Zündpuls derart eingestellt sein oder werden, dass alle gemeinsam gezündeten Gasentladungslampen sich a plurality of gas discharge lamps taking place gas discharges can be adjusted, so that a time lag of the gas discharges can be reduced to each other. Clearly, the ignition pulse can be set or become such that all of the gas discharge lamps ignited collectively
überlagernde Lichtblitze erzeugen, deren maximale generate overlapping flashes of light whose maximum
Lichtintensität möglichst zeitgleich erreicht ist. Light intensity is reached as possible at the same time.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung Folgendes aufweisen: eine Flash lamp assembly comprising: a
Gasentladungslampe, einen Treiberschaltkreis zum Gas discharge lamp, a driver circuit for
Bereitstellen einer Betriebsspannung an der Providing an operating voltage at the
Gasentladungslampe, wobei der Treiberschaltkreis derart eingerichtet sein kann, dass ein elektrischer Entladungspuls (z.B. ein Strompuls) erzeugt werden kann, sobald die A gas discharge lamp, wherein the drive circuit may be configured such that an electric discharge pulse (e.g., a current pulse) may be generated as soon as the
Gasentladungslampe gezündet wird; einen Zündschaltkreis zum Erzeugen eines elektrischen Zündpulses (z.B. eines Gas discharge lamp is ignited; an ignition circuit for generating an electric ignition pulse (e.g.
Strompulses oder eines Spannungspulses) zum Zünden der Current pulse or a voltage pulse) for igniting the
Gasentladungslampe; wobei der Zündschaltkreis derart Gas discharge lamp; wherein the ignition circuit is such
eingerichtet ist, dass die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses kleiner ist als ein Zehntel (oder als ein is set up that the half-width of the electric ignition pulse is less than a tenth (or as a
Fünfzigstel) der Halbwertsbreite des elektrischen Fiftieth) of the half-width of the electric
Entladungspulses . Anschaulich kann die Halbwertsbreite des elektrischen Discharge pulse. Illustratively, the half-width of the electric
Entladungspulses von dem Aufbau des Treiberschaltkreises definiert sein oder werden. Zum Erzeugen eines möglichst kurzen elektrischen Zündpulses, kann die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses mittels des Zündschaltkreises an den die Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses Discharge pulse of the structure of the driver circuit may be defined or be. To generate the shortest possible ignition pulse, the half-width of the electric ignition pulse by means of the ignition circuit to the half-width of the electric discharge pulse
angepasst werden. Beispielsweise kann die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses so klein wie nötig bereitgestellt werden, um die Gasentladungslampe innerhalb eines be adjusted. For example, the half-value width of the electric ignition pulse may be made as small as necessary to make the gas discharge lamp within one
vordefinierten Zeitintervalls zuverlässig zu zünden, wobei das vordefinierte Zeitintervall je kleiner ist, desto kürzer den Entladungspuls ist. reliably ignite predefined time interval, wherein the predefined time interval is smaller, the shorter the discharge pulse.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die According to various embodiments, the
Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses kleiner sein als ungefähr ein Fünftel der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ein ungefähr ein Zehntel der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ungefähr ein Fünfzigstel (2%) der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ein ungefähr ein Hundertstel (1%) der Halbwertsbreite des Half-width of the electric ignition pulse is less than about one fifth of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about one-tenth of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about one fiftieth (2%) of the half width of the electrical discharge pulse, e.g. less than about one hundredth (1%) of the half width of the
elektrischen Entladungspulses. Mit anderen Worten kann die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses gemäß electrical discharge pulse. In other words, the half-width of the electric ignition pulse according to
verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als ungefähr 20% der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ungefähr 10% der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, ferner z.B. kleiner als ungefähr 5% der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, z.B. various embodiments may be less than about 20% of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about 10% of the half width of the electric discharge pulse, further e.g. less than about 5% of the half-width of the electric discharge pulse, e.g.
kleiner als ungefähr 2% der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ungefähr 1% der less than about 2% of the half-width of the electric discharge pulse, e.g. less than about 1% of the
Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses. Half width of the electric discharge pulse.
Umso kleiner die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses ist, desto kleiner kann eine Schwankung des Zündzeitpunktes (bzw. eine Zündzeitverzögerung) sein, so dass ein zeitlich zuverlässiges Zündverhalten der Gasentladungslampe erreicht werden kann. Die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses ist oder wird allerdings derart groß gewählt, dass dieser eine ausreichende elektrische Verschiebung in der The smaller the half-value width of the electrical ignition pulse, the smaller a fluctuation of the ignition point (or an ignition delay) can be, so that a reliable ignition timing of the gas discharge lamp is achieved can be. The half-width of the electric ignition pulse is or will be chosen so large that this sufficient electrical displacement in the
Gasentladungslampe (auch als Verschiebungsstrom bezeichnet) erzeugen kann (mittels des elektrischen Feldes) , so dass eine Gasentladung ausgelöst wird. Die notwendige Halbwertsbreite kann von der Bauart und der Bauform der Gasentladungslampe abhängen. Beispielsweise kann ein elektrischer Zündpuls mit einer Halbwertsbreite in einem Bereich von ungefähr 0,1% der Halbwertsbreite des elektrischen Entladungspulses bis ungefähr 20% der Halbwertsbreite des elektrischen Gas discharge lamp (also referred to as displacement current) can generate (by means of the electric field), so that a gas discharge is triggered. The necessary half width may depend on the type and design of the gas discharge lamp. For example, an electrical firing pulse having a half width in a range of about 0.1% of the half width of the electric discharge pulse to about 20% of the half width of the electric
Entladungspulses eine ausreichende elektrische Verschiebung in einer langen Gasentladungslampe (z.B. länger als 100 mm) erzeugen . Discharge pulse sufficient electrical displacement in a long gas discharge lamp (for example longer than 100 mm) produce.
Die Blitzlampenanordnung mit der Gasentladungslampe (dem Gasentladungsrohr) kann beispielsweise als eine The flash lamp assembly with the gas discharge lamp (the gas discharge tube) can be used as a
Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe Flash lamp arrangement with at least one flash lamp
eingerichtet sein oder betrieben werden. be set up or operated.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung Folgendes aufweisen: mehrere Flash lamp assembly comprising: a plurality
Gasentladungslampen, einen Treiberschaltkreis zum Gas discharge lamps, a driver circuit for
Bereitstellen einer Betriebsspannung an den mehreren Providing an operating voltage to the plurality
Gasentladungslampen, wobei der Treiberschaltkreis derart eingerichtet sein kann, dass ein elektrischer Entladungspuls erzeugt werden kann, sobald die mehreren Gasentladungslampen gezündet werden; einen Zündschaltkreis zum Erzeugen eines elektrischen Zündpulses zum Zünden der mehreren Gas discharge lamps, wherein the drive circuit may be arranged such that an electric discharge pulse can be generated when the plurality of gas discharge lamps are ignited; an ignition circuit for generating an electric ignition pulse for igniting the plurality
Gasentladungslampen; wobei der Zündschaltkreis derart eingerichtet ist, dass die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses kleiner ist als ein Fünftel, ein Zehntel oder ein Fünfzigstel der Halbwertsbreite des elektrischen Discharge; wherein the ignition circuit is arranged such that the half-width of the electric ignition pulse is smaller than a fifth, a tenth or a fiftieth of the half-width of the electric
Entladungspulses . Discharge pulse.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung mehrere Treiberschaltkreise aufweisen zum Bereitstellen einer Betriebsspannung mehrerer Flash lamp arrangement have a plurality of driver circuits for providing an operating voltage of several
Gasentladungslampen. In dem Fall kann jeder Gas discharge lamps. In that case everyone can
Gasentladungslampe ein Treiberschaltkreis zugeordnet sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede  Gas discharge lamp to be associated with a driver circuit. According to various embodiments, each
Gasentladungslampe der mehreren Gasentladungslampen mit einem Treiberschaltkreis der mehrere Treiberschaltkreise gekoppelt sein. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass die jeweilige mittels des Treiberschaltkreises bereitgestellte Betriebsspannung für verschiedenen Gasentladungslampen unterschiedlich sein kann.  Gas discharge lamp of the plurality of gas discharge lamps with a driver circuit to be coupled to the multiple driver circuits. This can be achieved, for example, that the respective provided by the driver circuit operating voltage for different gas discharge lamps may be different.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Zünden der mehreren Gasentladungslampen mittels eines gemeinsamen According to various embodiments, the ignition of the plurality of gas discharge lamps by means of a common
Zündschaltkreises erfolgen. Ignition circuit done.
Die mehreren Gasentladungslampen können Teil eines The several gas discharge lamps can be part of a
gemeinsamen Lampenfelds der Blitzlampenanordnung zum Erzeugen von Lichtblitzen sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Lampenfeld mehrere Gasentladungslampen aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. zwei, drei, vier, fünf, mehr als fünf, z.B. zehn oder z.B. zwanzig Gasentladungslampen. Zum Erzeugen von Lichtblitzen können die Gasentladungslampen eines Lampenfeldes einzeln, in Gruppen oder gemeinsam common lamp field of the flash lamp assembly to generate flashes of light. According to various embodiments, a lamp array may include or be formed from a plurality of gas discharge lamps, e.g. two, three, four, five, more than five, e.g. ten or e.g. twenty gas discharge lamps. For generating light flashes, the gas discharge lamps of a lamp field can be used individually, in groups or together
gezündet werden, wobei sich die von den jeweils gezündetenbe detonated, with each of the ignited
Gasentladungslampen erzeugten Lichtblitze überlagern können. Gas discharge lamps generated light flashes can overlap.
Das Zünden einer Gasentladungslampe kann derart verstanden werden, dass ab dem Zeitpunkt des Zündens eine Gasentladung in der Gasentladungslampe abläuft unter Aussendung (oderThe ignition of a gas discharge lamp can be understood in such a way that, starting from the time of ignition, a gas discharge in the gas discharge lamp takes place with emission (or
Abgabe) von Licht (z.B. UV-Licht, sichtbares Licht und/oder Infrarotlicht ) . Die notwendige elektrische Energie zum Delivery) of light (e.g., UV light, visible light and / or infrared light). The necessary electrical energy to
Erzeugen der Gasentladung kann mittels eines Kondensators bereitgestellt werden. Der Kondensator kann Teil eines Generating the gas discharge can be provided by means of a capacitor. The capacitor can be part of a
Treiberschaltkreises zum Betreiben der Gasentladungslampe sein. Anschaulich kann die zum Erzeugen der Gasentladung notwendige elektrische Energie in dem Kondensator gespeichert sein oder werden. Während der Gasentladung kann der Driver circuit for operating the gas discharge lamp. Clearly, the electrical energy necessary for generating the gas discharge can be stored in the capacitor be or become. During the gas discharge, the
Kondensator mittels eines elektrischen Entladungspulses (z.B. eines Stromflusses) durch die Gasentladungslampe hindurch entladen werden, wobei die elektrische Energie des Capacitor are discharged through the gas discharge lamp by means of an electric discharge pulse (e.g., a current flow), the electric energy of the
Kondensators mittels der Gasentladungslampe in Capacitor by means of the gas discharge lamp in
Strahlungsenergie umgewandelt wird. Die Strahlungsenergie kann von der Gasentladungslampe mittels des abgegebenen  Radiation energy is converted. The radiant energy can be emitted from the gas discharge lamp by means of the
(erzeugten) Lichts transportiert und/oder übertragen werden. Mit dem abgegebenen Licht kann z.B. ein Substrat bestrahlt werden zum Prozessieren (z.B. zumindest Bearbeiten) des (generated) light transported and / or transmitted. With the emitted light, e.g. a substrate is irradiated for processing (e.g., at least processing) the substrate
Substrats . Substrate.
Die Gasentladung (bzw. der elektrische Entladungspuls) kann einen elektrischen Stromfluss, mit anderen Worten einen The gas discharge (or the electric discharge pulse) can be an electric current flow, in other words a
Entladungsstrom, aufweisen, welcher sich durch die Discharge current, which, through the
Gasentladungslampe hindurch entlädt. Die elektrische  Gas discharge lamp through discharges. The electric
Stromstärke des Entladungsstroms, mit anderen Worten die Entladungsstromstärke, kann zeitabhängig sein und ein Maximum (bzw. einen Spitzenstrom) aufweisen. Anschaulich kann der elektrische Entladungspuls als elektrischer Strompuls Amperage of the discharge current, in other words the discharge current, may be time-dependent and have a maximum (or a peak current). Illustratively, the electrical discharge pulse as an electric current pulse
bereitgestellt sein. be provided.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mittels Anpassens und/oder Einrichtens des Treiberschaltkreises der elektrische Entladungspuls derart eingestellt werden, dass die According to various embodiments, by means of adapting and / or setting up the driver circuit, the electrical discharge pulse can be adjusted such that the
zeitabhängige Stromstärke (bzw. die Strom-Zeit-Kennlinie) eine vordefinierte Halbwertsbreite aufweist. Mit anderen Worten kann der Strompuls beim Entladen des Kondensators über die Gasentladungslampe eine vordefinierte Halbwertsbreite aufweisen. Time-dependent current (or the current-time characteristic) has a predefined half-width. In other words, the current pulse when discharging the capacitor via the gas discharge lamp have a predefined half-width.
Die Strom-Zeit-Kennlinie (bzw. die Zeitabhängigkeit der elektrischen Stromstärke) und/oder die Spannung-Zeit- Kennlinie (bzw. die Zeitabhängigkeit der elektrischen The current-time characteristic (or the time dependence of the electric current) and / or the voltage-time characteristic (or the time dependence of the electrical
Spannung) des elektrischen Entladungspulses können mittels des Treiberschaltkreises angepasst oder vordefiniert sein oder werden. Beispielsweise kann der Kondensator des Treiberschaltkreises entsprechend dimensioniert sein und/oder eine mit dem Kondensator elektrisch gekoppelte Induktivität des Treiberschaltkreises, welche die Entladegeschwindigkeit des Kondensators (und damit die Entladungsdauer) beeinflussen kann, kann entsprechend bereitgestellt sein. Gemäß Voltage) of the electrical discharge pulse can be adjusted or predefined by means of the driver circuit. For example, the capacitor of the Driver circuit may be dimensioned accordingly and / or an electrically coupled to the capacitor inductance of the driver circuit, which may affect the discharge rate of the capacitor (and thus the discharge time) may be provided accordingly. According to
verschiedenen Ausführungsformen kann die mit dem Kondensator gekoppelte Induktivität z.B. mittels einer Spule According to various embodiments, the inductance coupled to the capacitor may e.g. by means of a coil
bereitgestellt sein. be provided.
Der Zündschaltkreis kann derart eingerichtet sein, dass der elektrische Zündpuls als eine zeitabhängige elektrische The ignition circuit may be configured such that the electric ignition pulse as a time-dependent electrical
Spannung und/oder als eine zeitabhängige elektrische Voltage and / or as a time-dependent electrical
Stromstärke bereitgestellt sein oder werden kann. Amperage can be provided or can be.
Beispielsweise kann die zeitabhängige Spannung des For example, the time-dependent voltage of
elektrischen Zündpulses ein Maximum der Spannung (eine maximale Spannung) aufweisen, mit anderen Worten als electric ignition pulse have a maximum of the voltage (a maximum voltage), in other words
Spannungspuls bereitgestellt sein. Beispielsweise kann die zeitabhängige elektrische Stromstärke des elektrischen Voltage pulse be provided. For example, the time-dependent electrical current of the electric
Zündpulses ein Maximum der Stromstärke (eine maximale Ignition pulse a maximum of amperage (a maximum
Stromstärke) aufweisen, mit anderen Worten als elektrischer Strompuls bereitgestellt sein. Analog zum Treiberschaltkreis kann der Zündschaltkreis derart eingerichtet sein, dass die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses, mit anderen Worten die Halbwertsbreite des elektrischen Strompulses und/oder die Halbwertsbreite des elektrischen Spannungspulses eine vordefinierte Halbwertsbreite aufweist. Current), in other words be provided as an electrical current pulse. Analogous to the driver circuit, the ignition circuit may be configured such that the half width of the electric ignition pulse, in other words the half width of the electric current pulse and / or the half width of the electric voltage pulse has a predefined half width.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Zündschaltkreis derart eingerichtet sein, dass der Ignition circuit be set up such that the
elektrische Zündpuls eine maximale Spannung in einem Bereich von ±5 kV ungefähr bis ungefähr ±50 kV, z.B. in einem Bereich von ±10 kV ungefähr bis ungefähr ±40 kV, z.B. ungefähr electrical firing pulse has a maximum voltage in a range of ± 5 kV approximately to approximately ± 50 kV, e.g. in a range of ± 10 kV approximately to approximately ± 40 kV, e.g. approximately
±20 kV, aufweist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Zündschaltkreis derart eingerichtet sein, dass der elektrische Zündpuls eine maximale Stromstärke in einem ± 20 kV. According to various embodiments, the ignition circuit may be configured such that the electrical ignition pulse has a maximum current in one
Bereich von ungefähr 1 A bis ungefähr 1 kA aufweist. Die erforderliche Stromstärke kann beispielsweise von der parasitären Kapazität des Reflektors sowie den Range from about 1 A to about 1 kA. The required current can, for example, from the parasitic capacitance of the reflector as well as the
Transformatorverlusten abhängen und umso größer sein, desto größer die parasitären Kapazität des Reflektors sowie die Transformatorverluste sind. Depend on transformer losses and the greater, the greater the parasitic capacitance of the reflector and the transformer losses are.
Beispielsweise kann der elektrische Zündpuls bei einer maximalen Spannung von ungefähr ±50 kV eine maximale For example, the electrical ignition pulse at a maximum voltage of about ± 50 kV, a maximum
elektrische Stromstärke von mehr als ungefähr 10 A aufweisen. Zum Erzeugen eines solchen elektrische Zündpulses kann einem Zündtransformator (mit einem Übertragungsfaktor von ungefähr einem Hundertstel) beispielsweise auf der have an electrical current of more than about 10 A. To produce such an electrical ignition pulse, an ignition transformer (with a transmission factor of about one hundredth), for example, on the
Niederspannungsseite eine elektrische Stromstärke von Low-voltage side, an electric current of
ungefähr 500 A (bei ±1 kV) bereitgestellt werden. Der approximately 500 A (at ± 1 kV). Of the
Zündtransformator kann Teil des Zündgenerators zum Erzeugen des Zündpulses sein und auf der Niederspannungsseite mit einer ausreichend dimensionierten Stromversorgung verbunden sein, so dass die erforderliche elektrisch Stromstärke auf der Niederspannungsseite bereitgestellt werden kann. Der Zündtransformator kann auch einen anderen Übertragungsfaktor aufweisen, bzw. derart dimensioniert sein, dass ein Ignition transformer may be part of the ignition generator for generating the ignition pulse and be connected on the low voltage side with a sufficiently large power supply, so that the required electric current can be provided on the low voltage side. The ignition transformer may also have a different transmission factor, or be dimensioned such that a
elektrischer Zündpuls, wie vorangehend beschrieben ist, erzeugt werden kann. electric ignition pulse, as described above, can be generated.
Mit anderen Worten kann die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses an einen vordefinierten elektrischen In other words, the half width of the electric ignition pulse to a predefined electrical
Entladungspuls einer Blitzlampenanordnung angepasst werden, so dass der Zündpuls relativ zum elektrischen Entladungspuls der Blitzlampenanordnung anschaulich möglichst kurz ist. Die Halbwertsbreite einer zeitlich veränderlichen Größe mit einem Maximum, wie z.B. eines elektrischen Entladungspulses oder eines Zündpulses, kann als zeitliche Differenz zwischen zwei Werten der zeitlich veränderlichen Größe (z.B. einer elektrischen Stromstärke oder einer elektrischen Spannung) verstanden werden, welche jeweils die Hälfte des Maximums betragen. Mit anderen Worten kann die Halbwertsbreite die (zeitliche) Breite eines Strompulses und/oder Spannungspulses beschreiben, welche bei halber Höhe des Strompulses und/oder Spannungspulses gemessen wird. Discharge pulse of a flash lamp assembly can be adjusted so that the ignition pulse relative to the electrical discharge pulse of the flash lamp assembly is clearly as short as possible. The half-width of a variable variable in time with a maximum, such as an electrical discharge pulse or an ignition pulse, can be understood as a time difference between two values of the time-variable variable (eg, an electric current or an electric voltage), which are each half of the maximum , In other words, the half-width can be the (temporal) width of a current pulse and / or voltage pulse describe which is measured at half the height of the current pulse and / or voltage pulse.
Wird eine zeitlich veränderliche Größe beispielsweise als Teil eines zeitlichen periodischen (z.B. oszillierenden) elektrischen Signals bereitgestellt, z.B. als oszillierende elektrische Spannung und/oder als oszillierende elektrische Stromstärke, kann die Halbwertsbreite von der Periode des periodischen zeitlichen Verlaufs definiert sein und/oder von einer Halbwelle des zeitlichen Verlaufs definiert sein. Lässt sich das periodische zeitliche Signal beispielsweise als Sinusfunktion beschreiben, kann die Halbwertsbreite von der ersten Halbwelle der Sinusfunktion definiert sein, wobei die Halbwertsbreite der ersten Halbwelle der Sinusfunktion ein Drittel der Periode betragen kann. Lässt sich der periodische zeitliche Verlauf beispielsweise als Rechteckfunktion For example, if a variable of varying magnitude is provided as part of a temporal periodic (e.g., oscillating) electrical signal, e.g. As oscillating electrical voltage and / or as an oscillating electric current, the half-width can be defined by the period of the periodic time course and / or be defined by a half-wave of the time course. If the periodic time signal can be described, for example, as a sine function, the half-width can be defined by the first half-wave of the sine function, wherein the half-width of the first half-wave of the sine function can be one third of the period. For example, the periodic history can be used as a rectangle function
beschreiben, kann die Halbwertsbreite der Rechteckfunktion die Breite der Rechteckfunktion betragen. Analog dazu kann die Halbwertsbreite anderer Signalformen definiert sein. describe, the half-width of the rectangular function can be the width of the rectangular function. Analogously, the half-width of other signal forms can be defined.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung ferner Folgendes aufweisen: ein Flash lamp assembly further comprising: a
Hüllenrohr, welches die Gasentladungslampe derart umgibt, dass die Gasentladungslampe mit einer in das Hüllenrohr eingebrachten Kühlflüssigkeit gekühlt werden kann, wobei der Zündschaltkreis eine zwischen dem Hüllenrohr und der Sheath tube which surrounds the gas discharge lamp such that the gas discharge lamp can be cooled with a introduced into the sheath tube cooling liquid, wherein the ignition circuit between the sheath tube and the
Gasentladungslampe angeordnete Zündstruktur aufweist. Das Hüllenrohr kann eingerichtet sein, die Kühlflüssigkeit (z.B. Kühlwasser) aufzunehmen zum Kühlen der Gasentladungslampe mit der Kühlflüssigkeit. Anschaulich kann die Gasentladungslampe wassergekühlt sein, wobei die Gasentladungslampe innerhalb des Hüllenrohrs vom Kühlwasser umströmt und/oder bespült wird . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Has gas discharge lamp arranged ignition structure. The shell tube may be configured to receive the cooling liquid (e.g., cooling water) for cooling the gas discharge lamp with the cooling liquid. Illustratively, the gas discharge lamp may be water-cooled, wherein the gas discharge lamp flows around and / or is flushed by the cooling water within the casing tube. According to various embodiments, the
Zündschaltkreis einen Zünddraht aufweisen, welcher sich entlang der Gasentladungslampe erstreckt. Zum Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die Gasentladungslampe kann der Zündpuls auf den Zünddraht übertragen werden, so dass der Zünddraht ein zeitlich veränderliches elektrisches Feld ausbildet, welches auf die Gasentladungslampe derart wirkt, dass ein Plasmafaden innerhalb der Gasentladungslampe Ignition have a firing wire, which extends along the gas discharge lamp. For coupling the electrical ignition pulse into the gas discharge lamp, the ignition pulse can be transmitted to the ignition wire, so that the ignition wire forms a time-varying electric field, which acts on the gas discharge lamp such that a plasma thread within the gas discharge lamp
gebildet werden kann. Zum Erzeugen des elektrischen Feldes und zum Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die can be formed. For generating the electric field and for coupling the electric ignition pulse in the
Gasentladungslampe kann der Zünddraht elektrisch leitfähig sein und z.B. ein Metall aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. Molybdän, Aluminium oder Stahl. Gas discharge lamp, the ignition wire may be electrically conductive and e.g. comprise or be formed from a metal, e.g. Molybdenum, aluminum or steel.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Zünddraht zwischen dem Hüllenrohr und der Gasentladungslampe angeordnet sein. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass der Zünddraht in einem möglichst geringen Abstand zu der According to various embodiments, the firing wire may be disposed between the shell tube and the gas discharge lamp. This can be achieved, for example, that the ignition wire in the smallest possible distance from the
Gasentladungslampe angeordnet sein oder werden kann, so dass ein Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die Gas discharge lamp can be arranged or can, so that a coupling of the electric ignition pulse in the
Gasentladungslampe anschaulich möglichst effektiv erfolgen kann. Ist der Zünddraht zwischen Hüllenrohr und Gas discharge lamp can be clearly as effective as possible. Is the ignition wire between sheath tube and
Gasentladungslampe angeordnet, kann dieser von der Gas discharge lamp arranged, this can of the
Kühlflüssigkeit umspült sein oder werden. Dies kann es erforderlich machen, den Zünddraht korrosionsfest Coolant be lapped or be. This may require the ignition wire to be corrosion resistant
einzurichten. Anschaulich kann der Zünddraht derart to set up. Illustratively, the ignition wire so
eingerichtet sein, dass dieser möglichst wenig mit der be furnished that this as little as possible with the
Kühlflüssigkeit chemisch reagiert. Dazu kann der Zünddraht beispielsweise ein korrosionsfestes Metall, z.B. Coolant reacts chemically. For this purpose, the ignition wire may, for example, be a corrosion-resistant metal, e.g.
korrosionsfesten Stahl (mit anderen Worten rostfreien Stahl) , z.B. eine Chrom-Stahl-Legierung, oder eine Beschichtung aus korrosionsfestes Material z.B. eine Beschichtung aus einem Kunststoff oder aus Glas aufweisen. corrosion-resistant steel (in other words, stainless steel), e.g. a chromium-steel alloy, or a coating of corrosion-resistant material, e.g. have a coating of a plastic or glass.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Zündschaltkreis einen Reflektor aufweisen, so dass die Ignition circuit having a reflector, so that the
Gasentladungslampe mittels des Reflektors gezündet werden kann. Zum Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die Gas discharge lamp can be ignited by means of the reflector. For coupling the electric ignition pulse in the
Gasentladungslampe kann der Zündpuls auf den Reflektor übertragen werden, so dass der Reflektor ein zeitlich veränderliches elektrisches Feld ausbildet, welches auf die Gasentladungslampe derart wirkt, dass ein Plasmafaden erzeugt werden kann. Der Reflektor kann ferner eingerichtet sein, von der Gasentladungslampe erzeugtes Licht zu reflektieren. Gas discharge lamp, the ignition pulse can be transferred to the reflector, so that the reflector on a time forms a variable electric field, which acts on the gas discharge lamp such that a plasma thread can be generated. The reflector may be further configured to reflect light generated by the gas discharge lamp.
Beispielsweise kann der Reflektor derart eingerichtet sein, dass eine Lichtausbeute des von dem Reflektor reflektierten Lichts möglichst hoch ist. Zum Reflektieren von Licht kann der Reflektor eine lichtreflektierende Oberfläche, z.B. eine polierte Oberfläche oder eine lichtreflektierende For example, the reflector can be set up such that a luminous efficiency of the light reflected by the reflector is as high as possible. For reflecting light, the reflector may comprise a light-reflecting surface, e.g. a polished surface or a light-reflecting
Beschichtung aufweisen oder daraus gebildet sein. Have coating or be formed from it.
Beispielsweise kann der Reflektor derart eingerichtet sein, dass dieser mehr als 60% des auf ihn einfallenden Lichts reflektiert, z.B. mehr als 70% des auf ihn einfallenden For example, the reflector may be arranged to reflect more than 60% of the light incident on it, e.g. more than 70% of the incident on him
Lichts, z.B. mehr als 80% des auf ihn einfallenden Lichts, z.B. mehr als 90% des auf ihn einfallenden Lichts. Ferner kann der Reflektor auf den Wellenlängenbereich (mit anderen Worten dem Spektrum) des von der Gasentladungslampe erzeugten Lichts abgestimmt sein, so dass der Reflektor anschaulich möglichst viel des von der Gasentladungslampe erzeugten Light, e.g. more than 80% of the incident light, e.g. more than 90% of the incident light. Furthermore, the reflector can be tuned to the wavelength range (in other words, the spectrum) of the light generated by the gas discharge lamp, so that the reflector clearly shows as much of the generated by the gas discharge lamp
Lichts reflektieren kann. Zum Erzeugen des elektrischen Can reflect light. For generating the electrical
Feldes und zum Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die Gasentladungslampe kann der Reflektor elektrisch leitfähig sein und z.B. ein Metall aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. Stahl, Aluminium oder mit Silber beschichtetes Kupfer. Feldes and for coupling the electric ignition pulse in the gas discharge lamp, the reflector may be electrically conductive and e.g. comprise or be formed from a metal, e.g. Steel, aluminum or silver-coated copper.
Ferner können der Reflektor und/oder der Zünddraht dem Furthermore, the reflector and / or the ignition wire can
Einwirken des von der Gasentladungslampe erzeugten Acting of the generated by the gas discharge lamp
Lichtblitzes ausgesetzt sein, was die Struktur und/oder die Eigenschaften des Reflektors und/oder des Zünddrahts Be exposed to lightning, what the structure and / or the properties of the reflector and / or the ignition wire
verändern kann. Beispielsweise können der Reflektor und/oder der Zünddraht anschaulich altern, z.B. chemisch mit der can change. For example, the reflector and / or the ignition wire can age clearly, e.g. chemically with the
Umgebung reagieren oder sich verfärben, z.B. schwärzen, wenn diese mit dem von der Gasentladungslampe erzeugten Licht bestrahlt werden. Zum Erhöhen der Stabilität des Reflektors und/oder des Zünddrahts gegenüber den erzeugten Lichtblitzen können diese beispielsweise ein widerstandfähiges Material und/oder eine Beschichtung aus widerstandfähigem Material aufweisen, z.B. Stahl, einem Oxid oder Silber. Environment react or discolor, eg blacken when they are irradiated with the light generated by the gas discharge lamp. For example, to increase the stability of the reflector and / or the ignition wire relative to the generated flashes of light, these may be a resistant material and / or have a coating of resistant material, eg steel, an oxide or silver.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Gasentladungslampe ein mit einem Gas oder Gasgemisch Gas discharge lamp on with a gas or gas mixture
(Leuchtmittel) gefülltes Entladungsgefäß, z.B. ein (Illuminant) filled discharge vessel, e.g. one
rohrförmiges Entladungsgefäß, (z.B. aus Glas, einem Quarzglas oder einer kristallinen Aluminiumoxid-Keramik (Saphir) ) aufweisen. Beim Zünden der Gasentladungslampe kann das in dem Entladungsgefäß eingeschlossene Leuchtmittel mittels eines Stromflusses (mit anderen Worten mittels eines elektrischen Entladungspulses) durch das Leuchtmittel hindurch zum tubular discharge vessel (e.g., made of glass, a quartz glass or a crystalline alumina ceramics (sapphire)). When the gas discharge lamp is ignited, the light source enclosed in the discharge vessel can be passed through the light source by means of a current flow (in other words, by means of an electrical discharge pulse)
Leuchten angeregt werden und dabei Licht emittieren. Das rohrförmige Entladungsgefäß kann beispielsweise Lights are stimulated while emitting light. The tubular discharge vessel may, for example
zylinderförmig sein, einen Durchmesser aufweisen und entlang einer (zum Durchmesser senkrecht verlaufenden) Richtung be cylindrical, have a diameter and along a (perpendicular to the diameter) direction
(Achse des rohrförmigen Entladungsgefäßes) längs erstreckt sein, bzw. eine entlang der Achse verlaufende (Axis of the tubular discharge vessel) to be longitudinally extending, or extending along the axis
Längserstreckung aufweisen. Have longitudinal extent.
Eine Gasentladungslampe kann beispielsweise eine A gas discharge lamp may, for example, a
Längserstreckung oder eine Länge des Entladungsgefäßes Longitudinal extent or a length of the discharge vessel
(entlang der Achse des rohrförmigen Entladungsgefäßes) in einem Bereich von ungefähr 0,1 m bis ungefähr 5 m aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 4,5 m, z.B. in einem Bereich von ungefähr 3 m bis ungefähr 4,5 m. Alternativ kann eine rohrförmige Gasentladungslampe eine Längserstreckung in einem Bereich von ungefähr 0,1 m bis ungefähr 2 m aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,1 m bis ungefähr 1 m. (along the axis of the tubular discharge vessel) in a range of about 0.1 m to about 5 m, e.g. in a range of about 1 m to about 4.5 m, e.g. in a range of about 3 m to about 4.5 m. Alternatively, a tubular gas discharge lamp may have a longitudinal extent in a range of about 0.1 m to about 2 m, e.g. in a range of about 0.1 m to about 1 m.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das According to various embodiments, the
Entladungsgefäß einer Gasentladungslampe einen Durchmesser (z.B. Innendurchmesser), z.B. quer zur Längserstreckung des Entladungsgefäßes, in einem Bereich von ungefähr 0,2 cm bis ungefähr 5,0 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1,0 cm bis ungefähr 3,0 cm, z.B. in einem Bereich von Discharge vessel of a gas discharge lamp have a diameter (eg inner diameter), for example transverse to the longitudinal extent of the discharge vessel, in a range of about 0.2 cm to about 5.0 cm, for example in a range of about 1.0 cm to about 3.0 cm, eg in a range of
ungefähr 1,5 cm bis ungefähr 2,0 cm. about 1.5 cm to about 2.0 cm.
Je größer die Ausdehnung (z.B. Längserstreckung oder The greater the extent (e.g., longitudinal extent or
Durchmesser) einer Gasentladungslampe ist, umso größer kann die von der Gasentladungslampe abgegebene Strahlungsleistung sein, wenn die Gasentladungslampe gezündet wird. Anschaulich kann eine von einer Gasentladungslampe erzeugtes Diameter) of a gas discharge lamp, the larger the radiation output from the gas discharge lamp can be when the gas discharge lamp is ignited. Illustratively, a generated by a gas discharge lamp
Belichtungsprofil (mit anderen Worten eine räumliche Exposure profile (in other words, a spatial
Verteilung der Lichtintensität) gleichmäßiger sein, je länger die Gasentladungslampe ist. Distribution of light intensity) be more uniform, the longer the gas discharge lamp.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die According to various embodiments, the
Gasentladungslampe und der Treiberschaltkreis derart Gas discharge lamp and the driver circuit such
eingerichtet sein, dass beim Zünden der Gasentladungslampe eine Leistung (d.h. eine elektrische Spitzenleistung) von mehr als ungefähr 1 kW umgesetzt wird, z.B. eine Leistung von mehr als ungefähr 100 kW, z.B. eine Leistung von mehr als ungefähr 10 MW, z.B. eine Leistung von mehr als ungefähr 1 GW. In Abhängigkeit des Wirkungsgrades der in that when the gas discharge lamp is ignited, a power (i.e., a peak electrical power) greater than about 1 kW is converted, e.g. a power greater than about 100 kW, e.g. a power greater than about 10 MW, e.g. a power of more than about 1 GW. Depending on the efficiency of
Gasentladungslampe und des Treiberschaltkreises kann beim Zünden der Gasentladungslampe ein Teil der von der  Gas discharge lamp and the driver circuit, when igniting the gas discharge lamp, a part of the
Gasentladungslampe umgesetzten Leistung in eine entsprechende Strahlungsleistung umgewandelt werden, welche von der Gas discharge lamp converted power can be converted into a corresponding radiant power, which of the
Gasentladungslampe mittels Licht emittiert werden kann, z.B. mehr als 20%, mehr als 30% oder mehr als 40%, z.B. ungefähr 45% (wird auch als Lichteffizienz bezeichnet) . Beispielsweise kann von der Gasentladungslampe eine Strahlungsleistung von mehr als ungefähr 0,4 kW abgegeben (emittiert) werden, z.B. eine Strahlungsleistung von mehr als ungefähr 40 kW, z.B. eine Strahlungsleistung von mehr als ungefähr 4 MW, z.B. eine Strahlungsleistung von mehr als ungefähr 0,4 GW. Die Gas discharge lamp can be emitted by means of light, e.g. more than 20%, more than 30% or more than 40%, e.g. about 45% (also called light efficiency). For example, a radiant power greater than about 0.4 kW may be emitted (emitted) from the gas discharge lamp, e.g. a radiant power greater than about 40 kW, e.g. a radiant power greater than about 4 MW, e.g. a radiant power of more than about 0.4 GW. The
Lichteffizienz, bzw. Strahlungsleistung, einer Light efficiency, or radiation power, a
Gasentladungslampe kann sich beispielsweise auf Licht in einem Wellenlängenbereich von ungefähr 200 nm bis ungefähr 1000 nm beziehen oder über diesem gemessen (z.B. summiert) werden. Beispielsweise kann eine Gasentladungslampe ober- und unterhalb dieses Wellenlängenbereichs wenig oder kaum Licht erzeugen, d.h. die restliche elektrische Energie wird in diesem Fall im Wesentlichen vollständig in Wärme umgewandelt. Die elektrische Spitzenleistung kann zu dem Zeitpunkt For example, a gas discharge lamp may refer to or be measured (eg, summed) over light in a wavelength range of about 200 nm to about 1000 nm. For example, a gas discharge lamp upper and generate little or no light below this wavelength range, ie, the remaining electrical energy is substantially completely converted into heat in this case. The peak electrical power can at the time
definiert sein, in dem der elektrische Entladungsstrom durch die Gasentladungslampe hindurch sein Maximum erreicht, d.h. zu dem die Gasentladungslampe ein Maximum an Lichtintensität emittiert . be defined in which the electrical discharge current through the gas discharge lamp reaches its maximum, i. to which the gas discharge lamp emits a maximum of light intensity.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Treiberschaltkreis derart eingerichtet sein, dass der Driver circuit be set up so that the
elektrische Entladungspuls eine maximale Amplitude (mit anderen Worten ein Maximum) der Stromstärke von größer als ungefähr 1 kA aufweist, z.B. von größer als ungefähr 5 kA, z.B. von größer als ungefähr 25 kA. Dazu kann der electric discharge pulse has a maximum amplitude (in other words a maximum) of the current greater than about 1 kA, e.g. greater than about 5 kA, e.g. greater than about 25 kA. This can be the
Treiberschaltkreis einen entsprechend dimensionierten Driver circuit a correspondingly sized
Kondensator aufweisen, welcher einen derartigen elektrischen Entladungspuls bereitstellen kann. Have condenser, which can provide such an electric discharge pulse.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der elektrische Entladungspuls eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 50 ms aufweisen, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr According to various embodiments, the electrical discharge pulse may have a pulse duration of less than about 50 ms, e.g. a pulse duration of less than about
10 ms, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 1 ms, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 0,5 ms, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 250 ys, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 100 ys . Die Pulsdauer kann beispielsweise beschreiben wie lange sich der Kondensator entlädt, mit anderen Worten wie lange der elektrische Strom beim Entladen des Kondensators durch die Gasentladungslampe hindurch fließt. Die Pulsdauer des elektrischen 10 ms, e.g. a pulse duration of less than about 1 ms, e.g. a pulse duration of less than about 0.5 ms, e.g. a pulse duration of less than about 250 ys, e.g. a pulse duration of less than about 100 ys. For example, the pulse duration may describe how long the capacitor discharges, in other words how long the electrical current will flow through the gas discharge lamp when the capacitor is discharged. The pulse duration of the electrical
Entladungspulses kann als zeitliche Differenz zwischen zwei elektrischen Stromstärken des elektrischen Entladungspulses verstanden werden, welche ungefähr 33% der maximalen Discharge pulse can be understood as a time difference between two electric currents of the electric discharge pulse, which is about 33% of the maximum
Stromstärke des elektrischen Entladungspulses betragen kann. Anschaulich kann die Pulsdauer die Breite eines Strompulses beschreiben, welche bei einem Drittel der Höhe des Amperage of the electric discharge pulse can be. Illustratively, the pulse duration can be the width of a current pulse describe which at one third of the height of the
Strompulses gemessen wird. Current pulse is measured.
Das Zünden der Gasentladungslampe kann das kurzzeitige Igniting the gas discharge lamp may be the short-term
Aktivieren der Gasentladungslampe aufweisen zum Erzeugen eines Lichtblitzes (anschaulich ist die Gasentladungslampe dann beispielsweise als eine Blitzlampe eingerichtet) . Dabei kann die Gasentladungslampe für eine vordefinierte Zeitspanne Licht emittieren. Die vordefinierte Zeitspanne kann Activation of the gas discharge lamp have to generate a flash of light (illustratively, the gas discharge lamp is then configured, for example, as a flash lamp). In this case, the gas discharge lamp can emit light for a predefined period of time. The predefined time span can
beispielsweise kürzer als ungefähr 50 ms sein, z.B. kürzer als ungefähr 10 ms, z.B. kürzer als ungefähr 1 ms, z.B. for example, shorter than about 50 ms, e.g. shorter than about 10 ms, e.g. shorter than about 1 ms, e.g.
kürzer als ungefähr 0,5 ms, z.B. kürzer als ungefähr 250 ys . shorter than about 0.5 ms, e.g. shorter than about 250 ys.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der elektrische Zündpuls eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 1 ms According to various embodiments, the electrical firing pulse may have a pulse duration of less than about 1 ms
aufweisen, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr have, e.g. a pulse duration of less than about
200 ys, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 100 ys, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 50 ys, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 20 ys, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 10 ys, z.B. eine Pulsdauer von weniger als ungefähr 5 ys . Beispielsweise kann die Pulsdauer eines Zündpulses in einem Bereich von 1 ys ungefähr bis ungefähr 200 ys liegen. Die Pulsdauer des elektrischen 200 ys, e.g. a pulse duration of less than about 100 ys, e.g. a pulse duration of less than about 50 ys, e.g. a pulse duration of less than about 20 ys, e.g. a pulse duration of less than about 10 ys, e.g. a pulse duration of less than about 5 ys. For example, the pulse duration of a firing pulse may range from about 1 ys to about 200 ys. The pulse duration of the electrical
Zündpulses kann als zeitliche Differenz zwischen zwei Zündpulses can as a time difference between two
elektrischen Spannungswerten des elektrischen Zündpulses verstanden werden, welche ungefähr 33% der maximalen Spannung des elektrischen Zündpulses betragen. Anschaulich kann die Pulsdauer des elektrischen Spannungspulses die Breite eines Spannungspulses beschreiben, welche bei einem Drittel der Höhe des Spannungspulses gemessen wird. electrical voltage values of the electric ignition pulse are understood, which amount to approximately 33% of the maximum voltage of the electric ignition pulse. Clearly, the pulse duration of the electrical voltage pulse can describe the width of a voltage pulse, which is measured at one third of the height of the voltage pulse.
Analog zur Halbwertsbreite kann die Pulsdauer des Analogous to the half width, the pulse duration of the
elektrischen Zündpulses kleiner sein als ein Fünftel der Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ein Zehntel der Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ein Fünfzigstel der Pulsdauer des electric ignition pulse is less than one fifth of the pulse duration of the electric discharge pulse, e.g. less than one tenth of the pulse duration of the electrical discharge pulse, e.g. less than a fiftieth of the pulse duration of the
elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ein Hundertstel der Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses. Mit anderen Worten kann die Pulsdauer des elektrischen electrical discharge pulse, eg less than one One hundredth of the pulse duration of the electrical discharge pulse. In other words, the pulse duration of the electric
Zündpulses gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als ungefähr 20% der Pulsdauer des elektrischen Ignition pulse according to various embodiments less than about 20% of the pulse duration of the electric
Entladungspulses, z.B. kleiner als ungefähr 10% der Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses, z.B. kleiner als ungefähr 5% der Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses, z.B. Discharge pulses, e.g. less than about 10% of the pulse duration of the electrical discharge pulse, e.g. less than about 5% of the pulse duration of the electrical discharge pulse, e.g.
kleiner als ungefähr 2% der Pulsdauer des elektrischen less than about 2% of the pulse duration of the electrical
Entladungspulses, z.B. kleiner als ungefähr 1% der Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses. Discharge pulses, e.g. less than about 1% of the pulse duration of the electrical discharge pulse.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der elektrische Zündpuls als Teil (z.B. als Halbwelle) einer zeitlich According to various embodiments, the electrical firing pulse may be timed as part (e.g., half-wave)
periodischen Spannung mit einer Frequenz von mehr als ungefähr 500 Hz bereitgestellt sein, z.B. mit einer Frequenz von mehr als ungefähr 2.5 kHz, z.B. mit einer Frequenz von mehr als ungefähr 25 kHz, z.B. mit einer Frequenz von mehr als ungefähr 50 kHz, z.B. mit einer Frequenz von mehr als ungefähr 70 kHz, z.B. mit einer Frequenz von mehr als ungefähr 100 kHz. Wird der elektrische Zündpuls als Teil einer zeitlich periodischen Spannung bereitgestellt, kann der elektrische Zündpuls von der ersten Halbwelle der zeitlich periodischen Spannung gebildet werden. Wird der elektrische Zündpuls als Teil einer zeitlich periodischen Spannung bereitgestellt, kann die Pulsdauer des elektrischen periodic voltage having a frequency greater than about 500 Hz, e.g. with a frequency greater than about 2.5 kHz, e.g. with a frequency greater than about 25 kHz, e.g. having a frequency greater than about 50 kHz, e.g. having a frequency greater than about 70 kHz, e.g. with a frequency of more than about 100 kHz. If the electrical ignition pulse is provided as part of a time-periodic voltage, the electrical ignition pulse can be formed by the first half-wave of the time-periodic voltage. If the electrical ignition pulse is provided as part of a time-periodic voltage, the pulse duration of the electrical
Zündpulses ungefähr die halbe Periode der zeitlich Ignition pulse about half the period of time
periodischen Spannung betragen. periodic voltage amount.
Beispielsweise kann mittels einer Halbwelle (z.B. zwischen zwei Nulldurchgängen) eines sinusförmigen Zündsignals mit einer Frequenz von ungefähr 400 Hz ein Zündpuls mit einer Pulsdauer von ungefähr 1 ms bereitgestellt sein oder werden. For example, by means of a half wave (e.g., between two zero crossings) of a sinusoidal firing signal having a frequency of approximately 400 Hz, a firing pulse having a pulse duration of approximately 1 ms may or may not be provided.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: mindestens eine Prozesskammer; eine Blitzlampenanordnung gemäß der Processing arrangement comprising: at least one process chamber; a flash lamp assembly according to the
vorangehenden Beschreibung oder mehrere Blitzlampenanordnungen gemäß der vorangehenden Beschreibung zum Prozessieren eines Substrats innerhalb der Prozesskammer. Im Allgemeinen kann eine Blitzlampenanordnung genutzt werden, um beispielsweise Substrate oder andere Träger einer preceding description or more Flash lamp assemblies as described above for processing a substrate within the process chamber. In general, a flash lamp assembly can be used to, for example, substrates or other carriers of a
Prozessieranordnung zu bestrahlen zum Prozessieren von Irradiate processing device for processing
Substraten oder zum Prozessieren anderer Träger, z.B. so dass diese erwärmt oder strukturell verändert werden können.  Substrates or for processing other supports, e.g. so that they can be heated or structurally changed.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verwenden eines Zündgenerators zum gleichzeitigen Zünden mehrerer According to various embodiments, using one ignition generator to simultaneously fire several
Gasentladungslampen mittels eines elektrischen Zündpulses erfolgen, wobei der Zündpuls eine Halbwertsbreite von kleiner als 1 ms, z.B. kleiner als 200 ys, z.B. kleiner als 100 ys, z.B. kleiner als 50 ys, z.B. kleiner als ungefähr 20 ys, z.B. kleiner als ungefähr 10 ys, z.B. kleiner als ungefähr 5 ys, aufweisen kann. Beispielsweise kann die Halbwertsbreite eines Zündpulses in einem Bereich von 1 ys ungefähr bis ungefähr 200 ys liegen. Dabei kann ein zeitgleiches (synchrones)  Gas discharge lamps by means of an electric ignition pulse, wherein the ignition pulse has a half-width of less than 1 ms, e.g. less than 200 ys, e.g. less than 100 ys, e.g. less than 50 ys, e.g. less than about 20 ys, e.g. less than about 10 ys, e.g. less than about 5 ys. For example, the half-width of a firing pulse may range from about 1 ys to about 200 ys. It can be a simultaneous (synchronous)
Zünden mehrerer Gasentladungslampen derart erfolgen, dass alle zeitgleich gezündeten Gasentladungslampen Lichtblitze erzeugen, deren maximale Lichtintensität gleichzeitig oder zumindest innerhalb eines Zeitfensters mit einer Ignition of several gas discharge lamps take place in such a way that all simultaneously ignited gas discharge lamps generate flashes of light whose maximum light intensity coincides with or at least within a time window
vordefinierten Zeitspanne (der Zünd-Toleranzzeit ) erreicht ist . predefined time interval (the ignition tolerance time) is reached.
Die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses muss The half width of the electric ignition pulse must
allerdings derart groß gewählt sein oder werden, dass dieser eine ausreichende elektrische Verschiebung in der However, be so large or be chosen that this sufficient electrical displacement in the
Gasentladungslampe erzeugen kann (mittels des elektrischen Feldes) , so dass eine Gasentladung ausgelöst wird. Die notwendige Halbwertsbreite kann von der Bauart und der Gas discharge lamp can generate (by means of the electric field), so that a gas discharge is triggered. The necessary Halbwertsbreite can of the type and the
Bauform der Gasentladungslampe abhängen. Beispielsweise kann ein elektrischer Zündpuls mit einer Halbwertsbreite in einem Bereich von ungefähr 0,1 ys bis ungefähr 1 ms eine Suspend the design of the gas discharge lamp. For example, an electric ignition pulse having a half-width may range from about 0.1 ys to about 1 ms
ausreichende elektrische Verschiebung in einer langen sufficient electrical displacement in a long
Gasentladungslampe (z.B. länger als 100 mm) erzeugen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein gleichzeitiges Zünden mehrerer Gasentladungslampen das Zünden der mehrerer Gasentladungslampen innerhalb einer Zünd-Toleranzzeit Generate gas discharge lamp (eg longer than 100 mm). According to various embodiments, simultaneously firing a plurality of gas discharge lamps may ignite the plurality of gas discharge lamps within a firing tolerance time
aufweisen, wobei der elektrische Entladungspuls jeder , wherein the electrical discharge pulse each
Gasentladungslampe sein Strommaximum innerhalb eines Gas discharge lamp be maximum current within a
Zeitfensters mit einer vordefinierten Zeitspanne (der Zünd- Toleranzzeit) erreicht. Die Zünd-Toleranzzeit kann die maximale zeitliche Abweichung des Zündpunktes der mehreren Gasentladungslampen voneinander beschreiben. Mit anderen Worten kann die Zünd-Toleranzzeit die maximale zeitliche Time window with a predefined period of time (the ignition tolerance time) reached. The ignition tolerance time may describe the maximum time deviation of the ignition point of the plurality of gas discharge lamps from each other. In other words, the ignition tolerance time can be the maximum temporal
Zündverzögerung der mehreren Gasentladungslampen voneinander beschreiben . Describe the ignition delay of the multiple gas discharge lamps from each other.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zünd- Toleranzzeit ungefähr 2% der maximalen Pulsdauer des According to various embodiments, the ignition tolerance time may be about 2% of the maximum pulse duration of the
Entladungspulses entsprechen. Beispielsweise kann die Zünd- Toleranzzeit eine Zeitdauer von weniger als ungefähr 1 ms aufweisen, z.B. von weniger als ungefähr 200 ys, z.B. von weniger als ungefähr 20 ys, z.B. von weniger als 10 ys, z.B. von weniger als ungefähr 5 ys .  Discharge pulse correspond. For example, the ignition tolerance time may have a duration of less than about 1 ms, e.g. less than about 200 ys, e.g. less than about 20 ys, e.g. less than 10 ys, e.g. less than about 5 ys.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Zünden einer Gasentladungslampe Folgendes aufweisen: According to various embodiments, a method of igniting a gas discharge lamp may include:
Einrichten eines Treiberschaltkreises zum Betreiben einer Gasentladungslampe derart, dass ein durch die Setting up a driver circuit for operating a gas discharge lamp such that a through the
Gasentladungslampe hindurch entladener elektrischer  Gas discharge lamp through discharged electrical
Entladungspuls eine (vordefinierte) erste Halbwertsbreite aufweist; Anlegen einer Spannung an die Gasentladungslampe mittels des Treiberschaltkreises. Beispielsweise kann die SelbstZündungsspannung größer sein als die an die Lampe Discharge pulse has a (predefined) first half-width; Applying a voltage to the gas discharge lamp by means of the driver circuit. For example, the self-ignition voltage may be greater than that of the lamp
(Gasentladungslampe) angelegte Spannung. Erzeugen eines elektrischen Zündpulses zum Zünden der Gasentladungslampe, wobei der elektrische Zündpuls mit einer zweiten (Gas discharge lamp) applied voltage. Generating an electric ignition pulse for igniting the gas discharge lamp, wherein the electric ignition pulse with a second
Halbwertsbreite kleiner als ein Fünftel, z.B. kleiner als ein Zehntel, z.B. kleiner als ein Fünfzigstel, z.B. kleiner als ein Hundertstel, der ersten Halbwertsbreite erzeugt wird. Einkoppeln des elektrischen Zündpulses in die Gasentladungslampe, so dass die Gasentladungslampe gezündet wird und der elektrische Entladungspuls durch die Half width less than one fifth, eg less than one tenth, eg less than one fiftieth, eg less than one hundredth, the first half width is generated. Coupling of the electric ignition pulse in the Gas discharge lamp, so that the gas discharge lamp is ignited and the electric discharge pulse through the
Gasentladungslampe entladen wird. Als SelbstZündungsspannung kann die an die Lampe angelegte elektrische Spannung verstanden werden, bei welcher die Gas discharge lamp is discharged. As self-ignition voltage, the voltage applied to the lamp electrical voltage can be understood, in which the
Gasentladungslampe von selbst, d.h. selbstständig, zündet. Liegt eine elektrische Spannung größer als die Gas discharge lamp by itself, i. independently, ignites. Is an electrical voltage greater than that
SelbstZündungsspannung an der Gasentladungslampe an, kann diese unkontrolliert selbstständig, d.h. zeitlich unpräzise, zünden, d.h. schwer vorauszusagen. Self-ignition voltage on the gas discharge lamp, this can uncontrolled independently, i. imprecise in time, ignite, i. hard to predict.
Eine Blitzlampenanordnung kann beispielsweise eine oder mehrere Lichtquellen (z.B. eine oder mehrere For example, a flash lamp assembly may include one or more light sources (e.g., one or more light sources)
Gasentladungslampen oder eine oder mehrere Blitzlampen) zum Erzeugen von Licht mit einer Lichtverteilung (z.B. mit einer Verteilung der Lichtintensität oder mit einem räumlichen Lichtfeld) aufweisen. Beispielsweise kann mittels der Gas discharge lamps or one or more flash lamps) for generating light having a light distribution (e.g., a distribution of light intensity or a spatial light field). For example, by means of
Blitzlampenanordnung Licht mit einer Lichtverteilung in Flash lamp arrangement light with a light distribution in
Richtung eines Belichtungsbereichs zum Belichten eines Direction of an exposure area for exposing a
Substrats emittiert werden. Substrate are emitted.
Das von einer Gasentladungslampe erzeugte Licht, kann The light generated by a gas discharge lamp can
beispielsweise ultraviolettes (UV) Licht, sichtbares Licht und/oder infrarotes (IR) Licht aufweisen. Ferner kann die Wellenlänge des Lichts oder das Wellenlängenspektrum des Lichts in einem im UV-Bereich, im sichtbaren Bereich und/oder im IR-Bereich liegen. Beispielsweise kann die For example, ultraviolet (UV) light, visible light and / or infrared (IR) light have. Furthermore, the wavelength of the light or the wavelength spectrum of the light can be in the UV range, in the visible range and / or in the IR range. For example, the
Gasentladungslampe vordergründig Licht in einem Gas discharge lamp superficially light in one
Wellenlängenbereich von 200 nm bis 1000 nm erzeugen. Wavelength range of 200 nm to 1000 nm generate.
Ein Belichtungsbereich kann von einem Bereich definiert sein, in dem das Belichten eines Substrats erfolgt. Beispielsweise kann das Belichten eines Substrats in einem An exposure region may be defined by a region in which exposure of a substrate occurs. For example, exposing a substrate in one
Belichtungsbereich derart erfolgen, dass das Substrat mit einer Lichtintensität größer als eine vordefinierte Exposure range such that the substrate with a light intensity greater than a predefined
Lichtintensität belichtet (bestrahlt) wird. Die vordefinierte Lichtintensität kann anschaulich die Lichtintensität Light intensity is exposed (irradiated). The predefined Light intensity can vividly the light intensity
beschreiben, mit der das Substrat belichtet werden muss, um eine gewünschte Wirkung (z.B. ein Erwärmen und/oder ein strukturelles Verändern) zu erreichen. describe with which the substrate must be exposed in order to achieve a desired effect (e.g., heating and / or structural alteration).
Beispielsweise kann das Belichten eines Substrats in einem Belichtungsbereich derart erfolgen, dass das Substrat mit einer Energiedichte größer als eine vordefinierte For example, exposing a substrate in an exposure region may be performed such that the substrate has an energy density greater than a predefined one
Energiedichte bestrahlt wird. Die vordefinierte Energiedichte (z.B. auf der Substratoberfläche) kann beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 0,1 J/cm2 bis ungefähr 100 J/cm2 liegen, z.B. kann die vordefinierte Energiedichte größer sein als 0,1 J/cm2, z.B. größer als 1 J/cm2 oder größer Energy density is irradiated. For example, the predefined energy density (eg, on the substrate surface) may range from about 0.1 J / cm 2 to about 100 J / cm 2 , eg, the predefined energy density may be greater than 0.1 J / cm 2 , eg, greater as 1 J / cm 2 or greater
als 10 J/cm2. as 10 J / cm 2 .
Beispielsweise kann bei kurzen Pulsdauern des For example, with short pulse durations of
Entladungspulses (z.B. kürzer als ungefähr 300 ys) je nach Anwendung eine Dosis (Energiedichte) in einem Bereich von ungefähr 0.1 J/cm2 bis ungefähr 10 J/cm2 bereitgestellt sein oder werden. Wird die Pulsdauer des Entladungspulses ungefähr verzehnfacht (z.B. auf ungefähr 3 ms) ist ungefähr mit einer Verdopplung der notwendigen Dosis zu rechnen (z.B. damit eine äquivalente Wirkung, z.B. eine Erwärmung eines bestrahlten Substrat erreicht werden kann) . Bei einer Pulsdauer des Entladungspulses von ungefähr 30 ms kann beispielsweise eine Energiedichte von mindestens 40 J/cm2 erforderlich sein, damit eine äquivalente Wirkung, z.B. eine Erwärmung eines bestrahlten Substrat, erreicht werden kann. Analog kann bei Pulsdauern mit bis zu 50 ms eine ausreichende Wirkung der emittierten Strahlung (z.B. Licht) erreicht werden. Depending on the application, a dose (energy density) in a range from about 0.1 J / cm 2 to about 10 J / cm 2 may be or may be provided for discharge pulses (eg, shorter than about 300 ys). If the pulse duration of the discharge pulse is increased approximately tenfold (eg to approximately 3 ms), a doubling of the necessary dose is to be expected (for example, so that an equivalent effect, eg heating of an irradiated substrate can be achieved). With a pulse duration of the discharge pulse of approximately 30 ms, for example, an energy density of at least 40 J / cm 2 may be required so that an equivalent effect, for example a heating of an irradiated substrate, can be achieved. Similarly, with pulse durations of up to 50 ms, a sufficient effect of the emitted radiation (eg light) can be achieved.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Es zeigen Figur 1A bis Figur 1D jeweils eine Blitzlampenanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below. Show it 1A to 1D each show a flash lamp assembly according to various embodiments in one
schematischen Seitenansicht oder schematischen Querschnittsansicht ;  schematic side view or schematic cross-sectional view;
Figur 2A und Figur 2B jeweils eine Blitzlampenanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer 2A and 2B each show a flash lamp assembly according to various embodiments in one
schematischen Seitenansicht oder schematischen Querschnittsansicht ;  schematic side view or schematic cross-sectional view;
Figur 3A und Figur 3B jeweils einen elektrischen Figure 3A and Figure 3B each have an electrical
Entladungspuls und einen elektrischen Zündpuls gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem  Discharge pulse and an electric ignition pulse according to various embodiments in one
schematischen Strom-Zeit-Diagramm bzw. Spannungs- Zeit-Diagramm;  schematic current-time diagram or voltage-time diagram;
Figur 4 eine Blitzlampenanordnung gemäß verschiedenen Figure 4 shows a flash lamp assembly according to various
Ausführungsformen in einer schematischen  Embodiments in a schematic
Seitenansicht oder schematischen Querschnittsansicht; und  Side view or schematic cross-sectional view; and
Figur 5A und Figur 5B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer 5A and 5B each show a processing arrangement according to various embodiments in one
schematischen Seitenansicht oder schematischen Querschnittsansicht ;  schematic side view or schematic cross-sectional view;
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is specifically shown by way of illustration
Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Embodiments are shown in which the invention can be practiced. In this regard will
Richtungsterminologie wie etwa „oben", „unten", „vorne", „hinten", „vorderes", „hinteres", usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur (en) verwendet. Da Directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. used with reference to the orientation of the described figure (s). There
Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl Components of embodiments in number
verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der different orientations can be positioned, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be construed in a limiting sense, and the
Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert. Scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe In the context of this description, the terms
"verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist. "connected", "connected" and "coupled" used to describe both a direct and indirect connection, a direct or indirect connection and a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Fig.lA veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen FIG. 1A illustrates a flash lamp assembly 100a according to various embodiments in a schematic
Ansicht . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine View . According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung 100a eine Gasentladungslampe 102 aufweisen oder daraus gebildet sein. Die Gasentladungslampe 102 kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen als Blitzlampe 102 eingerichtet sein und/oder betrieben werden. Anschaulich kann die als Blitzlampe 102 eingerichtete Gasentladungslampe 102 derart betrieben werden, dass ein Lichtblitz mittels der Gasentladungslampe 102 erzeugt werden kann, so dass ein  Flash lamp assembly 100a include a gas discharge lamp 102 or be formed therefrom. The gas discharge lamp 102 may be configured and / or operated as a flashlamp 102 according to various embodiments. Illustratively, the gas discharge lamp 102 configured as a flash lamp 102 can be operated such that a flash of light can be generated by means of the gas discharge lamp 102, so that a
Stromfluss (Entladungsstrom) zwischen Anode und Kathode fließen kann. Current flow (discharge current) between the anode and cathode can flow.
Die Gasentladungslampe 102 kann ein transparentes The gas discharge lamp 102 may be a transparent one
Entladungsrohr (ein rohrförmiges Entladungsgefäß) aufweisen (z.B. aus Quarzglas), wobei das transparente Entladungsrohr eine Anode und eine Kathode aufweist und derart eingerichtet ist (z.B. mit Gas gefüllt ist), dass innerhalb des Discharge tube (a tubular discharge vessel) have (For example, made of quartz glass), wherein the transparent discharge tube has an anode and a cathode and is set up (eg filled with gas) that within the
Entladungsrohrs eine Gasentladung gezündet werden kann. Discharge tube a gas discharge can be ignited.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Entladungsrohr einer Gasentladungslampe 102 rohrförmig sein, z.B. According to various embodiments, the discharge tube of a gas discharge lamp 102 may be tubular, e.g.
zylindrisch rohrförmig, z.B. mit einem kreisrunden cylindrical tubular, e.g. with a circular
Querschnitt . Cross-section .
Damit ein Lichtblitz mittels der Gasentladungslampe 102 erzeugt werden kann, kann die Gasentladungslampe 102 mit einem Treiberschaltkreis 104 elektrisch gekoppelt (bzw. In order for a flash of light to be generated by means of the gas discharge lamp 102, the gas discharge lamp 102 can be electrically coupled to a driver circuit 104.
elektrisch leitfähig verbunden) sein. Zum Koppeln des electrically connected). For coupling the
Treiberschaltkreises 104 mit der Gasentladungslampe 102 kann die Gasentladungslampe 102 zwei Anschlüsse aufweisen, wobei jeweils einer der zwei Anschlüsse mit der Kathode der Driver circuit 104 with the gas discharge lamp 102, the gas discharge lamp 102 may have two terminals, each one of the two terminals connected to the cathode of the
Gasentladungslampe 102 und der andere der zwei Anschlüsse mit der Anode der Gasentladungslampe 102 gekoppelt ist. Die Gas discharge lamp 102 and the other of the two terminals is coupled to the anode of the gas discharge lamp 102. The
Kathode und die Anode können durch das Entladungsgefäß hindurch mit dem jeweiligen Anschluss gekoppelt sein. The cathode and the anode may be coupled to the respective terminal through the discharge vessel.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die According to various embodiments, the
Gasentladungslampe einen Abstand zwischen Kathode und Anode von mehr als 1 m aufweisen, z.B. einen Abstand von mehr als ungefähr 2 m, z.B. einen Abstand in einem Bereich von Gas discharge lamp have a distance between the cathode and anode of more than 1 m, e.g. a distance of more than about 2 m, e.g. a distance in a range of
ungefähr 3 m bis ungefähr 5 m. about 3 m to about 5 m.
Der Treiberschaltkreis 104 kann mittels eines elektrisch leitfähigen Kabels 112 oder einer elektrischen Zuleitung 112 mit den Anschlüssen der Gasentladungslampe 102, mit anderen Worten mit der Kathode und der Anode, elektrisch gekoppelt sein . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der The driver circuit 104 may be electrically coupled by means of an electrically conductive cable 112 or an electrical lead 112 to the terminals of the gas discharge lamp 102, in other words to the cathode and the anode. According to various embodiments, the
Treiberschaltkreis 104 derart eingerichtet sein, dass mittels des Treiberschaltkreises 104 eine Spannung (Betriebsspannung) zwischen der Kathode und der Anode der Gasentladungslampe 102 bereitgestellt werden kann. Die mittels des Driver circuit 104 may be configured such that by means of the driver circuit 104, a voltage (operating voltage) between the cathode and the anode of the gas discharge lamp 102 can be provided. The means of the
Treiberschaltkreises 104 bereitgestellte Spannung kann anschaulich zwischen der Kathode und der Anode der Driver circuit 104 provided can graphically between the cathode and the anode of the
Gasentladungslampe 102 anliegen. Die mittels des Gas discharge lamp 102 abut. The means of the
Treiberschaltkreises 104 bereitgestellte Spannung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als eine  Driver circuit 104 provided voltage may be smaller than one according to various embodiments
SelbstZündungsspannung (Durchschlagspannung) der Autoignition voltage (breakdown voltage) of the
Gasentladungslampe 102. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass ein Selbstzünden der Gasentladungslampe 102 vermieden werden kann. Gas discharge lamp 102. This can be achieved, for example, that a self-ignition of the gas discharge lamp 102 can be avoided.
Die SelbstZündungsspannung einer Gasentladungslampe 102 kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als The autoignition voltage of a gas discharge lamp 102 may be smaller than various embodiments
±50 kV, z.B. keiner als ±25 kV, z.B. keiner als ±20 kV, z.B. keiner als ±15 kV. ± 50 kV, e.g. none as ± 25 kV, e.g. none as ± 20 kV, e.g. none as ± 15 kV.
Anschaulich wurde erkannt, dass bei einer herkömmlichen Clearly it was recognized that in a conventional
Gasentladungslampe 102 die Neigung zum Selbstzünden derart groß sein kann, dass ein sicheres und zuverlässiges Zünden der Gasentladungslampe 102 erschwert ist. Beim Selbstzünden kann spontan ein Plasmafaden innerhalb der Gasentladungslampe 102 entstehen, welcher einen unkontrollierten elektrischen Entladungspuls auslösen kann. Je kleiner die Differenz der Betriebsspannung zur SelbstZündungsspannung ist, umso größer kann eine Wahrscheinlichkeit sein, dass spontan ein Gas discharge lamp 102, the tendency to auto-ignition can be so large that a reliable and reliable ignition of the gas discharge lamp 102 is difficult. During autoignition, a plasma thread can spontaneously arise within the gas discharge lamp 102, which can trigger an uncontrolled electrical discharge pulse. The smaller the difference of the operating voltage to the self-ignition voltage, the greater a probability can be that spontaneously
Plasmafaden gebildet wird. Zum sicheren und zuverlässigen Zünden der Gasentladungslampe 102 kann die Betriebsspannung daher unterhalb der SelbstZündungsspannung der Blitzlampe liegen. Plasma thread is formed. For safe and reliable ignition of the gas discharge lamp 102, the operating voltage may therefore be below the self-ignition voltage of the flash lamp.
Zum Auslösen eines kontrollierten elektrischen To trigger a controlled electrical
Entladungspulses kann in die Gasentladungslampe 102 ein elektrischer Zündpuls derart eingekoppelt werden, dass innerhalb der Gasentladungslampe 102 ein Plasmafaden gebildet werden kann, der einen elektrischen Entladungspuls auslöst. Damit kann anschaulich erreicht werden, dass der Zündzeitpunkt der Gasentladungslampe 102 zeitlich (präzise) kontrolliert werden kann. Discharge pulse can be coupled into the gas discharge lamp 102, an electric ignition pulse such that within the gas discharge lamp 102, a plasma thread can be formed, which triggers an electric discharge pulse. This can clearly be achieved that the Ignition timing of the gas discharge lamp 102 can be controlled in time (precise).
Zum Erzeugen des elektrischen Zündpulses kann die To generate the electric ignition pulse, the
Blitzlampenanordnung 100a einen Zündschaltkreis 106 Flash lamp assembly 100a an ignition circuit 106th
aufweisen. Der Zündschaltkreis 106 kann derart eingerichtet sein, dass dieser den elektrischen Zündpuls als Teil einer zeitlich veränderlichen elektrischen Stromstärke und/oder als Teil einer zeitlich veränderlichen elektrischen Spannung erzeugen kann. Beispielsweise kann der Zündschaltkreis 106 derart eingerichtet sein, dass dieser den elektrischen exhibit. The ignition circuit 106 may be configured such that it can generate the electrical ignition pulse as part of a time-varying electrical current and / or as part of a time-varying electrical voltage. For example, the ignition circuit 106 may be configured such that it has the electrical
Zündpuls als Teil eines Strompulses und/oder als Teil eines Spannungspulses erzeugen kann. Wird der elektrische Zündpuls in die Gasentladungslampe 102 eingekoppelt, kann dieser ein Ionisieren des Leuchtmittels in der Gasentladungslampe 102 anregen, wobei das ionisierte Leuchtmittel einen Plasmafaden bilden kann. Der innerhalb der Gasentladungslampe 102 erzeugte Plasmafaden kann die Impedanz der Gasentladungslampe 102 derart absenken, dass die an der Gasentladungslampe 102 anliegende Ignition pulse can generate as part of a current pulse and / or as part of a voltage pulse. If the electric ignition pulse is coupled into the gas discharge lamp 102, this can excite ionization of the luminous means in the gas discharge lamp 102, wherein the ionized luminous means can form a plasma thread. The plasma thread generated within the gas discharge lamp 102 may lower the impedance of the gas discharge lamp 102 such that the voltage applied to the gas discharge lamp 102
Betriebsspannung zu einem elektrischen Entladungsstrom (mit anderen Worten zu einem elektrischen Entladungspuls) in der Gasentladungslampe 102 führt. Operating voltage to an electric discharge current (in other words, to an electric discharge pulse) in the gas discharge lamp 102 leads.
Zum anschaulich möglichst effizienten Einkoppeln 106k des elektrischen Zündpulses in Gasentladungslampe 102 kann die Blitzlampenanordnung 100a eine Zündelektrode 110 aufweisen, wie in Fig. IC und Fig.lD dargestellt ist. For the most efficient possible coupling 106k of the electrical ignition pulse in the gas discharge lamp 102, the flash lamp arrangement 100a can have an ignition electrode 110, as shown in FIG. 1C and FIG.
Fig.lB veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung 100b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen FIG. 1B illustrates a flash lamp assembly 100b according to various embodiments in a schematic
Ansicht . View .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine According to various embodiments, a
Blitzlampenanordnung 100b ein Hüllenrohr 108 (eine so genannte Flowtube) aufweisen, wobei die Gasentladungslampe 102 innerhalb des Hüllenrohrs 108 angeordnet sein kann. Das Hüllenrohr 108 kann derart eingerichtet sein, z.B. Flash lamp assembly 100b a sheath tube 108 (a so Flowtube), wherein the gas discharge lamp 102 may be disposed within the shell tube 108. The sheath tube 108 may be configured such
wasserdicht ausgebildet sein, dass die Gasentladungslampe 102 mit einer in das Hüllenrohr 108 eingebrachten Kühlflüssigkeit 108k gekühlt werden kann. Zum Versorgen des Hüllenrohrs 108 mit der Kühlflüssigkeit 108k kann das Hüllenrohr 108 be formed watertight, that the gas discharge lamp 102 can be cooled with an introduced into the sheath tube 108 cooling liquid 108k. To supply the sheath tube 108 with the cooling liquid 108k, the sheath tube 108
wasserdicht mit einer Rohrleitung verbunden sein, welche dem Hüllenrohr 108 die Kühlflüssigkeit 108k zuführen kann be watertight connected to a pipe which can supply the sheath tube 108, the cooling liquid 108k
und/oder dem aus dem Hüllenrohr 108 die Kühlflüssigkeit 108k abführen kann, wobei die Gasentladungslampe 102 innerhalb des Hüllenrohr 108 von der Kühlflüssigkeit 108k umströmt und/oder bespült wird. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das and / or the cooling liquid 108k can be discharged from the casing tube 108, wherein the gas discharge lamp 102 flows around and / or is flushed by the cooling liquid 108k within the casing tube 108. According to various embodiments, the
Gasentladungsrohr der Gasentladungslampe 102 koaxial zum Hüllenrohr 108 angeordnet sein, so dass zwischen dem  Gas discharge tube of the gas discharge lamp 102 may be arranged coaxially with the sheath tube 108, so that between the
Gasentladungsrohr und dem Hüllenrohr 108 ein gleichmäßiger Abstand verbleiben kann, z.B. ein ringförmiger Spalt, durch den die Kühlflüssigkeit 108k hindurch geleitet werden kann. Gas discharge tube and the sheath tube 108 may remain a uniform distance, e.g. an annular gap through which the cooling fluid 108k can be passed.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Hüllenrohr 108 ein transparentes Material, z.B. Quarzglas, aufweisen oder aus Quarzglas bestehen. According to various embodiments, the sheath tube 108 may comprise a transparent material, e.g. Quartz glass, or consist of quartz glass.
Fig. IC veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung 100c gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen FIG. 1C illustrates a flash lamp assembly 100c according to various embodiments in a schematic
Ansicht . Die Zündelektrode 110 zum Einkoppeln 106k des elektrischen Zündpulses in Gasentladungslampe 102 kann beispielsweise außerhalb des Hüllenrohrs 108 und außerhalb der View . The ignition electrode 110 for coupling 106 k of the electric ignition pulse in gas discharge lamp 102, for example, outside of the sheath tube 108 and outside of the
Gasentladungslampe 102 angeordnet sein. Damit kann Gas discharge lamp 102 may be arranged. So that can
beispielsweise darauf verzichtet werden, die Zündelektrode 110 korrosionsfest einzurichten. Ferner kann die Zündelektrode 110 entlang der For example, be waived to set the ignition electrode 110 corrosion resistant. Furthermore, the ignition electrode 110 can along the
Längserstreckung der Gasentladungslampe 102 erstreckt sein. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass ein Longitudinal extent of the gas discharge lamp 102 may be extended. This can be achieved, for example, that a
länglicher Plasmafaden innerhalb der Gasentladungslampe 102 erzeugt werden kann, welcher die Kathode mit der Anode verbinden kann. Je länger der Plasmafaden ist, umso stärker kann die Impedanz der Gasentladungslampe 102 abgesenkt sein oder werden. Beispielsweise kann mittels eines längeren elongated plasma thread can be generated within the gas discharge lamp 102, which can connect the cathode to the anode. The longer the plasma arc is, the more the impedance of the gas discharge lamp 102 may be lowered. For example, by means of a longer
Plasmafadens ein Zünden 106k der Gasentladungslampe 102 zuverlässiger erfolgen. Plasma flame ignition 106k of the gas discharge lamp 102 made more reliable.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zündelektrode 110 Teil eines Zünddrahts 110 sein, welcher außerhalb des Hüllenrohrs 108 und außerhalb der Gasentladungslampe 102 erstreckt sein kann. Beispielsweise kann der Zünddraht 110 an dem Hüllenrohr 108 befestigt sein. According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be part of an ignition wire 110 which may be extended outside the cladding tube 108 and outside of the gas discharge lamp 102. For example, the ignition wire 110 may be attached to the sheath tube 108.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zündelektrode 110 Teil eines Reflektors 110 sein, welcher außerhalb des Hüllenrohrs 108 und außerhalb der Gasentladungslampe 102 angeordnet sein kann. Der Reflektor 110 kann anschaulich als lichtreflektierender Spiegel 110 eingerichtet sein. Mit anderen Worten kann der Reflektor 110 einfallendes Licht in eine Richtung weg von dem Reflektor 110 reflektieren. According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be part of a reflector 110, which may be disposed outside of the shell tube 108 and outside of the gas discharge lamp 102. The reflector 110 may illustratively be configured as a light-reflecting mirror 110. In other words, the reflector 110 may reflect incident light in a direction away from the reflector 110.
Beispielsweise kann der Reflektor 110 derart eingerichtet sein, dass dieser einen Großteil des von der For example, the reflector 110 may be configured such that it occupies a majority of the
Gasentladungslampe 102 erzeugten Lichts reflektiert. Gas discharge lamp 102 generated light reflected.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Reflektor 110 beispielsweise als lichtreflektierende Schicht (mit anderen Worten als lichtreflektierende Beschichtung) auf dem According to various embodiments, the reflector 110 may, for example, as a light-reflecting layer (in other words, as a light-reflecting coating) on the
Hüllenrohr 108 angeordnet, z.B. befestigt, sein. Damit kann erreicht werden dass der Reflektor 110 anschaulich Sheath tube 108, e.g. be attached. This can be achieved that the reflector 110 clearly
platzsparend eingerichtet ist. is space-saving.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Reflektor 110 beispielsweise ein Blech, z.B. ein gekrümmtes und/oder gewinkeltes Blech, aufweisen oder daraus gebildet sein. Damit kann erreicht werden dass der Reflektor 110 anschaulich stabil (z.B. selbsttragend) eingerichtet ist. Fig.lD veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung lOOd gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen According to various embodiments, the reflector 110, for example, a sheet, such as a curved and / or Angled sheet metal, have or be formed from it. This can be achieved that the reflector 110 is set up vividly stable (eg self-supporting). FIG. 1D illustrates a flash lamp arrangement 100d according to various embodiments in a schematic
Ansicht . View .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zündelektrode 110 zum Einkoppeln 106k des elektrischen Zündpulses in eine Gasentladungslampe 102 zwischen dem Hüllenrohr 108 und der Gasentladungslampe 102 angeordnet sein. Damit kann According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be arranged to couple 106 k of the electrical firing pulse into a gas discharge lamp 102 between the shell tube 108 and the gas discharge lamp 102. So that can
beispielsweise erreicht werden, dass die Zündelektrode 110 in einem möglichst geringen Abstand zu der Gasentladungslampe 102 angeordnet sein kann, so dass das Wirken des mittels der Zündelektrode 110 erzeugten elektrischen Feldes (beim For example, be achieved that the ignition electrode 110 may be arranged in the smallest possible distance from the gas discharge lamp 102, so that the action of the electric field generated by the ignition electrode 110 (at
Übertragen des Zündpulses auf die Zündelektrode 110) auf das in der Gasentladungslampe 102 eingeschlossene Leuchtmittel möglichst groß sein kann. Somit kann ein anschaulich ein möglichst effektives Einkoppeln 106k des Zündpulses in die Gasentladungslampe 102 erreicht werden. Transmission of the ignition pulse to the ignition electrode 110) may be as large as possible to the enclosed in the gas discharge lamp 102 bulbs. Thus, an as effective as possible coupling 106k of the ignition pulse into the gas discharge lamp 102 can be achieved.
Ferner kann die Zündelektrode 110 analog zum vorangehend Beschriebenen entlang der Längserstreckung der Furthermore, the ignition electrode 110 can analogously to the previously described along the longitudinal extent of
Gasentladungslampe 102 erstreckt sein. Gas discharge lamp 102 extends.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zündelektrode 110 als Zünddraht 110 ausgebildet sein, welcher zwischen dem Hüllenrohr 108 und der Gasentladungslampe 102 verlaufen kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zündelektrode 110 als Reflektor 110 ausgebildet sein, welcher zwischen dem Hüllenrohr 108 und der Gasentladungslampe 102 angeordnet sein kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be formed as an ignition wire 110, which may extend between the cladding tube 108 and the gas discharge lamp 102. According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be formed as a reflector 110, which may be disposed between the cladding tube 108 and the gas discharge lamp 102. According to various embodiments, the
Reflektor 110 beispielsweise eine in dem Hüllenrohr 108 angeordnete lichtreflektierende Schicht (mit anderen Worten lichtreflektierende Beschichtung) oder ein eine in dem Reflector 110, for example, a light-reflecting layer (in other words, light-reflecting coating) disposed in the cladding tube 108 or one in the
Hüllenrohr 108 angeordnetes Blech aufweisen. Fig.2A veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung lOOe gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Casing tube 108 arranged sheet metal. FIG. 2A illustrates a flash lamp arrangement 100e according to various embodiments in a schematic
Ansicht . View .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Treiberschaltkreis 104 eine Spannungsquelle 204u zum Driver circuit 104, a voltage source 204u to
Bereitstellen einer elektrischen Spannung, eines elektrischen Stroms (z.B. eines elektrischen Ladestroms) und/oder einer elektrischen Leistung aufweisen. Providing an electrical voltage, an electrical current (e.g., an electrical charging current) and / or an electrical power.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Treiberschaltkreis 104 einen Kondensator 204c aufweisen, welcher mit der Spannungsquelle 204u elektrisch gekoppelt sein kann, so dass der Kondensator 204c mittels der Driver circuit 104 may include a capacitor 204c, which may be electrically coupled to the voltage source 204u, so that the capacitor 204c by means of
Spannungsquelle 204u geladen werden kann. Beim Laden des Kondensator 204c kann dem Kondensator 204c mittels der  Voltage source 204u can be loaded. When charging the capacitor 204c, the capacitor 204c may be replaced by the capacitor 204c
Spannungsquelle 204u ein Ladestrom zugeführt werden, wobei der Kondensator 204c elektrische Energie speichert. Ist der Kondensator 204c geladen kann dieser eine Betriebsspannung bereitstellen. Anschaulich kann der Kondensator 204c als Energiespeicher wirken, welcher eine notwendige Energie zum Erzeugen eines Lichtblitzes speichern und bereitstellen kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Voltage source 204u are supplied with a charging current, wherein the capacitor 204c stores electrical energy. When the capacitor 204c is charged, it can provide an operating voltage. Clearly, the capacitor 204c may act as an energy storage, which can store and provide a necessary energy for generating a flash of light. According to various embodiments, the
Spannungsquelle 204u derart eingerichtet sein, dass diese eine Spannung größer als die Betriebsspannung der  Voltage source 204u be configured such that it has a voltage greater than the operating voltage of the
Gasentladungslampe 102 bereitstellen kann. Mittels der Spannungsquelle 204u kann beispielsweise eine Spannung größer als die Betriebsspannung der Can provide gas discharge lamp 102. By means of the voltage source 204u, for example, a voltage greater than the operating voltage of the
Gasentladungslampe 102 bereitgestellt werden. Anschaulich kann damit der Kondensator 204c möglichst schnell geladen werden . Gas discharge lamp 102 are provided. Clearly, the capacitor 204c can be charged as quickly as possible.
Je schneller der Kondensator 204c geladen werden kann, umso schneller kann dieser die Betriebsspannung an der Gasentladungslampe bereitstellen, so dass ein Entladen des Kondensators 204c in kürzeren Abständen und somit häufiger erfolgen kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die The faster the capacitor 204c can be charged, the faster it can supply the operating voltage at the Provide gas discharge lamp, so that a discharge of the capacitor 204 c can be done at shorter intervals and thus more often. According to various embodiments, the
Spannungsquelle 204u eine elektrische Leistung und/oder elektrische Spannung derart bereitstellen, dass der  Voltage source 204u provide an electrical power and / or electrical voltage such that the
Kondensator 204c mit einer Häufigkeit größer als eine Capacitor 204c with a frequency greater than one
vordefinierte Häufigkeit (z.B. mehrmals pro Sekunde) predefined frequency (e.g., several times per second)
vollständig geladen werden kann. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass die Gasentladungslampe 102 anschaulich möglichst häufig gezündet werden kann, wobei bei jedem Zünden 106k der Gasentladungslampe 102 die in dem Kondensator 204c gespeicherte Energie mittels der Gasentladungslampe 102 zumindest teilweise in Strahlungsenergie umgewandelt werden kann . can be fully charged. This can be achieved, for example, that the gas discharge lamp 102 can be ignited as often as possible, with each ignited 106k of the gas discharge lamp 102, the energy stored in the capacitor 204c by means of the gas discharge lamp 102 can be at least partially converted into radiation energy.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Treiberschaltkreis 104 eine elektromagnetische Spule 2041 (Drosselspule 2041) aufweisen, welche eine Impedanz aufweisen kann. Die Impedanz der Drosselspule 2041 kann die Driver circuit 104, an electromagnetic coil 2041 (inductor 2041), which may have an impedance. The impedance of the choke coil 2041 may be the
Entladegeschwindigkeit des Kondensators 104c beeinflussen, z.B. kann der Kondensators 104c langsamer über die mit der Drosselspule 2041 gekoppelte Gasentladungslampe 102 entladen werden, je größer die Impedanz der Drosselspule 2041 ist.Discharge speed of the capacitor 104c affect, e.g. For example, the capacitor 104c may be discharged more slowly via the gas discharge lamp 102 coupled to the choke coil 2041, the larger the impedance of the choke coil 2041 is.
Beispielsweise kann die Halbwertsbreite des Entladungspulses größer sein, je größer die Impedanz der Drosselspule 2041 ist . Ferner kann die Gasentladungslampe 102 beim Entladen als Widerstand wirken, welcher die Entladegeschwindigkeit des Kondensators 104c beeinflussen kann, z.B. kann der For example, the larger the half-width of the discharge pulse, the larger the impedance of the choke coil 2041. Further, the gas discharge lamp 102 may act as a resistor during discharge, which may affect the discharge rate of the capacitor 104c, e.g. can he
Kondensators 104c langsamer über die mit der Drosselspule 2041 gekoppelte Gasentladungslampe 102 entladen werden, je schlechter die Gasentladungslampe 102 während des Entladens elektrisch leitet. Die Leitfähigkeit der Gasentladungslampe 102 kann von der Bauform, dem Druck des Leuchtmittels, mit dem die Gasentladungslampe 102 gefüllt ist, dem Abstand von Kathode zu Anode und dem Innendurchmesser der Capacitor 104c are discharged more slowly via the gas discharge lamp 102 coupled to the choke coil 2041 the worse the gas discharge lamp 102 electrically conducts during discharge. The conductivity of the gas discharge lamp 102 may of the design, the pressure of the bulb, with the gas discharge lamp 102 is filled, the distance from cathode to anode and the inner diameter of the
Gasentladungslampe 102 (bzw. des Entladungsgefäßes) abhängen und vordefiniert sein.  Depend on the gas discharge lamp 102 (or the discharge vessel) and be predefined.
Anschaulich können die Drosselspule 2041 und der Kondensator 204c einen Schwingkreis bilden, welcher elektrische Illustratively, the choke coil 2041 and the capacitor 204c form a resonant circuit, which electrical
Schwingungen (periodisches Laden und Entladen des Vibrations (periodic loading and unloading of the
Kondensators 204c) ausführen kann, wobei der Schwingkreis, bzw. die elektrische Schwingung, von Gasentladungslampe 102 gedämpft werden kann. Capacitor 204c), wherein the resonant circuit, or the electrical oscillation, can be attenuated by the gas discharge lamp 102.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können der Kondensator 204c und die Drosselspule 2041 derart dimensioniert sein, dass ein Richtungswechsel der an dem Kondensator 204c According to various embodiments, the capacitor 204c and the choke coil 2041 may be dimensioned such that a change in direction of the capacitor 204c
anliegenden Spannung (mit anderen Worten ein Überschwingen des Schwingkreises) vermieden werden kann. Anschaulich können die Gasentladungslampe 102, der Kondensator 204c und die Drosselspule 2041 derart miteinander wechselwirken, dass der Kondensator 204c in einer möglichst kurzen Zeit einmalig entladen wird. Mit anderen Worten können der Kondensator 204c und die Drosselspule 2041 derart relativ zu der applied voltage (in other words, overshoot of the resonant circuit) can be avoided. Clearly, the gas discharge lamp 102, the capacitor 204c and the choke coil 2041 can interact with one another in such a way that the capacitor 204c is discharged once in as short a time as possible. In other words, the capacitor 204c and the choke coil 2041 may be so relative to the
Gasentladungslampe 102 abgestimmt sein, dass ein Gas discharge lamp 102 to be tuned to that
aperiodischer Grenzfall eingestellt ist. Aperiodic limit case is set.
Wird zum Zünden 106k der Gasentladungslampe 102 ein Will to ignite 106k of the gas discharge lamp 102 a
Plasmafaden in der Gasentladungslampe 102 erzeugt, kann der innerhalb der Gasentladungslampe 102 erzeugte Plasmafaden die Impedanz der Gasentladungslampe 102 derart absenken, dass die an der Gasentladungslampe 102 anliegende Betriebsspannung zu einem elektrischen Entladungsstrom in der Gasentladungslampe 102 führt, wobei der Kondensator 204c über die Generated plasma discharge in the gas discharge lamp 102, the plasma thread generated within the gas discharge lamp 102, the impedance of the gas discharge lamp 102 lower such that the voltage applied to the gas discharge lamp 102 operating voltage leads to an electric discharge current in the gas discharge lamp 102, wherein the capacitor 204 c on the
Gasentladungslampe 102 entladen werden kann. Wird der Gas discharge lamp 102 can be discharged. Will the
Kondensator 204c über die Gasentladungslampe 102 entladen (mit anderen Worten ein Entladungspuls erzeugt) kann ein elektrischer Stromfluss (Entladungsstrom) mit einer Capacitor 204c discharged via the gas discharge lamp 102 (in other words, generates a discharge pulse), an electric current flow (discharge current) with a
zeitabhängigen elektrischen Stromstärke (Entladungsstromstärke) durch die Gasentladungslampe 102 hindurch fließen. time-dependent electric current (Discharge current) to flow through the gas discharge lamp 102 therethrough.
Der Entladungsstrom kann ein weiteres Ionisieren des The discharge current may further ionize the
Leuchtmittels in der Gasentladungslampe 102 anregen, so dass der Plasmafaden die Gasentladungslampe 102 zunehmend Excite light bulb in the gas discharge lamp 102, so that the plasma thread the gas discharge lamp 102 increasing
ausfüllen kann. Dies kann zu einem weiteren Absenken der Impedanz der Gasentladungslampe 102 und somit zu einem can fill. This can lead to a further lowering of the impedance of the gas discharge lamp 102 and thus to a
Anstieg der elektrischen Entladungsstromstärke führen. Mit fortschreitendem Entladen des Kondensators 204c erreicht die elektrische Entladungsstromstärke ein Maximum und sinkt im weiteren zeitlichen Verlauf ab, bis der Kondensator 204c entladen ist. Mit anderen Worten kann der Kondensator 204c mit einer pulsförmigen elektrischen Entladungsstromstärke entladen werden (mit anderen Worten mit einem elektrischen Entladungspuls) . Increase the electrical discharge current lead. As the capacitor 204c discharges progressively, the electric discharge current reaches a maximum and decreases as time passes until the capacitor 204c discharges. In other words, the capacitor 204c may be discharged with a pulse-shaped electric discharge current (in other words, an electric discharge pulse).
Der zeitliche Verlauf der Entladungsstromstärke kann von dem Kondensators 204c und der Drosselspule 2041 definiert werden und aufgrund der Eigenschaften des Kondensators 204c und der Drosselspule 2041 vordefiniert sein. Mit anderen Worten kann der zeitliche Verlauf der elektrischen Entladungsstromstärke des Entladungspulses von dem Treiberschaltkreis 104 definiert werden . The timing of the discharge current intensity may be defined by the capacitor 204c and the choke coil 2041 and predefined based on the characteristics of the capacitor 204c and the choke coil 2041. In other words, the timing of the discharge electric current of the discharge pulse from the drive circuit 104 can be defined.
Wie vorangehend beschrieben ist kann die pulsförmige As described above, the pulse-shaped
elektrische Entladungsstromstärke eine Halbwertsbreite aufweisen, welche die Breite der pulsförmigen elektrischen Entladungsstromstärke bei halber Höhe der pulsförmigen elektrischen Entladungsstromstärke beschreiben kann. electrical discharge current intensity have a half-width, which can describe the width of the pulse-shaped electric discharge current at half the height of the pulse-shaped electric discharge current intensity.
Die Halbwertsbreite der pulsförmigen elektrischen The half-width of the pulsed electric
Entladungsstromstärke (mit anderen Worten des elektrischen Entladungspulses) kann von der Induktivität der Drosselspule 2041 und der Kapazität des Kondensators 204c definiert sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Discharge current intensity (in other words, the electric discharge pulse) may be defined by the inductance of the choke coil 2041 and the capacitance of the capacitor 204c. According to various embodiments, the
Zündschaltkreis 106 einen Zündgenerator 206g zum Erzeugen des Zündpulses aufweisen. Der Zündgenerator 206g kann derart eingerichtet sein, dass dieser eine pulsförmige Spannung (mit anderen Worten einen Zündpuls) mit einer Halbwertsbreite bereitstellen kann, welche kleiner als ein ungefähr Fünftel der Halbwertsbreite des Entladungspulses ist. Gemäß  Ignition circuit 106 have an ignition generator 206g for generating the ignition pulse. Ignition generator 206g may be configured to provide a pulse-shaped voltage (in other words, a firing pulse) having a half-width that is less than about one fifth of the half-width of the discharge pulse. According to
verschiedenen Ausführungsformen kann der Zündschaltkreis 106 eine Spannungsquelle 206u aufweisen zum Versorgen eines According to various embodiments, the ignition circuit 106 may include a voltage source 206u for supplying a
Zündgenerators 206g mit elektrischer Energie. Ignition generator 206g with electrical energy.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Zündelektrode 110 derart eingerichtet sein, dass auf die Zündelektrode der erzeugte Zündpuls übertragen werden kann. Ist die According to various embodiments, the ignition electrode 110 may be configured such that the ignition pulse generated can be transmitted to the ignition electrode. Is the
Zündelektrode 110 beispielsweise als Zünddraht 110 Ignition electrode 110, for example, as a firing wire 110th
eingerichtet, kann der Zünddraht 110 einen ohmschen set up, the ignition wire 110 may be an ohmic
Widerstand aufweisen und mit sinkender Halbwertsbreite des elektrisch Zündpulses zunehmend als Kondensator mit den Have resistance and with decreasing half width of the electric ignition pulse increasingly as a capacitor with the
Zünddraht umgebenen elektrisch leitenden Bauteilen wirken welcher eine Kapazität aufweist, so dass ein auf den Ignition wire surrounded electrically conductive components which has a capacity, so that one on the
Zünddraht 110 übertragener Zündpuls von der Kapazität des Zünddrahts 110 beeinflusst werden kann. Beispielsweise kann die Kapazität des Zünddrahts 110 mit zunehmender Länge des Zünddrahts 110 des Zünddrahts 110 zunehmen. Anschaulich kann der Zünddraht mit Bauteilen in der Nähe des Zünddrahts, wie z.B. dem Reflektor, oder auch dem Gas in der Blitzlampe Ignition wire 110 transmitted ignition pulse can be influenced by the capacity of the ignition wire 110. For example, the capacitance of the ignition wire 110 may increase with increasing length of the ignition wire 110 of the ignition wire 110. Illustratively, the ignition wire can be provided with components in the vicinity of the ignition wire, such as a fuse. the reflector, or the gas in the flashlamp
(Gasentladungslampe 102) wechselwirken und dabei eine (Gas discharge lamp 102) interact and thereby a
Kapazität ausbilden. Mit zunehmender Kapazität des Zünddrahts 110 kann es Train capacity. With increasing capacity of the ignition wire 110 it can
erforderlich sein, den Zündgenerator 206g derart be required, the ignition generator 206g such
einzurichten, dass dieser eine größere Stromstärke beim to establish that this is a larger amperage when
Übertragen des elektrischen Zündpulses auf den Zünddraht 110 bereitstellen kann. Mit anderen Worten muss der Zündgenerator 206g eine größere elektrische Leistung bereitstellen. Ferner kann es erforderlich sein, den Zündgenerator 206g derart einzurichten, dass dieser eine größere Stromstärke beim Übertragen des elektrischen Zündpulses auf den Zünddrahts 110 bereitstellen kann, je geringer die Halbwertsbreite des elektrischen Zündpulses ist. Fig.2B veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung lOOf gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Transferring the electric ignition pulse to the ignition wire 110 can provide. In other words, the ignition generator 206g must provide greater electrical power. Furthermore, it may be necessary to set up the ignition generator 206g such that it has a larger current during Transmitting the electric ignition pulse to the ignition wire 110 can provide, the lower the half-width of the electric ignition pulse. FIG. 2B illustrates a flash lamp arrangement 100f according to various embodiments in a schematic
Ansicht . View .
Dabei kann der Treiberschaltkreis 104 einen Kondensator 204c aufweisen, welcher mit den Elektroden (der Anode 202a und der Kathode 202k) der Gasentladungslampe 102 gekoppelt sein kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann auch eine In this case, the driver circuit 104 may include a capacitor 204c, which may be coupled to the electrodes (the anode 202a and the cathode 202k) of the gas discharge lamp 102. According to various embodiments, a
Kondensatoranordnung 204c mit mehreren Kondensatoren Capacitor assembly 204c with multiple capacitors
verwendet werden. be used.
An einem ersten Anschlusskontakt der Spannungsversorgung 204u kann beispielsweise eine positive elektrische Spannung bereitgestellt sein oder werden zum Laden des Kondensators 204c. Beispielsweise kann zwischen dem ersten For example, a positive electrical voltage may be provided at a first terminal of the power supply 204u or may be charged to charge the capacitor 204c. For example, between the first
Anschlusskontakt 204a des Kondensators 204c und einem zweiten Anschlusskontakt 204b Kondensators 204c eine elektrische Spannung von ungefähr 25 kV oder mehr als 25 kV Terminal contact 204a of the capacitor 204c and a second terminal contact 204b capacitor 204c an electrical voltage of about 25 kV or more than 25 kV
bereitgestellt sein oder werden, z.B. eine elektrische be provided, e.g. an electrical
Spannung in einem Bereich von ungefähr 10 kV bis ungefähr 50 kV. Voltage in a range of about 10 kV to about 50 kV.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann einer der According to various embodiments, one of the
Anschlusskontakte 204a, 204b des Kondensators 204c auf Connection contacts 204a, 204b of the capacitor 204c
Erdpotential (Masse) gelegt sein. Somit kann beispielsweise auch die Kathode 202k der Gasentladungslampe 102 auf Ground potential (ground) to be laid. Thus, for example, the cathode 202k of the gas discharge lamp 102 on
Erdpotential (Masse) gelegt sein. Ground potential (ground) to be laid.
Ferner kann der Treiberschaltkreis 104 einen Schalter 204s aufweisen. Mittels des Schalters 204s kann beispielsweise verhindert werden, dass eine vom Kondensator 204c Further, the driver circuit 104 may include a switch 204s. By means of the switch 204s, for example, it is possible to prevent one from the capacitor 204c
bereitgestellte Spannung an der Gasentladungslampe 102 anliegt, z.B. in einem Aus-Zustand des Schalters 204s. Anschaulich kann der Schalter 204s derart eingerichtet sein, dass der Kondensator 204c von der Gasentladungslampe 102 elektrisch getrennt werden kann, z.B. wenn der Kondensator 204c geladen wird. supplied voltage to the gas discharge lamp 102 is applied, for example, in an off state of the switch 204s. Illustratively, the switch 204s may be configured such that the capacitor 204c may be electrically disconnected from the gas discharge lamp 102, eg, when the capacitor 204c is being charged.
Ferner kann der Schalter 204s derart eingerichtet sein, dass beispielsweise in einem An-Zustand des Schalters 204s an der Anode der Gasentladungslampe 102 im Wesentlich die vom Further, the switch 204s may be configured such that, for example, in an on-state of the switch 204s at the anode of the gas discharge lamp 102, substantially the same as that of FIG
Kondensator 204c bereitgestellte Spannung anliegt. In dem An- Zustand kann der Schalter 204s einen geringen Widerstand aufweisen, d.h. der erste auf positivem Potential liegende Anschlusskontakt 204a des Kondensators 204c kann mit der Anode 102a der Gasentladungslampe 102 elektrisch leitend verbunden sein. Capacitor 204c supplied voltage is applied. In the on state, the switch 204s may have a low resistance, i. the first positive terminal 204a of the capacitor 204c may be electrically connected to the anode 102a of the gas discharge lamp 102.
Ferner kann der Treiberschaltkreis 104 eine Induktivität 2041, z.B. eine in Reihe in den Treiberschaltkreis 104 geschaltete elektromagnetische Spule 2041 (Drosselspule Further, the driver circuit 104 may include an inductor 2041, e.g. an electromagnetic coil 2041 (choke coil connected in series in the drive circuit 104)
2041), aufweisen. Die Spule 2041 kann beispielsweise das R-C-L-Schwingverhalten des Treiberschaltkreises 104 (z.B. die Entlade-Charakteristik des Kondensators 204c beim Entladen durch die Gasentladungslampe 102 hindurch) , mit anderen 2041). The coil 2041 may have, for example, the R-C-L swing behavior of the driver circuit 104 (e.g., the discharge characteristic of the capacitor 204c when discharging through the gas discharge lamp 102) with others
Worten die Halbwertsbreite des Entladungspulses beeinflussen. Der elektrische Widerstand der Gasentladungslampe 102 ist im Allgemeinen während des Entladens des Kondensators 204c zeitabhängig (wird auch als negative Widerstandskennlinie der Gasentladungslampe 102 bezeichnet) . Der zeitabhängige Words influence the half-width of the discharge pulse. The electrical resistance of the gas discharge lamp 102 is generally time dependent during discharge of the capacitor 204c (also referred to as the negative resistance characteristic of the gas discharge lamp 102). The time-dependent
elektrische Widerstand der Gasentladungslampe 102 kann während des Entladens des Kondensators 204c von der an derelectrical resistance of the gas discharge lamp 102 may during the discharge of the capacitor 204c of the at the
Gasentladungslampe 102 anliegenden elektrischen Spannung und dem durch die Gasentladungslampe 102 hindurchfließenden elektrischen Strom definiert sein. Der elektrische Widerstand der Gasentladungslampe 102 beim Entladen des Kondensators 204c kann dann als Minimum des zeitabhängigen elektrischen Widerstands verstanden werden, d.h. zu einem bestimmten Gas discharge lamp 102 applied voltage and the electrical current flowing through the gas discharge lamp 102 be defined. The electrical resistance of the gas discharge lamp 102 when discharging the capacitor 204c may then be understood as a minimum of the time dependent electrical resistance, i. to a certain
Zeitpunkt während des Entladens des Kondensators 204c. Mit anderen Worten kann die Widerstandskennlinie über die gesamte Entladung gemessen (zeitabhängig) werden und deren Minimum den elektrischen Widerstand der Gasentladungslampe 102 angeben . Time during discharge of the capacitor 204c. With In other words, the resistance characteristic curve can be measured (time-dependent) over the entire discharge and its minimum can indicate the electrical resistance of the gas discharge lamp 102.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die According to various embodiments, the
Gasentladungslampe 102 einen elektrischen Widerstand (d.h. das Minimum der Widerstandskennlinie) beim Entladen des Kondensators 204c in einem Bereich von ungefähr 0,1 Ohm bis ungefähr 10 Ohm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 Ohm bis ungefähr 5 Ohm aufweisen. Beispielsweise kann der elektrische Widerstand beim Entladen des Kondensators 204c von Fülldruck, Lichtbogenlänge und Plasmatemperatur der Gas discharge lamp 102 has an electrical resistance (i.e., the minimum of the resistance characteristic) when discharging the capacitor 204c in a range of about 0.1 ohms to about 10 ohms, e.g. in a range of about 1 ohm to about 5 ohms. For example, the electrical resistance during discharge of the capacitor 204c of filling pressure, arc length and plasma temperature of the
Gasentladungslampe abhängig sein. Be dependent on the gas discharge lamp.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kondensator 204c oder die Kondensator-Anordnung 204c eine Kapazität in einem Bereich von ungefähr 20 yF bis ungefähr 2000 yF According to various embodiments, the capacitor 204c or the capacitor array 204c may have a capacitance in a range of about 20 yF to about 2000 yF
aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kondensator 204c oder die Kondensator-Anordnung 204c eineexhibit. According to various embodiments, the capacitor 204 c or the capacitor arrangement 204 c may include a
Spannungsfestigkeit bis zu einer Spannung von mehr als 30 kV aufweisen . Have dielectric strength up to a voltage of more than 30 kV.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Drosselspule 2041 eine Induktivität in einem Bereich von ungefähr 10 μΗ bis ungefähr 10 mH, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 μΗ bis ungefähr 1 mH aufweisen. Gemäß verschiedenen According to various embodiments, the choke coil 2041 may have an inductance in a range of about 10 μΗ to about 10 mH, e.g. in a range of about 100 μΗ to about 1 mH. According to different
Ausführungsformen kann die Drosselspule 2041 einen ohmschen Widerstand in einem Bereich von ungefähr 0.1 mOhm (Milliohm) bis ungefähr 0.1 Ohm aufweisen Embodiments, the choke coil 2041 may have an ohmic resistance in a range of about 0.1 milliohms to about 0.1 ohms
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Treiberschaltkreis 104 entsprechend eingerichtet sein, einen Entladungsstrom von mehreren 1 kA bei einer Spannung von ungefähr 25 kV oder mehr als ungefähr 30 kV zyklisch Driver circuit 104 may be configured accordingly, a discharge current of several 1 kA at a voltage of about 25 kV or more than about 30 kV cyclically
bereitzustellen, z.B. mit einer Häufigkeit von ungefähr to provide, e.g. at a frequency of approximately
0,5 Hz oder mehr als ungefähr 10 Hz. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können auch mehrere Spannungsquellen 204u zum Laden des Kondensators 204c genutzt werden. Ferner können mehrere Kondensatoren 204c zum 0.5 Hz or more than about 10 Hz. According to various embodiments, multiple voltage sources 204u may also be used to charge the capacitor 204c. Further, a plurality of capacitors 204c may be used for
Versorgen mehrerer Gasentladungslampen 102 mittels einer gemeinsamen Spannungsquelle 204u betrieben werden. Powering a plurality of gas discharge lamps 102 are operated by means of a common voltage source 204u.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die According to various embodiments, the
Blitzlampenanordnung lOOf eine Lageranordnung 216 (z.B. einen Lampensockel) aufweisen zum Halten, Lagern der  Flash lamp assembly 100f includes a bearing assembly 216 (e.g., a lamp cap) for holding, storing the
Gasentladungslampe 102 und/oder elektrischen zum Koppeln der Gasentladungslampe 102 mit dem Treiberschaltkreis 104.  Gas discharge lamp 102 and / or electrical for coupling the gas discharge lamp 102 to the driver circuit 104.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Entladungsrohr 102r der Gasentladungslampe 102 mit einem Leuchtmittel 102g, z.B. einem Edelgas 102g gefüllt sein, wobei das Edelgas 102g (wenn die Gasentladungslampe 102 nicht im Betrieb ist) einen Druck in einem Bereich von ungefähr 50 mbar bis ungefähr 1000 mbar aufweisen kann. Alternativ kann die According to various embodiments, the discharge tube 102r of the gas discharge lamp 102 may be provided with a lighting means 102g, e.g. a noble gas 102g may be filled, wherein the noble gas 102g (when the gas discharge lamp 102 is not in operation) may have a pressure in a range of about 50 mbar to about 1000 mbar. Alternatively, the
Gasentladungslampe 102 mit einem beliebig (zum Erzeugen vonGas discharge lamp 102 with an arbitrary (for generating
Licht) geeigneten Gas 102g oder Gasgemisch 102g gefüllt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Elektroden 202a, 202k der Gasentladungslampe 102 Wolfram aufweisen oder ein anderes Metall oder eine Metalllegierung. Light) suitable gas 102g or gas mixture 102g be filled. According to various embodiments, the electrodes 202a, 202k of the gas discharge lamp 102 may comprise tungsten or another metal or a metal alloy.
Das Zünden 106k einer Gasentladungslampe 102 kann zeitlich zuverlässiger (mit weniger Zündverzögerung) erfolgen, je kürzer der Zündpuls anschaulich ist, wie in Fig.3A und Fig.3B dargestellt ist. The ignition 106k of a gas discharge lamp 102 can take place more reliably (with less ignition delay) the shorter the ignition pulse is, as shown in FIGS. 3A and 3B.
Fig.3A veranschaulicht einen Zündpuls und einen elektrischen Entladungspuls gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Strom-Zeit-Diagramm 200a oder Spannungs-Zeit- Diagramm 200a, wobei jeweils ein Strom 105 in Abhängigkeit von der Zeit 101 oder eine Spannung 105 in Abhängigkeit von der Zeit 101 dargestellt ist (Entladungsdiagram 200a) . Zum Zünden 106k einer Gasentladungslampe 102 kann ein 3A illustrates an ignition pulse and an electrical discharge pulse according to various embodiments in a schematic current-time diagram 200a or voltage-time diagram 200a, wherein in each case a current 105 as a function of time 101 or a voltage 105 as a function of time 101 (discharge diagram 200a). For igniting 106k of a gas discharge lamp 102, a
elektrischer Zündpuls 306p mittels des Zündschaltkreises 106 als Teil eines zeitlich periodischen Zündsignals 306, z.B. einer zeitlich periodischen elektrischen Spannung 306, einer zeitlich periodischen elektrischen Stromstärke 306, einer oszillierenden elektrischen Spannung 306 und/oder einer oszillierenden elektrischen Stromstärke 306 bereitgestellt werden. Der elektrische Zündpuls 306p kann ein Maximum 306m (z.B. eine maximale Stromstärke 306m oder eine maximale electrical firing pulse 306p by means of the ignition circuit 106 as part of a time periodic firing signal 306, e.g. a time-periodic electrical voltage 306, a time-periodic electrical current 306, an oscillating electrical voltage 306 and / or an oscillating electric current 306 are provided. The electric ignition pulse 306p may have a maximum 306m (e.g., a maximum current of 306m or a maximum of 306m
Spannung 306m) aufweisen, wobei die Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p von der Breite des elektrischen Zündpulses 306p bei der Hälfte des Maximums 306m definiert sein kann. Ferner kann die Pulsdauer 306d des elektrischen Zündpulses 306p von der Breite des elektrischen Zündpulses 306p bei einem Drittel des Maximums 306m definiert sein Voltage 306m), wherein the half width 306w of the electric ignition pulse 306p may be defined by the width of the electric ignition pulse 306p at the half of the maximum 306m. Further, the pulse duration 306d of the electric ignition pulse 306p may be defined by the width of the electric ignition pulse 306p at one third of the maximum 306m
Mit Hilfe eines periodischen Zündsignals 306 kann ein With the help of a periodic ignition signal 306, a
Plasmafaden innerhalb einer Gasentladungslampe 102 erzeugt und somit deren Impedanz stark abgesenkt werden, so dass eine an der Gasentladungslampe 102 anliegende Spannung zu einem elektrischen Entladungspuls (z.B. einem Entladungsstrom) in der Gasentladungslampe 102 führt. Gemäß verschiedenen Plasma arc generated within a gas discharge lamp 102 and thus their impedance are greatly lowered, so that a voltage applied to the gas discharge lamp 102 voltage to an electric discharge pulse (for example, a discharge current) in the gas discharge lamp 102 leads. According to different
Ausführungsformen können ein Viertel bis Dreiviertel der Periode des zeitlich periodischen Zündsignals 306 Embodiments may be one quarter to three quarters of the period of the time periodic firing signal 306
erforderlich sein bis die Impedanz der Gasentladungslampe 102 ausreichend abgesenkt ist, so dass der elektrische be required until the impedance of the gas discharge lamp 102 is sufficiently lowered, so that the electric
Entladungspuls 302a, 302b, 302c erzeugt wird. Discharge pulse 302a, 302b, 302c is generated.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der According to various embodiments, the
Zündschaltkreis als Schwingkreis wirken. Wird der elektrische Zündpuls bereitgestellt, kann das periodische Zündsignals beispielsweise ein Resultat eines Nachschwingens des Ignition circuit act as a resonant circuit. If the electrical ignition pulse is provided, the periodic ignition signal can be, for example, a result of a ringing of the
Schwingkreises sein. Eine Zündverzögerung 301d kann gemäß verschiedenen Be resonant circuit. An ignition delay 301d may vary according to various
Ausführungsformen verringert werden, je größer die Frequenz (und damit je kleiner die Periode) des zeitlich periodischen Zündsignals 306 ist, mit anderen Worten je geringer die Embodiments are reduced, the greater the frequency (and thus the smaller the period) of the temporally periodic Ignition signal 306 is, in other words, the lower the
Halbwertsbreite 306w des Zündpuls 306p (auch als Zündimpuls 306p bezeichnet) ist. Die Frequenz des zeitlich periodischen Zündsignals 306 kann z.B. mehr als ungefähr 7 kHz betragen, z.B. mehr als ungefähr 10 kHz. Half width 306w of the firing pulse 306p (also referred to as firing pulse 306p). The frequency of the time periodic firing signal 306 may be e.g. more than about 7 kHz, e.g. more than about 10 kHz.
Anschaulich kann die Höhe des Verschiebungsstroms zwischen Zünddraht und Gasentladungslampe die Zündung der Clearly, the height of the displacement current between the ignition wire and the gas discharge lamp can ignite the ignition
Gasentladungslampe beeinflussen. Der Verschiebungsstrom ist proportional zur Änderung der elektrischen Feldstärke, Influence gas discharge lamp. The displacement current is proportional to the change of the electric field strength,
(welche mittels des Zündpulses 306p erzeugt wird) mit der Zeit und proportional zu der Dielektrizitätskonstanten und lässt sich wie folgt ausdrücken: I~8-5E/5t. Folglich kann eine höhere Zündfrequenz (Frequenz des Zündsignals), bzw. ein kürzere Pulsdauer des Zündpulses 306p, einen höheren  (which is generated by the ignition pulse 306p) with time and proportional to the dielectric constant and can be expressed as follows: I ~ 8-5E / 5t. Consequently, a higher ignition frequency (frequency of the ignition signal), or a shorter pulse duration of the ignition pulse 306p, a higher
Verschiebungsstrom zur Folge haben und damit eine frühere Zündung der Gasentladungslampe (eine kürzere Verzögerung zwischen dem Erzeugen des Zündpulses 306p und der Zündung der Gasentladungslampe) ermöglichen. Eine Schwankung des  Displacement current result and thus allow earlier ignition of the gas discharge lamp (a shorter delay between the generation of the ignition pulse 306p and the ignition of the gas discharge lamp). A variation of the
Zündzeitpunktes kann umso kleiner sein, desto kürzer dieZündzeitpunktes can be smaller, the shorter the
Verzögerung zwischen dem Erzeugen des Zündpulses 306p und der Zündung der Gasentladungslampe ist. Delay between the generation of the ignition pulse 306p and the ignition of the gas discharge lamp is.
Beim Erzeugen von Lichtblitzen mittels einer When generating flashes of light by means of a
Gasentladungslampe 102 oder mehrerer Gasentladungslampen 102 können Schwankungen des Zündzeitpunkts auf unterschiedlichen Zeitskalen auftreten. Beispielsweise kann der Zündzeitpunkt einer Gasentladungslampe 102 sowohl aufgrund des Zustandes der Gasentladungslampe 102 (Temperatur, Gasdruck, usw.) beeinflusst werden, wie auch aufgrund einer Wechselwirkung der Gasentladungslampe 102 mit der Umgebung der Gas discharge lamp 102 or more gas discharge lamps 102 may occur in the ignition timing on different time scales. For example, the ignition timing of a gas discharge lamp 102 may be influenced by both the state of the gas discharge lamp 102 (temperature, gas pressure, etc.) and by the interaction of the gas discharge lamp 102 with the environment of the gas discharge lamp 102
Gasentladungslampe 102, z.B. anderen Gasentladungslampen 102. Diese Einflüsse können einander überlagern und eine Gas discharge lamp 102, e.g. other gas discharge lamps 102. These influences can overlap one another and one
komplizierte Wechselwirkung ergeben. result in a complicated interaction.
Eine Schwankung des Zündzeitpunktes kann beispielsweise auftreten, wenn eine Gasentladungslampe 102 mittels eines elektrischen Zündpulses 306p (z.B. mehrmals hintereinander) gezündet wird. Dabei kann der zeitliche Abstand des A fluctuation of the ignition timing may occur, for example, when a gas discharge lamp 102 by means of a electric ignition pulse 306p (eg several times in succession) is ignited. The time interval of the
Zündzeitpunkts der Gasentladungslampe 102 relativ zu dem Erzeugen des elektrischen Zündpulses 306p schwanken und beispielsweise von der Vorbenutzung der Gasentladungslampe 102 beeinflusst werden, wie im Folgenden anhand des Ignition timing of the gas discharge lamp 102 relative to the generation of the electric ignition pulse 306p fluctuate and be influenced for example by the prior use of the gas discharge lamp 102, as described below with reference to
schematischen Entladungsdiagrams 200a beschrieben wird. schematic discharge diagrams 200a.
Wird genau eine Gasentladungslampe 102 mehrmals mittels des elektrischen Zündpulses 306p gezündet, kann ein erster elektrischer Entladungspuls 302a durch die Gasentladungslampe 102 hindurch erzeugt werden, sobald die Gasentladungslampe ein erstes Mal gezündet wird, ein zweiter elektrischer If exactly one gas discharge lamp 102 is ignited several times by means of the electric ignition pulse 306p, a first electric discharge pulse 302a can be generated through the gas discharge lamp 102 as soon as the gas discharge lamp is ignited a first time, a second electric one
Entladungspuls 302b durch die Gasentladungslampe 102 hindurch erzeugt werden, sobald die Gasentladungslampe ein zweites Mal gezündet wird, und ein dritter elektrischer Entladungspuls 302c durch die Gasentladungslampe 102 hindurch erzeugt werden, sobald die Gasentladungslampe ein drittes Mal Discharge pulse 302b are generated by the gas discharge lamp 102 as soon as the gas discharge lamp is ignited a second time, and a third electric discharge pulse 302c are generated by the gas discharge lamp 102 as soon as the gas discharge lamp for a third time
gezündet wird. is ignited.
Beispielsweise können mehrere periodisch (in einem konstanten zeitlichen Abstand zueinander) erzeugte elektrische Zündpulse 306p nacheinander in die Gasentladungslampe 102 eingekoppelt werden, um Lichtblitze in dem zeitlich konstanten Abstand zueinander (Zeitintervall) zu erzeugen. Aufgrund der For example, a plurality of periodically (at a constant time interval to each other) generated electric ignition pulses 306p are successively coupled into the gas discharge lamp 102 to generate flashes of light in the temporally constant distance from each other (time interval). Due to the
Schwankung des Zündzeitpunktes kann das Auftreten der Fluctuation of the ignition timing may be the occurrence of
Lichtblitze um das Zeitintervall herum schwanken. Light flashes fluctuate around the time interval.
Zur besseren Übersicht ist der erste elektrische For a better overview, the first electrical
Entladungspuls 302a mit unterschiedlichem Vorzeichen bzw. Amplitude zu dem zweiten und dritten elektrischen Discharge pulse 302a with different signs or amplitude to the second and third electrical
Entladungspuls 302b, 302c dargestellt. Die elektrischen Discharge pulse 302b, 302c shown. The electrical
Entladungspulse 302a, 302b, 302c können jeweils einen Discharge pulses 302a, 302b, 302c may each have one
elektrischen Strompuls (mit anderen Worten einen elektrischen Stromstärkepuls) aufweisen, wobei ein Maximum 302m des elektrischen Entladungspulses 302a von einer maximalen electric current pulse (in other words, an electric current pulse), wherein a maximum 302m of the electric discharge pulse 302a of a maximum
Stromstärke 302m definiert sein kann. In Abhängigkeit einer vorherigen Nutzung der Amperage 302m can be defined. Depending on a previous use of the
Gasentladungslampe 102 können die Umgebungsbedingungen, z.B. Temperatur des Entladungsrohrs 102r, Druck des Leuchtstoffs (mit dem die Gasentladungslampe 102 gefüllt ist) , Temperatur der Kathode 202a und der Anode 202a der Gasentladungslampe 102 und Ähnlichem vor dem ersten Zünden 106k der  Gas discharge lamp 102 may be ambient conditions, e.g. Temperature of the discharge tube 102r, pressure of the phosphor (with which the gas discharge lamp 102 is filled), temperature of the cathode 202a and the anode 202a of the gas discharge lamp 102 and the like before the first ignition 106k
Gasentladungslampe 102 unterschiedlich sein im Vergleich zu einem Zeitpunkt nach dem ersten Zünden 106k (mit anderen Worten nach dem Entladen) der Gasentladungslampe 102. Gas discharge lamp 102 may be different compared to a time after the first ignition 106k (in other words, after the discharge) of the gas discharge lamp 102nd
Beispielsweise kann jeweils die Temperatur der Kathode 202a und der Anode 202a aufgrund des fließenden elektrischen For example, in each case the temperature of the cathode 202a and the anode 202a due to the flowing electrical
Stroms beim Entladen der Gasentladungslampe 102 erhöht werden, so dass jeweils die Temperatur der Kathode 202a und der Anode 202a vor den ersten Zünden 106k geringer ist, als nach dem ersten Zünden und damit vor dem zweiten Zünden der Gasentladungslampe 102. Beispielsweise kann die Temperatur der Kathode 202a einen Einfluss auf die Austrittsarbeit der Elektronen haben, mit anderen Worten auf die Energie, welche pro Elektron notwendig ist, um das Elektron aus der Kathode 202a zu lösen. Damit kann die Temperatur der Kathode 202a die Anzahl der aus der Kathode 202a gelösten Elektronen und so das Zündverhalten der Gasentladungslampe 102 beeinflussen. When the discharge of the gas discharge lamp 102 is increased, the temperature of the cathode 202a and the anode 202a before the first ignition 106k is lower than after the first ignition and thus before the second ignition of the gas discharge lamp 102. For example, the temperature of the cathode 202a have an effect on the work function of the electrons, in other words on the energy required per electron to dissolve the electron out of the cathode 202a. Thus, the temperature of the cathode 202a can affect the number of electrons released from the cathode 202a and thus the firing behavior of the gas discharge lamp 102.
Dadurch können ein zweites Zünden der Gasentladungslampe 102 und ein drittes Zünden der Gasentladungslampe verzögert 301d zu dem Zündpuls 306p auftreten, wobei das Erzeugen des zweiten und des dritten elektrischen Entladungspulses 302b, 302c relativ zu dem Zündpuls 306p (bzw. relativ zu dem ersten elektrischen Entladungspuls 302a) um eine Zeit 301d verzögert beginnt. Mit anderen Worten kann der Zündzeitpunkt 310b der zweiten und dritten Gasentladung 302b, 302c in der Thereby, a second ignition of the gas discharge lamp 102 and a third ignition of the gas discharge lamp delayed 301d may occur to the ignition pulse 306p, generating the second and the third electric discharge pulse 302b, 302c relative to the ignition pulse 306p (or relative to the first electric discharge pulse 302a ) is delayed by a time 301d. In other words, the ignition timing 310b of the second and third gas discharges 302b, 302c in the
Gasentladungslampe 102 verzögert 301d (Zündverzögerung 301d) gegenüber dem Zündzeitpunkt 310a der ersten Gasentladung 302a sein . Die Zündverzögerung 301d (bzw. das Schwanken des Zündzeitpunktes 301d) für das mehrmalige Zünden einer Gas discharge lamp 102 is delayed 301d (ignition delay 301d) relative to the ignition timing 310a of the first gas discharge 302a be. The ignition delay 301d (or the fluctuation of the ignition timing 301d) for the multiple ignition of a
Gasentladungslampe 102 kann beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 5 ys bis ungefähr 20 ys liegen. Ein solche For example, gas discharge lamp 102 may range from about 5 ys to about 20 ys. Such
Zündverzögerung 301d kann einen mittels der Zündverzögerung 301d can one by means of
Gasentladungslampe 102 durchgeführten Belichtungsprozess umso stärker beeinflussen, desto geringer die Pulsdauer des  Gas discharge lamp 102 performed exposure process influence the stronger, the lower the pulse duration of the
Entladungspulses ist, beispielsweise wenn die Pulsdauer des Entladungspulses weniger als 100 ys, z.B. weniger als 50 ys, beträgt. Beispielsweise kann gemäß verschiedenen Discharge pulse is, for example, when the pulse duration of the discharge pulse less than 100 ys, e.g. less than 50 ys. For example, according to various
Ausführungsformen eine kurze Pulsdauer des elektrischen  Embodiments a short pulse duration of the electric
Entladungspulses (von weniger als 100 ys, z.B. weniger als 50 ys) Anwendung in der Plastikelektronik finden, mit anderen Worten bei der Fertigung mikroelektronischer Bauelemente auf Trägermaterialien aus organischen Folien oder der Fertigung von Leiterbahnen und Bauelementen aus leitfähigen organischen Molekülen. Beispielsweise kann bei einer kurzen Pulsdauer des elektrischen Entladungspulses eine Zündverzögerung 301d, bzw. eine Schwankung des Zündzeitpunktes, das Überlappen mehrerer belichteter Bereiche eines kontinuierlich an der Discharge pulses (less than 100 ys, e.g., less than 50 ys) in plastics electronics, in other words, in the fabrication of microelectronic devices on organic film substrates or in the manufacture of conductive organic molecules tracks and devices. For example, in the case of a short pulse duration of the electrical discharge pulse, an ignition delay 301d, or a fluctuation of the ignition time, the overlapping of several exposed areas of a continuously at the
Gasentladungslampe vorbei bewegten Substrats beeinflussen und so eine Schwankung der in das Substrat eingetragenen  Gas discharge lamp over moving substrate influence and so a variation of the registered in the substrate
Energiedichte vergrößern. Der erste elektrische Entladungspuls 302a kann ein MaximumIncrease energy density. The first electrical discharge pulse 302a may be a maximum
302m (z.B. eine maximale Stromstärke 302m oder eine maximale Spannung 302m) aufweisen, wobei die Halbwertsbreite 302w des ersten elektrischen Entladungspulses 302a von der Breite des ersten elektrischen Entladungspulses 302a bei der Hälfte des Maximums 302m definiert sein kann. Ferner kann die Pulsdauer 306d des ersten elektrischen Entladungspulses von der Breite des ersten elektrischen Entladungspulses bei einem 302m (e.g., a maximum current 302m or a maximum voltage 302m), wherein the half width 302w of the first electric discharge pulse 302a may be defined from the width of the first electric discharge pulse 302a at half of the maximum 302m. Further, the pulse duration 306d of the first electric discharge pulse may be the width of the first electric discharge pulse at a
Hundertstel des Maximums 306m definiert sein. Analog dazu können Halbwertsbreite 302w und Pulsdauer 302d des zweiten elektrischen Entladungspulses 302b und des dritten Hundredths of the maximum 306m be defined. Similarly, half-width 302w and pulse duration 302d of the second electrical discharge pulse 302b and the third
elektrischen Entladungspulses 302c definiert sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die be defined electric discharge pulse 302c. According to various embodiments, the
Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p kleiner sein als ein Viertel der Halbwertsbreite 302w des  Half width 306w of the electric ignition pulse 306p be less than one quarter of the half width 302w of
elektrischen Entladungspulses 302a, 302b, 302c. electric discharge pulse 302a, 302b, 302c.
Beispielsweise kann die Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p umso kleiner sein, desto kleiner die For example, the smaller the half width 306w of the electric ignition pulse 306p, the smaller the
Halbwertsbreite 302w des elektrischen Entladungspulses 302a, 302b, 302c ist. Beispielsweise kann die Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p für einen kurzen Half width 302w of the electric discharge pulse 302a, 302b, 302c. For example, the half width 306w of the electric ignition pulse 306p may be short
Entladungspuls (von weniger als 100 ys, z.B. weniger als 50 ys) kleiner sein als 5 ys, z.B. kleiner als 1 ys . Discharge pulse (less than 100 ys, e.g., less than 50 ys) less than 5 ys, e.g. less than 1 ys.
Neben der Schwankung des Zündzeitpunktes aufgrund des In addition to the fluctuation of the ignition timing due to the
Zustands der Gasentladungslampe kann eine Schwankung des Zündzeitpunktes auftreten, wenn mehrere Gasentladungslampe gemeinsam (z.B. gleichzeitig) mittels eines elektrischen Zündpulses gezündet werden aufgrund einer Wechselwirkung der mehreren Gasentladungslampen 102 untereinander, wie im In the state of the gas discharge lamp, a fluctuation of the ignition timing may occur when a plurality of gas discharge lamps are ignited together (e.g., simultaneously) by an electric ignition pulse due to an interaction of the plurality of gas discharge lamps 102 with each other, as in FIG
Folgenden anhand des schematischen Entladungsdiagrams 200a beschrieben wird. Eine solche Schwankung des Zündzeitpunktes der mehreren Gasentladungslampen 102 untereinander kann z.B. größer sein als die vorangehend beschriebene Schwankung des Zündzeitpunktes jeder einzelnen Gasentladungslampe 102, welche aufgrund des Zustands der Gasentladungslampen 102 auftritt. Beispielsweise kann die zeitliche Schwankung des Zündzeitpunktes (oder die Zündzeitverzögerung) der mehreren Gasentladungslampen 102 untereinander bis zu 50% der The following will be described with reference to the schematic discharge diagram 200a. Such a fluctuation of the ignition timing of the plurality of gas discharge lamps 102 with each other may be e.g. be greater than the above-described fluctuation of the ignition timing of each individual gas discharge lamp 102, which occurs due to the state of the gas discharge lamps 102. For example, the time variation of the ignition timing (or the ignition delay) of the plurality of gas discharge lamps 102 with each other up to 50% of
Pulsdauer des Entladungspulses einer der Gasentladungslampen 102 betragen. Pulse duration of the discharge pulse of the gas discharge lamps 102 amount.
Werden mehrere Gasentladungslampen 102 gleichzeitig gezündet, z.B. mittels eines gemeinsamen elektrischen Zündpulses 306 kann der gemeinsame Zündpuls 306 auf eine erste If several gas discharge lamps 102 are fired simultaneously, e.g. by means of a common electric ignition pulse 306, the common ignition pulse 306 to a first
Gasentladungslampe 402a, eine zweite Gasentladungslampe 402b und eine dritte Gasentladungslampe 402c der mehreren A gas discharge lamp 402a, a second gas discharge lamp 402b, and a third gas discharge lamp 402c of the plurality
Gasentladungslampen wirken, so dass diese gezündet werden können. Beispielsweise kann in der ersten Gasentladungslampe 402a ein erster elektrischer Entladungspuls 302a, in der zweiten Gasentladungslampe 402b ein zweiter elektrischer Entladungspuls 302b und in der dritten Gasentladungslampe 402c ein dritter elektrischer Entladungspuls 302c erzeugt werden, sobald diese gezündet werden. Gas discharge lamps act so that they can be ignited. For example, in the first gas discharge lamp 402a, a first electric discharge pulse 302a, in the second gas discharge lamp 402b, a second electric discharge pulse 302b and in the third gas discharge lamp 402c, a third electric discharge pulse 302c are generated when they are ignited.
Aufgrund der unterschiedlichen Position der Due to the different position of the
Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c können diese sich gegenseitig beeinflussen und jeweils unterschiedlichen Gas discharge lamps 402a, 402b, 402c may affect each other and each other
Umgebungsbedingungen ausgesetzt sein. Beispielsweise kann sich bei parallel in einer Ebene angeordneten (z.B. axialen, bzw. parallel bezügliche der Achsen der Entladungsrohre ausgerichteten) Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c (mit anderen Worten einem Lampenfeld) im Allgemeinen für die äußeren Gasentladungslampen (z.B. die erste Be exposed to ambient conditions. For example, with gas discharge lamps 402a, 402b, 402c (in other words, a lamp array) aligned parallel in a plane (e.g., axial or parallel to the axes of the discharge tubes), generally for the outer gas discharge lamps (e.g., the first
Gasentladungslampe 402a) beim Zünden 106k eine andere Gas discharge lamp 402a) when ignited 106k another
Potentialverteilung im Vergleich zu den inneren Potential distribution compared to the inner ones
Gasentladungslampen (z.B. die zweite und dritte Gas discharge lamps (e.g., the second and third
Gasentladungslampe 402b, 402c) ergeben aufgrund elektrisch leitfähiger Bauteile in der Umgebung der Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c, wie z.B. Reflektoren 110 oder Gas discharge lamp 402b, 402c) result due to electrically conductive components in the vicinity of the gas discharge lamps 402a, 402b, 402c, such. Reflectors 110 or
Kammerwandungen. Aufgrund der unterschiedlichen Chamber walls. Due to the different
Potentialverteilungen kann sich für jede Gasentladungslampe 402a, 402b, 402c des Lampenfeldes eine unterschiedliche Potential distributions may vary for each gas discharge lamp 402a, 402b, 402c of the lamp array
Zündverzögerung 301d (mit anderen Worten ein zeitlich Ignition delay 301d (in other words a time
schwankender Zündzeitpunkt 310a, 310b) ergeben. fluctuating ignition timing 310a, 310b).
Analog zu dem elektrischen Entladungspuls 302a, 302b, 302c kann eine Lichtintensität des erzeugten Lichtblitzes ein Maximum aufweisen, wenn der elektrische Entladungspuls 302a, 302b, 302c sein Maximum 302m erreicht (z.B. wenn die Analogous to the electric discharge pulse 302a, 302b, 302c, a light intensity of the generated flash of light may have a maximum when the electric discharge pulse 302a, 302b, 302c reaches its maximum 302m (e.g.
elektrische Stromstärke maximal ist) . Werden mehrere erzeugte Lichtblitze überlagert können sich deren Lichtintensitäten summieren, wobei die summierte Lichtintensität zu einem electrical current is maximum). If several flashes of light generated are superimposed, their light intensities can add up, with the summed light intensity becoming one
Zeitpunkt größer ist, je größer die Lichtintensität jedesTime is greater, the greater the light intensity of each
Lichtblitze zu dem Zeitpunkt ist. Ferner kann der zeitlichen Versatz 301d der elektrischen Entladungspulse 302a, 302b, 302c auch von Lichtblitz zu Lichtblitz hinsichtlich des Flashes of light at the time. Furthermore, the time offset 301d of the electrical discharge pulses 302a, 302b, 302c also from flash of light to flash of light in terms of
Zeitpunkts relativ zum Zündpuls 306p variieren, was Timing relative to the firing pulse 306p will vary, which
Schwankung der maximalen Intensität zur Folge haben kann. Wie in Fig.3A dargestellt ist kann der zeitliche Versatz 301d der elektrischen Entladungspulse 302a, 302b, 302c zueinander mittels eines anschaulich möglichst kurzen Zündpulses 306p reduziert werden, was mittels Reduzierens der Halbwertsbreite des Zündpulses 306p erreicht werden kann. Aufgrund des zeitlichen begrenzten Maximums der Lichtintensität der Fluctuation of the maximum intensity can result. As shown in FIG. 3A, the time offset 301d of the electrical discharge pulses 302a, 302b, 302c can be reduced relative to each other by means of an ignition pulse 306p which is as short as possible, which can be achieved by reducing the half-value width of the ignition pulse 306p. Due to the temporally limited maximum of the light intensity of the
Lichtblitze, kann eine Lichtintensität der erzeugten und überlagerten Lichtblitze der Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c (mit anderen Worten die maximale Intensität des  Light flashes, a light intensity of the generated and superimposed light flashes of the gas discharge lamps 402a, 402b, 402c (in other words, the maximum intensity of the
Lampenfeldes 402) größer sein, je kleiner der zeitlichen Versatz 301d der elektrischen Entladungspulse 302a, 302b, 302c zueinander ist. Lamp field 402), the smaller the time offset 301d of the electrical discharge pulses 302a, 302b, 302c to each other.
Die Halbwertsbreite 302w des elektrischen Entladungspulses 302a, 302b, 302c kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem Bereich von ungefähr 25 ys bis ungefähr 50 ms liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 50 ys bis ungefähr 20 ms liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 300 ys bis ungefähr 1000 ys liegen, beispielsweise kann die The half width 302w of the electrical discharge pulse 302a, 302b, 302c may be in a range from about 25 ys to about 50 ms, e.g. in a range of about 50 ys to about 20 ms, e.g. in a range of about 300 ys to about 1000 ys, for example, the
Halbwertsbreite 302w des elektrischen Entladungspulses 302a, 302b, 302c kleiner sein als ungefähr 600 ys, z.B. kleiner als ungefähr 400 ys, z.B. kleiner als ungefähr 200 ys . Half width 302w of the electric discharge pulse 302a, 302b, 302c is less than about 600 ys, e.g. less than about 400 ys, e.g. less than about 200 ys.
Fig.3B veranschaulicht einen elektrischen Entladungspuls 302a, 302b und einen elektrischen Zündpuls 306p gemäß FIG. 3B illustrates an electrical discharge pulse 302a, 302b and an electrical ignition pulse 306p, respectively
verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Strom- Zeit-Diagramm 200b bzw. Spannungs-Zeit-Diagramm 200b, wobei die Halbwertsbreite 306w des Zündpulses 306p im Vergleich zu Fig.3B verringert ist. Wird die Frequenz des zeitlich periodischen Zündsignals 306 erhöht, lässt sich die Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p reduzieren. Die Frequenz des zeitlich periodischen Zündsignals 306 kann gemäß verschiedenen various embodiments in a schematic current-time diagram 200b and voltage-time diagram 200b, wherein the half width 306w of the ignition pulse 306p is reduced compared to Figure 3B. If the frequency of the time-periodic ignition signal 306 is increased, the half width 306w of the electrical ignition pulse 306p can be reduced. The frequency of the time Periodic ignition signal 306 may according to various
Ausführungsformen mehr als ungefähr 20 kHz betragen, z.B. mehr als ungefähr 40 kHz, z.B. mehr als ungefähr 70 kHz, z.B. mehr als ungefähr 100 kHz. Alternativ kann ein Zündsignal 306 mit einem anderen Spannungs-Zeit-Verlauf bereitgestellt werden zum Erzeugen des elektrischen Zündpulses 306p mit einer geeigneten Halbwertsbreite 306w, z.B. ein Embodiments more than about 20 kHz, e.g. more than about 40 kHz, e.g. more than about 70 kHz, e.g. more than about 100 kHz. Alternatively, an ignition signal 306 having a different voltage-time profile may be provided for generating the electrical ignition pulse 306p having a suitable half width 306w, e.g. one
Rechtecksignal, ein Dreiecksignal, eine gaußförmiges Signal, ein asymmetrisches Signal, oder Ähnliches. Rectangular signal, a triangular signal, a Gaussian signal, an asymmetric signal, or the like.
Die Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als ungefähr 1000 ys, z.B. kleiner als ungefähr 200 ys, z.B. The half width 306w of the electric ignition pulse 306p may be less than about 1000 ys, e.g. less than about 200 ys, e.g.
kleiner als ungefähr 50 ys, z.B. kleiner als ungefähr 20 ys, z.B. kleiner als ungefähr 10 ys, z.B. kleiner als ungefähr 5 ys, z.B. kleiner als ungefähr 2 ys . less than about 50 ys, e.g. less than about 20 ys, e.g. less than about 10 ys, e.g. less than about 5 ys, e.g. less than about 2 ys.
Zur besseren Übersicht ist die Darstellung in Fig.3B auf zwei elektrische Entladungspulse 302a, 302b beschränkt. Analog zur vorangehenden Beschreibung kann auch bei verringerter For a better overview, the illustration in FIG. 3B is limited to two electrical discharge pulses 302a, 302b. Analogous to the previous description can also at reduced
Halbwertsbreite 306w eines elektrischen Zündpulses 306p ein Viertel bis drei Viertel Perioden des Zündsignals 306  Half width 306w of an electric ignition pulse 306p one quarter to three quarter periods of the ignition signal 306th
ausreichen zum Auszulösen einer Zündung einer sufficient to trigger an ignition of a
Gasentladungslampe 402a, 402b, 402c und zum Erzeugen eines elektrischen Entladungspulses 302a, 302b. Gas discharge lamp 402a, 402b, 402c and for generating an electric discharge pulse 302a, 302b.
Wird die Frequenz des Zündsignals 306 erhöht und damit die Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p If the frequency of the ignition signal 306 is increased, and thus the half-width 306w of the electric ignition pulse 306p
verringert, kann eine Zündverzögerung 301d (mit anderen decreases, one ignition delay 301d (with other
Worten ein zeitlicher Versatz) zwischen einem ersten Words a temporal offset) between a first
elektrischen Entladungspuls 302a und einem zweiten electric discharge pulse 302a and a second one
elektrischen Entladungspuls 302b deutlich reduziert werden. Anschaulich kann eine Zündverzögerung 301d zwischen dem ersten elektrischen Entladungspuls 302a und dem zweiten elektrischen Entladungspuls 302b von der Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p definiert sein und gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als die dreifache Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p. Mit anderen Worten kann eine Zündverzögerung 301d zwischen zwei elektrischen Entladungspulsen 302a, 302b gemäß verschiedenen Ausführungsformen kleiner sein als die Periode des elektrischen Zündsignals 306 electric discharge pulse 302b can be significantly reduced. Illustratively, an ignition delay 301d between the first electrical discharge pulse 302a and the second electrical discharge pulse 302b may be defined from the half width 306w of the electric ignition pulse 306p, and may be smaller than that in various embodiments triple half width 306w of the electric ignition pulse 306p. In other words, an ignition delay 301d between two electrical discharge pulses 302a, 302b may be less than the period of the electrical ignition signal 306, according to various embodiments
Der elektrische Zündpuls 306p kann derart bereitgestellt sein oder werden, z.B. mit einer ausreichen geringen The electric ignition pulse 306p may be provided in such a way, e.g. with a sufficiently small
Halbwertsbreite 306w, dass die Zündverzögerung 301d zwischen dem ersten elektrischen Entladungspuls 302a und dem zweiten elektrischen Entladungspuls 302b vernachlässigbar klein ist. Mit anderen Worten können der zeitliche Versatz der Half width 306w that the ignition delay 301d between the first electric discharge pulse 302a and the second electric discharge pulse 302b is negligibly small. In other words, the temporal offset of the
Zündzeitpunkte und die Variation der Lichtintensität von Lichtblitz zu Lichtblitz aufgrund der deutlich höheren Ignition times and the variation of light intensity from flash of light to flash of light due to the much higher
Frequenz des Zündsignals 306 vernachlässigbar sein. Frequency of the ignition signal 306 be negligible.
Zum Bereitstellen eines elektrischen Zündpulses 306p kann es erforderlich sein mit geringerer Halbwertsbreite 306w des elektrischen Zündpulses 306p einen Zündgenerator 206g zu verwenden, welcher einen höheren Spitzenstrom (ein höheres Strommaximum) erzeugen kann. To provide an electrical firing pulse 306p, it may be necessary to use a firing generator 206g having a lower half width 306w of the electrical firing pulse 306p which can produce a higher peak current (a higher current peak).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Zündgenerator 206g als schaltbarer Zündgenerator 206g eingerichtet sein, wobei mittels Schaltens des Zündgenerators 206g die According to various embodiments, the ignition generator 206g may be configured as a switchable ignition generator 206g, wherein by switching the ignition generator 206g the
Halbwertsbreite 306w des von dem Zündgenerator 206g erzeugten elektrischen Zündpulses 306p eingestellt und/oder verändert werden kann. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass die Halbwertsbreite 306w des von dem Zündgenerator 206g erzeugten elektrischen Zündpulses 306p an einen  Half width 306w of the electric ignition pulse 306p generated by the ignition generator 206g can be adjusted and / or changed. Thus, it can be achieved, for example, that the half width 306w of the electrical ignition pulse 306p generated by the ignition generator 206g is connected to a
Treiberschaltkreis 104 derart angepasst werden kann, dass ein Zünden 106k der Gasentladungslampe 102 mit einer geringen Zündverzögerung 301d erfolgt. Der Zündschaltkreis kann gemäß verschiedenen  Driver circuit 104 may be adapted such that an ignition 106k of the gas discharge lamp 102 takes place with a small ignition delay 301d. The ignition circuit can according to various
Ausführungsformen derart eingerichtet sein dass die  Embodiments be set up so that the
Zündverzögerung 301d zwischen zwei elektrischen Entladungspulsen 302a, 302b in einem Bereich von kleiner als ungefähr 1000 \is liegen kann, z.B. in einem Bereich von kleiner als ungefähr 200 \is liegen, z.B. in einem Bereich von kleiner als ungefähr 20 \is liegen, z.B. in einem Bereich von kleiner als ungefähr 10 με, z.B. in einem Bereich von kleiner als ungefähr 5 ]is . Ignition delay 301d between two electrical Discharge pulses 302a, 302b may be in a range of less than about 1000%, eg in a range of less than about 200%, for example in a range of less than about 20%, for example in a range of less than about 10 με, eg in a range of less than about 5].
Analog dazu kann der Zündgenerator derart eingerichtet sein, dass mittels Schaltens des Zündgenerators 206g die Frequenz eines von dem Zündgenerator 206g erzeugten periodischen elektrischen Zündsignals, welches den Zündpuls 306p aufweisen kann, eingestellt und/oder verändert werden kann. Similarly, the ignition generator may be configured such that by switching the ignition generator 206g, the frequency of a periodic electrical ignition signal generated by the ignition generator 206g, which may include the ignition pulse 306p, may be adjusted and / or varied.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wurde erkannt, dass der Gradient des elektrischen Zündpulses 306p (d.h. der zeitliche Gradient, mit anderen Worten der Anstieg der zeitabhängigen elektrischen Spannung, z.B. bei ihrem Nulldurchgang) für den Verschiebungsstrom von der Zündelektrode 110 zur Anode 202a und Kathode 202k zur Zündung der Blitzlampe verantwortlich ist. Je kleiner die Pulsdauer 306d, bzw. je größer die According to various embodiments, it has been recognized that the gradient of the electrical firing pulse 306p (ie, the temporal gradient, in other words, the increase of the time-dependent voltage, eg at its zero crossing) for the displacement current from the firing electrode 110 to the anode 202a and the cathode 202k to ignite the Flash lamp is responsible. The smaller the pulse duration 306d, or the larger the
Frequenz, des elektrischen Zündpulses 306p ist, umso größer kann der in der Gasentladungslampe erzeugte  Frequency of the electric ignition pulse 306p is, the larger the generated in the gas discharge lamp
Verschiebungsstrom sein. Dadurch kann eine kleinere Amplitude des elektrischen Zündpulses 306p notwendig sein, d.h. die benötigte maximale Spannung 306m kann kleiner sein, je kleiner die Pulsdauer 306d des elektrischen Zündpulses 306p ist, um die Gasentladungslampe zuverlässig, z.B. zeitlich präzise, zu zünden. Ferner kann, z.B. im Fall eines externen Zündens, die  Be shift current. This may require a smaller amplitude of the electrical firing pulse 306p, i. the required maximum voltage 306m may be smaller the smaller the pulse duration 306d of the electric ignition pulse 306p is, to reliably supply the gas discharge lamp, e.g. precise in time, to ignite. Furthermore, e.g. in the case of external ignition, the
benötigte maximale Spannung 306m nur geringfügig von der Länge des Entladungsgefäßes der Gasentladungslampe required maximum voltage 306m only slightly greater than the length of the discharge vessel of the gas discharge lamp
(Lampenlänge) abhängig sein. Anschaulich können verschieden lange Gasentladungslampen mit einem im Wesentlichen gleichen elektrischen Zündpuls 306p betrieben, d.h. gezündet, werden. Beispielsweise kann der Spannungsbedarf bei großen Lampenlängen (z.B. mehr als 1 m) im Wesentlichen gleich bleiben . (Lamp length) to be dependent. Illustratively, gas discharge lamps of different lengths can be operated, ie ignited, with a substantially identical electric ignition pulse 306p. For example, the voltage requirement for large Lamp lengths (eg more than 1 m) remain essentially the same.
Der zum Zünden der Gasentladungslampe benötigte The one needed to ignite the gas discharge lamp
Verschiebungsstrom ist im Allgemeinen abhängig von der Displacement current is generally dependent on the
Geometrie und dem Zustand der Gasentladungslampe. Geometry and the state of the gas discharge lamp.
Beispielsweise können spitze Elektroden 202a und 202k große elektrische Feldstärken erzeugen und so das Zünden For example, tip electrodes 202a and 202k can generate large electric field strengths and thus ignite
erleichtern. Ferner kann eine höhere Temperatur der facilitate. Furthermore, a higher temperature of the
Elektroden das Zünden erleichtern (d.h., dass z.B. eine geringere maximale Spannung 306m zum Zünden benötigt wird) . Electrodes facilitate ignition (i.e., a lower maximum voltage of 306m is needed for ignition, for example).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein elektrischer Zündpuls 306p in Form genau einer Halbwelle zum Zünden verwendet werden. Dazu kann der Zündschaltkreis einen According to various embodiments, an electrical firing pulse 306p in the form of exactly one half wave may be used for firing. For this purpose, the ignition circuit a
Schalter (z.B. einen Thyristor) aufweisen. Beispielsweise kann ein kleiner Ladekondensator über einen Thyristor mit der Primärseite des Zündtransformators kurzgeschlossen werden, so das ein LC-Kreis (Schwingkreis) gebildet wird, welcher derart ausgelegt ist oder wird, dass genau eine (z.B. sinusförmige) Halbwelle mit hoher elektrischer Spannung auf der  Switch (e.g., a thyristor). For example, a small charging capacitor may be short-circuited via a thyristor to the primary side of the ignition transformer to form an LC circuit (resonant circuit) configured to have exactly one (e.g., sinusoidal) high voltage half wave on the ignition transformer
Sekundärseite des Zündtransformators erzeugt wird, welche dann auf die Zündelektrode übertragen wird, z.B. ist die Sekundärseite des Zündtransformators mit der Zündelektrode verbunden. Secondary side of the ignition transformer is generated, which is then transmitted to the ignition electrode, e.g. the secondary side of the ignition transformer is connected to the ignition electrode.
Fig.4 veranschaulicht eine Blitzlampenanordnung 100g gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen 4 illustrates a flash lamp assembly 100g according to various embodiments in a schematic
Ansicht, wobei die Blitzlampenanordnung 100g eine erste View, wherein the flash lamp assembly 100g a first
Gasentladungslampe 402a, eine zweite Gasentladungslampe 402b und eine dritte Gasentladungslampe 402c aufweisen kann. Die Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c können Teil eines gemeinsamen Lampenfelds 402 zum Erzeugen von Lichtblitzen sein . Gas discharge lamp 402a, a second gas discharge lamp 402b and a third gas discharge lamp 402c may have. The gas discharge lamps 402a, 402b, 402c may be part of a common lamp field 402 for generating flashes of light.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die According to various embodiments, the
Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c mittels eines geeigneten elektrischen Zündpulses 306p, wie vorangehend beschrieben ist, gezündet werden, so dass die von den gezündeten Gas discharge lamps 402a, 402b, 402c by means of a suitable electric ignition pulse 306p, as described above, be ignited so that the ignited
Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c erzeugten Lichtblitze einander überlagern. Anschaulich kann das Zünden 106k der Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c derart erfolgen, dass die Lichtdosis der überlagerten Lichtblitze konstant sein kann . Gas discharge lamps 402a, 402b, 402c superimposed light flashes generated. Illustratively, the ignition 106k of the gas discharge lamps 402a, 402b, 402c can take place such that the light dose of the superimposed light flashes can be constant.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die According to various embodiments, the
Blitzlampenanordnung 100g eine Lageranordnung 216 (z.B. einen Lampensockel) aufweisen zum Halten, Lagern und elektrischen koppeln mehrerer Gasentladungslampen 402a, 402b, 402c. Flash lamp assembly 100g includes a bearing assembly 216 (e.g., a lamp cap) for holding, supporting, and electrically coupling a plurality of gas discharge lamps 402a, 402b, 402c.
Ferner kann der Treiberschaltkreis 104 mit jeder Furthermore, the driver circuit 104 may be connected to each
Gasentladungslampe 402a, 402b, 402c des Lampenfeldes 402 elektrisch gekoppelt sein, wobei der Treiberschaltkreis 104 derart eingerichtet sein kann, dass dieser jede Gas discharge lamp 402a, 402b, 402c of the lamp array 402 may be electrically coupled, wherein the driver circuit 104 may be configured such that this each
Gasentladungslampe 402a, 402b, 402c des Lampenfeldes 402 mit Energie versorgen kann, z.B. derart dass beim Zünden 106k jeder Gasentladungslampe des Lampenfeldes 402 in den jeweils gezündeten Gasentladungslampen des Lampenfeldes 402 ein elektrischer Entladungspuls 306a erzeugt wird. Can energize gas discharge lamp 402a, 402b, 402c of the lamp array 402, e.g. such that upon ignition 106k of each gas discharge lamp of the lamp field 402 in the respectively ignited gas discharge lamps of the lamp field 402, an electrical discharge pulse 306a is generated.
Fig.5A veranschaulicht eine Prozessieranordnung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen 5A illustrates a processing arrangement 300a according to various embodiments in a schematic
Querschnittsansicht. Dabei kann die Prozessieranordnung 300a mindestens eine Prozesskammer 702 aufweisen, und mindestens eine Blitzlampenanordnung (z.B. eine der  Cross-sectional view. In this case, the processing arrangement 300a may comprise at least one process chamber 702, and at least one flash lamp arrangement (for example one of the
Blitzlampenanordnungen 100a bis lOOf) , wie hierin Flash lamp assemblies 100a to 100f) as herein
beschrieben, zum Belichten 500b eines Substrats 504 innerhalb der Prozesskammer 702. Beispielsweise kann die Prozesskammer 702 einen Belichtungsbereich 701 aufweisen und die For example, the process chamber 702 may comprise an exposure area 701 and the exposure chamber 702 may have an exposure area 701 in the process chamber 702
Blitzlampenanordnung kann derart eingerichtet sein, dass das Substrat 504 innerhalb des Belichtungsbereichs 701 mittels der Blitzlampenanordnung belichtet werden kann. Fig.5B veranschaulicht eine Prozessieranordnung 300b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Flash lamp assembly may be configured such that the substrate 504 can be exposed within the exposure area 701 by means of the flash lamp assembly. FIG. 5B illustrates a processing arrangement 300b according to various embodiments in a schematic
Querschnittsansicht . Die Prozessieranordnung 300b kann eine Prozesskammer 702 zum Prozessieren eines Substrats 504 innerhalb der Prozesskammer 702 aufweisen. Zum Prozessieren des Substrats 504 innerhalb der Prozesskammer 702 kann die Prozesskammer 702 derart eingerichtet sein, dass die Umgebungsbedingungen (die Cross-sectional view. The processing assembly 300b may include a process chamber 702 for processing a substrate 504 within the process chamber 702. For processing the substrate 504 within the process chamber 702, the process chamber 702 may be configured such that the environmental conditions (the
Prozessbedingungen), z.B. ein Druck, eine Temperatur und/oder ein Gaszusammensetzung innerhalb der Prozesskammer 702 während des Prozessierens des Substrats 504 eingestellt oder geregelt werden können. Dazu kann die Prozesskammer 702 z.B. luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet sein oder werden kann. Process conditions), e.g. a pressure, temperature and / or gas composition within the process chamber 702 may be adjusted or regulated during processing of the substrate 504. For this, the process chamber 702 may be e.g. be airtight, dustproof and / or vacuum-tight set up or can be.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 702 als Atmosphärendruck-Prozesskammer 702 eingerichtet sein, zum Bereitstellen einer Prozessgasumgebung unter According to various embodiments, the process chamber 702 may be configured as an atmospheric pressure process chamber 702 for providing a process gas environment below
Atmosphärendruck innerhalb der Prozesskammer 702. Innerhalb des Prozesskammer 702 kann beispielsweise ein Gas und/oder ein Gasgemisch mit einem Druck in einem Bereich von ungefähr 900 mbar bis ungefähr 1100 mbar bereitgestellt sein oder werden . Atmospheric pressure within the process chamber 702. Within the process chamber 702, for example, a gas and / or a gas mixture may be provided at a pressure in a range from about 900 mbar to about 1100 mbar.
Alternativ kann die Prozesskammer 702 als Überdruck- Prozesskammer 702 eingerichtet sein, zum Bereitstellen einer Prozessgasumgebung mit eine Druck von mehr als ungefähr 2 bar, z.B. mehr als ungefähr 10 bar. Alternatively, the process chamber 702 may be configured as an overpressure process chamber 702 for providing a process gas environment having a pressure greater than about 2 bar, e.g. more than about 10 bar.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 702 als Vakuum-Prozesskammer 702 eingerichtet sein, zum According to various embodiments, the process chamber 702 may be configured as a vacuum process chamber 702, for
Bereitstellen eines Vakuums oder zumindest eines Unterdrucks innerhalb der Prozesskammer 702. Mit anderen Worten kann die Prozesskammer 702 anschaulich derart stabil eingerichtet sein, dass die Prozesskammer 702 evakuiert (abgepumpt) werden kann, so dass von außen gegen die Prozesskammer 702 ein Druck (z.B. der herrschende Luftdruck) wirken kann, wenn die Providing a vacuum or at least a negative pressure within the process chamber 702. In other words, the process chamber 702 can be configured to be so stable that the process chamber 702 can be evacuated (pumped out), so that from the outside against the process chamber 702 a pressure (eg the prevailing air pressure) can act if the
Prozesskammer 702 evakuiert ist, ohne dass die Prozesskammer 702 irreversibel verformt und/oder beschädigt wird. Zum Abpumpen der Prozesskammer 702 kann die Prozesskammer 702 beispielsweise mit einem Pumpensystem gekoppelt sein, so dass innerhalb der Prozesskammer 702 ein Unterdruck bereitgestellt sein kann oder werden kann. Das Pumpensystem kann Process chamber 702 is evacuated without the process chamber 702 irreversibly deformed and / or damaged. For pumping out the process chamber 702, the process chamber 702 can be coupled to a pump system, for example, so that a negative pressure can be or can be provided within the process chamber 702. The pump system can
beispielsweise als Vakuum-Pumpensystem und/oder Hochvakuum- Pumpensystem eingerichtet sein, so dass innerhalb der For example, be configured as a vacuum pump system and / or high-vacuum pump system, so that within the
Prozesskammer 702 ein Vakuum und/oder ein Hochvakuum Process chamber 702 a vacuum and / or a high vacuum
bereitgestellt sein kann oder werden kann. can be or can be provided.
Ferner kann eine Prozesskammer 702 ein Teil einer Furthermore, a process chamber 702 may be part of a
Prozessieranlage bilden (z.B. einer Vakuum-Prozessieranlage, einer Unterdruck-Prozessieranlage oder einer Forming processing plant (for example, a vacuum processing plant, a vacuum processing plant or a
Atmosphärendruck-Prozessieranlage) . Eine derartige Atmospheric pressure processing plant). Such
Prozessieranlage kann beispielsweise als so genannte In-Line- Prozessieranlage, mittels derer Substrate 504 kontinuierlich prozessiert werden können, oder als so genannte Batch-Processing plant can, for example, as a so-called in-line processing, by means of which substrates 504 can be processed continuously, or as a so-called batch
Prozessieranlage, mittels derer Substrate 504 schubweise prozessiert werden können, eingerichtet sein. Processing plant, by means of which substrates 504 can be processed in batches, be set up.
Ferner kann die Prozesskammer 702 mit einer Gaszuführung verbunden sein, so dass der Prozesskammer 702 ein Prozessgas oder ein Gasgemisch (z.B. aus einem Prozessgas und einem Reaktivgas) mittels der Gaszuführung zugeführt werden kann. Further, the process chamber 702 may be connected to a gas supply so that the process chamber 702 may be supplied with a process gas or a mixed gas (e.g., a process gas and a reactive gas) via the gas supply.
Zum Einschleusen und/oder Ausschleusen eines Substrats 504 in die Prozesskammer 702 hinein bzw. aus der Prozesskammer 702 heraus kann die Prozesskammer 702 mindestens eine Öffnung (Zugangsöffnung) aufweisen. Zum Bereitstellen eines Vakuums und/oder eines Unterdrucks in der Prozesskammer 702 kann die Öffnung abdichtbar eingerichtet sein, beispielsweise mittels eines Ventils, z.B. mittels eines Klappenventils oder einer Spaltdichtung . Die Prozessieranordnung 300b kann ein Transportsystem 712 (beispielsweise Transportrollen 712 oder ein Transportband 712) aufweisen zum Transportieren des Substrats 504 in den Prozessierbereich 701 hinein, oder zum Transportieren des Substrats 504 aus dem Prozessierbereich 701 heraus, oder zum Transportieren des Substrats 504 in dem Prozessierbereich 701. For introducing and / or discharging a substrate 504 into and out of the process chamber 702, the process chamber 702 may have at least one opening (access opening). For providing a vacuum and / or a negative pressure in the process chamber 702, the opening can be designed to be sealable, for example by means of a valve, for example by means of a flap valve or a gap seal. The processing assembly 300b may include a transport system 712 (eg, transport rollers 712 or a conveyor belt 712) for transporting the substrate 504 into the processing area 701, or for transporting the substrate 504 out of the processing area 701, or for transporting the substrate 504 in the processing area 701 ,
Ferner kann die Prozesskammer 702 einen Belichtungsbereich 701 aufweisen, in welchem ein Substrat 504 prozessiert werden kann. Das Prozessieren eines Substrats 504 kann Furthermore, the process chamber 702 may include an exposure area 701 in which a substrate 504 may be processed. The processing of a substrate 504 may
beispielsweise ein Bearbeiten, ein Erwärmen und/oder ein strukturelles Verändern eines Substrats 504 aufweisen. Zum Prozessieren kann ein Substrat 504 in dem Belichtungsbereich 701 belichtet werden, mit anderen Worten bestrahlt werden. For example, machining, heating, and / or structurally altering a substrate 504 may be included. For processing, a substrate 504 may be exposed in the exposure area 701, in other words be irradiated.
Zum Prozessieren eines Substrats 504 in dem For processing a substrate 504 in the
Belichtungsbereich 701 kann mittels einer Exposure area 701 can by means of a
Blitzlampenanordnung 100, gemäß der vorangehenden Flash lamp assembly 100, according to the preceding
Beschreibung, Licht (z.B. ultraviolettes Licht, sichtbaresDescription, light (e.g., ultraviolet light, visible
Licht und/oder infrarotes Licht) erzeugt werden, z.B. in Form von Lichtblitzen, welches in Richtung des Belichtungsbereichs 701 emittiert werden kann, so dass ein Substrat 504 in dem Belichtungsbereichs 701 mit dem erzeugten Licht bestrahlt werden kann. Light and / or infrared light), e.g. in the form of flashes of light which can be emitted in the direction of the exposure area 701, so that a substrate 504 in the exposure area 701 can be irradiated with the generated light.
Die Blitzlampenanordnung (z.B. eine der The flash lamp assembly (e.g., one of the
Blitzlampenanordnungen 100a bis lOOf) kann derart Flash lamp assemblies 100a to 100f) may be so
eingerichtet sein, dass das von der Blitzlampenanordnung emittierte Licht eine ausreichende Lichtintensität aufweist, so dass das Substrat 504 und/oder dessen Oberfläche be configured such that the light emitted from the flash lamp assembly has a sufficient light intensity, so that the substrate 504 and / or its surface
beispielsweise auf eine vordefinierte Temperatur erwärmt werden kann. Je kleiner die Zündzeitverzögerung ist, desto kleiner können Schwankungen (z.B. von Eigenschaften, wie dem elektrischen Widerstand oder der optischen Transmission) von den behandelten Substraten 504 sein. Mit anderen Worten kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Schwanken der for example, can be heated to a predefined temperature. The smaller the ignition delay, the smaller fluctuations (eg of properties, such as the electrical resistance or the optical transmission) of the be treated substrates 504. In other words, according to various embodiments, a fluctuation of the
Zündzeitpunkte mehrerer Gasentladungslampen 102 reduziert sein, was zu reproduzierbaren Maximaltemperaturen auf der Oberfläche von Substraten 504 führen kann. Ein Ignition timing of multiple gas discharge lamps 102 may be reduced, which may lead to reproducible maximum temperatures on the surface of substrates 504. One
Prozessresultat kann daher weniger variieren und der  Process result can therefore vary less and the
kostenverursachende Produktionsausschuss kann verringert sein oder werden. cost-producing production scrap can or will be reduced.
Beispielsweise kann zum Prozessieren des Substrats 504 ein Reaktivgas zugeführt werden, welches beim Prozessieren des Substrats 504 mit dem Substrat 504, z.B. einer Oberfläche des Substrats 504, und/oder einer Schicht auf dem Substrat 504 chemisch reagieren kann. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass das Reaktionsprodukt eine neue Schicht auf dem Substrat 504 bilden kann (mit anderen Worten kann das For example, for processing the substrate 504, a reactive gas may be supplied, which upon processing the substrate 504 with the substrate 504, e.g. a surface of the substrate 504, and / or a layer on the substrate 504 can chemically react. This can be achieved, for example, that the reaction product can form a new layer on the substrate 504 (in other words, the
Substrat strukturell verändert werden) oder das Substrate structurally changed) or the
Reaktionsprodukt von dem Substrat 504 abdampfen kann (z.B. kann das Substrat 504 gereinigt werden) . Reaction product can evaporate from the substrate 504 (e.g., the substrate 504 can be cleaned).
Beispielsweise kann beim Prozessieren des Substrats 504 eine Schicht auf dem Substrat 504 bestrahlt werden, so dass diese Schicht derart erwärmt werden kann, dass ein strukturelles Verändern der Schicht erfolgt. Beispielsweise ein Material der Schicht (re-) kristallisieren, mit einem anderen Material der Schicht reagieren, teilweise abdampfen, sich chemisch umwandeln, oder anderweitig verändert werden. For example, during processing of the substrate 504, a layer may be irradiated on the substrate 504, so that this layer can be heated in such a way that a structural change of the layer takes place. For example, a material of the layer (re) crystallize, react with another material of the layer, partially evaporate, chemically transform, or otherwise changed.
Ferner kann die Blitzlampenanordnung (z.B. eine der Furthermore, the flash lamp assembly (e.g., one of the
Blitzlampenanordnungen 100a bis lOOf) zum Erzeugen einer entsprechenden Lichtverteilung mehrere Gasentladungslampen 102 aufweisen (vergleiche beispielsweise Fig.4). Die mehreren Gasentladungslampen 102 können beispielsweise nebeneinander angeordnet sein und jeweils einzeln oder gemeinsam mittels einer Lageranordnung 216, z.B. einem Lampensockel 216 oder einer Sockelstruktur 216 gehalten und versorgt (z.B. Flash lamp arrangements 100a to 100f) for generating a corresponding light distribution have a plurality of gas discharge lamps 102 (compare, for example, Figure 4). The plurality of gas discharge lamps 102 may, for example, be arranged side by side and each individually or jointly by means of a bearing assembly 216, e.g. a lamp base 216 or pedestal structure 216 and supplied (e.g.
elektrisch versorgt) werden. Ferner können die nebeneinander angeordneten mehreren Gasentladungslampen 102 innerhalb einer Ebene angeordnet sein und in deren Gesamtheit als electrically supplied). Furthermore, the side by side arranged a plurality of gas discharge lamps 102 may be arranged within a plane and in its entirety as
flächenförmige oder im Wesentlichen flächenförmige planar or substantially planar
Lichtquelle 402 wirken (mit anderen Worten ein Light source 402 act (in other words
flächenförmiges Lampenfeld 402 bilden) . Anschaulich können die nebeneinander angeordneten mehreren Gasentladungslampen 102 z.B. ein Lichtentstehungsfeld bilden. form a planar lamp field 402). Illustratively, the juxtaposed multiple gas discharge lamps 102 may be e.g. form a light generation field.
Ferner kann die Blitzlampenanordnung (z.B. eine der Furthermore, the flash lamp assembly (e.g., one of the
Blitzlampenanordnungen 100a bis lOOf) mindestens einen Flash lamp assemblies 100a to 100f) at least one
Reflektor 110 aufweisen, wobei der mindestens eine Reflektor 110 derart relativ zu mindestens einer Gasentladungslampe 102 der Blitzlampenanordnung angeordnet sein kann, dass von der mindestens einer Gasentladungslampe 102 emittiertes Licht von dem mindestens einen Reflektor 110 in den Belichtungsbereich 701 reflektiert wird.  Reflector 110, wherein the at least one reflector 110 may be arranged relative to at least one gas discharge lamp 102 of the flash lamp assembly that from the at least one gas discharge lamp 102 emitted light from the at least one reflector 110 is reflected in the exposure area 701.
Beispielsweise kann der Reflektor 110 auf der dem For example, the reflector 110 on the
Belichtungsbereich 701 gegenüberliegenden Seite der Exposure area 701 opposite side of
mindestens einen Gasentladungslampe 102 angeordnet sein, z.B. nahe der mindestens einen Gasentladungslampe 102. Ferner kann der Reflektor 110 die mindestens eine Gasentladungslampe 102 zumindest teilweise umgeben. Zum Zünden 106k der Gasentladungslampe 102 kann der at least one gas discharge lamp 102, e.g. near the at least one gas discharge lamp 102. Further, the reflector 110 may at least partially surround the at least one gas discharge lamp 102. For igniting 106k of the gas discharge lamp 102, the
Zündschaltkreis 106 den Zündpuls auf den Reflektor 110 übertragen, wie vorangehend beschrieben ist. Alternativ kann der Zündschaltkreis 106 den Zündpuls zum Zünden 106k der Gasentladungslampe 102 auf einen Zünddraht 110 übertragen, wie vorangehend beschrieben ist.  Ignition circuit 106 transmit the ignition pulse to the reflector 110, as described above. Alternatively, the ignition circuit 106 may transmit the ignition pulse for igniting 106k of the gas discharge lamp 102 to an ignition wire 110, as described above.

Claims

Patentansprüche claims
1. Blitzlampenanordnung (100a bis 100g), aufweisend: 1. Flash lamp assembly (100a to 100g), comprising:
• eine Gasentladungslampe (102);  A gas discharge lamp (102);
· einen Treiberschaltkreis (104) zum Bereitstellen  · A driver circuit (104) for providing
einer Betriebsspannung an der Gasentladungslampe (102), wobei der Treiberschaltkreis (104) derart eingerichtet ist, dass ein elektrischer  an operating voltage on the gas discharge lamp (102), wherein the driver circuit (104) is arranged such that an electrical
Entladungspuls (302a, 302b, 302c) erzeugt wird, sobald die Gasentladungslampe (102) gezündet wird; Discharge pulse (302a, 302b, 302c) is generated as soon as the gas discharge lamp (102) is ignited;
• einen Zündschaltkreis (106) zum Erzeugen eines An ignition circuit (106) for generating a
elektrischen Zündpulses (306p) zum Zünden (106k) der Gasentladungslampe (102);  electric ignition pulse (306p) for igniting (106k) the gas discharge lamp (102);
• wobei der Zündschaltkreis (106) derart eingerichtet ist, dass die Halbwertsbreite (306w) des  Wherein the ignition circuit (106) is arranged such that the half width (306w) of the
elektrischen Zündpulses (306p) kleiner ist als ein Fünftel der Halbwertsbreite (302w) des elektrischen Entladungspulses (302a, 302b, 302c) .  electrical firing pulse (306p) is less than one fifth of the half width (302w) of the electrical discharge pulse (302a, 302b, 302c).
2. Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß Anspruch 1, wobei die Gasentladungslampe (102) eine Ausdehnung von mehr als 1 m aufweist. 2. A flash lamp assembly (100a to 100g) according to claim 1, wherein the gas discharge lamp (102) has an extension of more than 1 m.
3. Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß Anspruch 1 oder 2, ferner aufweisend: The flash lamp assembly (100a to 100g) of claim 1 or 2, further comprising:
ein Hüllenrohr (108), welches die Gasentladungslampe (102) derart umgibt, dass die Gasentladungslampe (102) mit einer in das Hüllenrohr (108) eingebrachten  a shell tube (108) which surrounds the gas discharge lamp (102) such that the gas discharge lamp (102) is introduced with a into the shell tube (108)
Kühlflüssigkeit (108k) gekühlt werden kann.  Coolant (108k) can be cooled.
4. Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, 4. flash lamp assembly (100a to 100g) according to one of claims 1 to 3,
wobei die Gasentladungslampe (102) und der  wherein the gas discharge lamp (102) and the
Treiberschaltkreis (104) derart eingerichtet sind, dass beim Zünden (106k) der Gasentladungslampe (102) eine elektrische Spitzenleistung von mehr als 100 kW  Driver circuit (104) are arranged such that when igniting (106k) of the gas discharge lamp (102) has a peak electric power of more than 100 kW
umgesetzt wird. Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem is implemented. Flash lamp assembly (100a to 100g) according to a
Ansprüche 1 bis 4, Claims 1 to 4,
wobei der elektrische Entladungspuls (302a, 302b, eine Pulsdauer von weniger als 50 ms aufweist. wherein the electrical discharge pulse (302a, 302b) has a pulse duration of less than 50 ms.
Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, Flash lamp arrangement (100a to 100g) according to one of claims 1 to 5,
wobei der elektrische Zündpuls (306p) eine Pulsdauer weniger als 100 ys aufweist. wherein the electrical firing pulse (306p) has a pulse duration less than 100 ys.
Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, Flash lamp arrangement (100a to 100g) according to one of claims 1 to 6,
wobei der elektrische Zündpuls (306p) als Teil einer zeitlich periodischen Spannung (306) mit einer Freque von mehr als 5 kHz bereitgestellt ist. wherein the electrical firing pulse (306p) is provided as part of a time periodic voltage (306) having a freqe greater than 5 kHz.
Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, Flash lamp arrangement (100a to 100g) according to one of claims 1 to 7,
wobei der Treiberschaltkreis (104) derart eingerichtet ist, dass der elektrische Entladungspuls (302a, 302b, 302c) eine maximale Amplitude der Stromstärke (105) von größer als 1 kA aufweist. wherein the drive circuit (104) is arranged such that the electrical discharge pulse (302a, 302b, 302c) has a maximum amplitude of the current (105) of greater than 1 kA.
Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß Anspruch 3, wobei der Zündschaltkreis (106) einen zwischen dem Hüllenrohr (108) und der Gasentladungslampe (102) angeordneten Zünddraht (110) aufweist, welcher sich entlang der Gasentladungslampe (102) erstreckt. The flash lamp assembly (100a-100g) according to claim 3, wherein the ignition circuit (106) comprises a firing wire (110) disposed between the shell tube (108) and the gas discharge lamp (102) extending along the gas discharge bulb (102).
Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, Flash lamp arrangement (100a to 100g) according to one of claims 1 to 9,
wobei der Zündschaltkreis (106) einen Reflektor (110) derart aufweist, so dass die Gasentladungslampe (102) mittels des Reflektors (110) gezündet werden kann, und wobei der Reflektor (110) ferner eingerichtet ist, von der Gasentladungslampe (102) erzeugtes Licht zu wherein the ignition circuit (106) has a reflector (110) such that the gas discharge lamp (102) can be ignited by means of the reflector (110), and wherein the reflector (110) is further arranged from the light emitted to the gas discharge lamp (102)
reflektieren . reflect.
Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, ferner aufweisend: A flash lamp assembly (100a-100g) according to any one of claims 1 to 10, further comprising:
mehrere Gasentladungslampen (102) wobei der a plurality of gas discharge lamps (102) wherein the
Zündschaltkreis (106) zum Zünden (106k) der mehreren Gasentladungslampen (102) eingerichtet ist. Ignition circuit (106) for igniting (106k) of the plurality of gas discharge lamps (102) is arranged.
Prozessieranordnung (300a, 300b) , aufweisend: Processing arrangement (300a, 300b), comprising:
• mindestens eine Prozesskammer (702);  • at least one process chamber (702);
• eine Blitzlampenanordnung (100a bis 100g) oder  • a flash lamp assembly (100a to 100g) or
mehrere Blitzlampenanordnungen (100a bis 100g) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11 zum Belichten (500b) eines Substrats (504) innerhalb der Prozesskammer (702) .  A plurality of flash lamp assemblies (100a to 100g) according to any one of claims 1 to 11 for exposing (500b) a substrate (504) within the process chamber (702).
Verwenden eines Zündgenerators (206g) zum gleichzeitige Zünden (106k) mehrerer Gasentladungslampen (102, 402a, 402b, 402c) mittels eines elektrischen Zündpulses Using an ignition generator (206g) for simultaneously igniting (106k) a plurality of gas discharge lamps (102, 402a, 402b, 402c) by means of an electrical ignition pulse
(306p), wobei der Zündpuls (306p) eine Pulsdauer von kleiner als 100 ys aufweist. (306p), wherein the firing pulse (306p) has a pulse duration of less than 100 ys.
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